Электронно-и ионно-стимулированная десорбция возбужденных частиц тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

РГ6 од

„ УЖГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ" УНИВЕРСИТЕТ

2 Г ШОП 1393

На правах рукописи УДК 537.37 : 546.5

АЛЬДУРГАМ НАБИЛЬ

ЭЛЕКТРОННО- И ИОННО-СТ1 АУДИРОВАННАЯ ДЕСОРБЦИЯ ВОЗБУЖДЕННЫХ ЧАСТИЦ

Специальность 01.04.04 - физич <а<* электроника

АВТОРЕФЕР Т диссертации на соискание \ гой степени кандидата физико-математк ^ских наук

Ужгород - 1993

Работа выполнена в проблемной научно-исследовательской лаборатории физической электроники Ужгородского государственного университета.

Научный руководитель - доктор физико-математических наук,

профессор Поп С.С.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук,

профессор Попик Ю.В. доктор физико-математических наук, -Ченакин С.П.

Ведущая организация - Физико-механический институт

им.Г.В.Карпенко АН Украины г.Львов

Защита состоится "<£ ^» иЯ 1993 г. в А* . на

заседании специализированного совета К 068.07-02 по физико-математическим наукам в Ужгородском госукиверситете (ауд. N 181).

С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке Укгородокого Госуниверситета (ул. Кремлевская, 9).

Автореферат разослан " 1993 г.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность работа. Бомбардировка поверхности твердых тел электронами и ионами стимулирует эмиссию атомных .и молекулярные частиц, в результате процессов десорбции. Десорбция мокет происходить как в результате испарения при термическом нагреве поверхности потоком бомбардирующих частиц , так и в результате электронного возбуждения и прямого перевода потенциальной энергии а кинетическую энергию десорбирутазиоя частиц. Это явление з случае зондирозания поверхности электронами получило название электронно- стимулированной десорбщш (ЗСД). В случае бомбардировки поверхности иона'« тоге может иметь место аналогичное явление кокно-стимулированной десорбции (ИСД), но чацэ в этом случае говорят о распылении частиц с поверхности, в т.ч. адсорбированных. Данная работа посвящена з, основном, изучении ЭСД, исследованию которой в последние годы уделяется все возрастающее внимание [1-2].

Актуальность экспериментальных и теоретических исследоваий десорбции обусловлена необходимостью знания закономерностей и понимания механизмов этого сложного эмиссионного явления, которые, з свою очередь, важны для углубленного изучения многих фундаментальных вопросов |£лзики и химии поверхности. С прикладной точки зрения интерес к изучении десорбции связан о той важной ролью, часто отрицательной, которую сна играет в современной технике и а приборостроении. Это явление имеет место во многих электровакуумных приборах, в которых используются электронные и ионные пучки. 5 частности, десорбция может повышать давление остаточных газов в приборе, призодить к ошибочным измерениям давления ионизационными манометрами, быть причиной появления лохшых пиков в масс-спектрах, инициировать вакуумный пробой, увеличивать количество многоэлектронных сцинтилляций в электронно-оптических преобразователях, усиливать деградацию различных эмиттеров электронов, ускорять еррозию стенок термоядерных реакторов, космических систем и др. [ 2 ]. ЭСД может оказывать существенное влияние на состояние адсорбированного слоя, когда для его анализа используются электронные пучки, как это имеет место в широко используемых в настоящее время методах еже-электронной спектроскопии, электронной микроскопии и цифра г'пии электронов [3 3.

С другой стороны, ЭСД является прямым методом диагностик:!, анализа и изучения моноатомных слоев и пленочных покрытий.

об втсм явлении могут способствовать выяснению механизмов образования дефектов в объеме твердого тела при распаде электронных возбуждений и соответственно указать пути повышения радиационной стойкости материалов. Так как механизм ЭСД связан о электронными переходами на поверхности, его исследование необходимо для дальнейшего развития теории хемосорбции и гетерогенного катализа, в частности, процессов, обусловленных перераспределением электронной плотности мезду адсорбированными частицами и поверхностью адсорбента, взаимодействием молекул с поверхностью твердого тела [2].

Существующие представления о механизмах десорбции к настоящему времени не дают возможности для полного и непротиворечивого описания адсорбционно-десорбционных процессов, протекающих на поверхности твердых тел. В значительной мере вто связано с недостатком надежных экспериментальных данных. Лишь в последнее время, благодаря развитию вакуумной техники и электроники, разработаны и созданы экспериментальные установки, позволяющие проводить прямую регистрацию десорбирующихся частиц под действием бомбардирующих электронов. Однако, экспериментально изучают, в основном, десорбцию ионов, поскольку прямое детектирование нейтралей сталкивается со значительными трудностями [ 1-2 ].В тех случаях, когда нейтрали покидают поверхность в возбужденном состоянии, возникает привлекательная возможность их прямого детектирования и изучения оптическими методами электрон- и ион-фотонной спектроскопии (ЗФС, ИФС) [ 4,5 ], так как при последующем довозбукдении они испускают характеристическое излучение. Данная работа - одна из первых в этом направлении.

При анализе результатов большинства имеющихся экспериментальных работ по "десорбции, значительные трудности их интерпретации сопря-кены с неопределенностью первичного фактора.вызывающего десорбцию, в частности,характера первичного электронного возбуадения в системе адсорбент - адсорбат. В этом плане важную информацию дают значения порогов появления частиц в том или ином .возбужденном ( или зарядовом ) состоянии, влияние на эти величины энергетической электронной структуры изучаемой системы. Поэтому в настоящей работе было уделено большое внимание измерению зависимостей эффективности процессов десорбции возбужденных частиц от энергии бомбардирующих частиц, особенно в области припороговых энергий. с-

Б качестве объектов исследования были выбраны : адсорбентами -металлы К, и полупроводник обладающие различными свойст-

вами, в том числе адсорбционными; адсорбатами . - щелочные металлы

(Щ.М.)» как электроположительные, и активные газы остаточной атмосферы, в т.ч. электроотрицательные.

Цель работы;

1.Экспериментальное изучение ЭСД с поверхности ряда матерка-лов, обладающих различными адсорбционными свойствами, покрытых монослоем щелочных металлов в условиях исключающих термодесорбцка.

2.Исследование и сопоставление некоторых характеристик возбук-денных десорбируотихся частиц при воздействии па поверхность электронов и ионов в одинаковых условиях эксперимента.

3.Идентификация видов излучения и природы излучателей при бомбардировке электронами и ионами простых и сложных по элементному составу поверхностей.

4.Уточнение на основе анализа полученых результатов модельных представлений о десорбции возбужденных частиц.

Научная новизна. В работе получены следующие новые результаты:

1. Впервые прямым методом изучена десорбция возбужденных частиц из ряда простых и сложных адсорбционных систем при их облучении электронам и: исками малых и средних энергий.

2. Предложена методика нахождения поперечных сечений электрон-но-стимулироЕанной десорбции, основанная на измерении зависимости интенсивности испускаемого частицами излучения от времени электронной бомбардировки.

3. Оценены поперечные сечения ЭСД и скорости возбужденных атомов водорода и радикалов ОН и СЫ.

4. Показано различие механизмов образования возбужденных частиц при ионном и электронном облучении изученых систем. Уточнены детали моделей электронно-стимулированной десорбции возбужденных частиц, в частности показано, что :

- десорбционный поток возбужденных атомов водорода формируется посредством валентных возбуждений обеих электронов связывающей молекулярной орбитали радикала ОН, принадлежащего к химадсорбцисннсму комплексу подлокка-Щ.М!-С~Н;

- десорбционный поток радикалов ОН*(СМ*) формируется при диссоциативном возбуждении системы подложка-Щ.МТ-0~Н(С?Г) в чкт-.юг^-занное состояние системы подло:кка-Щ.М?-ОН(СТ). Это происходит как за счет передачи заряда, вызванной ионизацией электрона из "н-^-^зы-вакедей 2р-орбитали ОН(СМ), так и за счет механизма передач:! зарлд-1.

- б -

вызванного ионизацией электронов внутренней оболочки атома кислорода (азота) и атомов Щ.М..

5- Идентифицированы виды излучения и природа его излучателей, в частности, уточнена природа структуры полос в спектре электрон-фотонной эмиссии серебра, которая ранее ошибочно приписывалась радиационному распаду поверхностных и объемных плазмонов, а на самом деле обусловлена проявлением только поверхностных плазмонов на частично окисленной и чистой поверхности А§.

Практическая ценность результатов работы состоит в следующем:

1.Определены величины порогов процессов десорбции различных возбужденных частиц для разных систем адсорбент-адсорбат, выявлены характерные особенности на энергетических зависимостях сечений десорбции, позволившие уточнить детали моделей ЭСД.

2. Установлено влияние покрытий щелочного металла на эффективность десорбции возбуаденных частиц.

3- Оценены скорости десорбирующихся частиц и сечения десорбции • при электронном и ионном облучении поверхности.

4. Развита методика электрон-фотонной спектроскопии для изучения адеорбционно-десорбционных процессов на поверхности твердого тела.

На защиту выносятся следующие положения:

1.Впервые установленные виды излучения и природа излучателей при ЗСД и ИСД с поверхностей И, М£ и покрытых электроположительными и электроотрицательными адсорбатами.

2.Измеренные пороги ЭСД возбуаденных частиц и особенности на зависимостях их выхода от энергии бомбардирующих електроноз, связанные с ионизацией внутренних оболочек атомов адсорбционных систем.

3-Методика нахождения поперечных сечений электронно- стимулированной десорбции атомов и молекул, основанная на измерении зависимости интенсивности испускаемого этими частицами излучения от времени электронной бомбардировки.

4-- Оценки поперечных сечений ЭСД атомов водорода и радикалов ОН и СК, а также скоростей десорбирующихся возбужденных частиц при бомбардировке поверхности электронами и ионами.

5.Уточненные на основе полученных экспериментальных данных модельные представления о ЭСД возбуаденных частиц.

Личный вклад автора. Основная часть результатов рзботы получена лично автором, готовившим и выполнявшим экспериментальные исследования, участвовавшим в их обработке, анализе и обсуждении совместно <? научным руководителем работы и сотрудниками лаборатории. Эксперименты по ионно-стимулированной десорбции выполнены при активном участии автора в совместных исследованиях с учеными трех исследовательских групп лаборатории, с использованием разработанных в этих группах оригинальных методик и техники.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 3-х глав,заключения и списка литературы. Она содержит 124 страниц машинописного текста, включая 31 рисунков и список цитируемой литературы из 90 наименований на 10 страницах.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность работы, ставится цель работы, охарактеризовано научную и практическую ценность, излагаются защищаемые положения, указана структура диссертации.

Первая глава посвящена рассмотрению литературных данных о закономерностях электронно-стимулированной десорбции. Обсуждаются результаты, полученные о характеристиках десорбции ионов, нейтралей и возбужденных частиц. Отмечается ограниченность полученных знаний как по количеству изученных систем адсорбент-адсорбат, так и по глубине и точности исследований.

' Описаны предлагаемые в литературе модели ЭСД: модель валентны?, состояний; модель "кулоновского взрыза"; модели, учитывающие релаксацию поля поверхности. Кратко охарактеризовано состояние вопроса по исследованию ионно-стимулированной десорбции, которая целенаправленно пока не изучалась.

В конце главы'обосновывается постановка задачи настоящей работы, выбор объектов исследования.

Во второй главе описаны методики измерения характеристик ЗСД и ИСД,.а также экспериментальные установки, с помощью которых били выполнены исследования.

Исследования электронно- и ионно-стимулированной десорбции лз ряда простых и сложных систем выполнены на двух электрон-фотонных и двух ион-фотонных спектрометрах, созданных ранее в Проблемней ELT физической электроники Ужгородского госунивереитетэ для изучения закономерностей явлений эмиссии фотонов при бомбардировке электронами и ионами чистых поверхностей металлов и полупроводников <з тг.у-

менепием оригинальных методов исследований, е т.ч. разработанных св етой лаборатории и защищенных авторскими свидетельствами и патентами [6-8].

Основные исследования ЭСД выполнены на установке, предназначенной для изучения влектрон-фотонной эмиссии в спектральном диапазоне Х=200-700нм. Часть опытов выполнена в спектральном диапазоне Х=£0-150нм на установке, оснащенной вакуумным монохроматором. Описана конструкция и детали основных узлов использованных установок, которые включают сверхвысоковакуумную камеру о безмаслянной системой откачки, электронную пушку, гониометрическое устройство для крепления и перемещения исследуемых образцов,- оптическую систему сбора, анализа и детектирования фотонов и другие вспомогательные узлы.

Исследования по изучению характеристик возбужденных частиц при ионной бомбардировке выполнены на ионно-фотонных спектрометрах. Изучение свечения при ионной бомбардировке серебра ионами Н* выполнено на установке "Карпаты" [ 5 ]- Измерения скоростей десорбирую-щихея и распыленных частиц при бомбардировке ряда поверхностей ионами К* были выполнены на установке "Ореол",оснащенной техникой для реализации метода доплеровской томографии [9].

В третьей главе описаны результаты по исследованию характеристик ЭСД и ИСД с чистых и покрытых щелочными металлами и газовыми адсорбатами поверхностей И, А£, % и Б1.

Установлено, что в пределах чувствительности используемой техники детектирования оптического излучения не обнаруживаются десор- . бированные электронным ударом возбужденные частицы с очищенных поверхностей К, и Только после покрытия исследуемых по- ■ верхностей щелочными металлами помимо непрерывного излучения, 'характерного для материала подложки, обнаружено характеристическое излучение, испускаемое десорбированными возбужденными частицами (атомами водорода, натрия, радикалами ОН и СИ). Специальными опытами было установлено, что излучение испускается этими частицами при их отлете от поверхности, тогда как непрерывное излучение локализовано непосредственно на поверхности в месте ее облучения электронами. Для Мй-мишени наблюдались в ультрамягкой рентгеновской области Ъ-полосы атомов магния, которые испускались атомами_матрицы мишени, а не ■ отлетающими десорбированными частицами. Для овеженапыленной в вакууме пленки Щ; на ^-поверхность эмиссионные полосы регистрировались сразу же при включении электронного пучка, тогда как десорб—'

ция возбужденных атомов водорода или радикалов ОН* до'стигала максимальной эффективности при выдержке напыленной пленки в остаточной •■тмосфере (Р »10~7Торр) в течение часа. Многочисленными опытами с

ОСТ

различным сочетанием исследуемых систем адсорбент-адцзсрбат было установлено, что присутствие на поверхности мишеней атомов щелочных металлов или стимулирует эффективность процессов десорбции газовых частиц с образованием систем, для которых возможна последующая ЗСД возбужденных частиц. Оценена величина поперечного сечения десорбции таких частиц, которая оказалась близкой по величине для Н, ОН, СИ и равной 2-10~1асм3. Данные эксперимента по зависимости выхода десорбирующихся возбужденных частиц от плотности бомбардирующих электронов позволили исключить из рассмотрения такой возможный канал образования возбужденных частиц, как довозбуждение отлетающих десорбированных нейтралей вблизи поверхности потоком вторичных и первичных электронов.

Особое внимание в работе уделено измерению зависимости эффективности ЭСД возбужденных частиц от энергии бомбардирующих электронов Е. Эти зависимости имеют для ОН и СМ* подобный общий вид, четко выраженный порог,значения которого зависят от материала мипени и изменяется от ЮэВ для 1Я-Сз-А до 15эВ для А^-Ка-А, затем быстрый рост с одним или несколькими максимумами в области 17-ЗОэВ. Для десорбирующихся возбужденных атомов зависимости .7(Е) характеризуются более высокими значениями пороговой энергии (Е~20эВ) и плавным ростом с максимумом при Е>100вВ.

Измерениями зависимости интенсивности излучения де сорбирующихся частиц от времени бомбардировки и времени выдержки образцов .в вакууме без воздействия электронного пучка удалось установить, что наблюдаемая эмиссия не связана с тепловым воздействием бомбардирующего пучка. Эти же результаты были основой для оценки выиеуказанных сечений десорбции.

Скорость отлета возбужденных десорбированных частиц оценивалась по разработанному методическому приему на основании измерения спада интенсивности излучения вдоль нормали к поверхности, то есть

«Т(х) = <1(х0) ехр [-(х-х0)А-г ] , где <Цх0) - интенсивность излучения на расстоянии х0, т-радиацион-ное время жизни возбужденных атомов к молекул, а ¥ -среднее значение нормальной составляющей' скорости их отлета.

Используя известные значения г, таким способом были оценены скорости Н\ ОН* и СЫ* Для системы И-О-Ка-А, которые составили V «

«103м/с; Уон« Усн« 2■103м/с. Найденные значения V согласуются с литературными данными по изучению ЭСД ОК* о поверхности Т102.

Для уточнения деталей ЭСД возбужденных частиц был выполнен ряд целенаправленных экспериментов по зондированию поверхности Аз к электронами и ионами Н* в одних и тех же условиях. В обоих случаях в спектрах излучения была обнаружена полоса непрерывного излучения (X « 360 нм), локализованного на бомбардируемой поверх-

шах

нооти. Десорбция возбужденных частиц наблюдается только при цезиро-вашш поверхности Ag. При этом в .случае электронной й ионной бомбардировки десорбируются одинаковые частицы: ОН* и СЫ*. При бомбардировке ионами Н* как так и А^-Св в спектре излучения обнаруживаются интенсивные линии водорода. Их происхождение отличается. Это рассеянные возбужденные частицы бомбардирующего ионного пучка.

Важным результатом этих сравнительных экспериментов явилось установление природы структуры полос непрерывного излучения с . максимумами при Х4= 335 нм и Х3= 360 нм.

Методом доплеровской томографии при ионной бомбардировке поверхностей металлов ионами К+ были измерены скорости выбиваемых с поверхности частиц и их угловые распределения. Показано, что в отличие от тепловых скоростей, характерных для ЭСД, такие частицы достаточно быстрые и обладают скоростями ~ 10-Ю3 еВ ( ~ 105 см/с).

Полученные данные о характеристиках ЭСД и ИСД анализируются с целью идентификации видов излучения, природы излучателей, обсуждения механизмов образования возбужденных частиц при электронном и ионном облучении поверхности, уточнения некоторых , деталей моделей ЭСД возбужденных.частиц.

Для чистых и окисленных поверхностей И, М», при ЭСД характерно проявление трех видов излучения: линейчатого - в случае Щ, плазмонного - в случае и поверхностно-тормозного - для других мишеней. При ионной бомбардировке в спектре также обнаруживается яркий пик плазмонного излучения. В опытах с ионами удалось уточнить природу структуры этого пика, которая связана с наличием окислов на поверхности Ag. Ранее она ошибочно связывалась о распадом объемных и поверхностных плазмонов.

Для сложных систем №-Щ.М.-А, А^-Щ.М.-А, 31-Щ.М.-А, Мё-^-А при ЭСд идентифицировано,помимо вышеуказанных видов, и характеристическое излучение -десорбирующихся возбужденных частиц в виде линий атомов водорода, натрия и полос радикалов ОН и СЫ. Эти эмиссии и были оснозным объектом изучения в данной работе. В случае облучения ис-

следуемых систем ионами водородз также имело место проявление етих видов излучения, ко интенсивность линии атомов водорода определялась не только десорбированнши частицами, а главным образом рассеянными частицзми бомбардирущего пучка. Кроме того!" при етом появлялось характеристическое излучение распыленных частиц материала мишени (адсорбента).

Обсуждаются возможные каналы и механизмы образования возбужденных частиц при ЭСД на оснозании соответствия экспериментально полученных данных с предсказаниями различных- моделей. Обосновывается, что в формировании десорбционного потока ОН* и СМ* основной вклад дает механизм валентных возбуждений комплекса щелочной ме-талл-адмолекула (ОН или СМ, соответственно). На примере систем 'Л'-О-Ма-ОН и й'-О-На-СМ рассмотрен механизм разрыва связей с образованием ОН и СИ . При ионизации электронным ударом атома кислорода молекулы МаОН, а также при удалении несвязывающего 2р-електрона,' молекула переходит с терма основного состояния на терм связанного возбужденного состояния положительного молекулярного иона и затем, вследствие пересечения термов, на отталкивательный терм Ка+0Н*\ При етом связь иона Иа* с радикалом ОН ослабляется и ион сдвигается к отрицательно заряженному слою адатомов 0" окисленной поверхности И. .

щ

Последнее приводит к переходу радикала ОН на асимптотическую часть отталкивательного терма и, таким образом, способствует более быстрому удалению ОН* из зсны эффективного девозбувдения.

Такой процесс анализируется о точки зрения баланса энергий, в результате чего сделан вывод: энергии 2р-дырки атома кислорода достаточно для обеспечения процесса десорбции ОН* или СИ* от любой из изученных систем.

Структурные особенности на зависимости интенсивности ЭСД воз- . бужденных молекул, объясняются включением каналов ионизации 2в-оболочки кислорода. При етом вакансии заполняются за счет межатомного Оже-распада или путем тунелкровакия электронов из 0~Н в вакантные состояния атомов щелочного металла.

Десорбция возбужденного водорода по вышеописанному механизму невозможна из-за отрицательного баланса энергии процессов. Для образования Н* предлагается двухэлектрснный процесс, например, процесс ионизации о возбуждением молекулы НаОН. При етом, с одной стороны, прямо формируется конечное состояние Н . С другой стороны, при диссоциации типа е + ЫаОН —>• Иа*0 + Н* + е + е' также работает фактор сдвига иона Ыа+0 к поверхности Ч1-й~, который существенно

- 12 -тт*

увеличивает вероятность отлета Н .

Десорбция возбужденных частиц при ионной бомбардировке, как и распыление частиц.матрицы мишени в возбужденных состояниях, не может быть объяснена в рамках вышеупомянутых механизмов ЭСД хотя бы из-за значительно больших энергий, с которыми они отлетают от поверхности. В случае ЭСД частицы обладают энергиями ~0,2еВ, тогда как при ИСД характерные энергии отлета частиц составляют аЮеВ. Привлекаются ассоциативная и столкновительная модели образования ОН*, СМ*.

В заключении сформулированы основные результаты и выводы работы.

1. Впервые прямым методом выполнены систематические исследования десорбции возбузденных частиц при бомбардировке электронами и ионами простых и сложных адсорбционных систем.

2. Идентифицированы виды оптического излучения и его излучатели при ЭСД и ИСД с поверхности исследованных материалов, в частности,' уточнена природа полос в спектре электрон-фотонной эмиссии серебра, которые ранее ошибочно приписывались радиационному распаду поверхностных и объемных плазмонов, а на самом деле обусловлены проявлением только поверхностных плазмонов на частично окисленной поверхности

3. Установлено влияние покрытий щелочного металла на эффективность десорбции возбужденных частиц.

4. Предложена методика нахождения поперечных сечений электронно-стимулированной десорбции и определены сечения ЭСД атомов водорода, а такие молекул ОН и СЫ.

5. Получены данные' о скоростях десорбированных частиц при электронном и ионном облучении поверхности.

6. Определены энергетические пороги десорбции возбужденных частиц для разных систем адсорбент-адсорбат и выявлены, характерные особенности на онергетических зависимостях сечений десорбции.

7. На основании анализа полученных экспериментальных данных установлены различия механизмов образования возбужденных частиц при электронном и ионном облучении изученных систем. Уточнены детали механизма ЭСД, в частности показано, что :

- возбужденные атомы водорода десорбируются в результате деух-электрснного возбуждения связывающей 2р-орбитали адсорбированных молекул Щ.М.-ОН;

- дзсорбционный поток радикалов 0К*(СК*) формируется в резуль-

с

- 13 -

•г-ггя возбуждений адсорбированных молекул Щ.М.-ОН в антиевязанное состояние как за счет ионизации их несвязызающей 2р-орбитали, так и за счет включения дополнительных каналов - ионизации внутренних оболочек кислорода (азота) и атомов Щ.М.

Основные результаты настоящей диссертации докладывались на XXI Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике (Лешшград, 1990г.), 5 конференции молодых ученых физического факультета УжГУ • (Ужгород,1990г.), X Всесоюзной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" (Москва,1991г.), VI Всесоюзном семинаре "Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия" (Харьков,'1991г.), Международном семинаре-совещании "Диагностика поверхности ионными пучками" (Запорожье,1992г.) и опубликованы в следующих работах:

1Электрон-фотонная эмиссия пленки веБ на кремниевой подложке, кремния и нержавеющей стали, покрытых слоем Ыа /М.П.Кляп, В.П.Свитленец, И.И.Черленяк, Н.Альдургам, Б.А.Надь //Мат.'/. конф. молодых ученых физического факультета УжГУ. Ужгород.-1990.-с.54-56 рук.деп.в УкрНИИ НТИ И1744-Ук-90 от 23-10.1990г.

2. Электрон-фотонная емисскя пленки N3, напыленной на поверхность кремния /М.П.Кляп, И.И.Черленяк, Н.Альдургам, С.С.Поп // Тез. док. XXI Всесоюз. конф. по емиссионной электронике. Ленинград. -1990г..-С.76.

3. Дробнич В.Г..Маетвгин В.д., Альдургам Н. Распределения возбужденных распыленных частиц по кинетическим энергиям и углам вылета о поверхностей А1 и Са //Тез. док. VI Всесоюзного семинара "Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия".Харьков.-1991г.-0.21-23--23.

4. Мастюгин В.А., Альдургам Н., Белых Л.С. Исследование однократно рассеянных возбужденных ионов К* методом доплеровс-кой томографии //Мат. X Всесоюзной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" Москва.-1991.-С.108-110.

5. Электрон-фотонная эмиссия магния в ВУФ-сблзоти спектра/ М.П. Кляп, И.И.Гёрга, Н.Альдургам, С.С.Поп // Тем. сборник "Физико-химические, структурные и емиссионые свойства тонких пленок и поверхности твердого тела". Киев УМКВО.-1992г.-С.120-125-

6. Стимулированная десорбция возбужденных частиц при облучении поверхности серебра, покрытого цезием, ионами и электронами / Н. Альдургам, И.Е. Митропольокий, Ю.А. Бандурин, А.И. Дащенко, М.П.Кляп, С.С.Поп. //Тез.док.международного совещания "диагностика поверхности.ионными пучками". Запорожье.-1992.с.21-23.

]. Электронно-стимулированная десорбция возбужденных радикалов OK с поверхности W(100).покрытого слоями Na, К, Cs. /Н.Альдургам, М.П. Кляп, И.И. Черленяк, И.К. Гарга, С.С. Поп. // Тез.док.XI кокф."Взаимодействие ионов с поверхностью-19S3".Москва.-1993-

8. Досл1дження електронно-стшлульовано! десорбци методом елек-трон-фотонно! спектроскоп:I/ Н.Альдургам,М.П.Кляп, 1.1. Гарга, 1.1. Черленяк, С.С.Поп // Тез. доп. II Укр. шхоли-семтару "Спектроокопхя молекул та кристал1в", Ки1в. - 1993.

9. Електронно-стимульована десорбцгя збуджених радикал!в ОН is поверхн! багатошарозих систем. / Н.Альдургам, М.П.Кляп, I.I.Черленяк, 1.1.Гарга, С.С.Поп // Тез.доп.II ,Укр.школи-ееш-нару "Спектроскоптя молекул та кристал!в",Кк1в.-1993-

СПИСОК ОСНОВНОЙ ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. Avouris Ph., Bozso P., Walkup R.E. Desorption via eleotronic transitions: fundamental meohanisms and application //Kuol. Instr. and Meth.-1987.-B27.N1.-P.136-146.

2. Агеев B.H., Бурмистова О.П., Кузнецов Ю.А. Десорбция, стимулированная электронными возбуждениями //УФН.-1989.-Т.158, вып.3.-С.389-420.

3. Черепин В.Т.,Васильев М.А. Методы и приборы для анализа поверхности материалов.Справочник.-Киев:Наук.думка, 1982.-399 с.

4 - Электронно-стимулированная десорбция возбужденных частиц с окисленного вольфрама, покрытого натрием /М.П.Кляп, И.И.Гарга, В.Г.Дробнич С.С.Поп,И.И.Черленяк, В.А.Крицкий //Изв. АН СССР. Сер.физ.-1990.-Т.54,N7.-С.1369-1373.

5- Ионно-фотонная емиссия металлоз / С.С.Поп, С.Ф.Белых, В.Г.Дробнич, В.X.Ферлегер.-Ташкент:ФАН,1989.-197с.

6. A.c.1432812 (СССР) Эталонная спектральная лампа /Борзяк П.Г., Евдокимов С.А..Кулупик Ю.А., Пилипчак К.Н., Поп С.С.» Стеценко Б.В., Щуренко А.И.

7. Дробнич В.Г., Мастагин В.А., Поп С.С. Способ элементарного анализа твердых тел // Решение ВНИИПЭ (от 29.07.1991) о выдаче патента на изобретение по заявке N4808831/25.

8. A.C.1491(СССР). Способ определения времени жизни возбужденных ионе в / Дробкич В. Г. ,Мастюгин В.А.,Пецак М.Й., Поп С.С. 19?9.

9- Dfobnioh V.O., Mastyugin V.A., Pop S.S. ' Investigation of angular and energy distributions of excited sputtered and scattered particles by using a Doppler method //Nucl.Instr. and Meth. in Phys. Research.-1991.-V.B58.-P.443-447.