Разработка высокочувствителной системы на основе масс-рефлектрона для анализа нейтральной компоненты и потока ионов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.01 ВАК РФ

%

РОСИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

Институт космических исследований

!Са правах рукогисл

ГУСЕВ Аркадий Яковлевич

РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ . МАСС-ГШЯЕКТРОНА ДЛЯ АНАЛИЗА НЕЙТРАЛЬНОЙ КОМПОНЕНТЫ И И ПОТОКА ИОНОВ

01.04.01-Техника физического эксперимента, -физика приборов, автоматизация Физических исследований

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Москва - 1992

Работа выполнена в Институте космических исследований (ИКИ)РАН

Научный руководитель: доктор физико-математических наук МАНАГАДЗЕ Г.Г. .

Официальные оппоненты: доктор фаз.-мат. наук

Рамендас Г.И. (ИОНХ РАН), доктор технических наук Чесноков Ю.М. (ИКИ РАН)

Ведущая организация: Московски инженерно-физический институт

Защита состоится "¿3" 1992 года в часов на

заседании Специализированного ученого совета Д.002.94.03 в Институте космических исследований РАН в конференц-зале Института по адресу: г.Москва, Профсоюзная ул., 84/32, подъезд 4

С диссертацией можно ознокомитьса в библиотеке Института космических исследований РАН.

Автореферат разослан X% 1992 г.

Ученый секретарь Сне идеализированного совета

Кандидат физ.-мат. наук

Шалимов, В. 1Г.

И!.-ГСТ8ЕШ8

V 1

„ссе,.т<*ЦИЙ

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность задачи создания новых перспективных масс-, спектрометрических систем для исследования химического и изотопного состава вещества в газовой фазе в первую очередь связана с исследованиями земной атмосферы — среда, в которой мы обитаем и которой мы дьшим. В этой связи важна экологические исследования загрязнений атмосферы промышленными и природными выбросами, включающие исследования основных параметров верхней атмосферы Земли, химического и изотопного состава, температуры. Не менее актуальны задачи, связанные с физикой земной атмосферы, Логическим продолжением этих исследований является исследование, атмосфер планет Солнечной системы.

Требования, предъявляемые н масс-анализаторам, устанавливаемым на борту космических аппаратов, состоят в том, 1то наряду с высокими аналитическими характеристиками, приборы юлжны тлеть малые габариты, массу, потребляемую мощность и >бладать высокой надежностью.

Приборы, применяемые для исследования атмосфер Земли и шанет, могут быть использованы' во многих областях науки и техники на Земле. Поэтому чрезвычайно перспективна адаптация фиборов, устанавливаемых на борту космических аппаратов, к )ешешш современных задач геологии, медицины, экологии и к гекоторым другим областям, особенно при проведении высокоточного •кспресс-масс-анализа в полевых условиях.

К приборам, отвечающим большинству вышеперечисленных ребований, мокно уверенно отнести времяпролетные масс-¡пектрометры (ВПМО) для анализа газовых сред. Эти приборы обладают простой конструкцией, удобны в обращении и весьмп нформативны. Так, например, они обеспечивают возможность :анорамного обзора масс-спектра и его частей Ъ сочетании с ыстротой регистрации в неограниченном диапазоне масс. В астоящее время разработан ряд приборов на основе времяпр^летного етода анализа по массам. Среди них выделяется времяпролегаый асс-рефлектрон (МР), предложенный Мамыриным Б.А. с соавторами, рибор обладает существенными достоинствами, опре делящими рогресс и перспективу его применения,- высокой разрешающей

способностью, простой конструкцией, налами габаритами.

Однако МР при анализе газа имеет невысокую относительную чувствительность, что связано в первую очередь о большим фоновым шумом ионного источника, обусловленным импульсным характером работа и выходом ионоз из области ионизации, а также малой входной апертурой прибора. Данные недостатки присущи всем времяггролет.^м системам, в том числе я наиболее удачной конструкции МР - ".линейному" МР. Увеличить входную апертуру МР позволила новая конструкция , предложенная Манагадзе Г.Г., а уменьшить фоновый шум - методы, предложенные в данной диссертационной работе, в том числе и применение нового тандемного масс- спектрометра на основе МР. На тандемный МО диссертантом в соавторстве получено авторское свидетельство.

Целью диссертационной работы являются: разработке и создание масс-спектромэтрмческих систем с увеличенной абсолютной и относительной чувствительностью (широким динамическим диапазоном) на основе времяпролетного масс-рефлектрона для одновременного анализа нейтрального газа и ионов атмосферы планет, а также адаптация приборов для решения широкого круга задач не Земле. Эта задача связана с исследованием физических характеристик масс-спектрометров и происходящих в них процессов, разработкой методов .повышения чувствительности, расчетом, математическим моделированием, оптимизацией режимов работы и конструкции прибора, ионно-оптической схемы прибора, методик измерений, системы регистрации и обработки масс-спектров.

Научная новизна: автором исследованы физические процессы и аналитические характеристики МР. Показана причины, ограничивающие разрешающую способность и чувствительность прибора. Предложены метода повышения чувствительности МР, а также методике одновременного анализа по массам и энергии. На основе проведенных теоретических и экспериментальных исследований разработан иирскоапертурннй МР с высокой чувствительностью к избирательностью с широким динамическим диапазоном, а также тандемный масс-анализатор. Тандшшй масс-спектрометр защищен авторским свидетельством. Научная новизна описываемых,' приборов определяется применением оригинальных методик повышение чувствительности, связанных с ионно-оптической схемой и ново{ конструкцией МР, режимов работы масс-спектрометров, методог

-э-

региетрации масс-спектров'.

Практическая ценность: В результате проведенного полного цикла лабораторных исследований и испытаний приборов разработан И' создан широкоаа^ертуркый МР с высокой чувствительностью (МАРСИОН), а также на основе изобретения, предложенного диссертантом в соазторстве, тандзмный масс-аиализатор, сочетающий иирокий динамический диапазон радиочастотного масс-анализатора с высоким разрешением (Я1. Указанные масс-спектрометры могут быть использованы как на борту НА для анализа нейтрального газа и иовоз, так и в прикладных задачах на Земле.

В настоящее время на основе МР (МАРСИОН) создан прототип малогабаритной масс-спектрометрической системы для химического анализа газа, предназначенный для использования в задачах" экологического контроля. Результаты диссертационной работы, связанные с результатами исследования фоновых шумов масс-спектрометра, методиками повышения чувствительности, оптимизацией режима работы масс-спектрометра, могут найти применение при разработке и конструировании различных «асс-спектрометрических систем. *

•I На защиту выносятся следугщиэ положения:

-Экспериментальное подтверждение расчетных характеристик разрешающей способности новой конструкции МР; -Измерение основных аналитических характеристик и результаты исследования источников и составляющих фонового шума предлагаемого МР, в том числе обнаружение нейтральных масс-пиков;

-Применение предложенного метода дополнительного отражения ионов в МР и одновременного уменьшения расстояния от рефлектора до детектора для уменьшения фонового шума и увеличения чувствительности, динамического диапазона МР; -Оптимизация ионно-оптической схемы МР и вр^енного режима работы ионного источника для достижения высокой чувствительности; 5 также на основании экспериментально полученных характеристик.МР: -Разработка и создание высокочувствительной масс-спектрометрической системы на основе № с широким донамяЧ' -дам диапазоном для исследования нейтральной компоненты и ионов;

-Применение режима ограничения основных компонент масс-спектра в МР с целью увеличения чувствительности;

-Экспериментальное подтверждение основных характеристик прибора результатами масс-акализа эталонных газовых смесей;

-Предложение метода одновременного анализа по массам и распределения по энергии в МР;

"Расчет и создание тандемного масс-анализатора.

Апробация диссертационной работы: Данная работа была выполнена в КМ АН СССР в течение 1Э86-Т991 гг. Основные теоретические и экспериментальные результаты регулярно обсуждались на семинаре лаборатории активной диагностики ИКИ РАН, были представлены на конкурсе молодых ученых ИКИ РАН (I99T), догадывались на международной школе (Суздаль, 1991) и Московском семинаре по элементному масс-спектрометрнческому анализу (1992), разработанные прибору были представлены на выставке космической техники (Мериленд,1991). По теме диссертации опубликовано 5 работ и получено авторское свидетельство.

Структура диссертация: Диссертационная работа состоит из введения, 5-ти глав и заключения. Работа имеет 138 страниц текста, рисунков 83 . Библиография насчитывает 200 наименований.

Содержание работы

Во введении кратко показана актуальность работа, научная новизна и практическая ценность работы. Сформулированы основные положения, выносящиеся на защиту.

В первой главе рассмотрены задачи' исследования параметров верхней и нюней атмосферы, а также различные типы масс-спектрометров, использовавшиеся для этих целей, их аналитические характеристики, достоинства и недостатки, а также сформулированы требования, предъявляемые к аналитическим характеристикам современного перспективного МС: диапазон исследуемых масс 1-150а.е.м., разрешение R=I5Q, динамический диапазон Ю7, чувствительность по ионной компоненте Ю-4 ион/см3, по нейтральной компоненте I04 частиц/см3. Время развертки полного диапазона масс прибора 1-2 с. с возможностью уменьшения до 5-10 мс. МС должен обеспечивать возможность одновременного анализа энергетического распределения ионов. Отмечается, что

требуемая чувствительность практически на порядок превышает чувствительность существующих приборов при их разрешающей способности й=50(.70. Основная задача состоит имегчо в обеспечении -высокой относительной чуватвителъности.

Рассматриваются преимущества использования времяпролетных масс-спектрометров. Отмечается, что недостаточная чувствительность и динамический диапазон не дают возможности использовать все преимущества данных приборов, в том числе и масс-рефлектрона. Ставится задача создания высокочувствительного МР с широким динамическим диапазоном на основе новой конструкции и методов 01уаничения фонового кума."

На основании проведенного комплексного анализа показано. преимущество использования предлагаемого № новой конструкции. В, частности, геометрический фактор прибора составляет 7,6 ср-см2 (входная площадь 20 см2), что более чем на порядок превышает аналогичный параметр квадрупольного МС.

Во второй главе рассмотрен физический принцип работы МР при анализе нейтральной и ионной компонент, показаны особенности предлагаемого прибора. При анализе ■ нейтральной компоненты используется ионный источник с ионизацией электронным /даром и вольфрам-рениевыми каг:одами в качестве источника электронов. При анализе ионной компоненты используется юнный затвор. Пространственно-временная фокусировка обеспечивается подачей выталкивающего импульса и переводом тального пространственного разброса в энергетический

1-х

—-— -ЧиУ> при о< х < 1 , (I)

•де и,- амплитуда выталкивающего импульса, х-начальное положение юна, 1-начальный пространственный разброс.

Энергетическо-временная Фокусировка обеспечивается [вухзазорным рефлектором. °

Приводятся алгоритм программы расчета пространственно-нергетической временной фокусировки, а также результаты поденного моделирования различных режимов работы МР. В программе ^пользуется градиентный метод оптимизации параметров асс-рефлектрона по условию обеспечения независкюсти суммарного ремени пролета от энергии и начального положения ионов

Т= V Ч + + К*.} + К'.'г + • (2)

где , 12, , , гвэу- Время соответ&енно в ионном

источнике, пространстве доукорэшш, дрейфа, в двухзазорном рефлекторе и в блоке сеток перед ВЭУ.

На основе данной программы показано, что используемое распределена потенциала в двухзазорном рефлекторе близко к идеальныму распределении потенциала в рефлекторе:

тс-хеи) = (к'Ъ - + я-й-У^р- -

_ (Ь * 2|^')агсЩ Г^. (3)

где х(И) - Функция, обратная искомой, и-энергия жлгв, е4-минимальная энергия ионов, (1 - ширина зазора с постоянным полем (рефлектора) х'=йУ&-сопБ1, начало отсчета (х) находится в начале рефлектора, к > I - произвольный параметр. Распределение потенциала произвольно для 1КЕ».

Математическое моделирование показало, что в предлагаемом МР может быть обеспечена разрешающая сшсобноть й>450 о учетом начального пространственного разброса (5-7 мм) и энергетического разброса (1-2 эВ) и реальной точности установки сеток 2(^=0,5 мм и стабильности напряжений 2ог=0,2 В.

Рассмотрена работа ионного источника с элзктронным ударом и возможности увеличения чувствительности применением режима накопления ионов и суммированием масс-спектров. Определена теоретическая чувствительность прибора за I с - 5-Ю~17Тор.

Обосновывается выбор детектора ' - шевронной сборки микроканальных пластин и экспериментально определены его характеристики. Подчеркивается, что параллельная развертка по массам в МР позволяет снизить требования к перегрузочной способности детектора в аналоговом режиме работы и скорости счета, которая в большинстве случаев составляет ы,- более Ю6 имп/с,и обеспечить заданный динамический диапазон.

Рассматриваются системы регистрации масс-спектшь,. их достоинства и недостатки. Отмечается, что использЬв'-'ше часто применяемых аналоговых стробоскопических систем приводит в любом случае к ухудшению отношения С/Ш в масс-спектре. Описана созданная цифровая система регистрации спектров, состоящая из

усилителя (коэффициент усиления Ю4 В/А с формированием гауссовской формы импульса на выходе), АЦП с частотой дискретизации 100 МГц. сверхошрр-ивной (СОЗУ) памяти 2048x8, интерфейса с возможность» прямого доступа в память PC/AT, с программным обеспечением. Алгоритм работы системы следующий: вводятся основные параметры масс-спектрэ. число суммируемых масс-спектров, порог регистрации; блок регистрации даскретизирует масс-спектр и записывает его в собственное СОЗУ, далее в режиме прямого доступа в память компьютера данные передаются в ОЗУ PC/AT. Процесс записи в ОЗУ компьютера включает поиск свободного места в ОЗУ, инициализацию интерфейса, тестирование и собственно процесса считывания. После записи в ОЗУ осуществляется программное сравнение с порогом регистрации и суммирование текущего спектра с предыдущим. Данная система позволила регистрировать и суммировать 256 масс-спектров за 7-8 с. Программное обеспечение было написано на языке Pascal. На основе математического моделирования показано, что ошибка, вносимая системой обработайте превышает 1,5 %. Обсуждаются альтернативные системы регистрации спектров на основе ПЗС и запоминащих ЭЛТ.

В третьей главе представлены результаты экспериментального . исследования аналитических характеристик предлагаемого MP новой конструкции. Характеристики прибора исследовались на созданном вакуумном стенде, состоящем из форвакуумного насоса, диффузионного насоса с азотной ловушкой. Экспериментально подтверждено значение разрешающей способности в новой конструкции MP R=250-30G. Поскольку в литературе отсутствуют данные о составляющих и характеристиках фонового шума MP, в главе представлены результат,! экспериментального исследования характеристик MP. Основной целью исследования было определение основных источников и составляющих фонового шума прибора и разработка методов их подавления. Показано, что при увеличении давления выше 1-Ю~5Гор основной составляющей шума являются нейтральные частицы, а основным источником шума - пролет ионных пакетов в MP. Обнаружен эффект образования нейтральных масс-никого в приборе при резонансной • перезарядке ионов на атомах и молекулах собственного газа после отражения о: рефльлтора

А++- А * А А* . (4)

Для нейтральных частиц, как и для ионовубудет соблюдаться

условие пространственно-энергетической временной фокусировки [&)- "

что приведет к образованию нейтрального масс-пика, сдвинутого по 0 отношению к ионному пику за счет разного времени прохождения пространства перед детектором, на время (не)

й 50 /ы, (б)

ГД1- М - масса иона в абсолютных единицах массы.

Как и предполагалось, величина нейтрального масс-пика пропорциональна квадрату давления.

Представлены зависмости фонового шума от давления, времени, параметров системы, а также показаны возможности увеличения отношения сигнала к шуму (СЛ11) оптимизацией временных параметров ионного источника (времени накопления), ионно-оптической схемы МР. Применение отпимального времени накопления 1*1+4 мке и прерывание ионизации позволяет улучшить чувствительность в 30 раз. Экспериментально определена чувствительность МР по ионной компоненте, равная 5-6-Ю-5 см-3, а также предельно достижимая чувстрмтельность по нейтральной компоненте -2-КГ14 Тор, ограничиваемая шумом ионного источника и детектора. Однако реальная чувствительность по нейтральной компоненте экспериментального МР составляет Ю~9-10~10Тор. На основании проведенного экспериментального исследования были предложены способы дальнейшего увеличения чувствительности: -ограничение шумов Ш -применением дополнительного отражения ионов, а при создании бортового прибора - применением специальных материалов с малой отражаицэй способностью, уменьшающих внешнее УФ излучение;

-подавление нейтральной составляющей фонового шума уменьшением расстояния от рефлектора до детектора;

-ограничение • основных компонент масс-спектра до отражения от рефлектора снижением шумов ВЭУ и усилителя.

В главе предложен метод, позволяющий проводить одновременный анализ ионов по энергиям с точностью 0,1 эВ. Метод основан на зависимости времени пролета иона от начальной энергии, С учетов

выбора режшла работы рефлектора можно добиться практически линейной зависимости времени пролета от начальной энергии и независимости от начального пространственного разброса. На основе математического моделирования продемонстрированы возможности метода.

В четвертой гласе приводится описание высокочувствительной масс-спектрометрической системы с широким динамическим диапазоном, разработанной на основе проведенных исследований характеристик и оптимизации параметров МР новой конструкции. Система состоит из созданной вакуумной системы на основе турбомолекулярного насоса с магнитной подвеской, собственно МР с ионным источником, системы ввода газа с внешним управлением, системы регистрации, блока питания и некоторых внесших периферийных устройств.

Экспериментально подтверждены предложенные методы увеличения чувствительности прибора: применешм в новой конструкции МР дополнительного отражения и уменьшение расстояния от рефлектора до детектора, использование ИИ в оптимальном временном регшме, оптимизация " ионно-оптической схемы, применение малоиумящих усилителей- и суммирование масс-спектров. Чувствительность прибора экспериментально определена по содержанию аргона воздухе (изотопы аргона ^кт и 33Аг) и по эталонным смесям. Погрешность измерения составляет 5г= 0,03.

Таким образом, разработанная и созданная система имеет сдедущие характеристики: чувствительность МР -450 ррь, а в режиме ограничения основных компонент- 100 ррь. Определены абсолютная чувствительность 2-Ю4 см"3 и предельная чувствительность по нейтральной компоненте 102 см-3, чувствительность по ионной компоненте 5-6' 10"5 см-,с динамический диапазон Ю7, разрешающая способность Н50£=250+300. Приводятся масс-спектры, подтверждающие аналитические характеристики прибора.

Чувствительность разработанного МР на порядок величины превышает аналогичную характеристику других типов МС того же класса. в

Показана эффективность применения первичной обработки масс-спектров - фильтрации. Для нее были синтезир-ванн шаровые фильтры Ваттерворта и Чебышева. Улучшение отношения С/Ш и различных режимах составляет К=2+10.

Показаны преимущества и возможности использования созданного прибора для анализа верхней атмосферы планет, а также длйГ применения в различных задачах на Земле:

-защита от рассеянного УФ-излучения обеспечивается применением двух отражений на {80°, использованием специальных материалов и оптической ловушки (колодца) напротив входа прибора; -высокое быстродействие, дающее возможность исследовать тонкую структуру атмосферы, с учетом того, что время развертки масс-спектра (1-500 а.е.м.) составляет менее 100 мкс; -неограниченный диапазон исследуемых масс;

-высокая разрешающая способность: разрешающая способность ЫСО

11=300 , при необходимости разрешение прибора мозют быть увеличено

до И=400 при тех же габаритах прибора без снижения

чувствительности;

-высокая чувствительность;

-.'возможность одновременного анализа по энергиям;

-малое влияние начального энергетического разброса на разрешающую

способность: начальный энергетический разброс эВ приведет к

Ухудшению разрешающей способность до Е=110;

-большая входная площадь прибора 20 см2 и геометрический фактор

7,6 ср-см2;

-простая ' конструкция прибора, не требующая применения сверхьысокоточных механических работ и сборки.

В пятой главе рассматривается принцип работы разработанного тандемного масс-спектрометра (ТМО) на основе последовательно установленных радиочастотного маес-анализатора (РЧМА) и МР, а также приводится описание экспериментальной установки. Разрешающая способность обеспечивается разделением ионов по времени пролета в пространстве дрейфа, соблюдением условий пространственно—энергетической временной фокусировки в МР, а также синхронизацией.-высокой частоты РЧМА и ионного затора. Приводятся временные диаграммы работы ТМС.

Высокая чувствительность обеспечивается смещением детектора с оптической оси прибора (подавление шума ионного источника и нейтральных частиц) и в рамках приведенной модели шума ИР отсутствием фонового шума, вызванного пролетом ионных пакетов малых кошюнент, при их регистрации в МР.

Экспериментально определены основные аналитические

характеристики лабораторного ТМС в различных режимах работы: разрешение 11=200+250, чувствительность I рргп. Показана возможность увеличения чувствительности до 10 рръ. Приведены масс-спектры,подтверждающие характеристики прибора.

Тандемный масс-спектрометр может найти применение при анализе верхней атмосферы благодаря высоким аналитическим характеристикам, защите от рассеянного УФ, возможности анализа как нейтральной составляющей, так и потоков ионов. Однако более перспективно применение ТМС для- анализа многокомпонентных смесей, в том числе и при использовании столкновительной' ячейки, для разделения изобаров.

В заключении приводятся основные результаты и вывода диссертации:

1. Для изучения физических характеристик новой конструкции МР разработаны и созданы: вакуумные стенда, экспериментальные макеты прибора, а также различные система регистрации, в том числе и автоматизированная цифровая система регистрации и обработки масс-спектрометрической информации с программным обеспечением.

2. С использованием созданной аппаратуры проведены экспериментальные исследования основных аналитических характеристик МР._Покззано, что они соответствуют рзсчетнш.

3. С помощь» .математического шделирования пространственно-энергетической временной фокусировки показано, что применяемое распределение потенциал? в двухзазорном рефлекторе близко к идеальному.

4. Обнаружено, что в результате резонансной перезарядки в МР образуются нейтральные масс-пики, ограничивающие изотопическую чувствительность прибора. Исследованы источники и составляющие фонового шума прибора. Показано, что основной составляющей шума являются нейтральные частицы, а основным источником - пролет ионных пакетов в МР.

5. Для уменьшения фонового шума и увеличения чувствительности предложен метод дополнительного отражения ионов в МР при одновременном уменьшении расстояния от рефлектора г'' детек*. ра, о также оптимизации ионно-оптической схемы и режима работы МР, временного режима работы ИИ.

6. На основании полученных данных создана высокочувствительна^ масс-спектрометрическая система на основе МР для исследования нейтральной компоненты и ионов с характеристиками: чувствительность 100 ррь, динамический диапазон Ю7, предельная чувствительность' по нейтральной компоненте 4-102 см-3, по ионной компоненте 5-6-Ю-5 см-3, разрешающая способность Й=250т300. О помощью математического моделирования предложена и показана возможность проведения одновременного анализа по массам и энергии с точностью 0,1 эВ.

7.Разработан лабораторный тандемный масс-анализатор, состоящий из последовательно установленных радиочастотного масс-анализатора и МР. Экспериментально определены основные аналитические характеристики прибора в различных режимах работы: разрешение 200-250, чувствительность I ррш, показана возможность увеличения чувствительности до 10 ррь.

Основные положения диссертации опубликованы в работах:

Гусев А.Я., Кочнев В.А., Манагадзе Г.Г. Исследование щловых

характеристик вреляпролтного ласс-спектролетра ЦАРСИОН.

Препринт ИКИ РАН, Пр-1774, 1991.

Гусев А.Я., Кочнев В. А., Манагадзе Г.Г. Вреляпролетий

ласс-спетролетр с увеличенной эффективной областью собирания

ионов. Препринт ИКИ РАН, Пр-1780. 1991.

Гусев А.Я., Кочнев В.А., Манагадзе Г.Г. Пит нейтральных части, в врелжролетнол жюс-рефиетроне.- Письма в ЖТФ, 1991, т. 17. вып.20, с.44-46.

Веденов Н.Ю., Гусев А.Я. Протракстбенно-вреленная фокусировка в

ионных источниках вреляпрблешных шсс-сшализаторов, Препринт

ИКИ РАН. Пр-1782. 1991. Гусев А.Я., Манагадзе Г.Г., Шутяев И.О., Повгшение относительной чувствительности, вреляпролетого ласс-рефлектрона с полощью сухиирования ласс-спетров.- Письма в ЖТФ. 1992, т.18, вып.5, с.63-67.