Гетерогенные самоорганизующиеся системы в интерференционных световых полях тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

•г: А п'аций

ЭСЗОСЯШЯ ШЧШЙ 1SHTP . " ГОСУДАРСТВЕННЫХ СРДШ ПИША т/ ОРдЗНА ОКШБРЬСКСЙ РШШКК ОПТИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ÏGKI-K С.К.ВАВИЛОВА"

Не пр?за;: рукописи

-."«¡ряеБ Вледа«р Аяэисйкдрозлч

ГЕТЕРОГЕШШ САМООРГАЯИЗУШ'.ЕСЯ CKCTEÎ&

в ттрфшкзшж свисая пош

01,04,21 - лазерная физика

Автореферат

диссертации ка соискание ученой степени кандидата физико-математических неук

Сенкт-Патзрбург 1992

ßtU^PMi

Работе выполнена .ее Всесоюзном научном' центре "Государственный оптический институт йм.С.К,Вавилова"

НаучняЕ руководитель: доктор физяко-математгческих наук,

профессор М.й.Лйбенсон

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук

Б.С.Лукьякчук

Зедущая организация: Институт точной мехзяяки и опгикк,

г.Санкт-Петербург

Защита диссертации состоится "27" ^CtdS. 1992 г. 5 40 -часов на заседания специализированного совета К 105.01.01 ло присуждению ученой степени кандидата наук во Всесоюзном научном центре "ГОК им.С.К.Вавилова" (193034, Санкт-Петербург, ВНЦ ГОИ)

С диссертацией мохно ознакомиться в библиотеке института Азтореферат разослан " £> " Ш _ 1992 р.

доктор физико-математических наук, профессор Н.Н.Розанов

Ученый секретарь спешализярованного совета кандидат физико-математически" наук

ф Всесоюэннй научный центр "ГОИ ям.СХЗавыова'.', 1992

0Б2АЗ ХА?АКГ2Р"СТИКА ДИССЕРТАЦИИ

Актуальность гзаботы. Язучсниэ ззаамодеЯстзия когоронтного электромагнитного иэл'-чевЕЯ с земством, сбнарузсигая мкогочис-ленниэ примеры явлений перехода от хаоса к порядку, интересных с общетеоретической и кряхаадкой стэронк (для хямячзсхой технологии, какро5л8х?ро:«а: и т.д.), для объяснения экспериментальных результатов «эабуе? яризлзченгя кснц«пиип скнзргзтикк; При этом лаг ер -язлязтся удобных ннстру'лонток для иг-згзрозанйя са-мооргевага^я Ейнзике, ху.уж б;, о л зги и , поскольку, изменяя параметры излучения, мозко качественно изменять как дккамику', так и характер ксследузксго процесса.

В задачах фямг,-.: вз£йййдзйо?2ия слота с seaeo?soK долкик, как празпло, разематрнЕатьоя распределенные оастада, ъ которых интенсивность узлучзкия к« ае сгокства среды загасят от координат. Немалая часть подобного рода-задач связана с пространст-вокно~периодкческ:-;мя несдкороднсстямя интерференционного происхождения.

Во-пергых, чаете само исследуемое явление обязано езоим существованием ззаимодекстзнк дьух или более электромагнитных волн (например, образование поверхностных периодических структур ¡Iffi), Bc-STopHx, интерференционная изтодяка обладает богатыми. возможностями экспериментального моделирований различных термохимических процессов (реакции о использозанизм-катализатора, имеющего зоны различной активности к т.п.), что особенно денно при изучении структур з.гетера гениях системах, более слон-кых длй исследования/ чем -гомогенные, 'З-трегьа'х, возможна пря-1-ща технологические применения дространстЕзнно-пер^одических световых полей а поверхностной обработке, материалов.

При наличии походной неоднородности в распределенной системе формирование структур мокет носить вынужденный характер, представлять собой-самоорганизации или же некий cmsебнной' вариант эволюции, хотя, жесткий критерий разграничения установить довольно трудно.

Воздействие интерференционных сбзтовух' полой на вещество относится Босбйб говоря к смешанному оценаркй, поскольку период структур задается обычно длиной .волны падавшего излучения, а сам процесс по ряду существенных'признаков подобен самоорганизации. Такии образом, изучение повидан;;« гетерогенных ccinoopra-кизу»«чхся енотам в интерференцвонних сготовз'х полях является

- ..

актуальным как с теоретической, гак я с практической точки зрения. При выполнения данной диссертационной работы диапазон исследований бцл ограничен гюздх направление!:, сзязашши с -образованием структур к& поверхности кэталлов.

Поль работы. Аналитически списать формирование структур в интерференционных световых полях на поверхности металле = при участии диффузионных, фото- и термохимических, а таккэ электродинамических процессов. Определить область значения параметров исследуемых систем, соотзетстзуисуа образования стационарных и нестационарных структур.

Структура'и объем работа, диссертация состоят из введения, четырех глаз, захлючекяя,- призогйниз.» списка литературы из 92 наименований» списка авторских публикаций (б статей и тезисв Всесоюзной конференции). Работа изложена на 54 страницах машинописного текста и содержат 4 рисунка.

В диссертации зазадаигся: . 1а. Аналитические вкракання для пространственно-перяодмче-ских, неоднородных по наличка реакций стационарных распределе-кий температуры; инициированных интерференционным световым полем на.'поверхности металла з одномерном к двумерном Сс подложкой) случаях при разрывной температурной функции химического источника тепла.

16. Условия экспериментальной реализации таких распределений, выделяющие'соответствующие области' значений параметров системы.

2а. Полное аналитическое описание динамики лаэерно-индуци-рованкого рельефа в режиме, - предшествующем плавлению, при термоупругом механизме формирования ППС.

26. Полное аналитическое решение задачи, образования ПГЮ в . движущемся интерференционном световом поле при термоупругом механизме формирования лазерно-икдуцировакного рельефа в ревдке, предшествующем плавлении.

2в. Условия, связывавнкб параметры система, при которых начальная шероховатость'икспонэкциадьно возрастает, и образуется периодический рельеф, для. неподвижного и движущегося источников,-излучения.

3. Утверадение,.что при конкуренции термоупругих и термохимических механизмов формирования ППС возможно изменение пространственной, фазы лазерао-индуцированных структур на. 7Г в не-

который поу.бк? эрекваи, опрохолкекий скоростьэ окисления. .Одновременно а.-'лли'^ула гоостзеясткгвдо-периодяческого тзмясратурно-го про.р-,;лл ят»адаает ггкхлгльзое значение.

4а. Лэлнсе ак&зяккчоскоз описание огозпции ППС при лазерном осаягекзй мг?£?за газогзг: фагы.

'»б.-'/сиер^кз?, якезт кзстэ нгбэльют лужъсадаа высоты ППС, с2Я2акн1:е с зуаионн-м:: процесса»; з газозой фазе.

Научная не низ;; а.

I. Дано швов, Сслоз точной ак&лктяческоа опкса:-:::з процэс-сов фор структур з кз^рфербйиясянах свотогых полях на

позерхкос?:; кетаглоз с учетом ».гстгцно.чаряаз теплопроводности.

Ваяглэпи ран-эо ззкЗвзсткго допслнательвие условия, огра-иячивгаадз зн&ченкч г.роетуалс'гво-'.ког: $азв «»тврфврешшнной картина при 5сркоуяруго!{ кохакхьмэ офазозсания повзрхксстного рзль-ефа, и сооткозваяв, сгйзываяадв граяячнуэ' простралствэннуа частоту начальной герохохатости, разделяэцу» родаш обр&эозаакя и сглаживаям структур, с параметрам;! излучения и свойствам) взце-ства.

3. Зроводен анздяз хэахурояцхи двух одно временя о действ,уо-кях 89хек«змоа (тораоупругзго г термохимического) формирования повврхкоствь'х гг&риодичесхах 'структур.

4. -Лако аналитическое бз»сецяв' эволкгдо ППС при осаакений металла из газовой' ¿азы .о учете;; нестационарной -диффузии.'

5. При' разрывной тежюр&турной -^ункцвк Хпмкчсолого источника Т9йг.& получено ан&япт.чческое описание пространотзенло-лерио-дичвсхих, однородных и кэидаородьых по наличия реакции < стационарных 'распределений те^авратурк а пер о ходах рвмшаз, ответственных-за бкоТабкяьность й' щссеразиснво явления.

Научна", и. практичэскзя ценность- работы'.- Установлен 'ряд качественная и хояичеста&кшх заяо'нонзрностоя-^ормированик структур в иа'?ер$врв!ЗДонннх световых полях'на поверхности кеталлов. Такие результаты расвирякт теоретические представления о поведении "самоорганкзувдихея систем ,под воздействием когерентного электромагнитного излучения, к'кеэаие пока во .многом качественный/характер, и позеолкрт определить экспериментальные условия, для исследования данного'круга проблем. Полученные закономерности могут бить копользовйны при выборе эффективных ревдаов работа в химической технологии и лазерной обработке материалов для микроэлектроники, ПроЕедзнныэ тооретачоскиэ исследования пред-

- б -

сгавляв? также существенный интерес для дгагноегиха лоьерхносги.

Апробация -работы. Результата докладывались на Международной сколе "Лаззркая :икрообр&богя& яогсрхносгл" (Тавкант, 1989 г.), на Воосоазкой кокфар^лкя по вс-акмодейстзию оптического излучения о вецество» (Ленинград,- 1590 г.) и на семинаре отдела ботоф>шки головного института Всесоюзного научного'центра ТОК им.С.Я.Зазклоза". '

Публикации. Матер халы диссертации опубликованы в б статьях (в том числа одна за рубожо>0 я тезисах Всесоюзной конференции.

Личный вклад автора. При наличии соавторов автор принимал участие в первоначальной постановке задачи, формулировал модельные ситуации, выполнял теоретические расчеты и давал в основном объяснение их результатам, участвовал в обсуждении и изложений окончательных формулировок.

С появлением лазеров изучение взаимодействия света с веществом превратилось в одно из, за:кнейиих направлений современной физики, тэснс связанное с химией, биологией л обработкой материалов. Характерными особенностями процессов, протекающих в поле мощного когерентного излучения, ямяится нелинейность и неравновесном? ь, 3 этих условиях, как показывают многочисленные эксперименты, возможно формирование пространственно-временных структур в результате или с участием процессов самоорганизации. Теоретической основой, обеспечившей более глубокое понимание сущности процессов понижения симметрии в сложных неизолированных системах, стали концепции синергетики. Основные этапы возникновения и развития этого весьма общего междисциплинарного подхода прослеживаются в приложении.'

Первая глава представляет собой обзор литературы по конк-. ретному предмету диссертации. За последнее десятилетие в процессе исследований взаимодействия лазерного излучения с веществом резко возрос интерес- к термохимическим процессам и формировании поверхностных периодических структур.

Термохимические процессы отличаются большим разнообразием конкретных условий протекания, перспективны для создания новых технологий и связаны с явлениями самоорганизации. Своеобразие лазерного нагрева вещества заключается в быстром, нейзотермичес-ком вводе энергии £ систему и существовании связи меткду тепло-

КРАТКОЕ С0ЕР2ШЕ-ДИССЕРТАЦИИ

ï?o7. л зстмгчоскок с?зпоач:-:и свободы. г'.он-лелиня обчатаах сгязел в лазерной термотод позволила о*эяса»» хксгкэ экслвоякзнта. Сузгюсгь обратлоп css32 50с?эис э сильно г: заз;:сзкосга кскссан? схороогаи ргакциг: от тежературы и з измене:-:;,« поглос&тедлннх характеристик сйстс:щ з ходе адякчзсках роахцзГ:. Важкуэ роль с пакета:« çam яэлензл яграог зыдзлаае ил» nowseosîm "/.н'П'чз-скоя" экергяя. При яелозягеезьней обратной с?язк создается условия- для развитая терксхикпчэскях неусг-зйчивзс?ва и образования упорядочен них с труктур.

Б § 1,1 сяишйруэтез работы, з которых изучалось формирование структур пой воздействием когерентного излучения б газах, Жидкостях и при гетерогенных процессах ка поверхности тмрдых тел (прежде всего металлов). Отмечается, что реальные системы яэляятся, как пра:мл.о, простракственнз-нсодисродкыга. Тан, например, йспэльзуекие в окислительных реакциях жтлиг&сори могут иметь зоны различной активности. Учитывая то обстоятельство, что интерференционная методика располагает большими возможностями экспериментального моделирования неоднородных источников энергии, имеет смысл исследовать термохимические процессы в ге-. терэгешшх самоорганизующихся каталитических системах, инициируемые интерференционными световыни полями, rie обходимо, конечно, указать на то, что формирование структур в подобных случаях нельзя свести исключительно к процессам самоорганизации, забывая о внешнем воздействии.

В § 1.2 анализируотся работ, посвяцеккыз изучения оптически наведенных решеток на поверхности конденсированных сред. Приблизительно с 1980 года начались интенсивные теоретические и экспериментальные исследования формирования ППС, что объясняется существенным влиянием лазерно-индуцированкого- рельефа на динамику взаимодействия света с веществом. Причиной образования ППС является развитие различных неустойчйвостой при лазерном облучении конденсированных сред.

' Диффузионно-деформационные неустойчивости имезт лесто в системах, где диффузионная переменная типа концентрации вакансий или дислокаций сшзана'с деформациями среды. При развитии подобной неустойчивости образуются структуры, геометрия которых не зависит от поляризации лазерного излучения и длины волн падавшего света. Таким образом; здесь мы имеем в чистои виде самоорганизация на поверхности конденсированной среды.

ЙМ'Зресуацие автора дкосзртах/к процессы сзязани с генерацией пззэрхнэстных алоктрзк&гнпсглх зол-- (П25), 3 отсь: случае кеус^ойчггосгг развившего« 56 счз? яглячйя резэаааензх обраты;х сЕязеп .висотос рельефа к' вкгвасилнсс«» лкторрерзьцкониой карягьи, ссздаккой ¡115 к падаог.йч лглучепкем. Тй:-:оГ; окок&ряй включает кап черти, харгктзркыа дхя самоорганизации, сак к'до-донкрозание »од, арострвнсс&е«:кай зогзрих'спрбдеяяется

длиной волаз падаяцего'йззучев:*.*, Здесь зрдосакиг? зегерев ' уточнение дилаздки '$э?жровакия ЙПС.

Вторая глаза посгядбка ссгцаозарпь'м заикам гэсерогойккх зкззт.ерм:;чэсж рвазщйЕ- на прггрхиссса ¡«галлов. Рассматривается случал про обладания', теплового кгодгазха распространения реакции здохь границы раздала раз прк. разрыгкой температурное фунх-цш:. химического ас«?оч:«ка тепла. В такод сагуецкк икгерфаренод-онгос езатогсе поле на зсзерхкосга: г'италла дает возмз'йзовть ъ прхвдавв получить крос?8&вс?аекйс-пэ?аок:чес5сое стационарное 'распределеаяе.тзкпергяури, локалхзр^ее реакции в.схресткос'та ' максимума? образовавшегося теплогого источника.- 3 процоосе :ре-сеная .дайзэйч-егазезвой задач1,; был:: пайдаии ак&аатхчзсггае вара-гения, осксвь8»5ке распределения-те^ергтурк б од-пэродкых и неоднородная (по каличиэ роазеук») стэдкокар&гх состояниях для одномерного я дау.черного-случаев. Показано, что ъ такой системе-ккевт неотО. бнстай;;лы-;остъ и гистерезис. НаЛдгны услозия, опре-кехяоавз значзкдя' параметроз задачи, соотзетстгувзне различным ст&цкокарнык рзгемаа.' Ддя реахикк" .скксданкя амикака ка плармно приведены <гпслез::го примеры, педгэгряаеаеае гозЫонйссгь."осуве-стзления з эк сп ер и кант а стационарного рзэдма' с 'периодически« • чередогакием ка позерхн'оети «зталла зон наличия и отсутствия,-реакции. -

Б третьей глазе расскатриеается ряд вопросов диааники ГОО в рагаме, лредиествувдеу. плазлен'кю., в уелмшх шзбукдений ГШ. Сначала (§ 3..1). роааетоя.' задача 'аналитического описания эволюции лаз ерно-индуцмрованного рельефа .при «гермоупругом.кехени.зкв формирования ПШ.:Копольд'уется кв&эистгйнческое.-лрябликвние, поскольку характерные скорости азплогых.дефоркациойвых процессов меньае скорости авука.' Обычно в'таких случаях идут'предельное, экспоненциально растущее со врекенек рек'екио связанных уравнений тецлопроводности и.термоупругооти. Часто, однако,, требуется знать дингаедку' ППС-.более'.'точно. В работе найдено аналмти-

■геслоз резенге дико" задача без gnpxoDH!:* поедлолокони?. о »го карьере. Полученное реибяге позволяло пягегь ебеслечагатзкэ экспоненциал :>:•»;£ рост рельефа узловая, которым дод-кэн удовлетворять газовый' сдз;:г яягерфсрезцяокнего -галлового йзсоч:ша относит ельпо зеаэтка, а так::.-; определить, как заахоит с? параметров сиетегс гракэтнгя пространственная частота при ярвзкггш:я которой яроксходгг оглакэзанкс просграйс?г«янс-перкодачоекото гемператууного гро^клп, создаваемого за счет взаимосвязанных гермоде^орнацисЕных (линейных по температуре) и оптических процессов. ПодЕЛекпо посогодзГ: прозтракственкоя частоты з данной задаче сб/слзздено ллкейшк росток с температурой и гксотк ггль-зЗа, ;; потер! е-нерта: на теплопроводность.

При поотроеки:: теоретических моделей дазврно-якдуш'розач-н.ьгх НПЗ обычно считается, что на"всех этапах их одолении депст-зуот один.и тот ■гв механизм образозглкя рельефа. Однако зс многих случаях, по коре лазерного разогрева поверхности, различные механизма сменяет друг друга• ялй'конгуркруа? кощу codon. Наиболее интересной здесь представляется елтуавия, когда последуящия (по ъреыени вступления з действие).сглакигае? результаты дряст- • вия предыдущего. Физически такая возможность возникает, если для этих механизмов .максимум эйергазыдеденкк переходит прл смене механизма с выпуклых участков рельефа на вогнутее или наоборот.

•3 § 3.2 рассматривается, случай, когда'на термаупругип механизм образования ЛЯС накладывается териэхихичееккй.. Подобная ситуация имеет место, в частности;• при лазерном нагрева металла на воздухе,-когда по достакоияя некоторой температурь; 8кг:ш;-руется процесс лазерного окисления поверхности, и она пехрывает-ся окисяой пленкой. При- кусочно-линейной аппроксимации аррениу-сова закона окисления'з диссертации проанализирована конкуренция одновременно дегсгауаках термоупругого я термохимического механизмов формирования ШС, Выявленочто-при большой'скорости охисления возможно изменение з некоторой момент времени прост-ранственной.'фаза лазерко-индуцировамнпх структур на 7Г относительно "начальной. .Одновременно амплитуда пространственно-периодического .температурного" профиля' приникает минимальное значение

Завершает дайНуа главу рассмотрение задачи о росте дазерно-яиду дарованного. ролье-ia з/условиях суиествов&иг: на лаверхиоств металла дв»^шйся,:ц:терб<?ринц;:еикоп картины, ооэдаяной как дзу-

мя асгочкгкаьэ! падавшего кзаучзккя, та:-: и взаимодействием сззта с ПЗБ, генерируемом:; за сче-т сзрксупругсго механизма v§ 3,3). Получено полисе аналитическо: селение з квазиетатичесхом приближен ни, допустимом, когда скорость источников излучения меньье скорости звука, что соответствует реальным ситуациям, Л о казан с, что усжозая роста рельефа аналогичны зьедвкикм з § 3 .1 для не-кодвиккого и57счни»г излучения. Рассмотрев частике случаи яре-обладакдзго влнян:::: потерь он«?гаи за- счет теплопроводности или кз двлкеник интерференционно;! кастпни.

Четвертая глаза поозядена эьсдецьй ЛЕС при лагерном осажена к кгтадлоз кз таге го:: iz.?.n в режиме, далеком от soosuom;*. Такой процесс отличается от рассмотренных в третьей тлаьз, прежде-всего, наличием фотохимических охеяоз. Кроме того, исследуемые явления имей? место э газовой. фгзб и на мек;азной границе, в то врем--, как терм супруги;": и термохимический механизмы роста структур во многом определяются тепловыми процессами г металле. И, наконец, математически-: медаль лазерного оса>:дош:я металла из газовой фазы тр-збуот специального анализа, ибо уравнение диффузия зклкчаот в, себя граничное значение" неизвестной величины.

Автором предложен, зледугкиП способ нахождения высоты рельефа как функции зрэмени. Если применить двойное преобразование Халдаса, то граничное условие на бесконечности не используется. Поэтому при обратном преобразовании по .пространственной переменной моткно получить выражение для-изображения оксростп осакдения, которое допускает обращение. Полученное таким способом рес-екиа позволяет, в частности, сделать зквед, что;имеют место небольшие пульсации висом рельефа,' связанные с диффузионными процессами в газовой фазе.

ОСКШНЫЕ результаты шетчтт

I, При разравкой температурной-функции химического источника тепла пелучова' аналитические- -варахания, для пространственно- • периодических," однородных и неоднородных .по наличие-реакции'ста--цнонарных распределений температуры, инициированных интерференционным свемшн полем на поверхности металла в одномерном' и двумерном Со подложкой) случаях. Определен -условия реализации стационарных структур «.переходная реки ков, ответственных за -¿¡'стабильность и гистбрезксныэ явления, Проведен анализ экспериментальных возможностей интерференционной методики. '

?-. Найдено лелное аналитическое реаочие задпч;; они cm:я ди-ваники лазерно-яйдукзрогакного рельефа г зелт-ме, яредЕвстзуэвзм пльзяени»:, а ?ак«е учтены особенности влияния дгахеу.»я гнтевйе-ренцгоякого оэетогого поля ка тзрадг» IT33 и зэолзгиэ опичес-хи наведенных резиток вря теркоупругон механизме формирования ППС. Зк.чэлзнк ранеэ неизвестные дополнительные'условия, евлэч-эаяеде параметры скстехи з случае экспоненциального роста динамического рельефа. Анализ конкуренция термохимических и термо-дефоршияоннах кзханг.эиов образования оптически наззденнцх рехо-ток показал, что зволзэдя рельефа большой скорости охмеления описывается немонотонной'пункцией времени.

3. Найдено полное аналитическое решение нестар:онарног: задачи о влиянии усиления электрического полл световой зелкк вблизи поверхности металла за счет зэзбукдения ПЭЗ на процесс лазерного оса-докия из газовая фазы и режима, далеком от яасаяо.чия. Показано, что эволюция рельефа определяется значениями корней некоторого уравнения четвертой степени с коэффициентами, составленными из параметров системы*. Заявлено наличие небольших пульсация ППС, связанных с диффузионными процессами в'газовой базе,

СПИСОК РАБОТ. ШОРА ПО ТЕМЕ .ЩССЕРТАЦИИ

1. Йи.ас Я.А., Лкбенсон М.Н., Ширяев В.А. Экзотермическая реакция в интерференционном световом поле на поверхности металла // Писька в ZT-5. - 1990, т .16, в.2, с.70-74.

2. ймас A.A., Лябенсон ii.fi., Миряез В. а.'Стационарные ре ¡каш гетерогенных экзотермических реакция, протекавших на поверхности металла в интерференционной световом поле // 11$. - 1990, т.60, в.10, с.13-18.

3. Тлаa Ya. A., l.ibe.iscn J.I.N., Shiryaev v.A. Stcady-sta:е modps of f.-eteropeneous exothermic reactions cn metal aurtece in inter!'егеясе il£nt field / Proceeds ¡.¿rs ?irst Internatiorml schoo] on laser aurfoce microprocessing // üpie. - 1 '-'90, v. 135?, p- 169-173.

Ширяев В.А. Исследование динамики периодических структур, образующихся под действием лазерного излучения, в условиях конкуренции двух различных механизмов формирования рельефа поверхности ¡1 Тезисы докладов УИ Всесоюзной конференции по взаимодействия оптического излучения с веееством (Ленинград,

12.05.90 - I6.C9.3C). - Л.: Дзд-во ГОИ, 199С, часть 2, с .141.

5. .Ъ: бок сок У.,Н., !&?яоп В .А. Дкн=.жк£. лгзернс-квдуцкрованнвх лорирдкчсскйх структур з условиях конкуренции двух механизмов их форхзрэзсккк /7 Хзьзствя АН СССР, еорпя физическая. -1991, т.55, к 7, с. 1^19 - 1424.

6. И'иряавЗ.А. ^нйкйкь лазериз-пндуцированкого рельефа ь дви^/-зсрся интерференционно;-: сэетозом поле // Письма в 1ТФ. - 1991, 1.17,. в,10*. 0,29

7. Либзксок 1ч.Н., Ширяев 3.А. Зволюиая поверхностного рельефа при лазерном осаждении металла из газовой фазы // Письма ХТ$. - 1591, т.17, в.23, с.1ч - 17.

Подписано к печати ЯЯ.ОЯ.ЗЦ^ % ~ формат 60x84/16. Печать офсетная, Усл.печ.л.0,7, Уч.-изд.л.0,55 . Тирак 100 .акз. Заказ 24 Тип .ГОИ. Бесплатно. -