Структура, магнитные и магниторезистивные свойства трехслойных пленок Co/Cu/Co тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.

1.1. Магнитные свойства многослойных пленок.

1.2. Гигантский магниторезистивный эффект многослойных пленок.

ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.

2.1. Магнетронный метод получения пленок.

2.2. Электронно-микроскопический метод исследования структуры пленок.

2.3. Методика измерения магнетосопротивления.

2.4. Измерение магнитных параметров мультислойных пленок Со/Си/Со.

2.5. Измерение толщины пленок.

ГЛАВА 3. ТРЕХСЛОЙНЫЕ ПЛЕНКИ Со/Си/Со.

3.1. Структура и магнитные свойства пленок Со/Си/Со.

3.1.1. Кристаллическая и доменная структура.

3.1.2. Зависимость эффективной намагниченности и коэрцитивной силы от толщины медной прослойки.

3.1.3. Зависимость эффективной намагниченности и коэрцитивной силы от толщины ферромагнитных слоев.

3.2. Поведение структуры и магнитных параметров при термомагнитной обработке.

3.2.1. Кристаллическая и доменная структура отожженных пленок Со/Си/Со.:.

3.2.2. Зависимость эффективной намагниченности и коэрцитивной силы пленок Со/Си/Со от температуры отжига.

3.3. Выводы.

ГЛАВА 4. ГИГАНТСКОЕ МАГНЕТОСОПРОТИВЛЕНИЕ ТРЕХСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК Со/Си/Со

4.1. Зависимость гигантского магнетосопротивления от толщины немагнитной прослойки.

4.1.1. Удельное сопротивление пленок Со/Си/Со с разной толщиной парамагнитной прослойки. Зависимость магниторезистивного эффекта от толщины медной прослойки.

4.1.2. Магнитные и магниторезистивные петли. Определение антиферромагнитной доли и поля насыщения.

4.1.3. Зависимость гигантского магниторезистивного эффекта от температуры измерения.

4.2. Зависимость ГМС от толщины ферромагнитных слоев.

4.2.1. Зависимость магниторезистивного эффекта от толщины слоев Со.

4.2.2. Магнитные и магниторезистивные петли гистерезиса. Доля антиферромагнитно упорядоченных областей.

4.3. Поведение ГМР эффекта при термомагнитном отжиге.

4.3.1. Влияние термомагнитной обработки на магниторезистивный эффект.

4.3.2. Магниторезистивные петли и поле насыщения отожженных пленок.

4.4. Выводы.

На- современном этапе развития физики тонких магнитных пленок основным объектом исследования продолжают оставаться сложные многослойные структуры с ультратонкими чередующимися магнитными и немагнитными слоями. Реализация таких искусственных периодических структур, обладающих свойствами, которыми не обладают природные вещества, уже нашла свое практическое применение в создании полупроводниковых приборов на сверхрешетках, где методом молекулярно-лучевой эпитаксии можно получить практически любую сверхрешеточную структуру. Наиболее широко используются сегодня многослойные полупроводниковые структуры в качестве всевозможных оптических покрытий (фильтры, зеркала и т.д.). Что касается магнитных структур, то они широко используются в современной микроэлектронике, электро- и радиотехнике, технике звуко- и видеозаписи, компьютерной технике как материалы -носители информации с продольным и вертикальным способами записи.

Возможность реализовать различные магнитные характеристики в многослойных структурах, например, сочетание магнитомягких свойств с высокой намагниченностью и низкими потерями на гистерезис, играет большую роль при изготовлении магнитных интегральных головок и преобразователей со сравнительно высоким уровнем выходного сигнала. В лучших накопителях информации используются тонкопленочные магнитные и магниторезистивные головки различных модификаций.

Большое внимание уделяется в настоящее время и магниторезистивным датчикам на основе металлических многослойных структур. Магнетосопротивление многослойных датчиков на основе Со и Бе более чем на порядок превосходит АЯ/Я обычных магниторезистивных тонкопленочных материалов, что обусловлено антиферромагнитной связью между ферромагнитными слоями.

Для практического применения многослойных пленок необходим большой процент повторяемости свойств. Исследователи часто сталкиваются с трудностями в получении хорошо воспроизводимых свойств, так как это связано с сильной зависимостью магнитных и магниторезистивных свойств от технологических условий изготовления пленок. С другой стороны, такая зависимость позволяет целенаправленно изменять магнитные параметры как в процессе создания пленок, так и в процессе термической обработки. Последнее возможно при четком представлении о механизмах формирования свойств тонкопленочных магнитных структур. Поэтому, необходимо исследовать структуру и состав многослойных пленок, сопоставляя эти данные с магнитными и магниторезистивными свойствами.

Целью диссертационной работы является исследование кристаллической и доменной структур трехслойных пленок Со/Си/Со; установление влияния материала подложки,, толщины ферромагнитных и немагнитного слоев, термомагнитной обработки и температуры измерения на структуру, магнитные и магниторезистивные свойства; . установление взаимосвязи магниторезистивных свойств со структурой и магнитнымй параметрами. В связи с этим были поставлены следующие задачи:

1. Исследовать кристаллическую и доменную структуру пленок Со/Си/Со с различной толщиной немагнитной прослойки;

2. Установить зависимость магнитных параметров (намагниченности и коэрцитивной силы) пленок, осажденных на различные подложки, от толщины слоев Со и Си;

3. Исследовать влияние термомагнитной обработки на структуру и магнитные параметры трехслойных пленок;

4. * Установить зависимость магнетосопротивления пленок от толщины ферромагнитных слоев и немагнитной прослойки;

5. Исследовать гигантское магнетосопротивление пленок Со/Си/Со при различных температурах измерения;

6. Изучить поведение магниторезистивных свойств пленок при отжиге;

7. Исследовать взаимосвязь магнетосопротивления, доли антиферромагнитно упорядоченных областей в смежных ферромагнитных слоях и поля насыщения. *

На защиту выносятся следующие основные положения:

1. Тип доменных границ в тонких трехслойных пленках Со/Си/Со (с1с0« 13 нм) зависит от толщины промежуточного слоя Си, от шероховатости поверхности границ раздела. *

2. Коэрцитивная сила в трехслойных пленках Со/Си/Со зависит от непрерывности промежуточного слоя Си; замыкания магнитных полей рассеяния; типа доменных границ.

3. Величина (Л/?//?)тах зависит от шероховатости слоев пленок, от доли антиферромагнитно связанных областей слоев Со.

4. Изменение (ЛД/К)тах отжиге обусловлены расслоением атомов Со и Си и изменением кристаллической структуры и шероховатости границы раздела.

Практическая ценность работы состоит в том, что ее результаты способствуют развитию представлений о взаимосвязи кристаллической структуры, магнитной структуры и гигантского магнетосопротивления. Используя данные о влиянии на величину гигантского магнетосопротивления шероховатости слоев, размера зерна, температуры измерения и температуры отжига, представляется возможным изготовление структур с большой величиной гигантского магнетосопротивления.

Новизна исследований и полученных результатов. 1. Экспериментально установлено, что тип доменных границ в пленках Со/Си/Со {с1Со = 12.5 нм) зависит от толщины немагнитной прослойки. При йси ^ 2.2 нм реализуются сдвоенные Неелевские стенки.

2. Экспериментально определена толщина прослойки Си, при которой пленки Со/Си/Со имеют минимальную величину коэрцитивной силы.

3. Установлена взаимосвязь гигантского магнетосопротивления С долей антиферромагнитно связанных областей в смежных слоях Со и полем насыщения. *

4. Показано, что температура измерения и температура отжига существенно влияют на величину гигантского магнетосопротивления.

5. Показано, что величина магнетосопротивления зависит от шероховатости границ раздела. .

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на Всероссийских межвузовских научно-технических конференциях (Владивосток, 1997, 1998, 1999 гг.); Международной школе-семинаре "Новые магнитные материалы микроэлектроники" (Москва, 1998, 2000 гг.); Международной научной конференции "Магнитные материалы и их применение" (Минск, 1998 г.); третьей русско-японской конференции "Полупроводниковые поверхности" (Владивосток, 1998 г.); научных конференциях студентов, аспирантов и молодых ученых по физике при поддержке федеральной программы "Интеграция фундаментального образования", проект 742 (ИАПУ, Владивосток, 1997, 1998, 1999 гг.; ДВГУ, Владивосток, 1997, 1998,1999 гг.).

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы.

4.4. Выводы

1. Зависимость магнетосопротивления трехслойных пленок Со/Си/Со от толщины медной прослойки носит осциллирующий характер. Выявлены второй й третий антиферромагнитные максимумы, соответствующие толщине медной прослойки йСи = 2.2 и 4.2 нм.

2. При уменьшении толщины ферромагнитных слоев пленок Со/Си/Со с толщиной медной прослойки с1Си= 2.2 нм, соответствующей второму антиферромагнитному максимуму, величина магнетосопротивления увеличивается. •

3. Зависимость доли антиферромагнитно связанных областей в смежных слоях кобальта от толщины медной прослойки = / (¿/См) носит осциллирующий характер, причем период осцилляций совпадает с наблюдаемым на зависимости (АЯ / Я)тт = /(с1Си ).

4. Уменьшение толщины слоев кобальта пленок Со/Си/С'о (с (1Си = 2.2 нм) приводит к увеличению доли антиферромагнитно упорядоченных областей в смежных ферромагнитных слоях.

5. Корреляция зависимостей {АЯ! Я)тах=/(йСи) и ¥аф = /(</Си),

АЯ/ Я) таз1 = /(с1Со) и Раф = /{(¡Со) свидетельствует об однозначной связи магнетосопротивления и доли антиферромагнитно упорядоченных областей в смежных ферромагнитных слоях.

6. Термомагнитная обработка существенно влияет на величину ГМР эффекта. Возрастание (АЯ/Я)тах при Тотж- 240°С обусловлено снятием внутренних напряжений и расслоением Со и Си с выравниванием слоя Си по толщине. Уменьшение (АЯ/Я )тах при Тотж = 400°С обусловлено ростом размера зерна и нарушением сплошности медной прослойки.

98

7. Величина ГМР пленок Со/Си/Со, измеренная при 77°К, существенно больше (в 3.5 -*-.5 раз) соответствующих значений (АЯ/Я)тах, измеренных при 293°К.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Показано, что в тонких трехслойных пленках (dCo ^ 13 нм) тип доменных границ зависит от толщины немагнитной прослойки. В пленках Со/Си/Со реализуются доменные границы с перетяжками до тех пор, пока немагнитная прослойка структурно несплошная. Когда промежуточный слой Си становится структурно сплошным, реализуются двойные Неелевские границы.

Установлено, что в пленках Со/Си/Со с толщиной промежуточного слоя Си, соответствующей второму антиферромагнитному максимуму, при отжиге • изменяется тип доменных границ. В осажденных пленках реализуются двойные Неелевские границы, а после отжига - границы с перетяжками.

Установлено, что эффективная намагниченность Со/Си/Со пленок практически не зависит от толщины промежуточного слоя. Коэрцитивная сила в пленках Со/Си/Со, имеющих несплошной промежуточный слой, существенно больше Нс пленок Со с толщиной равной 2dc0- Величина коэрцитивной силы резко уменьшается с образованием структурно сплошного промежуточного слоя Си.

Показано, что величина гигантского магнетосопротивления зависит от шероховатости межфазных границ и размера зерна. Величина (AR/R)max пленок Со/Си/Со, осажденных на монокристаллические подложки Si(100), почти в три раза больше величины (Aft/i?)max пленок, осажденных на покровные стекла, амплитуда шероховатостей которых почти в 10 раз превосходит амплитуду шероховатостей монокристаллического Si. Показано, что низкотемпературный отжиг увеличивает (AR/R)max, а высокотемпературный - уменьшает. Увеличение (AR/R)max обусловлено снятием внутренних напряжений и расслоением Со и Си с образованием резкой границы раздела. Уменьшение (Л/?/К)тах при Тотж > 250°С обусловлено увеличением шероховатости границ раздела из-за роста размера зерна.

6. Экспериментально показано, что температура измерения влияет на величину гигантского магнетосопротивления. Величина (АЯ/Я)тах, измеренная при температуре жидкого азота в 3.5 5 раз превышает значение (АЛ/И)тах, измеренное при комнатной температуре.

В заключении выражаю глубокую благодарность научным руководителям доктору ф.-м. н., профессору JI.A. Чеботкевич и к. ф.-м. н. Ю.Д. Воробьеву,* а также ведущему инженеру лаборатории пленочных технологий Л.П. Печниковой, к. ф.-м. н. И.В. Соппе, к. ф.-м. н. A.C. Рудневу, к. ф.-м. н., сотрудникам кафедры общей физики, зав. кафедрой, к. ф.-м. н. В.Д. Баурину, к. ф.-м. н. Э.В. Ильину.

1. Egelhoff W.F., Chen Jr.P.J., Powell С J. et. al. The trade-off between large magnetoresistance and small coercivity in symmeric spin valves. - J. Appl. Phys., 1996, 79(11), p. 8603-8606.

2. Farrow R.F.C., Lee C.H., Parkin S.S.P. Magnetic multilayer structures. IBM J. Res. Develop., 1990,34(6), p. 903 - 915.

3. Houdy Ph., Boher P., Giron F., Pierre F. Magnetic and structural properties of rf-sputtered Co/Fe and Co/Cr multilayers. J. Appl. Phys., 1991, 69(8), p. 5667 -5669.

4. Федосюк B.M., Макутин Г.В., Козич H.H., Касютич О.И. Структура и магнитные свойства мультислойных Со/Си пленок. ФММ, - 1993, т. 75,. № 5, с. 76-78.

5. Вашаs J. Interlayer exchange coupling in ultra-thin layered structures. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1994,128, p. 117 -118.

6. Lacroix C., Gavigan J.P. Interlayer coupling in magnetic multilayers: analogy to superexchange proceses in insulators. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1991, 93, p. 413-417.

7. Zhu-Pei Shi, Levy P., Fry J.L. . Interlayer magnetic coupling in metallic multilayer structures. Phys. Review В., 1994, 49(21), p. 15159 - 15178.

8. Bruno P., Chappert C. Oscillatory coupling between ferromagnetic layers separated by a nonmagnetic metal spacer. Phys. Review Letters, 1991, 67(12), p. 1602- 1605.

9. Gutierrez C.J., Qiu Z.Q., Tang H., Wieczorek M.D., Mayer S.H., Walker J.C. Indirect magnetic interaction through silver in epitaxial Fe(110)/Ag(l 11) multilayers. Phys. Review В., 1991,44(5), p. 2190 - 2197.

10. Chappert C., Renard J.P. Long-period oscillating interaction between ferromagnetic layers separated by nonmagnetic metal: a simple physical picture. -Europhys. Lett., 1991,15(5), p. 553 558.

11. Brubaker M.E., Mattson J.E., Sowers C.H, Bader S.D. Oscillatory interlayer magnetic coupling of spattered Fe/Mo superlattices. Appl. Phys. Lett., 1991, 58(20), p. 2306-2308.

12. Coehoorn R. Period of oscillatory exchange interactions in Co/Cu and Fe/Cu multilayer sistems. Phys. Review B., 1991,44(17), p. 9331 - 9337.

13. J', d'Albuquerque e Castro, Ferreira M.S., Muniz R.B. Theory of the exchange coupling in magnetic metallic multilayers. Phys. Review B., 1994, 49(22), p. 16062- 16065. '

14. Inoue J. A theory of biquadratic exchange coupling in magnetic multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1994,136, p. 233 - 237.

15. Rijks Th.G.S.M, Coehoorn R., Daemen J.T.F., Jonge W.J.M. Interplay between exchange biasing and interlayer exchange coupling in Ni8oFe2o/Cu/ Ni8oFe2o/Fe5oMn5o latered systems. J. Appl. Phys., 1994, 76(2), p. 1092 - 1099.

16. Bian X, Gaulin B.D, Strom-Olsen J.O, Altounian Z, Stager C.V, Avelar J.A. Weak antiferromagnetic coupling in spattered NiCo/Cu multilayers. Phys. Review B, 1994, 50(5), p. 3114-3119.

17. Sakurai M, Shinjo T. Magnetic and magnetooptical properties of Pd/Au/Pd/.Co and Pd/Cu/Pd/Co multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1993, 128, p. 237-246.

18. Федосюк В.M., Макутин Г.В. Магнитные свойства многослойных Co/Pd пленок. -ФММ, 1992, №6, с. 76 78.

19. Krishnan R. Magnetic multilayers: fundamental and practical aspects. J. de Phys., 1992, 2(3), p. 159- 167.

20. A. van den Beukel, Sietsma J. Flow defects and diffusion defects in metallic glasses. Materials Science and Engineering, 1991,134, p. 935 - 938.

21. Danel M., Bennett L.H., Lashmore D.S. Properties of electrodeposited Co-Cu multilayer structures. J. Appl. Phys., 1987, 61(8), p. 4067 - 4069.

22. Грабчиков C.C., Шеленг М.У., Самуэль В.Г. Структура и магнитные свойства аморфных пленок Co-Zr, полученных методом послойного осаждения. Металлы, 1993, № 1, с. 177 - 182.

23. Lafford T.A., Gibbs M.R.J., Syearwood С. Magnetic, magnetostrictive and structural properties of iron-cobalt/silver multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1994,132, p. 89 - 94.

24. Болтушкин A.B., Федосюк B.M., Касютич О.И. Влияние отжига на магнитные свойства мультислойных Со/Си и Co/Pd пленок. ФММ, 1993, т. 75, №6, с. 58-61.

25. Wulfhekel W., Knappmann S., Gehring В., Oepen H.P. Temperature-induçed magnetic anisotropics in Co/Cu (111). Phys. Review В., 1994, 50(21), p. 16074 - 16077.

26. Устинов B.B., Ромашев JI.H., Минин В.И., Семериков А.В., Дель А.Р. Зависимость магнитосопротивления сверхрешеток Fe/Cr от ориентации внешнего магнитного поля. ФММ, 1995, т.8, № 5, с. 71 - 80.'

27. Baibich M.N., Broto J.M., Fert A. et. al. Giant magnetoresistance of (00 l)Fe/(001)Cr magnetic superlattices. Phys. Rev. Letters, 1988, 6(21), p. 2472 -2475.

28. Parkin S.S.P., Li Z.G., David J. Smith. Giant magnetoresistance in antiferromagnetic Co/Cu multilayers.- Appl. Phys. Lett., 1991, 58(23), p. 2710 -2712.

29. Hall M.J., Whitton E.D., Jardine D.B., Somekh R.E., Evetts J.E., Leake J.A. The effect of annealing on the giant magnetoresistance and magnetisation of sputter-deposited Co/Cu multilayers.- J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1996, 156, p. 119-120.

30. Kubinski D.J., Holloway H. Co/Cu multilayers with reduced magnetoresistive hysteresis.- J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1997, 165, p. 104 107.

31. Emmerson C.M., Shen T.-H. A study of Co/Cu multilayers grown on Si(l 11) with silicide buffer layers.- J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1996, 156, p. 15 -16.

32. Willekens M.M.H., Rijks Th.G.S.M., Swagten H.J.M., de Jonge W.J.M. Interface intermixing and magnetoresistance in Co/Cu spin valves with uncoupled Co layers. J. Appl. Phys., 1995, 78(12), p. 7202 - 7209.

33. Parkin S.S.P., More N., Roche K.P. Oscillations in exchange coupling and magnetoresistance in metallic superlattice structures: Co/Ru, Co/Cr, and Fe/Cr. -Phys. Rev. Lett., 1990, 64, p. 2304 2307.

34. Parker M.A., Hylton T.L., Cofley K.R., Howard J.K. Microstructural origin of giant magnetoresistance in a new sensor structure based on NiFe/Ag discontinuous multilayer thin films.- J. Appl. Phys., 1994, 75(10), p. 6382 6384.

35. Hossain S., Seale D.-, Qiu G., Jarratt J., Barnard J.A., Fujiwara H., Parker M.R. Hysteresis reduction in NiFeCo/Cu multilayers exhibiting large low-field giant magnetoresistance. J. Appl. Phys., 1994,75(10), p. 7067 - 7069.

36. Jimbo M., Matsua M. Giant magnetoresistance in amorphous CoFeP sandviches.-In Proceed, of ICMFS'94 and MRM'94, 28 August 2 September, 1994, Dusseldorf, p. 7.

37. Dubois S., Beuken J.M., Piravx L., Duvail J.X., Fert A., George J.M., Maurice J.L. Perpendicular giant magnetoresistance of NiFe/Cu and Co/Cu multilayered nanowires. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1997, 165, p. 30-33.

38. Gambino R.J., McGuire T.R., Harper J.M.E., and Cyril Cabral. Giant magnetoresistance of dilute Cu(Co) granular films.- J. Appl. Phys., 1994, 75(10), p. 6909-6911.

39. Veda Y., Hataya N., Zaman H. Magnetoresistance effect of Co/Cu multilayer film produced by electrodeposition method. J. of Magnetism and Magnetic Materials,1996, 156,-p. 350-352.

40. Lenczowski S.K.J., Schonenberger C., Gijs M.A.M., de Jonge W.J.M. Giant magnetoresistance of electrodeposited Co/Cu multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1995,148, p. 455 - 465.

41. Schmeusser S., Rupp G., Hubert A. Optimization of giant magnetoresistance in ion beam sputtered Co/Cu multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials,1997, 166, p. 267-276.

42. Zhang H., Cochrane R.W., Huai Y., Ming Mao, Bian X., Muir W.B. Effect of annealing on the giant magnetoresistance of sputtered Co/Cu multilayers.- J. Appl. Phys., 1994, 75(10), p. 6534 6536.

43. Касютйч О.И., Федосюк B.M. Гигантское магнитосопротивление в мультислойных электроосажденных Со/Си пленках,- ФММ, 1996, т. 82, в. 5, с. 90-97.

44. Kubinski D.J., Holloway Н. Giant magnetoresistance in Со/Си multilayers: Influence of Co thickness at the first antiferromagnetic maximum. J. Appl. Phys., 1996, 79(9), p. 7395 -7397. .

45. Kubinski D.J., Holloway H. Giant magnetoresistance in Co/Cu multilayers with very thin Co layers: Reduced hysteresis a^ the second antiferromagnetic maximum. J. Appl. Phys., 1996, 79(3), p. 1661 - 1663.

46. Bouziane K., J. Ben Youssef, El Harfaoui M., Koshkina О., H. Le Gall, Desvignes J.M., El Yamani M., Fert A. Comparative study of giant magnetoresistance in

47. Holloway H., Kubinski D.J. Giant magnetoresistance in Co/Cu multilayers with Co layers of alternating thickness: Reduction of magnetoresistance hysteresis. J. Appl.-Phys., 1996,79(9), p. 7090 - 7094.

48. Takahashi Y., Inomata K. Correlation between giant magnetoresistance and the antiferromagnetic volume fraction in superlattics. J. Appl. Phys., 1996, 79(11), p. 8598 - 8602.

49. Pollard R.J., Wilson M.J., Grundy PJ. Giant magnetoresistance in highly oriented sputter deposited (lll)Co/Cu multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1995,146, LI-L4.

50. Parkin S.S.P., More N., and Roche K.P. Oscillation in Exchange Coupling and Magnetoresistance in Metalic Superlattice Structures: Co/Ru, Co/Cr and Fe/Cr. -The American Physical Society, 1990,64(19), p. 2304 2307. .

51. Qiu Z.Q., Pearson J., and Bader S.P. Oscillatory interlayer magnetic coupling of wedged Co/Cu/Co sandwiches grown on Cu(100) by molecular beam epitaxy. -Phys.Rev. B., 1992,46,p. 8659-8662.

52. Bruno P. Magnetic layer thickness dependence of the giant magnetoresistance. -Europhys. Lett., 1993,23, p. 615.

53. Folkerts W. and Purcell S.T. Reduced magnetoresistive hysteresis of Co/Cu multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1992, 111, p. 306.

54. Вгипо P. and Chappert C. Ruderman-Kittel theory of oscillatory interlayer exchange coupling. Phys. Rev. В., 1992, 46, p. 261 - 270.

55. Fullerton E.E., Kelly D.M., Gimpel J. and Schuller I.K. Roughness and giant magnetoresistance in Fe/Cr superlattices. Phys. Rev. Lett., 1992, 68, p. 859 -862. •

56. Veda H. et al. Interfacial roughness and the magnetoresistance. Jpn. J. Appl. Phys., 1994,33, p. 6173.

57. Randolph Q. Hood, Falicov L.M., and Penn D.R. Effects of interfacial roughness on the magnetoresistance of magnetic metallic multilayers. Phys. Rev. В., 1994, 49, p. 368-377.

58. Barnas J., Palasantzas G. Interface roughness effects in the giant magnetoresistance in magnetic multilayers. J. Appl. Phys., 1997, 82(8), p. 3950 -3956.

59. Laidler H., Pape I., Gregory C.I., Hickey В J., Tanner B.K. X-ray and magnetoresistance measurements of annealed Co/Cu multilayers. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1996,154, p. 165 - 174.

60. Данилин B.C., Сырчик B.K. Магнетронные распылительные системы. М.: "Радио и связь", 1982, 73 с.

61. Шкляровский И.Н. Оптика и спектроскопия, 1958, 5, вып. 5, с. 617.

62. Баранов А.Г., Гладков Ю.А., Судаков Н.И., Аюрзанайн Б.А. К вопросу измерения толщины ТМП фотометрическим методом. "Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок", Красноярск: Институт физики СО АН СССР, 1968, с. 59 - 63.

63. Bertero G.A., Sinclair R. Structure-property correlations in Pt/Co multilayers for magneto-optic recording. J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1994, 134, p. 173 - 184.'

64. Воробьев Ю.Д., Буркова И.Н., Чеботкевич JI.A. Коэрцитивная сила и магнетосопротивлейие пленок Со/Си/Со. ФММ, 2000, 89(4), с. 26 - 31.

65. Vorobyev Yu.D., Burkova I.N., Chebotkevich L.A. Magnetoresistance in Co/Cu/Co layers. Mater. The Third Russia - Japan Siminar on Simiconductor Surfaces. Vladivostok, 1998.

66. Вонсовский C.B., Шур Я.С. Ферромагнетизм. M.: Государственное издательство технико-теоретической литературы, 1948, 816 с.

67. Malyutin V.I., Osukhovskii V.E., Ivanov. A.A, Chebotkevich L.A., Lobov I.V., and Vorobiev Yu.D. The Effect of Volume and Surfase Inhomogeneities on the Coercivity of Thin Magnetic Films. Phys. stat. sol. (a), 1986, 93, p. 585-595.

68. Middelhoek S. Domain walls in thin Ni-Fe films. J. Appl." Phys., 1963, Pt. 2, 34(4), p. 1054-1059.

69. Yadzawa M., Iwata S., Utiyama S. Magnetic and magnetooptic properties of Fe-Si multilayered films. J. Magn. Soc. Jap., 1988,12(2), p. 311 -316.

70. Hur I.H., Comstock C.S., Pohm A.V., Pearey L.A. Magnetoresistivity in a NiFeCo/Ta multilayer with elevated substrate temperature. J. Appl. Phys., 1988, 64(10), p. 6113-6114. *

71. Smardz S., Baszynski J., Rauschenbach B. Preparation and characterization of magnetic superlattices. Thin Solid Films, 1989, p. 295 - 298.

72. Senda M., Nagai Y. Magnetic properties of multilayer films consisting of Fe and nonmagnetic layers. J. Appl. Phys., 1989, 65(8), p. 3157 - 31"60.

73. Tsukahara S., Matsuoka S., Sekino K., Itoh A. Fine structures and magnetic properties of iron layers in multilayered state. Mater. ISPMM-87, 1987, p. 287 -290.

74. Чеботкевич JI.A., Воробьев Ю.Д., Буркова И.Н., Корнилов А.В. Структура и магнитные свойства отожженных пленок Со/Си/Со. ФММ, 2000, 89(3), с. 56-61.

75. Лесник А.Г. Наведенная магнитная анизотропия. Киев: "Наукова думка". 1976.163 с.

76. Буркова И.Н. Магнитные свойства пленок Co/Cu/Co. Сб. докладов региональной научной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике. Владивосток, 1997.

77. Буркова И.Н. Влияние отжига на структуру и магнитные свойства трехслойных Со/Си/Со пленок. Сб. докладов региональной научной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике. Владивосток, 1998.

78. Буркова И.Н. Магниторезистивный эффект в пленках* Со/Си/Со. Сб. докладов региональной научной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике. Владивосток, 1999.

79. Vorobyev Yu.D., Burkova I.N., Chebotkevich L.A. Magnetoresistance Effect and Coercive Force of Co/Cu/Co Three-Layers Films. Phys. Low-Dim. Struct., 1999, 5/6, p.-195 -200.

80. Wigen P., Zhou Li, Stamps R., et al. Compositional control of interlayer magnetic coupling in Co/Ru/Co(Ag) and Co/Cu/Co(Ag) trilayers films* J. of Magnetism and Magnetic Materials, 1997,165, p. 465 - 467.

81. Чеботкевич JI.A., Воробьев Ю.Д., Буркова И.Н. Магнитные свойства и межфазные границы трехслойных Со/Си/Со пленок. Сб. трудов XVI Международной школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники". Москва, 1998, ч. 2, с. 426 - 427.

82. Буркова И.Н., Корнилов А.В. Влияние подложки и буферного слоя на магниторезистивный эффект. Сб. докладов региональной научцой конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике. Владивосток, 1999.

83. Воробьев Ю.Д., Буркова И.Н., Чеботкевич JI.A. Магниторезистивный эффект и межслоевое взаимодействие в пленках Со/Си/Со. Тез. докладов Международной научной конференции "Магнитные материалы и их применение ". Минск, 1998.

84. Буркова И.Н., Воробьев Ю.Д., Ноздрачев Е.А., Ильин Э.В., Чеботкевич JI.A. Влияние температуры на магнетосопротивление. Сб. докладов XXXXII Всероссийской межвузовской научно-технической конференции1.l

85. Фундаментальные и прикладные вопросы физики и математики". Владивосток, 1999.

86. Справочник "Таблицы физических величин" /под ред. Кикоина И.К./. М.: Атомиздат, 1976,1006 с. .

87. Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Государственное издательство физико-математической литературы, 1963, 696 с.

88. Чеботкевич Л.А., Буркова И.Н., Ильин Э.В. Зависимость гигантского магниторезистивного эффекта от температуры измерения. Сб. трудов XVII Международной школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники". Москва, 2000, с. 698 - 700.

89. Воробьев Ю.Д., Буркова И.Н., Корнилов A.B., Негода Д.Н., Чеботкевич JI.A. Влияние отжига на свойства Со/Си/Со пленок. Сб. трудов XVII Международной школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники". Москва, 2000, с. 624 - 626.