Волновые свойства тонкослойных интерференционных структур с малыми потерями и вариациями параметров тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ . -ИМ. М.В. ЛОМОНОСОВА

ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ

На правах рукописи

ПУТРИНА Екатерина Владиславовна

ВОЛНОВЫЕ СВОЙСТВА ТОНКОСЛОЙНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СТРУКТУР С МАЛЫМИ ПОТЕРЯМИ И ВАРИАЦИЯМИ ПАРАМЕТРОВ (01.04,03 - радиофизика)

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

МОСКВА - 1995

Работа выполнена на физическом факультете

МГУ им. М.В. Ломоносова.

Научный руководитель: кандидат физико-математических наук

Козарь Анатолий Викторович.

Официальные оппоненты:

1. Доктор физико-математических наук Тихонравов Александр Владимирович

(МГУ им. М.В. Ломоносова).

2. Кандидат физико-математических наук Шарихин Валентин Федорович (МЭЙ)

Ведущая организация:: Ленинградский институт точной механики и оптики, кафедра тонкослойных покрытий (г. Ленинград).

Защита диссертации состоится " " 1995 г,

в часов на заседании Специализированного Сотета К 053. 05. 92

Московском Государственном университете им. М.В. Ломоносова. Адрес 119899, г. Москва, Ленинские Горы, физический факультет МП ауд.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке физически факультета МГУ.

Автореферат разослан " " 1995 г.

Ученый секретарь Специализированного Совета кндидаг физико-математических наук

И.В. Лебедева

Общая характеристика работы.

В работе проведены исследования влиянии на оптические и 1ектральные характеристики тонкослойных интерференционных структур НС) вариаций различных параметров системы: толщин и показателей зеломления слоев, наличия в них слабого поглощения, наклонного падения ¡лучения, а также рассматривается прохождение через структуры раниченных волновых пучков.

Актуальность работы. *

Одной из актуальных проблем для решения Целого ряда задач как закладной, , так и фундаментальной физики является теоретическая 1зработка методов анализа и синтеза многослойных периодических ■рукгур. Традиционно многослойные интерференционные структуры отменялись в просветлении Ьптики, при создании согласующих покрытий фильтрову при решении задач приема и преобразования сигналов, жации, радиометрии и т.п..

К настоящему времени достаточно хорошо развиты методы и обобщены ¡зультаты, относящиеся к периодическим структурам, состоящим из ¡твертьволновых, полуволновых или близких к ним по оптическим >лщннам слоев. Однако развитие, современной физики и техники, атенсивное освоение, например, такой области электромагнита ого спектра, ж среднего и дальнего И К диапазона, необходимость решения задач *агностихи слоисто-неоднородных сред с периодом неоднородности тцесгвенно меньше длины волны - все это делает необходимым эоведенве как аналитического, так и численного анализа свойств и »бенностей многослойных структур со сверхтонкими (существенно гныле длины волны) слоями.

В последние годы -появились работы, в которых была показана ззможностъ и разработан алгоритм синтеза такого класса структур, изучены с основные свойства и существенные, присущие лишь структурам такого юсса особенности.

С другой стороны, как известно, одно из важнейших направлений при япении задач формирования интерференционного покрытия связяно с хэрией, рассматривающей влияние вариаций как различных его физических фаметров (толщин слоев, показателей преломления, диссипации волновой зергии и Т.д.), так и характеристик и условий распространения волны юляризации, угла падения, пространственных характеристик волновых рчков) на оптические характеристики системы. Зная эта зависимости

з

можно прогнозировать в управлять изменением свойств многих тш тонкослойных систем и определять оптимальный вариант формирован интерференционного покрытия. Теория малых изменений параметр достаточно полно развита для структур со слоями, кратными четверти длю волны. Поскольку характерные свойства и особенности тониослойн; интерференционных систем, о которых говорилось выше, позволи. выделить их в особый класс струюур, необходимость проведен: аналогичных исследований для этого класса структур определи актуальность данной работы.

Дел* работа,

К'"*1 ' - • ' ~ .1- (

Цель работы состояла в аналитическом и численном исследован! влияния вариаций различных физических параметров тонкослойна интерференционных структур, а также некоторых характеристик пространственных параметров волны на их оптические в спекгральнь свойства. В задачи работы входило:

1. Получить аналитические соотношения, позволяющие рассчитывав изменение оптических и спектральных характеристик ТИС при учете слабо! поглощения в слоях, при вариации их толщин в показателей преломления.

2. На основании полученных соотношении провести анализ влияни вариаций различных параметров тонкослойных структур на их оптические спектральные характеристики. В частности, рассмотреть вопрос о возможно компенсации (т. е. сохранения неизменными оптических характеристик ТИ< и длин волн, на которых происходит согласование) малых вариадк показателей преломления слоев в помощью вариации толщин слоев.

3. Численно и на основании теоретических оценок рассмотрел прохождение параксиального гауссова пучка через ТИС. Определить обласп задач, в которых при синтезе ТИС необходим учет пространственны:

. характеристик волновых пучков.

4. Исследовать оптические и спектральные характеристики ТИС щи наклонном падении на нее плоской волны для случая 8- и р-поляризаций Из анализа полученных результатов выделить и сформулировать в рамка; поставленной задачи основные особенности и свойства рассматриваемое класса структур.

Научная новизна работы.

Научная новизна работы определялась совокупностью полученных в ней >езулътатов, связанных с тем, что впервые исследованы зависимости 1птпчесык и спектральных характеристик ТИС от вариации толщин и юказателсй преломления слоев, налитая малых потерь в слоях, от величины ста падения плоской волны, а .также рассмотрено прохождение [араксиального гауссова пучка через ТИС. Основные существенно новые «зультагы состоят в следующем:

1. Получены соотношения, позволяющие рассчитывать изменения длин олн, на которых происходит согласование и оптических характеристик ТИС дя непериодических и периодических двухслойных и трехслойных,-ТИС при [алых отклонениях, значений показателей преломления слоев от [ервовачально заданных.

2. Определены условия и аналитически установлена связь параметров трукгуры с трехслойным периодом,, при которых вариация показателей реломления слоев структуры не влияет на согласующую способность ТИС а дополнительном пике. .

3. В аналитическом виде найден алгоритм,, но которому для онкослойных структур с трехслойным периодом может быть реализован ежим перестройки согласующей способности структуры за счет малых арнаций толщин ее слоев без изменения основной рабочей длины волны. >пределена величина происходящего при этом смещения длины волны ополннтельного пика согласования. Показано, что при малом изменении сех толщин слоев рассматриваемой ТИС, при определенном соотношении 1ежду вариациями толщин будет иметь место компенсация изменения о пасующей способности структуры.

4. Для ТИС с трехслойным периодом показана возможность омпенсации вариаций показателей преломления слоев структуры _ с омощью изменения толщин двух или всех трех слоев в периоде."

5. Установлено, что и в случае наличия малых потерь в слоях ТИС эхраняется одно из ее основных фундаментальных свойств - независимость птических характеристик ТИС от числа периодов; в частности, нвариантность относительно их числа величины изменения согласующей юсобности и длины волны, на которой происходит согласование.

6. Получен алгоритм, дающий возможность перестройки согласующей юсобности и длины волны, на" которой происходит согласование, .с эмощью изменения величины слабого поглощения в слоях.

7. В случае наклонного падения р-поляризованной волны для ТИС с зухслойнъм периодом показана возможность согласования двух различных

сред, а также 'согласования одной среды при двух различных парамет] одного из слоев на одной длине волны при одном и том же' угле паде* <?>0\

8. Найден аналитический алгоритм, позволяющий синтезироа структуры с угловой характеристикой, имеющей два абсолютных максим) пропусканий для р-поляризованной волны.

9. На основании численного эксперимента и проведенного анал: показано, что в случае прохождения параксиальных гауссовых пучков че] ТИС, спектр пропускания структуры инвариантен относительно числа периодов, начиная приблизительно с четырех периодов, для люб возможных величин перетяжек в рамках рассмотренной модели. Кроме то показано, что характеристики пропусканния и отражения рассматриваем гауссовых пучков при -распространении через ТИС имеют-мало отличий аналогичных характеристик ддя плоских волн.

Научная и практическая ценность работы.

Многие задачи фундаментальной и прикладной физики связаны изучением распространения или взаимодействия волн с неоднородны средами. Исследование такого рода процессов, обобщение основных свой и особенностей неоднородных сред, нахождение общих алгоритмов авал] и синтеза их структурных и . волновых характеристик позволит, с ода стороны, существенно расширить понимание физических процессов, а другой - найти новые, физически реализуемые решения многих приклада задач физики. К' задачам такого класса относятся и исследован: проводимые в настоящей работе.

Изучение' - влияния . вариаций параметров рассматриваем многослойных систем на условия распространения волн, очевид] существенно при практической реализации структур. В частности, для уче с целью дальнейшей компенсации, ошибок перепыления, неизбея возникающих при контроле толщин по максимуму пропускания, а также ; быстрой опенки возможных изменений характеристик структуры в небольших отличиях реальных показателей преломления и коэффициент; поглощения материалов, используемых в слоях, от теоретических значен этих параметров. С другой стороны, эти исследования представляют инте] для синтеза просветляющих покрытий с заданными характеристики поскольку на основе полученных зависимостей можно прогнозиров изменение оптических свойств данного типа многослойных систем. Ь научный, так и практический интерес представляют также оптиче« характеристики ТИС при наклонном падении волны: имеется возмогло*

&

для р-поляризованной волны одновременного согласования одной структурой двух различных , сред, согласования одной и- .той-же среды при двух различных параметрах одного из слоев, а также согласования излучения со средой при помощи слоя из'того же материала, что и подложка (или близкого к нему) при двух различных определенных углах падения. Кроме того, пользуясь полученными в работе соотношениями, " возможно осуществлять перестройку согласующей способности и рабочей длины волны ТИС, изменяя величину удельной проводимости в слоях, например, с помощью фотонакачки (при полупроводниковых материалах слоев).

В целом проведенные исследования по анализу н синтезу тонкослойных структур открывают новое перспективное направление для решения целою ряда задач ИК оптики, акустики, микроволновой радиофизики. Кроме того, могут быть разработаны эффективные методы диагностики и изучения физических явлений в слоисто-неоднородных средах (параметр неоднородности существенно меньше длины волны), благодаря наличию аналитического аппарата, позволяющего проводить адекватный анализ амплитудно-спектральных характеристик такого класса неоднородных структур.

При вариации толщин и показателей преломления слоев, а также при наличии слабого поглощения в слоях сохраняется одно из фуадаменталных свойств ТИС - независимость оптических характеристик системы от числа периодов.

Возможна перестройка согласующей способности и резонансной длины волны тонкослойной системы с помощью изменения величины удельной проводимости слоев, а также вариации толщин слоев, в соответствии с полученными в работе соотношениями. .

В случае наклонного падения р-поляризованнов волны для ТИС с одним двухслойным периодом возможно как согласование одной среды при двух различных параметрах одного из слоев, так и согласование одной структурой пзух различных сред на одной длине волны при одном и том же угле падения в> 0\

При определенном соотношении показателей преломления слоев и эбрамляющих сред: = л^ п, = п^ (п2 - показатель преломления слоя, пимыкающего к подложке) алгоритм позволяет синтезировать структуры с угловой характеристикой, имеющей два абсолютных максимума зропусканияи для р-поляризованной волны.

5. При прохождении параксиальной волны основной моды через ТИС в большинстве случаев для исследования спектральных характеристик системы можно пользоваться моделью плоской волны.

Апробация результатов работы.

Основные результаты диссертации опубликованы в четырех печатных работах, докладывались и обсуждались на IV Всеросийской школе-семинаре "Волновые явления в неоднородных средах" (Красновидово, Моск. обл., 31 мая-5 июня 1994 г.), Международной конференции "Optical Interference Coatings", Tucson, AZ, June 1-5, 1992.

. . . . Объем и структура диссертации.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка цитируемой литературы и содержит /34" страницы машинописного текста и 18 рисунков. Список литературы насчитывает 147 наименований.

Содержание диссертации.

Во введении обсуждается актуальность, научная „и-..практическая ценность исследований, сформулированы основные-задачи. диссертации.

Первая глаза содержит краткий обзор литературы, относящейся к теме диссертационной работы. В первом параграфе.. прослеживается исаория возникновения и пути исследования вопроса просветления поверхностен, описываются различные направления в теории синтеза различных типов многослойных покрытий. Отмечается необходимость хорошего начального приближения при численных методах синтеза и тот факт, что не всегда бывает удобно брать в качестве начального приближения четвертьволновые структуры в силу ряда причин (например, в силу относительно большой их гсометрическрй толщины в ИК диапазоне). Кроме того, • четвертьволновые структуры неудобны в смысле достаточно жесткой привязки к конкретным значениям показателей преломления, необходимым для согласования. Отмечается, что в последние годы появились работы, в которых показана возможность и. разработан алгоритм синтеза структур со сверхтонкими (существенно меньше длины волны) слоями. Во втором параграфе описаны характерные свойства, присущие таким тонкослойным интерференционным структурам (ТИС); в частности, независимость полной оптической толщины * структуры от числа передов, возможность для системы с N слоями в периоде согласовать N-1 среду, наличие в спектральной характеристике структуры

длинноволновой области (для которой оптические толщины слоев меньше четверти длины волны, п^, < А/4, т. е. области тонкослойных решений) и коротковолновой (для которой, соответственно, > Л/4) и их особеннисти. Показано также, что данные системы дают возможность выбора из комплементарнхых по • характеристикам покрытий структуры с наиболее приемлемыми показателями преломления. Кроме того, при заданных показателях преломления слоев, ТИС является структурой с минимальной оптической толщиной, таким образом, имеется возможность изначально находиться в области глобального минимума функционала при численном синтезе покрытий с помощью вариации их параметров. Отмечается, что аналитическое исследование вариации различных параметров таких многослойных систем ранее не проводилось. В третьем параграфе обсуждены работы, посвященные прохождению гауссовых пучков через многослойные структуры. Отмечается отсутствие исследований по прохождению ограниченных волновых пучков через ТИС. В заключение перечислены основные выводы из описанных в главе исследований н сформулирована постановка задачи.

Во второй главе исследуется влияние слабого поглощения в слоях тонкослойных интерференционных структур на их характеристики. Описквются допущения, необходимые для конкретизации задачи: со структурой - взаимодействует плоская''4'Монохроматическая волна;- падение волны перпендикулярно плоскости слоев ТИС и она неограничена в плоскости, перпендикулярной направлению ее распространения. Структура также неограничена в этой плоскости. Учет наличия потерь в слоях производится методом ■ введения комплексных диэлектрической проницаемости и показателей преломления слоев. Задача решается в следующей постановке: рассматривается влияние потерь в слоях ТИС на ее согласующую способность и на значение длины волны, на которой происходит согласование, с учетом первого приближения-по 'величине изменения длины волны и отношения ¿, {> -1,2) мнимой и действительной тастей показателей преломления. Проводится также оценка коэффициента пропускания структуры при различных значениях поглощения в слоях. В тервом параграфе поставленная задача решается с помощью импедансного истода для ТИС с одним двухслойным периодом. Во втором параграфе ш алогичные исследования проводятся для периодической ТИС с использованием матричной методики расчета. Во всех случаях проведенный га ЭВМ численньй эксперимент показал хорошее соответствие «оретических расчетов по полученным соотношениям и экспериментальных >езультатов. Показано, что в частном случае одинаковых оптических толщин г относительных потерь (5, 6, / = 1,2) имеет место увеличение согласующей

способности и смешение .длин волн, на которых происходит согласование в сторону меньших значений. Кроме того, установлено, что и в случае наличия малых потерь в слоях ТИС,, сохраняется одно из ее фундаментальных свойств - независимость оптических, характеристик ТИС от числа периодов.

В третьей главе _ рассматривается зависимость оптических и спектральных характеристик ТИС от угла падения плоской волны. Считается, что потери в слоях отсутствуют, в остальном допущения аналогичны сделанным ранее. В первом параграфе приводятся результаты анализа спектральных- характеристик ТИС, проведенного с помощью численного эксперимента. Рассматривались „зависимости коэффициента пропускания от длины волны при различных углах падения на ТИС, состоящую из двух слоев. Из полученных зависимостей видно, что: 1) дам длинноволновой области спектра: - при увеличении угла падения пик согласования смещается в сторону коротковолновой области спектра, причем смещение увеличивается по мере возрастания угла приблизительно до 60°, а затем остается постоянным; -ширина полосы пропускания основного пика не меняется (под основным пиком пропускания здесь понимается самый длинноволновый максимум);

2) для коротковолновой области спектра: - все максимумы смещаются так же, как и длинноволновый пик; - происходит селекция спектра, т. е. уменьшается левый локальный максимум и увеличивается правый, соответствующий прилегающему к подложке слою. Во втором параграфе проводится исследование оптических характеристик ТИС с двумя слоями в периоде, в зависимости от утаа падения 0 плоской волны. Показано, что численный анализ зависимости коэффициента пропускания Т(в) позволяет отметить следующие особенности:

1) для Б-поляризованной волны при п2> Пу (»2 < ъ) угловая характеристика двухслойной ."ШС.пшре (уже), чем для четверьволнового слоя (л2 -показатель преломления слоя, примыкающего к подложке);

2) при увеличении числа пар слоев ширина угловой полосы пропускания 5-поляризованной волны стремится к значению аналогичного параметра для четвертьволнового слоя. . "

Показано, что при заданных показателях преломления слоев и обрамляющих сред, а также длине волны и угле падения для толщин слоев, необходимых для согласования, имеем соотношения, аналогичные полученным в предыдущих работах при нормальном падении излучения. Далее в предположении заданных показателя преломления и толщины одного из слоев, длины волтш и показателя преломлепия срсды, из которой опа распространяется, аналитичесики исследуются необходимые для

ю

согласования параметры второго слоя и подложки. Показано, что в случае р-поляризованпой волны одну и ту же среду можно согласовать двумя парами слоев с показателями преломления пь п21 и п}, п^ (с толщинами, соответственно йь 6г1 я ¿„ что не может был. осуществлено с помощью Л/4 - систем. Также при выполнении определенных соотношений между параметрами системы каждая из этих двух структур может согласовать одновременно две среды на заданной длине волны при одном и том же угле падения 9 > 0°. Отмечается, что особый интерес в случае падения р-поляризованной волны представляет структура с пг=п1,п1 = п,. Установлено, что в этом случае угловая характеристика коэффициента пропускания системы может иметь два максимума: при 0° и при угле в= агйв^/л^), являющемся фактически углом Брюстера для данной структуры. Отмечается . невозможность осуществления данной характеристики с помощью Л/4 - покрытий.

Четвертая глава посвящена рассмотрению прохождения параксиальных аксиально-симметричных гауссовых пучков через тонкослойные структуры. Анализ основан на теоретическом методе, предложенном авторами работ, описанных в цитируемой литературе, и кратко заключается в следующем. Решается уравнение для скалярного потенциала. . Решением является гауссово-лагеррова волна моды ц, V (р, V-азимутальный -и радиальный индексы волны). Эту волну можно разложить в спектр по. плоским волнам, используя преобразование Фурье. Для каждой плоской волны рассчитываются коэффициенты отражения л прохождения. Далее применяется обратное преобразование Фурье для нахождения полного прошедшего и отраженного полей. Вводятся энергетические характеристики отражения и пропускания как отношение . мощности, переносимой отраженной и прошедшей волнами соответственно к мощности падающей волны и получаются соответствующие аналитические соотношения. Во второй параграфе на основе численного эксперимента исследуются энергетические коэффициенты отражения и прохождения гауссово-лагерровой волны (основной моды и мод высших порядков) через ТИС, неограниченную в плоскости, перпендикулярной направлению распространения пучка, волна падает нормально к границе раздела сред. Структура содержит N периодов, в каждом из которых два слоя, поглощение в слоях не учитывается. Кроме ТИС с различными соотношениями показателей преломления слоев рассматриваются также четвертьволновые структуры. Показано, что спектр пропускания ТИС инвариантен относительно числа ее периодов, начиная приблизительно с четырех периодов, для любых возможных перетяжек в рамках рассмотренной модели. Также из полученных зависимостей можно видеть, что для ТИС с двумя

и

елояш! в периоде при любых возможных перетяжках спектр пропускания шире (уже) спектра пропускания классических резонансных структур, -если к подложке примыкает слой с большим (с меньшим) показателем преломления п2 > П] (п2<п1). Отмечено, что коэффициент пропускания ТИС уменьшается на резонансной длине волны при уменьшении перетяжки параксиальной волны 00 моды до минимально ..возможной в данном приближении. Однако изменение коэффициента пропускания незначительно и в большинстве случаев параксиальную волну 00 моды можно заменить плоской. Для мод высших порядков коэффициент пропускания незначительно меньше, чем для 00 моды. Приведены также оценки угловой расходимости и увеличения ширины пучка на расстояниях, равных полным толщинам структур: Отмечается, что, поскольку толщина ТИС инвариантна относительно числа периодов, то, в отличие от четвертьволновых структур, учет ограниченности слоев в плоскости, перпендикулярной направлению распространения волны, не вызовет существенных изменений в характеристиках прошедшей волны при увеличении числа слоев.

В Ш-Той главе рассматриваются вариации толщин и показателей преломления слоев ТИС. Первый параграф посвящен изучению влияния вариации толщин слоев ТИС с одним трехслойным периодом на ее оптические характеристики. Показатели преломления слоев и среды, из которой распространяется волна считаются заданными и неизменными. Падение волны везде предполагается нормальным к плоскости слоев. С использованием матричного метода выводятся соотношения, определяющие связь между непосредственно толщинами слоев и необходимым для согласования показателем преломления подложки при условии неизменности длины волны основного пика согласования. Вычисляется происходящее при этом смещение длины волны дополнительного пика и величина показателя преломления согласуемой на нем среды. Показано, что в случае малых изменений толщин всех трех слоев при определенном соотношении между ними, будет иметь место неизменность значения показателя преломления среды, которая может быть согласована. Во втором параграфе при условии неизменности геометрических толщин изначальной структуры исследуется влияние вариаций показателей преломления слоев на величину согласующей способности и длины волн, соответствующие пикам согласования, для ТИС с двумя и с тремя слоями в периоде. Все полученные соотношения были проверены с помощью численного эксперимента. Отмечается, что . для достаточно большого числа периодов К, а также для К=1, имеется достаточно хорошее соответствие экспериментальных и теоретических результатов. Указывается, что полученные соотношения дают возможшэсть анализировать. изменение рассматриваемых характеристик и

осуществлять перестройку системы при произвольных относительных изменениях показателей преломления слоев 6, < 1. Также делайся вывод, что соотношения показывают для рассмотренных ТИС существование линейной в первом приближении зависимости длины волны и,изменения согласующей способности от вариации показателей преломления слоев; можно ожидать, что это будет выполняться для ТИС с большим числом слоев, в периоде. Кроме того, показана возможность сохранения значения показателя преломления согласуемой на дополнительном пике среды для ТИС с одним трехслойным периодом при одинаковых оптических толщинах слоев. В третьем параграфе показана возможность компенсации малых отклонений показателей преломления слоев ТИС с помощью вариации толщин слоев. С использованием матричного метода расчета решена задача согласования с помощью трехслойной ТИС среды с неизменным показателем преломления щ на той же длине волны при малых вариациях показателей преломления слоев с помощью вариации их толщин. ,,,,..., . ,

В заключении сформулированы основные результаты, полученные в работе.

1. Аналитически установлены и подтверждены численным экспериментом новые, присущие лишь тонкослойным интерференционным структурам свойства при наклонном падении волны:

а) возможность для р - поляризованной волны реализовать режим »тасования одной среды при двух различных параметрах одного , из слоев двухслойной ТИС на одной длине волны при одвом и том же, уте падения

)> 0°; У ... /Г

б) возможность синтезировать структуру с упховой характеристикой, гмеющей два абсолютных максимума пропускания для р - поляризованной ¡олны.

2. Аналитически установлена возможность в случае наклонного шдения р -поляризованной волны согласования одной системой двух шличных сред на одной длине волны при одном и том же угле падения | > 0е.

3. Показана возможность и определены условия изменения ширины пговой характеристики ТИС для в-поляризованной волны.

¿{.Теоретически показано и подтверждено численным экспериментом охранение одного из основных инвариантных свойств ТИС -«зависимости оптических характеристик ТИС от числа периодов и в случае аличия слабого поглощения в слоях ТИС.

5. Показана теоретически и подтверждена численным экспериментом эзможвостъ как перестройки оптических характеристик ТИС за счет цшадии толщин ее слоев, показателей преломления и уровня диссипации в

слоях, так и компенсации влияния на оптические свойства ТИС вариащп одних ее параметров за счет изменения других по определенному алгоритму.

6. На основании численного эксперимента и проведенного анализ: показано, что в случае прохождения параксиальных гауссовых пучков черс: ТИС, спектр пропускания структуры инвариантен относительно числа е< периодов, начиная приблизительно с четырех периодов, для любьс возможных величин перетяжек в рамках рассмотренной модели. Кроме того показано, что характеристики пропусканния и отражения рассматриваемы} гауссовых пучков при распространении через ТИС имеют мало отличий оч аналогичных характеристик для плоских волн.

Список работ, опубликованных по теме диссертапии.

1. А.В. Козарь, Е.В. Путрина "Влияние вариации показателей преломления и толщин слоев тонкослойных интерференционных структур на ю оптические харакгеристики'У/ВМУ, сср.З, 1992, т.ЗЗ, N5, с. 31-38.

2. А.В. Козарь, Е.В. Путрина "Влияние. малых потерь в слоя? тонкослойных интерференционных структур. на их оптические харакгеристики"//ВМУ, сер.З, 1992, т.ЗЗ, N6, с. 57-60. . v

3. А.В. Козарь, Е.В. Путрина "Влияние вариаций ' электрофизических параметров и малых потерь в слоях тонкослойных -интерференционных структур на их оптические свойства", тезисы докладов- Международной конференции "Optical Interference Coatings", Tucson, AZ, June 1-5, 1992.

4. A.B. Козарь, Е.В. Путрина, O.B. Фионова "Зависимость оптических и спектральных характеристик тонкослойных интерференционных структур от угла падения плоской волны"//Препринт: МГУ, физический ф-т, N 2/1995, 9 стр, - Москва, 1995.