Исследование характеристик импульсно-периодического электроразрядного СО2-лазера с квазистабильной газовой средой тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

РОССИЙСКАЯ АКАДШШ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ СИПЪНОТОЧНСЙ ЭЛЕКТРОШ1КИ

На правах рукописи

БЕЛЯКОВ ИГОРЬ ИВАНОВИЧ

УДК 533.9.543.42

ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК П'.ШУЛЪСНО-ГШРНОДИЧЕСКОГО ЭЛЕКГРОРАЗРЯЛНОГО СО?- .ЛАЗЕРА С КВАЗ'СТАЕШЬНОЛ ГАЗОВОЙ СРдЯОЛ

(01.04.04 - физическая электроника)

■Автореферат диссергацтх на соискание ученой степ&нл кавдгдата фкзшсочлатеыатпческпх наук

Томск - 1992

/

Работа выполнена в Институте электрофизики УрО РАН

Научный руководитель - доктор физико-математических наук,

профессор Осипов В.В.

Официальные оппоненты - доктор физико-математических наук, .

профессор Бычков Ю.И.

кандидат физико-математических наук Евтушенко Г.С.

Ведущая организация '- Институт общей физики РАН

Защита состоится "_" _ 1992 г. в _ часов

:ч ас?.-ании специализированного совета Л.003.41.01 при Институте с .ь.-эпчной электроники СО РАН по адресу: 634055 г.Томск—55, пр.Академический, 4

....'. Д'сс^гациэй можно ознакомиться в библиотеке ИЭЗ 7р0 РАН

Автореферат разослан " 1992 г.

Ученый секретарь специализированного совета доктор физико-математических

наук , /7 ' Д.И.Проскуровскпй

Общая.хрпахгеристика работы

Актуальность. Импульсно-периодические газовые лазеры с накачкой объемным самостоятельным разрядом, к в частности, малогабаритные импульсно-териодические электрораэрядные СС^-лаэзры атмосферного давления, в настоящее время широко используются в различных областях "науки и техники ввиду их высоких энергетических характеристик, компактности, просты и удобства в эксплуатации.

Такие лазеры могут работать в рекима с квазистабильной газовой . средой, то есть без принудительной замены газовой среды в лазерной кювете или газодинамическом тракте (в зарубежной литературе исполь-■ эуется тернии "герметезированные, "), что значительно расши-

ряет область их применения и повьпаег эффективность использования в дальноиетрии, локации, дистанционном анализе газа ."скрытой" связи, для целенаведения, нелинейной оптике, зондировании атмосферы, технологии и т д. . .

'Основные трудности при создании С02_лазеРов с квазистабильной газовой средой связаны с ограничением энергетических характеристик и ресурса работы таких лазеров вследствие деградации рабочей смеси газов в процессе эксплуатации. В плазме разряда, осуществляющего накачку 'активной среды, происходит множество различных плазмохимических реакций. Продукты реакций, накапливаясь в лазерной кювете, существенно ухудшают устойчивость и, при определенных концентрациях, являются причиной контрагирования объемного разряда. Скорость реакций увеличи-•вается при возрастании удельной мощности накачки, поэтому повышение выходной энергии лазеров с квазистабильной газовой средой, .необходимое для ряда технологических применений, сопровождается уменьшением / ■ . ресурса работы. -

Изменение химического состава газовой среды СО^-лазера, состоящей из смеси газов СХ)^— И^-Не, происходит, в основном, вследствие

диссоциации ыоленул COg, поэтому увеличение ресурса работы ^-лазера с хвазистабильной газовой средой возможно за счет уменьшения или предотвращения разложения COg. Для этого используются различные метода: применение газообразных и твердотельных катализаторов восстановления молекул С0£ из СО и С^, сочетание катализаторов с циклическим режимом работы. При этом механизм диссоциации молекул С0£ в С02~лазерах атмосферного давления, ;сак правило, не исследуется и считается аналогичны! механизму диссоциации в тастон GOg в разрадах низкого давления. Однако, проблему повшения ресурсных характеристик и обеспечения долговременной работы СС^-лазеров нельзя считать решеннойс так как применение известных методов на дозволяет полностью предотвратить изменение химического состава газовой среды или обеспечить условия, необходимые для формирования объешо-го разряда при ее изменении. Максимально достигнутый срок службы импульсно-лериодических СС^-лазеров с квазистабильной газовой составляет несколько миллионов включений, при этой удельная энергия, рассеиваемая в газе, как правило, не превышает 100 Дн/л. Исключение представляют режимы работы с использованием перерывов для восстановления молекул С02. В -стом случае удельная энергия моает составлять 180 Дж/л.

Таким образом, для создания СС^-лазерсв с квазистабильной газовой средой, имеющих большой срок слуабы и высокие энергетические характеристики актуальным является решение следующих задач: поиск и исследование методов повшения ресурса работы (Х^-лазера с квазистабильной газовой средой при повышенной уровне удельной энергии, рассеиваемой в газе (»100*200 Дж/л); определение роли различных стадий возбувдения газовой среды (предаонизация, основной разряд, контракция), которую они играют в изменении химического

4

состава газовой смеси СС^-ла^ра; уточнение основного механизма 'диссоциации молекул СО2 в СХ^-лазерах атмосферного давления.

Целью настоящей диссертационной работы являзтся: исследование изменения химического состава газовой среды СО^-лазерсв атмосферного давления, возбуждаемых объемным самостоятельным разрядом с высоким удельным энерговкладом (>200 Дд/л) и разработка на их основе ишульсно-периодического электроразрядного СС^-лазера с квазистабильной газовой средой атмосферного давления с ресурсом работы >10 включений при повышенном удельном энерговкладэ.

Научная новизна и практическая ценность диссертационной работы заключается в том, что в най:

- исследовано изменение химического состава газовой смеси электроразрядного СС^-лазера с квазистабильной газовой средой при высоком уровне удельных энерговкладов (>200 ¿д/л) '». экспериментально обнаружена возможность перехода от контрагированного разряда к объемному;

- экспериментально показаны возможность формирования объемного самостоятельного разряда в газовой среде, химический состав которой соответствует максимальному разложению молекул С0£ и. возможность получения генерации молекулами (Ю-р при использовании начальной газовой смеси, состоящей нз СО- ДО^-Не, в результате восстановления объемного разряда и молекул СО^ в процессе' работы лазера:

- установлена роль различных стадий возбуждения газовой среды э кзЕЗнении химического состава рабочей смзси гадов;

- определен основной механизм' диссоциации мочекул СО^ в объемном самостоятельном разрзде в газовах средах СО^-лазероз;

- создан импульсно-перяодичгский элэктроразрядный СО^тзар с ггаазистабильной газовой средой атмосфзрного давления с удельным

п

экарговкладом до 400 и ресурсом работы более 10 включений.

Аггробация работа. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на семинарах кафедры обшей и молекулярной физики УрГК, лаборатории лазерной физики Института электрофизики УрО РАН, на конкурсах и школах молодых ученых Института электрофизики УрО РАН;

- на УШ Всесоюзном симпозиуме по сильноточной электронике; Свердловск, 1990 г.;

- на У Всесоюзной конференции по физике газового разряда, г.Смок, 1990 г.;

- на Международной конференции по явлениям в ионизованных газах "1С Р1 в" , Италия, Шза, 1991 г.;

- на Международной конференции по лазерам и электро-оптике, США, Анахема, Калифорния, 1990 г.;

Публикации. Результаты работы опубликованы в статьях, сборниках докладов и их тезисов. Имеется авторское свидетельство на изобретение. Общее количество работ, опубликованных по теш диссертации, составляет 8 наименований.

На заттиту выносятся:

1. Создание пмгтульсио-пврп одического элэктроразрядного С02~лазера с квазистабильной газовой средой и ресурсом непрерыв-

г>

ной работы более 10 импульсов при энерговкладах более 400

2. Методика определения оптимальной квазистабильной газовой сроды для импульсно-периодических электроразрядных С02~ла-

7

зеров с ресурсом более 10 импульсов.

3. Результаты экспериментального определения преобладашего

б

механизма диссоциации моле г-л С02 в объемнеп самостоятельном, разряде в газовцх смесях СС^-лазеров атмосферного давления. Показано, что основным механизмом является диссоциация СС^, стимулируемая колебательным возбуждением молзкул.

Стг?кт?га и объем работа. Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения. Полный объем составляет 151 стра -ниц, включая ВТ рисунков, и список литературы, насчитывавшей 170 наименований.

Содержание работы

Во введении показана актуальность работы, сформулированы цель и основные научные положения, кроме того отмочены новизна и практическая ценпость полученных в диссертации результатов. Кратко изложено содержание работа по главам.

' В первой главе содержится обзор работ, посвященных изучению механизмов диссоциации молекул С0£ и исследованию изменения химического состава газовой среда СС^-лазеров. Поиск проводится с целы) установления возможности идентификации основного механизма диссоциации СО2 в плазме объемного самостоятельного разряда в газовых смесях атмосферного давления, непользуемнх в СС^-лазерах, а также повшзения энергетики и ресурса работы . электроразрядного СС^-лазсра с квазистабильной газовой средой.

7

Анализ литературных данных показывает, что в условиях, не учитывающих газовый разряд (в пламенах и экспериментах на ударных трубах) реализуется сложный механизм распада молекул COg, включающий процесс ступенчатого возбуждения электронных состояний молекул с последующей диссоциацией. Возбуждение происходит при столкновениях молекул COg с другими молекулами или со стенками газосодераалей системы. В плазме газового разреда реализуются два основных механизма диссоциации СО. Первый заключается в прямом соударении электронов с молекулами COg, второй - в 'возбуждении и перераспределении энергии по колебательным уровням молекул. В зависимости от условий разряда преобладание конкретного механизма ыогэт изменяться. Для разрядов низкого давления («100 мм.рт.ст.) механизм диссоциации детально исследован и установлено,что определяющим является процесс диссоциации COg через электронно-возбужденные состояния под действием прямого электронного удара. В то время как для разрядов В СС^-лазерах атмосферного давления механизм диссоциации COg как правило не исследуется.

Кроме процесса диссоциации COg в плазме разрядов е СС^-лазерах происходит большое количество различных плазшхиыических процессов, влияющих на характеристики объемного разряда. Результаты теоретических работ показывают, что а (Х^-лазерах образуются отрицательные .. ионы, преобладающими из которых являются CCg и СО^, причем в лазерах с квазистабильной газовой средой их концентрация мо;хет превышать концентрацию электронов. Образование отрицательных ионов приводит к ухудшению устойчивости и контракции объемного разряда. Анализ работ, посвященных исследованию механизмов контракции объемного разряда, показывает, что контрагирование в СС^-лазерах с квазистабильной газовой средой мояет происходить и вследствие развития хишко-иониза-

цконной неустойчивости при накоплении продуктов деградации гаосвой срэды.

Значительное внимание в обзоре уделено работам, в которых рассматриваются методы стабилизации химического состава газовой смеси и повшения ресурса работы СО^-лазеров с квазистабильной газовой средой. Из существующих данных следует, что наиболее перспективным п этом плане является использование перовскитоподобных материалов в качестве материала электродов.

В связи с изложенным в настоящей работа были поставлены и решены следующие задачи:

1. Разработка и создание импульсно-периодического электроразрядного СО^-лазера с квазистабильной газовой средой, удельной анергией, рассеиваемой в газе, >200 Дж/л и больший ресурсом. Установление режима работы лазера, при котором не происходит существенного изменения основных компонентов химического состава рабочей смеси газов и

п

энергетических характеристик в процесса длительной (>10 импульсов) эксплуатации.

2. Исследование изменения химического состава газовой смеси

и энергетических характеристик СО^-лазера с -квазистабильной газовой средой в процессе его долговременной работы, а таете влияния добавок различных газов в исходную газовую смесь на изменение энергетических и ресурсных характеристик при повышенном уровне удельной энергии, рассеиваемой в газе (>200 Дк/л).

3. Определение влияния вспомогательного и различных стадий объемного самостоятельного разрядов' (собственно объемный разрад, контрактованный объемный разряд) на степень диссоциации СО2 и изменение химического состава газовой среды СО^-лазера.

4. Определение преобладания конкретного механизма диссоциации молекул <Х>2 з условиях объемного самостоятельного разряда атмосфер-

ного давления в газовьас смесях СО^-лазэров. '

Во второй главе диссертации обосновывается выбор методики, применяемой при проведении исследований. Дается описание, краткая характеристика и сравнение наибсл-зе распространённых методов исследования химического состава газовой среды. Приведены блок-схема экспериментальной установки, конструкция лазера, используемого в экспериментах, и описание методики проведения экспериментальных исследований.

При выборе методов исследования химического состава газовой смеси в процессе работы СС^-лазера с квазистабкльной газовой средой основное внимание обращалось на методы, обладающие следующими характеристиками: высокая чувствительность при определении концентрации газовых компонент, высокая разрешающая способность метода, возмож -ность экспрессного и быстрого анализа, возможность одновременной идентификации широкого спектра атомов и молекул., достоверность идентификации получаемых результатов, возможность автоматизации исследований.

Показано, что наиболее полно отмеченным требованиям отвечает масс~спектрометрическ;;й метод анализа газов с использованием изотопного масс-спектрометра с магнитным масс-анализатором. Проведена работа по повышению разрешающей способности и чувствительности серийного масс-спектрометра ¿И-12^1В.

В третьей главе диссертации изложены результаты экспериментального определения преобладающего механизма диссоциации молекул СО^ в •объемном самостоятельном разряде в газовых смесях атмосферного давления, используема в СС^-лазерах.

Приведены результаты исследования степени диссоциации молекул ■ в зависимости от исходного состава тазовой смеси и удельной энергии, рассеиваемой в газе. Установлено, что количество дкссоциировав-

ГР

тх молекул COg не зависит от первоначального содврзания COg в с i: осях СО^-лазэров и постоянно при одинаковой уровне энвргозклада. Показано, что скорость диссоциации молекул COg в объемном самостоятельном разряда атмосферного давления пропорциональна удельному энергизкладу, что гозволяат предположить основным механизмы г разложения COg диссоциацию, стицулируецую колебательным возбуждением молекул.

Представлены результаты экспериментальных исследований влияния молекул Н^ на изменение концентрации CQ¿> в объемном самостоятельном разряде. Установлено, что в результата добавления Hg в газовую среду происходит уменьшение скорости диссоциации молекул COg на начальном этапе работы СО^-лазера с квазистабильной газовой средой, то есть когда процессом восстановления COg из продуктов его диссоциации можно пренебречь. Следовательно молекулы Н^ на только являются катализатором восстановления молекул COg из СО и что отмечалось многими авторами, но и способствует предотвращен:® диссоциации СО^. Доказано, что результаты исследования изменения концентрации Си2 ПРИ добавлении молекул Hg косвенно указывает на преобладание механизма диссоциации молекул COg через возбуздэние колебательных уровней. Изложены результаты исследования изменения химического состава газозой смеси электроразрядного COg-лазера с квазистабильной газовой средой атмосферного давления и удельным энерговкладом >200 Да/л.

Показано влияние различных видов разряда, формирование которых происходит при работе электроразрядного COg —лазера атмосферного давления, на изменение химического состава газовой смеси« Установлено, что использование дифс^узно-канальных разрядов для предыониза,-ции газовой среды не приводит к существенному изменении ее химичее-кого состава. Отмечается, что без применения каких-либо методов noli

ашения ресурсных характеристик в газовой юовете электроразрядного СС^-лазера с квазистабильной газовой средой атмосферного давления и удельным внерговкладом »200 Дй/л происходит накопление молекул СО и 0£. Концентрации других возможных продуктов деградации газовой смеси не превышал» Ю"4 %.

Для установления химического состава газовой смеси, не меняющейся в процессе работы лазера, исследовалось влияние добавления возмогших продуктов деградации газовой среды в исходную смесь газов.. Экспериментально получена зависимости изыенения ресурса работы, энергии излучения лазера и химического состава газовой среды от исходного содержания газовых компонент. Показано, что добавление окислов азота и 0£ не приводит к улучшению работы лазера, а в результате добавления молекул СО происходит повиление ресурса в ~3 раза.

Показана возможность моделирования исходной газовой смеси, изменения химического состава которой,'не происходит при прохождении разрядных импульсов. Делается вывод.о том, что реализация объемного самостоятельного разряда в газовой смеси, соответствующей ыаксималь-ноцу разложению молекул СО^, позволит обеспечить долговременную работу СО^-лазера с квазистабильной газовой средой. ^

В четвертой главе приведены результаты экспериментального исследования изменения химического состава газовой среды и возможности повшения ресурса работы импульсно-периодического электроразрад-ного СО^-лазера с квазистабильной газовой средой атмосферного давления и повшеншш удельный знерговкладом • (300*400 Дя/л) при использовании электродов„ изготовленных из перовскита ¿^Зг^СеС^ . Установлено, что использование электродов из перовскита позволяет осуществлять формирование объемного самостоятельного разряда в газовой среде,, соответствующей максимальному разложению молекул С0£ в присутствии небольдюго ("6,03 %) количества молекул МО. Показана возможность восстановления объемного разряда и генерации излучения ыолеку-

12

лами COg при использовании газовой смеси, первоначально не содержащая С02. - _

Однозначное определение механизма восстановления объемного характера горения разряда и причины повышения его устойчивости представляется достаточно сложной задачей, решение которой требует отдельной проработки. В качестве гипотезы высказывается следующее предположение.

В процесса работы лазера происходив деградация газовой среды и накопление молекул СО и О^.что приводит к контрагированию объемного разряда. После того как.наступает равновесна реакции диссоциации и время задержки между зажиганием разряда и его контраги-рованием сокращается до 10*20 не, происходи? быстрое (за—10^ импульсов) возрастание концентрации молекул НО до -0,03 % . Возрастание концентрации N0 сопровождается уменьшением вероятности контракции и восстановлением объемного разряда. Предполагается, что возрастание концентрации электронов в местах прорастания висояопроьодяаего канала сдерживается процессами диссоциативной рекомбинации электронов с кластерами типа Ы0( N0)+, N4 ит.д. Такие процессы имеют высокую константу скорости к = 2>10"® см^/с. Роль перовскита здесь сводится к стимулированию образования кластеров. Кроне того, в газовой среде с малым содержанием кислорода при интенсивном нагреве в областях прорастания высокопроводяивго канала на поверхности перовскита образуется оксидная пленка с покюкенной в XO^-5-IO^ проводимостью, что приводит к увеличении сопротивления поверхностного слоя катода в местах интенсивного энерговыделения и способствует повышению устойчивости объемного разряда. •

В подтверждение предложенного механизма восстановления объемного' протекания тока в "деградировавшей" газовой среде приводятся условия и факторы, сопровождавшие этот процесс;

13

1. Катод.выполнен из пероаскига;

2. В газовой среде содержатся кислорсдо- и азотосодеряащие молекулы;

3. Прекращение уменьшения концентрации молекул СО.,:

4. Начало уыеншения концентрации молекул С^;

5. Быстрое возрастание концентрации молекул КО при увеличении анергии, вкладываемой в искровой канал;

6. Возрастание концентрации НО и переход от режима с контра-гированныи разрядом к объемному происходит быстрее при кратковременной отключении прокачки газовой среды через меаэлектродный промежуток. '

На основании проведенных исследований и полученных результатов предложен метод обеспечения долговременной работы элект,роразрад;юго С0£-лазера с квазистабильной газовой средой, 'заключающийся.в следующем: -/.'■■ .

Первоначально возбуждение прокачиваемой рабочей среды осуществляется имдульсно-периодическим объемным разрядом г разрядном промежутке с катодом иэ перовскитоподобного материала типа ¿«^¿г^СоО,. После того как под действием объемного разряда изменение состава рабочей среды достигнет уровня, при котором происходит переход объемного разряда в дуговой, в разрядном промежутке поддерживают дуговой разряд, при этом прекращают и периодически возобновляют прокачку рабочей среды. Дуговой разряд в промежутке поддерживают до установления нового состава рабочей среды'^2» ^2'

N0), близкого к равновесному, и появления в нем объемного разряда„ после чего прокачку рабочей среды осуществляют непрерывно.

Предложен метод стабилизации химического состава газовой среды и енергии излучения СС^- лазера с квазистабильной газовой средой, заключающейся в том, что в исходную газовую смесь С0% - ^-Ые добавляют

молекулы СО, N0 и в количестве: 1,5 N0^0,03 %, Н£ = 5-гЮ %, концентрация молекул СО выбирается из следующего экспериментального соотношения:- [СО] + [0£]= СопЛ • £уд* [СО^, где Ссл>Л = 1,5 ^ 0,08 (см^/Дж) и - удельная энергия, рассеиваемая в газе, а катод электродной системы лаэ.ера выполнен из перовекктоподобного материала Ь&сч$т0^СоО} .

Проведенные исследования позволили разработать и создать макет ишульсно-периодического электроразрядного (Х^-лазера с квазистабильной газовой средой атмосферного давления и удельным энерговкладом до 400 Д'к/л, в процессе долговременной (>10^ импульсов) работы которого не происходит изменения химического состава газовой смеси и энергии излучения, составляющей 70 % от максимальной.

Заключение

Таким- образом в настоящей работе: ■ I. Разработан метод обеспечения долговременной работы импульсно-периодического электроразрядного СО^-лазера с квазистабильной газовой средой и удельным энерговкладом более 200 Дн/л без изменения химического состава газовой смеси и энергии излучения.

2. Экспериментально показана возможность формирования объемного самостоятельного разряда в "деградировавшей" газовой среда. Получен нетрадиционный режим работы лазера с переходом контрагированного

разряда в объемный без замены газовой среды и изменения энергетических параметров разрядного контура.

3.Проведено экспериментальное определение механизма диссоциации молекул С0£. Показано, что в объемном самостоятельном разряде в газовых смесях атмосферного давления, используемых в (Х^-лазерах, преобладающим механизмом является диссоциация СС^, стимулируемая коле бате лв-, нкм возбуждением молекул. Экспериментально определена роль молекул

15

водорода в процессе диссоциации СС^. Показано, что молекулы не юльно способствуют восстановлению молекул С0£ из СО и О2» но и частично предотвращают диссоциацию молекул С0г>.

4. Экспериментально исследовано изменение химического состава газовой .среды электроразрядного (Х^-лазера с КЕазистабильной газовой средой и высоким (>200 Дк/л) энерговкладом.

Установлено, что при использовании металлических электродов стабильными продуктами деградации газовой среды являбтся молекулы СО и 0£, а при использовании электродов из перовскига ¿».^$тв<3Со03 возможно появление в газовой среде молекул НО. Показано, что при моделировании газовой среды, не меняющейся в процессе работы лазера, необходимо добавление в исходную газовую смесь преимущественно молекул СО, причем для сохранения общего давления молекулы СО целесообразно-добавлять вместо соответствующего количества N3.

Определено влияние различных видов разряда, формирование которых происходит в процессе работы лазера, на изменение химического состава газовой среди. Показано, что. при зажигании только диффузно-ка-нальных разрядов, используемых для предварительной ионизации газа, не происходит существенного изменения химического состава газовой среды.

На основе полученных результатов разработан и создан импульсно-периодический электроразрядный С0£-лазер с квазистабильной газовой средой атмосферного давления и удельным энерговкладом 400 Дж/л, ресурс работы которого не ограничен изменением химического состава газовой среда.

Основное содержание диссертации опубликовано в следующих работах:

I. Беляков И.И., Богданов П.И., Осипов В.В» р Тельнов В.А. 0 влиянии состава газовой смеси к материала катода на устойчивость объемного разряда в СО^-лазерах. Тез.докл. У Всесоюзной конференции по физике газового разряда. Омск, 1990, Кн.1, с.62-63.

16

2. Беляков И.И., Богданов П.И., Осипов В.В., Тельнов В.А. Исследование химического состава рабочей смеси (Х^-лазеров. Тез.докл. УШ Всесоюзного симпозиума по сильноточной электронике, Свердловск,

1990, ч.2„ с.23-24.

3. Беляков И.И., Богданов П.И., Месяц Г.А., Осипов В.В., Тельнов В Л. Восстанозлениэ объемного горения разряда в ишульсно-периодичесгсои СО^-лазэре. Письма з КГФ, 1990, T.I6, ашЛб, с.4-7.

4. Беляков И.И., Богданов П.И., Осипов В.В., Тельнов В.А. Изменение характеристик импуя ь с н о-по ркодичэ ско го О^-лазера з процессе работы. Лазерная техника и оптоэлектроника, 1991, J? 3(59) сер. Ц

Ь. BelyaJcov I.I., Bogdanov P.I., 0sipor 7.7., Telsov'V.A. BecontrÄCtioa oí » Glow Dicohargo In a Sealed-off Pulce-Hepatitive

TEA CO^ Laser. Intern. Conference on Phenomena In Ionized Gases,Pica,

1991, СИ: H/7.

6. Belyakor I.I., iíekhryakov 7.17., Oaipov 7.7. Sealed-off

conpact CO- and-exciBer Lasers for Industrial Use. Conf. of Lacera and Electro Optico, Anaheim, California, 1990, v.7. P.10.

7. A.c. A- I68I36I H 01 53/036. Способ стабилизации состава рабочей среды игатульсно-периодичесного (Х^-лазера /Беляков И.И,, Богданов П.И., Конон^ук О.Ф., Осипов В.В., Тельнов В.А./ Рог. I.06.91 приор. 4.04.89г.

8. Положительное решение по заявке №-4861705/25 Н 01 .3/22. Импульсно-лериодичсский газовый лазер /Беляков И.И., Богданов П.И., Осипов В.В., Тельнов В.А./ Заявлено 21.08.90, Положит.реш. от

30.01.92г.