Квантовый транспорт в тонких сверхпроводящих пленках PtSi и мезоскопических гибридных системах на их основе тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Введение

1 Квантовый транспорт в сверхпроводящих плёнках и гибридных SNS системах

1.1 Основные положения теории квантовых поправок к проводимости неупорядоченных систем.

1.1.1 Интерференционная поправка к проводимости невзаимодействующего двумерного электронного газа (слабая локализация).

1.1.2 Эффекты электрон-электронного взаимодействия.

1.2 О подавлении температуры сверхпроводящего перехода в неупорядоченных сверхпроводниках.

1.3 Эффект близости и андреевское отражение.

1.3.1 Сопротивление NS и SNS переходов

- баллистический случай (модели ВТК и ОТВК).

1.3.2 Свойства диффузионных NS и SNS переходов.

2 Моносилицид платины (Обзор)

2.1 Структурные параметры и электронные свойства моносилицида платины

2.2 Технологические принципы формирования плёнок PtSi

2.3 Исследования низкотемпературных свойств плёнок PtSi.

3 Методика эксперимента

3.1 Изготовление образцов.

3.1.1 Плёнки PtSi

3.1.2 Фотолитография.

3.1.3 Электроннолучевая литография.

3.1.4 Образцы для измерений

3.2 Методика измерений.

4 Макроскопические когерентные явления в сверхпроводящих плёнках PtSi

4.1 Транспортные и критические параметры плёнок.

4.1.1 Резистивный сверхпроводящий переход.

4.1.2 Верхнее критическое поле

4.2 Эффекты локализации и взаимодействия

4.2.1 Аномальное магнитосопротивление и поправка Маки-Томпсона.

4.2.2 Температурная зависимость сопротивления и флуктуационная проводимость

4.3 Критическое поведение вблизи Тс.

5 Квантовый транспорт в гибридных системах на основе плёнок PtSi

5.1 Одиночные SNS переходы

5.1.1 Экспериментальные результаты.

5.1.2 Обсуждение экспериментальных результатов

5.2 Двумерные решётки SNS переходов.

5.3 Одномерные цепочки SNS переходов.

Изучение квантового транспорта в тонких металлических пленках и наноструктурах на их основе (проволоки, интерферометры и т.п.) вот уже более пятнадцати лет играет важную роль в современной физике квантовых эффектов в твердотельных системах. Данные структуры являются одними из основных экспериментальных объектов для проверки предсказаний теории квантового транспорта в неупорядоченных металлах. Именно в экспериментах с тонкими металлическими плёнками впервые наблюдались такие явления как логарифмическая температурная зависимость проводимости и аномальное магнито-сопротивление [1]. Эти эффекты нашли объяснение в рамках теории интерференционных явлений в неупорядоченных металлах. Кроме того, данная теория содержит интересные предсказания, относящиеся к поведению этих явлений вблизи сверхпроводящего перехода. В работе [2] была показана определяющая роль рассеяния на сверхпроводящих флукту-ациях (поправка Маки-Томпсона) в поведении квантовых интерференционных поправок к проводимости двумерного сверхпроводника при температуре выше критической температуры сверхпроводящего перехода (Т > Тс). Экспериментальному изучению этих поправок посвящен ряд работ, в которых исследовались сверхпроводящие пленки Al, Nb, Sn и CoSi2 [3-5]. Следует отметить, что во всех этих работах рассеяние на сверхпроводящих флуктуадиях изучалось вдали от сверхпроводящего перехода, тогда как в непосредственной близости к Тс теория [6] предсказывает нетривиальное поведение квантовых систем, в частности, насыщение аномального магнитосопротивления, связанного с поправкой Маки-Томпсона. Очень привлекательным объектом для изучения квантовых интерференционных эффектов являются сверхпроводящие пленки силицидов металлов, главным образом, благодаря достижениям современной технологии выращивания этих пленок, позволяющим получать их очень тонкими (менее 10 нм), однородными и высокого качества. Интерес к квантовому транспорту в тонких плёнках силицидов переходных металлов вызван также рядом характерных свойств, присущих этим соединениям: дырочный тип проводимости, сильное спин-орбитальное рассеяние и низкие температуры (менее 1 К) сверхпроводящего перехода.

Если исследования квантовых интерференционных эффектов в тонких металлических пленках имеют уже немалую историю, то работы по изучению этих эффектов в мезо-скопических гибридных системах, созданных на основе перехода нормальный металл (N) - сверхпроводник (S), появились совсем недавно и привели к возникновению одного из интереснейших направлений в современной физике конденсированного состояния, связанного с изучением влияния андреевского отражения [7] и эффектов близости на квантовый транспорт. Немалую роль в этом сыграли не только достижения нанотехнологии, но и пионерские работы теоретиков российской школы [8,9]. К настоящему времени при исследовании этих систем обнаружен целый ряд новых квантовых эффектов: гигантские осцилляции Ааронова-Бома [10]; субгармоники многократного андреевского отражения [11-13]; осцилляции сопротивления, вызванные изменением разности фаз параметров порядка двух сверхпроводников, разделенных нормальным металлом [14-18,20]; немонотонная температурная зависимость проводимости нормального металла, находящегося в контакте со сверхпроводниками [21], что не находило объяснения в рамках существующих теорий. К настоящему моменту ясно, что теоретическое описание должно одновременно учитывать эффекты локализации, кулоновского взаимодействия и сверхпроводящего спаривания в нормальной области SNS перехода. Однако, несмотря на некоторый прогресс в теоретических подходах, ещё рано говорить о полном понимании процессов, определяющих транспортные свойства мезоскопических SNS систем.

Одной из причин, затрудняющих интерпретацию экспериментальных результатов, является неопределённость параметров NS границы. До последнего времени все работы, посвященные квантовому транспорту в гибридных мезоскопических структурах на основе NS переходов, имели дело с неидеальной NS границей, созданной путем изготовления NS контакта из двух различных материалов. При таком способе создания NS контакта на границе областей неизбежно существуют структурные нарушения, образуются неконтролируемые переходные окисные или шоттковские обедненные слои. Кроме того, поскольку сверхпроводник и нормальный металл представляют собой разные материалы, это приводит к несоответствию фермиевских скоростей. Всё это уменьшает вероятность андреевского отражения на границе сверхпроводника и нормального металла и оставляет открытым вопрос о поведении андреевского отражения и эффектов близости на идеальной NS границе. Очевидно, что наилучший способ получения совершенной NS границы состоит в том, чтобы создать и сверхпроводящие, и нормальные области SNS переходов из одного и того же материала. На этом пути можно использовать тот экспериментальный факт, что температура перехода в сверхпроводящее состояние проволок (сужений), сделанных из некоторых тонких сверхпроводящих металлических плёнок, значительно ниже Тс исходных плёнок. Именно этот подход положен в основу исследуемых в данной работе SNS систем. На данный момент имеется около двух десятков работ, посвящённых экспериментальному исследованию свойств SNS структур. Однако до последнего времени исследования ограничивались одиночными SNS переходами, в которых когерентность проявляется на расстояниях порядка одного микрона, хотя изучение многосвязных систем представляет несомненный интерес, так как в них когерентные эффекты должны наблюдаться на макроскопических масштабах.

Создание теории интерференционных явлений в неупорядоченных металлах и открытие квантовых интерференционных эффектов в фермиевских системах показало, что при некоторых условиях особенности квантовой механики могут проявиться в крупномасштабных явлениях. Это породнило данный круг явлений со сверхпроводимостью как с эффектом, обусловленным макроскопической квантовой когерентностью. Такое родство делает особо актуальными вопросы, связанные с сосуществованием и взаимным влиянием двух макроскопических квантовых явлений - сверхпроводимости, с одной стороны, и явлений, обусловленных слабой локализацией и эффектами взаимодействия, с другой.

Данная работа посвящена: всестороннему экспериментальному исследованию квантового транспорта в тонких сверхпроводящих плёнках PtSi и мезоскопических одиночных и многосвязных SNS системах, созданных на основе этих плёнок; изучению поведения андреевского отражения и эффектов близости в мезоскопических SNS системах с практически идеальной границей сверхпроводник - нормальный металл; сравнительному экспериментальному исследованию влияния многосвязности SNS систем на когерентные явления, управляемые эффектом близости.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения и списка цитируемой литературы.

Основные результаты опубликованы в работах [173,174,177-180]

В заключение выражаю благодарность своему научному руководителю д.ф.-м.н. 3. Д. Квону за предоставленную научную тему и разностороннюю поддержку. Приношу слова благодарности дирекции ИФП СО РАН и лично д.ф.-м.н. член-корр РАН А.Л. Асееву за создание условий для проведения низкотемпературных исследований в Институте физики полупроводников СО РАН. Автор признательна всем техническим работникам, участвовавшим в изготовлении образцов для исследований, А. Е. Плотникову, Л. А. Ненашевой, Н. А. Шалыгиной и М. М. Качановой, а также R. A. Donaton и М. Р. Бакланову из Independent Microelectronic Center (Бельгия) за изготовление и предоставление плёнок моносилицида платины. Благодарю Российский Фонд Фундаментальных Исследований, финансовая поддержка которого безусловно способствовала эффективной работе.

162

Моя особая благодарность Всеволоду Феликсовичу Гантмахеру. Именно благодаря его помощи и поддержке мне посчастливилось при выполнении этой работы провести несколько месяцев в Черноголовке в ИФТТ РАН. Более того, написание этой работы было бы невозможно без его особого внимания. Я глубоко признательна ему за многократные и многочасовые обсуждения, способствовавшие выполнению и написанию работы. Я также признательна всем сотрудникам Лаборатории Электронной Кинетики и Лаборатории Квантового Транспорта за постоянную помощь и полезные обсуждения. Выражаю отдельную благодарность за ценное обсуждение результатов данной работы М. В. Фейгельману, А. И. Ларкину, В. В. Рязанову, М. А. Скворцову, А. А. Варламову и Б. Л. Альтшулеру.

Большое спасибо студентам Новосибирского государственного университета и школьникам Специализированного учебно-научного центра при НГУ, любознательность и пытливость которых постоянно провоцировали меня искать простые ответы на сложные вопросы.

Приношу самые искренние слова благодарности моей маме и дочери, проявившим необыкновенную заботу и терпение.

Заключение

1. Gerd Bergmann. Weak localization in thin films: a time-of-flight experiment with conduction electrons. — Physics Reports 107, 1 (1984).

2. А. И. Ларкин. Магнетосопротивление двумерных систем. — Письма в ЖЭТФ, 31, 4, 239 (1980).

3. М. Е. Гершензон, В. Н. Губанков, Ю. Е. Журавлев. Квантовые эффекты в двумерных плёнках сверхпроводников при Т > Тс. — ЖЭТФ 85, 1(7), 287 (1983).

4. Gerd Bergmann. Quantum corrections to the resistance in two-dimensional disodered superconductors above Tc: Al, Sn, and amorphous Bi0.9Tlo-l films. — Physical Review В 29, 11, 6114 (1984).

5. К. Radermacher, D. Monroe, A. E. White, К. T. Short, R. Jebasinski. Quantum transport of buried single-crystalline CoSi2 layers in (lll)Si and (100)Si substrates. — Physical Review В 48, 11, 8002 (1993).

6. J. M. B. Lopes dos Santos, E. Abrahams. Superconducting fluctuation conductivity in a magnetic field in two dimensions. — Physical Review В 31, 1, 172 (1985).

7. А. Ф. Андреев. Теплопроводность промежуточного состояния сверхпроводников. — ЖЭТФ 46, 1823 (1964).

8. Б. 3. Спивак, Д. Е. Хмельницкий. Влияние эффектов локализации в нормальном металле на свойства SNS-контакта. — Письма в ЖЭТФ 35, 8, 334 (1982).

9. Б. Л. Альтшулер, Б. 3. Спивак. Мезоскопические флуктуации в контакте сверхпроводник-нормальный металл-сверхпроводник. — ЖЭТФ 92, 2, 607 (1987).

10. V. Т. Petrashov, V. N. Antonov, P. Delsing, R. Claeson. Phase Memory Effects in Mesoscopic Rings with Superconducting "Mirrors". — Physical Review Letters 70, 347 (1993).

11. P. E. Gregers-Hansen, E. Hendricks, M. T. Levinsen, and G. R. Pickett. Subharmonic Energy-Gap Structure and a Josephson-Radiation-Enhanced Gap in Dayem Bridges. — Physical Review Letters 31, 524 (1973).

12. W. M. van HufFelen, Т. M. Klapwijk, D. R. Heslinga, M. J. de Boer, and N. van der Post. Carrier transport in mesoscopic silicon-coupled superconducting junctions. — Physical Review B, 47, 5170 (1993).

13. J. Kutchinsky, R. Taboryski, T. Clausen, С. B. S0rensen, A. Kristensen, P. E. Lindelof, J. Bindslev Hansen, C. Schelde Jacobsen, and J. L. Skov. Decay Lengths for

14. Diffusive Transport Activated by Andreev Reflections in Al/n-GaAs/Al Superconductor-Semiconductor-Superconductor Junctions. -— Physical Review Letters 78, 931 (1997).

15. P. G. N. de Vegvar, T. A. Fulton, W. H. Mallison, and R. E. Miller. Mesoscopic Transport in Tunable Andreev Interferometers — Physical Review Letters 73, 1416 (1994).

16. H. Pothier, S. Gueron, D. Esteve, M. H. Devoret. Flux-Modulated Andreev Current Caused by Electronic Interference. — Physical Review Letters 73, 2488 (1994).

17. V. T. Petrashov, V. N. Antonov, P. Delsing, T. Claeson. Phase Controlled Conductance of Mesoscopic Structures with Superconducting "Mirrors". ■— Physical Review Letters 74, 5268 (1995).

18. S. G. den Hartog, С. M. A. Kapteyn, B. J. van Wees, Т. M. Klapwijk, W. van der Graaf, G. Borghs. Sample-Specific Conductance Fluctuations Modulated by the Superconducting Phase. — Physical Review Letters 76, 4592 (1996).

19. P. Charlat, H. Courtois, Ph. Gandit, D. Mailly, A. F. Volkov, B. Pannetier. Reentrance of the Metallic Conductance in a Mesoscopic Proximity Superconductor. — Physical Review Letters 77, 4950 (1996).

20. H. Courtois, Ph. Gandit, D. Mailly, and B. Pannetier. Long-Range Coherence in a Mesoscopic Metal near a Superconducting Interface. — Physical Review Letters 76, 130 (1996).

21. J. P. Heida, B. J. van Wees, Т. M. Klapwijk, G. Borghs. Nonlocal supercurrent in mesoscopic Josephson junctions. — Physical Review В 57, R5618 (1998).

22. S. Shapira, E. H. Linfield, C. J. Lambert, R. Seviour, A. F. Volkov, and A. V. Zaitsev. Anomalous Behavior of Superconducting-Normal Mesoscopic Structures near Tc. — Physical Review Letters 84, 159 (2000).

23. E. Abrahams, P. W. Anderson, D. C. Licciardello, Т. V. Ramakrishnan. Scaling theory of localization: absence of quantum diffusion in two dimensions. — Physical Review Letters 42, 673 (1979).

24. JI. П. Горьков, А. И. Ларкин, Д. E. Хмельницкий. Проводимость частицы в двумерном случайном потенциале. — Письма в ЖЭТФ 30(4), 248 (1979).

25. Б. Л. Альтшулер, А. Г. Аронов. К теории неупорядоченных металлов и сильнолегированных полупроводников. — ЖЭТФ 77, 5(11), 2028 (1979).

26. В. L. Altshuler, A. G. Aronov, P. A. Lee. Interaction Effects in Disordered Fermi Systems in Two Dimensions. — Physical Review Letters 44(19) 1288 (1980).

27. S. Hikami, A. I. Larkin, Y. Nagaoka. Spin-Orbit Interactions and Magnetoresistance in Two Dimensional Random System. — Prog. Theor. Phys. 63, 707 (1980).

28. A. J. Kawabata. Theory of negative magnetoresistance. I. Application to hevily doped semiconductors. — J. Phys. Soc. Japan 49, 628 (1980).

29. B. L. Altshuler, D. E. Khmel'nitzkii, A. I. Larkin, P. A. Lee. Magnetoresistance and Hall effect in a disordered two-dimensional electron gas. — Physical Review В 22(11) 5142 (1980).

30. Б. JI. Альтшулер, А. Г. Аронов, А. И. Ларкин, Д. Е. Хмельницкий. Об аномальном магнитосопротивлении в полупроводниках. — ЖЭТФ 81, 2(8), 768 (1981).

31. P. A. Lee and Т. V. Ramakrishnan. Magnetoresistance of weakly disodered electrons. — Physical Review В 26, 8, 4009 (1982).

32. A. M. Финкелыптейн. Влияние кулоновского взаимодействия на свойства неупорядоченных металлов. — ЖЭТФ 84, 1, 168 (1983).

33. Б. Л. Альтшулер, А. А. Варламов, М. Ю. Рейзер. Эффекты межэлектронного взаимодействия и проводимость неупорядоченных двумерных электронных систем. — ЖЭТФ 84, 2280 (1983).

34. P. A. Lee and Т. V. Ramakrishnan. Disodered electronic systems. — Reviews of Modern Physics 57, 2, 287 (1985).

35. B. L. Altshuler and A. G. Aronov. Electron-Electron Interaction In Disordered Conductors.

36. Electron-Electron Interaction In Disordered Systems. Edited by A. L. Efros and M. Pollak. North-Holland, Amsterdam, Elsevier Science, pp.1-153 (1985).

37. А. И. Ларкин, Д. E. Хмельницкий. Андерсоновская локализация и аномальное маг-нетосопротивление при низких температурах. — Успехи физических наук 136, 536 (1982).

38. Б. Л. Альтшулер, А. Г. Аронов, Д. Е. Хмельницкий, А. И. Ларкин. Когерентные эффекты в неупорядоченных проводниках. — В кн.: Квантовая теория твёрдого тела

39. Под ред. И. М. Лифшица) М.: Мир, с.220-335 (1982).

40. D. Е. Khmel'nitzkii. Localization and coherent scattering of electrons. — Physica 126B, 235 (1984).

41. Gerd Bergmann. Physical interpretation of weak localization: A time-of-flight experiments with conduction electrons. — Physical Review В 28, 6, 2914 (1983).

42. Gerd Bergmann. Localization in thin films A time-of-flight experiments with conduction electrons. — Physica 126B, 229 (1984).

43. Gerd Bergmann. Weak anti-localization an experimental proof for the destructive interference of rotated spin 1/2. Solid State Communications 42, 11, 815 (1982).

44. A. G. Aronov. Fermi-liquid theory of disordered conductors and scaling theory of metal-insulator transitions. — Physica 126B, 314 (1984).

45. Gerd Bergmann. Electron scattering by electron holograms: The physical interpretation of the Coulomb anomaly. — Physical Review В 35, 9, 4205 (1987).

46. В. L. Altshuler, A. G. Aronov, D. E. Khmelnitsky. Effects of electron-electron collisions with small energy transfers on quantum localisation. — J. Phys. C: Solid State Physics 15, 7367 (1982).

47. JI. Д. Ландау, E. M. Лнфшиц. Теоретическая физика. В 10 т. Т. III. Квантовая механика (нерелятивистская теория). — М.:Наука. 1989.

48. J. S. Langer and Т. Neal. Breakdown of the concentration expansion for the impurity resistivity of metals. — Physical Review Letters 16, 984 (1966).

49. P. Фейнман, P. Лейтон, M. Сэндс. Фейнмановские лекции по физике: вып. 8. — М.:Мир. 1966.

50. I. L. Aleiner, В. L. Altshuler, and М. Е. Gershenson. Interaction effects and phase relaxation in disordered systems. Waves Random Media 9, 201 (1999).

51. Gabor Zala, B. N. Narozhny, and I. L. Aleiner. Interaction corrections at intermediate temperatures: Longitudinal conductivity and Kinetic equation. — Physical Review 64, 214204 (2001).

52. Л. Г. Асламазов и А. И. Ларкин. Влияние флуктуаций на свойства сверхпроводника при температурах выше критической. — ФТТ 10(4), 1104 (1968).

53. L. G. Aslamasov, А. I. Larkin. The influence of fluctuation pairing of electrons on the conductivity of normal metal. — Physics Letters 26A, 238 (1968).

54. Kazumi Maki. The Critical Fluctuation of the Order Parameter in Type-II Superconductors. — Progress of Theoretical Physics 39(4), 897 (1968).

55. Richard S. Thompson. Microwave, Flux Flow, and Fluctuation Resistance of Dirty Type-II Superconductors. — Physical Review В 1, 327 (1970).

56. V. M. Galitski, A. I. Larkin. Superconducting fluctuations at low temperature. — Physical Review В 63, 174506 (2001).

57. Tao Pang. Universal Critical Normal Sheet Resistance in Ultrathin Films. — Physical Review Letters, 62, 18, 2176 (1989).

58. M.P.A. Fisher. Quantum phase transitions in disordered two-dimensional superconductors.

59. Physical Review Letters, 65, 7, 923 (1990).

60. S. Maekawa, H. Fukuyama, J. Phys. Soc. Jpn., 51, 1380 (1982).

61. S. Maekawa, H. Ebisawa, H. Fukuyama, J. Phys. Soc. Jpn., 52, 1352 (1983).

62. H. Takagi and Y. Kuroda. Anderson Localization and Superconducting Transition Temperature in Two-Dimensional Systems. — Solid State Comm. 41, 643 (1982).

63. J. M. Graybeal and M. R. Beasly. Localization and interection effects in ultrathin amorphous superconducting films. — Physical Review В 29, 4167 (1984).

64. A. M. Финкельштейн. О температуре сверхпроводящего перехода в аморфных плёнках. — Письма в ЖЭТФ 45, 1, 37 (1987).

65. А. М. Finkel'stein. Suppression of superconductivity in homogeneously disordered systems.

66. Physica В 197, 636 (1994).

67. A. M. Goldman and N. Marcovic. Superconductor-Insulator Transitions in the Two-Dimensional Limit. — Physics Today 51, No. 11, 39 (1998).

68. D. B. Haviland, Y. Liu, and A. M. Goldman. Onset of Superconductivity in the Two-Dimensional Limit. — Physical Review Letters 62, 2180 (1989).

69. V. F. Gantmakher, M. V. Golubkov, V. T. Dolgopolov, G. E. Tsydynzhapov, and A. A. Shashkin. Scaling Analysis of the Magnetic Field-Tuned Quantum Transition in Superconducting Amorphous In-0 Films. — JETP Letters 71, 4, 160 (2000).

70. J. A. Chervenak and J. M. Valles, Jr. Absence of a zero-temperature vortex solid phase in strongly disordered superconducting Bi films — Physical Review 61, R9245 (2000).

71. A. Larkin. Superconductor-insulator transitions in films and bulk materials. — Ann. Phys. (Leipzig) 8, 785 (1999).

72. P. G. de Gennes. Boundary Effects in Superconductors. — Reviews of Modern Physics 1, 225, January (1964).

73. JI. П. Горьков. Микроскопический вывод уравнений Гинзбурга-Ландау в теории сверхпроводимости. — ЖЭТФ 36, 1918 (1959).

74. Н. В. Заварицкий. Теплопроводность сверхпроводников в промежуточном состоянии. — ЖЭТФ 38, 1673 (1960).

75. В.В.Шмидт. Введение в физику сверхпроводников. — Изд. 2-е, испр. и доп. М.-МЦНМО, 2000.

76. С. Н. Артёменко, А. Ф. Волков, А. В. Зайцев. Об избыточном токе в сверхпроводящих точечных контактах. — Письма в ЖЭТФ, 28, 10, 637 (1978).

77. S. N. Artemenko, A. F. Volkov, and А. V. Zaitsev. On the excess current in microbridges S-c-S and S-c-N. — Solid State Communications, Vol. 30, pp.771-773 (1979).

78. G. E. Blonder, M. Tinkham, and Т. M. Klapwijk. Transition from metallic to tunnelling regimes in superconducting microconstrictions: Excess current, charge imbalance, and supercurrent conversion. — Physical Review В 25, 4515 (1982).

79. Ю. В. Шарвин. Об одном возможном методе исследования поверхности Ферми. — ЖЭТФ, 48, 3, 984 (1965).

80. J. R. Schrieffer and J. W. Wilkins. Two-Particle Tunneling Processes Between Superconductors. — Physical Review Letters 10, 17 (1963).

81. N. R. Werthamer. Nonlinear Self-Coupling of Josephson Radiation in Superconducting Tunnel Junctions. — Physical Review 147, 255 (1966).

82. Т. M. Klapwijk, G. E. Blonder, and M. Tinknam. Explanation of Subharmonic Energy Gap Structure in Superconducting Contacts. — Physica 109-110B+C, 1657 (1982).

83. M. Octavio, M. Tinkham, G. E. Blonder, and Т. M. Klapwijk. Subharmonic energy-gap structure in superconducting constrictions. — Physical Review В 27, 6739 (1983).

84. К. Flensberg, J. Bindslev Hansen, and M. Octavio. Subharmonic energy gap structure in superconducting weak links. — Physical Review В 38, 8707 (1988).

85. Gerald B. Arnold. Superconducting Tunneling without the Tunneling Hamiltonian. II. Subgap Harmonic Structure. — Journal of Low Temperature Physics 68(1/2), 1 (1987).

86. E. N. Bratus', V. S. Shumeiko, and G. Wendin. Theory of Subharmonic Gap Structure in Superconducting Mesoscopic Tunnel Contacts. — Physical Review Letters 74, 2110 (1995).

87. D. Averin and A. Bardas. ac Josephson Effect in a Single Quantum Channel. — Physical Review Letters 75, 1831 (1995).

88. J. С. Cuevas, A. Martin-Rodero, and A. Levy Yeyati. Hamiltonian approach to the transport properties of superconducting quantum point contacts. — Physical Review В 54, 7366 (1996).

89. Т. M. Klapwijk. Mesoscopic superconductor-semiconductor heterostructures. — Physica В 197, 481 (1994).

90. D. C. Ralph and V. Ambegaokar. News from the Adriatico Research on "Superconductivity, Andreev Reflection, and Proximity Effect in Mesoscopic Structures". — preprint cond-mat/9709230 (1997).

91. B. Pannetier and H. Courtois. Andreev Reflection and Proximity effect. — Journal of Low Temperature Physics 118(5/6), 599 (2000).

92. A. Kastalsky, A. W. Kleinsasser, L. H. Greene, R. Bhat, F. P. Milliken, and J. P. Harbison. Observation of Pair Currents in Superconductor-Semiconductor Contacts. — Physical Review Letters 67, 3026 (1991).

93. Chanh Nguyen, Herbert Kroemer, and Evelyn L. Hu. Anomalous Andreev Conductance in InAs-AlSb Quantum Well Structures with Nb Electrodes. — Physical Review Letters 69, 2847 (1992).

94. Peng Xiong, Gang Xiao, and R. B. Laibowitz. Subgap and Above-Gap Differencial Resistance Anomalies in Superconductor-Normal-Metal Microj unctions. — Physical Review Letters 71, 1907 (1993).

95. В. Б. Гешкенбейн, А. В. Сокол. Нестационарные явления на границе сверхпроводник-нормальный металл при протекании тока. — ЖЭТФ 94(2), 259 (1988).

96. А. В. Зайцев. Свойства "грязных"S-S*-N- и S-S*-S-CTpyKTyp с потенциальными барьерами на границах металлов. — Письма в ЖЭТФ 51(1), 35 (1990).

97. В. J. van Wees, P. de Vries, P. H. C. Magnee, and Т. M. Klapwijk. Excess Conductunce of Superconductor-Semiconductor Interfaces Due to Phase Conjugation between Electrons and Holes. — Physical Review Letters 69, 510 (1992).

98. C. W. J. Beenakker. Quantum transport in semiconductor-superconductor microjunctions. — Physical Review В 46, 12841 (1992).

99. I. K. Marmorkos, C. W. J. Beenakker, and R. A. Jalabert. Three signatures of phase-coherent Andreev reflection. — Physical Review В 48, 2811 (1993).

100. P. W. Brouwer and C. W. J. Beenakker. — Physical Review В 52, 3868 (1995).

101. С. W. J. Beenakker. Random-matrix theory of quantum transport. — preprint cond-mat/9612179 (1996).

102. P. H. С. Magnee, N. van der Post, P. H. M. Kooistra, B. J. van Wees and Т. M. Klapwijk. Enhanced conductance near zero voltage bias in mesoscopic superconductor-semiconductor junctions. — Physical Review В 50, 4594 (1994).

103. P. H. C. Magnee, N. van der Post, B. J. van Wees and Т. M. Klapwijk. Enhanced conductance Superconductor-Semiconductor junctions at zero voltage. — Physica В 194196, 1031 (1994).

104. S. Gueron, H. Pother, Norman O. Birge, D. Esteve, and M. H. Devoret. Superconducting Proximity Effect Probed on a Mesoscopic Length Scale. — Physical Review Letters 77, 3025 (1996).

105. Klaus D. Usadel. Generalized Diffusion Equation for Superconducting Alloys. — Physical Review Letters 25, 507 (1970).

106. Yuli V. Nazarov. Circuit Theory of Andreev Conductance. — Physical Review Letters 73, 1420 (1994).

107. Yuli V. Nazarov and Т. H. Stoof. Diffusive Conductors as Andreev Interferometers. — Physical Review Letters 76, 823 (1996).

108. Т. H. Stoof and Yu. V. Nazarov. Kinetic-equation approach to diffusive superconducting hybrid devices. — Physical Review В 53, 14496 (1996).

109. Etsuko Toyoda, Hideaki Takayanagi, and Hayato Nakano. Systematic gate-controlled reentrant conductance of a superconductor-semiconductor two-dimensional electron gas junction. — Physical Review В 59, R11653 (1999).

110. D. Quirion, F. Lefloch, and M. Sanquer. Proximity effect in planar TiN-Silicon junctions.preprint cond-mat/0003148 (2000).

111. А. Ф. Волков, В. В. Павловский. Диссипативный эффект Джозефсона в SNS-структуре при исчезающе малой джозефсоновской связи. — Письма в ЖЭТФ 64(9), 624 (1996).

112. Anatoly F. Volkov and Hideaki Takayanagi. Long-range phase-coherent effects in the transport properties of mesoscopic superconductor-mormal-metal structures. — Physical Review В 56, 11184 (1997).

113. А. Ф. Волков, В. В. Павловский. Явления фазовой когерентности в SNS-сгруктурах.1. УФН 168(2), 205 (1998).

114. R. Seviour, С. J. Lambert, and A. F. Volkov. Conductance suppression in normal-metal-superconductor mesoscopic strustures. — Physical Review В 58, 12338 (1998).

115. Yuval Oreg, P. W. Brouwer, B. D. Simons, and Alexander Altland. Competition Between Zero Bias Anomaly and Proximity Effect in Disodered Systems. — Physical Review Letters 82, 1269 (1999).

116. К. K. Likharev. Superconducting weak links. — Reviews of Modern Physics 51, 101 (1979).

117. P. M. Ostrovsky, M. A. Skvortsov, and M. V. Feigel'man. Density of States below the Thouless Gap in a Mesoscopic SNS Junction. — Physical Review Letters 87, 027002 (2001).

118. Athanassios Bardas and Dmitri V. Averin. Electron transport in mesoscopic disordered superconductor-normal-metal-superconductor junctions. — Physical Review В 56, R8518 (1997).

119. A. V. Zaitzev and D. V. Averin. Theory of ac Josephson Effect in Superconducting Constrictions. — Physical Review Letters 80, 3602 (1998).

120. A. Frydman and R. C. Dynes. Disorder-induced Andreev reflections in granular metals.

121. Physical Review В 59, 8432 (1999).

122. R. Taboryski, T. Clausen, J. Bindslev Hansen, J. L. Skov, J. Kutchinsky, С. B. Sorensen, and P. E. Lindelof. Andreev reflections at interfaces between <5-doped GaAs and superconducting A1 films. — Applied Physical Letters 69(5), 656 (1996).

123. Rafael Taboryski, Jonatan Kutchinsky, J0rn Bindslev Hansen, Morten Wildt, Claus B. S0rensen, Poul Erik Lindelof. Multiple Andreev reflections in diffusive SNS structures.

124. Superlattices and Microstructures 25 (5/6), 829 (1999).

125. X. Jehl, P. Payet-Burin, C. Baraduc, R. Calemczuk, and M. Sanquer. Andreev Reflection Enhanced Shot Noise in Mesoscopic SNS Junctions. — Physical Review Letters 83, 1660 (1999).

126. T. Hoss, C. Strunk, T. Nussbaumer, R. Huber, U. Staufer, and C. Schonenberger. Multiple Andreev reflection and giant excess noise in diffusive superconductor/normal-metal/superconductor junctions. — Physical Review В 62, 4079 (2000).

127. Jonatan Kutchinsky. Coherence and Nonequilibrmm in Mesoscopic Superconductor-Normal Conductor-Superconductor Structures of Aluminum and Gallium-Arsenide. — Ph.D. Thesis, Department of Physics, Technical University of Denmark, April 2001.

128. A. F. Volkov. Theory of the current-voltage characteristics in superconductor-semiconductor junctions. — Physics Letters A 174, 144 (1993).

129. F. W. J. Hekking and Yu. V. Nazarov. Subgap conductivity of a superconductor-normal-metal tunnel interface. — Physical Review В 49, 6847 (1994).

130. Andrea Huck, F. W. J. Hekking, and Bernhard Kramer. Influence of Quantum Fluctuations on Phase Coherent Andreev Tunneling. — preprint cond-mat/9709344 (1997).

131. M. Ю. Куприянов, В. Ф. Лукичев. Влияние прозрачности границ на критический ток SS'S-структур. — ЖЭТФ 94(6), 139 (1988).

132. S. Yamauchi, S. Kawamoto, M. Hirai, M. Kusaka, M. Iwami, H. Nakamura, H. Ohshima, T. Hattori. Valence-band density of states of near-noble-metal (Ni, Pd, Pt) monocilicides by using soft-x-ray-emission spectroscopy. — Physical Review В50, 11564 (1994).

133. Norman E. Phillips. Nuclear Quadrupole and Electronic Heat Capacities of Bismuth. — Physical Review 118, 644 (1960).

134. В. T. Matthias, Т. H. Geballe, and V. B. Compton. Superconductivity. — Reviews of Modern Physics 35, 1 (1963).

135. S. Ishida, K. Murase, K. Gamo, and S. Namba. Quantum Transport in PtSi Thin Films and Narrow Wires. — Journal of the Physical Society of Japan 64 (3), 858 (1995).

136. K. Oto, S. Takaoka, K. Murase, S. Ishida, Superconductivity in PtSi ultrathin films. — Journal of Applied Physics 76 (9), 5339 (1994).

137. III. Мьюрарка. Силициды для СБИС. Пер. с англ. М.: Мир, 1986.

138. R. A. Donaton, S. Jin, Н. Bender, М. Zagrebnov, К. Baert, К. Маех, A. Vantomme, G. Langouche. Formation of ultra-thin PtSi layers with a 2-step silicidation process. — Microelectronic Engineering 37/38, 504 (1997).

139. R. A. Donaton, S. Jin, H. Bender, T. Conard, I. De Wolf, K. Maex, A. Vantomme, G. Langouche. New Technique for Forming Continuous, Smooth, and Uniform Ultrathin (3 nm) PtSi Layers. — Electrochemical and Solid-State Letters 2, 195 (1999).

140. J. E. Mcleod, M. A. E. Wandt, R. Pretorius, С. M. Comrie. Marker and Radioactive Silicon Tracer Studies of PtSi Formation — Journal of Applied Physics, 72, 6, 2232 (1992).

141. Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ./ Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. — М.: Мир, 1987.

142. Практическая растровая электронная микроскопия: Пер. с англ./ Под ред. Дж. Голдстейна и X. Яковица. — М.: Мир, 1978.

143. R. Е. Glover III and М. D. Sherrill. Changes in Superconducting critical temperature produced by electrostatic charging. — Physical Review Letters 5, 248 (1960).

144. K. JI. Чопра. Электрические явления в тонких плёнках (Избранные главы из книги "Thin Film Phenomena"). Пер. с англ. М.: Мир, 1972.

145. Е. Helfand and N. R. Werthamer. Temperature and purity dependence of the superconducting critical field, Hc2. — Physical Review Letters 13, 686 (1964).

146. E. Helfand and N. R. Werthamer. Temperature and Purity Dependence of the Superconducting Critical Field, Hc2. II — Physical Review 147, 1, 288 (1966).

147. N. R. Werthamer, E. Helfand, and C. Hohenberg. Temperature and Purity Dependence of the Superconducting Critical Field, Hc2. III. Electron Spin and Spin-Orbit Effects. — Physical Review 147, 1, 295 (1966).

148. Kazumi Maki. The magnetic properties of superconducting alloys. II. — Physics 1, 127 (1964).

149. Kazumi Maki. Effect of Pauli Paramagnetism on Magnetic Properties of High-Field Superconductors. — Physical Review 148, 1, 362 (1966).

150. D. Rainer, G. Bergmann, and U. Eckhardt. Strong-Coupling Calculation of the Upper Critical Field of Amorphous Lead. — Physical Review В 8, 11, 5324 (1973).

151. С. Т. Rieck, К. Scharnberg, and N. Schopohl. Quasiclassical Theory of the Upper Critical Field of High-Field Superconductors. Application to Momentum-Dependent Scattering. — Journal of Low Temperature Physics, 84, 381 (1991).

152. А. А. Абрикосов, JI. П. Горьков. Спин-орбитальное взаимодействие и найтовский сдвиг в сверхпроводниках. — ЖЭТФ 42, 1088 (1962).

153. Z. D. Kvon, Kijoon Kim, Nam Kim, Hu Jong Lee, M. V. Budantsev and M. R. Baklanov. Quantum Transport in Ultrathin CoSi2 Polycrystalline Films. — Solid State Communications 104, 3, 147 (1997).

154. J. F. DiTusa, J. M. Parpia, Julia M. Phillips. Quantum transport in ultrathin CoSi2 epitaxial films. — Applied Physics Letters 57(5), 452 (1990).

155. K. Kyllesbech Larsen, M. Van Hove, A. Lauwers, R. A. Donaton, K. Maex, and M. Van Rossum. Electron transport in metallic iron disilicide. — Physical Review В 50, 14200 (1994).

156. Makoto Matsui, Takashi Ohshima, Fumio Komori, and Shun-ichi Kobayashi. Phase coherent length measurements in single-crystal NiSi2 films. — Journal of Applied Physics 67(10), 6368 (1990).

157. F. Jentzsch, R. Schad, S. Heum, and M. Henzler. Magnetoconductivity of thin epitaxial NiSi2 films in UHV at low temperatures. — Physical Review В 44, 8984 (1991).

158. В. Ф. Гантмахер, И. Б. Левинсон. Рассеяние носителей тока в металлах и полупроводниках. — М.: Наука. 1984.

159. James М. Gordon, С. J. Lobb, and М. Tinkham. Electron inelastic lifetime and electron-electron attraction strength in A1 films. — Physical Review В 28, 7, 4046 (1983).

160. R. Richter, D. V. Baxter, and J. O. Strom-Olsen. Quantum corrections to the conductivity in Mg-based metallic glasses. — Physical Review В 38, 15, 10421 (1988).

161. С. Y. Wu and J. J. Lin. Weak-localization and Maki-Thompson superconducting fluctuation effects in crystalline disodered Ti-Al-(Sn,Co) alloys at T > Tc. — Physical Review В 50, 1, 385 (1988).

162. Karl Meiners-Hagen and Wolfgang Gey. Maki-Thompson correction to magnetoresistance in three-dimensional disordered alloys. — Physical Review В 63, 052507 (2001).

163. A. F. Hebard and M. A. Paalanen. Magnetic-Field-Tuned Superconductor-Insulator Transition in Two-Dimensional Films. — Physical Review Letters 65 (7), 927 (1990).

164. AH Yazdani and Aharon Kapitulnik. Superconducting-Insulating transition in Two-Dimensional a-MoGe Thin Films. — Physical Review Letters 74 (15), 3037 (1995).

165. A. V. Samoilov, N.-C. Yeh, and С. C. Tsuei. Electron localization effects on the low-temperature high-field magnetoresistivity of three-dimensional amorphous superconductors. — Physical Review В 57 (2), 1206 (1998).

166. S. Okuma, T. Terashima, and N. Kokubo. Superconductor-insulator transition driven by magnetic-field and disorder in two-dimensional Mo^Si—1 — x films. — Solid State Communications 106 (8), 529 (1998).

167. S. Okuma, Т. Terashima, and N. Kokubo. Anomalous magnetoresistance near the superconductor-insulator transition in ultrathin films of a-MoxSi—1 — x. — Physical Review В 58 (5), 2816 (1998).

168. Nadya Mason and Aharon Kapitulnik. Dissipation Effects on the Superconductor-Insulator Transition in 2D Superconductors. — Physical Review Letters 82 (26), 5341 (1999).

169. N. Markovic, C. Christiansen, A. M. Mack, W. H. Huber, and A. M. Goldman. Superconductor-insulator transition in two dimensions. — Physical Review В 60 (6), 4320 (1999).

170. M. V. Feigel'man, A. I. Larkin. Quantum superconductor-metal transition in a 2D proximity-coupled array. — Chemical Physics 235 107 (1998).

171. B. Spivak, A. Zyuzin, M. Hruska. Quantum Superconductor-Metal Transition. — preprint cond-mat/0004058.

172. M. V. Feigel'man, A. I. Larkin, and M. A. Skvortsov. Quantum Superconductor-Metal Transition in a Proximity Array. — Physical Review Letters 86, 1869 (2001).

173. R. S. Newrock, C. J. Lobb, U. Geigenmuller, M. Octavio. The Two-Dimensional Physics of Josephson Junction Arrays. — Solid State Physics 54, 263-512 (2000).

174. S. Strassler and P. Wyder. Effect of the Mean Free Path on the Magnetic Behavior of Small Superconducting Particles. — Physical Review 158, 319 (1967).

175. E. V. Bezuglyi, E. N. Bratus', V. S. Shumeiko, G. Wendin, H. Takayanagi. Circuit theory of multiple Andreev reflections in diffusive SNS junctions: The incoherent case. — Physical Review В 62, 14439 (2000).

176. Т. I. Baturina, Z. D. Kvon, R. A. Donaton, M. R. Baklanov, E. B. Olshanetsky, K. Maex, A. E. Plotnikov, J. C. Portal. Mesoscopic S-N-S Junctions on the Basis of Superconducting PtSi Films. — Physica В 284-288, 1860 (2000).

177. M. В. Фейгельман, В. В. Рязанов, В. Б. Тимофеев. Мезоскопические и сильнокоррелированные электронные системы "Черноголовка-2000". Квантовая мезоскопика: современное состояние. — Успехи физических наук 171(10), 1099 (2001).

178. I. V. Yurkevich and Igor V. Lerner. Nonlinear a model for disordered superconductors. — Physical Review В 63, 064522 (2001).176

179. Z. D. К von, Т. I. Baturina, R. A. Donaton, M. R. Baklanov, M. N. Kostrikin, E. B. Olshanetsky, K. Maex, J. C. Portal. Maki-Thompson corrections in thin superconducting PtSi films nearby Tc. — Physica В 284-288, 959 (2000).

180. Т. I. Baturina, Z. D. Kvon, and А. Е. Plotnikov. Two-dimensional array of diffusive SNS junctions with high-transparent interfaces. — Physical Review В 63, 180503(R) (2001).

181. Т. I. Baturina, Z. D. Kvon, A. E. Plotnikov, R. Donaton, M. R. Baklanov. Diffusive single and multiply connected SNS systems with high-transparent interfaces. — Успехи Физических наук, Usp. Fiz. Nauk (Suppl.) 171, 91 (2001).