Теоретические исследования широкополосных рентгенооптических элементов и систем тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.05 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

1 Широкополосные элементы рентгеновской оптики

1.1 Эффект шепчущей галереи.

1.1.1 Эффект полного внешнего отражения рентгеновского излучения

1.1.2 Краткий исторический обзор.

1.1.3 Эффект шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне.

1.1.4 Применение эффекта шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне

1.2 Многофасеточные зеркала

1.3 Рентгеновские волноводы.

1.3.1 Рентгеновские монокапилляры.

1.3.2 Капиллярные оптические системы

1.3.3 Планарные рентгеновские волноводы.

1.4 Градиентные многослойные зеркала.

1.4.1 Теоретические и экспериментальные исследования.

1.4.2 Возможные области применения градиентных зеркал

2 Зеркала шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне

2.1 Эффективность транспортировки рентгеновского излучения.

2.2 Пространственное и угловое распределение интенсивности рентгеновского излучения

2.3 Анализ экспериментальных результатов по повороту MP пучка

2.3.1 Эксперимент по повороту MP излучения "точечного" источника

2.3.2 Эксперимент по повороту пучка СИ.

2.4 Выводы

3 Физический анализ оптической схемы вертикального канала СИ для теневой рентгеновской литографии

3.1 Поворот пучка СИ в вертикальную плоскость.

3.2 Коллиматор равномерной засветки пластины.

3.3 Расходимость рентгеновского излучения вдоль поверхности маски

3.4 Оптимальный коллиматор для широкополосного пучка СИ.

3.5 Выводы.

4 Применение эффекта шепчущей галереи для контроля шероховатостей вогнутых поверхностей

4.1 Компьютерное моделирование.

4.2 Обсуждение результатов компьютерного эксперимента.

4.3 Эксперимент по исследованию шероховатостей на вогнутой поверхности и компьютерное моделирование

4.4 Выводы.

5 Градиентные многослойные зеркала с широкой спектральной полосой отражения

5.1 Коэффициент отражения рентгеновского излучения от многослойных зеркал с изменяющимся периодом.

5.2 Обратная задача в теории градиентных многослойных зеркал рентгеновского диапазона

5.3 Оптимизация широкополосных многослойных зеркал для каналов синхротронного излучения.

5.4 Выводы.

Актуальность темы. Диссертация посвящена теоретическому рассмотрению широкополосной отражательной оптики для рентгеновского диапазона длин волн (А = 0,1 — 400 А), который можно подразделить на жесткий (А = 0,1-3 А) и мягкий (А ~ 3-400 А) рентгеновские диапазоны (ЖР и MP соответственно).

Рентгеновское излучение в настоящее время все шире применяется в научных исследованиях, технике и технологии [1]-[8]. Энергия рентгеновских фотонов совпадает с энергией связи внутренних атомных электронов, благодаря чему рентгеновская спектроскопия, наряду с оптической, представляет собой важный метод изучения строения вещества. В рентгеновском диапазоне лежит максимум интенсивности излучения горячей плазмы, в связи с чем рентгеновское излучение оказывается наиболее естественным источником информации о физических процессах, протекающих в таких объектах, как термоядерная плазма, Солнце, звезды и другие астрономические источники. Большими потенциальными возможностями обладает MP микроскопия, которая с точки зрения пространственного разрешения занимает промежуточное положение между оптической и электронной, но, в отличие от последней, позволяет проводить прямые исследования толстых 1-10 мкм) образцов живых, влажных тканей и микроорганизмов. Из-за небольшой глубины проникновения и малой длины волны рентгеновское излучение является наиболее подходящим инструментом для исследования физической и химической структуры приповерхностных слоев твердых тел, тонких пленок и микрогеометрии поверхности. В связи с появлением интенсивных источников рентгеновского излучения возрос интерес к рентгеновской фотофизике и фотохимии. Наконец, среди методов производства интегральных микросхем с субмикронными размерами все более прочное место начинает занимать рентгенолитография.

Таким образом, физика рентгеновского излучения смыкается сегодня как с многими фундаментальными дисциплинами, так и с новейшей технологией и её применениями.

Дополнительным стимулом к развитию рентгеновской физики явилось создание синхротронных источников третьего поколения, лазеров MP диапазона и высокотемпературных плазменных источников, обладающих высокой яркостью и мощностью рентгеновского излучения [9]-[11].

В то же время ясно, что успешное решение отмеченных выше задач, а также эффективное использование современных источников рентгеновского излучения возможно лишь при наличии эффективных рентгенооптических элементов для управления пучками рентгеновского излучения. Отметим, однако, что развитие оптики в рентгеновском диапазоне сталкивается с рядом трудностей, существенно отличающихся от проблем видимого и инфракрасного диапазонов, что связано с предельно малой отражательной способностью рентгеновского излучения от поверхности вещества при нормальном падении. Одним из существующих путей преодоления указанных трудностей является развитие оптики скользящего падения, в основе которой лежит явление полного внешнего отражения (ПВО) рентгеновских лучей. Зеркала скользящего падения работают, как правило, на 1-2 отражениях и имеют малый апертурный угол из-за крайне малой величины критического угла ПВО. Другой подход к решению проблемы управления пучками рентгеновского излучения связан с созданием дифракционных и интерференционных рентгенооптических элементов, таких как многослойные периодические зеркала, зонные пластинки и пропускающие решетки. Однако спектральная селективность этих устройств зачастую ограничивает область их применения. Обзор теоретических подходов и физических основ технологии рентгеновской оптики дан в монографиях [10]-[13].

Новые возможности по управлению рентгеновским излучением открывают широкополосные рентгенооптические элементы: зеркала "шепчущей галереи" и градиентные многослойные структуры, позволяющие существенно расширить возможности уже существующей рентгеновской оптики. Зеркала "шепчущей галереи", сохраняя присущую оптике скользящего падения широкую спектральную полосу пропускания, способны с высокой эффективностью поворачивать рентгеновские пучки на большие углы

7г), а также концентрировать MP излучение точечных источников с эффективностью в десятки-тысячи раз большей, чем эффективность традиционных рентгенооптических систем скользящего падения. Градиентные многослойные зеркала, в отличие от периодических многослойных структур, способны отражать рентгеновское излучение в широком диапазоне длин волн и углов падения, причем интегральный коэффициент отражения может в несколько раз превосходить его значение для узкополосных периодических зеркал. Создание широкополосных рентгенооптических элементов позволяет успешно решать задачи, возникающие при разработке коллимирующих, фокусирующих и изображающих устройств для астрофизики, каналов синхротронного излучения (СИ), физики плазмы и т.д.

Целью работы является:

Оптимизация геометрических параметров, выбор наилучших по оптическим свойствам материалов и выработка рецептов для практического изготовления широкополосных рентгенооптических элементов и систем, предназначенных для использования в различных физических и технологических задачах и, в первую очередь, для управления пучками СИ. Разработка рентгеновских методов контроля шероховатостей вогнутых поверхностей.

Научная новизна

1. Развита теория шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне, учитывающая влияние поверхностных шероховатостей.

2. Предложен и обоснован новый чувствительный метод контроля шероховатости вогнутых поверхностей, основанный на эффекте шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне.

3. Рассмотрены основные принципы работы и оптимизированы параметры рентге-* нооптической системы вертикального канала СИ для теневой (с зазором) рентгеновской литографии с разрешением 50-100 пи.

4. Предложен новый подход к задаче синтеза широкополосных многослойных зеркал для жесткого рентгеновского диапазона, основанный на комбинации аналитического и численного подходов. Проанализированы специфические особенности градиентных зеркал по сравнению с периодическими. Проведен анализ конструкции и оптических свойств широкополосных градиентных зеркал применительно к задаче управления пучками СИ.

Практическая ценность работы

Проведенные в диссертации исследования позволяют расширить диапазон применений рентгеновской оптики для различных научных и технологических целей. Полученные результаты могут быть непосредственно использованы при разработке и изготовлении рентгенооптических элементов различного назначения.

На защиту выносятся основные результаты диссертации, изложенные в конце настоящей работы.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались на Международном симпозиуме EUROPTO -99 (Берлин, 26-28 мая 1999 г.), Международной конференции "Surface X-Ray and Neutron Scattering" (Дубна, 24-29 июня 1993 г.), Национальной конференции "Применения рентгеновского, синхротронного излучения, нейтронов и электронов для исследования материалов" (Дубна, 25-29 мая 1997 г.), 1-ом и 2-ом Всероссийском совещаниях "Рентгеновская оптика" (Нижний Новгород, 23-26 февраля 1998 г. и 1-4 марта 1999 г.) и 2-ом советско-китайском семинаре "Оптика рентгеновских лучей и микроанализ" (Ленинград, 26-28 июня 1991 г.).

Публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 11 статьях [14]-[24].

Объем работы. Диссертация состоит из введения, пяти глав и выводов, содержит 155 страниц, 67 рисунков, 3 таблицы и список литературы из 216 наименований.

Основные результаты и выводы

1. Разработана теория поворотных зеркал для рентгеновского диапазона длин волн, учитывающая наличие шероховатостей на вогнутой поверхности. Показано, что не смотря на большое число отражений пучка, требования к гладкости отражающей поверхности не очень высоки, поскольку рассеяное излучение само поворачивается вогнутой поверхностью. Установлено, что наибольшее влияние на эффективность передачи оказывает шероховатость с радиусом корреляции ~ jjzTj- В целом для эффективного поворота пучка высота шероховатости не должна превышать нескольких десятков ангстрем, что не представляет проблемы для современной технологии обработки поверхностей.

2. Предложен и теоретически обоснован новый чувствительный метод исследования микрошероховатостей вогнутой поверхности с помощью пучка рентгеновского излучения, скользящего вдоль поверхности в режиме шепчущей галереи.

3. Теоретически исследованы пространственное и угловое распределения энергии рентгеновского излучения после поворота цилиндрической поверхностью. Предсказано, что распределение плотности потока энергии излучения на выходной апертуре поворотного зеркала имеет характерную многопичковую структуру, а угловое распределение мощности - форму, близкую к треугольной.

Показано, что полученные теоретические результаты находятся в хорошем соответствии с результатами экспериментов по повороту MP излучения вогнутыми поверхностями, проведенных с использованием излучения рентгеновских трубок и синхротрона С-60.

4. Рассмотрены принципы работы вертикального канала СИ для теневой рентгеновской литографии. Подробно исследованы и оптимизированы параметры рентгено-оптической системы, обеспечивающей:

- отклонение пучка СИ из горизонтальной плоскости в вертикальную;

- малую расходимость излучения, падающего на шаблон: ёт] < 2 х Ю-3 рад;

- угол падения пучка на шаблон близкий к 0°: т) < 1 х Ю-2 рад;

- выделение оптимальной области длрш волн А ~ 6-12 А;

- достаточно большую ширину пучка СИ, падающего на шаблон: 1 см и более;

- постоянное значение плотности потока излучения на поверхности пластины.

5. Предложен новый подход к решению задачи синтеза рентгеновских широкополосных многослойных зеркал. Метод сочетает аналитический и численный подходы, опирается на общую теорию распространения волн в одномерно-неоднородной среде и позволяет решить обратную задачу т.е. синтезировать многослойные зеркала с заданными спектральными характеристиками. Приближенный аналитический подход позволяет существенно ускорить процесс численной оптимизации структуры многослойного зеркала.

1. А.И.Зайдель, Е.Я.Шрейдер, "Вакуумная спектроскопия и её применения", М.: Наука, 431 е., 1976.

2. Т.М.Зимкина, В.А.Фомичев,"Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия", JL: Изд-во ЛГУ, 132 е., 1971.

3. Н.Г.Басов, Ю.Я.Захаренков, Н.Н.Зорев, Г.В.Склизков, А.А.Рупасов, А.С.Шика-нов, "Нагрев и сжатие термоядерных мишеней, облучаемых лазером. Итоги науки и техники", Радиотехника, т.26, М.: ВИНИТИ, часть 1, 304 е.; часть 2, 188 е., 1982.

4. Дж.Кларк,"Астрофизика высоких энергий", в кн. "Физика за рубежом", серия А (исследования), М.: Мир, с.89-115, 1984.

5. Е.И.Москаленко, "Методы внеатмосферной астрономии", М.: Наука, 280 е., 1984.

6. У.Моро, "Микролитография", М.: Мир, т.1, 606 е.; т.2, 596 е., 1990.

7. К.А.Валиев, А.В.Раков,"Физические основы электронной, ионной и рентгеновской литографии", М.: Радио, 352 е., 1984.

8. R.Phyllips, "Sources and application of UV radiation", New York: Academic Press, 326 p., 1983.

9. Р.Элтон, "Рентгеновские лазеры", M.: Мир, 335 е., 1994.

10. E.Spiller, "Soft X-ray Optics", SPIE Optical Engineering Press, Washington, 1994.

11. А.Мишетт, "Оптика мягкого рентгеновского излучения", М.: Мир, с.62-72, 1989.

12. В.В.Аристов, А.И.Ерко, "Рентгеновская оптика", М.: Наука, 150 е., 1991.13. "Зеркальная рентгеновская оптика", под ред. А.В.Виноградова, Л.: Машиностроение, 463 е., 1989.

13. I.N.Bukreeva, I.V.Kozlievnikov, and A.V.Vinogradov, "Whispering Gallery Mirrors for the Soft X-Ray Region: Properties and Applications", Journ. of X-Ray and Technol., Vol.5, pp.396-419, 1995.

14. V.I.Ostashev, V.E.Asadchikov, I.N.Bukreeva, O.N.Gilev, N.A.Havronin, I.V.Kozhev-nikov, S.I.Sagitov,"Experimental Study of the Whispering Gallery Effect in Soft X-Rav Spectral Range", Opt.Comm., Vol.155, pp.17-22, 1998.

15. I.N.Bukreeva, and I.V.Ivozhevnikov,"Whispering Gallery Effect for the Testing of Concave Surface Microroughness", Physica B, Vol.198, pp.13-15, 1994.

16. В.Е.Асадчиков, И.Н.Букреева, А.В.Виноградов, И.В.Кожевников, В.И.Осташев, С.И.Сагитов,"Об определении шероховатостей вогнутых лазерных зеркал", Квант.электр., т.24, N 8, 1997.

17. V.I.Ostashev, I.N.Bukreeva, O.N.Gilev, N.A.Havronin, I.V.Kozlievnikov, S.I.Sagitov, "X-Ray Study of Concave Surface Roughness", Proc.SPIE, Vol.3739, pp.395-403, 1999.

18. I.N.Bukreeva, and I.V.Kozhevnikov,"Vertical Synchrotron Radiation Beamline for Proximity X-Ray Lithography: Theoretical Analysis", Nuclear Instr. and Meth. in Phys.Res., Vol.A 395, pp.244-258, 1997.

19. I.V.Kozhevnikov, I.N.Bukreeva, and E.Ziegler, "Theoretical study of multilayer X-ray mirrors with a wide spectral band of reflection", Proc.SPIE, Crystal and Multiayer Optics, Vol.3448, pp.322-331, 1998.

20. E.Ziegler, I.N.Bukreeva, I.V.Kozhevnikov, A.S.Pirozhkov, and E.N.Ragozin, "Depth-graded multilayer mirrors for the hard X-ray spectral region: theory, inverse and direct problems", Proc.SPIE, Vol.3737, 1999.

21. I.V.Kozhevnikov, I.N.Bukreeva, and E.Ziegler,"Desighn of X-ray supermirrors", Preprint FIAN, N 35, 2000, 37 pp., accepted to Nucl.Instr.Methods A.

22. I.V.Kozhevnikov, V.E.Asadchikov, I.N.Bukreeva, A.Dupare, Yu.S.Krivonosov, C.Morave, V.I.Ostashev, M.V.Pyatakhin, and E.Ziegler, "X-ray study of the roughness of surfaces and interfaces", Proc.SPIE, Vol.4099, 2000, in press.

23. В.К.Баранов, "Свойства параболоторических фоконов", Опт.-мех. пром-сть, N 6, с.1-5, 1965.

24. А.В.Виноградов, О.И.Толстихин, "Концентраторы мягкого рентгеновского излучения". В сб.: Рентгеновская оптика, под ред.А.Н.Ораевского, Труды ФИАН, М.: Наука, т.196, с. 168-181, 1989.

25. Лорд Рэлей, "Теория звука", М: Гостехиздат, 1955; впервые опубликована в 1877 году.

26. Lord Rayleigh,"The problem of whispering gallery", Phil.Mag. SG, Vol.20, p.1001, 1910.

27. Lord Rayleigh, "Further application of Bessel's Functions of high order to the whispering gallery and allied problems", Phil.Mag. SG, Vol.20, p.100, 1914.

28. E.H.Barton, W.B.Kilby, "Dust Figures Prodused by Electric Sparks", Phil.Mag., Vol.24, pp.728-736, 1912.

29. P.Das, F.M.M. Ayub,"Fourier Optics and SAW Devices", Application of Optical Fourier Transforms, H.Stark, eds, New York: Academic Press, p.360, 1982.

30. H.Krammer,"Light-Waves guided by a single curved metallic surface", Appl.Opt., Vol.17, pp.316-319, 1978.

31. M.E.Marhic, L.I.Kwan, and M.Epstein,"Whispering-gallery C02 laser", IEEE J.Quantum Electron., Vol.QE-15, pp.487-490, 1979.

32. M.E. Marhic, L.I.Kwan, and M.Epstein,"Optical surface waves along a toroidal metallic guide", Appl.Phys.Lett., Vol.33, N 7, pp.609-611, 1978.

33. M.E.Marhic,"Polarization and losses of whispering gallery waves along twisted trajectories", J.Opt.Soc.Amer., Vol.69, N 9, pp. 1218-1226, 1979.

34. M.E. Marhic, L.I.Kwan, and M.Epstein,"Invariant properties of helical-circular waveguides", Appl.Phys.Lett, Vol.33, N 10, pp.874-876, 1978.

35. N. A.Kurnit," Whispering-mode waveguide", Proc.SPIE, Vol.288, Los Alamos Conf.Opt., D.L.Leinberg, eds, pp.142-153, 1981.

36. Е.И.Нефедов,"Открытые коаксиальные резонансные структуры", М.: Наука, 220 е., 1982.

37. В.М.Бабичев, В.С.Булдырев, "Асимптотические методы в задачах дифракции коротких волн", М.: Наука, 456 е., 1972.

38. J.Bremer and L.Kaihola,"An X-ray resonator based on successive reflections of a surface wave", Appl.Phys.Lett., Vol.37, N 4, pp.360-362, 1980.

39. А.В.Виноградов, Н.А.Коноплев, А.В.Попов, "О широкополосных зеркалах для вакуумного ультрафиолетового и мягкого рентгеновского излучения", ДАН СССР, т.266, N 3, с.610-612, 1982.

40. А.В.Виноградов, В.Ф.Ковалев, И.В.Кожевников, В.В.Пустовалов, "Дифракционная теория скользящих мод в вогнутых зеркалах и резонаторах рентгеновского диапазона", ЖТФ, т.55, N 3, с.567-574, 1985.

41. И.В.Кожевников, "Системы скользящего падения с многократными отражениями", в сб.: Рентгеновская оптика, под ред. А.Н.Ораевского, Труды ФИАН, М.: Наука, т.196, с.143-167, 1989.

42. А.В.Виноградов, В.Ф.Ковалев, И.В.Кожевников, В.В.Пустовалов, "Вогнутые поворотные зеркала рентгеновского диапазона", ЖТФ, т.55, N 2, с.244-250, 1985.

43. А.В.Виноградов, Н.Н.Зорев, И.В.Кожевников, "О предельных возможностях оптики мягкого рентгеновского диапазона", М.: Наука, Труды ФИАН, с.195-210, 1986.

44. A.V.Vinogradov, "XUV cavity and pumping optics", J.Physique, Vol.47, Colloque C6, supplement no 10, torn 47, pp.C6-287-C6-297, 1986.

45. А.В.Виноградов, В.М.Елинсон, И.В.Кожевников, Е.П.Савинов, С.И.Сагитов, В.В.Слепцов, "Исследование поворотов пучков рентгеновского излучения на большие углы", Опт. и спектр., т.67, вып.1, с.206-209, 1989.

46. L.Kaihola,"Soft X-ray propagation on cylindrical polystyrene surface by successive grazing reflection", Appl.Opt., Vol.20, pp.1269-1270, 1981.

47. В.А.Аркадьев, М.А.Кумахов, "Многократное отражение рентгеновского излучения на изогнутой поверхности", Поверхность, N 10, с.25-32, 1986.

48. I.V.Kozhevnikov, A.V.Solovjev, O.I.Tolstikhin, and A.V.Vinogradov,"Reflectivity analysis of whispering gallery mirrors", Proc. SPIE, Vol.1551, pp.155-160, 1991.

49. A.V.Vinogradov, I.V.Kozhevnikov, and A.V.Popov,"On wide-band mirrors for soft x-ray range", Opt. Commun., Vol.47, pp.361-363, 1983.

50. Виноградов А.В., Ковалев В.Ф.,Кожевников И.В., Пустовалов В.В.,"Мода шепчущей галереи, вогнутые поворотные зеркала и резонаторы для излучения мягкого рентгеновского диапазона", ЖТФ, т.30, с.145, 1985.

51. T.-Y. Hung and P.L.Hagelstein,"Whisper gallery mirrors reflectivities from 100 A to 300 A", Proc.Int'1 Cnf.Lasers, San Diego, CA, pp.1-15, Dec.1990.

52. Hung T.Y., Hagelstein P.L."Investigations of whisper gallery mirrors for extreme ultraviolet and soft X-rays", IEEE J. Quantum Electron., Vol.28, pp.1376-1383, 1992.

53. J.P.Braud and P.L.Hagelstein,"Whispering-Gallery Laser Resonators Part I: Diffraction of Whispering-Gallery Modes", IEEE J.Quantum Electron., Vol.27, pp.1069-1077, 1991.

54. J.P.Braud and P.L.Hagelstein,"Whisperig-Gallery Laser Resonators Part II: Analysis of Mirrors with Nonuniform Curvature", IEEE J. Quantum Electron., Vol.28, pp.254-264, 1992.

55. J.P.Braud,"Laser cavities and polarisation optics for soft x-rays and the extreme ultraviolet", Appl. Phys. B, Vol.50, pp.205-209, 1990.

56. Braud, J.P. and P.L.Hagelstein, "Whispering-Gallery Mirrors: Fabrication Tolerances and the Effects of Surface Imperfections", Appl. Opt., Vol.31, pp.4979-49S6, 1992.

57. P.D.Johnson and N.V.Smith, Nucl.Instr.and Meth., Vol.214, p.505, 1983.

58. T.Koide, T.Shidare, M.Yuri, N.Kandaka and M.Fukurani, Appl.Phys.Lett., Vol.58, p.2592, 1991.

59. N.V.Smith, M.R.Howells,"Whispering galleries for the production of circularly polarized synchrotron radiation in the XUV region", Nucl.Inst.and Meth., Vol.A337, pp.115-118, 1994.

60. А.В.Виноградов, Н.Н.Зорев, И.В.Кожевников, И.Г.Якушкин,"Об эффекте полного внешнего отражения рентгеновских лучей", ЖЭТФ, т.89, N 6, с.2124-2132, 1985.

61. V.V.Kondratenko, Yu.P.Pershin,O.V.Poltseva et al.,"Thermal stability of soft X-ray Mo — Si and M0S12 — Si multilayer mirrors", Appl.Optics, Vol.32, pp.1811-1816, 1993.

62. E.A.Bugaev,A.I.Fedorenko,V.V.Kondratenko, and E.N.Zubarev,"Thermal stability of normal incidence multilayer mirrors for X-ray wavelength near K-edge", Proc.SPIE, Vol.2453, pp.33-44, 1995.

63. I.A.Artyukov, A.V.Vinogradov, and I.V.Ivozhevnikov," Efficiency of grazing incidence optics: the spiral collimator", Appl.Optics, Vol.30, N.28, pp.4154-4157, 1991.

64. Б.Н.Дуванов, И.В.Кожевннков,А.Г.Федорец, "Многоэлементный рентгеновский коллиматор", ЖТФ, т.63, с.138-144, 1993.

65. Muendel M.H, Hagelstain P.L.,"High repetition rate, table-top X-ray lasers. Femtosecond to nanosecond high- intensity lasers and applications", Proc. SPIE, Vol.1229, pp.87-96, 1990.

66. J.P.Braud,"Whisper-gallery mirrors as unstable resonators for short-wavelength lasers", in Proc.Conf.Lasers Electro-Opt., Opt.Soc. Amer., Paper CTuH-1, 1990.

67. I.V.Kozhevnikov,"Whispering gallery optics for synchrotron radiation beamlines", Proc. SPIE, Vol.2453, pp.98-112, 1995.

68. V.Rehn, "Focusing, filtering, and scattering of soft X-rays by mirrors", Low energy X-ray diagnostics: Proc. conf., N.Y.: Amer. Inst. Phys., pp.162-169, 1981.

69. К.А.Валиев,"Микроэлектроника: достижения и пути развития", М.: 144 с, 1986.

70. B.D. McVey, J.C. Goldstein, R.D. McFarland, and B.E. Newnam , "Thermal Analysis of Multifacet-Mirror Ring Resonator for XUV Free-Electron Lasers", Proc.SPIE, Vol.1441, pp.457-465, 1990.

71. M.L.Scott, P.N. Arendt, B. Cameron, R. Cordi, B.Newnam, D. Windt, and W. Cash,"Metal Reflectors in the EUV", X-Ray imaging II, L.V. Knight and D.K. Bowen, eds., Proc. SPIE, Vol.691, pp.20-27, 1986.

72. M.L. Scott and B.E. Newnam,"Multifacet Mirrors for the Extreme Ultraviolet", Optics News, Vol.15, pp.38-39, 1989.

73. D.R. Gabardi and D.L. Shealy,"Optical Analysis of Grazing Incidence Ring Resonators for Free-Electron Lasers"', Opt.Engin., Vol.29, pp.641-648, 1990.

74. M.L. Scott, "Reflectance of Aluminium Reflectors in the Extreme Ultraviolet", Short Wavelength Coherent Radiation: Generation and Applications, R.Falcone, J.Kirz, eds, Opt. Soc. Am. Proceeding, Washington DC, pp.322-324, 1988.

75. M.L.Scott, P.N.Arendt, B.J.Cameron, J.M.Saber, B.E.Newnam, "Extreme Ultraviolet Reflectance Degradation of Aluminium and Silicon from Surface Oxidation", Appl. Opt., Vol.27, pp.1503-1507, 1988.

76. M.L.Scott, P.N.Arendt, B.J.Cameron, and B.E. Newnam, "Contamination Layers on EUV Reflectors", Soft X-ray Optics and Technology, E.-E. Koch and G. Schmahl, eds., Proc. SPIE, Vol.733, pp. 156-162, 1987.

77. J.A.Lely, T.W.Rijssel, "Collimating X-rays in beams of very small divergence and high intensity", Philips Techn.Rev., Vol.13, N4, pp.96-103, 1951.

78. R.V.Pound, G.A.Rebka, "Gravitational redshift in nuclear resonance", Phys.Rev. Lett., Vol.3, N 9, pp.439-441, 1959.

79. P.B.Hirsch, J.N.Kellar, "An X-ray microbeam technique: I Collimation", Proc. Phys.Soc.B, Vol.64, pp.369-374, 1951.

80. L.Marton,"X-Ray Fiber Optics", Appl.Phys.Lett., Vol.9, pp.194-195, 1966.

81. W.T.Vetterling, R.V.Pound, "Measurement on an X-ray light pipe at 5.9 and 14.4 keV", J.Opt.Soc.Amer., Vol.66, N 10, pp.1048-1049, 1976.

82. A.Rindby, "Applications of fiber technique in the X-ray region", Nucl.Instrum.and Meth.A, Vol.249, N 2, 3, pp.536-540, 1986.

83. P.J.Mallozzi, H.M.Epstein, R.G.Jung, D.A.Applembaum, B.P.Fairand, W.T.Gallagher, R.L. Uecker, M.C.Muckerheide, "Laser-generated plasma as a source of X-rays for medical applications", J.Appl.Phys., Vol.45, N 4, pp.1891-1895, 1974.

84. D.Mosher, S.Stephanakis, "X-ray "light pipes"", Appl. Phys.Lett., Vol.29, N 2, pp.105-107, 1976.

85. M.Watanabe, T.Hidaka, H.Tanino, K.Hoh, Y.Mitsuhashi,''Vacuum ultraviolet light transmission through hollow-core quartz-glass cladding optical fibers'', Appl.Phys.Lett., Vol.45, pp.725-727, 1984.

86. Аркадьев В.А., Коломийцев А.И., Кумахов M.A., Лабузов В.В., Чертов Ю.П., Шахпаронов И.М., "Экспериментальное исследование многократного отражения рентгеновских лучей на изогнутых поверхностях", Поверхность, N 44, с.326-330, 1987.

87. А.В.Виноградов, И.В.Кожевников," О свойствах волноводов рентгеновского диапазона", ЖТФ, т.54, N9, с.1755-1762, 1984.

88. R.H.Pantell and R.S.Chung,"Transmission of X-Rays Through Curved Waveguides", IEEE J.Quant.Elec., Vol.QE-14, N9, pp.694-697, 1978.

89. В.А.Бушуев, М.Н.Оруджалиев, Р.Н.Кузьмин, "Коэффициент пропускания изогнутых рентгеновских волноводов", ЖТФ, т.59, N 11, с.153-155, 1989.

90. Бушуев В.А., Оруджалиев М.Н., Кузьмин Р.Н., "Коэффициент пропускания равномерно изогнутых рентгеновских волноводов в режиме шепчущих мод", Вестн.Моск.ун-та, сер. 3, Физика, Астрономия, т.31, N 1, С.76-80, 1990.

91. М.Н.Оруджалиев, В.А.Бушуев, "Распространение рентгеновского излучения в изогнутых капиллярах", ЖТФ, т.61, N 2, с.51-57, 1991.

92. V.A.Arkadiev, A.A.Bzhaumikhov, "X-ray focusing in capillary structures", Proc. SPIE, Vol.2859, p.131-139, 1996.

93. А.М.Афанасьев, Е.Ю.Цымбал, В.В. Протопопов, "Предельные возможности капиллярных рентгеновских оптических систем", Труды ФТИАН, том 4, "Проблемы микроэлектронной технологии", под ред. JLВ.Беликова, Москва, с.30-41, 1992.

94. L.Vinse, K.Janssens, F.Adams, and A.Rindby, "Detailed Ray-Tracing Code for Capillary Optics", X-Ray Spectrometry, Vol.24, pp.27-37, 1995.

95. K.Furuta, Y.Nakayama, M.Shoji, R.Kaigawa, K.Hanamoto, H.Nakano and Y.Hosokawa, "Theoretical consideration of intensity of an X-ray microbeam formed by a hollow glass pipe", Rev.Sci.Instrum., Vol.64, N 1, pp.135-142, 1993.

96. D.A.Carpenter, "Improved laboratory X-ray source for microfluorescence analysis", X-Ray Spectrom., Vol.18, pp.253-257, 1989.

97. J.J.Muller, H.-E.Gornv, J.Schmalz, U.Heinemann,"Glass-capillary collimator for distance compensation and partial monochromatization at rotating-anode X-ray generators", J.Appl.Cryst., Vol.28, pp.853-855, 1995.

98. V.A.Arkadiev, A.A.Bzhaumikhov, H.-E.Gorny, N.Langhoff, J.Schmalz, "Capillary-based X-ray filters", Proc.SPIE, Vol.2859, pp.220-226, 1996.

99. M.Watanabe, I.H.Suzuki, T.Hidaka et al., "Soft X-ray transmission characteristics of hollow-core fused-quartz fibers", Appl.Opt., Vol.24, N 23, pp.4206-4209, 1985.

100. В.И.Глебов, Э.И.Денисов, Н.К.Жеваго, "Фокусировка рентгеновского излучения с помощью волновода переменного сечения", ЖТФ, т.61, Вып.11, с.125-133, 1991.

101. D.J.Thiel, D.H.Bilderback, A.Lewis, "Production of intense micrometer-sized X-ray beam with tapered glass monocapillaries", Rev.Sci.Instr., Vol.64, N 10, pp.2872-2878, 1993.

102. D.X.Balaic, K.A.Nugent, "X-ray optics of tapered cappilaries", Appl.Opt., Vol.34, N31, pp.7263-7272, 1995.

103. D.H.Bilderback, D.J.Thiel, "Microbeam generation with cappilary optics", Rev.Sci. Instr., Vol.66, N 2, pp.2059-2063, 1995.

104. Ю.И.Дудчик, Ф.Ф.Комаров, Я.А.Константинов, "Формирование пучков рентгеновского излучения с помощью конусообразного микрокапилляра", ЖТФ, т.68, N5, с.90-93, 1998.

105. K.V.Voss, K.H.Kim, Е.А.Stern, F.C.Brown, S.M.Heald, "Ray-tracing of X-ray cappilaries", Nucl.Instrum. and Methods, Vol.A347, pp.407-411, 1994.

106. G.Chen, F.Cerrina, K.V.Voss, K.H.Kim and F.C.Brown, "A cappilary concentrator for an X-ray microprobe", Nucl.Instrum. and Methods, Vol.A347, pp.390-400, 1994.

107. P.Engstrom, S. Larsson, A.Rindby, A.Buttkewitz, S.Garbe, G.Gaul, A.Knochel and F.Lechtenberg, "A submicron synchrotron X-ray beam generated by cappillary optics", Nucl.Instrum. and Methods, Vol.A302, N 3, pp.547-552, 1991.

108. D.H.Bilderback, S.A.Hoffmann and D.J.Thiel, "Nanometer spatial resolution achieved in hard X-ray imaging and Laue diffraction experiment", Science, Vol.263, N 14, pp.201-203, 1994.

109. R.S.Chung, R.H.Pantell, "Properties of X-ray guides", Electron.Lett., Vol.13, N IS, pp.527-529, 1977.

110. V.Kantsyrev and R.Bruch, "New optical methods for short wavelength hot plasma diagnostics", Rev.Sci.Instrum., Vol.68, N 1, p.770-773, 1997.

111. J.B.Ullrich, V.Kovantsev, and G.A. MacDonald, "Measurement of polvcapillary X-ray optics", J.Appl.Phys., Vol.74, N 10, pp.5933-5939, 1993.

112. В.А.Аркадьев, А.И.Коломийцев, М.А.Кумахов, И.Ю.Пономарев, И.А.Кнодеев, Ю.П.Чертов, И.М.Шахпаронов, "Широкополосная рентгеновская оптика с большой угловой апертурой", УФН, т. 157, N 3, с.529-537, 1989.

113. О.Б.Ананьин, Ю.А.Быковский, А.А.Журавлев, В.Ю.Знаменский, В.Л.Канцы-рев, С.П.Фролов,"Фокусировка и транспортировка рентгеновского излучения от лазерной плазмы", Письма в ЖТФ, т.16, с.55-58, 1990.

114. В.Л.Канцырев, А.П.Иноземцев, О.Г.Петрухин, О.И.Толстихин, А.С.Шляпцева, "Свойства фокусирующих стеклянно-капиллярных конверторов мягкого рентгеновского излучения", Квантовая электроника, т.25, N 1, с.84-87, 1995.

115. V.A.Arkadiev, A.A.Bzhaumikhov, H.-E.Gorny, N.S.Ibraimov, "Experimental investigation of Kumahov lenses", Proc.SPIE, Vol.2515, pp.103-113, 1995.

116. О.Б.Ананьин, Ю.А.Быковский, В.Л.Канцырев, А.А.Кологривов, К.И.Копыток, А.С.Шляпцева, М.Я.Яковлев, "Малогабаритный плазменный источник с капиллярным концентратором мягкого рентгеновского излучения", Письма в ЖТФ, т.18, N 10, с.79-86, 1992.

117. V.A.Arkadiev, B.Beckhoff, A.A.Bzhaumikhov, Н.-Е. Gorny, B.Kanngieber, "Experimental investigation of capillaries and focusing systems in soft X-ray range", Proc.SPIE, Vol.2859, p.123-130, 1996.

118. В.Л.Канцырев, А.Р.Мингалиев, О.Г.Петрухин, С.А.Пикуз, В.М.Романова, Т.А.Шелковенко, А.С.Шляпцева, А.Я. Фаенов, "Исследование характеристик рентгеновского излучения высокотемпературной плазмы", Квантовая электроника, т.23, N 12, с.1026-1030, 1993.

119. В.Л.Канцырев, А.П.Иноземцев, О.В.Комардин, Т.И.Короткова, А.С.Шляпцева, "Простые стеклянно-капиллярные конвертеры мягкого рентгеновского излучения", Квантовая электроника, т.22, N 7, с.727-732, 1995.

120. J. Ullrich, I.Ponomareva, M.Gubarev, N.Gao, Q. Xio, and W.Gibson, Proc.SPIE, Vol.2278, p.148, 1994.

121. В.Л.Канцырев, А.Р.Мингалиев, О.Г.Петрухин, С.А.Пикуз, В.М.Романова, Т.А.Шелковенко, А.С.Шляпцева, А.Я. Фаенов, Письма в ЖТФ, т.19, N 7, с.42, 1993.

122. E.Spiller, A.Segmuller," Propagation of X-rays in waveguides", Appl.Phys. Lett., Vol.24, pp.60-61, 1974.

123. Т.А.Мингазин, В.И.Зеленое, В.Н.Лейкин, "Бесщелевой коллиматор рентгеновских лучей", ПТЭ, N 1, с.229-232, 1981.

124. Т.А.Мингазин, В.И.Зеленов, В.Н.Лейкин, "Коллимирующее устройство для рентгеновских лучей", ПТЭ, N 1, с.208-210, 1981.

125. N.M.Ceglio, A.M.Hawryluk, and D.G.Sterns, "Demonstration of guided-wave phenomena at extreme-ultraviolet and soft-X-ray wavelengths", Opt. Lett., Vol.13, N 4, pp.267-275, 1988.

126. В.А.Бушуев, М.Н.Оруджалиев, С.Р.Саркисов, Э.Р.Саркисов, "Особенности транспортировки рентгеновского излучения в изогнутом лентообразном волноводе", Поверхность, Физика, химия, механика, N 4, с.69-75, 1992.

127. В.А.Бушуев, М.Н.Оруджалиев, "Тонкая структура рентгеновских пучков на выходе лентообразного волновода", Вест. Моск. университета, Сер. 3, Физика, Астрономия, т.33, N 5, с.25-30, 1992.

128. I.A.Artyukov, A.V.Vinogradov, V.E.Asadchikov, Yu.S.Ivas'yanov, R.V.Serov, A.I.Fedorenko, V.V.Kondratenko and S.A.Yulin, "Schwarzschild soft-X-ray microscope for imaging of nonradiating objects", Opt. Lett., Vol.20, N 24, pp.1-3, 1995.

129. I.A.Artyukov, A.I. Fedorenko, V.V. Kondratenko, S.A.Yulin, A.V.Vinogradov, "Soft X-ray submicron imaging experiments with nanosecond exposure", Optics Communications, Vol.102, N 5-6, pp. 401-406, 1993.

130. R.B.Hoover, D.L.Shealy, R.Brinkley et al., "Development of the water window imaging X-ray microscope utilizing normal-incident multilayer optics", Opt.Eng., Vol.30, N 8, p.1086, 1991.

131. J.A.Trail and R.L.Byer,"Compact Scanning Soft-X-Ray Microscope Using a Laser-Produced Plasma Source and Normal-Incidence Multilayer Mirrors", Opt.Lett., Vol.14, pp.539-541, 1989.

132. A.B.Walker, Jr., T.YV.Barbee, Jr., R.B.Hoover, and J.F.Lindblom,"Soft X-Ray Images of the Solar Corona with a Normal-Incidence Cassegrain Multilayer Telescope", Science, Vol.68, pp.190-195, 1988.

133. A.C.Thompson, K.L.Chapman, G.E.Ice, C.J.Sparks, W.Yun, B.Lai, D.Legnini, P.J.Vicarro, M.L.Rivers, D.H.Bilderback, D.J.Thiel, "Focussing optics for a synchrotron-based X-ray microprobe", Nucl.Instr.and Meth., Vol.A319, N 1-3, pp.320325, 1992.

134. O.S.Heavens, H.M.Liddell, "Staggered Broad-Band Reflecting Multilayers", Appl. Opt., Vol.5, N 3, p.373, 1966.

135. F.Mezei, "Novel polarized neutron devices: supermirror and spin component amplifier", Commun.Phys., Vol.1, pp.81-85, 1976.

136. F.Mezei and P.A.Dagleish,"Corrigendum and first experimental evidence on neutron supermirrors", Commun. Phys., Vol.2, pp.41-43, 1977.

137. F.Mezei, Proc.SPIE, Vol.983, pp.10-17, 1992.

138. P.Hoghoj, E.Ziegler, J.Susini, A.K.Freund, K.D.Joensen, P.Gorenstein, J.Wood, "Focusing of hard X-ray using a W/Si supermirror", Nucl.Instr.and Methods, Vol.B132, pp.528-533, 1977.

139. S.Yamada, T.Ebisawa, N.Achiwa, S.Okamoto,"Neutron-Optical Properties of Multilayer Systems", Annu.Rep.Res.Reactor Inst., Vol.11, p.8, 1978.

140. J.Schelten, H.Mika,"Calculated Reflectivities of Supermirrors", Nucl. Inst, and Meth, Vol.160, pp. 287-294, 1979.

141. J.B.Hayter, H.A.Mook,"Discrete Thin-Film Multilayer Design for X-ray and Neutron supermirrors", J.Appl. Crystallogr., Vol.22, pp.35-41, 1989.

142. O.Schaerpf and I.S.Anderson, "The role of surfaces and interfaces in the behavior of nonpolarizing and polarizing supermirrors", Phys.B, Vol.198, pp.203-212, 1994.

143. А.Г.Гукасов, В.А.Рубан, М.Н.Бедрнсова,"0 возможности увеличения углов отражения нейтронов при скользящем падении за счет интерференции в многослойной структуре", Письма в ЖТФ, т.З, с. 130-135, 1977.

144. J.Wood,"Status of supermirror research at OSMC", Neutron Optical Devices and Applications, C.F.Majkrzak and J.L.Wood, eds., Proc.Soc.Photo-Opt.Instrum.Eng., Vol.1738, p.22, 1992.

145. M.Rossbach, O.Schaerpf, W.Kaizer, W.Graf, A.Schirmer, W.Faber, J.Dupploh, and R.Zeialer,"The use of focusing supermirror neutron guides to enhance cold neutron fluence rates", Nucl.Instrum. and Meth., Vol.B35, pp.181-190, 1988.

146. O.Schaerpf and N. Strursser, "Recent progress in neutron polarizers", Nucl. Instrum. and Meth., Vol.A284, pp.208-211, 1993.

147. P.Lee,"Uniform and graded multilayers as X-Ray optical elements", Appl.Opt., Vol.22, N 8, pp.1241-1246, 1983.

148. S.P.Vernon, D.G.Stearn, and R.S.Rosen,"Chirped multilayer coatings for increased X-ray throughput", Opt.Lett., Vol.18, pp.672-674, 1993.

149. K.D.Joensen, P.Voutov, A.Szentgyorgui, J.Roll, P.Gorenstein, P.Hoghoj, and F.E. Christensen, "Design of grazing-incidence multilayer supermirrors for hard-X-Ray reflectors", Appl.Opt., Vol.34, pp.7935-7944, 1995.

150. K.D.Joensen, P.Gorenstein, P.Hoghoj, and F.E.Christensen,"X-Ray Supermirrors: Novel Multilayer structures for broad band hard X-Ray Applications", Physics of X-Ray Multilayer Structures, pp.159-162, 1994.

151. K.D.Joensen, P.Gorenstein, F.E.Christensen, P.Hoghoj, E.Ziegler, J.Susini, A.Freund, J.Wood,"Multilayer Supermirrors: Broad-Band Reflection Coatings for the 15 to 100 keV range", Proc.SPIE, Vol.2253, 1994.

152. J.F.Meekins, R.G.Cruddace, and H.Gurskv,"Optimization of layered synthetic microstructures for broadband reflectivity at soft X-ray and EUV wavelengths", Appl.Opt, Vol.26, N 6, pp.990-993, 1987.

153. P.van Loevezijn, R.Schlatmann, J.Verhoeven, B.A. van Tiggelen, and E.M.Gullikson, "Numerical and experimental study of distorted multilavres for broadband X-ray reflection", Appl.Opt., Vol.35, N 19, pp.3614-3619, 1996.

154. K.M.Yoo, Nelson Cue,"Broad Bandwidth X-Ray Mirror Using a Multilayer of Random Thicknesses", Phvs.Lett.A, Vol.195, pp.271-275, 1994.

155. Н.Н.Колачевский, А.С.Пирожков, Е.Н.Рагозин,"Апериодические многослойные зеркала для спектроскопии в рентгеновском мягком диапазоне", КСФ, т. 12, с.55, 1998.

156. Yuvaraj San, G.S. Ranganath,"Optical Diffraction in some Fibonacci structures", Optics Communications, Vol.114, pp.18-24, 1995.

157. Л.Л.Балакирева, И.В.Кожевников,"Двухпериодные многослойные рентгеновсие зеркала", ЖТФ, т.62, N 5, с.81-89, 1992.

158. А.В.Виноградов, Р.М.Фещенко, "Теория могослойных рентгеновских зеркал с медленно меняющимся периодом", -М., Препринт ФИАН N 20, 23 е., 1998.

159. А.В.Виноградов, Р.М.Фещенко,"Теория многослойных рентгеновских зеркал с медленно меняющимся периодом: часть 2 обратная задача", -М., Препринт ФИАН N 9, 23 е., 1999.

160. F.E.Christensen, A.Hornstrup, N.J.Westergaard, J.Schopper, J.Wood, K.Parker,"A graded d-spacing multilayer telescope for high-energy X-ray astronomy", Proc.SPIE, Vol. 1548, p.160, 1992.

161. P.Hoghoj, E.Ziegler,J.Susini, A.K.Freund, K.D.Joensen, P.Gorenstein,"Broad-band focusing of hard X-ray using a supermirror", Physics of X-ray Multilayer Structures (OSA), pp.142-149, 1994.

162. S.Abdali, F.E.Christensen, K.D.Joensen, K.Mogensen, L.Gerward, J.Ganes,"X-ray, HRTEM and AFM analysis of thick and thin Ni/C multilayers", Physics of X-ray-Multilayer Structures (OSA), pp.39-45, 1994.

163. K.Haga, A.Furuzawa, H.Kunieda, G.Lodha, N.Nakajo, N.Nakamura, T.Okajiama, H.Takata, K.Tamura, Y.Tawara, K.Yamashita, Proc. of the Fourth International Conference on the Physics of X-ray Multilayer Structures, Breckenridge, CO, p.32, 1998.

164. Y.Tawara, K.Yamashita, H.Kunieda, K.Akiyama, A.Furuzawa, Y.Terashima, P.J.Serlemitses, Denver, CO, Proc.SPIE, Vol.2805, pp.236-243, 1996.

165. K.D.Joensen, P.Gorenstein, P.Hoghoj, J.Susini, E.Ziegler, A.Freund, F.Christensen, J.Wood, G.Gutman, Nucl.Instr. and Methods, Vol.B132, N 1, pp.221-227, 1997.

166. P.Mao, F.Harrison, F.Christensen, A.Hussain, D.Windt, Y.Platonov, Proc. of the Fourth International Conference on the Physics of X-ray Multilayer Structures, The University of Arizona Foundation, Breckenridge, CO, pp.2-4, 1998.

167. D.L.Windt, W.C.Cash, Jr. M. Scott, P.Arendt, B.Newnam, R.F.Fisher, A.B.Swartzlander, P.Z.Takacs, and J.M.Pinneo,"Optical constants for thin films of С, diamond, Al, Si, and CVD SiC from 24 A to 1216 A", Appl.Opt., Vol.27, N 2, pp.279-295, 1988.

168. B.L.Henke, E.M.Gullikson, and J.C.Davis,"X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50-30000 eV", At.Data and Nucl.Data Tables, Vol.54, pp.181-343, 1993.

169. I.V.Kozhevnikov, L.L.Balakireva, I.I.Lyakhovskaya et al., "Thin film optical constants and multilayer mirror reflectivities in ultra-soft X-ray range", In: X-Ray Optics and Surface Science, Proc.SPIE, Vol.2453, pp.47-60, 1995.

170. Л.Д.Ландау, Е.М.Лифшиц, "Теория поля", М.: Наука, с.175-177, 195-197, 1973.

171. В.И.Осташев, А.В.Потапов, Н.А.Хавронин, 6-ая Национальная Конференция по диагностике высокотемпературной плазмы, Санкт-Петербург, с.78, 1993.

172. D.L.Windt,"XUV optical constants of single-crystal GaAs and sputtered C, Si, Cr3C2, Mo, and W", Appl.Opt., Vol.30, N 1, pp.16-25, 1991.

173. G.C.A.M.Janssen, P.J.J.Wessels, "Incorporation of argon in titanium silicon multilayer structures during sputter deposition", J.Appl.Phys., Vol.62, pp.3993-3995, 1987.

174. P.Boher, L.Hennet, P.Houdy, Proc.SPIE, Vol.1345, p.198, 1990.

175. P.N.Dunn,"X-ray future: A cloudy picture", Solid State Technol., Vol.49, pp.49-62, Л 1994.

176. W.Arden,"Optical versus X-ray lithography for future device fabrication", Microelectron.Eng., Vol.13, p.231-242, 1991.

177. B.G.Levi,"Industry gambles in X-ray lithography", Phys.Today, Vol.231, 1991.

178. R.W.Hill,"The future costs of semiconductor lithography", J.Vac.Sci.Technol., Vol.В7, N 6, pp.1387-1390, 1989.

179. A.Heuberger, "X-ray lithography", J.Vac.Sci.Technol., V0I.B6, N 1, pp.107-221, 1988.

180. J.B.Murphy, Proc.SPIE, Vol.1263, p.116, 1990.

181. F.Cerrina, Synchrotron Radiation News, Vol.3, N 2, p. 15, 1990.

182. Y.Vladimirsky, J.R.Maldonado,"Illumination Effects of Image Formation in X-ray Proximity Printing", Microelectron. Eng., Vol.13, p.343-346, 1990.

183. K.M.Sculina, C.S.Alford, R.M.Bionta, D.M.Makowecki, E.M.Gullikson, R.Soufli, J.B.Kortright, and J.H.Underwood, "Molybdenum/beryllium multilayer mirrors for normal incidence in the extreme ultraviolet", Appl.Opt, Vol.34, pp.3727-3730, 1995.

184. A.Y.Leistner, E.G.Thwaite, F.Lesna, and J.M.Bennett,"Polishing study using teflon and pitch laps to produce fiat and supersmooth surface", Appl.Opt., Vol.31, N 10, pp.1472-1482, 1992.

185. K.H.Guenther, P.G.Wierer,J.M.Bennett,"Surface roughness measurement of low-scatter mirrors and roughness standards", Appl.Opt, Vol.23, N 21, pp.3820-3836, 1984.

186. J.M.Bennett, J.H.Dancv,"Stylus profiling instrument for measuring statistical properties of smooth optical surface", Appl.Opt, Vol.20, N 10, pp.1785-1802, 1981.

187. G.E.Sommargren,"Optical heterodyne profilometry", Appl.Opt., Vol.10, N 4, pp.610618, 1981.

188. C.Ruppe, A.Duparre, "Roughness analysis of optical films and substrata by atomic force microscopy", Thin Solid Films, Vol.288, pp.8-13, 1996.

189. A.Duparre, H.-G.Walther, "Surface smoothing and roughing by dielectric thin film deposition", Appl.Opt. Vol.27, pp. 1393-1395, 1988.

190. S.K.Sinha, E.B.Sirota, S.Garoff, H.B.Stanley, "X-ray and neutron scattering from rough surfaces", Phys.Rev.B, Vol.38, p.2297, 1988.

191. I.V.Kozhevnikov, V.E.Asadchikov, B.M.Alaudinov, A.Yu.Karabekov, A.V.Vinogradov, "X-ray investigations of supersmooth surfaces", In: X-Ray Optics and Surface Science, Proc.SPIE, Vol.2453, pp.141-153, 1995.

192. J.M.Bennett,"Measurement of the rms roughness, autocovariance function and other statistical properties of optical surfaces using a FECO scanning interferometer", Appl.Opt., Vol.15, N 11, pp.2705-2721, 1976.

193. J.M.Eastman, P.W.Baumister, "Measurement of the microtopography of optical surfaces using a scanning Fizeau interferometer", J.Opt,Soc.Amer., Vol.64, N 10, pp.1369-1372, 1974.

194. А.В.Виноградов, Н.Н.Зорев, И.В.Кожевников, С.И.Сагитов, А.Г.Турьянский, "О рассеянии рентгеновского излучения слабошероховатыми поверхностями", ЖЭТФ, т.94, с.203-216, 1988.

195. А.В.Виноградов,И.В.Кожевников,"Отражение и рассеяние рентгеновского излучения от шероховатых поверхностей", Труды ФИАН, Рентгеновская оптика, Оптика мягкого рентгеновского излучения, т.196, с.1-46, 1989.

196. Y.Yoneda, "Anomalous surface reflection of X-rays", Phys.Rev., Vol.131, pp.20102013, 1963.

197. I.V.Kozhevnikov and A.V.Vinogradov,"Basic formula of XUV multilayer optics", Phys.Scripta, Vol.TlT, p.137, 1987.1. РОСС1' '"ГАЯгосуда ,;;ннай1. БИБЛИОТЕКА