Исследование поверхностных слоев методом рентгеновской рефлектометрии тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Введение

Глава 1. Аналитический обзор литературы

1.1. Современные представления о морфологии 7 поверхности. Фрактальные поверхности.

1.2. Поверхность осажденных пленок и строение границ 11 раздела в многослойных структурах.

1.3. Методы исследования поверхностного рельефа

1.4. Методы измерения параметров сверхтонких покрытий.

1.5. Метод рентгеновской рефлектометрии

1.5.1. Оптика рентгеновских лучей

1.5.2. Явление полного внешнего отражения

1.5.3. Диффузное рассеяние в режиме полного внешнего 32 отражения

1.5.4. Модели, учитывающие наличие переходного 36 поверхностного слоя

1.5.5. Анализ неоднородностей распределения 38 электронной плотности

1.5.6. Возможности восстановления профиля электронной 41 плотности в поверхностном слое

1.6. Многослойные структуры

Глава 2. Методика проведения эксперимента

2.1. Рентгеновский рефлектометр

2.2. Факторы, влияющие на искажение идеальной 54 рефлектограммы

2.3. Измерения зеркального отражения

2.4. Измерения диффузного рассеяния

В настоящее время производство изделий оптики и микроэлектроники требует формирования однослойных и многослойных композиций различного функционального назначения на диэлектрических, полупроводниковых и металлических подложках. Примерами таких структур могут служить оптические интерференционные покрытия, зеркала мягкого рентгеновского диапазона, полупроводниковые сверхрешетки. Особенностью современной электроники является использование все более тонких слоев и переход от микро- к наноразмерным пленкам. Использование субмикронных и наноразмерных покрытий предъявляет повышенные требования к качеству поверхности подложки и состоянию границ раздела между слоями и однородности отдельных слоев.

Состояние поверхности может быть экспериментально оценено различными оптическими и зондовыми методами, каждый из которых имеет свои достоинства и области применения. Общим недостатком являются трудность анализа сверхгладких поверхностей и невозможность получения информации о состоянии скрытых границ раздела. Необходимость исследования сверхгладких поверхностей на значительных площадях делает актуальным переход от оптических методов к рентгеновским, позволяющим изучать особенности структуры с масштабами, сравнимыми с длиной волны рентгеновских лучей.

В настоящей работе для анализа поверхности и границ раздела между слоями применен метод рентгеновской рефлектометрии. Достоинствами метода является его неразрушающий характер, возможность исследования любых материалов в композициях пленка - подложка . Теория метода рентгеновской рефлектометрии в настоящее время активно развивается [1], однако адекватность различных теоретических моделей может быть проверена только при анализе большого количества экспериментальных данных, полученных при исследовании реальных объектов.

Состояние поверхности подложки определяется не только базовыми процессами механической и химико-динамической обработки на этапе ее изготовления, но и процессами очистки и травления перед нанесением слоев. Это обусловливает необходимость контроля состояния поверхности пластин на каждом технологическом этапе. В полной мере это относится и к поверхности нанесенных пленок в случае формирования многослойных композиций.

При создании многослойных композиций особенно важными становятся вопросы определения параметров отдельных слоев (толщина, электронная плотность) и состояния межслойных границ (шероховатость). Следует отметить, что совокупность этих характеристик не может быть получена другими, даже разрушающими, методами.

В настоящее время в приборах, используемых в оптике мягкого рентгеновского диапазона (длина волны > 10 А), применяются многослойные интерференционные структуры (МИС), полученные путем осаждения на подложку чередующихся слоев различных материалов с толщинами порядка нескольких десятков ангстрем. В качестве сильнопоглощающего слоя обычно выбирают металлы W, Ni и т.д., а слабопоглощающие слои создают на основе В, С, Si. . Во многих случаях это приводит к трудностям формирования границ раздела между материалами с разными физико-химическими свойствами. [2]. Эти сложности легко преодолеваются при построении многослойной структуры на основе только одного компонента, если при получении материала в виде пленки появляется возможность управлять свойствами вещества в ней путем вариации технологических параметров. Одним из таких компонентов является углерод, атомы которого могут образовывать состояния с различными типами орбитальной гибридизации , позволяя при этом получать материалы с широким интервалом изменения механических, электрических и оптических свойств. Поэтому изучение таких материалов и их композиций представляет несомненный теоретический и практический интерес.

Целью работы являлось экспериментальное исследование параметров сверхгладких подложек , наноразмерных пленок и многослойных композиций на их основе методом рентгеновской рефлектометрии.

Апробация работы 6

Основные результаты диссертации докладывались на III International conference "Applications of diamond films and related materials" Gaithesburg, 1995; НТК "Вакуумная наука и техника" Гурзуф, 1995; VII, IX, XI Всероссийских НТК "Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления" Гурзуф, 1995, 1997, 1999; SPIE conference X-ray and EUV/FUV Spectroscopy and Polarimetry, San-Diego, 1995 ; 4-ой международной конференции "Компьютерное конструирование перспективных материалов" Томск 1995; VI конференции "Физика и технология алмазных материалов" Москва, 1996; 1,11, III Национальных конференциях по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Дубна, 1997, Москва, 1999, Москва 2001; SPIE conf. X-Ray Optics,Design,Performance and Applications, Denver, 1997, 1999; Всероссийском совещании «Рентгеновская оптика» Н.Новгород, 1998 г., Ин-т физики микроструктур РАН; 7th, 8th, 9th European conference on Diamond, Diamond-like and related materials, Tours, France, 1996, Edinburgh, Scotland, 1997, Crete, 1998; VII, VIII, IX, X,XI Межнациональных совещаниях Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 1997, 1998 , 1999, 2000, 2001 г

Публикации

По материалам диссертации опубликована 31 работа.

Основные результаты диссертации опубликованы в работах

1. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov, V.V.Sleptsov Multilayer interference structures for X-ray mirrors based on carbon films: Abstr. Ill International conf. "Applications of diamond films and related materials" Gaithesburg, 1995,p.817

2. Д.Э.Гуринов, Е.Г.Новоселова,И.С.Смирнов Рентгенорефлектометрический анализ тонких пленок, наносимых вакуумно-технологическими методами: Тезисы докладов НТК "Вакуумная наука и техника" - М.:МГИЭМ, 1995, с.37

3. Д.Э.Гуринов, Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов. Система комплексной диагностики гладких поверхностей методом полного внешнего отражения рентгеновских лучей : Тез. докл. Всероссийской НТК "Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления" -М.:МГИЭМ, 1995, с. 127.

4. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov, V.V.Sleptsov Broadband mirror for soft X-ray optics: Proc.SPIE conf. X-ray and EUV/FUV Spectroscopy and Polarimetry, San-Diego, 1995, v.2517, p. 126-132.

5. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov. Analysis of parameters of Multilayer carbon interference Structures in the soft X-ray range //Diamond and related materials, 1995, v.4, p.1412.

6. А.М.Баранов , П.Е.Кондрашов , Е.Г.Новоселова , И.С.Смирнов А.Н.Тихонов Принцип формирования углеродной среды с особыми физическими свойствами на основе наноразмерных пленок : Материалы 4-ой межд. конференции "Компьютерное конструирование перспективных материалов"-Томск 1995, с.87.

7. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov, V.P.Petukhov, Analysis of parameters of multilayer carbon interference structures in the soft X-ray range // Appl. Phys. Letters, 1996, v.69, N 3, p.305 -307.

8. А.М.Баранов, П.Е.Кондрашов, Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов, Возможность применения многослойных углеродных структур в качестве

9. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S. Smirnov. Capabilities of combined studies of DLC films by X-Ray methods : Abstr. 7th Europ.conf. on Diamond, diamond-like and related materials, Tours, France, 1996, p.8.076 -8.078

10. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov. Use of diamondlike carbon films in X-ray optics : Abstr. 5th Int.conf. on the New diamond science and technology. Tour, France, 1996, p.12.128 -12.130.

11.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov Non-classical multilayer periodic structures based on DLC films // Diamond and related materials, v.5, 1996, p.448-452.

12.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov Possibility of creation of high-quality mirrors : Proc. SPIE, v. 2805, 1996, p.254-259

13.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov. Capabilities of combined studies of DLC films by X-ray methods . //Diamond and related materials 1997, v.6, p.1784-1788.

14.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov. Use of diamondlike carbon films in X-ray optics //Diamond and related materials, v.6, 1997, p.902-905.

15.А.М.Баранов, П.Е.Кондрашов, Е.Г.Новоселова, В.П.Петухов, И.С.Смирнов. Применение рентгеновских методов для создания и исследования углеродных сверхрешеток : Тез. Национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Дубна, 25-29 мая 1997, с.297.

16.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov. Comparative characteristics of diamond-like carbon and metal-carbon x-ray mirrors :Abstr. 8th Europ. conf. on Diamond, Diamond-like and Related materials, 1997, Edinburgh, Scotland, 3-8 Aug. ,p.9.126.

17.Е.Г.Новоселова , И.С.Смирнов ,Г.Г.Соловьев, И.Г.Сахарова. Влияние протонного облучения на параметры поверхности кремниевых структур.: Материалы VII Межнационального совещания "Радиационная физика твердого тела", Севастополь, 1997 г. М.:НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1997, с. 64-65

18.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, V.P.Petukhov I.S.Smirnov. Comparative analysis of diamond-like carbon and metal-carbon x-ray mirrors: Proc. SPIE, 1997, v.3152, p.122-127.

19.Д.Э.Гуринов, Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов . Диагностика гладких поверхностей методом полного внешнего отражения рентгеновских лучей.: Тезизы докладов IX НТК Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления, Гурзуф, 1997. М. МГИЭМ, 1997, с.64-65.

20.А.М.Баранов П.Е.Кондрашов, Е.Г.Новоселова, В.П.Петухов, И.С.Смирнов. Сравнительные характеристики углеродных и металл-углеродных многослойных рентгеновских зеркал : Материалы Всероссийского совещания «Рентгеновская оптика» Н.Новгород, 23-26 февраля 1998 г., Ин-т физики микроструктур РАН, с. 138-144.

21.Е.Г.Новоселова ,И.С.Смирнов, Г.Г.Соловьев Исследование поверхности кремния, облученного протонами, методом рентгеновской рефлектометрии: Труды VIII межнац. Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь,29июня- 4 июля 1998 г. М.:НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1998, с. 103 -108.

22.A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, V.P.Petukhov. Comparative characteristics of diamond-like carbon and metal-carbon x-ray mirrors //Diamond and related materials, v.7,N12, 1998, p.1534-1538.

23.Д.Э.Гуринов , В.Л.Залесский , Е.Г.Новоселова. Рентгеновский рефлектометр для диагностики поверхностей и нанороазмерных пленок Материалы XI НТК Датчик 99 М.: МГИЭМ, 1999 г., с.151.

24.Е.Г.Новоселова ,И.С.Смирнов , Г.Г.Соловьев. Рентгеновская рефлектометрия кремниевых пластин, имплантированных протонами.:

25.А.М.Баранов П.Е.Кондрашов, Е.Г.Новоселова, В.П.Петухов, И.С.Смирнов. Многослойные углеродные структуры, полученные методами ионно-плазменного осаждения. :Труды IX межнационального Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 28июня- 3 июля 1999 г, М.:НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1999, с.261-267.

26.А.М.Баранов, В.Л.Залесский, П.Е.Кондрашов, Е.Г.Новоселова, В.П.Петухов. Стабильность углеродных рентгеновских зеркал в условиях облучения и высоких температур: Труды IX межнационального Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 28июня- 3 июля 1999 г, М.: НИИ ПМТ при МГИЭМ, 1999, с.268-277.

27.V.Arkadiev, A.Baranov, A.Erko, P.Kondrashov, N.Langhoff, E.Novoselova, I.Smirnov, M.Veldkamp,I.Packe. Carbon/carbon multilayers for synchrotron radiation . Proc.SPIE X-Ray Optics, Design, Performance and Applications, 20-21 July 1999, Denver, Colorado, v. 3773, pp. 122-127.

28.А.М.Баранов П.Е.Кондрашов, Монахов И.С., Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов. Метод in-situ рентгеновской рефлектометрии для контроля параметров поверхностных слоев : Труды X межнационального Совещания Радиационная физика твердого тела, Севастополь, 3-8 июля 2000 г.,М: НИИ ПМТ, 2000, с.406-410.

29.Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов, М.Л.Шупегин. Анализ поверхностного рельефа, формирующегося при ионном травлении пленок хрома.: Тезисы докладов III Национальной конференции по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Москва, ИКАН, 2001 г., с. 270.

30.В.В.Арсланов, В.В. Беляев, Т.В.Букреева, О.В.Коновалов, И.В.Мягков, Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов, Л.А.Фейгин. Получение пленок Лэнгмюра-Блоджетт из солей стеариновой кислоты с различными металлами в соседних бислоях. : Тезисы докладов III Национальной конференции по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов, Москва, ИКАН, 2001 г., с. 197.

31.В.Л.Эалесский , Е.Г.Новоселова , И.С.Смирнов , М.Л. Шупегин. "Рентгенорефлектометрическое исследование пленок хрома при ионном травлении" : Труды XI межнационального совещания "Радиационная физика твердого тела", М.:НИИ ПМТ, 2001 г., с.445-450.

1. V.Holy, U.Pietsch, T.Baumbach. X-Ray Scattering from Thin Films // Springer Tracts in Modern Physics, v. 149. - Springer, Berlin, 1998.

2. В.И.Трофимов, В.А.Осадченко. Рост и морфология тонких пленок. -М.:Энергоатомиздат, 1993, 272 с.

3. B.B.Mandelbrot. The fractal geometry of nature. W.H.Freeman, N.York, 1982 -254 p.

4. В.В.Зосимов, Л.М.Лямшев. Фракталы в волновых процессах. // Успехи физ.наук, 1995, т.165, №4, с.361-401

5. M.Lutt, J.P.Schlomka, M.Tolan, J.Stettner et al. Kardar-Parisi-Zhang growth of amorphous silicon on Si/Si02. Phys.Rev.B, 1997, v.56, N7, p.4085-4091.

6. M.F.Toney, S.Brennan. Measurements of carbon thin films using x-ray reflectivity. J.Appl.Phys, 1989, v.66, N4, p. 1861-1863.

7. C.Thompson, G.Palasantras, Y.P.Feng, S.K.Sinha, J.Krim. X-ray reflectivity study of the growth kinetics of vapor-deposited silver films. Phys.Rev.B, 1994,v.49, N7, pp.4902-4907

8. R.Chiarello, V.Panella, J.Krim, C.Tompson, X-ray reflectivity and adsorption isoterm study of fractal scaling in vapor-deposited films, Phys.Rev.Lett., 1991, v.67,No.24,p.3408-3411.

9. M.Tolan. X-ray scattering from soft matter thin films. Material science and basic research. Springer tracts in modern physics. Springer-Verlag, Berlin, v. 148, march 1999.

10. G.Palasantras, J.Krim. Effect of the form of the height-height correlation function on diffuse x-ray scattering from a self-affme surface. Phys.Rev.B, 1993, v.48, N5, pp.2873-2877.

11. J.Krim, G.Palasantzas, Experimental observations of self-affme scaling and kinetic roughening at sub-micron length scales, Int.J.Mod.Phys. B, 1995, v.9, No.6, P 599-632.

12. W.Press, M.Tolan, J.Stettner, O.H.Seeck, J.P.Schlomka, V.Nitz, L.Schwalowsky, P Muller-Buschbaum, D.Bahr, Roughness of surfaces and interfaces, Physica B, 1996, v.221. No. 1-4, p. 1-9.

13. И.В.Дунин-Барковский, А.И.Карташева. Измерение и анализ шероховатости, волностности и некруглости поверхности-М.Машиностроение: 1978, 320с.

14. Guenther К.Н., Wierer P.G. Surface roughness measurements of low-scatter mirrors and roughness standards. Appl.Opt.,1984, v.23, p.3820-3836.

15. Х.Е.Беннет, Дж.М.Беннет. //Физика тонких пленок, т.4. М.:Мир, 1979, 390 с.

16. W.B.Ribbens. Interferometric surface roughness measurement. Appl.Opt., 1969, v.8, p.2173-2179.

17. Eastman J.M. Measurement of the microtopography of optical surface using scanning fizeau interferometer. J.Opt.Soc.Amer.,1974, v.64, p. 1369-1380.

18. G.E. Sommargren. Optical heterodyne profilometer. Appl.Opt., 198l,v.20, p.610-615.

19. M.Huppauff, B.Lengeler. Surface analysis of floatglass by means of x-ray absorption, reflection and fluorescence analysis. J.Appl.Phys., 1994, v.75, N2, pp.785791.

20. I.W.Hamley, J.S.Pedersen. Analysis of neutron and X-ray reflectivity data. I. Theory. J.Appl. Cryst., 1994, v.27, pp.29-35.

21. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела. Пер. с англ. под ред.В.М.Аграновича. М.:Наука, 1985.

22. И.А.Брытов, А.Я.Грудский. Аппаратура и методы измерения шероховатости "сверхгладких" поверхностей. Измерения, контроль, автоматизация, 1983, №4, с.3-12.

23. Silva J.R., Orazio F.D. Scatter evaluation of supersmooth surfaces. Proc.Soc.Photo-Opt. Instrum. Eng., 1983, v.384, p.2-11.

24. Зеркальная рентгеновская оптика/ под ред. А.В.Виноградова. JI. Машиностроение, 1989, 463 с.

25. R.DeJule. Advances in Thin Film measurement. Semiconductor International, may 1998, pp. 52-58

26. А.Мишетт, Оптика мягкого рентгеновского излучения. М.: Мир 1989, 351с.

27. Л.К.Израилева, И.Б.Боровский. Исследование формул Френеля в рентгеновской области. Изв. АН СССР. Сер.физич. 1972, т.36, №2, с.438-450.

28. М.Борн, Э.Вольф, Основы оптики, М.: Наука, 1970.

29. L.G.Parrat, Surface studies of solids by total reflection of x-rays // Phys.Rev., 1954, v.95,N2, p.359-369.

30. D.K.G.de Boer, Influence of the roughness profile on the specular reflectivity of x-rays and neutrons, Phys.Rev. B, 1994, v.49, No.9, p.5817-5820.

31. D.K.G.de Boer, X-ray reflection and transmission by rough surfaces, Phys.Rev. B, 1995,v.51,p.5297-5305.

32. L.Nevot, P.Croce, Caracterisation des surfaces par reflexion rasantes de rayons X. Application a l'etude du polissage de quelques verres silicates//Rev.Phys.AppL, 1980, v.15, p.761-779.

33. R.Pynn, Neutron scattering by rough surfaces at grazing incidence, Phys.Rev.B, 1992,v.45,No.2,p.602-612

34. B.Vidal, P.Vincent. Metallic multilayers for x-ray using classical thin-film theory Appl.Opt., 1984, v.23, pp.l794-1801

35. D.K.G.de Boer, A.J.G.Leenaers, Probing interface roughness by X-ray scattering, PhysicaB, 1996, v.221,1-4, p. 18-26.

36. Y.Yoneda, Anomalous surface reflection of X-rays, Phys. Rev., 1963, v.131,p.2010-2013.

37. M.Rauscher, T.Salditt, H.Spohn, Small-angle x-ray scattering under grazing incidence: The cross section in the distorted-wave approximation, Phys.Rev.B, 1995, v.52, No.23, p.16855-16863.

38. S.K.Sinha, X-ray diffuse scattering as a probe for thin film and interface structure, J. de Phys. Ш (France), 1994, v.4, No.9, p.1543-1557.

39. S.K.Sinha, Surface roughness by X-ray and neutron scattering methods, Acta phys. Polon, 1996, v.89, N2, p.219-234.

40. D.K.G.de Boer, A.J.G.Leenaers, W.W. van den Hoogenhof, Influence of roughness profile on reflectivity and angle-dependent x-ray fluorescence, J.Phys III France., 1994, v.4, No.9, p. 1559-1564.

41. W.W.V.D.Hoogenhof, D.G.K.de Boer, GIXA, a novel technique in near surface analysis, Mater.Sci.Forum, 1994, v.143-147, pt.3, p.1331-1335.

42. D.E.Savage, J.Kleiner, N.Schimke, Y.-H.Phang, T.Jankowski, J.Jacobs, R.Cariotis, M.G.Lagally. Determination of roughness correlations in multilayer films for x-ray mirrors. J.Appl.Phys., 1991, v.69, N3, pp.1411-1424.

43. W.Weber, B.Lengeler. Diffuse scattering of hard x rays from rough surfaces. Phys.Rev.B, 1992,v.46 N11, pp.7953-7956.

44. M.Wormington, I.Pape,T.P.A.Hase, B.K.Tanner, D.K.Bowen. Evidence for grading at polished surfaces from grazing-incidence X-ray scattering. Phil.Mag.Lett., 1996,v.74,N3, p.213-216

45. V.Holy, T.Baumbach, Nonspecular X-ray reflection from rough multilayers, Phys. Rev. B, 1994, v.49, p. 10668-10676.

46. V.Holy, Diffuse X-ray scattering from non-ideal periodical crystalline multilayers, Appl. Phys. A, 1994, v.58, No.3, p.173-180.

47. T.Salditt, T.H.Metzger, Ch.Brandt, U.Klemradt, J.Peisl., Determination of the static scaling exponent ofs elf-affine interfaces by nonspecular x-ray scattering, Phys.Rev. B, 1995, v.51, No.9, p.5617-5627.

48. A.V.Andreev, Theory of X-ray scattering by rough surfaces without distorted wave approximation, Phys.Lett. A, 1996, v.219, No.5-6. p.349-354.

49. Андреев, Симметрийные свойства полей, отраженных шероховатыми поверхностями, ЖЭТФ, 1996, Т. 110, N. 6, С. 2111-2126.

50. V.E.Asadchikov, A.Duparre, S.Jacobs, I.V.Kozhevnikov, et al. Comparative study of the roughness of optical surfaces and thin films using atomic force microscopy, x-ray scattering and light scattering methods. Applied Optics, 1999, v.38,N4, pp.684-692.

51. В.В.Протопопов, К.А.Валиев, Р.М.Имамов. Прибор для оперативного контроля шероховатости сверхгладких поверхностей больших размеров методом рентгеновского сканирования. -Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2000, т.66, №1, с.32-37

52. В.В.Протопопов, К.А.Валиев, Р.М.Имамов. Сравнительные измерения шероховатости подложек рентгеновских зеркал методами рентгеновской рефлектометрии и сканирующей зондовой микроскопии. Кристаллография, 1997, №4, с.747-754.

53. Н.В.Востоков, С.В.Гапонов, В.Л.Миронов и др. Поверхность, 2001, №1, с.38

54. М.С.Бибишкин, С.Ю.Зуев, Н.Н.Салащенко, Н.И.Чхало. Определение микрошероховатости поверхностей с помощью мягкого рентгеновского излучения. Материалы совещания "Рентгеновская оптика -2002". Н.Новгород: Ин-т физики микроструктур РАН, 2002, с. 186-188.

55. Г.Пааш, М.Хитшольд. Достижения электронной теории металлов. Под ред Цише П.М. М.:Мир, 1984, т.2, 466 с.

56. Н.Лэнг. Теория неоднородного электронного газа. Под ред. Лундквиста С., МаргаН. М.:Мир, 1987, с. 117

57. Л.А.Смирнов, Т.Д.Сотникова, Б.С.Анохин. О полном внешнем отражении рентгеновских лучей от шероховатой поверхности. Оптика и спектроскопия, 1979, т.46, с.593-596.

58. N.Gilev, V.E.Asadchikov, A.Duparre, N.A.Havronin, I.V.Kozhevnikov, Yu.S.Krivonosov et al. X-ray investigations of a near surface layer of metal samples. Proc. SPIE, 2000, v.4099, pp.279-289.

59. M.J.Capitan, D.Thiaudiere, L.Goirand, R.Taffut, S.Lequien. The ID01 beamline at the E.S.R.F.: the diffuse scattering technique applied to surface and interface studies. Physica B, 2000, v.283, pp.256-261.

60. Б.М.Алаудинов, И.А.Артюков, В.Е.Асадчиков, А.Ю.Карабеков, И.В.Кожевников. Об оптической модели поверхности в рентгеновском диапазоне. Кристаллография, 1994, т.39, №4, с.605-616.

61. A.Artioukov, V.E.Asadchikov, I.V.Kozhevnikov. Effects of a near-surface transition layer on X-ray reflection and scattering. J. of X-Ray Science and Technology, 1996, v.6, pp.223-243

62. W.Press, M.Tolan, J.Stettner, O.H.Seeck, J.P.Schlomka, V.Nitz, L.Schwalowsky, P Muller-Buschbaum, D.Bahr, Roughness of surfaces and interfaces, Physica B, 1996, v.221.No. 1-4, P- 1-9.

63. S.K.Sinha, Y.P.Feng, C.F.Metendres, D.D.Lee, T.P.Russel, S.K.Satija et al. Off-specular X-ray studies of the morphology of thin films. Physica A, 1996, v.231, pp.99-110.

64. Z.Cai, K.Huang, P.A.Montano, T.P.Russel, J.M.Bai, G.W.Zajac. Experimental study of the surface structure of diblock copolymer films using microscopy and x-ray scattering. J.Chem.Phys. 1993, v.98, N3, pp.2376-2386.

65. W.Wu. Off-specular reflection from flat interfaces. J.Chem.phys., 1994, v. 101, N5, pp.4198-4204.

66. P.Kosmol. Methoden zur numerishen Behandlung nichtlinearer Gleichungen und Optimierungsaufgaben.- BG Teubner Studienbucher, Stuttgart, 1989.

67. W.E.Wallace, W.L.Wu. A novel method for determining thin film density by energy-dispersive x-ray reflectivity. Appl.Phys.Lett., 1995, v.67, N9, p.1203-1205.

68. М.Херман Полупроводниковые сверхрешетки. М:Мир, 1989, 238 с.

69. M.Manciu, L.Dudas,C.Surgers, R.Manaila. Structural parameters of multilayers from X-ray reflectivity: an easy-to-handle approach. J.Appl.Cryst., 1995, v.28, pp.160-167.

70. M.Manciu, P.Kordos, H.Hartdegen, R.Manaila. Structural parameters of multilayers as deduced from x-ray specular reflectivity: effect of statistical thickness fluctuations. J.Appl.Cryst., 1996, v.29, pp.632-637

71. N.F.Berk, C.F.Majkrzak. Using parametric В splines to fit specular reflectivities. Phys. Rev. B, 1995, v.51, N17, pp.11296-11309.

72. P.Schlomka, M.Tolan, L.Schwalowsky, O.H.Seeck, J.Stettner, W.Press, X-ray diffraction from Si/Ge layers: diffuse scattering in the region of total external reflection, Phys.Rev.B, 1995, v.51. N 4. p.2311 -2321.

73. M.J.Bedzyk, G.M.Bommarito, J.S.Schildkraut. X-ray tsanding waves at a reflecting mirror surface. Phys.Rev.Lett.,1989, v.62, N12, pp. 1376-1379.

74. J.H.Underwood and T.W.Barbee, Layered synthetic microstryctures as Bragg dif-fractors for x-ray and extreme ultraviolet: Theory and predicted performance, Appl. Opt, 20, 3027-3034, 1981.

75. А.М.Баранов, П.Е.Кондрашов, Е.Г.Новоселова, И.С.Смирнов, Возможность применения многослойных углеродных структур в качестве высокоотра-жающих, селективных зеркал //Письма в ЖТФ 1996, № 4, с. 815.

76. A.M.Baranov, P.E.Kondrashov, E.G.Novoselova, I.S.Smirnov Non-classical multilayer periodic structures based on DLC films // Diamond and related matrerials, v.5, 1996, p.448-452

77. Н.Н.Салащенко, Ю.Я.Платонов, С.Ю.Зуев. Многослойная оптика мягкого рентгеновского диапазона. Поверхность, 1995, №10, с.5-20.

78. Рентгеновская оптика и микроскопия, под ред. Г.Шмаля, Д.Рудольфа, М.:Мир, 1987,463с.

79. И.А.Артюков, А.В.Виноградов, В.В.Кондратенко, А.И.Федоренко, С.А.Юлин. Эксперименты по получению изображений субмикронных структур в мягких рентгеновских лучах. Микроэлектроника, 1996, т.25, №1, с.54-59

80. A.Gibaud G.Vignaud, S.K.Sinha. The correction of geometrical factors in the analysis of x-ray reflectivity. Acta Cryst.A, 1993, v.49, pp.642-648.

81. О.В.Коновалов, Л.А.Фейгин, Б.М.Щедрин. Учет приборных искажений при моделировании структуры пленок Лэнгмюра-Блоджетт по рефлектометриче-ским данным. Кристаллография, 1996, т.41, №4, с.629-634.

82. A.Segmuller. Observation of x-ray interferences on thin films of amorphous silicon. Thin solid films, 1973, v. 18, pp.287-294.

83. M.A. Блохин, И.Г.Швейцер. Рентгеноспектральный справочник.М.:Наука, 1982, 374 с.

84. О.В.Коновалов, Л.А.Фейгин, Б.М.Щедрин. Статистическая оценка точности определения параметров структуры по данным рентгеновской и нейтронной рефлектометрии. Кристаллография, 1996, т.41, №4, с.640-643.

85. R.Stommer, H.Gobel, A.R.Martin, W.Hub, U.Pietsch. X-ray scattering from silicon surfaces. Semiconductor international, may 1988, pp.81-88.

86. А.В.Балаков. Алмазоподобные углеродные покрытия: проблемы и достижения. ОМР, 1989, №6, с.48-56

87. The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon, ed. J.D. Joannopoulos , G.Lucovsky, Springer, 1984.