Исследование спектров полного внешнего отражения рентгеновских лучей в дальней области К-краев поглощения тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВВДЕШЕ.

ГЛАВА. I. Литературный обзор

§ 1.1. Дальняя тонкая структура рентгеновских спектров поглощения (ДТСРСП) и ее применение для анализа локальной атомной структуры вещества

§ 1.2. Спектроскопия полного внешнего отражения

ПВО) и брегговсшго отражения рентгеновских лучей.

§ 1.3. Поляризационные эффекты в рентгеновском диапазоне

§ 1.4. Возможности и перспективы применения рентгено-спектральных методик для анализа локальной атомной структуры.

§ 1.5. Обоснование темы диссертации.

ГЛАВА. 2. Методические вопросы спектроскопии тонкой структуры рентгеновского отражения

§ 2.1. Рентгеновский спектрометр и методика измерения энергетических спектров ПВО

§ 2.2. Теоретическое описание тонкой структуры рентгеновских спектров отражения

§ 2.3. Методика обработки спектров тонкой структуры

§ 2.4. Сравнение экспериментальных спектров поглощения и ПВО меди. Возможности спектроскопии ПВО.

ГЛАВА. 3. Экспериментальное исследование спектров тонкой структуры

§ 3.1. Применение спектроскопии ПВО для исследования структуры ионно-имплантированного слоя мышьяка в кремнии

§ 3.2. Спектры тонкой структуры ПВО аморфной пленки селенида мышьяка

§ 3.3. Исследование спектров незеркального отражения в условиях ПВО от монощдосталла германия

§ 3.4. Тонкая структура спектров динамического и кинематического интегрального брегговского отражения.

§ 3.5. 0 рентгеновской поляризационной анизотропии монокристаллов кварца и кремния в отсутствии дифракции и вдали от краев поглощения . III

ЗАШШЕЕИЕ.

Задача исследования атомной структуры, определяющей физико-химические характеристики веществ, занимает важное место в науке и технике. В настоящее время особую актуальность приобретают методы, позволяющие изучать атомную структуру химически сложных и неупорядоченных веществ, дефектных областей кристаллов и поверхностных слоев твердых тел, в том числе при наличии пространственной неоднородности. Одно из новых направлений структурного анализа, предоставляющее определенные возможности для исследования подобных систем, связано с отражением структурной информации в рентгеновских спектрах. Перспективность рентгеноспектральных методик состоит также в их применимости для широкого класса объектов в связи с разнообразием процессов, цроисходящих при поглощении и рассеянии рентгеновских лучей.

Эффект появления тонкой структуры в спектре рентгеновского поглощения, если поглощающий атом находится в конденсированной среде, для дальней области - более 50 эВ от 1фая поглощения -впервые был объяснен в работах Кронига. Дальней тонкой структурой рентгеновских спектров поглощения (ДТСРСП) называют осцилляции коэффициента поглощения в зависимости от энергии квантов рентгеновского излучения со средним периодом порядка 50 эВ и относительной амплитудой до 10 % в области 50 * 2000 эВ выше края поглощения. Нижняя граница отделяет блюжнюю область края поглощения с иным механизмом формирования тонкой структуры, а верхняя - в основном определяется экспериментальным разрешением. Появление ДТСРСП связывается с интерференцией первичной волны фотоэлектрона, испускаемого атомом в процессе фотопоглощения, и волн, рассеянных атомами, окружающими поглощающий атом, в месте его локализации. Таким образом, ДТСРСП несет информацию о структуре атомного окружения поглощающего атома.

В начале 70-х годов интерес к спектроскопии ДТСРСП как возможному методу структурного анализа резко повысился, в чем свою роль сыграло появление практических задач исследования ближнего атомного порядка, а также развитие экспериментальной техники, в особенности расширившееся применение синхротронного излучения (СИ), позволившее получать спектры хорошего качества. Выли созданы спектрометры ДТСРСП для СИ и лабораторных источников излучения, развиты теория, ориентированная на получение структурной информации, и методы получения и обработки спектров, определены границы возможностей нового метода.

Спектроскопия ДТСРСП является методом анализа локальной атомной структуры вещества и позволяет определять координационные числа, межатомные расстояния, факторы Дебая-Валлера атомов, ближайших к атому химического элемента, край поглощения которого исследуется. В отличие от других структурных методов, метод ДТСРСП позволяет проводить анализ атомного окружения избирательно по химическим элементам и работоспособен как в кристалличе^ ских, так и в некристаллических системах. В ряде случаев возможен химический анализ атомного окружения. Большое развитие наря~ ду с традиционной методикой поглощения получили методики, основанные на спектроскопии вторичных процессов фотопоглощения -флуоресценции и выходе электронов, тонкая структура которых про^ порциональна ДТСРСП. Они позволяют проводить исследования при низкой концентрации исследуемого элемента (флуоресценция) и на поверхности (выход оже-электронов).

Использование СИ как мощного источника рентгеновского излучения с непрерывным спектром и развитие метода ДТСРСП вновь привлекло внимание к спектральным исследованиям. Тонкая структура, аналогичная ДТСРСП, была обнаружена и в спектрах рассеяния рентгеновских лучей - полном внешнем отражении и брегговском отражении, которая также может быть использована для целей структурного анализа и содержит тот же объем информации, что и ДТСРСП. По сравнению с методом ДТСРСП эти разновидности спектроскопии, однако, практически не развиты. Центральной здесь является проблема описания тонкой структуры энергетических спектров рассеяния рентгеновских лучей, усугубляемая сложностью самого процесса рассеяния в реальных условиях (неидеальность эдисталлов, поверхности и т.д.). Исследования в данном направлении представляют научный интерес с точки зрения развития теории дисперсии и имеют практическую ценность в плане развития модификаций метода ДТСРСП, расширяющих его возможности и области приложения.

В данной работе энергетические спектры полного внешнего отражения (ПВО) рентгеновских лучей исследуются с точки зрения их применения для анализа локальной атомной структуры в тонких поверхностных слоях. Отправным пунктом исследований является теория и практика спектроскопии ДТСРСП. Преимущественное внимание уделяется вопросам спектроскопии ПВО на реальных неидеальных поверхностях, причем избегается привлечение тех или иных априорных моделей поверхности или рассеяния. Основной материал данной работы связан с экспериментальным исследованием спектров ПВО рентгеновских лучей в дальней области К-краев поглощения, на ряде систем, имеющих практическое значение (эдисталл, поликристалл, аморфное соединение) и в условиях незеркального рассеяния.

Обсуждается вопрос теоретического описания дисперсии атомных факторов рассеяния, для тонкой структуры которых получено рабочее приближение, приемлемое в области ДТСРСП. Кроме того, исследована тонкая структура энергетических спектров брегговского отражения в модельных вариантах динамической й кинематической дифракции, и поляризационная анизотропия монокристаллов кварца и кремния при прохождении излучения без диффракции, вдали от краев поглощения.

Общая структура работы отражает характер излагаемого материала. В первой главе приведен обзор литературных данных по вопросам, касающимся проблематики диссертации, и сформулированы ее основные задачи. Вторая глава посвящена основным методическим вопросам использования энергетической спектроскопии ПВО рентгеновских лучей для целей анализа локальной атомной структуры вещества в тонких поверхностных слоях. В третьей главе изложены оригинальные результаты по применению и исследованию особенностей спектроскопии ПВО и затронутым вопросам брегговской и поляризационной спектроскопии. В заключении подведены итоги диссертационной работы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В работе проведено теоретическое и экспериментальное исследование тонкой структуры энергетических спектров полного внешнего отражения рентгеновских лучей в дальней области К-краев поглощения ряда элементов. Кроме того, исследована тонкая структура энергетических спектров брегговского отражения в модельных вариантах динамической и кинематической дифракции, и недифракционная поляризационная анизотропия моно1фисталлов кварца и 1фемния вдали от краев поглощения. Полученные результаты состоят в следующем:

1. В рамках теоретического описания дисперсии атомных факторов рассеяния получено рабочее приближение для их тонкой структуры, приемлемое в дальней (более 40 эВ) области рентгеновского края поглощения.

2. Проведен теоретический анализ тонкой структуры в спектрах полного внешнего отражения и брегговского отражения рентгеновских лучей в дальней области краев поглощения и показана возможность ее использования для целей исследования локальной атомной структуры вещества в сверхтонких поверхностных слоях; сделаны оценки величин систематических ошибок приближения.

3. Показана принципиально новая возможность исследования динамики молекул при их колебательном возбуждении методом рентгеновской спектроскопии тонкой структуры поглощения.

4. Экспериментальное исследование тонкой структуры полного внешнего отражения поликристаллической меди и сравнение ее с тонкой структурой поглощения показало справедливость сделанных теоретических оценок.

5. В рамках изучения особенностей полного внешнего отражения на реальных поверхностях исследованы спектры незеркального рассеяния в условиях ПВО от монокристалла герлания. Показано различие областей формирования различных участков углового спектра отражения; в связи с этим открывается возможность спектроскопии ПВО с угловым разрешением - информативна тонкая структура как зеркального отражения, так и рассеяния.

6. Спектроскопия полного внешнего отражения была применена для исследования структуры ионно-имплантированного слоя мышьяка в 1фемнии, что показывает перспективность развиваемого метода в прикладном отношении. Были получены параметры локальной атомной структуры внедренных атомов мышьяка и изучена химическая упорядоченность окружения. Проведенное исследование пленки селе-нида мышьяка демонстрирует возможности и ограничения метода при анализе аморфных систем.

7. Экспериментальное исследование спектров брегговского отражения в моделях динамической и кинематической дифракции показало соответствие их тонкой структуры полученному приближению дисперсии атомных факторов рассеяния. Сделан вывод о применимости спектроскопии брегговского рассеяния для исследования ближнего атомного порядка; обсуждается перспективность метода на примере ряда задач.

8. Измерение поляризационной анизотропии монокристаллов кварца и кремния показало практическое отсутствие рентгеновских поляризационных эффектов, не связанных с дифракцией излучения или с механизмом формирования тонкой структуры рентгеновского поглощения.

Энергетическая спектроскопия полного внешнего отражения рентгеновских лучей, как метод исследования тонких поверхностных слоев, конкурирует с электронными и ионными методиками. Суммируя накопленный опыт работы, включим ее в сравнительную таблицу характеристик различных методов (таблица 15 из [104] ), также, как и в [104) , ориентируясь на наилучшие возможные параметры приборов:

1. Диапазон регистрируемых элементов - от углерода до свинца; наиболее удобны элементы от хрома до ниобия и от йода до свинца.

2. Количественный анализ концентрации элементов - возможен; полуколичественный по величинам скачков на краях поглощения.

3. Минимальная обнаружимая концентрация - порядка 0,1 ат. %.

4. Глубина, с которой поступает информация - от I нм до 100 нм, возможен полуколичественный анализ изменения структуры по глубине.

5. Пространственное разрешение - практически отсутствует.

6. Информация о химических соединениях - ограниченная.

7. Структурная информация - о ближнем порядке в расположении атомов.

8. Анализ органических веществ - возможен.

9. Разрушение образца - практически отсутствует.

10. Анализ диэлектриков - возможен.

В сравнении рентгеноспектральных методик с методами структурного анализа по рассеянию рентгеновских лучей, электронов и нейтронов, проведенном в [13] , отметим их работоспособность как в кристаллических, так и некристаллических веществах, и преимущества при анализе структуры многокомпонентных соединений. Объем получаемой информации, как правило, меньше, особенно в аморфных системах.

В заключение приношу глубокую благодарность научному руководителю, профессору Ю.Л.Климонтовичу и доценту Ю.В.Пономареву за предложенную интересную тему и всестороннюю помощь в работе над диссертацией, заведующему кафедрой общей физики и волновых процессов профессору С.А.Ахманову за постоянное внимание и поддержку при ее выполнении.

Выражаю признательность сотрудникам Института Дцерной физики СОАН СССР Г.Н.Кулипанову и М.А.Шеромову, предоставившим возможность постановки эксперимента на синхротронном излучении, сотрудникам Института Катализа СОАН СССР М.А.Козлову и Д.И.Кочубею за консультации и практическую помощь в работе на экспериментальной аппаратуре.

Считаю приятным долгом поблагодарить Э.К.Ковьева и А.В.Андреева за проявленный интерес к работе, многократные консультации и обсуждения результатов.

1. R. de L.Kronig. Zuy Theorie der Feinstruktur in den Rontgenabsorptionsspektren. - Z. Phys. 70, 317, 1931.

2. R. de L.Kronig. Zur Theorie der Feinstructur in den Rontgenabsorptionsspektren. II. Z. Phys. 75, 191» 1932.

3. А.И.Костарев. Теория тонкой структуры полос поглощения рентгеноспектра твердого тела. ЖЭТФ, П, 60, 1941. А.И.Костарев. Истолкование "сверхтонкой" структуры рентгеновых спектров поглощения твердых тел. - ЖЭТФ, 19, 413, 1949.

4. А.И.Козленков. Теория тонкой структуры рентгеновских спектров поглощения. Изв. АН ССОР, 25, 957, 1961.

5. Е.A.Stem. Theory of the extended X-ray absorption fine structure. Phys. Rev. BIO, 3027, 1974.

6. P.A.Lee, J. B. Pendry. Theory of the extended X-ray absorption fine structure. Phys. Rev. ВЦ, 2795, 1975.

7. C.a.Ashley, s.Doniach. Theory of extended X-ray absorption edge fine structure (exafs) in crystalline solids. Phys. Rev. B11, 1279, 1975.

8. B.B.Tran Thoai, w.Ekardt. Many-particle-effects in the theory of the extended X-ray absorption fine structure. Sol. State Communs. £0, H 3, 269, 1981.

9. P.A.Lee, G.Beni. New method for the calculation of the atomic phase shifts: Application to extended X-ray absorption fine structure (EXAPS) in molecules and crystals. Phys. Rev. BIJj, 2862, 1977.

10. G.Beni, P.m.Platzman. Temperature and polarization dependence of EXAPS spectra. Phys. Rev. B14, 1514, 1975.

11. В.-К.Тео, P.A.Lee. АЪ Intitio Calculations of Amplitude and Phaae Functions for Extended X-ray Absorption Fine Structure Spectroscopy. J. Am. Chem. Soc., 101,, 2815, 1979.

12. P.A.Lee, P.H.Citrin, P.Eisenberger, B.M.Kincaid. Extended X-ray absorption fine structure its strengths and limitations as a structural tool. - Rev. Mod. Phys., 53, Ж 4, 769, 1981

13. Н.Мотт, Г.Месси. Теория атомных столкновений. -М.: "Мир", 1969.

14. S.J.Gurman. Notes on the EXAFS programs at the Daresbury laboratory. Technical memorandum DL/SCI/TM 21T. Daresbury laboratory, 1980.

15. В.В.Шмидт. К теории температурной зависимости тонкой структуры рентгеновских спектров поглощения. Изв. АН СССР, сер. физ., 25, 977, 1961.

16. D.E.Sayers, F.W.Lytle. Point Scattering Theory of X-ray K-Absorption Fine Structure. Advances in X-ray analysis 12, 248, 1970.

17. D.E.Sayers, E.A.Stern, F.W.Lytle. New Thechnique for Investigation lion-crystalline Structures: Fourie Analysis of the Extended X-ray Absorption Fine Structure. Phys. Rev. Lett. 27, 1204, 1971.

18. F.W.Lytle, D.E.Sayers, E.A.Stern. Extended X-ray absorptionfine-structure technique. II. Experimental practice and selected results. Phys. Rev. B11« 4825, 1975.

19. E.A.Stem, D.E.Sayers, F.W.Lytle. Extended X-ray absorption fine-structure technique. III. Determination of physical parameters. Phys. Rev. B11, 4836, 1975.

20. В.Е.Ильин, В.М.Чермашенцев. Алгоритмы и пакет программ для анализа exafs спектров.

21. Курн. структ. химии 23, № I, 148, 1982.

22. В.Е.Ильин, В.М.Чермашенцев, Л.Н.Мазалов. Алгоритмы и пакет программ для анализа exafs спектров. П. Нормировка по поглощению свободных атомов. Ж. структ. хим. 23, № I, 161, 1982.

23. G.Martens, P.Rabe, ÏT.Schwentner, A.Werner. Improved EXAFS studies applied to the investigation of Cu-O, Cu-H, Cu-Br bond lengths. Phys. Rev. B17. 1481, 1978.

24. Г.Н.Кулипанов, А.Н.Скринский. Использование синхротронного излучения состояние и перспективы. I. (Источники излучения). - Препр. ИЯФ СОАН СССР ИЯФ77-П. Новосибирск, 1977.

25. Г.Н.Кулипанов, А.Н.Сщшнский. Использование синхротронного излучения состояние и перспективы. П. (Исследовательские и технологические возможности). - Препр. ИЯФ СОАН СССР ИЯФ77-12. Новосибирск, 1977.

26. А.М.Власов, М.А.Козлов, Г.А.Корнюхин, В.Ф.Пиндюрин,

27. М.А.Шеромов. exafs -спектрометр на СИ. Ж Всес. сов. по прим. рентг. лучей. Тезисы докладов, стр. 215. Черноголовка, 1982.

28. А.Н.Алешаев, С.Д.Белов, Б.В.Левичев, И.Я.Протопопов. Операционная система ЭШ ОДРА для управления электрофизическими установками в ИЯФ СОАН СССР. Препр. ИЯФ СОАН СССР 80-194, Новосибирск, 1980.

29. Ю.А.Бабанов, В.Р.Галахов, Н.В.Ершов, А.И.Мацкевич. Съемка ДТСРСП поглощения на ДР0Н-2,0. ПТЭ, J& 3, I8I-I84, 1981.

30. D.Macovei, P.Pausescu, R.Grigorovici, R.Manâilâ. Improved EXAFS-Function Calculation Procédure for Materials with Small Interatomic Séparation. J. Appl. Cryst. 1J?> 39,1982.

31. Г.С.Нэпп, Х.Чен, Т.Клипперт. Лабораторная установка для анализа далекой тонкой структуры рентгеновского поглощения. ПНИ, В 12, 49, 1978.

32. Г.Г.Коэн, Д.А.Фишер, Н.Ж.Шевчик, Ж.Колберт. Настраиваемый лабораторный спектрометр протяженной тонкой структуры рентгеновского поглощения. ПНИ, tè 3, 3, 1980.

33. А.И.Аверкин, Н.В.Бауск. Универсальная установка для съемки спектров протяженной тонкой структуры рентгеновского поглощения. В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Сб. статей ЛНПО "Буревестник", вып. 29, с. 18. Л.: "Машиностроение", 1983.

34. U.Kaminaga, T.Matsushita, K.Kohra. A Dispersive Method of Measuring Extended X-ray Absorption Fine Structure, Jap. J. Appl. Phys. 20, L355, 1981.

35. P.J.Malozzi, R.E.Schwerzel, H.M.Epstein, B.E.Campbell. Past extended-x-ray-absorption-fine-structure spectroscopy with a laser produced x-ray pulse. Phys. Rev. A23, 824» 1981.

36. A.B.Колпаков, В.А.Бушуев, Р.Н.Кузьмин. Диэлектрическая цроницаемость в рентгеновском диапазоне частот. УФН, 126. 479, 1978.

37. Р.Джеймс. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. М.: ИЛ, 1950.

38. М.А.Елохин. Физика рентгеновских лучей. -М.; Гостехиздат, 1957.

39. M.Hart. The application of sichrotron radiation to x-ray interferometry. Uucl. Instr. Meth. 172, 209, 1980.

40. М.Б.Виноградова, О.В.Руденко, А.П.Сухоруков. Теория волн. -М.: "Наука", 1979.

41. R.Pox, S.J.Gurman. Theoretical calculations of EXAPS data from specular reflectivity. Phys. Chem. Glass. 22, 32, 1981.

42. G.Martens, P.Rabe. The extended x-ray absorption fine structure in the reflectivity at the K-edge of Cu. J. Phys. C: Sol. State Phys. H, 1523, 1981.

43. R.Barchewitz, M.Cremonese-Visicato, G.Onori. X-ray photoabsorption of solids by specular reflection. J. Phys. C: Sol. State Phys. 1^, 4439, 1978.

44. G.Martens, P.Rabe. EXAPS of a thin film of Cu measured by total reflection. Phys. stat. sol. а57» K31, 1980.

45. G.Martens, P.Rabe. EXAPS studies of superficial regions by means of total reflection. Phys. stat. sol. a58, 415, 1980.

46. G.Martens, P.Rabe. The anomalous dispersion of the refractive index and the extended x-ray absorption fine structure at the K-edge of Cu. J. Phys. C: Sol. State Phys. 21»1.13, 1980.

47. R.G.Jones, D.P.Woodruff, Sampling depth in total yield and reflectivity SEXAFS studies in the soft x-ray region. -Surf. Sci. 38, 1982.

48. Х.А.Муртада, Г.А.Гуманский, В.В.Углов. Отражение и рассеяние рентгеновского излучения поверхностью кремния с различной степенью шероховатости. Вест. Белорусок, ун-та, сер.1.

49. L.G.Parratt. Surface Studies of Solids by Total Reflection of x-rays. Phys. Rev. 359, 1954.

50. B.M.Ровинский, В.M.Синайский, В.И.Сиденко. Об эффекте аномального отражения рентгеновских лучей. <КГТ, 14, 409, 1972.

51. К.В.Киселева, А.Г.Турьянский. Исследование природы аномального отражения рентгеновских лучей. Препринт ЩАН J& 34. Москва, 1979.

52. Л.А.Смирнов, Т.Д.Сотникова, С.Б.Анохин, Б.З.Тайбин. О полном внешнем отражении рентгеновских лучей от шероховатой поверхности. Опт. и спектр. 46, 593, 1979.

53. Л.А.Смирнов, С.Б.Анохин. Интерпретация 1фивых полного внешнего отражения рентгеновских лучей от поверхности нальн ленных в вакууме металлических пленок, Опт. и спектр.48, 57, 1980.

54. J.B.Binell, IT.Wainfan. The Ыоп-Specular Scattaeringof X-Rays from Thin Films. J. App}. Cryst. ¿f 503, 1970.

55. В.М.Синайский, В.Й.Сиденко. Рентгеновская рефлектометрия. -ПТЭ, lb 6 , 5-10, 1974.

56. В.М.Синайский. Количественная оценка неровностей обработанных поверхностей высших классов чистоты методами рентгеновской рефлектометрии. Измерит, техника, J& 6, с. 27-29,1983.

57. Э.К.Ковьев, Ю.А.Матвеев. Наблвдение поверхностных волн в условиях полного внешнего отражения рентгеновских лучей. -ФТТ 23, 587-589, 1981.

58. Э.К.Ковьев, Ю.А.Матвеев, Ф.Н.Чуховский, П.В.Петрашень. Рентгеновские. поверхностные волны и их применение к исследованию тонких кристаллических слоев. Ж Всес. сов. по прим. рентг. лучей. Тез. докл. Черноголовка, 1982, с. 189.

59. D.M.Barrus, R.L.Blake, A.J.Burek, K.C.Chambers, Ь.Е.Сох. X-ray coefficient of reflection of acid phtalate crystals across the oxygen K-edge region. Phys. Rev. B22, 4022, 1980.

60. S.M.Heald, E.A. Stern. Anisotropic X-ray absorption in layered compaunds. Phys. R6v. B12, 5549, 1977.

61. L.J.Johansson, J.Stohr. Bonding of oxygen on Al(111):

62. A surface extended x-ray absorption fine structure study. -Phys. Rev. Lett. 1882, 1979.

63. D.H.Templeton, L.K.Templeton. Polarised X-ray Absorption and double Refraction in Vanadyl Bisacetylacetonate. -Acta Cryst. АД6, 237-246, 1980.

64. З.Г.Пинскер. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах. -М.: "Наука", 1974.

65. P.Scalicky, C.Malgrange. Polarization Phenomenon in X-Ray Diffraction. Acta Gryst. A28, 501, 1972.

66. И.П.Михайлюк, С.А.Кшевецкий, М.В.Остапович. Дифракционное вращение плоскости поляризации. Укр.физ.журн. 22, 60, 1977.

67. S.Amiaka, T.Suzuki, K.Oncul. Polarization states of dynamically diffracted X-ray beams. Acta Cryst. АД6, 151,1980.

68. K.S.Chandrasekaran. Study of Perfection of Crystals Using Polarised X-Eays. Acta Cryst. 12, 916, 1959.

69. В.И.Иверонова, Г.П.Ревкевич. Теория рассеяния рентгеновских лучей. -М.; Изд-во Моск. ун-та, 1978.

70. Н.М.Олехнович, В.А.Рубцов, М.П.Шмидт. Зависимость поляризационного отношения и интегральной интенсивности бреггов-ского рассеяния рентгеновских лучей в кристаллах кремния от плотности дислокаций. Кристаллография 20, 796, 1975.

71. L.D.Jennings. Extinction, Polarization, and Crystal Mono-chromators. Acta Cryst. A37, 584, 1981.

72. J.Hrdy, E.Krousky. Three-crystal X-ray polarimeter, collimator and spectrometer. Czech. J. Phys. B23, 966, 1973.

73. M.Hart. X-ray polarization phenomena, Phil. Mag. Д8, 41, 1978.

74. G.G.Cohen, M.Kuriama. Polarization Phenomena in X-ray Scattering. Phys. Rev. Lett. 40, 957, 1978.

75. J.Hrdy, E.Krousky, O.Renner. A Search for Faradey Rotation in X-Ray Region. Phys. Stat. sol. a^, 143, 1979,

76. P.Eisenberger, B.Lengeler. EXAPS determinations of coordinations number: Limitations. Phys. Rev., B22, 3551, 1980.

77. G.Martens, P.Rabe, K.Schwentner, A.Werner. Extended x-ray absorption fine-structure beats: A new method to determine differences in bond lengths. Phys. Rev. Lett., 1411» 1977.

78. P.Eisenberger, G.S.Brown. The study of disordered systems by EXAFS: Limitations. Sol. State Communs, 2%, 481, 1979.

79. M. De Crescenzi, A.Balzarotti, P.Comin, L.Incoccia, S.Mobilio, N.Motta. EXAPS measurement of Fe-B metallic glasses: asymmetry of the radial distribution function. -Sol. State Communs, ¿2» 921, 1981.

80. E.A.Stern, K.Kim. Thickness effect on the extended-X-ray-absorption-fine structure amplitude. Phys. Rev. B23> 3781, 1981.

81. J.Jaklevic, T.A.Kirby, M.P.Klein, A.S.Robertson, G.S.Brown, P.Eisenberger, Fluorescence detection of EXAFS: sesibility enhancement for dilute species. Solid State Communs. 23» 679, 1977.

82. G.Martens, P.Rabe, N.Schwentner, A.Werner. EXAFS in photo-electron yield spectra and optimization of the photon glancing angle. J. Phys. C: Sol. State Phys. 1JL> 3125, 1978.

83. A.Bianconi, D.Jackson, K.Monahan. Intrinsic Luminescence exitation spectrum and extended x-ray absorption fine structure above the К edge in CaFg. Phys. Rev., B17, 2021, 1978.

84. P.J.Durham, J.B.Pendry, D.Norman. XANES and the determination of local atomic arrangements at surfaces. J. Vac. Sci. and Thechnol., 20, 665, 1982.

85. D.R.Sandstrem, S.C.Pyke, F.W.Lytle. Time resolved x-ray absorption spectroscopy. SSRL Report 81/02, May 1981, VII-115, Stanford, 1981.

86. B.Yaakobi, H.Deckman, P.Bourke, S.Letzring, J.M.Soures.

87. X-ray absorption fine-structure measurement using a laser-compressed target as a source. Appl. Phys. Lett, Д7, 767, 1980.

88. В.Н.Баграташвили, В.С.Летохов, А.А.Макаров, Е.А.Рябов. Итоги науки и техники. Сер. Физика атома и молекулы. Оптика. Магнитный резонанс. Т. 2, часть I, 1981.

89. Г.Герцберг. Колебательные и вращательные спектры многоатомных молекул. -М.: Изд. иностр. лит., 1949.

90. Г.Н.Ерицян, Ю.Р.Назарян. Изучение радиационных дефектов в соединении GaAsP1i-x методом EXAPS. Письма ЖТФ, 8, 288, 1982.

91. H.Purdum, P.A.Montano, G.K.Shenoy, T.Morrison. Extended x-ray-absorption-fine-structure study of small Pe molecules isolated in solid neon. Phys. Rev. B2£, 4412, 1982.

92. F.Evangelisti, M.G.Proiette, A.Balzarotti, P.Comin, L.Incoccia, S.Mobilio. EXAPS investigations of amorphousto crystal transition in Ge. Sol. State Communs. ¿7, 413, 1981.

93. Н.В.Гомоюнова. Электронная спектроскопия поверхности твердого тела. УФН, 136» Я Ю5, 1982.

94. Дж.Мейер, Л.Эриксон, ДжДэвис. Ионное легирование полупроводников (кремний и германий). М.; "Мир", 1973.

95. Х.М.Нуссенцвеёг. Причинность и дисперсионные соотношения. -М.: "МИР", 1976.

96. Дж.Себер. Линейный регрессионный анализ. М.: "Мир", 1976.

97. Л.И.Татаринова. Структура твердых аморфных и жидких веществ. М.: "Наука", 1983.

98. А.Н.Морозов, В.Т.Бублик, А.В.Зайцев. Доказательство образования френкелевских пар на начальной стадии распада твердого раствора мышьяка в германии. ФТТ, 24 , 2159-2165, 1982.

99. О.Мейер. Ионная имплантация в сверхпроводники. В кн. : Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы. Сб. статей, пер. с англ. под ред. В.С.Вавилова. Новости физики твердого тела, вып. 10. М.: "Мир", 1980, с. 305-330.

100. А.А.Вайполин, Е.А.Порай-Кошиц. 0 структуре стеклообразных халькогенидов мышьяка. ФТТ, 2, }Ь 7, с. 1656-1665, i960.

101. А.А.Вайполин, Е.А.Порай-Кошиц. 0 структуре стеклообразных халькогенидов мышьяка. Внесение поправок в кривые радиального распределения. ФТТ, 5, № I, с. 246-255, 1963.'

102. А.А.Вайполин, Е.А.Порай-Кошиц. 0 структуре стеклообразных халькогенидов мышьяка. Стеклообразное и кристаллическое состояние в системе As2Se^. ФТТ, 5, iê I, с.256-262, 1963.

103. Дж.Люковски, Т.М.Хэйс. Ближний порядок в аморфных полупроводниках. В кн.: Аморфные полупроводники. Под ред.

104. М.Бродеки. М.: "Мир", 1982, с. 268-310.

105. К.J.Rao, R.Mohan, P.R.Sarode, M.S.Hedge. Chemical ordering in As-Se glassesî X-ray absorption edge and XPES studies. -Pramana, J. Phys., 1j6, 309, 1981.

106. Г.Вернер. Введение в вторично-ионную масс-спектрометрию. -В кн.: Электронная и ионная спектроскопия твердых тел. Под ред. Л.Фирмэнса, Дж.Вэнника, В.Декейсера. М.: "Мир", 1981, с. 345 * 464.