Структура, магнитные и магниторезистивные свойства тонких плёнок 3d-металлов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

На правах рукописи

ВОРОБЬЁВ Юрий Дмитриевич

СТРУКТУРА, МАГНИТНЫЕ И МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЁНОК За-МЕТАЛЛОВ

01.04.07 - физика конденсированного состояния

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук

Владивосток - 2003

Работа выполнена в Лаборатории плёночных технологий Института физики и информационных технологий Дальневосточного государственного университета

Научный консультант:

Официальные оппоненты:

Ведущая организация:

доктор физико-математических наук, член-корреспондент РАН, профессор В.Г. Лифшиц

доктор физико-математических наук, член-корреспондент РАН профессор ВЛ. Устинов.

заслуженный деятель науки России доктор технических наук профессор А.Д. Верхотуров

доктор физико-математический наук Ю.Л. Гаврилкж

Хабаровский государственный технический университет

Защита состоится " ^ " 2003 г. в ^ часов на

заседании диссертационного совета Д 212.056.08 при Дальневосточном государственном университете по адресу 690600, г. Владивосток, ул. Суханова, 8

С диссертаций можно ознакомиться в библиотеке Дальневосточного государственного университета.

Автореферат разослан " " г.

Учёный секретарь Диссертационного совета

к.ф.-м.н. (_/т СоппаИ. В.

1

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы

Современные технологии позволяют создавать плёнки с совершенной кристаллической, поликристаллической или аморфной структурой и конструировать на их основе принципиально новые магнитные материалы: магнитные мультислойные структуры и сверхрешётки. Тонкие магнитные плёнки и многослойные структуры на их основе обладают рядом особенностей, полностью отсутствующих или слабо выраженных в массивных материалах. Недавнее открытие гигантского магнитосопротивления в сверхрешётках инициировало большой интерес к разработкам спинтронных наноприборов, основанных на управлении спинов отдельных электронов и работам по созданию магнитных носителей сверхвысокой плотности магнитной записи. Уже сейчас новые технологии с применением электронно-лучевой литографии позволяют создавать магнитные столбики диаметром 10 нм на расстоянии 40 нм в немагнитной матрице, обеспечивая плотность вертикальной записи до 64 Гбит/см2. Достигнутый на данный момент прогресс в создании низкоразмерных магнитных структур делает реальными и другие их применения, более близкие к тем задачам, которые традиционно выполняет полупроводниковая микроэлектроника. В некоторых случаях использование спинового транзистора позволит продвинуться дальше по пути миниатюризации электронных устройств и средств магнитной записи информации.

Поликристаллические, нанокристашшческие и аморфные высокодисперсные плёнки занимают значительное место в общем объёме физических исследований и технических разработок магнитных материалов. Это связано с относительной простотой их изготовления и со сложностью и разнообразием структурных характеристик, определяемых высокой степенью неравновесности струюуры. Последнее, во многом, создаёт трудности в установлении связи между их структурой и магнитными свойствами.

Важнейшие служебные свойства магнитных плёнок: коэрцитивная сила (Д), поле наведённой магнитной анизотропии (#*) и магниторезистивное отношение (Др/р,) являются структурно-чувствительными характеристиками. Изучение природы анизотропии и коэрцитивной силы - одна из фундаментальных проблем физики магнитных явлений, поскольку эти характеристики определяют такие магнитные свойства как доменную структуру, процессы перемагничива-ния и пр., а также задают область практического применения магнитных материалов. Этой проблеме посвящено большое количество работ, уже имеется значительный прогресс в понимании влияния кристаллической структуры и её де-

фектов на магнитные свойства. Однако развитие и совершенствование технологии и методов исследований позволяет получать новые магнитные материалы и подробнее изучать их свойства. Поэтому исследование влияния структуры и технологии получения на магнитные свойства были и остаются актуальными.

Из литературных источников и проведённых ранее нами исследований однослойных поликристаллических и аморфных плёнок Зё-метаплов стало известно, что в плёнках действует несколько причин анизотропии, как конденсационного происхождения (разных в различных материалах), так и возникающих вследствие внешних воздействий (травление, отжиг). Эти анизотропии имеют различные области пространственной локализации и характеризуются амплитудной и угловой дисперсией. Макроскопическая анизотропия является результатом усреднения локальных анизотропий [1, 10]. Первоначальное изучение многослойных плёнок с поликристаплическими ферромагнитными слоями, разделёнными немагнитной прослойкой, показали, что в таких плёнках из-за эффектов связи формируется сложная магнитная анизотропия. Поэтому на определённом этапе выполнения диссертации возникла необходимость исследования природы магнитной анизотропии в многослойных плёнках, обусловленной действием, как структурных факторов, так и эффектов магнитостатической и обменной связи между ферромагнитными слоями.

В имевшихся к моменту написания диссертации теоретических и экспериментальных работах по исследованию многослойных плёнок с гигантским маг-нитосопротивлением основное внимание исследователей было направлено на решение двух основных проблем: во-первых, выяснению природы осцилляций межслоевого взаимодействия при варьировании толщины немагнитной прослойки в различных многослойных структурах, и, во - вторых, изучению физических механизмов усиления магнитосопротивления в многослойной структуре ферромагнетик / немагнитный металл. Значительно меньше внимания уделено исследованиям влияния связи между ферромагнитными слоями на интегральные и локальные магнитные свойства многослойных плёнок. Было известно лишь несколько экспериментальный работ, в которых показано, что при изменении толщины прослойки осциллируют также магнитооптический эффект, магнитная анизотропия и температура Кюри. В этот начальный период была мало исследована доменная структура многослойных плёнок, и практически ничего не было известно про осцилляции коэрцитивной силы. В связи со сказанным возникла необходимость выяснения природы осцилляций поля анизотропии и коэрцитивной силы, что требовало проведение комплексных сравнительных исследований структуры однослойных и многослойных плёнок 3(1-

металлов, их доменной структуры и структурно-чувствительных магнитных характеристик, а также установление их корреляции с типом и величиной связи.

Исходя из нерешённых проблем была сформулирована основная цель диссертации: выяснение корреляции структурных и размерных механизмов формирования анизотропии и коэрцитивной силы в поликристаллических, аморфных и многослойных плёнках.

Для достижения цели было намечено решить следующие задачи:

• Разработать технологические и технические средства для получения многокомпонентных и многослойных плёнок и исследовать их магнитную структуру и процессы перемагничивания.

• Провести систематическое исследование влияния шероховатостей подложек и осаждённых на них ферромагнитных плёнок и установить влияние размерных параметров рельефа поверхности на магнитные свойства.

• Провести сравнительное исследование структурных неоднородностей высокодисперсных плёнок Зё-металлов и многослойных магнитных структур на их основе. Установить взаимосвязь структурных неоднородностей с технологическими условиями получения плёнок и их магнитными свойствами.

• Исследовать процессы структурной релаксации плёнок при искусственном старении и установить влияние типа и распределения структурных неоднородностей на величину наведенной магнитной анизотропии и коэрцитивной силы. Провести экспериментальное определение компонент магнитной анизотропии и коэрцитивной силы, и сопоставить эти данные с расчётными значениями.

• Исследовать влияние эффектов связи между ферромагнитными слоями в многослойных плёнках на структурно-чувствительные свойства (поле анизотропии поле насыщения Hs, коэрцитивную силу Нс и магниторези-стивное отношение Др/р5).

Научная новизна.

Работа содержит новые экспериментальные результаты, наиболее важные из которых следующие:

• Установлено влияние размерных эффектов на изменение магнитных свойств, обусловленных структурой и структурной релаксацией в высокодисперсных моно- и мультислойных плёнках Зё-металлов. Показано, что магнитные свойства и их изменение при внешнем воздействии контролируются соотношением структурных и магнитных размерных параметров (толщиной плёнки, размером зерна, параметрами шероховатостей, радиусом когерентной анизотропии и радиусами ферро- и антиферромагнитной корреляции).

• На основании обобщения данных гистерезисных характеристик, кристаллической и доменной структуры плёнок в многослойных плёнках Со/Си/Со обнаружены новые магнито-размерные эффекты при увеличении толщины прослойки - осцилляции поля локальной анизотропии и коэрцитивной силы. Установлена линейная корреляция между величиной связи, магниторезистивным отношением, магнитной анизотропией и коэрцитивной силой. Показано, что влияние антиферромагнитной связи на величину поля анизотропии и коэрцитивную силу существенно превышает влияние структурных дефектов.

• Установлено, что, в случаях, когда величина антиферромагнитной связи соизмерима со значением поля локальной анизотропии, антиферромагнитная связь уменьшает радиус ферромагнитной корреляции в ферромагнитных слоях и приводит к мелкодоменному разбиению магнитной структуры с хаотическим направлением доменных границ.

• Показано, что конкуренция прямого обменного и антиферромагнитного косвенного обменного взаимодействия между ферромагнитными слоями, разделёнными немагнитной прослойкой, формирует двухосную анизотропию. Макроскопическая двухосная анизотропия возникает при конденсации или в результате диффузионных процессов при последующем отжиге. Структурным источником двухосной анизотропии в Со/Си/Со являются микроотверстия в немагнитной прослойке.

Научная и практическая значимость работы

Все исследования, проведённые в данной работе, выполнены в рамках единого заказ-наряда У НИР ДВГУ, проектов Российской Госпрограммы (012) Миннауки по направлению "Поверхностные атомные структуры", грантов ФЦП «Интеграция», проектов Минобразования Межвузовской научно-технической программы "Фундаментальные исследования в области прикладной физики и математики", "ФИЗМАТ".

На защиту выносятся следующие результаты и положения.

1. Результаты анализа влияния размерных и квантоворазмерных эффектов, обусловленных вариациями толщины магнитных и немагнитных слоев и морфологии поверхности на критические поля (коэрцитивную силу, поле магнитной анизотропии, поле насыщения) и магниторезистивное отношение в однослойных и многослойных плёнках.

2. Результаты исследования структурных превращений и кинетические параметры процессов, определяющих эти превращения при осаждении и последующем отжиге поликристаллических моно- и многослойных ферромагнитных

плёнок, полученных магнетрошшм распылением, а также закономерности структурной релаксации в аморфных плёнках на основе кобальта.

3. Результаты исследования зависимости коэрцитивной силы, эффективной магнитной анизотропии, локальной магнитной анизотропии, поля насыщения и магниторезистивного эффекта от материала плёнки, технологии, структурных дефектов и косвенной обменной связи между ферромагнитными слоями. Установление линейной зависимости между магниторезистивным отношением, коэрцитивной силой, магнитной анизотропией и полем насыщения.

4. Вывод о том, что осцилляционное поведение поля анизотропии и коэрцитивной силы плёнок Со/Си/Со обусловлено осцилляциями косвенного обменного взаимодействия между слоями. Антиферромагнитная связь уменьшает радиус ферромагнитной корреляции в ферромагнитных слоях и приводит к мелкодоменному разбиению магнитной структуры.

5. Вывод о том, что биквадратичная обменная связь в поликристаллических трёхслойных плёнках индуцирует неизвестную раннее двухосную магнитную анизотропию, которая формируется при конденсации или в результате диффузионных процессов при последующем отжиге.

Апробация работы.

Основные результаты работы в период с 1980 - 2002 гг. докладывались на Всесоюзных школах-семинарах "Новые магнитные материалы микроэлектроники" в (Ашхабад, 1980 г.; Донецк, 1982 г.; Саранск, 1984 г.; Астрахань, 1992 г.; Рига, 1996 г.; Москва, 1998 - 2002 гг.), на Всесоюзных конференциях по "Физике магнитных явлений" (Пермь, 1981г.; Иркутск, 1982 г.,1984 г.; Тула, 1983г.; Калинин, 1988 г.; Ташкент, 1991 г.), IV Всесоюзной конференции "Проблемы исследования структуры аморфных материалов" (Ижевск, 1992 г.), Международной научной конференции "Магнитные материалы", 2001, Иркутск; Всесоюзных межвузовских научно-технических конференциях (Владивосток, 1991 -2002), "Third Russian-Yapanese Seminar on Semiconductor Surfaces" (Vladivostok, Russia, 1998), "Fifth Russian-Yapanese Seminar on Semiconductor Surfaces" (Vladivostok, Russia, 2002)

Публикации.

По теме диссертации публиковано 132 работ, 29 из них в реферируемых изданиях и одно описание изобретения. Список основных публикаций приведён в конце реферата.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, общих выводов и изложена на 267 страницах машинописного текста, содержит 144 иллюстраций, 20 таблиц и список литературы из 469 наименований.

Содержание работы

Во введении обоснована актуальность темы, рассмотрено состояние исследуемой проблемы, дана общая характеристика работы, включая цель, научную новизну, практическую значимость и основные защищаемые положения.

В первой главе описаны технолйгии получения плёнок, методики исследования параметров структуры (толщины, химического состава, шероховатостей подложек и плёнок), методы исследования кристаллической и магнитной структур, а также методы измерения магнитных и гальваномагнитных свойств. Дано описание экспериментального оборудования и методик наблюдения доменной структуры, структуры доменных границ и процессов перемагничивания в просвечивающем электронном микроскопе методами Лоренцевой микроскопии.

Показана перспективность применения метода магнетронного распыления для получения магнитных моно- и многослойных ферромагнитных плёнок и плёнок сложного химического состава. Приведены примеры получения плёнок поликристаллических, аморфных и многослойных плёнок. Установлено, что при реактивном магнетронном распылении в атмосфере азота возможно получение плёнок с индукцией насыщения большей, чем в плёнках чистого железа. Увеличение магнитной индукции плёнок обусловлено образованием высокомагнитной фазы Fe,6N2.

Во второй главе представлены результаты экспериментального определения вкладов в коэрцитивную силу от дефектов, создающих квазинепрерывный потенциальный рельеф для доменной границы (Но), и от закрепления доменной границы на локализованных дефектах (HD). Приведён расчёт удельной дисперсии силы взаимодействия доменной границы с дефектами поликристаллических плёнок. Получены выражения коэрцитивной силы для различных моделей закрепления доменной границы на дефектах с размерами много меньшими ширины доменной границы. Представлены результаты экспериментального определения вкладов в коэрцитивную силу от поверхностных дефектов и дефектов, расположенных в объёме плёнки.

Электронно-микроскопическими исследованиями взаимодействия доменной границы с искусственно внедрёнными локализованными дефектами на плёнках различного состава установлено, что при одинаковой технологии получения поле Нц слабо зависит от материала плёнки и составляет величину 60 - 150 А/м, а поле Но изменяется в широких пределах: от 20 А/м для плёнок состава Nig0Fe20 до 4000 А/м для плёнок состава Fe50Co50. Показано, что в интервале значений плотности искусственных, локализованных дефектов п от 5-10® до 5-1010 м"2 хорошо выполняется зависимость АН0 ~ , где AHD = HD- H¡x, (Ноо

- поле коэрцитивной силы, обусловленное технологическими локализованными дефектами), теоретически полученное в работе [2].

Используя статистическую теорию коэрцитивной силы, развитую в работе [3], получены выражение коэрцитивной силы для конкретных механизмов закрепления доменной границы на дефектах поликристаллических плёнок:

(1) со случайной ориентацией осей лёгкого намагничивания кристаллитов

(4)

(2) с межкристаллитными границами

и Да/Г^УУ73

(5)

1,2 " /У35

(к~ 32.9 для доменной фаницы неелевского типа, ¿=17.1 для доменной границы блоховского типа). Здесь Д/ = /,-/. А/ находится из уравнения

=15(}-АУгр)+(11 -Д/)ДУгр, где АУ,р - относительный объём межкристал-литных границ.

(3) с микропорами, расположенными в объёме для доменных границы неелевского и блоховского типов, соответственно

Я =1.2

Я=1.2

с^Р4

У/357/3 с^Р4 {]

Г.4/.4»

2/3

(6)

(7)

32

(4) с микропорами, расположенными на поверхности (шероховатости поверхности), для неелевской границы

Я, = 2.06

и для доменной границы блоховского типа

2/3

Я,. = 2.06

/?5

(8)

(9)

128

Здесь Р и А — средние диаметр и глубина ямки, соответственно.

Расчёты удельной дисперсии силы для конкретных моделей рассмотренных выше дефектов позволили выявить три типа явной зависимости вкладов в коэрцитивную силу от толщины плёнки d:Hc ~ d'^3 - для шероховатостей поверхности и Нс~ d-V - для несквозных пор. Для сквозных дефектов - дисперсии осей легкого намагничивания кристаллитов и межкристаплитных границ #сне зависит от d.

В реальной плёнке присутствуют все типы дефектов, поэтому закрепление доменной границы обусловлено совместным действием всех этих механизмов. Полная сила взаимодействия домЬнной границы с дефектами F = F\+ F2 + F3 + F4, где Fu F2, F3, Fa — силы взаимодействия доменной границы с лёгкими осями кристаллитов, межкристаллитными границами, порами и шероховатостями поверхности. Если взаимодействие доменной границы с каждым типом дефектов независимо, то S = S, + S2 + 93 + Э4 и, используя формулу Иванова A.A. [3], получим

«■■»"".ХУ1'' (,0)

где £— корреляционная длина F(yq).

Так как корреляционные длины для всех рассмотренных механизмов одинаковы и равны 8, получаем закон сложения коэрцитивных сил

(HCF=(Hj12+(Hj12+{Hc)r+{Hj\ (11)

Когда слагаемые в правой части (И) имеют одинаковый порядок, аппроксимация экспериментальной зависимости Hc(d) степенной функцией типа dx, где х — некоторое число, не имеет смысла, так как вклады в Нс по-разному зависят от толщины плёнки. В частном случае, для нормальноесаждйнных плёнок возможна аппроксимация экспериментальной зависимости коэрцитивной силы от толщины выражением

Hf = A + Bd~2, (12)

где А и В - коэффициенты, независимые от толщины плёнки, поскольку в таких

плёнках отсутствует объёмный вклад Я^2 —обусловленный закреплением

d

доменной границы несквозными порами. Для нормальноосаждённых плёнок это предположение разумно и подтверждено электронно-микроскопическими исследованиями. Анализ экспериментальной кривой H^2{d'2) показал, что линейная зависимость (12) наблюдается в большом интервале толщин как для блоховских, так и для неелевских границ, и объёмный вклад #„ для обоих типов границ одинаков. Тангенс угла наклона прямой H^2(d'2) определяется размерными параметрами шероховатостей подложек. В плёнках, осаждённых на стеклянные подложки, при d< 50 нм величина поверхностного вклада Hs > #v.

В третьей главе исследуется влияние изменения плотности и распределения поверхностных и объёмных дефектов на поле анизотропии и коэрцитивную силу плёнок №63Со25Ре,2 с нулевой стрикцией. Для увеличения степени неравновесности плёнки осаждались на положки при комнатной температуре. Изменение соотношений размеров и распределения дефектов в объёме плёнки осуществлялось отжигом и наклонным осаждением, а изменение рельефа поверхности - выбором подложек и химическим травлением. Приведены результаты электронно-микроскопических исследований шероховатостей различных видов подложек и средние размеры параметров шероховатостей.

Измерения коэрцитивной силы плёнок, осаждённых на различного рода подложки, показывают, что минимальное значение коэрцитивной силы наблюдается на подложках с минимальными шероховатостями. При химическом травлении поверхности плёнки резко возрастает Нс и изменяются других магнитные характеристики: поле анизотропии (#к), угловая дисперсия анизотропии (ш») и ширина линии ферромагнитного резонанса (АН). На рис. 1 показаны типичные зависимости магнитных параметров и параметров рельефа поверхности от времени травления, измеренные по электронно-микроскопическим снимкам реплик поверхности плёнок.

г 3

г, мин

б.

Рис. 1 Типичные зависимости Яс - кривая 1, - кривая 2, о» - кривая 3, АН - кривая 4 (а) и глубины А - кривая I, диаметра с/ - кривая 2, плотности п - кривая 3 (б) от времени травления. Плёнка N¡63 Сог$ Ре,2, толщина 60 нм.

При расчёте коэрцитивной силы по формулам (8) и (9) получено количественное согласие с экспериментальными значениями коэрцитивной силы. Результирующая расчетная кривая Иа(1) хорошо согласуется с экспериментальной кривой.

Эксперимент показывает различное поведение структурных преобразований и изменение магнитных свойств от соотношения двух размерных параметров: толщины плёнок с1 и размера зерна Б - 2Я. После отжига в вакууме плёнок разной толщины, полученных при нормальном осаждении, наблюдаются две различные зависимости Яс(Гота.) (рис. 2).

шг

3

й?

%

ив

Рис. 2. Зависимость коэрцитивной си- Рис. 3. Зависимость размера зерна 2R (1),

лы от температуры отжига пленки относительной эффективной намагничен-

толщиной 51 им до травления (I) и по- ности /*//,(2), относительной намагни-

сле травления (2) в течение 100 с и (3) чеНности межкристалл итаой границы 150 с. Кривая 4 и 5 получены ив фор- , относительный объем межзеренных мул (4) и (5). Кривая 6 показывает за- '

висимосгь н,(т)4нГ-нГТ границ ДУ^, (4) от температуры отжига.

Для плёнок с d > 30 нм на кривой #C(7W) наблюдается минимум в области 200°С, а для плёнок с d < 20 нм коэрцитивная сила монотонно возрастает. Электронно-микроскопические исследования кристаллической структуры и морфологии поверхности позволили выявить эффект сглаживания поверхности плёнок при отжиге, а также особенности при рекристаллизации плёнок, обусловленные размерными эффектами. В процессе отжига тонких плёнок с размером зерна, меньшим толщины плёнки (D<d< 20 нм), в результате роста зерна происходит образование сквозных микропор, что и приводит к появлению объемного дополнительного вклада - Я„3. Различное поведение Нс(7^) объясняется конкурирующим влиянием поверхностных #s и объёмных механизмов Hv закрепления доменной границы. В толстых плёнках преобладают объёмные механизмы закрепления доменной границы, связанные с ростом зерна (рис. 3), в более тонких - поверхностные. Эффект влияния сглаживания поверхности на магнитные параметры особенно заметен при отжиге химически травленных и

наклонноосаждённых плёнок, в которых происходит заметное уменьшение поверхностного вклада Н% (рис. 2). Конкуренция объёмных и поверхностных механизмов приводит к частичной или полной компенсации возрастания компоненты #„ за счет увеличения размера зерна и величины скачка намагниченности Д/ (рис. 2, кривая 2).

Раздел 3.3 иллюстрирует эффект поверхностного закрепления доменной границы в наклонноосаждённых плёнках. Показано, что при наклонном осаждении, помимо известных объёмных неоднородностей, связанных с механизмом "самозатенения", образуется развитый анизотропный рельеф поверхности, обуславливающий резкое возрастание коэрцитивной силы и значительный вклад в анизотропию тонких («1 < 50 нм) плёнок.

Измерения магнитных свойств и параметров структуры наклонноосаждённых №63Со25ре12 плёнок (таблица 1) показали, что с ростом угла осаждения поле анизотропии и коэрцитивная сила увеличиваются, причём это возрастание зависит и от толщины плёнок. Для плёнок толщиной с? < 50 нм ноле анизотропии и коэрцитивная сила увеличиваются на порядок с ростом угла осаждения а. Для образцов с толщиной с1 > 100 нм в изучаемом интервале углов напыления коэрцитивная сила меняется незначительно, в то время как поле анизотропии увеличивается почти на порядок. Это приводит к тому, что в толстых плёнках при увеличении угла падения молекулярного пучка, отношение Нк/Нс возрастает и при углах а = 50° достигает 10.

Таблица 1

Параметры наклонноосаждённых плёнок, определённые _методом рентгеновской интерференции

нм а, град И, нм р, 103 кг/м3

0 5.6 7.06

27 30 12 6.86

50 13 6.45

0 6 8.56

90 30 7 8.45

50 8.6 8.17

Анализ электронно - микроскопических снимков кристаллической структуры и кривых рентгеновской интерференции показал, что в наклонноосаждённых плёнках №СоРе в результате эффекта самозатенения происходит формирование рыхлой плёнки с анизотропными порами. Анизотропия формы пор и ани-

зотропность их распределения усиливается с ростом угла падения молекулярного пучка, причём этот эффект для плёнок толщиной 40 нм выражен сильнее, чем для образцов с толщиной 100 нм. Вытянутая форма пор и анизотропия их распределения оказывают существенное влияние на величину интегральной (макроскопической) магнитной анизотропии. Макроскопическая константа магнитной анизотропии Ки определяется конкуренцией компонент, обусловленных магнитостатикой поверхностных неоднородностей, анизотропией формы и распределением пор. Теоретические оценки магнитной анизотропии, полученные с учетом дисперсии структурных и поверхностных неоднородностей, хорошо согласуются с экспериментальными данными.

Отжиг приводит к уменьшению величины наведенной магнитной анизотропии, причем этот эффект также зависит от толщины плёнок. Для образцов толщиной 50 нм уменьшение константы магнитной анизотропии выражено сильнее. Такое изменение К„ можно объяснить, во-первых, сглаживанием рельефа поверхности, что подтверждается электронно-микроскопическими снимками реплик с поверхности отожженных плёнок. Так как рельеф поверхности тонких плёнок до отжига более выражен, чем для плёнок толщиной более 100 нм, то и уменьшение магнитной анизотропии в них значительней. Во-вторых, при термомагнитном отжиге существенно изменяется кристаллическая структура и происходит перераспределение объемных дефектов: изменяется их объем и плотность. Электронно-микроскопические исследования структуры показывают, что при отжиге наклонноосажденных плёнок изменяется характер пористости и увеличивается размер кристаллитов. При росте зерна увеличивается размер отдельных пор, но при этом относительный объём пористости уменьшается, а объем ферромагнитной части плёнки увеличивается, что подтверждается ростом эффективной намагниченности. При отжиге эти процессы приводят к перераспределению вкладов объёмных и поверхностных компонент наведенной магнитной анизотропии.

В четвертой главе представлены результаты исследования влияния технологических условий получения и концентрации Т1 на структуру и магнитные параметры аморфных плёнок С0Т1. Показано, что уменьшение размера зерна при переходе в аморфное состояние уменьшает коэрцитивную силу.

При увеличении процентного содержания Т1 в С0Т1 плёнках намагниченность линейно уменьшается и при содержании Т1 > 25 ат.% плёнки становятся слабоферромагнитными. Установлено, что аморфное состояние наблюдается при концентрации титана от 14 до 22 ат.%. В этой же области концентраций наблюдается минимум коэрцитивной силы (рис. 4). Интегральное поле анизотропии в этой области концентрации также резко уменьшается. Для исследования

были выбраны плёнки СомТ^, имеющие максимальное значение Н\ в области концентраций, соответствующих аморфному состоянию.

Рис. 4. Зависимость намагниченно- Рис. 5. Зависимость поля анизотропии Нк от ста (1) и коэрцитивной силы (2) от со- парциального давления Ал *, х - (Jeu » О В; держания Ti в плйнках Coi-,Ti, о, а - Ucu - 300В; 1,3 - наклонноосаждвнные

пленки (10° < а < 30°); 2,4 - (0° < а < 10°).

Установлено, что значительное влияние на величину наведенной магнитной анизотропии оказывает парциальное давление аргона и напряжение смещения, подаваемое на подложку (рис. 5). Электронно-микроскопическими исследованиями показано, что этот эффект не связан с крупномаштабными изменениями в структуре, поскольку структурные неоднородности плёнок, полученных при разном парциальном давлении аргона, но при одинаковых углах осаждения, идентичны. Установлено, что причина большого различия Ки плёнок, полученных при разном парциальном давлении аргона, связана с типом кластеров, образовавшихся в плёнке при распылении. В зависимости от энергии распыляемых атомов в кобальтсодержащих аморфных плёнках могут образовываться кластеры разной симметрии. Температурные исследования намагниченности плёнок, полученных при давлении аргона 5.5-10"4 Topp, позволили выявить термомагнитный гистерезис, который косвенно свидетельствует о наличии в структуре кластеров тригональной симметрии, имеющих большую локальную магнитную анизотропию. Образование кластеров тригональной симметрии при низкотемпературном изотермическом отжиге приводит к росту интегральной магнитной анизотропии. Образование кластеров тригональной симметрии подтверждено прямым методом - анализом картин микродифракции, на которых при микрофотометрировании выявляется ступенька интенсивности дифракционного кольца, соответствующего ГПУ фазе кобальта.

Рассчитана вероятность образования кластеров тригональной симметрии в зависимости от парциального давления Аг, расстояния от мишени и напряжения смещения. Показано, что эта вероятность будет максимальной, если энергия распыляемых атомов мишени при попадании их на подложку будет соизмерима с энергией активации процесса преобразования кластеров октаэдрической симметрии, соответствующей ГЦК фазе, в кластеры тригональной симметрии.

Методом высокоразрешающей электронной микроскопии в нормально осажденных плёнках выявлены структурные неоднородности двух типов: образования размером 1.2-8- 1.6 нм или кластеры и цепочки из трех-четырех таких кластеров. Для наклонноосаждённых аморфных плёнок кроме указанных неод-нородностей, характерны области резко отличающиеся по контрасту - области пониженной плотности размером порядка 12 нм. Анализ Фурье- спектров, полученных при обработке электронно-микроскопических изображений, позволил определить периоды структурных неоднородностей, коэффициент их анизотропии и дисперсию распределения. Рассчитанные значения константы наведенной магнитной анизотропии хорошо согласуются с экспериментальными данными.

По кинетическим зависимостям магнитной анизотропии, полученным после термомагнитного отжига при Т^ < Тхр в поле, перпендикулярном первоначальной оси легкого намагничивания, установлено, что в плёнках Со-ТМ существуют "отжигаемые" и "неотжигаемые" источники анизотропии. Отжигаемая компонента связана с переориентацией атомных пар в окрестности свободных объёмов. Неотжигаемая компонента обусловлена образованием низкосимметричных кластеров, областей пониженной плотности и микропор. Приведены оценки коэрцитивной силы аморфных плёнок, полученные с использованием модели случайной локальной магнитной анизотропии при наличии макроскопической анизотропии [1].

В пятой главе представлены результаты исследования магнитных и магни-торезистивных свойств ферро- и антиферромагнитносвязанных плёнок Со(6нм)/Си/Со(6нм). Приводятся результаты электронно-микроскопических исследования кристаллической структуры, а также результаты исследования доменной структуры методами Лоренцевой микроскопии. Исследовано влияние типа связи и структурных изменений при отжиге многослойных плёнок на величину гигантского магнитосопротивления и установлены корреляционные соотношения со статическими магнитными свойствами плёнок.

Из анализа магнитных и магниторезистивных кривых трёхслойных плёнок Со/Си/Со с различной толщиной немагнитной прослойки (рис. 6) следует, что вид кривых магнитного и магниторезистивного гистерезиса в значительной степени зависит от типа связи. При ферромагнитной связи между слоями

(<^Си= 1-4нм) каждый слой кобальта имеет одну ось лёгкого намагничивания, и магнитные параметры ферромагнитносвязанных плёнок практически не отличаются от однослойных плёнок такой же толщины.

Co/Cu(1.0 ниУСо 1

2000

Co/Cu(1.4 нм)/Со

Н || О.Л.Н.

ЯХ О.Л.Н.

03

*

¡S 0

адо

-2000 о дэ

0S

-J -08

-1000 С

д з б.

1000

2000

-1000 0 д э

в.

1000

-с

Рис. 6. Типичные магнитные (а) и магниторезистивные (б, в) петли продольного и поперечного эффектов трехслойных пленок Со(бнм)/Си(х)/Со(6нм) с толщиной прослойки deu= Ihm и 1.4hm.

Существенные изменения параметров магнитного и магнигорезистивного гистерезиса плёнок Со/Си/Со наблюдаются только при антиферромагнитной связи между слоями кобальта (dCu - Ihm). Процесс перемагничивания плёнок с антиферромагнитной связью характеризуется изотропными петлями гистерезиса, а продольный и поперечный магниторезистивные эффекты становятся положительными. При этом коэрцитивная сила и магниторезистивное отношение плёнок с антиферромагнитной связью возрастают более, чем на порядок, по сравнению с плёнками Со/Си/Со с ферромагнитной связью и однослойными плёнками Со. Высокая остаточная намагниченность исследуемых плёнок Со/Си/Со свидетельствует о неполном антипараллельном выстраивании намаг-ниченностей в соседних слоях при толщинах прослойки, соответствующих максимумам антиферромагнитного взаимодействия. Электронно - микроскопическими наблюдениями доменной структуры определено, что в нулевом внеш-

нем поле доменная структура содержит домены как с параллельным, так и антипараллельным направлением намагниченностей в слоях.

Измеряемая в плёнках эффективная антиферромагнитная (отрицательная) связь (./¡до), которая способствует антипараллельной ориентации намагниченностей в слоях, является результатом конкурирующего действия нескольких видов положительных (ферромагнитных) связей, возникающих из-за магнито-статических и обменных взаимодействий между слоями. Установлено, что в исследованных плёнках Со/Си/Со величина эффективной антиферромагнитной связи на два порядка больше значения макроскопической магнитной анизотропии, но сравнима со значением локальной магнитной анизотропии. Этим объясняется сильное влияние антиферромагнитной связи на процессы перемагни-чивания. Оценки величины эффективной антиферромагнитной связи по магнитным и магниторезистивным кривым с использованием данных о морфологии поверхности подложек дают основания заключить, что антиферромагнитная связь может подавляться положительными связями из-за шероховатостей слоёв ( при А > 5нм) и связью через микроотверстия в немагнитной прослойке при их критической плотности 5-1015 м"2.

Обнаружено, что при варьировании толщины прослойки наблюдаются осцилляции связи, которые приводят не только к известному ранее осцилляцион-ному поведению магнитосопротивления, но и вызывают осцилляции поля анизотропии и, соответственно, коэрцитивной силы (рис. 7).

Рис.7. Зависимость магниторезистивного отношения (а) коэрцитивной силы (б) и поля анизотропии^) от толщины Си прослойки, (а, б) •• -до отжига; а а - после отжига при 25№С. (в) •• -поле средней локальной анизотропии, измеренное из закона приближения к насыщению(кривая 1); ■■ - интегральное поле анизотропии, измеренного методом ФМР (кривая 2)

Установлено, что магниторезистивное отношение и коэрцитивная сила связаны линейной зависимостью с полем насыщения (рис.8). Коэффициенты корреляции составляют 0.92 и 0.86 для магнитосопротивления и коэрцитивной си-

лы, соответственно. В свою очередь коэрцитивная сила связана линейной зависимостью с полем локальной анизотропии, что позволяет записать Нс = На + pHJ, где #о - коэрцитивная сила, обусловленная структурными дефектами с размерами г « 5, рассмотренными в главе 2, Нз- коэрцитивная сила, обусловленная антиферромагнитной связью между слоями, р - коэффициент пропорциональности порядка единицы.

Рис. 8. Зависимость магниторезистивного отношения Др/р и коэрцитивной силы #с от поля насыщения Я,. (••) - неотожжЁнные пленки; (а а) - отожженные при 250°С. (в) Зависимсоть коэрцитивной силы и поля средней локальной анизотропии. Точки •• - до отжига, а А- после отжига.

Таким образом, рост коэрцитивной силы в плёнках Со/Си/Со обусловлен ростом локальной анизотропии, вызываемой антиферромагнитой связью между ферромагнитными слоями. Оценки коэрцитивной силы, полученные с использованием модели случайной магнитной анизотропии [4], дают согласие с экспериментальными значениями.

Установлено, что во всех исследованных плёнках Со/Си/Со с антиферромагнитной связью после конденсации присутствует биквадратичная компонента связи (/Д способствующая 90° ориентации намагниченностей слоёв. Аргументом, доказывающим присутствие биквадратичной компоненты косвенной обменной связи между слоями, является нелинейная зависимость

Ар/р = /(/и2) (рис. 9). По результатам экспериментальных измерения и 72 в зависимости от толщины прослойки и результатам, полученным из аппроксимации кривых намагничивания, установлено, что величина биквадратичной связи является функцией билинейной связи Jг = /(7,) и обычно ~ 0.17,. Некоторые результаты измерений Зэфф и расчёта и ^ приведены в таблице 2.

Электронно-микроскопическими наблюдениями за изменениями структуры доменов и доменных границ установлено, что в результате отжига в плёнках с

различной толщиной прослойки происходит изменение типа связи между слоями. В плёнках с антиферромагнитной связью наблюдается переход от антиферромагнитной связи к ферромагнитной, при этом изменяются соотношения между величинами •/] и Кинетические параметры этого перехода зависят от толщины немагнитной прослойки.

Рис.9(а, б). Кривые зависимости гигантского магнитосопротивления от квадрата относительной намагниченности (rwllls). (а) - пленка Со/Си (1 нм)/Со. (б) - пленка Со/Си (2.1 нм)/Со. ••• - образцы после конденсации, AAA - образцы после отжига при 250°С. Сплошные кривые - линии аппроксимации: (а) - (кривая 1)- Др/р=1.44 -1.1т2-0,35т4; (кривая 2) - Др/р = 2.7 - 2.59т2; (б) - (кривая 1) - Др/р=1.29 - 0.88т2 -0.37т4; (кривая 2) - Др/р = 2.46 - 0.96т2 - 1.55т4.

В плёнке с тонкой прослойкой зависимость Др/р = /(/и2) становится более линейной, а в плёнке с более толстой прослойкой при низких температурах отжига наблюдается увеличение параболичности кривой (рис. 96), которое коррелирует с увеличением биквадратичной связи и увеличением отношения J\/J2.

Таблица 2.

Энергия косвенной обменной связи в трёхслойных Со/Си/Со плёнках.

Образец U1, 10'3 Дж/м2 ш. 10° Дж/м2 \jeff\,pac4. 10° Дж/м2 \jeff\,3KCn. 10"3 Дж/м2 | Jeff |, ЭКСП. 10"3 Дж/м2 отж. 250°С

Со/Си(0.7 нм)/Со 0.01 0 0.01 0.036 0.043

Со/Си(1.0 нм )/Со 0.092 0.013 0.118 0.23 0.29

Со/Си(1.4 нм )/Со 0.011 0 0.011 0.029 0.036

Со/Си(2.1 нм)/Со 0.078 0.022 0.122 0.195 0.268

Присутствие биквадратичной связи проявляется на спектрах ФМР, а также на поведении кривых намагничивания. Когда * Ки > на кривой намаг-

ничивания наблюдаются изломы, соответствующие спин-флопу. По точкам изломов определены критические поля #,/=112 Э, и Н,2= 165 Э. Этим полям соответствует энергия билинейной связи А = -0.063 1О"3 Дж/м2 и биквадратичной связи У2 = -0.021 -10'3 Дж/м2, рассчитанные по формулам [11], что хорошо согласуется с результатами, приведёнными в таблице 2.

Установлено, что в плёнках, полученных при одинаковых технологических условиях, но с разной толщиной прослойки, наблюдается существенно различное поведение магниторезистивного отношения от температуры отжига (рис. 10). Эти отличия не могут быть объяснены уменьшением удельного сопротивления (рис. 11) или изменениями в структуре.

4.0

-<£ 3.0

I"

20

1.0

■ 36

- б У | 32

1 \ ¿28

\ 24

ъ

о 20

« ' » -» « « '

100 200

300

Тотж,

400

Г

Рис. 10. Зависимость магниторезистивного отношения от температуры изохронного отжига. 1 - Со(1.2нм); 2 -Со/Си(1нм)/Со; 3 - Со/Си(1.4нм)/Со. Т^« = 30 мин.

О 100 200 300 400

Рис. 11. Зависимость удельного электросопротивления от температуры изохронного отжига. 1 - Со(1.2нм); 2 - Со/Си(1нм)/Со; 3 -Со/Си(1,4нм)/Со. Тот,= 30 мин.

Электронно-микроскопическими исследованиями не выявлено каких - либо существенных отличий в структуре как в зависимости от толщины прослойки, так и в процессах рекристаллизации при отжиге плёнок. С другой стороны, в этих же образцах после отжига, с использованием атомной силовой микроскопии установлено сглаживание поверхности плёнок. Очевидно, что увеличение магниторезистивного отношения связано с изменениями структуры на атомном уровне. Из анализа известных механизмов усиления магнитосопротивления [8] и механизмов биквадратичной связи [9] сделан вывод, что увеличение магниторезистивного отношения при относительно низкой температуре отжига (рис.12) происходит по двум причинам:

во - первых, из-за усиления эффективной антиферромагнитной связи, обусловленного уменьшением влияния магнитостатической положительной связи (связи типа «апельсиновой кожуры») в результате сглаживания поверхности;

во-вторых, из-за усиления моттовского спин-зависимого рассеяние электронов проводимости на примесях ферромагнитных металлов в немагнитной прослойке и немагнитных металлов ферромагнитных слоях, перемещённых в результате взаимодиффузии через границу раздела в пределах 1-3 монослоёв [8].

t,MUH

Рис. 12. Поведение магниторсзистивного отношения пленок Со/Си/Со с различной толщиной медной прослойки при ступенчатом изотермическом отжиге. 1 - dea - 1 нм, 2 - ácu = 2.1 нм, 3 -- однослойная пленка Со.

Второй механизм согласуется с микроскопическим механизмом биквадра-тичной связи, основанным на модели свободных спинов [9] и механизмом би-квадратичной связи через микроотверстия в прослойке [13]. Доказательством применимости этих моделей является зависимость магниторезистивного отношения от диффузионных процессов, наблюдаемых при изохронном и изотермическом отжиге. Процесс атомной межслоевой диффузии при отжиге приводит к постепенной деградации Си прослойки, в первую очередь, по межкри-сталлитным границам. Эта деградация идёт путём образования ферромагнитных мостиков, которые приводят к локальной ферромагнитной связи на площади ~ Ihm2. С увеличением времени и температуры отжига плотность (и площадь) микроотверстий растёт, что в конечном итоге, приводит к подавлению антиферромагнитной связи между слоями кобальта в макроскопическом смысле [14] и уменьшению Др/р5 (рис. 12).

Очевидно, что в плёнке с тонкой прослойкой изначальная плотность микроотверстий больше, чем в плёнке с более толстой прослойкой, и близка к критической плотности перехода к ферромагнитному выстраиванию намагниченно-стей обоих слоев. В плёнке с более толстой прослойкой деградация прослойки происходит после более длительного отжига и при более высокой температуре. Некоторым подтверждением диффузионного перемешивания слоёв Со и Си является линейная зависимость приращения проводимости слоёв от (рис. 13).

Полученные результаты показывают, что изменение доменной структуры и других магнитных свойств плёнок Со/Си/Со с антиферромагнитой связью между слоями, в значительной большей степени зависят от величины антиферромагнитной связи, чем от структурных изменений. В свою очередь, величина связи зависит от структурных изменений на атомном уровне, которые не выявляются обычными методами электронной микроскопии. С другой стороны, наблюдения доменной структуры методами Лоренцевой микроскопии позволяют надёжно выявлять тип связи и её изменения.

Учитывая технологические особенности процесса конденсации, изотропность петель магнитного гистерезиса плёнок с антиферромагнитной связью (рис. 6) невозможно объяснить на основе представлений об одноосной анизотропии каждого из слоёв. В работах [5, 6] было показано, что в мультислоях Fe/Cr с биквадратичным обменом формируется анизотропия четвертого порядка. В плёнках Со/Си/Со наличие многоосной анизотропии подтверждено дан-

0.006

.0.002 --'-1-1-1-'-u

0 10 20 30

Рис.13. Зависимость приращения проводимости трехслойных пленки Со/Си/Со в результате взаимо диффузии при изотермическом отжиге при температуре 250X1.1 - = 1 нм, 2 - </си = 2.1 им.

I

I

I

ными ФМР (рис. 14) и угловой зависимостью кривых намагниченности (рис. 15), полученных по методике изложенной в работе [12].

640 г

90 135

а 9, градусы

-30 О 30 60 90 12015018Q21C б в, градусы

Рис. 14. Угловая зависимость резонансного поля для пленок Со/Си/Со с толщиной медной прослойки: (а) - Ihm; (б) - 2нм,

Тип анизотропии и её трансформации при изотермическом отжиге были исследованы по угловым зависимостям кривых относительной намагниченности I/Is=№<p)(pm. 15).

СЫСа(2 1 нмУСо

Рис. 15(А, В). Полярные диаграммы относительной намагниченности ///, =ущ,<р). А -пленка Со/Си(1 нм)/Со (а,Ь,с): 1 -#=20 Э; 2-#=60 Э; 3-Я= 100 Э; 4-#= 250Э. Температура отжига 250°С. Время отжига: а - 0; 6 - 30 мин; с - 230 мин. В - пленка Со/Си(2.1 нм)/Со: 1-#=50Э; 2-#=- 100Э;3-Я= 150Э. Время отжига: ё- = 0; е-30 мин; я - 80 мин.

Вид диаграмм для обоих плёнок до отжига свидетельствует об их многоос-ности, причём в плёнке с йСи - 1.0 нм двухосная анизотропия видна более явно.

При увеличении времени отжига поведение анизотропии в плёнках с ¿с» = 1 нм и с!си ~ 2.1 отличаются. В плёнке с с/Си = 1 нм с увеличением времени отжига происходит разрушение двуосной анизотропии и формирование одноосной анизотропии (рис. 15А(Ь, с)), тогда как в плёнке с г/Си = 2.1 нм формируется явно выраженная двухосная анизотропия (рис.15В(е, §)). Эти результаты также хорошо объясняются моделью микроотверстий и представлением о существовании их критической плотности. Константы двухосной анизотропии, вычисленные из аппроксимации экспериментальных кривых намагничивания, коррелируют со значениями величины биквадратичной связи.

Таким образом, двухосная анизотропия в трёхслойных плёнках Со/Си/Со является следствием проявления биквадратичной связи, которая формируется в результате конкуренции ферромагнитной связи через микроотверстия в прослойке меди и антиферромагнитной связи между слоями. Двухосную анизотропию в многослойных плёнках Со/Си/Со можно рассматривать как особый вид обменной анизотропии, которая возникает в результате конкуренции билинейной связи и прямого обменного взаимодействия. Основным структурным источником двухосной анизотропии в исследованных плёнках Со/Си/Со являются микроотверстия в прослойке.

Анализа влияния размерных параметров (толщин слоев) в плёнках Со/Си/Со показал, что удельное сопротивление и анизотропия магнитосопротивления имеют противоположные тенденции поведения при уменьшении толщины сло-

А А

Рис. 16. Зависимость удельного со против- Рис. 17. Зависимость анизотропною ления плёнок Со/Си/О) с различной тол- магнитосопротивления (р/грх) плёнок щиной Си прослойки огг толщины слоёв Со/Си/Со с различной толщиной Си кобальта. 1 (♦♦) - Со, 2 (••) - Си 7 А, 3 прослойки от <1с 1 (♦ ♦) - Со, 2 (••) -(оо) -! 1 А, 4 (а а) -16 А. Си 7 А, 3 (оо)- 11 А, 4 (а а) -16 А.

Этот эффект обусловлен ограничением длины свободного пробега электронов поверхностями плёнки. Используя экспериментальные зависимости электросо-

противления от толщины елоёв кобальта и теорию Фукса [15, 16], из параметров линейной аппроксимации (рис. 17) определена средняя длина свободного пробега электронов и удельное сопротивление бесконечно толстой плёнки р0 (таблица 3.)

А.

Рис. 17. Зависимость р^ для пленок Со/Си/Со с различное толщиной Си прослойки от толщины слоев кобальта. 1 (♦ ♦) - Со, 2 (••) - Си 7 к, 3 (оо) - 11 А, 4 (А А) - 16 А. Линиями показана линейная аппроксимация экспе-

3

римеюальной зависимости рс! - р0с1 + -Ар0.

8

Таблица 3.

Длина свободного пробега электронов и удельное сопротивление ро бесконечно толстой плёнки Со/Си/Со.

Образец Ро,

10"6 Ом см А

Со(60А) 33.91 59.5

Со/Си7 А /Со 29.25 67.3

Со/Си11 А/Со 19.57 76.9

Со/Си16 А/Со 18.96 95.4

Данные, приведённые в таблице, показывают, что в исследуемых плёнках длина свободного пробега электронов соизмерима с толщиной плёнки, поэтому, когда ХсР<^со, наблюдается возрастание удельного сопротивления (рис. 15). С другой стороны, » ^и, и это приводит к квантоворазмерным эффектам рассеяния электронов проводимости, следствием которого являются осцилляции связи между слоями, магнитосопротивления, коэрцитивной силы и поля анизотропии (рис. 7).

ОСНОВНЫЕ ИТОГИ РАБОТЫ

1. Показана перспективность применения метода магнетронного распыления для получения магнитных моно- и многослойных ферромагнитных плёнок и плёнок сложного химического состава. Установлено, что при реактивном магнетронном распылении в атмосфере азота возможно получение плёнок с индукцией насыщения большей, чем в плёнках чистого железа. Увеличение магнитной индукции плёнок обусловлено образованием высокомагнитной фазы Fei6N2. Разработаны методики и технические средства для наблюдения доменной структуры, структуры доменных границ и процессов перемагничивания в просвечивающем электронном микроскопе методами Лоренцевой микроскопии.

2. Предложены модели и получены аналитические выражения дисперсии силы взаимодействия доменной границы с основными дефектами поликристаллических плёнок. Проведен критический анализ некоторых моделей закрепления доменной границы, применяемых для расчета коэрцитивной силы, и рассмотрено взаимодействие доменной границы с дефектами, размер которых мал по сравнению с шириной доменной границы. Выявлены три типа явной зависимости вкладов в коэрцитивную силу от толщины плёнки d:Hc ~ для шероховатостей поверхности; Нс -d'^1 - для несквозных пор; Hc*ftd) - для дисперсии осей легкого намагничивания кристаллитов и межкристаллитных границ. Предложены методики экспериментального определения компонент коэрцитивной силы. В поликристаллических плёнках сплавов ферромагнитных металлов с плоскостной анизотропией экспериментально определены компоненты коэрцитивной силы, обусловленные взаимодействием доменной границы с локализованными дефектами и дефектами, создающими квазинепрерывный потенциальный рельеф. Показано, что основной вклад в закрепление доменной границы дают дефекты, имеющие размеры меньше ширины доменной границы и создающие квазинепрерывный потенциальный рельеф: межкристаллитные границы, поры, шероховатости поверхности.

3. Проведено систематическое исследование влияния шероховатостей подложек и осаждённых на них ферромагнитных плёнок. Экспериментально установлено, что различные виды подложек, используемые при конденсации ферромагнитных плёнок, имеют развитую поверхность. Если параметры шероховатости подложек становятся соизмеримы с толщиной плёнки, то они оказывают существенное влияние на магнитные свойства: анизотропию, коэрцитивную силу, ширину линии ферромагнитного резонанса, рябь намагниченности и др. Установлено, что плёнки ферромагнитных металлов сглаживают рельеф поверхности подложек

даже при низкой температуре подложки и малой скорости осаждения. Показано, что при наклонной конденсации в тонких плёнках формируется анизотропный рельеф поверхности. Параметры рельефа зависят от толщины плёнки и скорости осаждения.

4. Отжиг плёнок приводит к рекристаллизации, результат которой зависит от размерных факторов - соотношения толщины плёнки и размера зерна. Установлено, что, когда размер зерна становится больше толщины плёнки, наблюдается коалесценция избыточных вакансий конденсационного происхождения, что приводит к образования сквозных пор. Установлено, что отжиг приводит к перераспределению объёмных и поверхностных вкладов в коэрцитивную силу. Возрастает роль объёмных механизмов закрепления доменных границ, связанных с ростом размера зерна и изменением структуры межкристаллитных границ. Одновременно происходит уменьшение роли поверхностных механизмов закрепления доменных границ за счёт уменьшения шероховатостей поверхности. Результирующая коэрцитивная сила определяется конкуренцией поверхностных и объёмных механизмов закрепления границ.

5. Установлено, что плёнки Со-"П при содержании "Л в интервале 14 + 22 ат.% являются аморфными. Методом высокоразрешающей электронной микроскопии с последующей Фурье-обработкой изображений выявлены структурные неоднородности аморфных плёнок: кластеры, "цепочки" из кластеров, области пониженной плотности материала и микропоры. Экспериментально установлено, что в аморфных плёнках на основе Со, полученных магнетронным распылением, присутствуют низкосимметричные тригональные кластеры, состоящие из атомов Со. Вероятность образования таких кластеров зависит от парциального давления рабочего газа, расстояния от мишени до подложки, величины напряжения, подаваемого на мишень, и напряжения смещения. Установлено, что величина магнитной анизотропии максимальна при давлении аргона РАг -5.5-10"4 мм. рт. ст. С увеличением угла осаждения в аморфных плёнках наблюдается увеличение анизотропии формы и распределения структурных неодно-родностей. Расчётами показано, что при данном давлении энергия активации образования тригональных кластеров соизмерима с энергией падающих атомов Со. В процессе термомагнитного отжига выявлены две составляющие магнитной анизотропии: отжигаемая и неотжигаемая, обусловленные различными источниками наведённой магнитной анизотропии. Проведенные расчёты вероятности образования тригональных кластеров и их концентрации показали, что увеличение константы магнитной анизотропии при изотермическом отжиге обусловлено релаксацией тригональных кластеров. Экспериментально выделены компоненты наведённой магнитной анизотропии, обусловленные различ-

ными структурными дефектами: направленным упорядочением атомных пар, анизотропным распределением низкосимметричных кластеров и областей пониженной плотности, и микропор. Оценочные расчёты компонент наведённой анизотропии показали хорошее соответствие с экспериментальными данными.

6. Из анализа магнитных' и магниторезистивных кривых гистерезиса установлено, что при изменении толщины прослойки в плёнках Со/Си/Со наблюдаются осцилляции магнитных параметров, вызываемые антиферромагнитной связью между слоями кобальта. Вычисленные значения эффективной антиферромагнитной связи оказались на два порядка больше значения макроскопической магнитной анизотропии, но сравнимы со значением локальной анизотропии. Установлено, что антиферромагнитная связь может подавляться ферромагнитной связью через микроотверстия в немагнитной прослойке при их плотности и«р> 51015 м'2 и ферромагнитной связью из-за шероховатостей ферромагнитных слоёв. Антиферромагнитная связь приводит к мелко доменному разбиению магнитной структуры и изменению магнитных параметров плёнок, которые существенно больше изменений вызываемых структурной релаксацией.

7. Установлено, что магниторезисгивное отношение, коэрцитивная сила и поле анизотропии плёнок Со/Си/Со связаны линейной корреляционной зависимостью с полем насыщения. Показано, что нелинейная зависимость магниторе-зистивного отношения от квадрата относительной намагниченности обусловлена биквадратичным взаимодействием. Это взаимодействие не имеет фундаментальной природы и является результатом конкуренции ферромагнитной связи через микроотверстия в немагнитной прослойке и косвенной билинейной связи.

8. Осциллирующее поведение коэрцитивной силы при изменении толщины прослойки обусловлено изменением средней локальной анизотропии, которая индуцируется антиферромагнитной связью между слоями. Изотропность петель магнитного гистерезиса трёхслойных плёнок Со/Си/Со с антиферромагнитной связью обусловлена формированием в слоях макроскопической двухосной анизотропии. Физическим источником двухосной анизотропии является биквадра-тичная составляющая антиферромагнитной связи. Двухосная анизотропия формируется в процессе осаждения или последующего отжига.

Основное содержание диссертационной работы опубликовано в работах:

1. Юдина Л.А., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В., Юдин В.В., Воробьев Ю.Д. О связи намагниченности и кристаллической структуры тонких ферромагнитных плёнок железа. // ФММ, 1973, т.36, вып.3.,с.508-513.

2. Чеботкевич Л.А., Воробьёв Ю.Д., Ерехинский А.Н., Ветер В.В., Лифшиц В.Г., Акилов В.В. Изменение магнитных характеристик желсзо-

кобальтовых плёнок, легированных хромом при облучении электронами. // ФММ, 1981, т. 52, вып. 4, с. 719 - 725.

3. Malyutin V.J., Osykhovskii V.E., Vorobiev Iu. D., Shishov A.G., and Iudin V.V.

Structure and Magnetic Properties of Etch Ni-Co Films. // Phys. Stat, (a), 1981, 65, p. 45 - 52.

4. Чеботкевич JI.A., Лифшиц В.Г., Начинов В.Ф., Воробьёв Ю.Д., Ветер В.В.,

Улманис У.А. Намагниченность железо-кобальтовых плёнок, облученных электронами. //ФТТ, 1982, т. 24, вып. 9, с. 2636 - 2640.

5. Malyutin V.J., Osukhovskii V.E., Vorobiev Iu.D., Abramov A.C. Structure Con-

stant and Micromagnetic Structure of Etched Ni80Fe20 Films. // Phys. Stat. Sol. (a), 1982,73,p.Kill-к 114.

6. Иванов A.A., Лобов И.В., Воробьёв Ю.Д. Некоторые механизмы закрепления

доменных границ в тонких магнитных плёнках. ФММ, 1984, т. 58, № 1, с. 11 -20.

7. Осуховский В.Э., Воробьёв Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Лобов И.В., Малютин В.И. Определение вкладов в коэрцитивную силу тонких магнитных плёнок от объёмных и поверхностных неоднородностей. П ФММ, 1984, т. 57, вып. 2, с. 254 - 260.

8. Чеботкевич Л.А., Величко Т.В., Воробьёв Ю.Д., Улманис У.А. Коэрцитивная

сила плёнок, облучённых электронами высоких энергий. //ФТТ, 1984, т. 26, вып. 5, с. 1535- 1537.

9. Осуховский В.Э., Воробьёв Ю.Д., Слабженникова И.М., Науменко Л.Ф. Ло-

кализованные дефекты и коэрцитивная сила тонких магнитных плёнок. // ФММ, 1985, т.60, вып. 3, с. 623 - 624.

10. Осуховский В.Э., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Елисеенко Л.Г., Слабженникова И.М. Влияние отжига на закрепление доменной границы неод-нородностями поликристаллических плёнок. // ФММ, 1986, т. 61, вып. 3, с. 543-548.

11. Malytin V.T., Osukhovskii V.E., Ivanov А.Т., Ghebotkevich L.A., Vorobiev Yu.D. The effect of volume and surface Inhomogeneities on the coercivity of thin magnetic films. // Phys. stat sol (a), 1986, v. 93, p. 585 - 595.

12. Воробьев Ю.Д. и Василенко Ю.В. Перемагничивающее устройство для термомагнитных исследований в просвечивающем электронном микроскопе. А. С. № 1531182, МКИ Н 01 J 37/26,1987.

13. Malytin V.T., Osukhovskii V.E., Vorobiev Yu.D., Ghebotkevich L.A. On the effect of annealing of polycrystalline manetic films. // Phys. stat. sol (a), 1989, 114, Р.К75-К79.

14. Чеботкевич Л.А., Воробьев Ю.Д., Зубаускас ГЛ., Камынина Ж.О., Старостин Б.К. Структура и магнитные свойства ионно-имплантированных аморфных фольг // Металлофизика. 1990. Т. 12. № 5. С. 54-58.

15. Воробьев Ю.Д., Слабженникова И.М., Чеботкевич Л.А., Пустовалов Е.В., Головко М.В. Структурные неоднородности и магнитная анизотропия аморфных плёнок Co-Ti. // ФММ, 1993, т.75, № 1, с. 59 - 63.

16. Чеботкевич Л. А., Воробьев Ю.Д., Слабженникова И. М., Пустовалов Е. В., Должиков С. В., Сергеева Т. М., Плотников В. С. Роль кластеров в создании магнитной анизотропии в морфных плёнках Co-Ti. // ФММ, 1993, т. 75, вып.4, с. 79 - 83.

17. Воробьёв Ю. Д., Чеботкевич Л. А., Неверовская Ф. Ю., Слабженникова И. М. Влияние на магнитную анизотропию аморфных плёнок напряжения смещения. // ФММ, 1994,77, вып. 3, с. 55 - 57.

18. Чеботкевич Л. А., Воробьев Ю.Д., Ильин Э.В., Кузнецова А.И., Слабженникова И. Магнитные свойства и структура многослойных плёнок Со - Ti/Mo. // ФММ, 1994, т.77, вып.5,с. 73-76.

19. Чеботкевич Л.А., Яловкина С.В., Воробьев Ю.Д., Слабженникова И.М. Магнитные свойства многослойных плёнок (Fe/Mo)w, полученных магне-тронным распылением. // ФТТ, 1995, т. 37, № 4. с. 1226-1228.

20. Чеботкевич Л.А., Грудин Б.Н., Кузнецова С.В., Ильин Э.В., Воробьев ЮД., Слабженникова И.М. Спектр структурных неоднородностей и анизотропия многослойных плёнок. И ФММ, 1995, Вып. 5, с.117-119.

21. Chebotkevich L.A, Vorobyev Yu.D. Ilyin E.V., Azatyan S.G., Pisarenko I.V., Slabzhennikova I.M., Kuznttsova S.V. Influence of Interlayers on Structure Formation and Magnetic Parameters of Multilayered Co-Ti/Mo and Co-Ti/Cu Films. // Phys. Low-Dim. Struct., 1996, № 7/8, p.33-39.

22. Chebotkevich L.A., Vorobyev Yu.D„ Slabzhennikova I.M. Influence of Metallik Influence on Termostability of Magnetic Films. // Phys. Low-Dim. Struct., 1997, №3/4, p. 59-63.

23. Чеботкевич Л.А., Воробьев Ю.Д., Писаренко И.В. Магнитные свойства плёнок нитрида железа, полученных реактивным магнетронным распылением. // ФТТ, 1998, т. 40, № 4, с.706-707.

24 .Vorobyev Yu. D., Burkova I.N., Chebotkevich. Magnetoresistence effect and coercive force of Co/Cu/Co three-layer films. // Phys. Low-Dim. Struct., 1999, v. 5/6, p. 195 -200.

25. Чеботкевич Л.А., Писаренко И.В., Воробьев Ю.Д., Нефедев К.В. Фазовый состав и магнитные свойства Fe-N плёнок. // ФММ, 1999, т. 87, № 5, с. 4245.

26. Воробьёв Ю.Д., Буркова И.Н., Чеботкевич JI.A. Коэрцитивная сила и магни-тосопротивление плёнок Со/Си/Со. II ФММ, 2000, т. 89, № 4, с.26 -31.

27. Komilov А.V., Vorobyev Yu. D., Chebotkevich L.A. Influence of thermal treatment temprature and buffer layer thickness on magnetoresistance. // Phys. Low-Dim. Struct., 2000, v. 11/12, p. 45-49.

28. Чеботкевич JI.A., Воробьев Ю.Д., Буркова И.Н., Корнилов A.B. Структура и магнитные свойства отожженных плёнок Со/Си/Со. // ФММ, 2000, т. 89, № 3, с. 56-61.

29. Воробьёв Ю.Д., Буркова И.Н., Корнилов A.B., Негода Д.Н. Чеботкевич JI.A. Влияние отжига на свойства Со/Си/Со плёнок. // «Новые магнитные материалы микроэлектроники», XVII международная школа-семинар, Тезисы докладов, М., МГУ, 2000, с. 624-626.

30. Ognev A.V., Samardak A.S., Vorob'ev, Yu. D., Chebotkevich L.A. Anisotrope and Magnetoresistance of Co/Cu/Co Films. // Phys. Low.-Dim. Struct, 2002, № 7/8, p. 27-39.

31. Воробьёв Ю.Д., Самардак A.C., Чеботкевич JI.A. Влияние отжига на билинейную и биквадратичную связь трехслойных плёнок Со/Си/Со. // «Новые магнитные материалы микроэлектроники», XVIII международная школа-семинар, Сборник трудов, М., МГУ, 2002, БЦ-23, с. 274-276.

32. Воробьёв Ю.Д., Огнев A.B., Чеботкевич JI.A., Торба Г.Ф. Магнитная анизотропия в трёхслойных плёнках Со/Си/Со индуцированная косвенным обменным взаимодействием. // «Новые магнитные материалы микроэлектроники», XVIII международная школа-семинар, Сборник трудов, М., МГУ, 2002, БЦ-24, с. 274-276.

33. Огнев A.B., Самардак A.C., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич JI.A. Эволюция би-вадратичного обменного взаимодействия в процессе и её влияние на плоскостную анизотропию. // «Плёнки 2002», Материалы международной научно - технической конференции «Тонкие плёнки и слоистые материалы», Москва, МИРЭА, 2002, ч. 2, с.141 - 143.

34. Чеботкевич JI.A., Воробьев Ю.Д., Самардак A.C., Огнев A.B. Влияние кристаллической структуры и межслоевой обменной связи на коэрцитивную силу Со/Си/Со плёнок. // ФТТ, т. 45, вып. 5, 2003, с. 864-867.

I

I

1

Список цитируемой литературы.

1. Alben R., Becker J. J. Chi M. C. Random anisotropy in amorphous ferromagnets. //

J. Appl. Phys., 1978, v. 49(3) p. 1653 - 1658

2. Иванов A.A. Влияние вида случайного потенциала доменной границы на магнитный гистерезис (закрепление на дефектах с конечным радиусом взаимодействия). // ФММ, 1980,49, вып. 5, с.954 - 964.

3. Дьячук П.П., Иванов А.А., Лобов И.В. Движение изгибающейся доменной

границы в непрерывном потенциальном поле дефектов. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1981,45, с. 1701 - 1703.

4. Herzer G. Grain size of coercivity and permeability in nanocrystalline ferromag-

nets. // IEEE Transactions on magnetics, 1990, v. 26, № 5, p. 1397 - 1402.

5. Ustinov V.V., Bebenin N.G., Romashev L.N., Minin V.I., Milyaev M.A., Del A.R.

and Semirikov A.V. Magnetoresistence and magnetization of Fe/Cr(001) super-lattices with noncollinear magnetic ordering. // Phys. Rev. B, 1996, v. 54, №22, p. 15958-15966.

6. Устинов В. В., Кирилова М. М., Лобов И. Д., и др. Оптические, магнитоопти-

ческие и гигантское магнитосопротивление сверхрешеюк Fe/Cr с неколли-неарным упорядоченинием слоев железа. // ЖЭТФ, 1996, т. 109, вып. 2, с. 477 - 494.

7. Исхаков Р. С., Комогорцев С.В., Мороз Ж. М., Шалыгина Е. Е. Характери-

стики магнитной микроструктуры аморфных и нанокристаллических ферромагнетиков со случайной анизотропией: Теоретические оценки и эксперимент. И Нисма в ЖЭТФ, 2000, т. 72, вып. 12, с. 872 - 878.

8. Nesbet R. К. Theory of spin-dependent conductivity in GMR materials. // IBM

Journal of Research & Devolopment, 1997,Vol. 42, No.l p.53.

9. Slonczewski J.C. Overview of interlayer exchange theory. // J. Magn. and Magn.

Mat., 1995, v. 150, p. 13-24

10. Torok K. J., Oredson H.N., Olson A.L. Local regions with biaxial anisotropy in thin polycrystalline ferromagnetic films with uniaxil anisotropy. // J. Appl. Phys., 1964, v. 35, № 12, p. 3469-3482.

11. Demokritov S. O. Biquadratic interlayer couplin in layerd magnetic systems. // J. Phys. D: Appl. Phys. 31,1998, p. 925 - 941.

РОС НАЦИОНАЛЬНАЯ i БИБЛИОТЕКА | С. Петербург I

ОЭ ЭМ яп J

\

12. Ustinov V.V., Milyaev M.A., Romashev, Krinitsina T.P., Kravtshov E.A. Inplane magnetisation anisotropy of FeCr superlattices with biquadratic exchange coupling. // J. Magn. Magn. Mater., 2001, v. 226 - 230, p. 1811 - 1813.

13. Bobo J.F., Kikuchi H., Redon O., Snoeck E., Piecuch M., White R.L. Pinhole in antiferromagnetically coupled multilayers: Effects on hysteresis relation to biquadratic exchange. // Phys. Rev. B, 1999, v. 60, №6, p. 4131 - 4141.

14. Gradmann U., Elmers H. J. Ferromagnetic order despite antiferromagnetic coupling through finite size spacer layers. // J. Magn. Magn. Mater. 1994, №137, p. 44-50.

15. Fuchs K. Conductivity thin metallic films. // Proc. Camb. Phil., 1938, v. 34, p.100 -108.

16. Ларсон Д.К. Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических плёнок и проволок. // Физика тонких плёнок, «Мир», М., 1973, т.VI, с. 97-170.

- •>» *</■• • Я * '

Воробьёв Юрий Дмитриевич АВТОРЕФЕРАТ

СТРУКТУРА, МАГНИТНЫЕ И МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЁНОК Зё-МЕТАЛЛОВ

Подписано в печать 25.09.2003 Формат 60x84 1/16. Усл-печ. л 2,09. Уч-изд. л. 2,11. Тираж 100 экз. Заказ № '

Издательство Дальневосточного университета 690950, г. Владивосток, ул. Октябрьская, 27

Отпечатано в типографии Издательско-полиграфического комплекса ДВГУ 690950, г. Владивосток, ул. Алеутская, 56

I

) ¡

I

I

! ) !

Í

i

£8291«

Введение

Глава 1.Технология получения поликристаллических, аморфных и многослойных плёнок.

1.1. Вводные замечания. Обоснование методов получения плёнок

1.2. Техника и технология получения тонких плёнок

1.2.1. Электронно-лучевое испарение

1.2.2. Магнетронное распыление

1.2.3. Реактивное магнетронное распыление

1.3. Методы экспериментальных исследований

1.3.1. Исследование химического состава.

1.3.2. Методы исследования морфологии поверхности

1.3.3. Определение толщины, плотности и шероховатостей плёнок

1.3.4. Методы Лоренцевой микроскопии

1.4. Методы магнитных и гальваномагнитных измерений

1.4.1. Магнитометрический метод

1.4.2. Измерение эффективной намагниченности

1.4.3. Методы измерение магнитосопротивления

1.4.4. Определение поля насыщения и энергии косвенной обменной связи

1.4.5. Измерение поля анизотропии и угловой дисперсии оси лёгкого намагничивания

1.5. Выводы

Глава 2. Структура и магнитные свойства поликристаллических плёнок

2.1. Введение

2.2. Закрепление доменной границы локализованными дефектами

2.3. Некоторые механизмы непрерывного закрепления доменных границ

2.3.1. Упорядоченное расположение дефектов. Модель плоской доменной границы

2.3.2. Хаотическое расположение дефектов. Модель плоской доменной границы

2.3.3. Хаотическое расположение дефектов. Струнная модель доменной границы.

2.3.4. Расчёт коэрцитивной силы

2.3.5. Разориентация осей лёгкого намагничивания

2.3.6. Межкристаллитные границы

2.3.7. Поры. Неровности тонких магнитных плёнок

2.4. Экспериментальное определение поверхностных и объёмных компонентов коэрцитивной силы •

2.4.1. Межкристаллитные границы и коэрцитивная сила

2.5 Выводы

Глава 3.3. Влияние технологии и структурных изменений на магнитные свойства плёнок

3.1. Введение

3.2. Морфология поверхности подложек и плёнок

3.3. Влияние химического травления на магнитные параметры плёнок

3.4. Расчёт закрепления доменной границы поверхностными неоднородностями

3.5. Параметры структуры наклонноосаждённых пленок №СоРе

3.6. Магнитная анизотропия и коэрцитивная сила наклонноосаждённых пленок №бзСо25ре

3.6.1. Зависимость магнитных свойств от угла осаждения

3.6.2. Расчёт поля наведённой анизотропии

3.7. Влияние отжига на структурные и магнитные параметры плёнок

3.7.1. Структура, рельеф поверхности и коэрцитивная сила отожжённых плёнок

3.7.2. Отжиг травленных плёнок

3.8. Выводы

Глава 4 Структура и магнитные свойства аморфных пленок Со-Т»

4.1. Введение

4.2. Определение источников магнитной анизотропии в аморфных плёнках Со"П

4.2.1. Химический состав и магнитные свойства пленок Со1-хТлх.

4.2.2. Анизотропия подвижных атомных пар

4.2.3. Магнитная анизотропия, обусловленная локальной анизотропией кластеров

4.3. Влияние технологических условий препарирования на структуру и магнитные параметры аморфных плёнок

4.3.1. Влияние угла распыления на величину магнитной анизотропии

4.3.2. Оценка компонент магнитной анизотропии

4.3.3. Влияние парциального давления Аг и напряжения смещения на величину магнитной анизотропии

4.3.4. Влияние низкотемпературного изохронного отжига на релаксацию структуры аморфных плёнок Со"П

4.4. Влияние термомагнитного отжига на магнитную анизотропию аморфных плёнок

4.4.1. Изотермический отжиг аморфных плёнок

4.4.2. Влияние температуры термомагнитного отжига на наведённую анизотропию

14.5. Выводы

Глава 5. Магнитные и гальваномагнитные свойства плёнок Со/Си/Со

5.1. Введение

5.2. Магниторезистивный эффект и межслоевое взаимодействие в пленках Со/Си/Со

5.2.1. Межслоевое взаимодействие и магниторезистивный эффект в плёнках Со/Си/Со

5.2.2. Оценки величины связи

5.2.3. Зависимость магниторезистивного отношения от толщины прослойки

5.2.4. Билинейная и биквадратичная связь в Со/Си/Со

5.2.5. Изотермический отжиг

5.3. Корреляция магниторезистивного эффекта, поля анизотропии и коэрцитивной силы

5.3.1. Влияние отжига на кристаллическую и магнитную структуру плёнок Со/Си/Со

5.3.2. Зависимость коэрцитивной силы плёнок Со/Си/Со от толщины немагнитной прослойки

5.3.3. Оценки поля коэрцитивной силы обменносвязанных плёнок 211 ^ 5.4. Влияние связи между ферромагнитными слоями на магнитную анизотропию

5.5. Влияние анизотропных эффектов на гигантское магнитосопротивление

5.5.1. Влияние толщины слоёв на магнитосопротивление

5.5.2. Анизотропный магниторезистивный эффект в Со/Си/Со плёнках

5.6. Влияние шероховатостей на магнитосопротивление.

5.7. Выводы

Актуальность работы.

Современные технологии позволяют создавать плёнки с совершенной кристаллической, поликристаллической или аморфной структурой и конструировать на их основе принципиально новые магнитные материалы: магнитные мультислойные структуры и сверхрешётки. Тонкие магнитные плёнки и многослойные структуры на их основе обладают рядом особенностей, полностью отсутствующих или слабо выраженных в массивных материалах. Недавнее открытие гигантского магнитосопротивления в сверхрешётках инициировало большой интерес к разработкам спинтронных наноприборов, основанных на управлении спинов отдельных электронов и работам по созданию магнитных носителей сверхвысокой плотности магнитной записи. Уже сейчас новые технологии с применением электронно-лучевой литографии позволяют создавать магнитные столбики диаметром 10 нм на расстоянии 40 нм в немагнитной матрице, обеспечивая плотность вертикальной записи до 64 Гбит/см2. Достигнутый на данный момент прогресс в создании низкоразмерных магнитных структур делает реальными и другие их применения, более близкие к тем задачам, которые традиционно выполняет полупроводниковая микроэлектроника. В некоторых случаях использование спинового транзистора позволит продвинуться дальше по пути миниатюризации электронных устройств и средств магнитной записи информации.

Поликристаллические, нанокристаллические и аморфные высокодисперсные плёнки занимают значительное место в общем объёме физических исследований и технических разработок магнитных материалов. Это связано с относительной простотой их изготовления и со сложностью и разнообразием структурных характеристик, определяемых высокой степенью неравновесности структуры. Последнее, во многом, создаёт трудности в установлении связи между структурой и магнитными свойствами.

Важнейшие служебные свойства магнитных плёнок: коэрцитивная сила (Нс), поле наведённой магнитной анизотропии (//*) и магниторезистивное отношение (Др/р5) являются структурно-чувствительными характеристиками. Изучение природы анизотропии и коэрцитивной силы - одна из фундаментальных проблем физики магнитных явлений, поскольку эти характеристики определяют такие магнитные свойства как доменную структуру, процессы перемагничивания и пр., а также задают область практического применения магнитных материалов. Этой проблеме посвящено большое количество работ, уже достигнут значительный прогресс в понимании влияния кристаллической структуры и её дефектов на магнитные свойства. Однако развитие и совершенствование технологии и методов исследований позволяет получать новые магнитные материалы и подробнее изучать их свойства. Поэтому исследование влияния структуры и технологии получения на магнитные свойства были и остаются актуальными.

Из литературных источников и проведённых ранее нами исследований однослойных поликристаллических и аморфных плёнок 3<1-металлов стало известно, что в плёнках действует несколько причин анизотропии, как конденсационного происхождения (разных в различных материалах), так и возникающих вследствие внешних воздействий (травление, отжиг). Эти анизотропии имеют различные области пространственной локализации и характеризуются амплитудной и угловой дисперсией. Макроскопическая анизотропия является результатом усреднения локальных анизотропий. Первоначальное изучение многослойных плёнок с поликристаллическими ферромагнитными слоями, разделёнными немагнитной прослойкой, показали, что в таких плёнках из-за эффектов связи формируется сложная магнитная анизотропия. Поэтому на определённом этапе выполнения диссертации возникла необходимость исследования природы магнитной анизотропии в многослойных плёнках, обусловленной действием как структурных факторов, так и эффектов магнитостатической и обменной связи между ферромагнитными слоями, разделёнными немагнитной прослойкой.

В имевшихся к моменту написания диссертации теоретических и экспериментальных работах по исследованию многослойных плёнок с гигантским магнитосопротивлением основное внимание исследователей было направлено на решение двух основных проблем: во-первых, выяснению природы осцилляций межслоевого взаимодействия при вариации толщины немагнитной прослойки в различных многослойных структурах, и, во - вторых, изучению физических механизмов усиления магнитосопротивления в многослойной структуре ферромагнетик / немагнитный металл. Значительно меньше внимания уделено исследованиям влияния связи между ферромагнитными слоями на интегральные и локальные магнитные свойства многослойных плёнок. Было известно лишь несколько экспериментальный работ, в которых показано, что при изменении толщины прослойки осциллируют также магнитооптический эффект, магнитная анизотропия и температура Кюри. В этот начальный период была мало исследована доменная структура многослойных плёнок, и практически ничего не было известно про осцилляции коэрцитивной силы. В связи со сказанным возникла необходимость выяснения природы осцилляций поля анизотропии и коэрцитивной силы, что требовало проведение комплексных сравнительных исследований структуры однослойных и многослойных плёнок Зс1-металлов, их доменной структуры и структурно-чувствительных магнитных характеристик и установление корреляции с типом и величиной связи.

Исходя из нерешённых проблем была сформулирована основная цель диссертации: выяснение корреляции структурных и размерных механизмов формирования анизотропии и коэрцитивной силы в поликристаллических, аморфных и многослойных плёнках.

КРАТКОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

В первой главе описаны технологии получения плёнок, методики исследования параметров структуры (толщины, химического состава, шероховатостей подложек и плёнок), методы исследования кристаллической и магнитной структур, а также методы измерения магнитных и гальваномагнитных свойств. Дано описание экспериментального оборудования и методик наблюдения доменной структуры, структуры доменных границ и процессов пере-магничивания в просвечивающем электронном микроскопе методами Лоренцевой микроскопии. Показана перспективность применения метода магнетронного распыления для получения магнитных моно- и многослойных ферромагнитных плёнок и плёнок сложного химического состава. Приведены примеры получения плёнок поликристаллических, аморфных и многослойных плёнок. Установлено, что при реактивном магнетронном распылении в атмосфере азота возможно получение плёнок с индукцией насыщения большей, чем в плёнках чистого железа. Увеличение магнитной индукции плёнок обусловлено образованием высокомагнитной фазы Fei6N2.

Во второй главе представлены результаты экспериментального определения вкладов в коэрцитивную силу от дефектов, создающих квазинепрерывный потенциальный рельеф для доменной границы (Но), и от закрепления доменной границы на локализованных дефектах (Но). Приведён расчёт удельной дисперсии силы взаимодействия доменной границы с дефектами поликристаллических плёнок. Получены выражения коэрцитивной силы для различных моделей закрепления доменной границы на дефектах с размерами много меньшими ширины доменной границы. Расчёты удельной дисперсии силы для конкретных моделей дефектов позволили выявить три типа явной зависимости вкладов в коэрцитивную силу от толщины плёнки d: Нс ~ - для шероховатостей поверхности и Нс ~ - для несквозных пор. Для сквозных дефектов - дисперсии осей легкого намагничивания кристаллитов и межкристаллитных границ Н с не зависит от d. Предполагая, что взаимодействие доменной границы с каждым типом дефектов независимо получен закон сложения коэрцитивных сил. Представлены результаты экспериментального определения вкладов в коэрцитивную силу от поверхностных дефектов и дефектов, расположенных в объёме плёнки.

В третьей главе исследуется влияние изменения плотности и распределения поверхностных и объёмных дефектов на поле анизотропии и коэрцитивную силу плёнок NÍ63Co2sFei2. Для увеличения степени неравновесности плёнки осаждались на положеки при комнатной температуре. Изменение соотношений размеров и распределения дефектов в объёме плёнки осуществлялось отжигом и наклонным напылением, а изменение рельефа поверхности - выбором подложек и химическим травлением. Приведены результаты электронномикроскопических исследований шероховатостей различных видов подложек и средние размеры параметров шероховатостей.

Измерения коэрцитивной силы плёнок, осаждённых на различного рода подложки, показывают, что минимальное значение коэрцитивной силы наблюдается на подложках с минимальными шероховатостями. При химическом травлении поверхности плёнки резко возрастает Нс и изменяются других магнитные характеристики: поле анизотропии (Нь), угловая дисперсия анизотропии (ас>о) и ширина линии ферромагнитного резонанса (АН). Эксперимент показывает различное поведение структурных преобразований и изменение магнитных свойств от соотношения двух размерных параметров: толщины плёнок (1 и размера зерна £> = 2Я. После отжига в вакууме плёнок разной толщины, полученных при нормальном осаждении, наблюдаются две различные зависимости Нс(Т<тк)- Для плёнок с (1 > 30 нм на кривой #с(Тотж) наблюдается минимум в области 200°С, а для плёнок с (1 < 20 нм коэрцитивная сила монотонно возрастает.

Электронно-микроскопические исследования кристаллической структуры и морфологии поверхности позволили выявить эффект сглаживания поверхности плёнок при отжиге, а также особенности при рекристаллизации плёнок, обусловленные размерными эффектами. В процессе отжига тонких плёнок с размером зерна, меньшим толщины плёнки (И <¿<20 нм), в результате роста зерна происходит образование сквозных микропор, что и приводит к появлению дополнительного объёмного вклада - Ну3. Различное поведение //с(Тотж) объясняется конкурирующим влиянием поверхностных Нв и объёмных механизмов Ну закрепления доменной границы. В толстых плёнках преобладают объёмные механизмы, связанные с ростом зерна, в более тонких - поверхностные. Эффект влияния сглаживания поверхности на магнитные параметры особенно заметен при отжиге химически травленных и наклоннооса-ждённых плёнок, в которых происходит заметное уменьшение поверхностного вклада Н5. Конкуренция объёмных и поверхностных механизмов приводит к частичной или полной компенсации возрастания коэрцитивной силы при отжиге.

В четвертой главе представлены результаты исследования влияния технологических условий получения и концентрации "Л на структуру и магнитные параметры аморфных плёнок СоТл. Показано, что уменьшение размера зерна при переходе в аморфное состояние значительно уменьшает коэрцитивную силу.

При увеличении процентного содержания "П в Со"П плёнках намагниченность линейно уменьшается и при содержании Т1 > 25 ат.% плёнки становятся слабоферромагнитными. Установлено, что аморфное состояние наблюдается при концентрации титана от 14 до 22 ат.%. В этой же области концентраций наблюдается минимум коэрцитивной силы. Интегральное поле анизотропии в этой области концентрации также резко уменьшается. Для исследования были выбраны плёнки Co86Tii4, имеющие максимальное значение Нк в области концентраций, соответствующих аморфному состоянию.

Установлено, что значительное влияние на величину наведенной магнитной анизотропии оказывает парциальное давление аргона и напряжение смещения, подаваемое на подложку. Электронно-микроскопическими исследованиями показано, что этот эффект не связан с крупномасштабными изменениями в структуре, поскольку структурные неоднородности плёнок, полученных при разном парциальном давлении аргона, но при одинаковых углах осаждения, идентичны. Установлено, что причина большого различия Ки плёнок, полученных при разном парциальном давлении аргона, связана с типом кластеров, образовавшихся в плёнке при распылении. В зависимости от энергии распыляемых атомов в кобальтсодержа-щих аморфных плёнках могут образовываться кластеры разной симметрии. Температурные исследования намагниченности плёнок, полученных при давлении аргона 5.510"4 Topp, позволили выявить термомагнитный гистерезис, который косвенно свидетельствует о наличии в структуре кластеров тригональной симметрии, имеющих большую локальную магнитную анизотропию. Образование кластеров тригональной симметрии при низкотемпературном изотермическом отжиге приводит к росту интегральной магнитной анизотропии. Образование кластеров тригональной симметрии подтверждено прямым методом - анализом картин микродифракции, на которых при микрофотометрировании выявляется ступенька интенсивности дифракционного кольца, соответствующего ГПУ фазе кобальта.

Рассчитана вероятность образования кластеров тригональной симметрии в зависимости от парциального давления Аг, расстояния от мишени и напряжения смещения. Показано, что эта вероятность будет максимальной, если энергия распыляемых атомов мишени при попадании их на подложку будет соизмерима с энергией активации процесса преобразования кластеров октаэдрической симметрии, соответствующей ГЦК фазе, в кластеры тригональной симметрии.

Методом высокоразрешающей электронной микроскопии в нормально осажденных плёнках выявлены структурные неоднородности двух типов: образования размером 1.2 -5-1.6 нм или кластеры и цепочки из трех-четырех таких кластеров. Для наклонноосаждённых аморфных плёнок кроме указанных неоднородностей, характерны области резко отличающиеся по контрасту - области пониженной плотности размером порядка 12 нм. Анализ Фурье- спектров, полученных при обработке электронно-микроскопических изображений, позволил определить периоды структурных неоднородностей, коэффициент их анизотропии и дисперсию распределения.

По кинетическим зависимостям магнитной анизотропии, полученным после термомагнитного отжига при Т^ж < Гкр в поле, перпендикулярном первоначальной оси легкого намагничивания, установлено, что в плёнках С0-Т1 существуют "отжигаемые" и "неотжигаемые" источники анизотропии. Отжигаемая компонента связана с переориентацией атомных пар в окрестности свободных объёмов. Неотжигаемая компонента обусловлена образованием низкосимметричных кластеров, областей пониженной плотности и микропор. Приведены оценки коэрцитивной силы аморфных плёнок, полученные с использованием модели случайной локальной магнитной анизотропии при наличии макроскопической анизотропии.

В пятой главе представлены результаты исследования магнитных и магниторезистив-ных свойств плёнок с ферро- и антиферромагнитносвязанными слоями Со(6нм)/Си(х)/Со(6нм). Приводятся результаты электронно-микроскопических исследования кристаллической структуры, а также результаты исследования доменной структуры методами Лоренцевой микроскопии. Исследовано влияние типа связи и структурных изменений при отжиге многослойных плёнок на величину гигантского магнитосопротивления и установлены корреляционные соотношения со статическими магнитными свойствами плёнок.

Из анализа магнитных и магниторезистивных кривых трёхслойных плёнок Со/Си/Со с различной толщиной немагнитной прослойки следует, что вид кривых магнитного и магни-торезистивного гистерезиса в значительной степени зависит от типа связи. При ферромагнитной связи между слоями каждый слой кобальта имеет одну ось лёгкого намагничивания, и магнитные параметры плёнок с ферромагнитносвязанными слоями практически не отличаются от однослойных плёнок такой же толщины. Существенные изменения параметров магнитного и магниторезистивного гистерезиса плёнок Со/Си/Со наблюдаются только при антиферромагнитной связи между слоями кобальта. Процесс перемагничивания плёнок с антиферромагнитной связью характеризуется изотропными петлями гистерезиса, а продольный и поперечный магниторезистивные эффекты становятся положительными. При этом коэрцитивная сила и магниторезистивное отношение плёнок с антиферромагнитной связью возрастают более, чем на порядок, по сравнению с плёнками Со/Си/Со с ферромагнитной связью и однослойными плёнками Со. Высокая остаточная намагниченность исследуемых плёнок Со/Си/Со свидетельствует о неполном антипараллельном выстраивании намагниченностей в соседних слоях при толщинах прослойки, соответствующих максимумам антиферромагнитного взаимодействия. Электронно-микроскопическими наблюдениями доменной структуры определено, что в нулевом внешнем поле доменная структура содержит домены как с параллельным, так и антипараллельным направлением намагниченностей в слоях.

Измеряемая в плёнках эффективная антиферромагнитная (отрицательная) связь (^фф), которая способствует антипараллельной ориентации намагниченностей в слоях, является результатом конкурирующего действия нескольких видов положительных (ферромагнитных) связей, возникающих из-за магнитостатических и обменных взаимодействий между слоями.

Установлено, что в исследованных плёнках Со/Си/Со величина эффективной антиферромагнитной связи на два порядка больше значения макроскопической магнитной анизотропии, но сравнима со значением локальной магнитной анизотропии. Этим объясняется сильное влияние антиферромагнитной связи на процессы перемагничивания. Оценки величины эффективной антиферромагнитной связи по магнитным и магниторезистивным кривым с использованием данных о морфологии поверхности подложек дают основания заключить, что антиферромагнитная связь может подавляться положительными связями из-за шероховатостей слоев и связью через микроотверстия в немагнитной прослойке при их критической плотности икр> 5-10 м" .

Обнаружено, что при варьировании толщины прослойки наблюдаются осцилляции связи, которые приводят не только к известному ранее осцилляционному поведению магнитосо-противления, но и вызывают осцилляции поля анизотропии и, соответственно, коэрцитивной силы.

Установлено, что магниторезистивное отношение и коэрцитивная сила связаны линейной зависимостью с полем насыщения. В свою очередь коэрцитивная сила связана линейной зависимостью с полем локальной анизотропии, что позволяет записать Нс =Н0 + рНу, где Но — коэрцитивная сила, обусловленная структурными дефектами с размерами г « 8, рассмотренными в главе 2, Д/ - коэрцитивная сила, обусловленная антиферромагнитной связью между слоями, р - коэффициент пропорциональности порядка единицы.

Установлено, что во всех исследованных плёнках Со/Си/Со с антиферромагнитной связью после конденсации присутствует биквадратичная компонента связи (Уг), способствующая 90° ориентации намагниченностей слоев. Аргументом, доказывающим присутствие би-квадратичной компоненты косвенной обменной связи между слоями, является нелинейная зависимость Ар/р = /(/и2). По результатам экспериментальных измерения 3\ и Зг в зависимости от толщины прослойки и результатам, полученным из аппроксимации кривых намагничивания, установлено, что величина биквадратичной связи является функцией билинейной связи 32 - /(•/,) и обычно Зг ~ 0.171.

Электронно-микроскопическими наблюдениями за изменениями структуры доменов и доменных границ установлено, что в результате отжига в плёнках с различной толщиной прослойки происходит изменение типа связи между слоями. В плёнках с антиферромагнитной связью наблюдается переход от антиферромагнитной связи к ферромагнитной, при этом изменяются соотношения между величинами 3\ и Зг. Кинетические параметры этого перехода зависят от толщины немагнитной прослойки. Присутствие биквадратичной связи проявляется на спектрах ФМР, а также на поведении кривых намагничивания.

Установлено, что в плёнках, полученных при одинаковых технологических условиях, но с разной толщиной прослойки, наблюдается существенно различное поведение магниторези-стивного отношения от температуры отжига. Эти отличия не могут быть объяснены уменьшением удельного сопротивления или структурными изменениями. Электронно-микроскопическими исследованиями не выявлено каких - либо существенных отличий в структуре как в зависимости от толщины прослойки, так и в процессах рекристаллизации при отжиге плёнок. С другой стороны, в этих же образцах после отжига, с использованием атомной силовой микроскопии установлено сглаживание поверхности плёнок. Очевидно, что увеличение магниторезистивного отношения связано с изменениями структуры на атомном уровне. Из анализа известных механизмов усиления магнитосопротивления [354] и механизмов биквадратичной связи [393,394,446] сделан вывод, что увеличение магниторезистивного отношения при относительно низкой температуре отжига происходит по двум причинам: во - первых, из-за усиления эффективной антиферромагнитной связи, обусловленного уменьшением влияния магнитостатической положительной связи (связи типа «апельсиновой кожуры») в результате сглаживания поверхности; во-вторых, из-за усиления моттовского спин-зависимого рассеяние электронов проводимости на примесях ферромагнитных металлов в немагнитной прослойке и немагнитных металлов ферромагнитных слоях, перемещённых в результате взаимодиффузии через границу раздела в пределах 1-3 монослоёв [354].

Второй механизм согласуется с микроскопическим механизмом биквадратичной связи, основанным на модели свободных спинов [394] и механизмом биквадратичной связи через микроотверстия в прослойке [447]. Доказательством применимости этих моделей является зависимость магниторезистивного отношения от диффузионных процессов, наблюдаемых при изохронном и изотермическом отжиге. Процесс атомной межслоевой диффузии при отжиге приводит к постепенной деградации Си прослойки, в первую очередь, по межкристал-литным границам. Эта деградация идёт путём образования ферромагнитных мостиков, которые приводят к локальной ферромагнитной связи на площади ~ Ihm . С увеличением времени и температуры отжига плотность (и площадь) микроотверстий растёт, что в конечном итоге, приводит к подавлению антиферромагнитной связи между слоями кобальта в макроскопическом смысле [282] и уменьшению Ap/ps. Некоторым подтверждением диффузионного перемешивания слоёв Со и Си является линейная зависимость приращения проводимости слоев от f .

Полученные результаты показывают, что изменение доменной структуры и других магнитных свойств плёнок Со/Си/Со с антиферромагнитой связью между слоями, в значительной большей степени зависят от величины антиферромагнитной связи, чем от структурных изменений. В свою очередь, величина связи зависит от структурных изменений на атомном уровне, которые не выявляются обычными методами электронной микроскопии. С другой стороны, наблюдения доменной структуры методами Лоренцевой микроскопии позволяют надёжно выявлять тип связи и её изменения.

Учитывая технологические особенности процесса конденсации, изотропность петель магнитного гистерезиса плёнок с антиферромагнитной связью невозможно объяснить на основе представлений об одноосной анизотропии каждого из слоёв. В работах [5, 6] было показано, что в мультислоях Fe/Cr с биквадратичным обменом формируется анизотропия четвёртого порядка. В плёнках Со/Си/Со наличие многоосной анизотропии подтверждено данными ФМР и анизотропией процессов намагничивания. Тип анизотропии и её трансформации при изотермическом отжиге были исследованы по угловым зависимостям кривых относительной намагниченности I/Is =flji, ф) [410].

Двухосная анизотропия в трёхслойных плёнках Со/Си/Со является следствием проявления биквадратичной связи. Двухосную анизотропию в многослойных плёнках Со/Си/Со можно рассматривать как особый вид обменной анизотропии, которая возникает в результате конкуренции билинейной связи и прямого обменного взаимодействия. Основным структурным источником двухосной анизотропии в исследованных плёнках Со/Си/Со являются микроотверстия в прослойке.

В результате анализа влияния размерных эффектов (толщин слоёв) в плёнках Со/Си/Со показано, что удельное сопротивление и анизотропия магнитосопротивления имеют противоположные тенденции поведения при уменьшении толщины слоёв кобальта. Этот эффект обусловлен ограничением длины свободного пробега электронов поверхностями плёнки.

Используя экспериментальные зависимости электросопротивления от толщины слоёв кобальта и теорию Фукса [469], из параметров линейной аппроксимации определена средняя длина свободного пробега электронов Хер и удельное сопротивление бесконечно толстой плёнки ро. Данные зависимости длины свободного пробега электронов от толщины слоёв показывают, что в исследуемых плёнках длина свободного пробега электронов соизмерима с толщиной плёнки, поэтому, когда X<¡p < da» наблюдается возрастание удельного сопротивления. С другой стороны, Хер » dcu, и это приводит к квантоворазмерным эффектам - осцил-ляциям гигантского магнитосопротивления, коэрцитивной силы и поля анизотропии.

На защиту выносятся следующие результаты и положения.

1. Результаты анализа влияния размерных и квантоворазмерных эффектов, обусловленных вариациями толщины магнитных и немагнитных слоёв и морфологии поверхности на критические поля (коэрцитивную силу, поле магнитной анизотропии, поле насыщения) и магниторезистивное отношение в однослойных и многослойных плёнках.

2. Результаты исследования структурных превращений и кинетические параметры процессов, определяющих эти превращения при осаждении и последующем отжиге поликристаллических моно- и многослойных ферромагнитных плёнок, полученных магнетронным распылением, а также закономерности структурной релаксации в аморфных плёнках на основе кобальта.

3. Результаты исследования зависимости коэрцитивной силы, эффективной магнитной анизотропии, локальной магнитной анизотропии, поля насыщения и магниторезистивного эффекта от материала плёнки, технологии, структурных дефектов и косвенной обменной связи между ферромагнитными слоями. Установление линейной зависимости между магни-торезистивным отношением, коэрцитивной силой, магнитной анизотропией и полем насыщения.

4. Вывод о том, что осцилляционное поведение поля анизотропии и коэрцитивной силы плёнок Со/Си/Со обусловлено осцилляциями косвенного обменного взаимодействия между слоями. Антиферромагнитная связь уменьшает радиус ферромагнитной корреляции в ферромагнитных слоях и приводит к мелкодоменному разбиению магнитной структуры.

5. Вывод о том, что биквадратичная обменная связь в поликристаллических трёхслойных плёнках индуцирует неизвестную раннее двухосную магнитную анизотропию, которая формируется при конденсации или в результате диффузионных процессов при последующем отжиге.

Основные результаты работы сводятся к следующим выводам:

1. Показана перспективность применения метода магнетронного распыления для получения магнитных моно- и многослойных ферромагнитных плёнок и плёнок сложного химического состава. Установлено, что при реактивном магнетронном распылении в атмосфере азота возможно получение плёнок с индукцией насыщения большей, чем в плёнках чистого железа. Увеличение магнитной индукции плёнок обусловлено образованием высокомагнитной фазы Fei6N2. Разработаны методики и технические средства для наблюдения доменной структуры, структуры доменных границ и процессов перемагничивания в просвечивающем электронном микроскопе методами Лоренцевой микроскопии.

2. Предложены модели и получены аналитические выражения дисперсии силы взаимодействия доменной границы с основными дефектами поликристаллических плёнок. Проведен критический анализ некоторых моделей закрепления доменной границы, применяемых для расчета коэрцитивной силы и рассмотрено взаимодействие доменной границы с дефектами, размер которых мал по сравнению с её шириной доменной границы. Выявлены три типа явной зависимости вкладов в коэрцитивную силу от толщины пленки d: Нс ~ бГ4/3 для шероховатостей поверхности; Нс ~ d~1,z для несквозных пор; Hc*j{d) для дисперсии осей легкого намагничивания кристаллитов и межкристаллитных границ. Предложены методики экспериментального определения компонент коэрцитивной силы. В поликристаллических плёнках сплавов ферромагнитных металлов с плоскостной анизотропией экспериментально определены компоненты коэрцитивной силы, обусловленные взаимодействием доменной границы с локализованными дефектами и дефектами, создающими квазинепрерывный потенциальный рельеф. Показано, что основной вклад в закрепление доменной границы дают дефекты, имеющие размеры меньше ширины доменной границы и создающие квазинепрерывный потенциальный рельеф: межкристал-литные границы, поры, шероховатости поверхности.

3. Проведено систематическое исследование влияния шероховатостей подложек и осаждённых на них ферромагнитных плёнок. Экспериментально установлено, что различные виды подложек, используемые при конденсации ферромагнитных плёнок, имеют развитую поверхность. Если параметры шероховатости подложек становятся соизмеримы с толщиной плёнки, то они оказывают существенное влияние на магнитные свойства: анизотропию, коэрцитивную силу, ширину линии ферромагнитного резонанса, рябь намагниченности и др. Установлено, что плёнка металла сглаживает рельеф поверхности подложек даже при низкой температуре подложки и малой скорости осаждения. Показано, что при наклонной конденсации в тонких плёнках формируется анизотропный рельеф поверхности. Параметры рельефа зависят от толщины плёнки и скорости осаждения.

Отжиг плёнок приводит к рекристаллизации, результат которой зависит от размерных факторов - соотношения толщины плёнки и размера зерна. Установлено, что когда размер зерна становится больше толщины плёнки наблюдается коалесценция избыточных вакансий конденсационного происхождении, что приводит к образования сквозных пор. Установлено, что отжиг приводит к перераспределению объёмных и поверхностных вкладов в коэрцитивную силу. Возрастает роль объёмных механизмов закрепления доменных границ, связанных с ростом размера зерна и изменением структуры границ. Одновременно происходит уменьшение роли закрепления доменных границ за счёт уменьшения шероховатостей поверхности. Результирующая коэрцитивная сила определяется конкуренцией поверхностных и объёмных механизмов закрепления границ. Полученные теоретические оценки коэрцитивной силы и магнитной анизотропии, проведённые с использованием данных электронно-микроскопических исследований кристаллической структуры, позволяют сделать вывод, что основным структурным дефектом, определяющим коэрцитивную силу поликристаллических плёнок, являются болынеугловые межкристаллитные границы.

Установлено, что пленки Со-Т1 при содержании 11 в интервале 14 -г- 22 ат.% являются аморфными. Методом высокоразрешающей электронной микроскопии с последующей Фурье-обработкой выявлены структурные неоднородности аморфных пленок: кластеры, "цепочки" из кластеров, области пониженной плотности материала и микропоры. Экспериментально установлено, что в аморфных плёнках на основе Со, полученных магне-тронным распылением, присутствуют низкосимметричные тригональные кластеры, состоящие из атомов Со. Максимальная вероятность образования таких кластеров зависит от парциального давления рабочего газа, расстояния от мишени до подложки, величины напряжения, подаваемого на мишень, и напряжения смещения. Установлено, что величина магнитной анизотропии максимальна при давлении аргона Рат = 5.5-10"* мм. рт. ст. С увеличением угла осаждения в аморфных плёнках наблюдается увеличение анизотропии формы и распределения структурных неоднородностей. Расчётами показано, что при данном давлении энергия активации образования тригональных кластеров соизмерима с энергией падающих атомов Со. В процессе термомагнитного отжига выявлены две составляющие магнитной анизотропии: отжигаемая и неотжигаемая, обусловленные различными источниками наведённой магнитной анизотропии. Проведенные расчёты вероятности образования тригональных кластеров и их концентрации показали, что увеличение константы магнитной анизотропии при изотермическом отжиге, обусловлено релаксацией тригональных кластеров. Экспериментально выделены компоненты наведённой магнитной анизотропии, обусловленные различными структурными дефектами: направленным упорядочением атомных пар, анизотропным распределением низкосимметричных кластеров и областей пониженной плотности, и микропор. Проведены их теоретические оценки и показано хорошее соответствие с экспериментальными данными.

6. Из анализа магнитных и магниторезисгивных кривых гистерезиса установлено, что при изменении толщины прослойки в плёнках Со/Си/Со наблюдаются осцилляции магнитных параметров, вызываемые антиферромагнитной связью между слоями кобальта. Оценки величины антиферромагнитной связи показали, что её величина на два порядка больше значения макроскопической магнитной анизотропии, но сравнима со значением локальной анизотропии. Антиферромагнитная связь может подавляться ферромагнитной связью через микроотверстия в немагнитной прослойке при их плотности пкр> 5-1015 м"2 и ферромагнитной связью из-за шероховатостей ферромагнитных слоёв. Магниторезистивное отношение, коэрцитивная сила и поле анизотропии плёнок Со/Си/Со связаны линейной корреляционной зависимостью с полем насыщения. Показано, что нелинейная зависимость магниторезистивного отношения от квадрата относительной намагниченности обусловлена биквадратичным взаимодействием. Это взаимодействие не имеет фундаментальной природы и является результатом конкуренции ферромагнитной связи через микроотверстия в немагнитной прослойке и антиферромагнитной связи. Введение немагнитной прослойки между слоями кобальта коренным образом влияет на структуру доменных границ и доменное разбиение. Изменение типа доменных границ позволяет контролировать вид связи между слоями.

7. Осциллирующее поведение коэрцитивной силы при изменении толщины прослойки обусловлено изменением средней локальной анизотропии, которая индуцируется антиферромагнитной связью между слоями. Изотропность петель магнитного гистерезиса трёхслойных плёнок Со/Си/Со с антиферромагнитной связью обусловлена формированием в слоях макроскопической двухосной анизотропии. Физическим источником двухосной анизотропии является биквадратичная составляющая анитиферромагнитной связи. Двухосная анизотропия формируется в процессе осаждения или последующего отжига.

Благодарности

Автор глубоко признателен профессору В. Г. Лифшицу и профессору JI. А Чеботкевич за неоценимую помощь и постоянное внимание, при выполнения настоящего исследования. Автор благодарит своих соавторов: профессора В. Э. Осуховского, профессора А.А Иванова, к.ф.-м.н. Слабженникову, к.ф.-м.н. И. H Буркову, к.ф.-м.н., Писаренко И. В., к.ф.-м.н. Корнилова А.В, аспиранта Огнева A.B. и аспиранта Самардак А. С. за постановку и проведение совместных экспериментов и обсуждения результатов работы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертационной работе проведено экспериментальное исследование влияния технологии и структуры на основные служебные свойства ферромагнитных поликристаллических, аморфных и многослойных плёнок с антиферромагнитной связью между слоями.

1. Абакумов Б.М. Одноосная анизотропия тонких пермаллоевых плёнок. // В кн. Физикамагнитных плёнок. Иркутск, 1968, с.47 51.

2. Абакумов Б.М., Михалёва H.A. Сравнительное исследование физических свойств пермаллоевых плёнок, осаждённых в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. // В кн. Физика магнитных плёнок. Иркутск, 1968, с. 52 56.

3. Абакумов Б.М., Янкина H.A., Шумков В.П. Влияние термомагнитной обработки на одноосную анизотропию пермаллоевых плёнок. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1967, т. 31, № 3, с. 380-382.

4. Абакумов В.М., Кобелев В.В., Саланский Н.М., Добротин Ю.Н., Страхов В.Г., Шишков

5. А.Г. Проект стандарта на измерения статических свойств тонких магнитных плёнок. // В кн. Аппаратура и методы исследования тонких магнитных плёнок. Красноярск, 1969, с. 5 -12.

6. Антонов Л.И., Ветер В.В., Юдина Л.А., Козодой Г.Г., Фёдорова Э.Л., Юдин В.В. Магнитная анизотропия и распределение дефектов в тонких ферромагнитных плёнках. // ФММ, 1977, т. 43, вып. 3, с. 518 525.

7. Барьяхтар В.Г., Попов В.А. К теории доменной структуры ферромагнетиков. // ФММ.1972, т. 34, вып. 1, с. 5-11.

8. Бауэр Е. Рост ориентированных плёнок на аморфных поверхностях. // В кн. Монокристаллические плёнки. М. Мир, 1966, с. 58 90.

9. Безруков A.B., Кислов В.А., Левин Ю.Б., Серебряков A.B. Влияние состояния поверхностина перемагничивание аморфных сплавов. // Металлофизика. 1986, т. 8, № 8, с. 67 69.

10. Блохин М.А. Методы рентгеноспектрального анализа. // М, ГИФМЛ, 1959, 500 с.

11. Блохин М.А. Физика рентгеновских лучей. // М. ГИТТЛ, 1957,195 с.

12. Бозорт Р. Ферромагнетизм. // М., ИЛ, 1956, с. 587

13. Болтушкин A.B., Федосюк В.М., Касютич О.И. Влияние отжига на магнитные свойствамультислойных Со/Си и CoPd пленок. // ФММ, вып. 6,1993, с.58-61.

14. Бондаренко Г.В., Русова С.Г. Рентгеноспектральный анализ ТМП. В кн. Аппаратура иметоды исследования тонких магнитных плёнок. Красноярск, 1968, с. 44 46.

15. Буравихин В.А., Домышев В.А., Егоров В.А., Ащенков В.Т., Сидоренко Л.М. Магнитоупругие свойства железо-кобальтовых плёнок. // В кн. Физика магнитных плёнок. Улан-Удэ, 1974, с. 109 -110.

16. Буравихин В.А., Попов В.И. Влияние температуры подложки и термомагнитной обработки на магнитные свойства ферромагнитных плёнок. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1965, т.29, № 4, с. 677 -681.

17. Буравихин В.А., Попов В.И. Применение электронного микроскопа просвечивающеготипа для изучения магнитной структуры ферромагнитных плёнок. // В кн. Физика магнитных плёнок. Иркутск, 1967, вып. 1, с. 91 -112.

18. Буравихин В.А., Христосенко B.C. О применении гальваномагнитных эффектов к измерению некоторых магнитных характеристик ферромагнитных плёнок. // В сб. "Физика магнитных плёнок" под ред. Л.В. Киренского, Иркутск, 1967., 302 с.

19. Устинов В.В., Кирилова М. М., Лобов И. Д., и др. Оптические, магнитооптические и гигантское магнитосопротивление сверхрешеток Fe/Cr с неколлинеарным упорядочени-нием слоёв железа. ЖЭТФ, 1996, т. 109, вып. 2, с. 477 494.

20. В. М. Федосюк, О.И. Косютич, Н. Н. Козич. Магнитные свойства мультислойных Со/Сипленок. // ФММ, 1991, №12, с. 43-49

21. Валиев Р.З., Герцман В.Ю., Кайбышев O.A., Сергеев В.И. Исследование поведения границ зёрен при деформации и отжиге в электронном микроскопе. В кн. Материалы XI Всесоюзной конференции по электронной микроскопии. // М. Наука, 1979, т. 1, с. 217.

22. Васьковский В.О., Савин П.А., Лепаловский В.Н. и др. Особенности гистерезисныхсвойств и доменной структуры слоистых магнитных пленок. // ФММ, 1995, 79, вып. 3, с. 70-77.

23. Веркин Б.И., Бенгус В.З., Брауде И.С., Табачникова Е.Д. Нестабильность атомной структуры и прочности аморфных металлических сплавов при их охлаждении. // Физика аморфных сплавов. Ижевск, 1984, вып. б, с. 51 57.

24. Вонсовский C.B. Магнетизм. // М. Наука, 1971.1032 е.; Вонсовский C.B. Шур Л.С. Ферромагнетизм. // М. ОГИЗ Гостехиздат, 1948, с. 526.

25. Вонсовский C.B., Туров Е.А. Металлические стёкла и аморфный магнетизм. // Изв. АН

26. СССР, сер. физ.,1978, 42, № 8, с. 1570 1580.

27. Воробьёв Ю. Д., Чеботкевич Л. А., Неверовская Ф. Ю., Слабженникова И. М. Влияниена магнитную анизотропию аморфных плёнок напряжения смещения. // ФММ, 1994, 77, вып. 3, с. 55 57.

28. Грудин Б.Н., Плотников B.C., Фищенко В.К. Моделирование и анализ изображения вэлектронной и оптической микроскопии. // Дальнаука, Владивосток, 2001, 220с.

29. Воробьев Ю.Д. Влияние поверхностных и объемных неоднородностей на коэрцитивнуюсилу тонких магнитных пленок. // Диссертация к. ф.- м. н., Владивосток, 1985,165 с.

30. Воробьев Ю.Д. и Василенко Ю.В. Перемагничивающее устройство для термомагнитныхисследований в просвечивающем электронном микроскопе. // А. С. № 1531182, МКИ H 01 J 37/26, 1987.

31. Воробьёв Ю.Д., Буркова И.Н., Чеботкевич Л.А. Коэрцитивная сила и магнитосопротивление плёнок Со/Си/Со. // ФММ, 2000, т. 89, № 4, с.26 -31.

32. Воробьев Ю.Д., Елисеенко Л.Г., Слабженникова И.М. Козырь Т.В., Бондаренко И.В.

33. Определение плотности, толщины и шероховатостей металлических пленок методом рентгеновской интерференции. // Вопросы микроэлектроники. Владивосток: ДВГУ, 1990, с. 5-13.

34. Воробьёв Ю.Д., Лобов И.В., Иванов A.A., Чеботкевич Л.А., Осуховский В.Э. Рельеф поверхности и коэрцитивная сила тонких магнитных плёнок. // В кн. Магнитные свойства кристаллических и аморфных материалов. Иркутск, 1983, с. 43 46.

35. Воробьёв Ю.Д., Лобов И.В., Малютин В.И., Чеботкевич Л.А., Иванов A.A., Осуховский

36. В.Э. Влияние на коэрцитивную силу плёнок химического, ионного и электронного травления. // В кр. Тезисы докладов У111 Всесоюзной школы-семинара "Новые магнитные материалы для микроэлектроники". Донецк, 1982, с. 45 47.

37. Воробьёв Ю.Д., Осуховский В.Э., Чеботкевич Л.А. Влияние структуры межзёренныхграниц и дисперсии локальной анизотропии на коэрцитивную силу ТМП. // В кн. Тезисы докладов XVI Всесоюзной конференции по физике магнитных явлений. Тула, 1983, с. 243 244.

38. Воробьев Ю.Д., Сергеева Т.М., Слабженникова И.М., Чеботкевич Л.А. Магнитные кластеры аморфных пленок СовбТ^. // XXXV Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция. Владивосток, 1992, т. 1, ч. 1, с. 55 58.

39. Воробьев Ю.Д., Слабженникова И.М., Чеботкевич Л.А., Пустовалов Е.В., Головко М.В.

40. Структурные неоднородности и магнитная анизотропия аморфных пленок Со-Ть // ФММ, 1993,1.15, № 1, с. 59 63.

41. Ву Динь Кы. О плоском гальваномагнитном эффекте в тонких ферромагнитных плёнках.

42. Изв. АН СССР, сер. физ., 1965, 29, № 4, с. 576 -579. Применение плоского гальвано магнитного эффекта для исселедования дисперсии осей анизтропии в тонких пермал-лоевых плёнках. // Кристаллография, 1965, 10, вып. 6, с. 884 -889.

43. Гаскелл П.Г. Является ли локальная структура аморфных сплавов следствием "среднего"порядка в системе? Быстрозакаленные металлические сплавы. // М. Металлургия. 1989, с.113 -123.

44. Глазер А.А., Тагиров А.П., Потапов А.П., Волков В.Н. О влиянии перпендикулярнойанизотропии на параметры "закритической" петли гистерезиса плёнок пермаллоя. // В кн. Физика магнитных плёнок. Иркутск, 1968, с, 88 94.

45. Глазер А.А., Тагиров Р.И. Аморфные материалы. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1978, т. 42,8, с. 1601 -1608.

46. Глейтер Г., Чалмерс Б. Болыпеугловые границы зёрен. // М. Мир, 1975, с. 374.

47. Голянов В.М. Бесструктурное оттенение и реплики высокого разрешения. // В кн. Исследование объектов, изменяющихся в процессе препарирования, и наблюдения в электронном микроскопе. М. Наука, 1966, с. 50 58.

48. Грахам С.Д., Эгами Т. Магнитные свойства аморфных материалов. Быстрозакаленныеметаллы. // М. Металлургия, 1983, с. 269 275.

49. Гуревич А.Г. Магнитный резонанс в ферритах и антиферромагнетиках. // М. Наука, 1973,592 с.

50. Дамаск А., Дине Дж. Точечные дефекты в металлах. // М. Мир, 1966, с. 84 146.

51. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетроннные распылительные системы. // М., "Радио исвязь", 1982, 73 с

52. Диаграммы состояния двойных металлических систем. // Справочник под редакцией академика РАН Н. П. Лякишева. М., "Машиностроение", 1997,1023 с.

53. Диксмер Дж., Садок Дж. Ф. Структурные модели. // В кн. Металлические стекла. М. Металлургия. 1984, с. 82 94.

54. Дитина 3.3., Слабженникова И.М. Ферромагнитный резонанс в косоосажденных пленкахжелеза. Физические процессы в тонких пленках. // Владивосток. ДВГУ, 1986, с. 16 23.

55. Домышев В.А., Егоров В.А. Структура и магнитные свойства аморфных металлическихсплавов. // Иркутск. 1991,96 с.

56. Дровосеков А.Б., Жотиков О.В., Крейнес Н.М, Мещеряков В.Ф., Миляев М.А., Ромашев

57. JI.H., Устинов В.В., Холин Д.И. Неоднородные моды ферромагнитного резонанс в сверхрешётках Fe/Cr.n с большой величиной биквадратичного обменного взаимодействия. ЖЭТФ, 1999, т.116, вып. 5(11), с. 1817 1833.

58. Добровицкий В. В., Звездин А.К., Попков А.Ф. Гигантское магнитосопротивление, спинпереориентационные переходы и макроскопические квантовые эффекты в магнитных наноструктурах. УФН, 1996, т. 166, № 4, с.439 447.

59. Гегузин Я. С. Диффузионная зона. // М., Наука, 1979, 344 с.

60. Дьячук П.П., Иванов А. А., Лобов И. В. Движение изгибающейся доменной границы внепрерывном потенциальном поле дефектов. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1981, 45, с. 1701 1703.

61. Дьячук П.П., Иванов A.A., Черных А.Г. Ориентационные эффекты коэрцитивной силы. //

62. Изв. АН СССР, сер. физ., т.53, № 4,1989, с. 701-704.

63. Елесеенко Л.Г., Начинов В.А., Жариков A.A. Уточнение методики измерения толщинтонких плёнок с помощью рентгеновской интерференции. // В кн. Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Машиностроение, 1984, № 23, с.51 56.

64. Елисеенко Л.Г., Жариков A.A. Исследование микрошероховатости поверхности методомотражения рентгеновских лучей. // Физические процессы в тонких пленках. Владивосток: ДВГУ, 1986, с. 164 -168.

65. Елисеенко Л.Г., Начинов В.А., Жариков A.A. Уточнение методики измерения толщинтонких пленок с помощью рентгеновской интерференции. // Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л. Машиностроение, 1984, вып. 32, с. 51 56.

66. Жариков Г.П. К вопросу о зависимости коэрцитивной силы тонких магнитных плёнок отнеоднородностей их толщин. В кн. Физико-технологические вопросы кибернетики. ИК АН УССР, Киев, 1966, вып. 2, с. 15.

67. Жариков Г.П., Олейник Л.И. Коэрцитивная сила тонких плёнок. // Изв. АН СССР, сер.физ., 1967, т. 31, № 5, с. 757 762.

68. Звездин A.K. Особенности перемагничивания трёхслойных наноструктур. // ФТТ, 2000, т.42, вып. 1,с.И6-120.

69. Звездин А.К., Уточкин С.Н. О процессах намагничивания и механизме кинетичеких аномалий в магнитных наноструктурах. // Письма в ЖЭТФ, 1993, т. 57, вып. 7, с. 418 423.

70. Золотухин И.В. Физические свойства аморфных металлических матриалов. // М. Металлургия, 1986,176 с.

71. Иванов A.A. Влияние вида случайного потенциала доменной границы на магнитный гистерезис. II. Закрепление на дефектах с конечным радиусом взаимодействия. // ФММ, 1980, т. 49, с. 954-964.

72. Иванов A.A. К статистической теории смещения доменных границ. // ФММ, 1974, т. 38,вып. I, с. 14 21.

73. Иванов A.A., Дьячук. П.П. Статистическая теория смещения доменных границ. // В кн.

74. Физика магнитных плёнок", Красноярск, 1975, вып. 7, с. 128 139.

75. Иванов A.A., Лобов И.В. Два возможных механизма коэрцитивности поликристаллических плёнок. В кн. Материалы УШ Всесоюзной школы-семинара "Новые магнитные материалы для микроэлектроники". Донецк, 1982, с. 99

76. Игнатченко В.А. Магнитная структура тонких магнитных плёнок и ФМР. // ЖЭТФ, 1968,т. 54, вып. 1, с. 303 311.

77. Иванов A.A., Лобов И.В., Воробьёв Ю.Д. Некоторые механизмы закрепления доменныхграниц в тонких магнитных плёнках. // ФММ, 1984, т. 58, № 1, с. 11 20.

78. Иванов A.A. Феноменологическая теория коэрцитивной силы смещения доменных стенок. // В кн. ХУ1 Всесоюзная конференция по физике магнитных явлений. Тула, 1983, т. 2, с. 64 65.

79. Игнатченко В.А., Дегтярёв Н.Э., Захаров Ю.В. Поведение доменной структуры при намагничивании. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1961, т. 25, № 12, с. 1439 1444.

80. Игнатченко В.А., Исхаков P.C., Попов Г.В. Закон приближения намагниченности к насыщению в аморфных материалах. Ж'ЭТФ, 1982, т. 82, вып. 5, с. 1518-1531

81. Иевлев В.М., Булгаков A.B., Иевлев В.П. Применение концепции РСУ к анализу ориентационных соотношений при ориентированной кристаллизации. В кн. Материалы XI Всесоюзной конференции по электронной микроскопии. М. Наука, 1979, т. 1, с. 124.

82. Исхаков Р. С., Комогорцев С.В., Балаев А. Д., Чеканова Л. А. Размерность системы обменно-связанных зёрен и магнитные свойства нанокристаллических и аморфных ферромагнетиков. Писма в ЖЭТФ, 2000, т. 72, вып. 6, с. 440 444.

83. Йелон А. Взаимодействия в многослойный плёночных магнитных структурах. // В кн.

84. Физика тонких пленок, т. VI, М.: Мир, 1973, с. 228-333

85. Казаков В.Г., Буравихин В.А., Гаврилюк A.B., Иванов В.А. Влияние изотропных напряжений на коэрцитивную силу магнитных плёнок. // В кн. Физика магнитных плёнок. Улан-Удэ, 1974, с. 94 96.

86. Казаков В.Г., Буравихин В.А., Помазкин В.А., Костин А.Н., Свизов М.М, Температурнаязависимость магнитоупругого поведения ферромагнитных плёнок. // В кн. Физика магнитных плёнок. Иркутск, 1966. с. 374 377.

87. Карпенков С.Х. Тонкоплёночные средства магнитных накопителей. // Зарубежная микроэлектроника. 1993, т. 6, с. 26 31.

88. Кан X. Рост и структура монокристаллических плёнок. // В кн. Технология тонких плёнок.

89. Справочник./ Под ред. JI. Майссела и Р.Глэнга. М. Советское радио, 1977, с. 97 -175.

90. Касаткин С.И., Кузнецова Е.М., Кузякин Е.В., Куликов Ю.С. Новый способ формирования магнитожёсткого массива. // В кн. Новые магнитные материалы для микроэлектроники. Саранск, 1984, с. 12.

91. Касуэлл Х.Л. Оборудование для испарения металлов в сверхвысоком вакууме и анализостаточных газов. // В кн. Физика тонких плёнок. Под ред. Г. Хасса. М. Мир, 1967, т. I, с. 13-90.

92. Касютич О.И., Федосюк В.М. Гигантское магнитосопротивление в мультислойных электроосажденных Со/Си плёнках. // ФММ, 1996, т.82, вып.5, с.89-91

93. Кашина JI.A., Чеботкевич JI.A., Линькова Д.Е., Ветер В.В. Особенности дислокационныхграниц в магнитных плёнках. // ФММ, 1979, № 47, вып. 1, с. 158.

94. Кемпбелл С.Д. Механические свойства тонких плёнок. // В кн. Технология тонких плёнок. // Под ред. JI. Майссела и Р. Глэнга., М., Советское радио, 1977, т. 2, с. 267 268.

95. Киггель Ч. Физическая теория ферромагнитных областей самопроизвольной намагниченности. // В кн. Физика ферромагнитных областей, М., ИЛ, 1951, с. 19 116.

96. Кифер И.И. Испытание ферромагнитных материалов. // М. Госэнергоиздат, 1962, 544 с.

97. Кобзарева С.А., Дистлер Г.И. Артефакты, возникающие при оттенении. В кн. Исследование объектов, изменяющихся в процессе препарирования и наблюдения в электронном микроскопе. // М. Наука, 1966, с. 41 49.

98. Ковалевский Д.В., Кучма А.Е., Уздин В.М., К теории обменного взаимодействия в трёхслойных магнитных системах. // ФММ, 1999, т. 87, № 3, с. 8 -16

99. Кондорский Б. И. К вопросу о теории коэрцитивной силы сталей. // ДАН СССР, 1948. т.63, №5, с. 507-510.

100. Кондорский Б.И. К вопросу о природе коэрцитивной силы и необратимых изменений принамагничивании. // ЖЭТФ, 1937, т. 7, вып. 9 -10, с. 1117 -1126.

101. Кондорский Б.И. К теории коэрцитивной силы мягких сталей. // ДАН СССР, 1949, т. 68,1, с. 37-40.

102. Корнев Ю.В., Бородина Т.В. Зависимость магниторезистивного эффекта от дисперсионных свойств пермаллоевых плёнок с учётом угловой простраственной диперсии анизотропии. // ФММ, 1983, т. 55, вып. 3, с. 472 478.

103. Косевич В.М., Палатник Л.С., Сорокин В.К. О механизме эпитаксиального роста // ФТТ, 1968, т. 10, с. 2465.; Палатник Л.С., Зозуля Л.П., Косевич В.М. Исследование формирования структуры эпитаксиальных плёнок методом муара. // ФТТ, 1966, т. 11, с. 1805.

104. Крекнел А., Уонг К. Поверхность Ферми. // М., Атомиздат, 1978, 350 с.

105. Круковер П.И., Буравихин В.А. Механические свойства тонких пленок. // В кн. Физика магнитных плёнок. Иркутск, 1967. с. 65 70, с. 200 - 253.

106. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. К теории дисперсии магнитной проницаемости. // В кн. Ландау Л.Д. Собрание трудов, т. I. М. Наука. 1969, с. 128 143.

107. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. // М. Наука, 1964.

108. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. // М. Госиздат физико-математической литературы, 1959.

109. Ларсон Д.К. Размерные эффекты в элекропроводности тонких металлических плёнок и проволок. // Физика тонких плёнок, «Мир», М., т.6.,с. 97 -170.

110. Лесник А.Г. Наведенная магнитная анизотропия. // Киев: Наукова думка, 1976,164 с.

111. Лесник А.Г., Пушкарь В.Н., Сандлер Л.М., Филончук И.В. О природе наведенной магнитной анизотропии в аморфных пленках. // Металлофизика, 1986, т. 8, № 1, с. 118 119.

112. Лесник А.Г., Сандлер Л.М. Исследование влияния растягивающих напряжений на коэрцитивную силу и поле анизотропии пермаллоевых плёнок. В кн. Физика металлических плёнок. // Киев, Наукова думка, 1965, с. 71 83.

113. Лесник Л.Г., Левин Г.И., Каверина С.Н. Влияние неровностей поверхности подложки на коэрцитивную силу пермаллоевых плёнок. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1965, т. 29, № 4, с. 591 596.

114. Ллойд Д.К., Смит Р.К. Структурные и магнитные свойства пермаллоевых плёнок. // В кн. Физика тонких плёнок. Пер. с англ. и нем./ Под ред. Глушкова В.М. и Киренского Л.В. Киев, ГИТЛ УССР, 1963. с. 193 197.

115. Лосев Н.Ф. Количественный РСФА. // М. Атомиздат, 1973, 264 с.

116. Лукашенко Л.И., Палатник Л.С., Шишков А.Г., Абраменко Б.А. Влияние магнитной суспензии на структуру доменов и междоменных границ в тонких ферромагнитных плёнках. // ЖЭТФ, 1980, т. 79, вып. 6, с. 12.

117. Лукьянович В.М. Электронная микроскопия в физико-химических исследованиях. // М. Изд. АН СССР, I960, с. 81.

118. Майссел Л.И. Электрические свойства металлических тонких плёнок. // В кн. Технология тонких плёнок., т. 2, М., Советское радио, 1977, с. 305 344.

119. Малюков Б.А., Украинский Ю.М., Королёв В.Е., Герасимов А.Д., Свердлин И.А. Рент-геноспектральные исследования пермаллоевых плёнок в широком интервале толщин. // Красноярск, 1968, с. 41 47.

120. Марьин Г.А. О влиянии внутренних напряжений на коэрцитивную силу. В кн. Физика металлов и их соединений. // Свердловск, 1974, с. 143 146.

121. Маттис Б. Рост и структура аморфных h поликристаллических тонких плёнок. // В кн. Тонкие поликристаллические и аморфные плёнки./ Под ред. JI. Казмерски. М. Мир, 1983, с. 9

122. Методы анализа поверхности. // Под ред. А. Зандерны. Мир, 1979, 589 с.

123. Метфессель С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение. // М.-Л. Гос. энерг. изд-во, 1963, 272 с.

124. Мишин Д. Д. Влияние дефектов кристаллической решетки на свойства магнитных материалов. // Свердловск, 1969.

125. Мороз А.И., Сигов A.C. Шероховатости поверхности слоев и гигантское магнитосопро-тивление магнитных многослойных структур. // Письма в ЖЭТФ, 1996,т. 61, вып. 11, с. 893 898.

126. Мозер Н., Кронмюллер Г., Реттенмайлер Ф. Обратимая и необратимая структурные релаксации в ферромагнитых аморфных сплавах. // В кн. "Быстрозакаленные металлические сплавы. М. Металлургия", 1989, с. 240 247.

127. Мэтьюз Дж.У. Монокристаллические плёнки, полученные испарением в вакууме. // В кн. Физика тонких плёнок./ Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна. М. Мир, 1970, т.4,с. 167 227.

128. Неель Л. Замечание к теории магнитных свойств тонких плёнок и мелких частиц (порошков). // В кн. Магнитная структура ферромагнетиков./ Под ред. Вонсовского C.B., М., ИЛ, 1959.

129. Неель Л. Влияние пустот и включений на коэрцитивную силу. // В кн. Физика ферромагнитных областей. М. ИЛ, 1951, с. 215 240.

130. Нейгебауэр К.А. Конденсация, образование зародышей и рост плёнок. // В кн.: Технология тонких плёнок. Под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга. М. Советское радио, 1977, т. 2, с. 11-54.

131. Нейгебауэр К.А. Явления структурного разупорядочения в тонких металлических плёнках. // В кн. "Физика тонких плёнок". Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна. М., Мир, 1967, т.2, с. 13 82.

132. Орлов А.Н. Геометрические и энергетические аспекты атомной структуры межзёрен-ных границ. // В кн. Атомная структура межзёренных границ. М. Мир, 1978, вып.8, с. 5 -24.

133. Осуховский В.Э., Воробьёв Ю.Д., Слабженникова И.М., Науменко Л.Ф. Локализованные дефекты и коэрцитивная сила тонких магнитных плёнок. // ФММ, 1985, т.60, вып. 3, с. 623 624.

134. Осуховский В.Э., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Елисеенко Л.Г., Слабженникова И.М. Влияние отжига на закрепление доменной границы неоднородностями поликристаллических пленок. // ФММ, 1986, т. 61, вып. 3, с. 543 548.

135. Осуховский В.Э., Воробьёв Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Лобов И.В., Малютин В.И. Определение вкладов в коэрцитивную силу тонких магнитных плёнок от объёмных и поверхностных неоднородностей. // ФММ, 1984, т. 57, вып. 2, с. 254 260.

136. Осуховский В.Э., Шишков А.Г., Осуховская Л.П. Изучение локальных неоднородностей ферромагнитной плёнки с помощью доменной границы, движущейся в режиме сползания. // В кн. Физика магнитных плёнок. Иркутск, 1975, с. 120 123.

137. Палатник Л.С., Равлик А.Г., Рощенко С.Т., Самофалов В.Н., Шипкова И.Г. Особенности перпендикулярной анизотропии в пленках Со-Р. XYIII. // Всесоюзная конференция по физике магнитных явлений. Калинин. 3-6 октября 1988, с. 979 980.

138. Палатник Л.С., Равлик А.Г., Рощенко С.Т., Самофалов В.Н., Шипкова И.Г. Особенности перпендикулярной анизотропии в пленках Со-Р. XYIII. // Всесоюзная конференция по физике магнитных явлений. Калинин. 3-6 октября 1988, с. 979 980.

139. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных плёнок. // М., Наука, 1972, с. 276 305.

140. Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в плёнках. // М. Энергоиздат, 1982, 215 с.

141. Палатник Л.С., Шипкова И.Г., Черемской П.Г., Лукашенко Л.И., Толстолуцкая Г.Д., Муровцев Л.Г., Паннкарскнй A.C. Влияние термической обработки и облучения на структуру и магнитные свойства аморфных плёнок Со-Р. // ФММ. 1982, т. 52, вып. 4, с. 715 -722.

142. Петров В.И., Спивак Г.В., Павлюченко О.П. Электронная микроскопия магнитной структуры тонких плёнок. // УФН, 1972, т. 106, вып. 2, с. 229 278.

143. Плискин В.А., Занин С.Д. Толщина и химический состав плёнок. // В кн. Технология тонких плёнок. /Под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга./ М., Советское радио, 1977, т 2, с. 176-245.

144. Поперека М. Я., Золотковский B.C. Изучение магнитной текстуры в плёнках на основе измерений гальваномагнитных эффектов. // ФММ, 1971, т. 32, вып. 6, с.1182 1188.

145. Поперека М.Я. Золотковский B.C. Изучение перпендикулярной анизотропии железо-никелевых плёнок на основе измерения гальваномагнитных эффектов. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1972, т.36, № 6, с.1189 1994.

146. Попов Г.В., Кипарисов С.Я., Матвейко E.H., Тарасенко A.B. Возможность искуственно-го формирования заданного распределения ОЛН в плоскости аморфных пленок Co-Ni-Р. // Препринт АН СССР СО. Институт физики. Красноярск, 1989, 21 с.

147. Праттон М. Тонкие ферромагнитные плёнки. // Л. Судостроение, 1967, с. 236 264.

148. Праттон М., Брэдли Е.М. Магнитная анизотропия испарённых плёнок железоникелевых сплавов. // В кн. Тонкие магнитные плёнки. Пер. с англ. и нем./ Под ред. Глушкова В.М. и Киренского Л.В. Киев, ГИТЛ УССР, 1963, с. 134 -154.

149. Приворецкий И.А. Термодинамическая теория ферромагнитных доменов. // УФН, 1972, т. 108, вып. 1, с. 43 -80.

150. Пынько В.Г., Мушаилов Э.С., Пынько Г.П. Измерение намагниченности насыщения и толщины ТМП методом вращающих моментов. // Аппаратура и методы исследования тонких магнитных плёнок, Красноярск, 1968, с.72-75.

151. Пынько В.Г. Приборы и техника эксперримента, 1965, № 6, с. 212.

152. Р.В. Телеснин, E.H. Ильичёва, Н.Г. Канавина, Лю Фа- Чун, В. Э. Осуховский и А. Г. Шишков. Температурные измерения критических кривых квазистатического перемаг-ничивания ТМП. // Сб. " Апаратура и методы исследования тонких магнитных плёнок".

153. Труды Всесоюзного симпозиума по аппаратуре и методам исследования тонких магнитных плёнок., Красноярск, 20 27 июня 1967, с.170-176.

154. Родин Т.Н., Уолтон Д. Образование зародышей в ориентированных плёнках, ff В кн. Монокристаллические плёнки. М. Мир, 1966, с. 44 57.

155. Розенштерн Д.Б., Тетельман М. Г., Фраерман А.А. К вопросу о величине поверхностной магнитной анизотропии в многослойной структуре. // Поверхность, №4,1993, с. 15 -18.

156. Романова U.C., Елисеенко Л.Г. Определение толщины пленки, нанесенной на плоскую подложку, методом рентгеновской интерференции. // Владивосток, ДВГУ, 1987, 12 с.

157. Русаков А.Г. Рентгенография металлов, М. Атомиздат, 1957, 130 с.

158. Рыбин В.В., Вергазов А.Н., Рубцов А.С., Золоторевский Н.Ю. Электронно-микроскопическое изучение структуры и свойств болыпеугловых границ. // В кн. Материалы XI Всесоюзной конференции по электронной микроскопии, М., Наука, 1979, т. 1, с. 258.

159. Садананда К., Марцинковский М. Единая теория болыпеугловых границ зёрен. Структура границ. // В кн. Атомная структура межзёренных границ. М. Мир, 1978, вып. 8, с. 55 86.

160. Селла К., Трийа Ж.Ж. Новые исследования структуры тонких плёнок. Н В кн. Монокристаллические плёнки., М., Мир, 1966, с. 242 261.

161. Синайский В.М. Об учёте микрогеометрии поверхности объекта при измерении предельного угла полного внутреннего отражения рентгеновских лучей. // В кн. "Аппаратура и методы рентгеновского анализа". Л., Машиностроение, 1980, № 23.

162. Синайский В.М. Расчет величины угла полного внешнего отражения рентгеновских лучей от зеркал сложного химического состава. // Аппаратура и методы рентгеновского анализа. М. Машиностроение, 1984, вып. 26, с. 59 61.

163. Слабженникова И.М., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Осуховский В.Э. Кинетика наведенной анизотропии в аморфных пленках. // XIX Всесоюзная конференция по физике магнитных явлений, Ташкент, 24 27 сентября ,1991, ч. I, с. 92.

164. Слабженникова И.М., Козырь Т.В., Воробьев Ю.Д., Осуховский В.Э. Магнитные свойства и структура косоосажденных пленок FeNiCo. // Вопросы микроэлектроники. Владивосток, ДВГУ, 1990, с. 30 36.

165. Слабженникова И.М., Пустовалов Е.В., Должиков C.B. Структура и наведенная анизотропия аморфных пленок Co86Til4. // ХХХУ Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция, Владивосток, 1992, т. 1, ч. 2, с. 67 70.

166. Смирнов Л.А., Анохин С.Б. Интерпретация кривых полного внешнего отражения рентгеновских лучей от поверхности напылённых в вакууме металлических плёнок. // Оптика и спектроскопия, 1980, т. 48, вып. 3, с. 574 577.

167. Смит Л. Количественный рентгеновский микроанализ Основы аналитической электронной микроскопии. // М. Металлургия, 1990, с. 216 230.

168. Спейпен Ф. Структура и пластическое течение аморфных сплавов. Быстрозакаленные металлы. // М., Металлургия, 1983, с. 366 397.

169. Спенс Дж. Экспериментальная электронная микроскопия высокого разрешения. // Пер. с англ. под ред. В.Н. Рожанского. М. Наука, 1986, 320 с.

170. Судзуки К., Фудзимори X., Хасимото К. Аморфные металлы. // М., Металлургия, 1987, 328 с.

171. Суханова Р.В., Пынько В.Г., Сивков И.И. Причины образования тонкой магнитной структуры доменов ферромагнитных плёнок. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1967, т. 31, № 3, с. 432-441.

172. Суху Р. Магнитные тонкие плёнки. // Пер. с англ. М., Мир, 1967, с. 255.

173. Таблицы физических величин. // Под ред. Кикоина И.К. М. Атомиздат, 1976,1006 с.

174. Тагиров Р.И., Глазер A.A. Устройство для перемагничивания ферромагнитного образца в электронном микроскопе УЭМВ-100. // В кн. Аппаратура и методы исследования тонких магнитных плёнок. Красноярск, 1968, с. 188 - 190

175. Телеснин Р.В., Ильичёва Е.П., Канавина Н.Г., Осуховский В.Э. Шишков А.Г. Изучение механизма сползания доменных границ с поперечными связями. // ФММ, 1970, т. 29, вып. 3, с. 551 558.

176. Телеснин Р.В., Сараева И.М., Шишков А.Г. Анизотропия тонких пермаллоевых плёнок, созданная полем и наклонным падением молекулярного пучка. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1965, т. 29,К» 4, с. 586 590.

177. Телеснин Р.В., Шишков А.Г., Осуховский В.Э., Сигов A.C., Осуховская JI.II. Коэрцитивная сила и сползание доменных границ в пермаллоевых плёнках толщиной 200-1000 А. // ФММ, 1973, т. 35, вып. 5, с. 959 967.

178. Технология тонких плёнок. // Под ред. JI. Майссела и Р. Глэнга. М.; Советское радио, 1970, т. I., т. II, 664 С.

179. Тиллер К.О., Кларк Г.В. Зависимость коэрцитивной силы от толщины тонких железо-никелевых плёнок. // В кн. Физика тонких плёнок. Пер. с англ. и нем./ Под ред. Глуш-кова В.М. и Киренского Л.В. Киев, ГИТЛ УССР, 1963, с. 189-192.

180. Тихонов В.И. Выбросы случайных процессов. // М. Наука, 1970, с. 284 363.

181. Тонкие ферромагнитные плёнки. // Пер. с англ./ Под общ.ред. Р.В. Телеснина. М. Мир, 1964, с.355.

182. Тройбле Г., Зегер А. Влияние дефектов кристаллической решетки на процессы намагничивания в ферромагнитных монокристаллах. // В кн. Бернер Р., Кронмюллер Г. Пластическая деформация монокристаллов. М. Мир, 1969, с, 201 264.

183. Тун Р.Э. Структура тонких плёнок. В кн. "Физика тонких плёнок". Под ред. Г. Хасса. М., Мир, 1967, т. I, с. 224 274.

184. Устинов В.В. Корреляция гигантского магнитосопротивления и намагниченности мета-лических сверхрешёток. // ЖЭТФ, 1994, т. 106, вып. 1(7), с. 207 -216.

185. Устинов В.В., Ромашев Л. Н., Минин В.И., Семериков A.B., Дель А.Р. Зависимость магнитосопротивления сверхрешёток Fe/Cr от ориентации внешнего магнитного поля. // ФММ, т.80, вып.2, 1995, с. 71-80.

186. Устинов В. В., Кирилова M. М., Лобов И. Д., и др. Оптические, магнитооптические и гигантское магнитосопротивление сверхрешеток Fe/Cr с неколлинеарным упорядоче-нинием слоев железа. ЖЭТФ, 1996, т. 109, вып. 2, с. 477 494.

187. Утевская О.Л., Макаров В.П., Глезер A.M., Молотилов Б.В., Черемской П.Г. Кузьмиш-ко В.П. Анизотропия формы областей свободного объема и дальний магнитный порядок в аморфных сплавах. // Физика аморфных сплавов. Ижевск. 1984, вып. 6, с. 32 -36.

188. Фейнман Р. Статистическая механика. // Пер. с англ. Плакиды Н.М., Гудого Ю.Г. Под ред. Зубарева Д.Н. Мир, 1978,408 с.

189. Ферромагнитный резонанс. // Под ред. Вонсовского C.B. М.: Гос. изд-во физ.-мат. литры, 1961,344 с.

190. Фуджимори X., Ота С., Масумото Т., Накамото К. Магнитное последействие в магни-томягких аморфных ферромагнетиках. // Быстрозакаленные металлы. М. Металлургия, 1983, с. 350-356.

191. Френкель Я.И. Введение в теорию металлов. «Наука», Ленинград, 1972,424с.

192. Фукс М.Я., Палатник JI.C., Белозёров В.В., Козьма A.A. Термоупругие напряжения в конденсированных плёнках. // ФММ, 1975, т. 33, вып. 1, с. 147 153.

193. Фукс М.Я., Палатник JI.C., Козьма A.A., Нечитайло A.A. Несовершенства кристаллического строения. // ФММ, 1968, т. 28, с. 645.

194. Хандрих К., Кобе С. Аморфные ферро- и ферримагнетики. // М.: Мир. 1982, 294 с.

195. Хансен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов. // М., Гос. н.-т. изд-во лит-ры по черной и цветной металлургии, 1962, т. 1, 608 с.

196. Херрманн Г., Глейтер Г., Беро Г. Исследование границ зёрен малой энергии в металлах методом спекания. // В кн. Атомная структура межзёренных границ. М. Мир, 1978, вып.8, с. 180 -187.

197. Хирс Дж. П., Хруска С.Дж., Паунд Г.М. Теория образования зародышей при осаждении на подложках. // В кн. Монокристаллические плёнки. М. Мир, 1966, с. 15-43.

198. Хирш П., Хови А., Николе Р., Пэшли Д., Уэлан М. Электронная микроскопия тонких кристаллов. // М.; Мир, 1968, с. 69 74.

199. Холоденко Л.П. О доменной структуре ферромагнетиков при наличии магнитного поля. // ЖЭТФ, 1947, т. 17, вып. 8, с. 698 707.

200. Хуберт А. Теория доменных стенок в упорядоченных средах. // М. Мир, 1977, 306 с.

201. Чеботкевич JI. А., Воробьев Ю.Д., Ильин Э.В., Кузнецова А.И., Слабженникова И. Магнитные свойства и структура многослойных плёнок Со Ti/Mo. // ФММ, 1994, т.11, вып.5,с. 73-76.

202. Чеботкевич JI. А., Воробьев Ю.Д., Слабженникова И. М., Пустовалов Е. В., Должиков С. В., Сергеева Т. М., Плотников В. С. Роль кластеров в создании магнитной анизотропии в морфных плеанках Co-Ti. // ФММ, 1993, т. 75, вып.4, с. 79 83.

203. Чеботкевич JI. А., Яловкина С. В., Воробьёв Ю.Д., Слабженникова И.М. Магнитные свойства многослойных плёнок (Fe/Mo)iо, полученных магнетронным распылением. // ФТТ, 1995, т.37, № 4, с.1226 1228.

204. Чеботкевич Л.А., Величко Т.В., Воробьёв Ю.Д., Улманис У.А. Коэрцитивная сила плёнок, облучённых электронами высоких энергий. // ФТТ, 1984, т. 26, вып. 5, с. 1535 -1537.

205. Чеботкевич Л.А., Воробьёв Ю.Д., Буркова И.Н., Корнилов A.B. Структура и магнитные свойства отожжённых плёнок Со/Си/Со. // ФММ, 2000, т. 89, № 3, с. 56-61.

206. Чеботкевич Л.А., Воробьёв Ю.Д., Ерехинский А.Н., Ветер В.В., Лифшиц В.Г., Акилов В.В. Изменение магнитных характеристик железо-кобальтовых плёнок, легированных хромом при облучении электронами. // ФММ, 1981, т. 52, вып. 4, с. 719 725.

207. Чеботкевич Л.А., Кашина Л.Г., Воробьёв Ю.Д., Ветер В.В. Взаимодействие доменных стенок с межзёренными границами. // В кн. Тезисы докладов ХУ Всесоюзной конференции по физике магнитных явлений. Пермь, 1981, ч. 4, с. 176 177.

208. Чеботкевич Л.А., Лифшиц В.Г., Воробьёв Ю.Д., Ветер В.В. Свойства металлических плёнок, облучённых электронами высоких энергий. // В сб. Физика магнитных материалов. Калинин, КГУ, 1985, с. 3 14.

209. Чеботкевич Л.А., Лифшиц В.Г., Начинов В.Ф., Воробьёв Ю.Д., Ветер В.В., Улманис У.А. Намагниченность железо-кобальтовых плёнок, облученных электронами. // ФТТ, 1982, т. 24, вып. 9, с. 2636 2640.

210. Черемской И.Г., Муровцев Л.Г., Лубяный Л.З., Лукашенко Л.И., Утевская О.Л., Оверко Н.Е., Киреев В.М., Козин В.М. Объемные неоднородности, скачки Баркгаузена и доменная структура аморфного сплава Fe-B-Si-C. // ФММ. 1989, т. 68, вып. 1, с. 81-88.

211. Черемской П.Г., Слезов В.В., Бетехтин В.И. Поры в твердом теле. // М. Энергоатомиз-дат. 1990, 376 с.

212. Шелег М.У., Грабчиков С.С., Малюш М.М., Точицкий Т.А. Исследование микроструктуры аморфных пленок сплавов Co-Ni-P. // Вести АН БССР. Сер. физ.-мат.н., 1986, № 5, с. 84 90.

213. Шелег М.У., Немцевич Л.В., Точицкий Т.А. Влияние магнитного поля на микроструктуру и магнитные свойства электроосажденных аморфных Со-Р пленок. // Вести АН БССР. Сер. физ.-мат.н., 1991, № 5, с 60 64.

214. Шиммель Г. Методы электронной микроскопии. // М., Мир, 1972, с. 111 -113,118.

215. Широбоков М.Я. К теории механизма намагничивания ферромагнетиков. // ЖЭТФ, 1945, т. 15, вып. 1 -2, с. 57-76.

216. Шур Л.С., Глазер А.А., Тагиров Р.И., Потапов А.П. О природе одноосной анизотропии тонких ферромагнитных плёнок. // Изв. АН СССР, сер. физ., 1965, т. 29, № 4, с.706

217. Юдин В.В. Стохастическая магнитная структура пленок с микропоровой системой. // М., Наука, 1987,216 с.

218. Юдин В.В., Рудик Е.И., Матохин А.В., Тимакова Г.П., Гуленко В.А., Чухрий Н.И., Юдина Л.А. Дальний порядок в структуре аморфных пленок. // ФТТ, 1982, т. 24, вып. 2, с. 443 448.

219. Юдин В.В., Тимакова Г.П., Матохин А.В., Должиков С.В., Юдина Л.А. Лазерно-дифрактометрическая оценка параметров корреляционного поля флуктуаций анизотропии в пленках Со-Р. // ФТТ, !983, т. 25, № 7, с. 1953 1957.

220. Юдина Л.А., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В., Воробьёв Ю.Д. О связи намагниченности и кристаллической структуры тонких ферромагнитных плёнок железа. // ФММ, 1973, т. 36, вып. 3,с. 508- 513.

221. Юдина Л.А., Чеботкевич Л.А., Воробьёв Ю.Д., Ветер В.В., Юдин В.В. Спектральный анализ кристаллической структуры тонких железных плёнок. // В сб. Физика твёрдого тела. Материалы юбилейной конференции. Владивосток, 1972, с. 19-25.

222. Юдина Л.А., Юдин В.В., Воробьёв Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В. // Структура и дислокационные границы эпитаксиальных плёнок железа. В сб. Физика твёрдого тела. Красноярск, СО АН СССР, 1974, с. 30 -35.

223. Albine L., Carlotti G, Gubbiottib G., Pareti L., Socino G., Turilli G. Effect of annealing on the magnetic properties of sputtered Co/Cu multilayers.// J. Magn. Magn. Mater., 1999, v. 198199, p. 363 -365.

224. Allen W., Gregg J.F., Ounadjela R., Hehn M., Thompson S.M., Coey J. M. D. The ferromagnetic domain wall as GMR trilayer. //J. Magn. Magn. Mater., 1997, v. 165, p. 121-124.

225. Allenspash R. and Weber W. Oscillatory magnetic properties.// IBM. Journal of Research &Development., 1998,v. 42, №1, p.1-18.

226. Asti G., Bolzoni F., Pareti L. Magnetic anisotropy of RE-magnets.// JEEE Trans. Magn. 1987, v. 23, № 5, p. 2521 2526.

227. Azevedo, C. Chesman, S. M. Rezende, F. M. de Aguiar, X. Bian, S. S. P. Parkin Biquadratic Exchange Coupling in Sputtered (100) Fe/Cr/Fe. //Phys. Rev. Let., 1996, v.76, № 25, p. 4837 -4840

228. Baibich M. N., Broto, J. M. Fert A., Nguyen Van Dau F., Petroff F., Etienne P., Creuzet G., Friederich A., Chazelas J., Giant magnetoresistance of (001)Fe/(001)Cr magnetic superlat-tices, // Phys. Rev. Lett., 1988, 61, p. 2472-2475 .

229. Bales G.S., Zangwill A. Macroscopic model for columnar growth of amorphous films by sputter deposition. // J. of Vac. Science and Techn. A., 1991, v. 9, № 1, p. 145-149.

230. Ben Youssef J., Bouziane K., Koshkina O., et.al. Correlation of GMR with texture and interfacial roughness in optimized rf sputtering deposited Co/Cu multilayers.// J. Mag. Mag. Mater. 1997, 165, p. 288-291.

231. Bensmina F., Humbert H., Dinia A, Muller., D., Speriosu V. S, Gurney B. A. Annealing effect on the magnetic properties of Ta 50 A/Cu 75 A/Co 50 A/Cu 50 A/Ta 50 A sandwiches.// J. Magn. Magn. Mater., 1999, v.198 199, p.338-340.

232. Belien P., Schad R., Potter C.D. Verbanck G., Moshckov V.V., and Bruynseraede Y. Relation beetween interface roughness and gaint magnetoresistance in MBE-grown polycrystalline Fe/Cr superlattices. // Phys. Rev. B., 1994, v. 50, p. 9957-9962.

233. Boersch H., Raith H., Wohlleben D. Zs. Phys., 159, 388 (1960).

234. Biles G.S., Zanqwill A. Macroscopic model for columnar growth, of amorphous films by sputter deposition. //J. or Vac. Science and Techn. A. 1991, v. 9, № 1, p. 145 149.

235. Binasch G., Grunberg P., Saurenbach F., and Zinn W. Enhanced magnetoresistance in layered magnetic structures with antiferromagnetic interlayer eExchange. // Phys. Rev. B, 1989, v. 39, p. 4828-4830.

236. Birlikseven C. Topacli, H.Z. Durusoy, L.R. Tagirov, A.R. Koymen, B. Aktas Magnetoresistance, magnetization and FMR study of Fe/Ag/Co multilayer film. // J. Mag. Mag. Mater., 1999, v. 192, p. 258-262.

237. Birlikseven C., Topacli C., Durusoy H.Z., Tagirov L.R., Koymen A.R., Aktas B. Layer-sensitive magnetization, magnetoresistance and ferromagnetic resonance (FMR) study of NiFe/Ag/CoNi trilayer film. // J. Mag. Mag. Mater., 1999, v. 202, p. 342-348.

238. Bruno P. and Chappert C. Oscillatory coupling between ferromagnetic layers separated by a nonmagnetic metal spacer. // Phys. Rev. Lett, 1991, v. 67, p. 1602-1605.

239. Bruno P. and Chappert C. Ruderman-Kittel theory of oscillatory interlayer exchange coupling. // Phys. Rev., 1992, v. B 46, p. 261-270.

240. Bruno P. Oscillations of interlayer exchange coupling ferromagnetic-layers. // Europhys. Lett., 1993, v. 23, p. 615-620.

241. Bruno P., Renard J.P. Magnetic properties and surface anisotrope of transition metal ulrathin films. // J. Appl. Phys. 1989, A 49, p. 499- 506.

242. Bruno P. Theory of interlayer magnetic coupling. // Phys. Rev. B, 1995, v. 32, № 1, p. 411439.

243. Carbone C., Vescovo E., Rader O., Gudat W., and Eberhardt W. Exchange-Split Quantum Well States of a Noble Metal Film on a Magnetic Substrate. // Phys. Rev. Lett., 1993, v. 71, p. 2805-2808.

244. Carl and D. Weller. Oscillatory paramagnetic magneto-optical Kerr effect in Ru wedges on Co. // Phys. Rev. Lett., 1995, v.74, p. 190-193.

245. Camley R.E. and Barnas J. Theory of gaint manetoresistance effects in magnetic layered strutures with antiferromagnetic coupling. // Phys. Rev. Lett, 1989, v.63, № 6, p 664 667.

246. Cadieu F.J., and Chencinski N. Selective thermalization in sputtering to prduce hihg-Tc films. // IEEE, Trans. Magn., v. MAG -11, № 2, p. 227-230.

247. Chebotkevich L.A., Vorobyev Yu.D, Burkova I.N. Magnetoresistance in Co/Cu/Co. The Therd Russia-Yapan Seminar on Semiconductor Surfaces, Vladivostok, Russia, 1998, G5.

248. Cheenq Shih-Chenq N., Kryder Mark H. Separation of perpendicular anisotropy components in dc-magnetron sputtered TbPe amorphous films. // J. Appl. Phys. 1988, v. 63, № 7, p. 2447 -2449.

249. Chen D.X. Induced anisotropy and magnetostriction in metallic qlasses. // J. Appl. Phys. 1987, v. 62, №8, p. 3781 -3783.

250. Cho J.K., Yamazaki T., Kita E., Tasaki A. Magnetic anisotropy of Co thin films prepared by oblique incidence. Effect of oxidation. // Jap. J. of AppL.Phys., 1988, v. 27, № 2, p. 240 243.

251. Christides C., Stcivroyiannis S., Boukos N., Travlos A., and Niarchos D. Microstructural modification in Co/Cu giant-magnetoresistance multilayers. // J. Appl. Phys., v. 83, № 7, 1998, p.3724-3730.

252. Ping Wu, T.Y. Jiang, Y.G. Liu. C.D. Wang. In situ TEM observation of metastable phase formed by solid state interdiffusijn in Co-Cu system. // Thin Solid Film, 1997, v. 301, p. 90-94

253. Cochran J.F, Heinrich B., Arrott A.S. Ferromagnetic resonance in a system composed of a ferromagnetic substrate and an exchange-coupled thin ferromagnetic overlayer. // Phys. Rev. B, 1986, v.34, № 11, p.7788 7801.

254. Coehoorn R., Period of oscillatory exchange interactions in Co/Cu and Fe/Cu multilayer systems. // Phys. Rev. B, 1991, v. 44, p. 9331-9337.

255. Corb B.W., O'Handley R.C. Magnetic properties and short-range order in Co-Nb-B alloys. // Phys. Rev. B. 1985, № 31, p. 7213 7218.

256. Corb B.W., O'Handley R.G., Megusar J., Grant N.J. First-Order, Structural transformations in metallic glasses. // Phys.l Rev. Let. 1983, t. 51, № 15., p. 1386 1389.

257. Daalderop G. H.O., Relly P.J., Schuurmans M.F.H. First-principles calculation of vagnetic anisotropy energe of (Co)n / (X)m multilayers. // Phys. Rev., 42, № 11, p.7270-7273.

258. Davis L.E., Macdonald N.C. Handbook of auger electron spectroscopy, Pablished by Physical Electronics Industries inc. 6509 Flying Cloud Drive Eden Prairie Minnecota. 1976, 55343, p. 18-72.

259. De Vries J.J., Schudelaro A.A., Jungblut R., De Jonge W.J.M. Oscillatory behaviour of the interlayer coupling with the thickness of the Cu cap layer in Co/Cu(100). // J. Mag. and Mag. Mater. 1996, 156, p. 257-258.

260. Edwards D. M., Mathon J., Muniz R. B., and Phan M. S., Oscillations of the exchange in magnetic multilayers as an analog of de Haas-van Alphen effect. // Phys. Rev. Lett., 1991, v. 67, p. 493-496.

261. Egami T., Graham C.D., Dmowski Jr.W., Zhou P., Flanders P.J., Marlnero E.E., Notarys H., Robinson C. Anisotropy and amorphous RE TM films. // IEEE Trans. Magn., 1987, v. 23, №5,p. 2269-2271.

262. Feldkeller E.Inverse nickel-eisen-schichten. Naturwiss, 1961, v. 48, № 13, p. 474 475.

263. Fert and I. A. Campbell. Electrical resistivity of ferromagnetic nickel and iron based alloys. // J. Phys., 1976, F 6, p. 849-871.

264. Fuchs E. Die ummagnetisierung diinner nickeleisenschichten in der schweren richtung. // Z.Angew. Phys., 1961, b. 13, № 1, p. 157 160.

265. Fuller H.W., Hale M.E. Determination of magnetisation distribution in thin films using electron microscopy. // J. Appl. Phis., 1960, v. 31, № 2, p 238 249.

266. Gao C., Shamsuzzoha M. // The observation of phase formation in annealed Rf-sputtered FeN films.// J. Magn. Magn. Mater., 1995, v. 146, p. 273 282.

267. Gradmann U., Elmers H. J. Ferromagnetic order despite antiferromagnetic coupling through finite size spacer layers. // J. Magn. Magn. Mater. 1994, №137, p. 44-50.

268. Gaskell P.H., Smith D.J., Catto C.J.D., Cleaver J.R.A. Direct observation ol the structure of a metallic alloy glass. // Nature. 1979, v. 281, № 11, p. 465 467.

269. Geerts W., Suzuki Y., Katayama T., Ando K., and Yoshida S., Thickness-dependent oscillation of the magneto-optical properties of Au-sandwiched (001) Fe films. // Phys. Rev., 1994, B 50, p. 12581-12586.

270. George J. M., Pereira L. G., Barthelemy A., Petroff F., Steren L., Duvail J.L., and Fert. Inverse spin-valve-type magnetoresistance in spin engineered multilayered structures. // Phys. Rev. Lett. v. 72, №3,1994, p. 408-411.

271. Grunberg P., R. Schreiber, Y. Pang, M. B. Brodsky., Sowers H., Layered magnetic structures: evidence for antiferromagnetic coupling of Fe layers across Cr interlayers.// Phys. Rev. Lett., 1986, v. 57, p. 2442-2445.

272. Guo H.-Q., Fernengel W., Hofmann A., Kronmuller H. Analysis of the activation energy spectra of the induced anisotropy in amorphous Co58NilOFe5Sil 1B16. // IEEE Trans. Magn., v. 20, №5, p. 1394- 1396.

273. Handley O.R.C., Corb B.W., Megusar J., Grant N.J. Reversibletransformations of short-range order in cobalt base glasses. // J. Non-Cryst. Solids., 1984,v.61-62, № 2, p.773-780.

274. Halloway H. and Kubinski D.J. Gaint magnetoresistance in Co/Cu multilayers with Co layers of alternating thicknesses: Reduction of magnetoresistive hysteresis. J. Appl. Phis. 1996, v. 79 (9), p. 7090-7094.

275. Haines W.G. Anisotropy in thin-film media-origin and applications (invited). // J. Appl. Phys., 1987, v. 61, № 8, p. 3497 3502.

276. Hale M.E., Fuller H.W., Rubinstein H. Magnetic domain observations by electron microscopy. //1. Appl. Phys., 1959, v. 30, № 30, p. 789 791.

277. Hall M.J., Whitton E.D., Jardine D.B.,et.al. The effect of annealing on the giant magnetoresistance and magnetisation of sputter-deposited Co/Cu multilayers. // J. Mag. and Mag. Mater. 1996,156, p. 119-120.

278. Hara K., Itoh K., Kamiya M., Okamoto K., Hashimoto T., Fujiwara H. Magnetic anisotropy of obliquely vapor-deposited Co-Ni films. // J. Magn. Magn. Mater., 1991, v. 102, № 3, p. 247 -254.

279. Harte K.I. Theory of magnetisation ripple in ferromagnetic films. // J. Appl. Phys., 1968, v. 38, №3, p. 1503 -1524.

280. Hasegawa H. Theory of the temperature-dependence giant magnetoresistance in magnetic multilayers. // Phys. Rev. B., 1993, v. 47, № 22, p. 15080-15085.

281. Hashimoto T., Okamoto K., Fujiwara H., Itoh K., Kamiya M., Hara K. Texture and columnar grain structure in obliquely deposited Co-Ni films. // Thin Solid Films, 1991, v. 205, № 2, p. 146- 152.

282. Heller G. Bayreuther G., Hoffmann H. Uniaxial anisotropy of amorphoys CoZrNb films. // J. Phys., 1988, Suppl.12, v. 49, p. 1745 1746.

283. Heinrich B., Cochran J. F., Kowalewski M., Kirschner J., Celinski Z.,. Arrott A. S, and Myrtle K. Magnetic anisotropics and exchange coupling in ultrathin fee Co(001) structures. // Phys. Rev. B, 1991, v. 44, № 17, p.9348 9361.

284. Heinrich B., Urquhart K. B„ Arrott A. S., Cochran J. F., Myrtle K., and Purcell S.T. Ferromagnetic-resonance study of ultrathin bcc Fe(100 films grown epitaxially on fee Ag(100) substrates. // Phys. Rev. Let, 1987, v.59, № 15, p. 1756 -1759.

285. Heinrich B., Purcell S. T., Dutcher J. R., Urquhart K. B., Cochran J. F., and Arrott A. S. Structural and magnetic properties of ultrathin Ni/Fe bilayers grown epitaxially on Ag(001) II Phys. Rev. B, 1988, v. 38, № 18, p.12879 12896.

286. Hilzinger H. R. Computer simulation of magnetic domain wall pinning. // Phis. slat. sol. 1976, v. 38, p. 487-496.

287. Hilzinger H. R., Kronmuller H. Pinninig of curved domain walls by randomly distributed lattice. // Physica, 1977, № 86 88 B, p. 1365 - 1366.

288. Hilzinger H.R. Stress induced magnetic anisotropy in a non-magnetostrictive amorphous alloy. // Proc. 4th Int. Conf. on Rapidly Quenched Metals, Sendai., 1982, v. 2, № 1, p. 791 -794.

289. Ho H.-M., Gau G., Thomas G. Domain Structure and microstructure of CoNi oblique incidence thin films. // J. Appl. Phys., 1989, v. 65, № 8, p. 3161 3166.

290. Hoffmann H. and Tujii T. Proc. Internal. Conf. Magnet., Moskow, 1974, v. 3, p. 455.

291. Hoffmann H. Dependece of the magnetisation oscillations domain breadth and dispersion of the easy axis on the film parameters of uniaxial permalloy films. // Phys. Stat. Sol., 1964, v. 5, № l,p. 187-202.

292. Hoffmann H. Magnetic properties of thin ferromagnetic films in relation to their structure. // Fourd Inter national Congress of Thin Films, Longhborough, 1978. Thin Solid Films, 1979, v. 58, №2, p. 223 -233.

293. Hoffmann H. Quantitative calculation of the maqnetic ripple of uniaxial thin permalloy films. // J. Appl. Phys., 1964, v. 35, № 6, p. 1790 1798.

294. Hoffmann H. Theory of magnetisation ripple. // IEEE Traus. on Mauct., 1968, v. 4, № 4, № 16, p. 32-38.

295. Hoffmann H. Static wall coercive force in ferromagnetic thin films. // IEEE Trans. Magn., 1973, MAG-9, p. 17-21.

296. Jimbo M., Kanda T., S. Goto, S. Tsunashima, and S. Uchiyama. Gaiant magnetoresistancein FeNiCo/Cu multilayers. // Jpn. J. Appl. Phys. 1992, v. 31, p. L1348 L1350.

297. Johnson M. T., Purcell S. T., McGee N. W. E., Coehoorn R., J., de Stegge, Hoving W., Structural Dependence of the Oscillatory Exchange Interaction Across Cu Layers. // Phys. Rev. Lett, 1992, v. 68, p. 2688-2691 .

298. Jiang H., Wu Q.L. Tao K., Li H.,D. Structure fnd magnetic properties of Fe-N fils preporeties by ion-beam-assistead deposition. // J. Appl. Phis., 1995, v. 78, № 5, p. 3299 3302.

299. Kersten M. Problem der techischen magnetisierungs kurve. // Berlin, 1938, s. 42 72; Kersten M. // Zs. Phys., 1938, b. 89, s. 860; Kersten M. // Zs. Phys., 1948, b. 124, s. 714.

300. Koizumi H., Ando Y., Miyazaki T. Ferromagnetic resonance in 80Ni-Fe/Cu/Co multilayer films. // J. Mag. Mag. Mater., 1996, v. 164, p. 293-299.

301. Kornilov A.V., Vorobyev Yu. D., Chebotkevich L.A. Influence of thermal treatment tempra-ture and buffer layer thickness on magnetoresistance. // Phys. Low-Dim. Struct., 2000, v. 11/12, p. 45-49.

302. Kowalewski M., Schneider C. M., and Heinrich B. Thickness and temperature dependence of magnetic anisotropics in ultrathin fee Co(001) structures. // Phys. Rev. B, 1993, v.47, № 14, p.8748 8753.

303. Krebs J. J., Lubitz P., Chaiken A., Prinz G. A. Magnetic resonance determination of the anti-ferromagnetic coupling of Fe layers through Cr. // Phys. Rev. Let, 1989, v.63, № 15, p. 1645 -1648.

304. Kronmiiller H. Statistical theory of rayleigh slaw. // Z. Angew. Phys., v. 30, p. 9.

305. Kronmuller H. The role of two-level systems in amorphous metallic alloys. // Phys. stat. sol. (b). 1983, 118, p. 661 -673.

306. Kronmuller H. The role of two-level systems in amorphous metallic alloys. // Phys. stat. sol. (b). 1985, v. 127, p. 531 -541.

307. Kubinski D. J. and Hollway H. Gaint magnetoresistfhce in Coi.x Cu x /Cu multilayers:A new approach to reduced magtoresistive hysteresis. // J. Appl. Phys. 1997, v. 82(1), p. 322-325.

308. Kubinski D. J., Holloway H. Co/Cu multilayers with reduced magnetoresistiv hysteresis. // J. Magn. Magn. Mater., 1997, v. 165, p. 104-107.

309. Kubinski D. J. and Holloway H. Giant magnetoresistance in Co/Cu multilayers: Influence of Co at the fist antiferromagnetic maximum. // J. Appl. Phys., 1996, v. 79, (9), p. 7395-7397.

310. Kubota H., Sato M. and Miyazaki T. Temperature dependence of the gaint magnetoresistance in Ni-Co/Cu, Ni-Fe/Cu, and Co-Fe/Cu multilayer films. // Phys. Rev. B, 1995, v.52, №1, p.343-349.

311. Kwo J., Hong M., DiSalvo F. J., Waszczak J. V., and Majkrzak C. F. Modulated magnetic properties in synthetic rare-earth Gd-Y superlattices. // Phys. Rev. B, 1987, v. 35, p. 72957298.

312. Layadi, J.O. Artman. Study of antiferromagnetic coupling by ferromagnetic resonance (FMR). //J. Mag. Mag. Mater., 1997, v. 176, p. 175-182.

313. Le Dang K., Veillet P., Suran G., Ounadjela K. Study of induced uniaxial anisotropy in magnetic thin films by transverse susceptibility. J. Appl. Phys., 1987, v. 62, № 8, p. 3328 3330.

314. Levy J.C.S., Mercier D. Amorphous structures: A local analysis. // J. Appl. Phys. 1982, v. 53, № 11, p. 7709-7712.

315. Lloyd J.R., Nakahara S. Formation and growth of voids and/or gas bubblsa in films. // Thin Solids Films. 1982, v. 93, № 3-4, p. 281 286.

316. Loftier J.F., Braun H.B., Wagner W. Magnetic correlations in nanostructured ferrmagnets. // Phys. Rev. Lett., 2000, v.85, № 9, p. 1990 1993.

317. Lu J., Wanq J. Т., Ding B.Z. Effects of preparation conditions on the magnetic anisotropy of anisotropy of amorphous Fe78B13Si9 alloy .// Mater. Shi. arid Enq. B. 1988, v. 1, № 3-4, p. 251-254.

318. Levy P.M. Giant magnetoresistance in magnetic layered and granular materials. // Solid State Phisics. 1994. v. 47. p. 367-462.

319. Maksymowicz L.J., Jankowski H. Effective magnetic anisotropy field of Pd/Ni multilayers. // J. Mag. Mag. Mater., 1995, v.147, p. 409-416.

320. Malytin V.T., Osukhovskii V.E., Ivanov A.A., Ghebotkevich L.A., Vorobiev Yu.D. The effect of volume and surface Inhomogeneities on the coercivity of thin magnetic films. // Phys. stat. sol (a), 1986, v. 93, p. 585 595.

321. Malytin V.T., Osukhovskii V.E., Vorobiev Yu.D., Ghebotkevich L.A. On the effect of annealing of polycrystalline manetic films. // Phys. stat. sol (a), 1989, 114, p. K75 K79.

322. Majkrzak C. F.,. Cable J. W, Kwo J., Hong M.,. McWhan D. B, Yafet Y., Waszczak J. V., Vettier C. Observation of a magnetic antiphase domain structure with long-range order in a synthetic Gd-Y superlattice. // Phys. Rev. Lett., 1986, 56, 2700-2703.

323. Malyutin V.J., Osukhovskii V.E., Vorobiev Iu.D., Abramov A.C. Structure Constant and Mi-cromagnetic Structure of Etched Ni8oFe2o Films. // Phys. Stat. Sol. (a), 1982, 73, p. к 111 к 114.

324. Malyutin V.J., Osykhovsrii V.E., Vorobiev Iu. D., Shishov A.G., and Iudin V.V. Structure and Magnetic Properties of EtchNi-Fe-Co Films. //Phys. Stat. Sol. (a), 1981, 65, p. 45 52.

325. Marrows C.H., R. Loloee B.J. Hickey. Scaling of the exhange interactions in Co/Cu multilayers with tempeperature. // J. Magn. and Magn. Mater.,1998, v. 184, p. 137-144.

326. Marrows С. H., Hickey B. J. Bilinear and biquadratic interlaer exchange coupling in sputtered Co/Cu multilayers damaged with residual gas impurities. // Phys. Rev. В., 1999, v.59, № 1, p. 463-467.

327. Mattson J.E., Brubaker M.E., Sowers C.H., Conover M., Qiu Z., Bader S.D. Temperature dependence of the magnetoresistance of sputtered Fe/Cr superlattices. // Phys. Rev. B. 1991. v.44. p. 9378-9384.

328. Meiklegohn W.H., Luborsky F.E., Frischmann P.G. On the origin of Ku in amorphous RE-TM magnetooptic recording materials. // IEEE Trans. Magn. 1987, v. 23, № 5, p. 2272 -2274.

329. Miura M., Katahashi H., Muramorl K., Kajiyama M. Annealing behavior of magnetic anisot-ropy in CoNbZr films. // IEEE Trans. Magn., 1988, v. 24, № 5, p. 2215 2220.

330. Modak A.R., David J., Smith S. S., Parkin P. Dependence of giant magnetoresistance on grain size in Co/Cu multilayers. // Phys. Rev. B. 1994, v 50, p. 4232 4235.

331. Nakahara S., McCoy R.J. Microstructural determination of fast diffusing species in thin film diffusions coupes. // Thin Solid Films, 1982, v.88.,p.285-290.

332. Nesbet R. K. Theory of spin-dependent conductivity in GMR materials. IBM Journal of Research & Devolopment, 1995, Vol. 42, No.l p.53.

333. Nielsen O.V. Effects of longitudinal and torsional stress annealing on the magnetic anisotropy in amorphous ribbon materials. // IEEE Trans. Magn., 1985, v. 21, № 5, p. 2008 2013.

334. Niimura Y., Nakagawa S., Naoe M. The effects of incident angle on c-axis orientation in sputtered Co-Cr films. // IEEE Trans. Magn., 1987, v. 23, № 5, p. 2043 2045.

335. Nowak J., Wenda J., Maksymowicz L.J. Domain structurt of FeBSi/Si bilayers. // J. Mag. and Mag. Mater. 1991, 94 , p. 251-259.

336. Okamoto K., Hashimoto T., Fujiwara H., Hara K., Kamiya M. Magnetic investigation of the columnar grain structure in obliquely deposited iron films. // J. of Magn. and Magn. Mat., 1989, v. 81, №3, p. 374-380.

337. Ortega J. E., Himpsel F. J., Mankey G. J., and Willis R. F. Quantum-well states and magnetic coupling between ferromagnets through a noble-metal layer. // Phys. Rev. B, 1993,v. 47, p. 1540-1552.

338. O'Handley R. C. Physics of ferromagnetic finorphoys alloys. // J. Appl. Phys., 1987,v. 62, № 10, p. 15-49.

339. Pan G., Wang Q. Oblique evaporated CoNi films possess longitudinal and vertical component magnetic propertiec. // IEEE Trans. Magn., 1987, v. 23, № 5, p. 2806 2808.

340. Parkin S.S.P. Systematic variation of the strength and oscillation period of indirect magnetic exchange coupling through 3d, 4d, and 5d transition metals. // Phys. Rev. Lett., 1991,v. 67, p. 3598-3601.

341. Parkin S.S.P., Li Z.G., Smith D.J. Giant magnetoresistance in antiferromagnetic Co/Cu multilayers. // Appl. Phys. Lett. 1991, v. 58,p. 2710-2712.

342. Parkin S.S.P., More N., Roche K.P. Oscillations in exchange coupling and magnetoresistance in metallic superlattice structures: Co/Ru, Co/Cr, and Fe/Cr. // Phys. Rev. Lett., 1990, v. 64, p. 2304-2307.

343. Parrat L.G. Surface studies of solid by total reflection of x-rays. // Phys. Rew., 1954, v. 85, № 2, p. 359 369.

344. Paspley D.W. A study grain boundary of single cristal on electron microscope. // Phys. Mag., 1969,10, p. 127.

345. Patrick B. Magnetic surface anisotropy of cobalt and surface rouqhness effects within Neel's model. // J. Phys. F. 1988, v. 18, № 6, p. 1291 -1298.

346. Peng Chubmg, Dai Daoshcng, and Fang Ruiyi. Magnetic anisotropy and interlayer exchange coupling of evaporated Au/Co multilayers. II Phys. Rev. B, 1992, v. 46, № 18, p. 12022 -12025.

347. Persat N., Dinia A. Strong temperature dependence of the interlayer exchange coupling strength in Co/Cu/Co sandwiches. // Phys. Rev., 1997, v. 56, № 5, p.2676-2679.

348. Pfeffer K. H.Zur Teorie der koerzitivfeld starke und anfangng ssuszeptibilatat. // Phys. Stat. Sol., 1967, v. 21, p. 857.

349. Pfeffer K.H. Wechselwirkung zwischen Versefzurgen und ebenen Blochwanden min starren Magnetisierung skurre verlauf. II Phys. Stat. Sol., 1967, v.21, p. 837, p 395, p. 735.

350. Ping Wu, T.Y. Jiang, Y.G. Liu. C.D. Wang. In situ TEM observation of metastable phase formed by solid state interdiffusijn in Co-Cu system. // Thin Solid Film, 1997, v. 301. p. 9094

351. Prados C., Dimitrov D.V., Hadjipanayis G.C. The role of bulk spin-dependent scattering on the origin of enhanced magnetoresistance in magnetic multilayers. II J .Magn. Magn. Mater., 1999,192, p. 19-26.

352. Potter R. Magnetoresistace anisotropy in ferrmagnetic NiCu alloys. II Phys. Rev. B. 1974, v. 10, № 11, p.4626 4636.

353. Ratzke K., Hall M.J., Jardine D.B., Shih W.C., Somekh R.E., Greer A.L. Evolution of microstructure and magnetoresistance in Co/Cu multilayers during annealing. // J .Magn. Magn. Mater., 1999, 204, p.61-67.

354. Ramaknshna C., Lee H., Cheng Y., Steams M.B. Ferromagnetic resonance in Co-Cr multilayer films. // J. Appl. Pyhs.,1987, v. 61 (8), p. 4290 4292.

355. Reininger T., Moser N., Hofmann A., Kronmuller H. The kinetics of the magnetically induced anisotropy in amorphous ferromagnetic CoviFeiMoiMinSinBg and Fe^NInBig alloys. // Phys. slat. sol. (a). 1989, 111, p. 243 255.

356. Rettenmeier F., Kisdi-Koszo E., Kronmuller H. Reversible and. irreversible structural relaxations in soft ferromagnetic amorphous alloys. II Phys. stat. .sol. (a). 1986, 93, p. 597 604.

357. Rezende S. M., Moura J.A.S., and de Aguiar F.M., Schreiner W.H. Ferromagnetic resonance of Fe(lll) thin films and Fe(lll)/Cu(lll) multilayers. // Phys. Rev. B, 1994, v.49, № 21, p.15105 15109.

358. Rezende S. M., Chesman C., Lucena M.A., Azevedo A., de Aguiar F.M. and Parkin S.S.P. Studies of coupled mettalic magnetic thin-film trilayers. // J. Appl. Phys., 1998, v.84, № 2, p 958 972.

359. Rijks Th. G. M., Coehoon R., Jong M. J.M., Jonge W. J. M. Semiclassical calculations of the anisotropic magnetoresistance of NiFe-based thin films, wires, and multilayers. // Phys. Rev. B, 1995, v.51, №1, p. 283-291.

360. Riveiro J.M. Evidence for martensiticlike phase transformations in metallic glasses. // Phys. Rev. B. 1988, v. 37, № 13, p.7731 7734.

361. Riveiro J.M. The possible influence of crystal-like atom clusters on the magnetic properties of metallic glasses. J. Phys. Condens. Matter. 1991. v. 3, № 20, p. 3563 3570.

362. Riveiro J.M., Madurga V., Hernando A. Structure-related induced anisotropy in metallic glasses. // Phys. Rev. B. 1989, v. 39, № 16, p. 11950 11955.

363. Riveiro J.M., Pareja R. Evidence for a reversible structural transformation in the metallic glass CossNiioFesBieSin. // Phys. Pev. B. 1986, v .34, № 3, p. 2029 2031.

364. Rother H. Magnetische eigenschaften ferromagnetischer schichten. //1. Z. Phys., 1962, b. 168, № 1, s. 42 54. Rozer H. Berechnung des magnetisierungs - ripple in ferromagnetischen diin-ner schichten. // Z. phys.,1964, b. 179, № 3, s. 229 - 243.

365. Rtihrig M., Schafer R., Hubert A., Mosler R., Wolf J. A., Democritov S., Griinberg P. Domain observations on Fe-Cr-Fe layered structures. // phys. stat. sol., 1991, (a) 125, p.635 656.

366. Saito Y., Kaito C., Naiki T. Structure of thin amorphous Mo03 films prepared, by vacuum-deposition. J. Cryst. Growth., 1986, v. 79, № 1 3, p. 436 - 442.

367. Sankaran H., Sharma S.M., Sikka S.K. The low-temperature phase of sodium: an intermediate orthorhombic distortion?. // J. Phis. Condens. Matter. 1992, v. 4, № 4, p. L61 L66.

368. Schmeusser S., Rupp G., Hubert A. Optimization of giant magnetoresistance in ion beam sputtered Co/Cu multilayers. // J. Mag. and Mag. Mater., 1997, 166, p. 267-276.

369. Slonczewski J. C. Fluctuation mechanism for biquadratic exchange coupling in magnetic multilayers. // Phys.Rev. Lett., 1991, v.67, № 22, p.3172-3175.

370. Slonczewski J.C. Overview of interlayer exchange theory. // J. Magn. and Magn. Mat., 1995, v. 150, p. 13-24.

371. Smith. D.O, Huber E.E.,. Cohen M.S, Weiss G.P. // J. Appl. Phys., v. 31, № 5, Suppl., 1960, p. 523-525S. (Перевод в сб. Тонкие магнитные плёнки, ГИТЛ УССР, Киев, 1963, с.177-183.

372. Speriosu V.S., Dieny В., Humbert P., Garney B.A. Lefakis H. Nonoscillftory in Co/Cu/Co layered stuctures with oscillatory coupling. Phys. Rev. В., 1991, v. 44, № 10, p. 5358 5361.

373. Suran G., Naili N. Machizand F. Contribution to Ku of structure-related and pseudodlpolar anisotropy: an experimental discimination in amorphous CoZrM (M = Nb, Ti, Pt) thin films. //J. of Phys., 1988, Suppl. 12, v. 49, p. 1731 1732.

374. Suran G., Ounadjela K. Magnetically induced anisotropy in amorphous Coi.x Tix thin films studied by various techniques. // J. Magn. Magn. Mat., 1986, № 54 57, p. 237 - 238.

375. Suran G., Ounadjela K., Machizand F. Evidence for structure related induced anisotropy in amorphous CoTi soft ferromagnetic thin films. // Phys. Rev. Letters., 1986, v. 57, № 24, p. 3109-3112.

376. Suran G., Ounadjela K., Machizand F. Magnetic properties of amorphous Co-Ti thin films with a perpendicular and an inplane uniaxial anisotropy. // J. Appl. Phys., 1987, v. 61, № 8, p. 3658 3660.

377. Suran G., Gerard P. Effect of rare gas implantation on the magnetic properties of amorphous CoTi thin films. // IEEE Trans. Magn., 1987, v. 23, № 5, p. 2740 2742.

378. Susumu Ono, Kanaya Koichi. Simulation of electron diplacement damge in high voltage electron microscope. // Res. Repts. Kogahuin Univ., 1979, v. 46, p. 158 170.

379. Miller T., Samsavar A., Franklin G. E., and Chiang T.-C., Quantum-well states in a metallic system: Ag on Au(l 11). Phys. Rev. Lett, 1988, v. 61, p. 1404-1407.

380. Takeno Y., Iwama Y. Structure and magnetic properties of iron films deposited at oblique incidence. // J. of Magn. and. Magn.Mater., 1983, v.35, № 1 3, p. 293 - 295.

381. Tasaki A., Tagawa K., Kita E. Magnetic anisotropy of a cobalt thin film prepared by oblique incidence. // Jap. J. of Appl. Phys., 1987, v. 26, № 12, p. 2037 2040.

382. Tokunaga T., Harada M., Ohkoshi M. Stability of magnetic and. magneto-optic propertes in TbCo sputtered films. // IEEE Trans. Mag. 1986, v. 22, № 5, p. 940 942.

383. Traiible H. Magnetisierungs Kurve and magnetische Histerese. // In modern problem der matallphysic. Berlin H., N. Y. v. 2.

384. Stoeffer D., F, Gautier. Interface roughness, magnetic moments, and couplings in (A)m/(Cr)„ (001) superlattices (^=Fe, Co, Ni) .// Phys. Rev. B, v. 44,1991; p.10389 10392.

385. Ustinov V.V., Milyaev M.A., Romashev L.N., Krinitsina T.P., Kravtsov E.A. In-plane magnetisation anisotropy of FeCr superlattices with biquadratic exchange coupling. // J. Mag. Mag. Mater., 2001, v. 226-230, p. 1811-1813.

386. Ustinov V.V., Bebenin N.G., Romashev L.N., Minin V.I., Milyaev M.A., Del A.R., and Se-merikov A.V. Magnetoresistance and magnetizatijn of Fe/Cr(001) supperlattices with noncol-linear magnetic ordering. // Phys. Rev. B, 1996, 54, №21, p. 1-9.

387. Vohl M., Barnas J., Griinberg P. Effect of interlayer exchange coupling on spin-wave spectra in magnetic double layers: Theory and experiment. Phys. Rev. B, 1989, v.39, № 16, p. 12003 12012.

388. Vorobyev Yu. D., Burkova I.N., Chebotkevich. Magnetoresistence effect and coercive force of Co/Cu/Co three-layer films. // Phys. Low-Dim. Struct., 1999, v. 5/6, p. 195-200.

389. Wang Z.J., Takanashi K., Mitsudo S., Himi K., Mitani S., Watanabe K., Motokawa M., Fujimori H. FMR investigation of magnetic anisotropics in Fe/Au superlattices. // J. Mag. Mag. Mater., 1998, v. 188, p. L269-L274.

390. Wang Y., Levy P. M., and Fry J.L. Interlayer magnetic coupling in Fe/Cr multilayered structures. // Phys. Rev. Lett., 1990, v. 65, p. 2732 -2735.

391. Weber W., Bischof A., Allenspach R., Wursch Ch., Back C. H., and Pescia D. Oscillatory magnetic anisotropy and quantum well states in Cu/Co/Cu(100) films. // Phys. Rev. Lett., 1996, v. 76, p. 3424-3427.

392. Weber W., Back C. H., Bischof A., Wursch Ch., and Allenspach R. Morphology-induced oscillations of the magnetic anisotropy in ultrathin Co films, // Phys. Rev. Lett. 1996, v. 76, № 11, p. 1940-1943.

393. Wigen P., Zhou Li, Stamps R., et.al. Compositional control of interlayer magnetic coupling in Co/Ru/Co(Ag) and Co/Cu/Co(Ag) trilayer films. // J. Mag. and Mag. Mater. 1997, 165, p. 465-467.

394. Willekens M.M.H., Rijks Th.G.S.M., Swagten H.J.M., de Jonge W.J.M. Interface intermixing and magnetoresistance in Co/Cu spin valves winh uncoupled Co layers. // J. Appl. Phys. 78 (12), 1995, p.7202-7209.

395. Wulfhekel W., Rnappmann S., Oepen H.P. Magnetic anisotropy of Co on Cu(1117). // J. Appl. Phys., 1996, 79 (2), p. 989-991.

396. Zhang Z., Zhou L., and Wigen P. E., Ounadjela K. Angular dependence of ferromagnetic resonance in exchange-coupled Co/Ru/Co trilayer structures. // Phys. Rev. B, 1994, v.50, № 9, p. 6094-6112.

397. Zhang Z., Zhou L., Wigen P. IL, and Ounadjela K. Using ferromagnetic resonance as a sensitive method to study temperature dependence of interlayer exchange coupling. // Phys. Rev. Let., 1994, v.73, № 2, p.336 339.

398. Zhang H., Cochrane R.W., Huai Y., et. al. Effect of annealing on the giant magnetoresistance of sputtered Co/Cu multilayers. // J. Appl. Phys. 1994, 75 (10), p. 6534-6536.

399. Zhang X.G. and Butler W. H. Calculation of electrical conductivityand giant magnetoresistance within the free electron model. // Mater. Res.Soc. Symp. Proc., 1995, v. 384, p. 323328.

400. Zhang S., Dimitrov D.V., Hadjipanayis G.C., Cai J.W., Chien C.L. Coercivity induced by random field at ferromagnetic and antiferromagnetic interfaces. // J. Mag. and Mag. Mater., 1999,198-199, p. 468-470.

401. Zhu Pei Syi, Peter M. Levy and John L. Fry. Interlayer magnetic coupling in metellic multilayer structures. // Phys. Rev. B, 1993, v. 49, № 21, p.15159 - 15178.

402. Zimmermann T., Zweck J., Hoffmann H. Magnetic coupling of Co layers through a Cu spacer layer. // J. Mag. and Mag. Mater. 1995,149, p. 409-417.

403. Zimmermann T., Zweck J., Hoffmann H. Quantification of Lorentz microscopy images of Co/Cu multilayer systems. // J. Mag. and Mag. Mater., 1995, 148, p. 239-240.

404. Zuberek R., Szymezak H., Suran G., Ounadjela K. Investigations of magnetostriction in Coo,86 Tio,i4 amorphous thtn films. // Thin Solid Films, 1990, v. 188, № 1, p. 1 5.

405. Zrudsky D. R., Bush H.D., Fasset J.R. Rev. Sci. Instr., 37, 885 (1966)

406. Ney A., Wilhelm F., Farle M., Poulopoulos P., Srivastava P., Baberschke K. Oscillations of the Curie temperature and interlayer exchange coupling in magnetic trilayers. // Phys/Rev. B, 1999, v. 59, № 6, p. R3937 R3940.

407. Герцрекн С.Д., Дехтяр И.Я. Дифузия в металлах и сплавах в твёдой фазе. // М., Физмат-гиз, 1960.

408. Chudnovsky Е.М, Salow W. М. Serota R. A. Ordering ferromagnets with rondon anisotropy. // Phys. Rev. B, 1994, v.33, № 1, p. 251 -261.

409. Нага K. Anomalous magnetic anisotropy of thi films evaporated at oblique incident. // J. Sci. Hirosshime Univ., 1970, ser. A 11, 34, 139.

410. Hicken R.E. Interlayer exchange coupling in epitaxial Fe/Cr/Ag/Ga(100) structures. // J. Appl. Phys., 1995, 78 (11), p.6670 6678

411. Исхаков Р.С., Комогорцев С.В., Бадаев А.Д., Чеканова JI.A. Размерность системы обме-но-связанных зёрен и магнитные свойства нанокристаллических и аморфных ферромагнетиков. // Письма в ЖЭТФ, 2000, т.72, вып. 6,440-444;

412. Исхаков Р.С., Комогорцев С.В., Балаев А.Д., Чеканова JI.A. Многослойные плёнки Co/Pd с нанокристалическими и аморфными слоями Со: соэрцитивная сила, случайная магнитная анизотропия и обменая связь зёрен. // Письма в ЖЭТФ, 2002, т.28, вып. 17, с37 44.

413. Herzer G. Grain size of coercivity and permeability in nanocrystalline ferromagnets. // IEEE Transactions on magnetics, 1990, v. 26, № 5, p. 1397 1402.

414. Dorleijn W.F and Miedema A.R. // J. Phys. F. 5, 1543 (1975); Dorleijn W.F. // Philips Res. Rep. 31,287(1976).

415. Barnas J., Palasantzas G. Interface roughness in the gaint magntoresistance in magnetic multilayers. //J. Appl. Phys. 82 (8), 1997, p.3950-3956.

416. Demokritov S. O. Biquadratic interlayer couplin in layerd magnetic systems. // J. Phys. D: Appl. Phys. 31,1998, p. 925 941.

417. Bobo J.F., Kikuchi H., Redon O. Snoeck E., Piecuch M., White R.L. Pinhole in antiferromag-netically coupled multilayers: Effects on hysteresis relation to biquadratic exchange. // Phys. Rev. B, 1999, v. 60, №6, p. 4131 -4141.

418. Fuchs P., Ramsperger U., Vaterlaus A., Landolt M. Roughness-induced coupling between ferromagnetic films across an amorphou spacer layer. // Phys. Rev. B, 1997, v. 55, №18, p. 12546-12551.

419. Imry Y., Ma S. Random-field instability of the ordered state of continuous symmetry. // Phys. Rev. Lett., 1975, v. 35, p.1399- 1401.

420. Alben R., Becker J. J. ,Chi M. C. Random anisotropy in amorphous ferromagnets. // J. Appl. Phys., 1978, v. 49(3) p. 1653 1658.

421. Чеботкевич JI.А., Воробьёв Ю.Д., Писаренко И.В. Магнитные свойства пленок нитрида железа, полученых реактивных магнетроным распылением. // ФТТ, 1998, т. 40, № 4, с.706 707.

422. Чеботкевич Л.А., Писаренко И.В., Воробьёв Ю.Д., Нефедев К.В. Фазоый состав и магнитные свойства Fe-N пленок. // ФММ, 1999, т.87, № 5, с.42 45.

423. Chebotkevich L.A., Vorobyev Yu.D, Slabzhennikova I.M. Influence of metallic interlayers on termostability of magnetic films. // Phys. Low-Dim. Struct., 1997, v. 3/4, p. 9-64.

424. Chebotkevich L.A., Vorobyev Yu.D., Kornilov A.V. Magnetoresistance in Co/Cu/Co. Измерение эффективной намагниченностию // The Therd Russia-Yapan Seminar on Semiconductor Surfaces, Vladivostok, Russia, 1998, G5.

425. Корнилов A.B., Воробьёв Ю.Д., Чеботкевич JI.A. Угловая зависимость перпендикулярного магниторезистивного эффекта в плёнках Co/Cu/Cu. // Материалы Всероссийской научно-технической конференции, Владивосток, 2000, т.П, с. 47-51

426. Корнилов A.B., Воробьёв Ю.Д., Чеботкевич JI.A. Влияние температуры отжига и толщины буферного слоя на величину магнитосопротивления. // Материалы Всероссийской научно-технической конференции, Владивосток, 2000, т.П, с. 52-54

427. Негода Д.Н., Воробьёв Ю.Д., Чеботкевич JI.A. Температурные измеренеия магнитосопротивления плёнок Co/Cu/Cu. // Материалы Всероссийской научно-технической конференции, Владивосток, 2000, т.П, с. 87-89

428. Влияние кристаллической структуры и межслоевой связи на коэрцитивную силу Со/Си/Со. // ФФТ, 2003, т.5, вып. 5, р. 864 867.

429. Воробьев Ю.Д., Сергеева Т.М., Слабженникова И.М., Чеботкевич Л.А. Магнитные кластеры аморфных пленок CoeéTiiV/ XXXY Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция. Владивосток. 1991.-т.1,ч.1.-С.55-58.

430. Слабженникова И.М., Воробьев Ю.Д., Слабженников С.Н. Определение концентрации низкосимметричных кластеров в аморфных пленках Co-Ti// XXXYI Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция. Владивосток. 1993. т.1, ч.2. - С.85 -87.

431. Воробьев Ю.Д., Слабженникова И.М., Чеботкевич Л.А. Природа магнитной анизотропии аморфных пленок Co-Ti // Тез, докл. IY Всесоюзной конференции "Проблемы исследования структуры аморфных материалов". Ижевск: Удмуртский ГУ. - 1992.

432. Уивер К. Диффузия в металлических плёнках. // В кн. Физика тонких пленок, т. VI, М.: Мир, 1973, с. 234-383.

433. Fuchs K. Conductivity thin metallic films. // Proc. Camb. Phil., 1938, v. 34, p.100 108.