Взаимодействие метастабильных атомов инертных газов с чистой и активированной металлами поверхностью окислов тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.04 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I» ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

§ I. Физико-химические свойства метастабильных атомов инертных газов

§ 2. Методы получения и детектирования метастабильных атомов инертных газов

§ 3. Взаимодействие метастабильных атомов инертных газов с поверхностью твердого тела *.

ГЛАВА П. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ.

§ I. Приготовление и очистка рабочих газов .«

§ 2. Приготовление полупроводниковых пленок

§ 3. Нанесение и определение весовых толщин дисперсных пленок золота

§ 4в Измерение малых токов и малых изменений сопротивления полупроводниковых пленок.38.

ГЛАВА Ш. ВЛИЯНИЕ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ АТОМОВ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР ДИСПЕРСНЫЙ

МЕТАЛЛ - ПОЛУПРОВОДНИК >.

§ I, Изменение электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов инертных газов и полупроводниковый метод их детектирования.

§ 2. Оценка влияния паразитных факторов на работу полупроводникового детектора. Выбор источника активных частиц

ГЛАВА 17, ПЕРЕДАЧА ЭНЕРГИИ В СИСТЕМЕ МЕТАСТАЕИЛЬНЫЕ АТОМЫ

ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ - ДИСПЕРСНЫЙ МЕТАМ - ПОЛУПРОВОДНИК

§ 1к Дезактивация метастабильных атомов инертных газов на поверхности полупроводников и диэлектриков, активированных шпфокристаллами металла.

§ 2. Электронные явления при взаимодействии метастабильных атомов инертных газов со структурами дисперсный металл - полупроводник. Роль структуры нанесенной пленки металла

§ 3* Электронные свойства контактов золото - окись цинка и возможный механизм изменения электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов инертных газов

§ 4* Влияние температуры и предварительной адсорбции химически активных газов на взаимодействие метастабильных атомов инертных газов со структурами дисперсный металл - полупроводник.

§ 5 Влияние освещения на взаимодействие метастабильных атомов инертных газов со структурами дисперсный металл - полупроводник.

§ 6. Влияние метастабильных атомов инертных газов на электропроводность структуры дисперсное золото

- двуокись титана

ВЫВОДЫ.

В настоящее время большое внимание уделяется роли электронно-возбужденных атомов и молекул в адсорбции, гетерогенном катализе и других физико-химических процессах на границе раздела газ-твердое тело. Электронно-возбужденные частицы несут большую энергию возбуждения, кроме того, структура их электронных оболочек существенно отличается от основного состояния» Эти два фактора определяют специфику взаимодействия ©лектронно-возбуж-денных частиц с поверхностью твердого тела. Обладая повышенной реакционной способностью, они могут играть важную роль в химических процессах на поверхности. Гетерогенные хемолюминесцент-ные реакции, адсорболюминесценция, радикалолюминесценция и т.д. указывают на возможность участия электронно-возбужденных молекул в гетерогенных процессах [I] . Наряду с участием в химических процессах возможна дезактивация электронно-возбужденных частиц на поверхности с передачей энергии возбуждения твердому телу. Так, в работах школы Теренина [2-6]обоснован механизм спектральной сенсибилизации внутреннего фотоэффекта полупроводников адсорбированными молекулами красителей и пигментов, основанный на представлении о передаче энергии возбужденных молекул на поверхности в электронную подсистему полупроводника.

Особый интерес представляет передача энергии твердому телу от электронно-возбужденных частиц газовой фазы. Этот процесс является одним из важных каналов обмена энергией между газовой фазой и поверхностью в ходе гетерогенно-гомогенных термических, плазмо- и фотохимических реакций. Процессы передачи энергии, по-видимому, играют большую роль в таких явлениях, как активация стенок реактора взрывом [7*] , увеличение каталитической активности стенок после обработки разрядом [в] и др. Тем не менее вопрос о механизмах передачи энергии электронно-возбужденных частиц газовой фазы твердому телу остается открытым.

Объясняется это в первую очередь тем, что, как правило, электронно-возбужденные атомы и молекулы имеют повышенную реакционную способность и при взаимодействии их с поверхностью на первый план выходят химические эффекты. Так, например, в работе [9] показано, что при взаимодействии возбужденных молекул кислорода 02 ( Л^) с поверхностью ZhO происходит изменение электропроводности полупроводника как за счет передачи энергии, так и за счет хемосорбции синглетного кислорода, причем преобладает последний процесс.

Целью настоящей работы является изучение процессов передачи энергии возбуждения в системе газ - твердое тело, поэтому естественно выбрать такую модельную систему, где были бы сведены к минимуму эффекты химического взаимодействия между электронно-воз-бужде иными частицами газовой фазы и поверхностью, реальной модельной системой в этом смысле являются метастабильвые атомы инертных газовw Крайне низкая реакционная способность как в основном, так и в возбужденном состоянии, большие энергии возбуждения, большие излучательные времена жизни делают их очень удобной моделью для исследования процессов передачи энергии электронного возбуждения на границе раздела газ - твердое тело.

Исследование взаимодействия метастабильных атомов инертных газов с поверхностью твердых тел представляет также самостоятельный интерес. Метастабильные атомы во многом определяют энергетический баланс плазмы инертных газов и ее взаимодействие со стенками. Так, например, дезактивация метастабильных атомов неона на стенках разрядных трубок накладывает ограничения на мощность гелий - неоновых лазеров [Ю] , метастабильные атомы оказывают сильное влияние на параметры тлеющих разрядов [ill > влияют на работу газоразрядных приборов, вызывал дополнительную эмиссию электронов из металлических электродов [12] . Дезактивация метастабиль-ных атомов на поверхности космических аппаратов оказывает влияние на их движение в верхних слоях атмосферы.

Таким образом, исследование взаимодействия метастабильных атомов инертных газов с поверхностью твердых тел является актуальной задачей, имеющей большое научное и практическое значение.

В настоящей работе изучено взаимодействие метастабильных атомов инертных газов с поверхностью окисных полупроводников и структур дисперсный металл - полупроводник. Эти системы являются распространенными катализаторами, в частности, в фотокаталитических процессах, где большую роль играют электронно-возбужденные частицы.

В работе впервые получены и выносятся на защиту следующие положения:

1. Обнаружено явление обратимого изменения электропроводности активированных микрокристаллами металла полупроводниковых пленок под действием метастабильных атомов инертных газов.

2. На основе обнаруженного явления разработан новый метод детектирования метастабильных атомов инертных газов, отличающийся высокой чувствительностью, пропорциональностью, простотой приборного оформления.

3. Определены коэффициенты гетерогенной дезактивации метастабильных атомов инертных газов на поверхности стекла, окиси цинка, а также дисперсных слоев золота, нанесенных на эти подложки, в условиях низких давлений и малых концентраций возбужденных атомов.

4» Исследовано влияние структуры нанесенного слоя металла, температуры, света и адсорбции химически активных газов на величину и характер сигнала изменения электропроводности системы ^u/ZhO под действием метастабильных атомов инертных газов.

5. На базе изученных явлений предложена и обоснована качественная модель эффекта изменения электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов инертных газов, основанная на представлениях о перезарядке глубоких уровней полупроводника в области его контактов с нанесенными микрочастицами металла.

Диссертация состоит из введения, четырех глав и выводов. I глава - литературный обзор. В нем рассмотрены основные физико-химические свойства метастабильных атомов инертных газов, методы их получения и регистрации, а также проанализированы имеющиеся в литературе данные по взаимодействию метастабильных атомов с поверхностью твердых тел. Во второй главе описаны методики подготовки веществ и образцов, нанесения использованных в работе тонких металлических и полупроводниковых пленок, приведены схемы измерения электрофизических параметров образцов в процессе взаимодействия их с метастабильными атомами. Третья глава посвящена исследованию влияния метастабильных атомов на электропроводность структур дисперсный металл- полупроводник и обоснованию полупроводникового метода детектирования метастабильных атомов. В четвертой главе изучены электронные процессы, происходящие в структурах дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов и предложена качественная модель, объясняющая наблюдаемые на опыте явления. В конце диссертации приведены основные выводы.

выводы

1. Обнаружено новое явление обратимого изменения электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов инертных газов.

2. На основе обнаруженного явления разработан новый высокочувствительный метод детектирования метастабильных атомов инертных газов.

3. Исследована гетерогенная дезактивация метастабильных атомов на поверхности стекла, окиси цинка и островковых пленках золота на этих подложках в условиях диффузионного режима и малой концентрации активных частиц, экспериментально получены величины соответствующих коэффициентов гетерогенной дезактивации.

4. Установлено, что частицы размером более 4 нм ведут себя по отношению к дезактивации метастабильных атомов инертных газов подобно массивному металлу и наиболее вероятным является ударный мезанизм дезактивации метастабильных атомов на поверхности островковых пленок металла.

5. Исследована внешняя эмиссия электронов под действием метастабильных атомов с поверхности островковых пленок золота, нанесенных на ZnO . Показано, что изменение тока внешней эмиссии электронов в процессе роста нанесенной пленки обусловлено изменением индивидуальных свойств микрочастиц металла по мере их роста.

6. Исследована зависимость сигнала изменения электропроводности пленок Ам/ZhO под действием метастабильных атомов от структуры нанесенных слоев An. Установлено, что сигнал изменения электропроводности связан с наличием на поверхности носителя частиц определенного размера.

7. Исследовано влияние температуры и предварительной адсорбции химически активных газов на величину сигнала изменения эле ктропров одно сти Дц/ZhO под действием метастабильных атомов. Показано, что начальная скорость изменения электропроводности меняется активационным образом, причем эффективная энергия активации отрицательна. Значение эффективной энергии активации соотнесено с усредненной высотой барьера на границе микрочастица металла - полупроводник*

8. Исследовано влияние оптического излучения на сигнал изменения электропроводности структур Дц/Zn0 под действием метастабильных атомов. Показано, что освещение способствует увеличению сигнала и ускоряет процессы релаксации. Сделан вывод, что изменение электропроводности происходит за счет перезарядки глубоких ловушек в области обеднения контактов flu-ZhO.

9. Предложена и обоснована модель, качественно объясняющая явление изменения электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов* Модель основана на представлении о перезарядке глубоких ловушек в области контактов металл - полуцроводник в процессе взаимодействия поверхности с возбужденными атомами.

10. Исследовано взаимодействие метастабильных атомов со структурами Ди/П02 . На основе сравнения с данными, полученными с помощью структур к/Ш , показано, что эффекты изменения электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник в процессе их взаимодействия с метастабильными атомами носят общий характер, должны быть присущи системам, где образуются барьерные контакты между нанесенными частицами металла и полупроводником и имеют место свойства замедленной релаксации.

Выражаю глубокую благодарность научному руководителю И.А. Мясникову за предложенную тему диссертации, постоянное внимание и помощь в работе. За большую помощь и моральную поддержку выражаю благодарность научному консультанту В.И.Цивенко, старшему лаборанту Н.А. Черноярской, а также всему коллективу Лаборатории адсорбции активных частиц НИФХИ им* Л.Я.Карпова.

1. Табачник А. А., Шуб Б.Р. Электронно-возбужденные молекулы в адсорбции и катализе^ - В кн.: Нестационарные и неравновесные процессы в гетерогенном катали© (Проблемы кинетики и катализа, т. 17), М.: "Наука", 1977, с. 59 - 68.

2. Теренин А.Н. Избранные труды, т.2, с. 180 194, Л.: "НаукаV 1974, 473 с.3» Теренин А.Н. Избранные труды, т.2, с. 194 199, Л.: "Наука", 1974, 473 с.

3. Теренин А.Н. Избранные труды, т. 2, с. 204 221, Л.: "Наука", 1974, 473 с.

4. Теренин А.Н. Избранные труды, т. 2, с. 239 251, Л.: "Наука", 1974, 473 с.

5. Теренин А.Н. Избранные труды, т. 2, с. 251 264, Л.: "Наука", 1974, 473 с.

6. АзатянВ.В. Новые закономерности разветвленно-цепных реакций и некоторые новые аспекты теории. Физика, 1982, т* I, jjg 4, с. 491 - 508.

7. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме, с. 205, М.: Наука, 1980, 310 с*

8. Мясников И.А., Завьялов С.А., Григорьев Е.И., Цивенко В.И. Куприянов Л.Ю. О взаимодействии электронно-возбужденных частицс поверхностью твердого тела. Ж. физ. химии, 1981, т. 55, № 7, с. 1840 - 1842.

9. Звелто 0. Физика лазеров. М.: Мир, 1979, 373 с.

10. Смирнов Б.М. Возбужденные атомы. М.: Энергоиздат, 1982, 232 с.1. Noble

11. Golde М.Р. Reactions of Electronically Excited Gas Atoms. in Gas Kinetics and Energy Transfer, v. 2, p. 123 - 174, London, The Chemical Society, 1977, 392 p.

12. Drake G.W.F., Victor G.A., Dalgamo A. Two-photon decay of the singlet and triplet metastable states of helium-like ions. Phys. Rev., 1969, v. 180, Ho 1, p. 25 32.

13. Van Dyck R.S., Johnson C.E., Shugart H.A. Radiactive Lifetime of the Metastable 2 1SQ State of Helium. Phys. Rev. Lett., 1970, v. 25, No 20, p. 1403 - 1405.

14. Van Dyck R.S., Johnson C.E., Shugart H.A. Radiactive1lifetime of the 2 S0 metastable state of helium. Phys. Rev.A. 1971, v. 4, No 4, p. 1327 - 1336.

15. Pearl A.S. Lifetime of the 2 1S state of He. Phys.Rev. Lett., 1970, v. 24, No 13, p. 703 - 704.

16. Drake G.W.F. Theory of relativistic magnetic dipoe transition: lifetime of the metastable 2 ^S state of the helium like ions. Phys.Rev. A., 1971, v. 3, No 3, p. 908 - 915.

17. Woodworth J.R., Moos H.W. Experimental determination of the single-photon transition rate between the 2-^S and t1SQ states of He I. Phys.Rev. A., 1975, v. 12, No 6, p. 2455 - 2464.

18. Small-Warren N.B., Chin L.- У.С. Lifetime of the metastable ^P2 and 3P0 states of rare gas atoms. Phys. Rev. A., 1975, v. 11, No 6, p. 1777 - 1783.

19. Van Dyck R.S., Johnson C.E., Shugart H.A. Lifetime lower limits for the 3p0 and 3p2 metastable states of neon, argon andkrypton. Phys. Rev. A., 1975, v. 5, No 3, Р» 991 - 999.

20. Фуголь Й.Я., Пахомов П.Л. Диффузия метастабильных атомов гелия в собственном газе при низких температурах. Ж* эксп. теор. физики, 1967, т. 53, № 3, с. 866 - 873.

21. Месси Г. Бархоп. Е. Электронные и ионные столкновения. М.: Изд во иностр. литературы, 1958, 604 с.

22. Фуголь И.Я. Процессы упругого рассеяния метастабильных атомов гелия в собственном газе. Успехи физ. наук, 1969, т.97, № 3, с. 429 - 452.

23. Phelps A.V. Metastable atoms in the afterglow of a low pressure He discharge. Phys. Rev*, 1955, v. 99, No 4, p.1307-1315.

24. Pesnella A., Watel G., Measurement of the terms of creation, diffusion and destruction of metastable rare gas atoms with thermal energy. Compt.rend.Acad.sci., Ser.B., 1971, v.272, No 13, p. 785 - 788.

25. Dixon J.R., Grant P.A., Decay of the triplet P levelsof Ne. Phys. Rev., 1957, v. 107, No 1, p. 118 - 123*

26. Phelps A.V. Diffusion, deexcitation, and three-bodycollision coefficients for excited neon atoms. Phys.Rev.,1959, v. 114, No 3, Р. Ю11 - 1019.

27. Ellis E., Twiddy H.D. Time-resolved optical absorption measurements of excited-atom concentrations in the argon afterglow. J.Phys., 1969, v. 82, Ho 12, p. 1366 - 1377.

28. КоIta J.H., Setser D.W. Decay rates of Ar(4S, 3P2), Ar(4S, ^Pq), Kr(5S, 3p2) aild Xe(6S, 3p2) atoms in argon. J.Chem Phys., 1978, v. 68, p. 4848 - 4854.

29. Tracy c.j., Oskam h.j. Properties of metastable krypton atoms in afterglow produced in krypton and krypton nitrogen mixtures. - J. Chem. Phys., 1976, v. 65, Ho 5, p. 1666 - 1672.

30. Barbet A., Sadeghi Ht, Pebay-Peyrolla J.C. Decay of metastable xenon atoms Xe(3p2) in a xenon afterglow. J. Phys. В.: Atom, and Mol. Phys., 1975, v. 8, No 10, p. 1776 - 1784.

31. Leichner P.K., Cook J.D., Luexman S.J. Time dependence ofthe vacuum UV emission from neon, and energy transfer to the1 3resonance states He( P^) and Ne( P^) in helium-neon mixtures. Phys. Rev. A., 1975, v. 12, Ho 6, p. 2501 - 2513.

32. Turner R. Decay of excited species in a pulsed discharge in krypton. Phys. Rev., 1967, v. 158, Ho 1, p. 121 - 129.

33. Schmeltekopf A.L., Fehnsenfeld P.G. De-excitation rate constants for helium metastable atoms with several atoms and molecules. J. Chem. Phys., 1970, v. 53, Ho 8, p. 3173 - 3177.

34. Piper L.G., Velazco J.E., Setser D.W. Quenching cross sections for electronic energy transfer reactions between metastable argon atoms and noble gases and small molecules. J. Chem. Phys., 1973, v. 59, Ho 6, p. 3323 - 3340.

35. Velanco J.E., Setser D.W,, Quenching cross sections for

36. Broom J.M., Kolts J.H., Setser D.W. Quenching rate constants for NeC^Pg) metastable atoms at room temperature. Chem. Phys. Lett., 1978, v. 55, No 1, p. 44 - 48.

37. Benton E.E., Fergusson E.E., Matsen P.A., Robertson W.W. Cross sections for the deexcitation of helium metastable atoms by collisions with atoms. Phys. Rev., 1962, v. 128, No 1,p. 206 209.

38. Arrathoon R. Comparison of the thermal energy structures3 тin He 2 S Ar and H 2 S - Ne second kind collision rates.

39. J. Chem. Phys., 1974, v. 60, No 3, p. 1187 1189.

40. Jones C.R., Robertson W.W. Temperature Dependence of the Cross Section for the Destruction of the Helium Metastable Atom He(2 3S) by Argon. J. Chem. Phys., 1968, v. 49, No 10, p.4240-4247.

41. Воигёпе H.( Dutuit 0., Le Calv£ J. De-excitation of the1. J О -1

42. Ar P1 ^^ s^'te13 pure argon and in Ar/H2 or Ar/COmixtures. J. Chem. Phys., 1975» v. 63, No 4, p. 1668 - 1675.

43. Yokoyama A., Takao S., Veno Т., Hatano У. Measurements of de-excitation rate constants of Ne(^P2 and by and SFg using a pulse radiolysis method. Chem. Phys., 1980, v. 45, No 3, P. 439 - 446.

44. Hurst G.S., Wagner E.B., Payne M.G. Energy transfer from the resonance states Ar (1P.,) and Ar (3P.,) to ethylene. J. Chem. Phys., 1974, v. 61, No 9» P. 3680 - 3685.

45. McNeely J.R., Hurst G.S., Wagner E.B., Payne M.G. Energy transfer from argon resonance states to nitrogen, hydrogen and nitric oxide. J. Chem. Phys., 1975, v. 63, No 6, p.2717 - 2723.

46. Bush У.А., McFarland M., Albritton D.L., Schmeltekopf A.L Rate constants for the thermal energy reactions of He+, He(21S)and He(23S) with HC1 and HBr. J.Chem. Phys., 1973, v. 58, Ho 9, p. 4020 - 4023.

47. Lindinger W., Schmeltekopf A.L., Fehnsenfeld P.O. Temperature dependence of de-excitation rate constants of He (2^S)by He, Ar, Ze, H2, H2, 02, HH3 and CO. J.Chem.Phys., 1974, v.61 No 7, p. 2890 - 2897.

48. Oliphant M.L.E. The interaction of helium metastable atoms with metall surfaces. Proc. Roy. Soc. (London), 1929, v. A124, P. 228 - 242.

49. Greene D. Secondary electron emission from molybdenium produced by helium, neon, argon and hydrogen. Proc. Roy.Soc.1.ndon), 1950, v. B.63, P. 876 889.

50. Milatz J.M.W., Omstein L.S. Electronic excitation function of metastable S level of He. Physika, 1935, v. 2, Ho 2,p. 355 362.

51. Moison M., Pantel R., Ricard A. Radial variation of excited atom densities in an argon plasma colomn produced Ъу a microwave surface wave, Can. j. Phys., 1982, v. 60, Ho 3» P- 379-382.

52. Табачник АфА#> Уманский С,Яв, Шуб Б.Р. Де3активащя атомов аргона( Р2) в аргоне и на поверхности кварца. Хим. %зика, 1983, т. 2, К 7, с. 938 г 943*

53. Bourene М., Le Colve J*. De-excitation cross sections of metastable argon by various atoms and molecules. J. Chem.Phys., 1973, v. 58, No 4, p. 1452 - 1458.

54. Wieme W., Wieme Lenaerts J. Decay of the ultraviolet continuum in the afterglow of a pulsed argon discharge. - Phys. Lett., 1974» v. A 47, No 1, p. 37 - 38.

55. Wieme W., Lenaerts J. Diffusion of metastable atoms in rare gases. Physica B+C, 1980, v. 98, No 3, p. 229 - 234.

56. Brechenridge W.H., Miller T.A., Detection of metastable3

57. P2 argon atoms by gas phase EPR. Chem.Phys.Lett., 1972, v. 12, No 3, P. 437 - 442.

58. Conrad H., Ertl G., Kuppers J., Sesselman W,, Woratschek B. Scattering of metastable rare gas atoms from solid surfaces. -Surf. Sci., 1982, v. 117, No 1 3. p. 98 - 108.

59. McLennon D.A., Delchar T.A. Role of Work Function in Electron Ejection by Metastable Atoms: Helium and Argon on (111) and (110) Tungsten. J.Chem. Phys., 1969, v. 50, No 4, p. 1772-1778.

60. Delchar T.A., McLennon D.A., Landers A.M. Adsorbate Effects in Electron Ejection by Rare Gas Metastable Atoms. -J. Chem. Phys., 1969, v. 50, No 4, p. 1779 1787.

61. Dunning P.B. The absolute detector for rare gas metastable atoms. J.Phys.E (Scientific Instruments), 1972, v. 5, No 3,p. 263 266.

62. Schulz G.J., Pox R.E. Excitation of metastable levels in He near threshold. Phys.Rev,, 1957, v. 106, No 6, p.1179 - 1191.

63. Bosan Dj.A., Lukic M.M. Transport of Long-lining Meta-stables of N2 and Ar by the own gas stream. rt6th Int. Conf. Gas Discharge and their Appl. Edinburgh 1980n, Part 2, London-New York, 1980, p. 46 - 47.

64. Даней AeM#t Мясников И#А. О взаимодейвтвии возбужденных благородных газов с полупроводниковыми окислами металлов*

65. Ж. физ. химии, 1972 т. 46, № 7, с. 1902.

66. Oliphant M.L.E., Moon Р.В. Liberation of electrons frommetal surfaces by positive ions. II. Theoretical. Proc. Roy. Soc. (London), 1930, v. A 127, p. 388 - 395.

67. Shekter S.S. Neutralization of positive ions and the emiddion of secondary electrons. J.Exp.Theor.Phys. (USSR), 1937, v. 7, No 5, p. 75Q - 757.

68. Cobas A., Lamb W.E. Extraction of electrons from a metal surface by ions and metastable atoms. Phys. Rev., 1944, v. 65, No 2, p. 327 - 338.

69. Hagstrum H.D. Theory of Auger Ejection of Electrons from Metals by Ions. Phys. Rev., 1954, v. 96, No 2, p. 336 -365.

70. Johnson P.D., Delchar T.A. Electron ejectioi by helium metastable atoms incident on the clean and chalogen covered

71. Ni (100) surface. Surf. Sci., 1978, v. 77, No 3, p.400-408.

72. Houssel J., Boizian C., Nowlone R., Reynand C. Electron ejection mechanism in the He 2^S interaction with a clean anda molecularly covered Ni(m) surface. Surf .Sci., 1981,v.110, No 2, p. L634 - L640.

73. Conrad H., Ertl G., Ktippers J., Sesselman W. Deexcitation mechanisms in metastable He surface collisions. - Surf. Sci., 1980, v. 100, No 2, p. L461 - L466.

74. Roussel J. Reflection of Metastable He atoms as Ions at Surfaces. Physica Scripta, 1983, v. 14, No 1, p. 96 - 99.

75. Wang S.-W,, Ertl G. Theory of Penning ionization of adsorbed CO by metastable helium (21S, 23S) beams. Surf.Sci., 1980, v. 93, No 2, p. L75 - L78.

76. Conrad H., Ertl G., Ktippers J., Wang S.-W. Penning -Ionizstion Electron Spectroscopy of Chemisorbed CO. Phys. Rev. Lett., 1979, v. 42, No 16, p. 1082 - 1086.

77. Boizian C., Garot C., Novolone R., Roussel J. Study of oxygen and carbon monoxide adsorption on molybdenium (110) by metastable helium de-excitation spectroscopy. Surf.Sci., 1980, v. 91, No 1, p. 313 - 326.

78. Conrad H., Ertl G., Ktippers J., Sesselman W.t Haber-land H. Electron spectroscopy of surfaces by impact of metastable He atoms i CO on Pd(HO).- Surf .Sci., 1982, v.121, No 1, p. 161 180.

79. Bozso P., Yates J.T. Jr., Arias J., Metiu R.M. A surface Penning ionization of the C0/Ni(11l) system. J.Chem. Phys., 1983, v. 78, part II, No 6, p. 4256 - 4269.

80. Bozso P., Arias J., Hanrahan G., Martin R.M., Yates J.T, Metiu H. Effect of surface electronic structure on the deexcit-tation of He 21S metastable atoms. Surf.Sci., 1984, v. 136,1. No 1, p. 257 266.

81. Hagstrum H.D. Excited Atom Deexcitation Spectroscopy using Incident Ions. - Phys. Rev. Lett., 1979, v. 43», No 11, p. 1050 - 1053.

82. Titley D.J., Delchar T.A. Angle resolved scattering and electron ejection by Helium metastable atoms incident on the tungsten (110) surface. Surf. Sci., 1981, v. 103, No 2 - 3, p. 438 - 455.

83. Titley D.J., Delchar T.A., Johnson D. The interaction of metastable helium atoms with metal surfaces. Surf. Sci., 1981, v. 102, No 1, p. L59 - L62.

84. Boizian C., Muchielly P., Nuvolone R., Reynand C., Roussel J. Interaction of metastable helium beam with surfaces; beam characterization results discussion. - Surf. Sci., 198}., v. 102, No 1, p. L63 - L69.

85. Борзяк П.Г., Кулюпин Ю.А. Электронные процессы в островковых металлических пленках. Киев: "Наукова Думка", 1980t 239 с.

86. Shibata Т., Hirooka Т., Kuchitsu К. Electron emission from naphthacene crystal due to the impact of argon and krypton metastable atoms. Chem. Phys. Lett., 1975, v. 30, No 2,p. 241 244.

87. Munakata J., Hirooka Т., Kuchitsu K. Electron emission from crystal surfaces of condensed aromatice under the impacto¥ иле-Ufta^ Oftotwi. — 3. £&ctlroW gpectvoi Re&t. Phenol. v/.Мз.р.219-22*.

88. Munakata J., Ohno K., Harada Y. Application of Penning ionization electron spectroscopy to the study of the outermost layer of the solid surface. J.Chem. Phys., 1980, v. 72, No 4,p. 2880 2881.

89. Kubata H., Munakata Т., Hirooka Т., Kuchitsu K., Harada Y. Observation of molecular reorientation on evaporated bi-phenyl film surface by Penning ionization electron spectroscopy.- Chem. Phys. Lett., 1980, v. 74, No 3» p. 409 412.

90. Ohno K,, Muton H., Harada Y. Application of Penning ionization electron spectroscopy to the study of chemical reactions on the solid surface: photooxidation of naphthacene and rubrene. Surf. Sci., 1982, v. 115, No 3» p. 1128 - 1132.

91. Munakata Hirooka Т., Kuchitsu K. Electron emission from surfaces x of alkali halides under the impact of metastable helium and neon atoms. J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom., 1980, v. 18, No 1 - 2, p. 51 - 59.

92. Harada Y., Ozaki H., Ohno K. Electron spectroscopy of semiconductor surface by impact of metastable rare gas atoms: selenium. Solid State Commun., 1984, v. 49, No 1, p. 71 - 74.

93. Craig J.H., Jr., Dickinson J.T. Scattering of metastable molecules from a gas covered (100) surface of germanium.- J.Vac. Sci. and Technol., 1973» v. 10, No 1, p. 319 324.

94. Лисицын-Б.н., Проворов A.C., Чеботаев Б.П. О диффузииметастабильных атомов* Оптика и спектроскопия, 1970f т. 29 $ 2, с. 226 - 231.

95. Sadeghi N., Pebay-Peyroula J.С. Etude experimental de la relaxation des atoms m^tastables de gas rares sur la paroi en pyrex. J. Phys. (Prance), 1974, t. 35, No 4, p. 353 - 36O.

96. Pantel R., Ricard A., Moisan M. Distribution Radiale de la Densite des Atoms M^etastables dan des Plasmas Produitepar un Champ. Electrique Gontinu on de Haute Frequence. -Beitr. Plasmaphys., 1983» v. 23» No 6, p. 561 - 580.

97. Clark W.G., Sestser D.W. Energy transfer reactions of3 +

98. Quenching by hydrogen halides, methyl halides and other molecules. J.Phys.Chem., 1980, v. 84, No 18, p. 2225 - 2234.

99. Vidand P.H., von Engel A. Enhancement of ionization in nitrogen by excited nitrogen molecules and their de-activation. Proc. Roy.Soc., 1969, v. A 313, No 15, p. 531 - 550.

100. Doyen G. Quantum theory for the reflection of metastable atons at surfaces. Surf. Sci., 1982, v. 117, No 1-3, p. 85 - 97.

101. Рамсей Н» Молекулярные пучки. M.: Изд-во иностр. лит., I960. 411 с.

102. Мясников И. А. Полупроводниковые детекторы активных частиц в физико-химических исследованиях. Е.Всесоюз. хим. об-ва им. Д.И. Менделеева, 1975, т. 20, Jfs I, с. 19 - 32*

103. Завьялов С.А., Мясников И.А. Исследование эмиссии молекул синглетного кислорода с поверхности твердых тел методом полупроводниковых детекторов. Докл. АН СССР, 1981, т. 257,1. Ш 2, с. 392 396.

104. Мясников И*А., Болыпун Е*В. 0 взаимодействии электрон-но-возбуженных молекул с окислами металлов и о полупроводниковом методе детектирования этих частиц в газовых и жидких средах*- Докл. АН СССР, 1978, т. 240f $ 4, с. 906 909.

105. Григорьев Е.И., Мясников И.А., Цивенко В.И. Дезактивация синглетного кислорода на поверхности стекла и окиси цинка.- ЖФХ~ 1983, т. 57, № 2, с. 505 508.

106. Милосердов И.В., Мясников И*А. Об электрических и адсорбционных свойствах активированных микрокристаллами металлов окисных адсорбентов и катализаторов. Ж.физ.химии, 1979, т. 53, В 9, с. 2330 - 2332.

107. Maier-Leibnitz H. Yield measurements on the collision ofslow electrons with rare-gas atoms.- Zs.f.Phys.,1935, v.95,p.499523.

108. Кощеев А.П., Панйиг A.M., Мясников И.А. Влияние бомбардировки низкоэнергетическими ионами инертных газов на свойства поверхности окиси цинка. Письма в ЖТФ, 1976, т; 2, вып. 13, с. 607 - 609.

109. Smith W.V. The surface recombination of H atoms and OH radicals. J.Chem.Phys., 1943» v. 11, No 3, p. 110 - 125.

110. Wise H., Ablow C. Diffusion and Heterogeneous Reaction. I. The dynamics of radical reactions. J.Chem.Phys., 1958, v.29» No 3, p. 634 - 646.

111. Motz H., Wise H. Diffusion and Heterogeneous Reaction. III. Atom Recombination at a Catalytic Boundary. ^.Chem.Phys,, I960, v. 32, No 6, p. 1893 - 1895.