Исследование рассеяния света и определение статистических характеристик нерегулярностей планарных оптических волноводов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.03 ВАК РФ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО НАРОДНОМУ ОБРАЗОВАНИЮ

ОРДЕНА ДРУЖБЫ НАРОДОВ УНИВЕРСИТЕТ ДРУЖБЫ НАРОДОВ имени ПЛТРИСА ЛУМУМБЫ

На правах рукописи ЕГОРОВ Александр Алексеевич

УДК 519.64 : 531.715.27(083.8) : 535.3S.004.14 : 621.372

ИССЛЕДОВАНИЕ РАССЕЯНИЯ СВЕТА И ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТАТИСТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК НЕРЕГУЛЯРНОСТЕИ ПЛАНАРНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВОЛКОВОДОО

(01.04.03 — радиофизика)

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

МОСКВА 1992

Работа выполнена на кафедре радиофизики ордена Дружбы народов Университета имени Патриса Лумумбы.

Научный руководитель — кандидат физико-математических наук, доцент Черемискин И. Б.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук Золотов Е. М., кандидат физико-математических наук Курдюмов О. А.

Ведущая организация — Научно-производственное объединение «Оптика».

Защита щ^сссртации состоится « Г8> . .01.....

1992 г. в « /5 часов на заседании специализированного совета К 053.22.01 в Университете дружбы народов имени Патриса Лумумбы по адресу: 117923, Москва, ул. Орджоникидзе, 3, ауд. 7 •

С диссертацеий можно ознакомиться в научной библиотеке Университета дружбы народов им. Патриса Лумумбы по адресу: 117198, Москва, ул. Миклухо-Маклая, 6.

Автореферат разослан « №•> . . . О,/. . . . 1992 г.

Ученый секретарь специализированного совета —

Ю. И. Запорованный

I. 0Щ>а'ХЛР/АТ±РИЖШ1 РЛБиШ

• , Актуальность темы диссертации. Исследования в интегральной оптике, связанные с различными аспектами рассеяния света на статистических нерегулярностях планарных тонкоплёночных (ТВ) и тонкослойных жидкостных (Ш$) волноводов (ИЗ), находят всё большее применение в прикладных областях. С одной стороны, теоретическое и экспериментальное исследование механизмов рассеяния света в Ш позволяет усовершенствовать технологические процессы изготовления Ш, создаваемых на их основе оптических интегральных схем (иШ), разрабатывать рекомендации по подбору перспективных для интегральной оптики материалов', в том числе и с точки зрения низких собственных потерь.как на рассеяние, так и на поглощение. С другой стороны, результаты этих комплексных исследований позволили разработать новые методы определения статистических характеристик нерегулярностей -ПВ: функции спектральной плотности нерегулярностей, среднеквадратичного отклонения нерегулярностей от среднего, интервалов корреляции и соответствующих им характерных пространственных периодов нерегулярностей. Решение этих задач имеет как теоретическое, так и прикладное значение, например, в опто-электронике, оптико-механической промышленности, лазерной технике, интегральной(пленарной)оптике, отраслях, связанных с контролем качества обработки оптических поверхностей и других: В последние годы ОИС всё шире используются в области волоконно-оптических систем передачи и системах оптической обработки сигналов. В связи с этим возросли требования, предъявляемые к Ой},- а следовательно, и к Ш, по такому параметру, как оптические потери мощности сигналов из-за рассеяния на нерегулярностях структур ОЖ, нередко определяющих работоспособность и конкурентность О НС.

Известно, что потери в Ш обусловлены в-основном двумя механизмами: поглощением и рассеянием в волноводе.

Потери, обусловленные поглощением, могут оказаться значительными в Ш и 1лй, выполненных на основе полупроводниковых или других материалов поглощающих на рабочей длине волны лазерного источника света, иод рассеянием понимают

переизлучение оптической мощности лазерного излучения падающей волноводной моды в другие волноводные и излучательные моды. Рассеяние света в Ш обусловлено двумя типами нерегу-лярностей: неровностями границ раздела сред, образующих волновод, и неоднородностями показателя преломления.

В трёхслойном ТВ с плоской верхней границей плёнка-воздух, низкими потерями на рассеяние на неоднородности* показателя цредомления и незначительном поглощением потери мощности падающей моды обусловлены преимущественно рассеянием света на шероховатостях границы раздела плёнка-подложка (для 1лШ: ашдкасть-подлокка). Это означает, что при указанных условиях потери определяются качеством (классом чистоты) обработки поверхности подложки и, решив электродинамическую задачу (ШР), можно установить соответствие между характеристиками рассеяния света.в Ш и качеством обработки поверхности его подложки. Соответственно, решение обратной задачи рассеяния света (.иЗР) в нерегулярном Ш позволяет определить статистические характеристики шероховатости исследуемой .поверхности.

Исследования и разработки в этой области,несомненно важны и актуальны.

Цель настоящей заботы - теоретическое и экспериментальное исследование рассеяния света в Ш со статистически.«! (случайными) нерегуллрностями, развитие методов измерения характеристик и-параметров излучения, рассеяного в нерегулярном- ПВ. Разработка^методов определения статистических характеристик шероховатости оптических полированных поверхностей, демонстрация измерений излучения, рассеянного на трёхмерных статистических нерегулдрностях ДВ, разработка макета прибора для измерения.статистических характеристик . шероховатости оптической поверхности, и методики проведения всего комплекса измерений и вычислений, важных для практики.

Научная новизна. В настощей диссертации получены следующие новые результаты:

I. Развита теория рассеяния света в Ш с трёхмерными случайными нерегулярностями для случая малых углов откло-

-г-

нения от плоскости падения. Получены формулы, позволяющие, рассчитать диаграмму направленности (ДН), коэффициент затухания и другие параметры рассеянного излучения в зависимости от характеристик нерегулярностей и параметров Ш (прямая задача рассеяния (ШР)).

2. Методами численного анализа на сВМ проведены вычисления основных зависимостей рассеянного излучения в ЛВ: относительных потерь мощности, диаграмм направленности и других параметров рассеяния для наиболее часто встречающихся в теории случайных процессов видов спектров.

3. Установлено, что с точки зрения решения прямой задачи наиболее оптимальной является область значений коэффициента замедления, лежащая вблизи максимума потерь мощности

на рассеяние в области одномодового режима работы Ш. В пределах этой области характеристики рассеянного излучения могут быть наиболее просто измерены и оказываются максимально информативными.

4. Проведены измерения излучения, рассеянного на шероховатой поверхности подложки в одноыодовых Ш. Анализ экспериментальных результатов показал ряд преимуществ ИШ перед ТВ

с точки зрения оперативности измерения статистических характеристик нерегулярностей Щ. Цродемонстрйрована возможность высокоточного определения статистических характеристик шероховатости поверхности волноводным методом.

5. Сформулирована линейная обратная задача рассеяния (ОЗР) света на статистических нерегулярносгях Ш. Доказаны единственность и корректность (устойчивость) предложенного решения ОБР относительно функции спектральной плотности

■ (ФСП) и соответствующей автокорреляционной функции (№) неровностей границ раздела Ш в классе целых функций экспоненциального типа.

6. Предложены-новые экспериментальные методы исследо-. вания рассеяния и определения статистических характеристик

нерегулярностей iiB.

7. Разработан макет прибора для измерения статистических характеристик шероховатости оптической поверхности.

Результаты проведенных исследований положены в основу Технического задания на разработку опытного образца прибора рдя определения статистических характеристик шероховатости поверхности. .

Достоверность полученных результатов. Достоверность по-, лученных теоретических результатов обусловлена строгостью использования выбранных физико-математических методов анализа и обоснованностью сделанных при этом физических предположений. Достоверность экспериментальных' исследований обеспечивалась их тщательным исполнением, проведением измерений с помощью аппаратуры с известной погрешностью, оценкой возможных ошибок и сопоставлением полученных результатов с результатами аналогичных (независимых') измерений, имеющимися в научно-технической литературе.

Научная и практическая ценность работы. Результаты, полученные, в диссертации, могут быть использованы: при исследовании рассеяния света в нерегулярных Ш и создаваемых на их основе СШЗ; для нахождения статистических характеристик 'нерегулярноетей Ш, и, в-частности, для определения качества обработки оптических поверхностей в опто-электроника,микроэлектронике , оптико-механической промышленности и др.областях на^ки и "техники.. •

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на: Всесоюзной научно-технической конференции "¿проектирование радиоэлектронных устройств на диэлектрических волноводазс и резонаторах" (Тбилиси, 1988), Всесоюзной научно-технической конференции "Оптический, ра— диоволновой и тепловой методы неразрушащего контроля" . (Могилёв, 1989), Научно-технической конференции "Оптическая коммутация и оптические сети связи" (Суздаль, 1990)_, ¿-ой Научно-технической конференции "Оптические сети связи" (Владимир,1991), 1,Ш-й конференциях Научно-учебного центра физико-химических методов исследований УДН'(Москва,Х9ЬЬ,Я 1990), научных конференциях факультета физ.-ыат. и естественных наук о'Дц, научных конференциях молодых учёных УДН (моеква, 1988-1991) и на научных:семинарах кафедры радиофизики УДН. ■•'.•''.'"

Л

публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 9 научных работах. Получено 3 авторских свидетельства на изобретения (СССР). Макет прибора демонстрировался на тематической выставке "Достижения учёных высшей школы в ■НИР в области лазерной техники" ("Лазеры и жизнь") (Москва, ВДНХ СССР, 1989) и награждён серебряной медалью ВДНХ СССР. Список основных публикаций приведён в конце автореферата.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, четырёх глав, заключения и списка цитированной литературы. Содержит 15/. страниц машинописного текста, 30 рисунков и £ фотографии. Список литературы состоит из 255 наименований.

а. КРА1ШЁ содтальш дихлртацш

Во введении показана актуальность и важность темы, формулируются основные цели работы. Дано краткое содержание диссертации, показана научная новизна и практическая ценность работы, перечислены основные положения и результаты, выносимые на защиту.

В первой главе приводится аналитический обзор научно-технической литературы, затрагивающий тему диссертации.

Рассмотрены методы измерения характеристик шероховатости оптических поверхностей: оптическая'и электронная микроскопия, механическая профилометрия, методы однократного рассеяния света, оптическая профилометрия и туннельная сканирующая вакуумная микроскопия. Особое внимание уделено методам, использующим рассеяние света в планарных волноводах с целью определения статистических характеристик нерегуляр-ностей ¿В: шероховатостей границ раздела и неоднородностей волноводных слоев. Доведено сравнение методов. Отмечается перспективность развития и практической реализации методов, использующих волноводное рассеяние света. Наряду с высокой чувствительностью они сохраняют преимущества оптических методов, основанных на однократном рассеянии света на исследуемой поверхности: позволяют проводить неразрушающий контроль качества обработки поверхности и получать статистичес-

кую информацию со сравнительно большой площади поверхности за одно измерение. Отмечено, что метод волноводного рассеяния света даёт возможность в 100-1000 раз повысить чувствительность измерений по сравнению с методами однократного рассеяния света на открытой шероховатой поверхности.

Во второй главе рассмотрена задача о рассеянии падающей основной Т£-шды в одномодовом пленарном волноводе, содержащем малые трёхмерные случайные, нерегулярности (прямая за- . дача рассеяния). Показано, что в пределах малых углов отк- . лонения от плоскости падения U> интенсивность рассеянного света в первом приближении не зависит от сО и поле остаёт- -ся практически поляризованным. Это позволило представить решение волнового уравнения для Ш с малыми трёхмерными нерегу-лярностями в виде произведения двух двухмерных решений: первое из которых определяет интенсивность рассеянного света в зависимости от угла рассеяния в в плоскости падения и второе - от угла отклонения от плоскости падения o¿ . В плоскости падения решение получено методом поперечных сечений в первом приближении теории возмущений, во втором - использована задача о дифракции на щели в непрозрачном экране. Дри этом полагалось, что в .плоскости щели в направлении, поперечном к плоскости падения, расположены источники излучения в соответствии с распределением спектральной плотности рассеивающих .нерегулярностей ЦБ. Шлучены формулы для поля и мощности рассеянного света в дальней зоне для специально выбранных .экспериментальных условий, соответствующих малым углам отклонения от плоскости падения. ■

Исследовано влияние вида функции спектральной плотности шероховатой поверхности подложки и параметров Ш на характеристики рассеянного излучения: диаграмму направленности (да) рассеянного излучения; отношение мощностей, рассеянных назад/вперед; угол отклонения главного максимума ДН от направления .распространения волноводной моды; ширину главногр лепестка ДН и др. Вычисления проведены на ЭВМ (М4030 и СМ-4) для трёх типов 1¡B: тонкослойного симметричного жидкостного волновода (стекло К-8-ашшш-тстекло К-8), тонкоплёночного волновода из полистирола на стекле К-6 и ТВ из полистирола

-б"

.на кварце. Эти зависимости получены для функций спектральной плотности типа лоренцевской, гауссовской, ограниченного прямоугольного спектра и "белого шума". Установлено, что интегральная зависимость относительных потерь мощности на рассеяние от коэффициента замедления имеет выраженный максимум при некотором коэффициенте замедления основной ^Щ-ыоч.ы. В окрестности максимума измерение параметров рассеяния и коэффициента . затухания можно проводить с менее чувствительной - аппаратурой ввиду большой величины рассеиваемой мощности. .Положение максимума не зависит от вида 2СП и слабо зависит от величины заданного интервала корреляции, и определяется значением коэффициента замедления, совпадающим с точкой перегиба на дисперсионных зависимостях данного БВ.

Зависимость относительных потерь мощности на рассеяние от. интервала корреляции имеет максимум при значениях интервала корреляции близких к величине длины волны падающего излучения. Величина потерь слабо зависит от вида ФСЛ слева от максимума. Справа от максимума, при значениях интервала корреляции больших длины волны излучения, значения потерь для различных ФСД различны, ввиду-различного поведения спектров' с ростом интервала корреляции в области подложно-покровных мод излучения. * .

Общий анализ ДН показал, что они имеют: изрезанный интерференционными эффектами характер -в области подложко-покро-вных мод; резко выраженный максимум вперед в подложку при больших интервалах корреляции шероховатостей; в области воздушных мод излучения, где интерференция слабо сказывается, форму лепестка, характерную для изотропного точечного диполь-ного излучателя, без особенностей. При заданном коэффициенте замедления основной П^-моды, изменение коэффициента корреляции в диапазоне величин от 0,03 до 10 мкм приводит к смещению положения главного максимума ДН примерно с. 30° до 1°. фи меньших значениях интервала корреляции ДН для различных $СП идентичны и совпадают с ДН для "белого шума".

Установлено, что с точки зрения решения ШР наиболее оптимальной является область значений коэффициента замедле-

■ -ч- .

ния, лежащая вблизи максимума потерь мощности на рассеяние в области одномодового режима работы Ш. В этой области характеристики рассеянного излучения могут быть измерены наиболее просто и оказываются максимально информативными;

В третьей главе диссертации исследована линейная обратная задача рассеяния света на статистических нерегулярностях ИВ. ¡предложена её формулировка: по измеренной в дальней зоне ДН рассеянной мощности направляемой моды определить вид функции спектральной плотности и соответствующей автокорреляционной функции статистических нерегулярностей 1В, а также найти характерные величины среднеквадратичного отклонения от среднего и интервала корреляции нерегулярностей". Доказаны единственность и корректность предложенного решения ОЗР в классе целых функций экспоненциального типа. Ори • решении задачи был использован переход от традиционней полевой трактовки 03? к мощтостной. Линейность задачи понимается в смысле линейной связи рассеянной мощности и ФСП. На ДН накладываются ограничения - это действительная функция, действительной переменной, непрерывная на заданном отрезке оси волновых чисел, однозначная. Участок Ш, где происходит рассеяние падающей моды, считается ограниченным. При этих условиях, получаемая в результате решения ОЗР ФСД будет целой функцией экспоненциального типа, т.е. аналитической на всей комплексной плоскости волновых чисел. С учётом модели нерегулярностей'это позволило установить основные свойства 4011, позволяющие достаточно полно описать характер поведения спектра нерегулярностей на оси действительных волновых чисел, Получена оценка точности решения ОЗР с частично неточно заданной информацией: заданы, точно только первые Ц коэффициентов ряда Тейлора для 4СД. При N большем 20 среднеквадратичная относительная ошибка аппроксимации рядом Тейлора йСГ^не превышает ошибки метода. Отмечено, что ошибка определения искомого коэффициента ряда при значениях волнового числа, отстоящих на заданную величину от некоторой начальной точки, зависит прямо пропорционально .от точности измерения.величины рассеянной мощности.

Рассмотрены экспериментальные методы измерения основных статистических характеристик и параметров шероховатостей поверхности подложки Ш. Описана конструкция изготовленного макета прибора для измерения статистических характеристик шероховатости оптической поверхности.

Волноводный метод определения статистических характеристик и параметров нерегулдрностей ГВ основан на измерении углового распределения мощности света, рассеянного на нерегуляр-ностях волновода, в плоскости падения. Шлучаеыая ДН обрабатывается с целью получения функции спектральной плотности и автокорреляционной функции нерегулярносхей и определении соответствующих характерных параметров:, среднеквадратичного отклонения нерегулярностей от среднего, интервала корреляции и др.- Экспериментальное распределение спектральной плотности может быть аппроксимирований одним из известных спектров.

шкет прибора предназначен для измерения статистических характеристик шероховатости оптической поверхности, обработанной в соответствии с высшими классами чистоты, в олто-электронике, лазерной технике, интегральной оптике, микроалек-тронике, оптико-механической промышленности и других отраслях, связанных с контролем качества обработки оптических поверхностей. Диапазон измеряемых среднеквадратичных отклонений 1-500 А. Диапазон измеряемых интервалов корреляции 3-10~-, - 2'10^-мкм. Базовая длина измерений I мм. Исследуемые образцы - плоские полированные пластинки размером 2x10 см**. При использовании лазера мощностью 2-10 Вт, фотоприёмника с чувствительностью не хуже 10"^ Вт и разрешающей способности по "характерным пространственным составляющим в спектре шероховатостей 10"^ мкм""^ прибор позволяет измерить среднеквадратичное отклонение шероховатостей от плоскости с минимальным значением II Составлено описание на прибор, разработана методика тестирования с помощью образцовой (контрольной) дифракционной решётки с известными параметрами. Сделаны контрольные измерения. Предложены новые методы избирательного определения потерь, обусловленных объёмными неоднородностями и метод определения характерного периода шероховатостей поверхности подложки в

-д-

На основе полученных результатов подготовлено Техническое задание на разработку опытного образца прибора для измерения статистических характеристик шероховатости поверхности вол-ноьодным методом. ' .

В четвёртой главе приведены результаты измерения стати- ■ стичеоких характеристик и параметров шероховатости поверхности подложки для ряда ■ тонкоплёночных полистироловых волноводов: на подложках из кварцевого стекла и из стекла используемого ' в оптической микроскопии; а также ТЖВ с обрамляющими средами-подлодшами из стекла марки К-Ъ с чистотой обработки примерно 14 класса.

Для серии однотипных по чистоте обработки поверхности кварцевых пластинок установлено, что при лоренцевской аппроксимирующей ¿еСП величина среднеквадратичного отклонения шероховатостей (неровностей) поверхности от плоскости лежит в диапазоне 10-50 д, а интервала корреляции шероховатостей - диапазоне 0,50-1,50 1шм.

Пластинки из стекла К-Ь, обработанные по 14 классу чистоты, при гауссовской аппроксимирующей ФСЛ имеют: среднеквадратичное отклонение - 64 Л, интервал корреляции - 0,15 мкм, среднеквадратичный угол наклона микроучастков шероховатости -12°. Полученное значение среднеквадратичного отклонения соответствует величине высоты неровностей профиля по десяти то- . чкам (ГОСТ 2789-73 (СТСЭВ'638-77), установленной для подобного класса чистоты обработки поверхности.

Абсолютная минимальная погрешность определения среднеквадратичного отклонения - около 1А. Абсолютная минимальная ошибка определения интервала корреляции шероховатостей - не более 0,02 мкы.

Сравнение полученных статистических параметров нерегулярностей с известными из литературы данными для аналогичных образцов показало, что они хорошо согласуются. Величины характерного периода шероховатостей.поверхности и данные, полученные на сканирующем электронном микроскопе для шероховатости поверхности тех же пластинок не противоречат друг другу, ложно отметить, что получаемые значения среднеквадратичного отклонения для образцов с известным классом полировки поверхности соответствуют принятым для них характера-

-¿о-

стикам чистоты обработки.

3. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИСС№ЩШ1ШиЙ РАБОТЫ

В настоящей диссертации получены следующие основные результаты:

1. С помощью теории возмущений при условии малости пирь~ гулярностей получено приближённое решение электродинамической задачи о рассеянии света волноводной моды на трёхмерных нерегулярностях Ш для случая малых углов отклонения от плоскости падения.

2. Методами численного анализа на ЭВМ проведены вычисления основных зависимостей для параметров рассеяния волноводных мод в Ш.

• 3. Сформулирована и решена линейная обратная задача рассеяния света на статистических нерегулярностях в ЦВ. Доказаны единственность и корректность .предложенного решения ОЗР относительно ¡¿СП и ДКЗг неровностей границ раздела 11В в классе целых функций экспоненциального типа. Показано, что условие корректности ограничивает максимальную величину допустимого среднеквадратичного отклонения нерегулярноотей от среднего значения. Установлены свойства стационарной ¿¡¡СП, вытекающие из особенностей корректного решения ОЗР и модели рассматриваемых нерегулярностей.

4. Проведены исследования излучения, рассеянного на нерегулярностях ПВ. Исследован ряд тонкогаёночных и тонкослойных жидкостных волноводов на подложках из кварцевого стекла, сте-нла используемого в оптической микроскопии и стекла марки К-8 с чистотой обработки поверхности примерно 14 класса. Определены: вид аппроксимирующих ¿СП шероховатостей поверхности обра- . зцов, величины среднеквадратичного отклонения шероховатостей поверхности от плоскости, интервала корреляции шероховатостей, характерного периода и среднеквадратичного угла наклона микроучастков шероховатости.

5. Предложены экспериментальные методы определения статистических характеристик и'параметров нерегулярноотей ПВ.

-И-

6. Разработан макет прибора для измерения статистических характеристик шероховатости оптической поверхности. Проведено его тестирование. По результатам проведённых исследований составлено Техническое задание на разработку опытного образца прибора.

7. Проведена оценка точности измерений. Оценка погрешности определения статистических параметров шероховатости показывает, что она может быть не более il для среднеквадратичного отклонения, и - не более 0,02 мкм для интервала корреляции шероховатостей соответственно.

Основные результаты диссертации.опубликованы в следующих • работах:

1. Андлер Г., .Егоров A.A., Черемискин И.В.-Определение параметров шероховатости оптической поверхности по рассеянию в диэлектрическом волноводе // Оптика и спектросколия.-I9d4.-Т.56.-Выл.4.-С.731-735.

2. Кторов A.A., Сиро Ф.Васкес С.де Ф. Методы измерения параметров нерегулярностей оптических волноводов //Ыатер. IO-fi конф.шл.уч.УДН,- 13-19 апреля IS87r. М.-Ч.1.- С. 139-14с.- Деп.в ВИНИТИ 29.12.67.SI5I В-87.

3. Сиро Ф.Васкес С. де 4., Егоров A.A. Исследование рассеяния света для определения статистических характеристик нерегулярностей оптических волноводов // УДН.-iil. ,ISb7.~ 8с.-Деп. в ВИНИТИ 04.0б.Ь7, Р 4024- В87.

4. Егоров A.A., Черешскин И.В. Устройство для определения статистических характеристик нерегулярностей тонкослойных оптических волноводов //Всес.науч.-техн.конф. "Проектирование радиоэлектронных устройств на диэлектрических волноводах и резонаторах" 25-27 октября 1988 г.- Тбилиси: Тез. докл. - Тбилиси,IS&b.- С.382-383.

5. Хуторов A.A., Черемискин И.В. Прибор для измерения статистических характеристик шероховатости оптической поверхности //Проспект ВДНХ СССР,- wl.:УДН,19ъ9.- 4с.

6. Кторов A.A., Сиро Ф. Васкес С. де sB., Черемискин й.В. Теоретическое и экспериментальное исследование механизмов рассеяния СЕета в планарных одноыодовнх полистироловых волноводах //УДН.-ni.,19ь9.-26с.- Деп в ВИНИТИ 19.07.89, К 4767-В-ъ9.

-Л-

7. Егоров A.A., Черемиски» И.В. Экспериментальное определение вида функции корреляции шероховатостей оптической поверхности по рассеянию в тонкоплёночноы (планарном) волноводе // Матер.XII конф.мол.уч. УДИ.- 17-22 апреля 19Ь9. М.- 4.1.- C.I54-I6I.- Деп. в ВИНИТИ 12.07.Ь9., № 461Ь-ВЬ9.

В. Способ определения потерь, обусловленных рассеянием света на объёмных неоднородностях в планарных оптических волноводах. A.c. I5397I3, Ш15<502 В 6/10/ Кторов A.A., Черемискин И.ВУ/Опубл. 30.01.90,- Ешл. №14.- С. 164.

9. Устройство для контроля шероховатости оптической поверхности., A.c. I6I0259, ;,КИ5ф01 В 11/30/ Егоров A.A., Черемискин И.В.//Опубл..30.И.90.-Бюлл. №44.-0.169.

■• 10. Способ определения парат,1етров шероховатости оптической поверхности. A.c.' I62C83I, дКЙ5$01 В II/30/Егоров A.A., Черемискин И.В.// Опубл. 15.01.91.-Бюлл. № 2,- С.116.

11. Сиро ¿6. Васкес С. де Ф., Егоров A.A., Черемискин И.В. К вопросу об определении статистических характеристик нере-гулярностей тонкоплёночных волноводов // Автометрия.- 1991.-

№ 2.- С.51-55.

12. Егоров A.A., Черемискин И.В. Обратная задача рассеяния (Q3P) и нерегулярности планарных оптических волноводов (ЛВ): статистический подход // ХХУП науч.конф. ф-та физико-матем. и естеств. наук 13-1& мая 1991 -М. ,УДН.-Тез. докл.- М.,1991.- С.ЗЗ.