Исследование оптических волноводов на основе нелинейных кристаллов LiNbO3 и КТР тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

РОССИЙСКАЯ Л 1С Л Д S И И Я II Л У к Цнстятут обцей фнзш:ч

Па арапок рупогмсп УДК 621•373.3.029.7

Бурицтскй Кояставт.чя Сергеевич

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ В&2Н030Д0В кл CCBCFÎTÎ НПЛНЧГГШЯХ ЯРЕСТ.ШОЭ l.i!;t,0;i î! KTF. 01.04.21- лагоркдя

Л п т о р о ф о р а " ¿зссертядоя па српстякз учовоЯ степсла. кгздчдатэ сг^иио-ятг.пттпч'гскнл нгг/.ч

Коскпа-З ')')2

Работа выполнена в Институте обцай физики Российской Акадгкяк Наук.

Научпыя руководители^ доктор фнзнко-натекатнческях наук Е.А.Щербаков

кандидат физико-натаиатичосккх наук

B.Л.Черних

Официальные оппоипнты: доктор физико-математических наук

C.Н.Столяров

кандидат фязнко-математнческих наук В.Т.Попков

Ведущая организация: Институт радиоэлектроники Российской Акадомин Наук (г. Ь'осква)

Защита диссертации состоится *7"декабря 1992 г. в 15 часов из заседапии Специализированного Совета К СОЗ.19.02 и институте обцой физики РАИ по адресу; г. Носкза, ул, Вавилова, ЗВ. С диссертацией кожно озиакокнться в библиотеке Н0<3> РАН. Автореферат разослан "6" ноября 1992 г. ■

Учеши секретарь Специализированного совета

Т.Б.Бодяк

ОБЦАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность теми. Последние достижения интегральной оптики во многом связаны с использованием каналышх волноводов в монокристаллах ниобата лития (ИНЬ03) и титаннл-фосфата калня (КТЮРОд). Йа основе Т1-диффузных волноводов в ЫНЬ03, обладавших высокими электрооптяческими и нелинейными свойствами, реализованы различные типы модуляторов света и велинейпооптические устройства. Локализация светового потока в канальном волноводе обусловливает существенное снижение управляющих напряжений (<10 В) и расширение полосы частот (>10 ГГц), а также позволяет реализовать интегральноопти-ческив параметрические генераторы света с низким порогом ( 10 мВт) в удвоители частоты лазерного излучения полупроводниковых лазеров (Хр*0.8 мкм). Применение для целей нелинейной оптики канальных волноводов на основе КТР позволяет реализовать рекордную эффективность генерации второй гармоники (ГВГ) в этой области спектра (>400Х Вт-1см~^), что позволит создать компактные лазерные источники сяне-голубого диапазона для систем оптической связи н обработки информации.

В этой связи важной задачей является исследование характеристик волноводов в ИНЬ03 и КТР.

Цель работы- исследование канальных волноводов в иЛЬОд и КТР; соверденствование технологии их изготовления, разработка метода определения структурных параметров одномодовых канальных волноводов и, на основе полученных результатов, исследование нелинейных взаимодействий в них: Черепковского режима генерации второй гармоники в волноводах на основе 1ЛНЬ0д и нелинейной перекачки излучения в системе связанных канальных волноводов в КТР.

Иаучная новизна и полокения. выносртае ва зааиту:.

1.Исследован процесс подавления обратной диффузии 1Л20 при формировании волноводного слоя в ИНЬОд с использованием. диффузии П. При использовании различных газовых сред, в которых проводится диффузия, установлено, что наиболее существенный фактором, влияющий на скорость обратной диффузии, является наличие в атмосфере равновесной концентрации паров П2О.

2.Предложен метод определения структурных параметров одпоно-довых канальных Т1:ЫНЬ0з-волноводов. Показано, что модифицированный метод эффективного показателя преломления (ЭПП) позволяет определять структурные параметры канального волновода по распределению интенсивности оптического поля ыоды, измеряемому в блинней зоне.

3.Предложен способ определения оптических потерь с однокодо-вих канальных волноводах с использованием волноводного ивтерферо-ыетра Фабри-Перо и одночастотного полупроводникового лазера.

4.Исследован процесс формирования волноводного слоя в кристалле КТР путем ионного обнена из расплавов ДЬЯОд н ВаСНОд^. Разработан метод изготовления волноводов с глубиной до 50 ккн, калынн

л

(1 дБ/са) оптическими потерями и высокой («10 МВт/см , Х»0.51 мкы) оптической стойкостью.

5.Исследован процесс ГВГ в Черенковскоы реашые в канальных волноводах различных типов иа основе ИНЬОд. Показано, что в ионообменных волноводах пирлка фазового синхронизма составляет не менее 50 нм (Яр=0.В ккм).

6.Реализована в широком временной диапазоне нелинейная перекачка излучения в направленной ответвителе на основе канальных ЛЬ:

КТР-волноводов.

Научная я практическая ценность работы.

Проведенные в работе исследования позволят создавать на ос-совв канальных волноводов в ИКЬ03 и КТР интегральнооптвческае устройства с оптимальными характеристика!«!. Разработанные методы дмя возможность контролировать структурные параметры, величину омических потерь н оптическую стойкость волноводов'пря их изго-?авхенвп. Результаты исследований нелинейных взаимодействий позволяя? реализовать эффективный ренин Черепковской ГВГ з канальных волноводах на основе ЫНЬ03 в нелинейную перекачку излучения в направленном ответвителе на основе КТР.

Апробация работы и публикации.

Оснобкий результаты диссертации докладывались на Кекдупарод-{гйк конференциях по нелинейны!! явленияи в волноводах 1989 г. (Хьюстон, США) а 1991 г. (Кембридж, Великобритания), Международной конференции по интегральной фотоннке 1990 г. (йонтерой, США), XIV ййкдуиародпой конференция по когерентной п нелинейной оптике 1991 г. (Санкт-Петербург), а такие на семинарах отдела "Волоконная оптика" ЙОФ РАН.

Натерпадк диссертации опубликованы » 12 работах.

Структура п обт.ец саботы. Диссертация состоит из введзния, *рех глав, заключения и списка литературы, вютачаздего на кгк»е-*овпппй. Обций обьен диссертации- 122 страницы, количество рису;?-ков- 30, таблиц- 2.

СОДЕРЖЛНИЕ РАБОТЫ.

Во_введении обосновывается актуальность диссертационной работы, дается краткий обзор литературы по методам расчета, изготав-лення к определения параметров канальных волноводов, исследованиям нелинейных взаимодействий в них. Ставится цель работы, формулируются задачи по кавдоиу из рассматриваемых вопросов, а такие результаты, выносимые на защиту.

Первая глава посвящена совершенствованию технологии подавления обратной диффузии 1Л20 из иНЬ03 при изготовлении Т1: ИНЬОд-волководов и определенна их характеристик. Для определения структурных параметров одноыодовых канальных П гЫНЬОд-волноводсЕ предложен экспериментальный метод с использованием модифицированного метода эффективного показателя преломления и измерения распределения интенсивности оптического поля волноводной йоды в блия-ней зоне; оценена его точность и область применимости. Предложен экспериментальный метод определения оптических потерь в одпокодо-вых канальных волноводах. Проведены измерения оптической стойкости канальных Т1 ¡ИЛЬС^-волноводов, изготовленных в различных условиях.

Разработанные методики необходимы для контроля паранетроз изготавливаемых волноводов при создании на их основе устройств с оптимальными характеристиками.

В разделе 1.1 рассмотрены основные уравнения, описывающие распространение света в канальных волноводах. Приведены выражения для -компонент электромагнитного поля волноводных мод, с также в общем виде рассмотрено приближение метода ЗПП при расчете полей мод канального волновода.

В разделе 1.2 исследован процесс подавления обратной диффузии Li20 при изготовлении канальных Т1:1ЛНЬ03~еолиоводов. С этой целью применялись способы увеличения парциального давления паров ligO с использование« I^CC^ {1] и прозедония диффузии в атмосфере плавного Аг и С>2 {21. Экспериментально определялось изменение показателя преломления поверхностного слоя LIKbOg поело отвига пластин У-среза LiNbOg при температурах 960-1050°С в течение 2-10 часов в различных условиях. Эксперимент проводился на 120 подложках внре-занннх из 5 различии буль LiNbOj. Создапиееся изменение показателя преломления поверхностного слоя определялось по виду картины в ближней зоне на выходном отполированном торце кристалла при возбужденна поверхностного слоя пучком lie-He лазера (Х=-0.63 мкм, необыкновенная поляризация излучения) через входной отполированный торец. При этом, в зависимости от условий отяига, имели место четыре различных случая : образование одной или нескольких волно-водних мод вследствие обратной диффузии, образованна слоя с пони-иенным показателен преломления- "антиролноводпого" слоя, образование волноводной ыоди на фона "антиволиовода" и полное подавление обратной диффузии. В результате установлены условия, которые позволяют проводить диффузию Т1 в LiNbOg в течение 10 ч при температуре 1050°С при полном подавлении обратной диффузии I^O. При этом установлено, что на ее скорость наиболее существенно влияет концентрация паров L120.

В разделе 1.3 описан метод определения структурных параметров одномодовых канальных Т1:ИНЬ03-волноводов. Суть разработанного метода состоит в том, что экспериментально измеряется распределение интенсивности оптического поля моды в ближней зоне, по времени

диффузин рассчитывается глубина волновода (при заданной форме показателя преломления). Затем для найденного значения глубины, иа-вестного значения ширины полоски Т1 и различных Лп с помощь» метода ЗПП рассчитываются ширина волновода и распределение оптического поля моды по поперечному сечению волновода. Далее, из условия наилучшего совпадения 'экспервмевтаяыюго и рассчитанного распределений полей иод, определяется величина 4п и ЗПП коды в исследудшг канальном волноводе. Точность определения величины ¿и для волноводов в У и 1- срезах Ш)Ь03 составляет 10:, а область применимости

• -»о •

метода определяется условием 7«(пц-п^)/&п)4*10 (п^- ЗПП мода, П|— показатель преломления подложки),

Б разделе 1.4 реализован метод определения оптических потерь ? одноыодовых канальных волноводах с помощью еолноводыого интерферометра Фабри-Перо и одкочастотного полупроводникового лазера. Интерферометр образован торцами одномодового канального Т^-ПШЮ^-волновода, отполированными перпендикулярно ему с точностью 2', что обеспечивает коэффициент отражения 14.К. Источником излучения'служил -ХпйнДвР . .лазер 0,-1.3 икм) с шириной линии излучения 20 МГц. При этом изменение тока накачки приводит, помимо изменения мощности излучения, к сканированию его частоты. В результате кривая зависимости мощности излучения, проведшего через интерферометр, имеет осциллирующий характер. Измерение контраста .наблюдаемых резонансов позволяет определить величину оптических потерь в канальном волноводе независимо от коэффициента ввода излучения в волновод. Изготовленные канальные Т1:1ЛНЬ0д-волноводн характеризовались величиной потерь 0.4-0.6 дБ/см, которые опреде-делялнсь качеством обработки поверхности кристалла и однородностью

диффуидируемой полоски Т1.

В разделе 1.5 исследовано обусловленное фоторефрактивным эффектен нелинейное пропускание света канальными волноводами различных типов в 1ЛНЬ03. Фоторефрантивный эффект в этом кристалле ограничивает мощность световых потоков. Экспериментально определены максимальные мощности Рвах излучения (Х-0.63 мкм), распространение которого поддерживают волноводы , изготовленные путей диффузии Т1 на воздухе и в атмосфере [^О, а также путем проведения диффузии Т1 в атмосфере влажного Аг и О2 (Х-0.84 мкм). Измерена максимальная мощность света также для системы связанных канальных Т1:ИНЬОд-волноводов. Показано, что величина Рвах слабо зависит от поляризации вводимого излучения и увеличивается при уменьшении длины волновода.

Вторая глава посвящена разработке технологии изготовления канальных волноводов в КТР и определению параметров таких волноводов величины анизотропии приращения показателя преломления и их оптической стойкости.

В разделе 2.1 исследован процесс формирования, волноводного слоя в кристалле КТР. В настоящее время для этой цели применяется ионный обмен из расплавов солей НЫЮд, СэМО^, Т1Н03 с добавками Ва(Н03)2 и Зг(Н03)2 (31 через зазор в маске из Т1, Аи или других материалов, изготавливаемой на поверхности кристалла. Процесс проводится при температуре 340-400°С в течение 10 мин-3 ч. Подложки из КТР, выращенного раствор-расплавным методом, и используемые для изготовления волноводов, характеризуются большим разбросом в величине проводимости (более трех порядков), что приводит к разбросу в скоростях ионного обмена. Кроме этого, существенным является выбор

иатериала для изготовления маски и предварительная подготовка подложек. По разработанной с учетом этих факторов технологии изготовлены три основных типа волноводных структур на подложках г-среза КТР# одномодо?ие канальные волноводы для излучения видимого диапазона (вирина 1-3-5 икн, глубина (1-3-4 мки), одноиодовые канальные волноводы для излучения ближнего ИК-диапазона (1-5-8 мки, (1-4-5 ним), фазовые дифракционные решетки глубиной до 50 мкм. На основе плаиарных волноводов в КТР изготовлены акустооптвческий модулятор света [4] и реализована ГВГ излучения перестраиваемого волоконного лазера в канальном Ш>:КТР-волноводе (5], что свидетельствует о сохранении высоких электрооптических и нелинейных свойств исходного кристалла КТР после формирования волноводного слоя.

В разделе 2.2 определены структурные параметры одиомодовых канальных НЬ:КТР-волноводов, изготовленных по описанной выве технологии* глубина и величина анизотропии приращения прказателя преломления. Известно из литературы [31, что при изготовленнии волноводов на подложках г-среза КТР распределение показателя преломления по Глубине имеет вид ег£с(г/й), а по вирине описывается ступенчатой функцией, что свидетельствует об отсутствии боковой диффузии (в отличие от Т^ИНЬО^-волноводой). Эти данные позволяет использовать разработанный в разделе 1.3 метод для определения структурных параметров волноводов с помощью модифицированного метода ЗПП и распределения интенсивности оптического поля моды в ближней зоне. Используемые в эксперименте волноводы изготовлены на подложках й-среза КТР вдоль оси У путем ионного обмена в течение 15 мин при температуре 340°С через зазор в маске из Аи с подслоем Т1. Ширина зазора варьировалась в пределах 3-10 мкм с вагон 1 мкм.

Для излучения с длиной водни А-0.63 мкм волноводы с 1-3-4 мкн били одноиодовыми для излучения, поляризованного как по оса г, так и по оси X, что позволило определить величины Ап^О.ООб, Апх»0.003, <1-4 мкм для волновода шириной И-4 мкм. Эти результаты свидетельствуют о существенной анизотропии структурных параметров ЙЬ:КТР- волноводов, что важно при расчете условий фазового синхронизма при нелинейных взаимодействиях в таких волноводах.

В разделе 2.3 исследован вопрос о оптической стойкости изготавливаемых НЬ:КТР-волноводов. Используется разработанная в разделе 1.5 методика измерения зависимости мощности излучения на выходе одномодового канального волновода от величины оптической мощности на его входе. Источником излучения служил непрерывный Аг лазер (Х-0.514 мкм). Отличие измеренной зависимости от линейной позволяет сделать вывод о фотоикдуцированном изменении параметров волновода и наведении в нем дополнительных потерь. Проведенные эксперименты показали, что в волноводах не происходит увеличения потерь вплоть до величины мощности света 500 МВт на его выходе, что соответствует плотности мощности на входе 10.5 МВт/см .

В третьей главе с помощью разработанных методов изготовлены волноводы различных типов в ИНЬОд и исследован процесс генерации второй гармоники в них (Хр-0.8 мкм) в черенковском режиме. На базе канальных волноводов в КТР реализован направленный ответвитель и исследована нелинейная перекачка между каналами световых импульсов (Х-1.06 мкм).

В разделе 3.1 исследован процесс ГВГ в Черенковском режиме в канальных волиоводах на основе ЫШзОз. Анализ эффективности этого процесса на базе антенной теории 1б1 позволяет сделать вывод о не-

Не-

обходимости максимальной локализации пучка накачки,т.е. изготав^; ння волноводов с максимальным приращением показателя преломлений Экспериментально измерена эффективность преобразования в канальшец волноводе 11 :.йНЬ03-волвоводе (Дп»0.01, ТГ—5 мкм, А.р-1,3 мкм) » § ионообменном волноводе в 11НЬ0д (Ап»0.1, И-2 мкм, Хр«0.8 мкм1 ¿г показано, что в последнем случае эффективность преобразования возрастает более чем на три. порядка. Как известно, фазовый синхронен* при черенковском режиме ГВГ является мало критичным к изменена» длины волны излучения накачкн. Вопрос о его вирине является практически вавным в связи с перспективой использования таких удвоитег лей в системах обработки информации.[7]. Измерения, выполненные & использованием И:А1203 лазера, показали, что его вирнна составляет не менее 50 нм:

В разделе 3.2 система из двух тунельно- связанных М>:КТР-т канальных волноводов использовалась для наблюдения нелинейной перекачки световых импульсов субнаносекундного диапазона (1н-200 пс) из одного волновода в другой, подобно тому что ранее наблюдалось в кварцевых волоконных световодах [8|. Ответвитель характеризовался следующими параметрами; длина 1-1 см, ширина волноводов-6 мкм, зазор между ними- 4 мкм. Использовалось излучение Ис1 :УАСг-лазера (Л-1.06 мкм), работающего в режиме модуляции добротности и синхронизации мод. При таком уровне пиковой мощности света (Рр-100 Вт) практически все выходное излучение было сосредоточено в первоначально возбуждаемом канале, а при ее увеличении до Рр-5 кВт « соседний волновод перекачивалось 40ЗБ световой мощности. При этап время срабатывания нелинейности было неньпе длительности лазерного импульса. Этот факт свидетельствует о возможном керровском меха-

нпзме нелинейности в данной эксперименте.

8 разделе 3.3 в сястеие двуя связанных канальных ШкКТР-волно-водое обнаружен эффект нелинейного перераспределения света с постоянной времени 1 мин при использовании излучения Н(1: УЛО1 лазера (Яр-1.064 ккм), работающего в режиме модуляции добротности и синхронизации иод. При этой средняя мощность излучения но превосходила 40 мВт. Этот эффект связан с индуцированным высокой пиковой мощностью света поглощением и, соответственно, нагревом волноводов, что приводит к нарушению резонансной связи между ними,

Основные выводы и результаты диссертационной работы.

В диссертационной работе получены следующие основные результаты:

1.Разработаны методы определения параметров одномодовых канальных Т1:1>ШЬ0д волноводов: величины максимального приращения показателя преломления Ап и оптических потерь. Значение Лп определялось по распределению интенсивности оптического поля волноводной моды, измеряемому в ближней зоне,-и точность метода составила 10Х. Величина оптических потерь определялась при помощи волноводного интерферометра Фабри-Поро и одночастотпого полупроводникового лазера и.ее наименьшее значение в изготовленных Т1:ИНЬОд-волноводах составило 0.6 дБ/см (А-1.3 мкм).

2.Исследован процесс подавления обратной диффузии 1Л20 в ИНЬ03 при проведения термодиффузии Т1 в различных газовых средах. Экспериментально показано, что наиболее существенным фактором, влияющим на ее скорость, является наличие равновесной концентрации паров и20.

3.Исследовано нелинейное пропускание света канальными волноводами в Ь1НЬ03, Экспериментально показано, что волноводы, в которых обратная диффузия Ь^О подавлена, обладают более высокой стойкостью к оптическому повреждению: не наблюдалось наведенных изменений параметров однонодового волновода при величинах оптической

. мощности До 4 мВт (Я-0.84 мкм, непрерывный режим).

4.Изготовлена, и исследованы^канальные волноводы в кристалле КТР с высокой («10 Шт/си? для непрерывного излучения Аг лазера) оптической стойкостью. Разработанная методика позволяет реализовать волноводы глубиной от 3 до 50 мкм и приращевие показателя преломления таких волноводов обладает значительной анизотропией Дпх/Дп2 -2.

5.Экспериментально и теоретически исследован процесс Черепковской генерации второй гармоники в канальных волноводах различных типов на основе ИНЬОд. Исследована зависимость эффективности преобразования от длины волны излучения накачки и показано, что для ионнообменных волноводов ее ширина составляет не менее 50 им (Хр-0.8 мкм). ■

6.Исследован процесс нелинейного перераспределения излучения в направленных ответвителях на основе связанных канальных ШхКТР-волноводов в широком временном интервале (та1мин-200 пс). Показано, что при величине пиковой мощности света иа входе ответвитеяя Р»5 кВт ее изменение на выходе составляет 40%. Обнаружен эффен? нелинейного перераспределения света с постоянной времени »1 мин при использовании излучения Ий-ЛАй лазера в режиме модуляции доб-* ротности и синхронизации мод.

Основ1ше результаты диссертации опубликованы в работах:

1. Бурицкий К.С., Черных В.Л. Свойства Т1 :Ы11Ъ0з-волноводоа с подавленной обратной дяффузией,- Квантовая электрсимка, 19S6, т.13, 310, стр.2151-2153.

2. Бурицкий К.С., Золотов E.N., Черных В.А. Определение структурных характеристик одномодовых канальных Ti: LiNbOg-во«поводов.-Квантовая электропика, 1984, т.11, ]6, стр.1147-1151.

3. Буркцкяй К.С., Черных В.А. О влиянии яароо воды на изменепг.з показателя преломления поверхностного слоя LlllbOg при высокотемпературном отвиге,- Квантовая электроника, Д988, т.35, ]3, стр.640-642.

1, Бессонова С.В., Бурицкий К.С., Черных В.А., Щербаков Е.Л. Из— иврецне потерь в оптических волноводах из .чпобатя лития с помощь» одпочастотного полупроводникового лазера.- Квантовая электроника, 1939, т.16, ]4, стр.853-860.

5. Бурицкий К.С., Зелотов Е.И., Тавлыкаав Р.Ф., Черных В.Л. О нелинейном пропускании света кавалышли Ti:liHb0g- волноводами.- ЗТФ, 1984, т.54, }9, стр.1839-1842.

6. Buritskii K.S., Dlanov Е.Я., Grjannov Yu.». , Dobrjakova H.G.. Maslov Y.A., Chernykh V.A., Shcherbakov E.A. Characterization of the channel Rb:KTP-iiaveguides.-Sov.Lightwave Conaun., 1991, v.l, H2, p.107-111.

1. Buritskii K.S., Dianov E.H., Maslov 7.Д., Oiernykb V.A., Shcherbakov E.A. CTt Optical Damage Threshold of Hb:KTP- waveguides.- Tech. Dig. of the Integrated Photonics Research Top. Heet., 1990, Monterey, USA, p.TuDlC.

8. Бурицкий K.C., Черкых В.А., Щербаков E.A. Исследование Через-

ковского режима генерации второй гармоники в канальных волноводах на основе кристалле UNbOg.-' Препринт НОФ РАН, 1992, 112.

9. BuritEkil K.S., Garbuzov D.Z., Dlanov Е.И., Zaitsev S.V., Ovchinnikov A.V., Tarasov I.S., Chernykh V.A., Shcherbakov Б.А. Cerenkov Second Harmonic Generation of Semiconductor Laser Radiation in Ti:LiKb03.- Tech. Dig. of the Top. Meet, on Honlinear Gulded-Kave Phenoaena, 19B9, Houston, TX, 08Л, p. ThBlO.

10. Buritskii K.S., Dianov Е.И., Haslov V.A., Chernykh V.A., Shchebakov E.A. Honlinear Directional Coupler Baaed on RbtKTP Waveguides.- Tech. Dig. of the Top. Meet, on Honlinear Guided Have Phenomena, Sept.2-4, 1991, Caabrldge, UK, p.212-215.

11. K.S. Buritskii, E.H. Dlanov, V.A. Haolov, V.A.Chernykh, E.A. Shcherbakov. Honlinear directional coupler based on Rb:KTP-Tiaveguides.- Appl. Phys., 1992, V.B54, p. 167-169.

12. V.A. Chernykh, K.S. Buritskii, V.A. Haslov, E.A. Shcherbakov. Investigation of third-order nonlinear phenoaena in Rb:KTP-vraveguides.- Techn. Dig. of the 5-th Intern. Topsoe Suaaer School on Itonl. Opt., 1992,Aug. 3-8., Aalborg, Danaark, p.21.

ЛИТЕРАТУРА.

1. Kiayzawa S., Guglielni R., Carenco A. A simple technique for suppressing Li20 out-dlffusion in Ti:Liilb03 optical rave-guide.-Appl.Phys.Letts., 1977, v.31, HI, p.742-744.

2. Jackel J.L., Ranasr.aiay V., Lyaan S.P. Elimination of out-diffused surface guiding in fcitaniuo-diffused LiKbOg.-Appl.Phys. Letts., 1981, v.38, H7, p.509-511.

3. Bierlein J.D., Vanherzeele H. Potassiua tltanyl phosphate: properties and new applications.- JOSA, 1989, v.B6, H4, p.622-833.

•i- Suritski 1 K.S., Olanov E.H., Kiselev A.V., Maslov V.A., Ehcherbakov E.A. Guided Acouato-Optical Modulator in Rb:KTP.-Tech. Dig. of the Integrated Photonics Research Top. Sieet., 1992, Nes Orlean, USA, p.42-43.

-X Buritskli S.S., Gapcntsev V.P., Dianov E.M., Kaalov V.A., 5V ■aartaav I.E., Chernykh V.A., Shcherbai:ov E.A. Blue-green light generation frora a neodyniua fiber laser.- Tech. Dig. of the Cospact Blua-Creen Lasers Top.Meet, 1992, Santa Fe, USA, p.FC6.

6 Tien D.K., Ulrich R., ¡¡artin i?.J. Optical second haraonie generation in the forn of coherent Cerenkov radiation froa a thin-fila waveguide.- Appl.Phys.Lett., 1970, v.17, N10, p.Ш--150.

i Taniuchi Т., Yaaaaoto K. Second haraonic generation using proton-exchanged LiUbOg waveguide.- Optoelectronics,- 1937, v.2, HI, p.53-53.

8 Кайер А.А. Оптические транзисторы я бкетаблль.чыз ьлвкенти ira оснопе нелинейной передачи света системами с однонаправленными осязанными волнами.- Квантовая электроника, 1982, т.9, }11, стр.2296-2302.