Разработка метода электростатического сканирования коллимированных ионных пучков тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.01 ВАК РФ

На правах рукописи

ХОХЛОВ Константин Олегович

РАЗРАБОТКА МЕТОДА ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО СКАНИРОВАНИЯ КОЛЛИМИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ

Специальность 01.04.01 - Техника физического эксперимента,

физика приборов, автоматизация физических исследований

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Екатеринбург 1998

Работа выполнена в Уральском государственном техническом университете, г. Екатеринбург.

Научный руководитель:

Научный консультант:

доктор физико-математических наук Радченко В. И.;

кандидат физико-математических наук Ведьманов Г. Д.

Официальные оппоненты: доктор технических наук

Атаашев Ю.Б. (УЭМЗ); кандидат физико-математических наук Куликаускас B.C. (НИИЯФ МГУ).

Ведущая организация: Институт Электрофизики (Уральское

отделение Российской Академии Наук)

Защита состоится « » О1998г. в_

на заседании специализированного совета К 063. 14. 11 при Уральском государственном техническом университете.

Ваш отзыв в одном экземпляре, заверенный гербовой печатью просьба направлять по адресу: 620002, г. Екатеринбург, К-2, УГТУ, ученому секретарю совета университета.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке УГТУ.

Автореферат разослан -/О Се^/гу^А? г

Ученый секретарь диссертационного совета, кандидат физико-математических наук, доцент

Г^ ^ Кононенко Е.В.

Общая характеристика работы

Актуальность темы:

Рассеяние быстрых частиц, сталкивающихся с атомами мишени, полностью характеризуется набором дифференциальных сечений различных процессов, протекающих с изменением или без изменения зарядового состояния налетающих частиц. Эти сечения могут служить для расчета других величин, использующихся в конкретных приложениях. Физика ион - атомных столкновений, в том числе процессов рассеяния ионов, выяснение механизмов их протекания составляет самостоятельный раздел экспериментальной физики. Интерес к подобным исследованиям процессов рассеяния ионных пучков в практическом плане обусловлен:

- задачами пучковой транспортировки энергии на большие расстояния;

- работами по созданию тандемных ускорителей, мезонных фабрик, накопителей и т. д.;

- потребностью в получении мощных пучков ионов, обладающих малыми угловой расходимостью и эмитгансом, с целью разогрева и диагностики плазмы в термоядерных установках.

Существует ряд крупных научно - технических проектов, для которых необходима информация об изменении поперечного размера и зарядового состава ионного пучка, проходящего порой весьма значительные расстояния, в зависимости от условий его транспортировки.

Дифференциальные и полные сечения, а также характерные углы рассеяния частиц в разнообразных процессах столкновения являются вторичными фундаментальными физическими величинами и могут быть вычислены исходя из первичных фундаментальных постоянных, таких как элементарный заряд, скорость света, массы сталкивающихся частиц и др., и из основных представлений о структуре, законах взаимодействия и

изменения состояния материальных частиц, о пространстве и времени. Однако эти вычисления трудоемки с математической точки зрения и требуют выполнения ряда допущений. В связи с необходимостью апробации теоретических результатов и постоянно расширяющимися практическими потребностями возрастает актуальность получения экспериментальных данных о взаимодействии ускоренных частиц с веществом. Особый интерес представляет рассеяние частиц на очень малые углы, менее 10'3 рад. Экспериментальное изучение параметров рассеянного на малые углы пучка является трудоемкой и сложной в плане технического и методического осуществления задачей. Существует несколько способов ее выполнения. В настоящей работе рассматривается один из способов, основанный на принципе управления траекторией пучка электростатическим полем, описан набор технических средств для осуществления выбранного метода, а также предложены оригинальные варианты данного метода управления пучком, реализованные при помощи разработанных технических средств. Проведены исследования параметров пучка ионов гелия с энергией 1,67 МэВ, рассеянного в аргоновой мишени, толщина которой изменялась в диапазоне (0,4 - 45)* 1014 ат./см2. По результатам исследований определены полные сечения рассеяния с изменением и без изменения заряда, а также характерные углы этих процессов в зависимости от толщины мишени.

Цель работы: развитие метода электростатического сканирования пучка заряженных частиц и разработка соответствующих аппаратных средств для определения параметров малоуглового рассеяния ионных пучков. Для достижения указанной цели необходимо решение следующих задач:

1) построение и запуск электронного измерительного комплекса для управления траекторией пучка частиц, накопления и

передачи данных с информацией о параметрах рассеянного пучка;

2) разработка новых вариантов метода управления пучком частиц с применением разработанных технических средств, позволяющих проводить измерение параметров пучка частиц на более высоком качественном и техническом уровне;

3) проведение измерений профиля пучка рассеянных частиц с использованием разработанных вариантов метода и измерительного комплекса для получения характеристик пространственно-угловых распределений пучка.

Научная новизна:

- разработано и изготовлено оригинальное устройство сканирования пучка (УС) для измерения профиля пучка заряженных частиц, а также предложены методы проведения измерений с использованием данного устройства;

- разработано и изготовлено оригинальное устройство нелинейного сканирования пучка (УНС) для формирования заданного сложного профиля пучка на мишени;

— разработано и изготовлено оригинальное многооконное устройство сканирования (МУС) пучка для проведения измерений профиля сложного по зарядовому составу пучка;

— проведено комплексное исследование процессов рассеяния ионов гелия с энергией 1,67 МэВ в газовой аргоновой мишени, установлены угловые характеристики рассеяния и интегральные сечения перезарядки ионов гелия.

Автор защищает:

— электронный измерительный комплекс (аппаратные средства) на базе оригинальных устройств сканирования (с переменными

границами, с заданием многооконного режима сканирования) доя определения профиля рассеянного пучка частиц;

- электронный программно - управляемый комплекс (аппаратные средства) для формирования заданного профиля пучка ионов на облучаемом объекте;

- методики измерений параметров малоуглового рассеяния заряженных частиц для сложного по зарядовому составу пучка с использованием оригинальных электронных устройств сканирования и управления траекторией ионного пучка;

- измеренные параметры малоуглового рассеяния ионных пучков диапазона МэВ энергий (на примере пучка ионов гелия с энергией 1,67 МэВ): угловые характеристики и интегральные сечения рассеяния.

Апробация результатов работы:

Основные результаты диссертации докладывались на первой научно-технической конференции физико-технического факультета (1994, Екатеринбург); Всероссийском техническом совещании по циклотронам (1995, Екатеринбург); на Европейской конференции по применению ускорителей в научных исследованиях и технологиях (Europian conference on accelerators in applied research and technology, 1997, Eindhoven, Netherland); а также на семинарах кафедры экспериментальной физики УГТУ - УПИ и Института Электрофизики Уральского отделения Российской Академии Наук.

Результаты диссертационной работы опубликованы в 11 печатных работах, из которых 3 - авторское свидетельство и патенты на изобретения, 2 — статьи в центральной печати и 6 - статьи в сборниках научных работ и тезисы докладов на конференциях.

б

Структура и объем диссертации:

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав и заключения. Материал работы изложен на 94 страницах текста, содержащего 16 рисунков и 2 таблицы. Список используемой литературы включает 37 наименований.

Основное содержание работы

Во введении приводится обоснование актуальности темы и формулировка целей работы, описывается структура диссертации.

В первой главе рассмотрены основные методы измерения профиля пучка частиц, приводится обзор имеющихся в литературе экспериментальных установок, реализующих тот или иной метод измерения. Обзор литературы показал, что существуют три основных метода измерения профиля рассеянного пучка:

— использование координатно - чувствительного детектора, имеющего значительную площадь чувствительной поверхности с достаточным линейным (позиционным) разрешением, размещенного перпендикулярно оси распространения пучка;

— сканирование (перемещение) чувствительного органа измерительной системы (например, точечного детектора ионизирующего излучения) в плоскости поперечного сечения пучка заряженных частиц с фиксированной в пространстве осью распространения;

— сканирование пучка заряженных частиц относительно неподвижного в пространстве чувствительного органа регистрирующей системы (например, относительно точечного детектора).

Каждый из перечисленных методов имеет свои преимущества и недостатки. Координатно-чувствительные детекторы (КЧД) (особенно

дискретного типа - на основе микроканальных пластин) позволяют напрямую осуществлять измерение дифференциальных сечений рассеяния ионов, если использовать пучки круглого сечения. Однако такие детекторы имеют сравнительно низкие позиционное разрешение и быстродействие. Механические системы, обладая высоким позиционным разрешением, слишком инерционны и требуют тщательного мониторирования интенсивности пучка. Третий способ может быть осуществлен при воздействии на пучок переменным магнитным или электрическим полем. Магнитное воздействие (вследствие индуктивного характера отклоняющих систем) также инерционно, кроме того, приходится бороться с остаточной намагниченностью магнитопроводов. От этих недостатков свободно сканирование пучка заряженных частиц электрическим полем. Одним из достоинств этого метода (при периодическом изменении поля) является заложенная в нем возможность усреднения колебаний интенсивности пучка (вызванных импульсным характером работы ускорителя, нестабильностью характеристик ионного источника и другими причинами), что позволяет отказаться от мониторирования первичного пучка. Был сделан вывод, что для реализации измерений малоуглового рассеяния наиболее подходит метод периодического сканирования рассеянного пучка переменным электрическим полем. Для получения достаточной интенсивности пучка в условиях сильной коллимации реализована ленточная геометрия пучка, из-за чего измеряемый профиль отличается по форме от дифференциального сечения, но их характерные углы практически одинаковы.

Во второй главе приведено описание экспериментального электронного измерительного комплекса, предназначенного для проведения исследований параметров рассеянного пучка. Структурная блок-схема комплекса представлена на рис. 1. Коллимированный пучок ионов (КПИ), рассеиваясь на исследуемом газе в камере столкновений

(КС), проходит через систему дефлекторов и регистрируется детектором (Д) с узкой коллимирующей щелью. Сканирование пучка осуществляется электрическим полем сканирующего дефлектора (СД), а разделение в пространстве зарядовых компонентов и нацеливание одного из них на детектор - полем направляющего дефлектора (НД). Основным прибором,

Рис. 1. Экспериментальный измерительный комплекс

необходимым для измерения профиля рассеянного пучка, является устройство сканирования (УС), которое формирует ступенчато-изменятощийся периодический аналоговый сигнал для осуществления процесса сканирования и двоичный код, пропорциональный величине угла отклонения пучка в данный момент времени. Кодовые комбинации фиксируются в момент регистрации частицы детектором и накапливаются

в буферном накопителе (БН) в инкрементом режиме. В конце измерения в БН формируется файл данных, являющийся спектром рассеяния, который передается в компьютер (ПЭВМ) для математической обработки и хранения. Спектр рассеяния представляет собой зависимость числа зарегистрированных частиц от номера канала. Номер канала соответствует номеру «ступеньки» отклоняющего напряжения на СД и пропорционален углу отклонения пучка, поэтому спектр представляет зависимость числа частиц от угла отклонения. Для проведения различных экспериментов было разработано несколько вариантов УС. Одним из первых создан вариант устройства сканирования, в котором имеется возможность предварительного задания границ сканирования (в диапазоне 0-511 каналов) и исключения из диапазона сканирования некоторого сектора -«окна», местоположение и размер которого также предварительно задаются. Эти возможности позволяют выборочно исследовать ту или иную область профиля пучка (например, только область пика спектра либо только рассеянные частицы, исключая зону пика нерассеянных частиц с повышенной интенсивностью). Вариант многооконного устройства сканирования (МУС) имеет возможность предварительного задания нескольких (до десяти) окон сканирования, находящихся в полном диапазоне сканирования 508 каналов. Суммарное значение размеров всех заданных окон, а также сумма промежутков между окнами не может быть больше 254 каналов. Использование МУС удобно при исследовании пучков многозарядных ионов, когда рассеянный пучок может иметь несколько зарядовых компонентов. В этом случае спектр рассеяния пучка, отклоненного электрическим полем, имеет несколько пиков (по количеству компонентов), каждому из которых можно выделить необходимый диапазон сканирования при достаточно большом пространственном разделении зарядовых компонентов. Разработано также

ю

устройство нелинейного сканирования пучка (УНС), которое рассмотрено в четвертой главе.

Для проведения измерений сечений потери и захвата электронов используется блок из трех детекторов (БД), установленных на равном расстоянии друг от друга. Разделение зарядовых компонентов осуществляется либо постоянным анализирующим магнитом (ПАМ), либо НД. Подсчет импульсов производится счетно-измерительным комплексом (СИК), выполненным па базе промышленного микропроцессорного контроллера МС2702. Программное обеспечение СИК имеет возможность проводить подсчет внешних событий по пяти независимым счетным каналам с мониторировавием по времени или по количеству внешних событий на мониторном канале, индицировать процесс счета на пульте управления в выбранном канале и передавать накопленные данные в компьютер.

Комплекс включает также канал амплитудных измерений для определения энергии ионов пучка с помощью любого из детекторов. Для экспрессных контрольных замеров используется стандартный блок БПА2-95 с буферным разравнивающим запоминающим устройством (БРЗУ), для точных измерений - промышленное спектрометрическое устройство (СУ), стыкующееся с компьютером.

Кроме того, реализовано механическое перемещение сканирующего детектора с помощью блока управления перемещением регистратора (БУПР), которое используется как для измерения профиля пучка (преимущественно нейтральных частиц), так и для градуировки.

В третьей главе рассмотрены основные методики определения параметров рассеянного пучка, основанные на измерении профиля пучка. Эти методики базируются на математической обработке измеряемых спектров рассеяния с целью подбора аппроксимирующей их функции и вычисления её параметров. Целью математической обработки является

получение угловых характеристик и полных сечений изучаемых процессов рассеяния. Принятое обозначение процессов рассеяния (//) означает исходный заряд / и конечный заряду.

1. Метод аппроксимирования профиля пучка, рассеянного с изменением заряда. Спектр каждого зарядового компонента имеет вид однопикового распределения. Для аппроксимирования таких спектров с достаточной степенью точности подходят функции следующего вида:

где 0к - угол отклонения частиц относительно центра пика, а параметры А;, Аг и В - определяются расчетным путем из экспериментальных данных по методу наименьших квадратов. Индекс к означает соответствие угла значению к- го канала сцектра.

2. В случае рассеяния частиц без изменения заряда измеряемый спектр описывается суперпозицией двух кривых: функции, описывающей профиль рассеянных частиц, и аппаратной функции (АФ), описывающей профиль нерассеянной части пучка. Если первая из них описывается функцией, аналогичной (1), то вторую можно представить в виде распределения Гаусса:

где А/0) - амплитуда в центре пика, а в- отклонение от центра пика. После прохождения пучка через мишень спеюр будет представлять собой узкий пик из непровзаимодействовавших частиц, стоящий на широком "пьедестале" из рассеянных в мишени частиц. По мере увеличения толщины мишени доля частиц с первоначальным угловым распределением (т. е. АФ) монотонно уменьшается, вызывая соответствующий рост

(1)

(2)

пьедестала. При выполнении условия, что сечениями изменения заряда можно пренебречь по сравнению с сечением рассеяния без изменения заряда, сечение рассеяния определяется из соотношения:

1. ф(°)(0)

где Ф;0,(°)> <$!п>(0 • доля непровзаимодействовавших частиц в общем числе частиц с начальным зарядом г при / = 0 и после прохождения мишени толщиной

3. Метод измерения зарядового состава пучка путем сканирования состоит в получении спектра рассеяния, в котором представлено несколько зарядовых компонентов рассеянного пучка. Сечение изменения заряда определяется отношением доли Ф^) частиц каждого заряда / , которая пропорциональна истинному числу частиц данного заряда J¡. Последнее, в свою очередь, можно выразить через число М зарегистрированных частиц каждого заряда к J¡ = Щ /г„//г„(, где - шаг сканирования, пропорциональный заряду /, а - ширина коллимирующей щели детектора. Следовательно, отношение долей разных зарядов равно:

Ф; М/ ^

Это соотношение имеет место вследствие того, что чувствительность дефлекторов пропорциональна заряду иона пучка, следовательно, каждому зарядовому компоненту соответствует своя цена деления спектра, которая пропорциональна заряду. Цену канала спектра можно определить из чувствительности сканирующего дефлектора: йвк ¡с1к = - С • / • Аи/Е, где коэффициент С - определяется геометрическими размерами дефлектора и расстоянием от него до детектора, Ш - шаг сканирующего напряжения на дефлекторе, Е - энергия ионов. Интегрируя это выражение, получим:

вк -р = (Кр -к)-ОА1//Е, где Р - угловое смещение измерительной щели относительно траектории нейтральных частиц (относительно ¡3 отсчитывается вд, а Кр - константа интегрирования, которая является номером канала, соответствующего начальной траектории пучка (т.е. 9к=Р). Для ви = 0, т.е. для центров к, и ¿у произвольных зарядовых компонентов следует:

(5)

Для пучков сложного зарядового состава пики в спектре с ростом заряда сближаются, хотя в реальном физическом пространстве они разнесены равномерно. В этом случае Кр - это некоторый предельный канал спектра, соответствующий положению пика зарядового компонента с гипотетическим бесконечным зарядом.

4. Метод измерегшя зарядового состава пучка набором из нескольких детекторов состоит в полном сборе каждого зарядового компонента отдельными детекторами с подсчетом сигналов с каждого детектора. Преимуществом данного метода является значительное повышение интенсивности регистрации за счет одновременной регистрации всех рассеянных частиц, а также отсутствия сильной коллимации пучка.

5. Рассмотрены основные меры снижения погрешности измерений, ставших возможными с применением разработанных устройств сканирования:

1) исключение высокоинтенсивной области пика (пиков) при наборе спектра (что допустимо при изучении характерных углов рассеяния) с возможным увеличением средней интенсивности регистрации (эта проблема была решена при разработке УС и развита для измерения многопиковых ПУР при создании многооконного МУС);

2) применение специальных систем режекции или инспекции наложений (частично эту проблему решает применение

амплитудных дифференциальных дискриминаторов, а также использование схемы кодировки номера канала при измерении ПУР многозарядного пучка набором коллимированных детекторов); 3) уменьшение времени фиксации кода угла отклонения (при измерении сечений рассеяния, когда необходим весь спектр рассеяния).

В четвертой главе рассмотрены метод и устройство формирования профиля пучка ионов на облучаемом объекте. Данное устройство использует принцип регулирования длительности каждой ступеньки ступенчато-периодического изменения сканирующего напряжения с постоянным шагом, что приводит к заданию экспозиции в каждой точке профиля отклоняемого пучка. Первичный пучок сильно коллимирован, а его периодическое сканирование по поверхности объекта (угловой координате) с высокой частотой создает эффект регулируемого «распыления» и, как следствие, формирует вторичный пучок ионов с задаваемым эмитгансом. Показано, что метод регулируемой экспозиции в каждой точке профиля предпочтительнее метода переменного шага отклонения, поскольку при учете геометрических параметров исходного пучка и шага сканирования он не дает пропусков или наложений в формируемом профиле. Для применения данного устройства в легировании поверхностей объектов ионным пучком следует задавать оптимальные условия, когда каждый шаг отклонения должен приводить к линейному смещению пучка по поверхности объекта на величину, равную поперечному размеру исходного пучка.

В пятой главе содержатся основные физические результаты измерений характеристик пучка ионов Не с энергией 1,67 МэВ, рассеянного в аргоновой мишени с толщиной в диапазоне (0,4 - 45)* 1014 ат/см2. На рис. 2 и 3 представлены некоторые из измеренных спектров для различных процессов рассеяния при разных толщинах мишени. На рис. 2

представлены спектры рассеяния без изменения заряда пучка ионов Не+, на рис. 3 - зарядовые спектры рассеяния, на которых присутствует как исходный, так и перезарядившийся зарядовые компоненты. Эти спектры аппроксимировались с использованием формул (1) и (2) с целью

1200 -

£=1.3*10Л14ат/см2 t=8.6*10A14 ат/СМ2 t=19.5*10A14 ат/см2 t=27.6*10"14 ат/см2

30

Угол, мкрад

60

so

Рис. 2. Спектры рассеяния ионов Не+ 1,67 МэВ без изменения заряда 2500 -

2000

1500 т-

1000

-t=12.5*10"14 ат/см2 -t=27.6*10A14 ат/см2 -t=38,6'10A14 ат/см2

500

-150 -100 Угол, мкрад

Рис. 3. Зарядовые спектры рассеяния ионов Не+ 1,67 МэВ извлечения различных параметров рассеяния. Можно определить несколько таких параметров. Кроме полного сечения рассеяния с Изменением или без изменения заряда, зто общепринятая интегральная

характеристика - полуширина на полувысоте (ПШПВ), определяющая характерные углы рассеяния пучка. Этот параметр применим как для характеристики процесса рассеяния ионов, спектр которого описывается формулой (1), так и для всего начального зарядового компонента (суперпозиция кривых (1) и (2)). Можно также определить полный размер пучка, например, по уровню 1/10 амплитуды и стандартное отклонение в пределах ширины по такому же уровню, так как интегралы от функций вида (1) являются расходящимися при увеличении диапазона углов. Относительная доля нерассеянных частиц также определяется в пределах 1/10. Основные параметры для различных процессов представлены в таблице.

Таблица

Сечения и угловые характеристики рассеяния ионов гелия 1,67 МэВ

Процесс Сечение ст, *10"16 см2 ПШПВ рассеяния Х0.5, мкрад ПШПВ суммарная ХЛо.5, мкрад Стандартное отклонение В0>1, мкрад

И 4,4 14.8 4.5 16.8

22 6,7 23.7 7.6 24.6

12 0,46 58.6 58.6 127.6

В заключении делается вывод о целесообразности применения метода электростатического сканирования и его модификаций для измерения параметров рассеянных пучков ионов, работоспособности электронного комплекса, реализующего метод, а также приводятся основные результаты, полученные в данной работе:

1) развит метод электростатического сканирования пучка заряженных частиц для определения параметров малоуглового рассеяния ионных

пучков, который состоит в разработке следующих его вариантов и модификаций:

- формирование переменных границ и вырезание малоинформативного «окна» для измерения однопиковых спектров рассеяния;

- многооконное сканирование для измерения многопиковых спектров сложного по зарядовому составу пучка;

- сканирование сложного по зарядовому составу пучка с использованием нескольких коллимированных детекторов; нелинейное сканирование для формирования профиля пучка на облучаемом объекте;

2) введен в эксплуатацию электронный измерительный комплекс, построенный на базе циклотрона У-120 Уральского государственного технического университета, предназначенный для управления траекторией пучка частиц, накопления и передачи данных с информацией о параметрах рассеянного пучка. Комплекс содержит ряд оригинальных аппаратных средств, предназначенных для реализации вышеперечисленных методик:

- оригинальное устройство сканирования пучка (УС) для измерения профиля пучка заряженных частиц, имеющее возможность подключения нескольких коллимированных детекторов;

- оригинальное устройство нелинейного сканирования пучка (УНС) для формирования заданного сложного профиля пучка на мишени;

- оригинальное многооконное устройство сканирования (МУС) пучка для проведения измерений профиля сложного по зарядовому составу пучка;

3) проведено комплексное исследование процессов рассеяния ионов гелия с энергией 1,67 МэВ в газовой аргоновой мишени с толщиной в пределах (0,4 - 45)* 1014 ат./см2, включающее в себя определение:

- полных сечений рассеяния процессов (11), (22), (12): получены значения 4,4*10"6, 6,7* 1(Г16 и 0,46*10'16 см2 соответственно;

- характерных углов рассеяния процессов (11), (22), (12): получены значения 14,8; 23,7 и 58,6 мкрад соответственно;

- зарядового состава пучка в зависимости от толщины мишени, в том числе долю невзаимодействовавших частиц.

Основное содержание диссертации изложено в следующих работах:

1. А.с. 1646397, МКИ G01T 1/17. Устройство для измерения угловых и зарядовых распределений пучка заряженных частиц / Ведьманов Г.Д., Мельников С.М., Хохлов К.О. №4688793; Заявл. 05. 05. 89; Опубл. 03. 01. 91, Бюл. №16. С. 219.

2. Ведьманов Г.Д., Хохлов К.О., Васкецов C.B. Счетно-измерительный комплекс на базе микропроцессорного контроллера МС2702 // Научно-техническая конференция ФТФ-1: Сборник тезисов докладов. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 1994. С. 31.

3. Ведьманов Г.Д., Хохлов К.О., Ковальский Е.А. Устройство формирования сигналов для электростатического отклонения пучка ионов // Научно-техническая конференция ФТФ-1: Сборник тезисов докладов. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 1994. С. 33.

4. Ведьманов Г.Д., Хохлов К.О. Аппаратура и методика измерения малоуглового рассеяния пучка ионов // Циклотроны и их применение. Техническое совещание: Тезисы докладов. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 1995. С. 27.

5. Пат. 2061275 РФ, МКИ H01J 37/317. Устройство для легирования поверхности детали ионным пучком / Ведьманов Г.Д., Ковальский Е.А., Хохлов К.О. №5028670; Заявл. 25. 02. 92, Опубл. 27. 05. 96, Бюл. №15. С. 278.

6. Хохлов К.О., Ведьманов Г.Д., Лазарев ЮТ. Аппаратный комплекс для изучения взаимодействия пучка ионов с тонкими мишенями // Физика ион-атомных столкновений в твердых телах: Межвузовский сборник научных трудов. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 1996. С. 156.

7. Ведьманов Г.Д., Хохлов К.О. Методы снижения погрешности измерений пространственно - углового распределения рассеянных ионов // Детектирование ионизирующих излучений: Межвузовский сборник научных трудов. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 1996. С. 11.

8. Измерение профиля пучка атомов водорода, рассеянных в газовой мишени / Ведьманов Г.И., Лазарев Ю.Г., Хохлов К.О., Вольхин Г.И. // ПТЭ. 1997. №3. С. 119-123.

9. Положительное решение от 14. 07. 98 по заявке №97102457, МКИ H01J 37/08, G01T 1/17. Устройство для измерения угловых распределений пучка ионов / Ведьманов Г.Д., Мухаметдинов И.Р., Хохлов К.О. Заявл. 19. 02.97.

10.Khokhlov К.О., Vedmanov G.D., Kudryavtsev V.N. Equipment and method for ion beam control in implantation and science experiments // ECAART5: Book of abstracts. Eindhoven: University of Technology. 1997. P. 132.

11.Khokhlov K.O., Lazarev Yu.G. Vedmanov G.D., Equipment and method for ion beam control in implantation and science experiments // Nucl. Instr. and Meth. B. 1998. V. 139. N. 1 - 4. P. 405 - 410.

Подписано в печать 20. 07. 98 Формат 60 х 84 1/16

Бумага писчая Офсетная печать Усл. п. л. 1,16

Уч. - изд. л. 0.91_Тираж 100_Заказ 213_Бесплатно

Издательство УГТУ 620002, Екатеринбург, Мира, 19 ЗАО УМД УПИ, Екатеринбург, Мира, 17