Механические свойства нитевидных кристаллов кремния тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ОБРАЗЦЫ, ПРИБОРЫ, ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДИКИ ПРОВЕДЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ

1.1. Обоснование выбора объекта исследования

1.2. Образцы и их подготовка для проведения исследований

1.2.1. Выращивание, отбор и определение морфологии нитевидных кристаллов кремния

1.2.2. Исследование структуры нитевидных кристаллов кремния методами травления, рентгеноструктурного анализа и электронной микроскопии .;.

1.2.3. Создание электрических контактов к нитевидным кристаллам кремния

1.3. Установка для комплексных исследований механических и электрических свойств нитевидных кристаллов в диапазоне температур 150-1500 К

1.4. Установки и приспособления для исследования механических свойств нитевидных кристаллов кремния и тензопре-образователей на их основе при изгибе

1.5. Новый способ исследования ползучести нитевидных кристаллов при одноосном растяжении

1.6. методики исследования свойств нитевидных кристаллов

1.6.1. Методика исследования возврата формы пластически деформированного нитевидного кристалла при отжиге

1.6.2. Методика и расчёт упругих напряжений, возникающих при кручении в поперечном сечении нитевидного кристалла кремния

1.6.3. Методика измерения внутреннего трения и определения энергии активации релаксационных процессов

1.7. Устройства и методики для исследования электрических свойств нитевидных кристаллов кремния и тензорезисто-ров на их основе

1.7.1. Установка для исследования свойств нитевидных кристаллов кремния со свободной от клея поверхностью

1.7.2. Установка для исследования электрических характиристик нитевидных кристаллов кремния и тензопреобразователей на их основе

1.7.3. Установка для исследования нитевидных кристаллов и тензорезисторов на их основе в электростатическом поле .*.

1.7.4. Методика испытаний нитевидных кристаллов кремния и тензопреобразователей при температурах ниже77 К

1.8. Основные результаты и краткие выводы

ГЛАВА 2. ПРОЧНОСТЬ, ПЛАСТИЧНОСТЬ И ОСОБЕННОСТИ РАЗРУШЕНИЯ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

2.1. Упругие свойства и прочность нитевидных кристаллов кремния при 300 К, состояние вопроса на момент начала исследований

2.2. Прочность и особенности разрушения изгибаемых при 300 К нитевидных кристаллов кремния

2.3. Влияние температуры на прочность, упругие свойства и характер разрушения нитевидных кристаллов

2.4. Исследование особенностей пластической деформации, предшествующей разрушению нитевидных кристаллов кремния

2.5. модель и механизм разрушения нитевидных кристаллов кремния и обсуждение экспериментальных результатов

2.6. основные результаты и краткие выводы

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАРОЖДЕНИЯ ДИСЛОКАЦИЙ И ЭВОЛЮЦИИ ОБЪЕМНОЙ СТРУКТУРЫ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ МЕТОДАМИ ВНУТРЕННЕГО ТРЕНИЯ И ПОЛЗУЧЕСТИ

3.1. Низкочастотное внутреннее трение в исходных нитевидных кристаллах кремния

3.2. Высокотемпературный фон внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния

3.3. Формирование дислокационной структуры в нитевидных кристаллах кремния в процессе ползучести

3.3.1. Результаты эксперимента

3.3.2. Модель кручения нитевидного кристалла кремния при растяжении и обсуждение экспериментальных результатов .л.

3.4. дислокационный спектр внутреннего трения в ни-.тевидных кристаллах кремния после деформирования знакопеременным кручением и растяжением

3.5. Низкотемпературный дислокационный спектр внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния

3.5.1. Температурная зависимость внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния

3.5.2. Амплитудная зависимость внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния

3.5.3. Природа затухания энергии упругих колебаний нитевидных кристаллов кремния в области низких температур

3.5.4. Упругое взаимодействие перегиба на дислокации с точечным дефектом

3.5.5. Иерархия пиков внутреннего трения в кристаллах с высокими барьерами Пайерлса при температурах ниже 300 К в свете механизма, обусловливающего их появление

3.5.6. О природе амплитудной зависимости наблюдаемого внутреннего трения

3.6. Влияние электронной подсистемы на дислокационный спектр внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния

3.6.1. Дислокационный спектр внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния различного типа проводимости

3.6.2. Модель заполнения энергетических состояний электронов, локализованных на дислокационных перегибах

3.6.3. определение электронного вклада в энергию образования и миграции перегибов на линиях дислокации в кремнии

3.7. Способ повышения демпфирующих свойств полупроводниковых материалов

3.8. Основные результаты И краткие выводы

ГЛАВА 4. СВОЙСТВА ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ

НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ.

4.1. Характеристики ненаклеенных тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния

4.2. Теория изменения электросопротивления тензоре-зистора при изгибе и обсуждение эксперимента

4.3. Характеристики тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния, размещенных на композиционном материале . . . . ;.

4.4. Влияние электростатического поля на характеристики тензопреобразователей на основе нитевидных кристаллов кремния

4.5. Исследование тензопреобразователей на основе нитевидных кристаллов кремния при температурах ниже 77 К

4.6. Основные результаты и краткие выводы

ГЛАВА 5. ПРИМЕНЕНИЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ НА ОСНОВЕ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ ПРИБОРОВ И ИССЛЕДОВАНИИ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ

5.1. Определение упругих характеристик композиционных материалов при помощи размещенных на их поверхности тен-зорезисторов из нитевидных" кристаллов кремния

5.2. Определение деформаций композиционных материалов с помощью размещенных в объеме тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния.

5.3. Приборы и макеты с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния для исследования композиционных материалов и других целей

5.3.1. Экстензометры- для определения упруго-прочностных характеристик композиционных материалов

5.3.2. Устройство на основе нитевидных кристаллов кремния для измерения деформации высокомодульных композиционных материалов

5.3.3. Измеритель перемещений на основе нитевидных кристаллов кремния

5.4. Использование нитевидных кристаллов кремния в качестве чувствительного элемента измерителя усилий, датчика давления, акселерометра, термоанемометра, частотного преобразователя

5.5. основные результаты и краткие выводы

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

Актуальность проблемы. Проблема пластичности и разрушения нитевидных кристаллов (НК) материалов с кубической решеткой алмаза и, в частности, кремния актуальна в двух аспектах. Во-первых, особенности формы, возможность получения НК с высокой степенью совершенства кристаллической структуры и морфологии поверхности делают его незаменимым объектом в изучении размерного эффекта, эффекта свободной поверхности в процессах зарождения дислокаций и других элементарных актов пластической деформации, в установлении механизма разрушения кристаллов с высокими барьерами Пайерлса. НК позволяют исследовать локализацию пластической деформации и разрушение; выявить взаимосогласованное коллективное действие совокупности физических механизмов пластической деформации, проявляющихся на разных структурных уровнях; исследовать особенности пластического течения. Как полупроводниковый материал, НК кремния дает возможность исследовать не только процессы зарождения и движения дислокаций, но и взаимодействие дислокаций с электронной подсистемой в материалах с высокими барьерами Пайерлса.

Во-вторых, НК кремния представляют собой уникальный материал для создания широкого спектра преобразователей температуры, деформации, давления, ускорения в электрический сигнал для разного рода приборов: экстензометров, акселерометров, термоанемометров, терморезисторов и др. В этой связи, в частности, разработка тензорезисторов на основе НК ставит вопрос об определении предела прочности и закономерностей разрушения кристалла и выявлении условий появления первых дислокаций в НК, приводящих к нестабильной работе преобразователей, изготовленных на их основе. Диссертационная работа выполнена в проблемной научно-исследовательской лаборатории нитевидных кристаллов на кафедре физики Воронежского государственного технического университета по госбюджетным темам: "Теоретические и экспериментальные исследования кинетики роста, структуры и комплекса свойств нитевидных криста'ллов. Создание кристаллов для новой техники" (номер Г.Р. 01818014599); ГБ 86.24 "Рост, структура и свойства НК и пленок, создание композиционных материалов различного назначения" (номер Г.Р. 01860069598); ГБ 91.11 - "Исследование воспроизводимости и стабильности механических характеристик НК кремния, полученных методом гетерофазного синтеза" (номер Г.р. 01910011393) и др.

Цель и задачи работы. Целью настоящей работы являлось установление закономерностей и механизмов пластической деформации и разрушения НК кремния.

В соответствии с поставленной целью были сформулированы следующие задачи:

1. Разработать способы и методики исследования механических свойств НК кремния.

2. Исследовать процессы зарождения дислокаций и формирования дислокационных структур в НК кремния.

3. Исследовать последовательность включения механизмов движения дислокаций и определить энергетические характеристики выявленных процессов.

4. Исследовать прочность НК кремния и установить закономерности их разрушения. Разработать качественную модель разрушения НК кремния.

Научная новизна. Выявлено условие реализации одноплоскост-ного скольжения в НК кремния {112} <И1> при изгибе вокруг оси <110>, приводящее к закручиванию НК, состоящее в ориентации поверхности НК с максимальными растягивающими напряжениями параллельно долинам пайерлса только в одной из возможных плоскостей скольжения, имеющих одинаковые факторы Шмида.

Предложен механизм диссипации энергии, включающий открепление геометрического дислокационного перегиба от вакансий за счет локальных колебаний одиночного перегиба вблизи вакансии и коллективных колебаний системы геометрических перегибов на дислокационном сегменте с участием в акте открепления ближайшего к закрепленному свободного перегиба. При этом оба процесса реализуются на одном дислокационном сегменте по механизму свободно-замороженного расщепления, а наличие выявленных трех дублетов максимумов внутреннего трения связывается с существованием в кремнии трех типов перегибов.

Определен электронный вклад в энергию образования и движе-яия перегибов различного типа на дислокациях в кремнии, который составил от -0,1 до -0,3 эВ.

Предложена модель, объясняющая закономерности изменения высокотемпературного фона внутреннего трения в НК кремния за счет формирования дислокационных границ с увеличением доли симметричных в процессе знакопеременного деформирования.

Предложена качественная кинетическая модель разрушения НК, основанная на активном участии свободной поверхности в конкуренции процессов формирования и релаксации ответственных за разрушение кристаллов дефектных структур, использующая соотношение скоростей деформирования и самосогласованного продвижения дислокационных групп от поверхностных концентраторов напряжений в объем по механизмам образования одиночных (от поверхности НК) и двойных термических перегибов, а также поперечного скольжения и переползания (при высоких температурах).

Предложены оригинальные методики и способы исследования механических свойств кристаллов нитевидной формы (высокотемпературное деформирование с одновременным измерением внутреннего трения; измерение угла закручивания при растяжении и др.).

Практическая ценность и реализация результатов работы заключается в разработанных способах и установках, которые могут использоваться другими исследователями. Полученные результаты способствовали созданию лабораторной технологии получения нитевидных кристаллов кремния (проф. А.А. Щетинин с сотрудниками) и стимулировали разработку теории пластического деформирования НК (проф. A.M. Рощупкин с сотрудниками).

В работе заложены научные основы создания тензопреобразо-вателей на основе НК кремния для исследования свойств композиционных материалов. Показана возможность размещения преобразователей не только на поверхности, но и в объеме композиционного -материала, причем тензорезисторы на основе НК с точностью, лучшей на порядок, чем фольговые, позволяют определять модуль юнга и коэффициент Пуассона высокомодульных композиционных материалов. Предложены способы повышения демпфирующей способности НК кремния при т ~ (150-500) К путем пластической деформации при температурах а 0,8ТПЛ. Разработан ряд приборов и устройств на основе НК кремния (экстензометры, акселерометры, измерители: перемещений, мышечных усилий, разности давлений и др.). Два ма-лобазных экстензометра демонстрировались на ВДНХ СССР в 1986 и 1988 годах и отмечены серебряной и бронзовой медалями. Предложены способы преобразования выходного сигнала в частоту следования импульсов. Комплекс приборов, созданных на основе НК кремния, и результаты исследования с их помощью композиционных материалов внедрены на предприятиях г. Москвы и г. Воронежа. Результаты исследования внедрены также в учебный процесс Воронежского государственного технического университета при чтении лекций по курсу "Релаксационные явления в твердых телах" и при проведении научных, курсовых и дипломных работ студентами и аспирантами. Разработанные способы исследования и приборы защищены одиннадцатью авторскими свидетельствами.

Основные научные положения и результаты, выносимые на защиту

1. Пластическая дефор'мация НК кремния в диапазоне температур 150-1500 К обеспечивается работой не менее четырех механизмов движения дислокаций: перемещение геометрических перегибов на линиях дислокаций, движение дислокаций за счет образования одиночных и двойных термических перегибов, а также переползание и поперечное скольжение дислокаций; переход от механизма движения дислокаций за счет образования одиночных перегибов от поверхности к механизму движения за счет образования двойных перегибов на линии дислокации зависит от диаметра кристалла, температуры и скорости нагружения.

2. Зарождение дислокаций от свободной поверхности НК кремния происходит преимущественно в плоскости, долины Пайерлса которой параллельны этой поверхности, и совместно с действием механизма одноплоскостного скольжения приводит к развитию автокаталитического самопроизвольного закручивания НК, имеющего размерный характер и обусловливающего ускорение пластической деформации НК.

3. На температурной зависимости низкочастотного внутреннего трения в диапазоне температур 150-1500 К выявляются четыре группы релаксационных максимумов дислокационной природы, обладающих тонкой структурой, проявляющейся в зависимости от вида, степени и температуры предварительной деформации, вида и уровня легирования.

4. Обнаруженное в НК кремния в диапазоне температур 150-300 К семейство релаксационных максимумов внутреннего трения имеет дислокационную природу типа пиков Хасигути.

5. Экспериментальные результаты по исследованию прочности и разрушения НК кремния и качественная модель, описывающая разрушение НК как кинетический процесс, состоящий из зарождения дислокаций и накопления дислокационных групп у поверхности концентраторов напряжения, а "затем либо их самосогласованное продвижение от свободной поверхности- в объем кристалла, либо образование микротрещин с дальнейшим их слиянием в макротрещину, приводящую к разрушению НК.

6. Способы и методики исследования механических свойств НК кремния, защищенные авторскими свидетельствами.

Апробация работы. Основные результаты и положения диссертационной работы докладывались - и обсуждались на:

IX, XI, XII Всесоюзных (Куйбышев, 1979, 1986, 1989) И XIII -Международной конференциях (Самара, 1992) по физике прочности и пластичности металлов и сплавов;

Всесоюзных совещаниях по механизмам внутреннего трения в твердых телах (Сухуми, 1976; Кутаиси, 1979, 1982; Батуми, 1985; Тбилиси, 1989);

IV, V, VII Всесоюзных совещаниях по взаимодействию между дислокациями и атомами примесей и свойствам сплавов (Тула, 1979, 1982, 1988);

III, IV, V школах по физике прочности и пластичности, v

Харьков (Салтов), 1984, 1987, 1990);

IV, V научно-технических конференциях по демпфирующим металлическим материалам (Киров, 1984, 1988);

I, II Всесоюзных (Новокузнецк, 1988, 1991) и III Междуна-народной (Николаев (Коблево), 1993) конференциях-семинарах "Пластическая деформация материалов в условиях внешних энергетических воздействий";

III Всесоюзной конференции "Нитевидные кристаллы для новой техники'Ч Воронеж, 1978);

Всесоюзных (Москва, 1981, 1986; Ижевск, 1983; Кишенев, 1986; Пенза, 1987; Вильнюс, 1987; Черновцы, 1987) и Международной (Воронеж, 1994) конференциях по практическому использованию тензопреобразователей;

III и IV Международных конференциях "Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов" (Воронеж, 1994, 1996);

Международных, Всесоюзных и Всероссийских научных конференциях по механизмам релаксационных явлений в твердых телах, физике прочности и пластичности (Киев, 1980; 1984; Новосибирск, 1982, 1984; Томск, 1984, 1985; Черноголовка, 1987; Свердловск, 1987; Волгоград, 1987; Юрмала, 1987; Ереван, 1987; Харьков, 1988; Череповец, 1988; Барнаул, 1988; Ижевск, 1989; Каунас, 1989; Николаев, 1990; Воронеж, 1980, 1987, 1992 - 1996, 1999).

Публикации. Результаты исследования отражены в 147 работах, в том числе в 11 авторских свидетельствах, 5 монографиях (из них 3 депонированы в ВИНИТИ). Монография "Релаксационные явления в нитевидных кристаллах полупроводников" отмечена Почетной грамотой на республиканском конкурсе (Таганрог, 1988). По результатам работы сделано свыше 70 докладов на симпозиумах, конференциях, школах и семинарах. Автор в работах, которые отражают основное содержание диссертации, осуществлял постановку задач, планирование и проведение эксперимента, обсуждение результатов, выработку моделей и механизмов, формирование выводов. Научным консультантом по вопросам теоретической физики являлся д-р физ.-мат. наук, профессор A.M. Рощупкин. структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов, списка литературы из 386 наименова

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. для исследования механических свойств НК кремния разработан ряд оригинальных способов и методик, из которых десять защищены авторскими свидетельствами.

2. Установлено, что зарождению дислокаций в НК кремния соответствует релаксационный процесс с энергией активации 3,2 эв и частотным фактором ю13 с"1, а в области температур выше 1000 К в процессе знакопеременного кручения и растяжения формируется высокотемпературный фон внутреннего трения с энергией активации 3,1+3,4 эВ. Показатель дробности фона с увеличением числа циклов деформирования знакопеременным кручением и растяжением уменьшается от 0,9 до 0,3. Предложена качественная модель формирования в НК кремния в процессе измерения внутреннего трения в области высоких температур дислокационной блочной структуры вначале с множеством асимметричных границ, в процессе эволюции которых увеличивается доля симметричных границ.

При изгибе НК кремния, ограненных плоскостями {112} вокруг оси <11 о>, развивается только одноплоскостное скольжение, сопровождающееся закручиванием кристалла. Для объяснения полученного результата предложена модель зарождения дислокаций, учитывающая ориентацию долин Пайерлса к свободной поверхности.

3. При температуре ниже 300 к выявлено шесть дислокационных максимумов внутреннего трения с энергией активации (0,2-0,6) эВ, проявляющихся в зависимости от вида, степени и температуры деформирования, образующих три дублета, в каждом из которых частотный фактор различается на два порядка, а энергия активации в 1,7 раза. Предложен механизм диссипации энергии, обусловленный взаимодействием геометрических перегибов на линиях дислокации с точечными дефектами.

4. В деформированном кристалле в диапазоне температур 150-1500 К на частоте 1 ГЦ выявлено четыре типа релаксационных процессов: связанный с взаимодействием геометрических перегибов на дислокации с точечными дефектами; с движением дислокаций по механизмам образования одиночных и двойных термических перегибов; с зарождением дислока'ций от поверхности. Определена энергия активации наблюдаемых процессов, которая составила от 0,2 до 3,2 эВ. Методом внутреннего трения обнаружено влияние электронной подсистемы на подвижность дислокаций в кремнии. На основе модели Б.М. Даринского и В.И. Белявского В.И. проведены оценки электронного вклада в энергию образования и миграции перегибов различного типа на 60-градусных и винтовых дислокациях в кремнии. На основе полученных результатов предложена схема смены механизмов пластической деформации.

5. Установлено, что при 300 к для всех видов деформирования НК кремния прочность носит статистический характер, наибольшую деформацию 4,5 7. до разрушения выдержал при растяжении НК диаметром 1-ю"6 м. Прочность бездислокационных НК кремния существенно снижают дефекты свободной поверхности. На поверхности разрушения НК выделено три области, с увеличением температуры испытания и напряжения разрушения рельеф поверхности разрушения кристалла усложняется. Во всем диапазоне температур исследования разрушению исходных бездислокационных НК кремния сопутствует пластическая деформация, в области 77 к выявлены следы микропластичности, а при 750 К наблюдается макропластичность кристаллов.

Предложена качественная кинетическая модель разрушения, основанная на активном участии в этом процессе свободной поверхности.

6. Показано, что изменение электросопротивления НК кремния в условиях чистого изгиба обусловлено квадратичной зависимостью электропроводности от деформации. Для кремния определен коэффициент тензочувствительности второго порядка.

В заключение выражаю глубокую благодарность чл.-корр. ран, д7ру физ.-мат. наук, профессору В.м. Иевлеву и коллективу руководимой им кафедры общей физики за постоянную поддержку и помощь в работе. Особую благодарность выражаю Д-ру физ.-мат. наук, профессбру а.И. дрожжину за творческое сотрудничество и помощь в становлении.

Считаю своим долгом выразить благодарность за помощь и полезные творческие дискуссии докторам наук, профессорам a.m. Беликову, В.И. Белявскому, Б.М. Даринскому, И.В. Золотухину, а.а. Щетинину, доценту И.Л. Батаронову и безвременно ушедшим из жизни профессорам a.m. Рощупкину и ю.а. Федорову.

Благодарю сотрудников проблемной лаборатории НК в.в. Дежи-на, а.а. Долгачева, а.и. Дунаева, а.П. Ермакова, И.В. Мишина, Е.П. Новокрещенову, а.Б. Парфеньева, С.в. Попова, н.к. Седых, м.и. Старовикова и др. за помощь в проведении работ и дружеское участие.

1. Бережкова Г. В. Нитевидные кристаллы.-М.: Наука, 1969.158 с.

2. Аммер С.А., Постников B.C. Нитевидные кристаллы.-Воронеж: ВПИ, 1974.-284 с.

3. Макеев М.Н. Свойства и генезис природных нитевидных кристаллов и их агрегатов.-М.: Наука, 1971.-199 с.

4. Гиваргизов Е.И. Рост нитевидных и пластинчатых кристаллов из пара.-М.: Наука, 1977.-304 с.

5. Дрожжин А. И. Нитевидные кристаллы с аксиальным р-n переходом.-Воронеж, 1984.-127 с.-деп. в ВИНИТИ 7.05.84, № 2932-84.

6. Дрожжин А.И. Структурные-дефекты и механические свойства нитевидных кристаллов германия.-Воронеж, 1985.-230 с. Деп. В ВИНИТИ 27.05.85, If 3658-85.

7. Дрожжин А.И. Релаксационный спектр деформированных нитевидных кристаллов с высокими барьерами Пайерлса.-Воронеж, 1985.-118 с. Деп. в ВИНИТИ 24.07.85, If 5395-85.

8. Дрожжин А.И., Антипов С.А., Ермаков А.П. Нитевидные кристаллы полупроводников. Приборы и методики исследования свойств и структуры. -Воронеж, 1987. -145 с. Деп. в ВИНИТИ 3.И.87, № 7702-87.

9. Пластическая деформация нитевидных кристаллов / a.m. Беликов, а.и. Дрожжин, a.m. Рощупкин, с.а. Антипов, М.И. старо-виков, И.Л. Батаронов, А.П. Ермаков.-Воронеж: ВГУ, 1991.-204 с.

10. Разрушение нитевидных кристаллов кремния и германия / В.в. Дежин, А.П. Ермаков, а. Б. Парфеньев, с. а. Антипов,И.Л. Батаронов, А. И. Дрожжин, A.M. Рощупкин, М.И. Старовиков -Воронеж, 1989.-216 с.- деп. в ВИНИТИ 24.10.89, № 6403-В89.

11. Особенности пластической деформации нитевидных кристаллов / A.M. Беликов, А.И. Дрожжин, A.M. РОЩуПКИН, С.А. АНТИпов, М.И. старовиков, И.Л. Батаронов, а.п. Ермаков Воронеж, 1989.-221 с.- деп. в ВИНИТИ 10.05.89, № 3009-В89.

12. Беликов A.M. Исследование некоторых путей управления дислокационной структурой и прочностными свойствами ГЦК-метал-лов: Автореф. дис. . д-ра техн. наук.-Воронеж, 1973.-32 с.

13. Рощупкин A.M. Динамическая теория фронта пластического сдвига в кристаллах: Автореф. дис. . д-ра физ.-мат. наук.-Воронеж, 1991.-32 с.

14. Дрожжин А.И., Ермаков А.П. Лабед Л.И. Ползучесть при одноосном растяжении предварительно деформированных кручением нитевидных кристаллов германия // Известия РАН. Сер. физическая. -1993. -Т. 57. № 11.-е. 106-111.

15. Дрожжин А.и., Ермаков А.П. микропластичность при цитировании на герцевых частотах нитевидных кристаллов германия // Известия РАН. Сер. физическая.-1993.-т. 57, № 11.-С. 12-20.

16. Нитевидные кристаллы и неферромагнитные пленки: Тр. Iнауч. конф. 4.1. Нитевидные кристаллы.-Воронеж: ВПИ, 1970.-286 с.

17. Нитевидные кристаллы и тонкие пленки: Материалы II Все-союз. науч. конф. 4.1. Нитевидные кристаллы.-Воронеж: ВПИ, 1975. -466 с.

18. Нитевидные кристаллы для новой техники: Материалы III Всесоюз. конф.-Воронеж: ВПИ, 1979.-231 с.

19. Дислокационная структура деформируемых изгибом нитевидных кристаллов кремния / А.П.- Ермаков, М.И. Старовиков, с.А. Антипов, А. И. Дрожжин // Кристаллография.-1989. -.№ 2.-С. 512.

20. Kinetic Features of Torsion Stress-Strain Ourves for Semiconductor Whiskers / S.A. Antipov, J.L. Bataronov, A.J. Drozhzhin, A.P. Ermakov, A.M. Roshchupkin // Phys. Stat, sol(a). -1995.-Vol. 149.-P. 637-648.

21. Донорные действия дислокаций в монокристаллах n-Si / В.Г. Еременко, В.И. Никитенко, У.Б. Якимов, Н.А. Ярыкин // Физика и техника полупроводников.-1978.2.-С. 273-279.

22. Антипов С.А., Уразов В.И., Дрожжин А.И. Устройство и методика определения стойкости преобразователей на основе нитевидных кристаллов p-Si в средах, применяемых при эпитаксиальном наращивании // Новые приборы.-М.: ЦИАМ, 1981.-С. 26-29.

23. Дрожжин А.И. Преобразователи на нитевидных кристаллах p-Si <111>. Воронеж, 1984. - 240 с. - Деп. в ВИНИТИ 8.10.84, № 6606-84.

24. Анкудинов Д.Т., Мамаев К.Н. Малобазные тензодатчики сопротивления.-М.: Машиностроение, 1968.-182 с.

25. Тензодатчики для экспериментальных исследований / Н.П. Клокова, в.Ф. Лукашник, Л.м. Воробьева, А.В. Волчек.-М.: Машиностроение, 1972.-281 с.

26. Клокова Н.П. Тензорезисторы. -М.: Машиностроение, 1990. -222 с.32. сандулова А.В., Марьямова и.и., заганяч Ю.И. Тензоэф-фект в нитевидных монокристаллах кремния, выращенных из газовой фазы // Физика твердого тела.-1965.-Т. 7, tf 5.-С. 1581-1582.

27. Тензометрия в машиностроении / Под ред. Р.А. Макарова. -М.: Машиностроение, 1975.-288 с.

28. Полупроводниковые тензодатчики. / Под ред. М. Дина. -М., Л.: энергия, 1965.-215 с.

29. Тензорезисторы. История и перспективы развития / Н.П. Клокова, Л.С. Ильинская, Л.С. Кузнецова, В.В. Поднебесов // Приборы и системы управления.-1989.-№ 4.-С.16-18.

30. Датчики на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Щетинин, А.и. Дунаев, А.А. Долгачев, И.В. Мишин, В.А. Небольсин, В.В. Корчагин, Е.Е. Попова, И.о. Огиенко, А.Г. Звездин, и.л. Новиков, Е.Л. Гридяев // метрология.-1991.5.-С. 3-12.

31. Рост и свойства нитевидных кристаллов твердого раствора Ge-Si / А. А. Щетинин, А. и. Дунаев, С. А. Антипов, А. И. курга-шева, Е.П. Новокрещенова, Р.Н. Кострыкина, Г.И. Чеботарева.-Воронеж, 1987.-26 с.- деп. в ВИНИТИ 25.03.87, № 2173-В87.

32. Исследование процессов зарождения и роста нитевидных кристаллов кремния / А.и. Дунаев, А.Ф. Татаренков, Л.И. Бубнов, Ю.П. Федоров // Физика-химия полупроводникового материаловедения. -Воронеж: ВГУ, 1978.-С. 82-89.

33. Корчагин В.В. Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров: Автореф. дисс. . канд. физ.-мат. наук.-Воронеж, 1995.-16 с.

34. Беленов Г.Н., Дрожжин А.И., Лабед Л.И. Микропластичность нитевидных кристаллов при циклических нагружениях // Известия РАН. Сер. физическая.-1993.-Т. 57. № 11.-С. 112-114.

35. Исследование прямыми методами дислокационных структур в нитевидных кристаллах кремния на начальной стадии пластичности / М.И. Старовиков, А.И. Дрожжин, С.А. Антипов, A.M. Беликов. -Воронеж, 1983.-40 с.-Деп. в ВИНИТИ 16.06.83, № 3318-83.

36. Исследование реальной структуры нитевидных кристаллов кремния / М.И. Старовиков, А.И. Дрожжин, С.А. Антипов, В.И. Колтунов, А.И. Королева, А.П. Ермаков. -Воронеж, 1986. -25 с. -Деп. в ВИНИТИ 7.03.86, № 1583-В86.

37. Полупроводниковые тензорезисторы типа "Кремнистор" / А.В. сандулова, И.И. Марьямова, Ю.И. Заганяч, Б.И. сидор, в.А. Алехин // Электротензометрия. 4.1.-Л.: ЛДНТП, 1969.-С. 25-31.

38. Особенности низкотемпературного внутреннего трения в деформированных нитевидных кристаллах кремния / И.в. Мишин, с.а Антипов, А.И. Дрожжин, А.А. Щетинин.-Воронеж, 1987.-50 с. Деп в ВИНИТИ 28.10.87, № 7608-В87.

39. Мишин И.В., Дрожжин А.И., Антипов с.А. Универсальная установка для изучения комплекса механических и электрических свойств в нитевидных кристаллах // Заводская лаборатория.-1989.8.-С. 77-79.

40. Внутреннее трение в нитевидных кристаллах кремния в температурном диапазоне от 150 до 1200 к / А.И. Дрожжин, С.А. Антипов, И.В. Мишин, А.А. Щетинин, С.В. Сидорма, В. А. Митрофанов.- Воронеж, 1986.-63 с.-Деп. в ВИНИТИ 5.06.86, № 4106-В86.

41. Дислокационная структура пластически деформированных нитевидных кристаллов кремния / А.П. Ермаков, М.И. Старовиков, с.а. Антипов, А.И. Дрожжин, А.И. Дунаев, A.M. Рощупкин.-Воронеж, 1987.- 46 с.- Деп. в ВИНИТИ 5.08.87, № 5617-В87.

42. А.с. 1193503 СССР, МКИ4 G 01 N 3/08. Способ исследования ползучести монокристаллов при растяжении / М.И. старовиков,

43. А.И. ДрОЖЖИН, С.А. АНТИПОВ, A.M. РОЩупКИН (СССР). 371434/25 -28; Заявлено 21.03.84; Опубл. 23.11.85, Бюл. № 43 // открытия. Изобретения.-1985.- № 43.-С. 171.

44. Антипов С.А. Релаксационные, упругие и микропластические свойства нитевидных кристаллов кремния: Автореф. дис. . . . канд. физ.-мат. наук.-Воронеж, 1982.-16 с.

45. Надточий В.А., Нечволод* н.к., Тихонов А.П. Установка для исследования ползучести алмазоподобных полупроводниковых материалов при комнатной температуре // Заводская лаборатория.-1974. -.№ 1 . -С. 112-114.

46. Браун н. Наблюдение микропластичности // микропластичность. -М.: Металлургия, 1972.-С. 37-61.

47. Лоули А., Микин Дж. Термически активируемые процессы в микропластической области // микропластичность.-М.: Металлургия. 1972.-С. 62-76.

48. Монокристальные волокна и армированные ими материалы / Под ред. А.т. Туманова.-м.: мир, 1973.-464 с.

49. Reppics В., Haasen P., Fischer В. Krichen von silizium Einkristatten // Acta met.- 1964.-N 11.-P. 1283-1288.

50. Мышляев M.M., Никитенко В.И. Высокотемпературная ползучесть монокристаллов кремния // Доклады АН СССР.-1969.-т. 189, № 3.-С. 549-551.

51. Жуковский И.М., Рыбин В.В., Золоторевский Н.Ю. Теория пластических ротаций в деформируемых кристаллах // Физика металлов и металловедение.-1982.-.№ 1.-С. 17-27.

52. Панин В.Е., Лихачев В.А., Гриняев Ю.В. Структурные уровни деформации твердых тел.-Новосибирск: Наука, 1985.-230 с.

53. Одинг И.А. Прочность металлов.-Л.-М.: ОНТИ НКТП, 1935. -711 с.

54. Рубцов А.С., Рыбин В.В. Структурные особенности пластической деформации на стадии локализации течения // Физика твердого тела.-1977.-Т. 19. № З.-С. 611-622.

55. Беликов A.M., Косилов А.Т., Шепилов В.Б. Анализ астеризма деформированных растяжением нитевидных кристаллов меди // Вопросы физики твердого тела.-Воронеж: ВПИ, 1971.-е. 190-196.

56. Лихачев в.А., Хайров Р.Ю. Введение в теорию дисклина-ций.-Л.: ЛГУ, 1975.-183 с.

57. Орлов А.Н., Перевезенцев В.Н., Рыбин В.в. границы зерен в металлах.-М.: Металлургия, 1980.-156 с.

58. Рыбин В.В. Физическая модель явления потери механической устойчивости и образования шейки // Физика металлов и металловедение. -1977.З.-С. 624-632.

59. Перевезенцев в.П., Рыбин в.в. Анализ дефектных структур и механизмов аккомодации при сверхпластическом течении поликристаллов // Физика металлов и металловедение.-1981. 3.-С. 650- 658.

60. Мильвидский М.Г., освенский в.Б. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников.-М.: Металлургия, 1984.- 256 с.

61. Хирт Дж., Лоте Н. Теория дислокаций.-М.: Атомиздат, 1972.-600 с.

62. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. -М.: Наука, 1965.-200 с.

63. Пшеничнов Ю.П. Выявление тонкой структуры кристаллов.-М.: Металлургия, 1974.-528 с.

64. Горелик С.е., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электронно оптический анализ. -М.: Металлургия, 1970.-368 с.

65. Демидов С.П. Теория упругости.-М.: Наука, 1979.-250 с.

66. Антипов С.А., Свиридов В.В., Дрожжин А.И. Расчет упругих напряжений в сечении нитевидных кристаллов при кручении.-Воронеж, 1981.-14 с.-Деп. в ВИНИТИ 8.01.82, № 116-82.

67. К учету распределения упругих напряжений при фазовых превращениях / а. И. Дрожжин, В.В. Свиридов, С. а. Антипов, И. В. Сидельников // Фазовые превращения в твердых телах.-Воронеж:1. ВПИ, 1982.-С. 73-76.

68. Криштал М.А., Головин С.А. Внутреннее трение и стукту-ра металлов.-М.: Металлургия, 1976.-375 с.

69. Постников B.C. Внутреннее трение в металлах.-М.: Металлургия, 1974.-351 с.

70. Взаимодействие дислокаций с точечными дефектами при низких температурах в кристаллах с высокими барьерами Пайерлса / С.А. Антипов, И.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, A.M. Рощупкин // Известия РАН. Сер. физическая.-1996.-Т. 60. № 9.-С. 159-162.

71. Антипов с.А., Дрожжин А.И. Метод определения чувствительности тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния в неприклеенном состоянии // Заводская лаборатория.-1994.2.-С. 50-52.

72. Шадрин B.C. Способ присоединения омических контактов к кремниевым приборам // Приборы и техника эксперимента.-1966.-№ 4.-С. 222-223.

73. Чувствительные элементы на основе НК кремния /А.А. Щетинин, А.И. Дрожжин, А.и. Дунаев, Н.к. Седых, Е.П. Новокрещено-ва, Ю.П. Федоров, А.Ф. Татаренков // Новые приборы. Метрологическое объяснение испытания ГТД.-М. : ЦИАМ, 1979.17.-С. 18-26.

74. Шепилов В. Б., Проскурин В.В. Установка Р-20 НТ для испытаний конструкционных материалов при низких температурах // Заводская лаборатория.-1983.-.№ З.-С. 86-88.

75. Бреннер с. Факторы, влияющие на прочность нитевидных кристаллов // Волокнистые композиционные материалы. -М.: Мир, 1967.- С. 24-53.

76. Механ О., Герцог и. Механические свойства нитевидных кристаллов // Монокристальные волокна и армированные ими материалы. -М.: мир, 1973.-С. 148-183.

77. Механические свойства нитевидных кристаллов сапфира при высоких температурах / С.З. Бокштейн, Г.Н. Зайцев, С.Т. Кишкин, М.П. Назарова, И.Л. Светлов // Физика твердого тела.-1970. -Т. 12. № 6.-С. 1629-1634.

78. Масштабная зависимость и анизотропия прочности нитевидных кристаллов сапфира при комнатной температуре / С.З. Бок-штейн, с.Т. Кишкин, М.П. Назарова, И.Л. Светлов // Физика твердого тела.-1967.-Т. 9. № 7*.-С. 1887-1895.

79. Pearson G.L., Read W.T., Feldman W.L. Deformation and fracture of small silicon crystals. // Acta met.-1957.-N 4. -P. 181-191.

80. Seidowski E., Bleeck P. Mechanische Eigenschaften von Siwhiskern aus der Gasphase // Kristall und Technik.-1975.-N 9. -P. 973-978.

81. Marsh D.M. Stress concentrations at steps on cristal surfaces and their role in fracture // Fracture of solids, N.Y., Jonn Willey.-1963.-P. 119-142.

82. Нитевидные кристаллы с прочностью, близкой к теоретической / Э.М. Нагорный, Ю.А. Осипьян, М.Д. Перкас, В.М. Розен-берг // Успехи физических наук.-1959.4.-С. 625-662.

83. Бокштейн С.3., Кишкин С.Т., Светлов И.Л. возможность достижения высокой прочности с помощью нитевидных кристаллов // Физико-химические исследования жаропрочных сплавов.-М.: Наука, 1968.-С. 75-87.

84. Пластическая деформация нитевидных кристаллов корунда / B.C. Постников, А.А. Щетинин, С.А. Аммер, А.Г. Москаленко, А.И. Дрожжин //Физика твердого тела.-1969.-Т. и. № 6.-С. 1608-1610.

85. Надгорный Э.М., Степанов А.в. Испытание нитевидных кристаллов на растяжение и изгиб // Физика твердого тела.-1961. -Т. 3. № 4.-С. 1068-1073.

86. Эйзнер Р.Л. Кремний.-М.:Иностран. лит-ра.-i960.-245 с.

87. Господаревский В.В., Богоявленская И.П. влияние дефектов и примесей на механические свойства нитевидных кристаллов кремния, выращенных методом газотранспортных реакций // Физическая электроника.-Львов, 1970.З.-с. 73-78.

88. Алехин В.П. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов.-М.: Наука, 1983.-280 с.

89. Tyson W.R. Teoretical strengt of Perfect Crystals // Phil. Mag.-1966.131.-P.-925-936.

90. Низкотемпературная микропластическая деформация нитевидных кристаллов кремния на стадии упругого нагружения / В.в. Господаревский, В.П. Алехин, А.В. Сандулова, в.п. Вареца // Физика и химия обработки материалов.-1976.8.-С. 137-144.

91. О пластической деформации германия при комнатной температуре / В.А. Надточий, В.П. Алехин, Н.к. Нечволод, А.П. Тихонов, М.Х. Шоршоров // Физика и химия обработки материалов.-1974.3.- С. 83-90.

92. О закономерностях деформации кремния при комнатной температуре / В.А. Надточий, В.П. Алехин, Н.к. Нечволод, М.Х. Шоршоров // Физика и химия обработки металлов.-1974.6. -С. 103-108.

93. НО. Алехин В.П. О физической модели движения дислокаций в кристаллах с высоким рельефом Пайерлса в области хрупкого разрушения // Физика и химия обработки материалов.-1978.6.-с. 126-127.

94. Алехин В.П., Терновский А.Н. Структурные и кинетические особенности формоизменения материалов при микровдавливании // Новое в области испытаний на микротвердость.-м.: Наука, 1974. -С. 29-52.

95. Владимиров В.И. Физическая природа разрушения металлов. -М.: Металлургия, 1984.-280 с.

96. Старцев В.И., Ильичев и.я., пустовалов В.И. Прочность и пластичность металлов и сплавов при низких температурах.-м.: Металлургия, 1975.-328 с.

97. Финкель в.М. Физические основы торможения разрушения. -М.: Металлургия, 1977.-360 с.

98. Груздев А.Д. Исследование структуры, геометрии скольжения и низкочастотного внутреннего трения нитевидных кристаллов корунда: Автореф. дис. . канд. физ.-мат. наук. -Воронеж, 1975.- 16 с.

99. Волокнистые композиционные материалы / Под ред. д-ра техн. наук С.З. Бокштейна.-м.: Мир, 1967.-284 с.

100. Жога Л.В., Степанов В.А., Шпейзман В.В. Зарождение дислокаций в кремнии при низких температурах под действием высоких напряжений // Физика твердого тела.-1977. -Т. 19. № 8. -С. 1521-1523.

101. Особенности разрушения высокопрочных монокристаллов кремния / а.В. Жога, В.а. Степанов, Ю.Ф. Титовец, В.В. Шпейзман, Г.А. Доброхотов //Изв. АН СССР. Сер. физическая. -1976. -т. 40. № 7. -С. 1346-1350.

102. Степанов В.А., Песчанская Н.Н., Шпейзман В.В. Прочность и релаксационные явления в твердых телах.-Л: Наука, 1984. -245 с.

103. Бартенев Г.М., Бовкуненко А.А. Прочность стеклянных волокон и влияние на нее резличных факторов // Журнал технической физики.-1956.-№ 11.-С. 2508-2515.

104. Жуковский И.М., Рыбин В.В., Золоторевский Н.Ю. Теория пластических ротаций в деформируемых кристаллах // Физика металлов и металловедение.-1982.-.№ 1.-С. 17-27.

105. Регель В.Р., Слуцкер А.И., Томашевский Э.Е. Кинетическая природа прочности твердых тел.-М.: Наука, 1974.-560 с.

106. Журков С.н. Проблемы прочности твердых тел // вестник АН СССР.-1957.-№ 11.-С. 78-82.

107. Журков С.Н., Нарзуллаев Б.Н. Временная зависимость твердых тел // Журнал технической физики. 1953. - № ю. -С. 1677-1689.

108. Журков С.Н., Томашевский Э.Е. Исследование прочности твердых тел // Журнал технической физики.-1955.-№ 1.-С. 66-73.

109. Журков С.Н. Кинетическая концепция прочности твердых тел // Вестник АН СССР.-1968.-Jt З.-С. 46-52.

110. Журков С.Н. Дилатонный механизм прочности твердых тел // Физика твердого тела.-1983.-.№ 10.-С. 3119-3123.

111. Петров В. А. Макроскопические проявления статистики тепловых разрушающих флуктуаций // Физико-технический ин-т АН СССР (препринт).-1978.590.-41 с.

112. Петров В.А. Дилатонная модель термофлуктуационного зарождения трещин // Физика твердого тела.-1983.-Т. 47. № Ю. -С. 3124-3127.

113. Петров В.А. Термодинамический подход к микромеханике разрушения твердых тел // Физика твердого тела.-1983.-Т. 47. № 10.-С. 3110-3113.

114. Gordon J.E. Growth and breaking strains of certein needle crystals // Nature.-1957.-N 4573.-P. 1270-1272.

115. Сандулова А.В., Богоявленский и.е., Дронюк М.И. Получение и некоторые свойства нитевидных и игольчатых монокристаллов германия, кремния и их твердых растворов // Физика твердого тела.-1963.-т. 5. № 9.-С. 2580-2586.

116. Механические свойства нитевидных кристаллов кремния / С.а. Аммер, г.п. Богоявленская, А.и. Дрожжин, а.Ф. татаренков // Вопросы физики твердого тела.-Воронеж: ВПИ, 1971.-Вып. 2. -С. 202-204.

117. Инденбом В.Л. Строение реальных кристаллов // Современная кристаллография.-м.: Наука, 1979.-С. 297-341,

118. Дрожжин А.и., Сидельников и.в. Прочность, упругие и пластические свойства нитевидных кристаллов кремния при кручении // Физика и химия конденсированных сред. -Воронеж: ВПИ, 1979.-С. 65-75.

119. Ван Бюрен. Дефекты в кристаллах / Под ред. Орлова а.Н. и Регеля В.Р.-М.: Иностран. лит-ра, 1962.-584 с.

120. Родес Р.Г. Несовершенства и активные центры в полупроводниках. -м.: металлургия, 1968.-372 с.

121. Мильвидский М.Г., Освенский В.Б. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников.-м.: Металлургия, 1964.-256 с.

122. Рейви к. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии.- М.: мир, 1984.-472 С.

123. Sylwestrowi.cz W.D. Mechanical properties of single crystals of silicon // Phil. Mag.-1962.-N 83.-P. 1825-1845.

124. Messmer C., Bilello J.G. The surface energy of Si, GaAs and GaP // J. of Appl. Phys.-1981.-N 7.-P. 4623-4629.

125. Буренков Ю.а. Влияние температуры и характера межатомного взаимодействия на упругие свойства алмазоподобных полупроводников: Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. Л., 1982.-16 с.

126. Никаноров С.П., Буренков Ю.А., Степанов А.В. Упругие свойства кремния // Физика твердого тела. 1971. - № 10. -С. 3001-3004.

127. Никаноров с.П., Буренков Ю.А. Температурная зависимость упругих постоянных кремния // Физика твердого тела.-1974. -Т.16. № 5.- С. 1496-1498.

128. Иоффе А.Ф. Избранные труды, в 2-х т. Т. 1. Механические и электрические свойства кристаллов.-Л.:Наука, 1974.-326 с.

129. Дрожжин А.И., Сидельников И.В., АНТИПОВ С.А. ПрОЧность, упругие и пластические свойства нитевидных кристаллов кремния при кручении // IX Всесоюз. конф. по физике прочности и пластичности металлов и сплавов: Тез. докл. -Куйбышев: КПтИ, 1979.-С. 26.

130. Механические свойства нитевидных кристаллов кремния,деформированных изгибом / А.И. Дрожжин, С.А. Антипов, И.В. Си-дельников, М.И. Старовиков, В.и. Колтунов // Физика и химия конденсированных сред.-Воронеж: ВПИ, 1981.-С. 71-76.

131. Особенности разрушения нитевидных кристаллов кремния, деформированных изгибом / с.А. Антипов, А.и. Дрожжин, А.п. Ермаков, А.Б. Парфеньев. -Воронеж, 1986. -21 с. Деп. в ВИНИТИ 10.07.86, № 4998-В86.

132. Особенности кинетики квазихрупкого разрушения нитевидных кристаллов кремния при изгибе / С.А. Антипов, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, М.И. Старовиков // Физика прочности и пластичности металлов и сплавов.-Куйбышев: КПтИ, 1986.-С. 168-169.

133. Особенности вязкого разрушения нитевидных кристаллов

134. С.А. АНТИПОВ, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, A.M. РОЩупКИН, М.И. Старовиков // Физика прочности и пластичности металлов и сплавов . -Куйбышев: КПТИ, 1986.*-С. 169-170.

135. Взаимодействие дислокаций с точечными дефектами при низких температурах в кристаллах с высокими барьерами Пайерлса / С.А. Антипов, И.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, A.M. Рощупкин // Известия РАН. Сер. физическая.-1996.-Т. 60. № 9.-С. 159-162.

136. Микропластичность кристаллов кремния / А.И. Дрожжин, И.В. Сидельников, с. А. Антипов, Н.к. Седых // Известия вузов. Физика.-1980.5.-С. 88-93.

137. Дрожжин А.И., Антипов с.А. Явление микропластичности нитевидных кристаллов кремния при знакопеременной деформации // Физика твердого тела.-1981*.-Т. 23. № 6.- С. 1793-1794.

138. Сидельников и.В., антипов с.а. Явление микропластичности в нитевидных кристаллах кремния // Нитевидные кристаллы для новой техники: Тез. докл. III Всесоюз. конф. -Воронеж: ВПИ, Коммуна, 1979.-С. 72-73.

139. Дрожжин А.И., Антипов С.А. Дислокационное затухание в циклически деформированных нитевидных кристаллах кремния."Воронеж, 1981.-17 с.- деп. В ВИНИТИ 8.12.81, № 5567-81.

140. Дрожжин А.И., Антипов с.А. о микропластичности нитевидных кристаллов кремния.-Воронеж, 1982.-10 с.-Деп. в ВИНИТИ 26.01.82, № 323-82.

141. Микропластическая деформация и внутреннее трение в нитевидных кристаллах полупроводников / с.а. антипов, а.и. Дрожжин, а.П. Ермаков, И.В. Мишин, И.В. Сидельников, Ю.А. Федоров //

142. Поверхности разрушения, структурные дефекты и свойства металлов и сплавов: Тез. докл. объединенного заседания трех Всесоюз. семинаров . -Череповец: Череповецкий гос. пед. ин-т, 1988.-С. 66-67.

143. Дрожжин А.И., Антипов с.А. Пик внутреннего трения в кремнии //Физика твердого тела.-1980.-Т. 22. № 12.-С. 3712-3714.

144. Дрожжин А.И., Антипов С,А., Беликов A.M. Высокотемпературное затухание и микропластичность кремния // Физика твердого тела.-1982.-Т. 24. № 4.-С. 1223-1226.

145. Дрожжин А.И., Антипов С.А. Высокотемпературный пик внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния // Диэлектрики и полупроводники.-Киев:Вища школа, 1982.-вып. 2.-с. 86-89.

146. Антипов С.А., Дрожжин А.И., Рощупкин A.M. Природа высокотемпературного максимума внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния // Физика твердого тела.-1983.-Т. 25. № 5. -С. 1392-1396.

147. Дрожжин А.И., Антипов С.А., Дмитриев А.Н. Низкочастотное внутреннее трение в пластически деформированных кристаллах кремния // Известия вузов. Физика.-1983.-.№ 7.-с. 46-49.

148. Дрожжин А.И., Антипов С.а. Дислокационный максимум внутреннего трения в кристаллах кремния // Внутреннее трение в металлах, полупроводниках, диэлектриках и ферромагнетиках.-М.: Наука, 1976.-с. 106-110.

149. Дрожжин А.И., Антипов с.А. Низкочастотное внутреннее трение и возврат формы нитевидных кристаллов кремния, пластически деформированных изгибом.-Воронеж, 1981.-8 с. -Деп. в ВИНИТИ 17.12. 81 , № 5740-81.

150. Дрожжин А.И., Антипов С.А. Низкотемпературное затухание в кремнии. -Воронеж, 1982. -12 с. -Деп. в ВИНИТИ 8.01.82, № 115-81.

151. Дрожжин А.И., антипов С.а. Низкотемпературное внутреннее трение в нитевидных кристаллах кремния // Физика твердого тела.-1981.-Т. 23. » 4.-С. 1188-1189.

152. Низкотемпературный дислокационный максимум внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния / С.А. Антипов, А.И; Дрожжин, и.В. Мишин, a.m. Рощупкин // Журнал технической физики. -1987. -Вып. 12.-С. 2382-2384.

153. Иерархия низкотемпературных дислокационных пиков внутреннего трения в нитевидных кристаллах полупроводников / с.А. Антипов, А.и. Дрожжин, и.в. Мишин, A.M. Рощупкин // Журнал технической физики.-1989.-Вып. З.-С. 169-177.

154. Природа дислокационной релаксации в кристаллах с высокими барьерами Пайерлса при температурах ниже 300 К / С.А. Антипов, и.Л. Батаронов, А.и. Дрожжин, A.M. Рощупкин, И.В. Мишин. -Воронеж, 1988.-38 с.-деп. в ВИНИТИ 27.12.88, № 9028-В88.

155. Амплитудная зависимость внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния при температурах ниже 300 к / с.А. антипов, А.И. Дрожжин, И.В. Мишин, А.А. Щетинин // Известия вузов. Физика.-1989.2.-с. 107-109.

156. О механизме низкотемпературных дислокационных пиковвнутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния / С.А. Антипов, И.А. Батаронов, А.И. Дрожжин, И.В. Мишин, Рощупкин A.M. // Физика твердого тела.-1989.-Т. 31. № 9.-С. 163-169.

157. Внутреннее трение в нитевидных кристаллах p-Si <111> в диапазоне температур 180-400 К / А.Б. Парфеньев, Н.В. осипо-ва, С.А. Антипов, И.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, И.в. Мишин.-Воронеж, 1990.-10 с.- деп. в ВИНИТИ 19.06.1990, № 3515-В90.

158. Дрожжин А.И., Антипов С.А. Дислокационные максимумы внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния // Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. школы-семинара.-Воронеж: ВПИ, 1993.-С. 4.

159. Антипов С.А., Дрожжин А.И. Дислокационный спектр релаксации и пластичность нитевиднйх кристаллов кремния // Прочность и пластичность материалов в условиях внешних энергетических воздействий: Тез. докл. Междунар. конф.-Новокузнецк: СМИ, 1993.-С. 118.

160. Антипов С.А., Дрожжин А.И. Дислокационный спектр внутреннего трения и пластичность в нитевидных кристаллах кремния при знакопеременном кручении // Известия РАН. Сер. физическая. -1993. -Т. 5. № 11.-е. 21-25.

161. Антипов С.А., Дрожжин А.И. Дислокационный спектр внутреннего трения в пластически деформированных знакопеременным кручением нитевидных кристаллах кремния // Тонкие пленки и нитевидные кристаллы.-Воронеж: ВПИ, 1993.-С. 105-112.

162. Антипов с.А., Дрожжин А.И., Федоров Ю.А. Высокотемпературный фон внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния Воронеж, 1985.-17 С.- Деп. В ВИНИТИ, 8.04.85, № 2365-85.

163. Федоров Ю.А., Дрожжин А.И., Антипов с.А. Фон внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния // Известия вузов. Физика.-1989.2.-С. 98-100.

164. Дрожжин А.И., Антипов С.А., Рощупкин A.M. Получение, оценка и механизм высокого демпфирования материалов // Демпфирующие металлические материалы: Тез. докл. IV науч-техн. конф. «-Киров: КПИ, 1984.-С. 92-93.

165. Антипов С.А. Электронный вклад в энергию активации и движения перегибов разного знака на дислокациях в кремнии //Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. IV Междунар. конф.-Воронеж: ВГТУ, 1996.-с.67.

166. АНТИПОВ С.А., ДрОЖЖИН А.И., ЕрмаКОВ А.П., МИШИН И.В., Рощупкин A.M., Сидельников И. В. Свойства нитевидных кристаллов кремния и германия ниже температур вязкохрупкого перехода // Демпфирующие металлические материалы.-Киров:КПИ, 1988.-С. 66-67.

167. Старовиков М.и., Дрожжин а.И., Антипов с.А. Ползучесть в нитевидных кристаллах кремния при повышенных температурах. -Воронеж, 1984.-21 С.- деп. В ВИНИТИ 31.01.1984, № 607-84.

168. Ротационное скольжение в процессе ползучести нитевидных кристаллов кремния / с.А. Антипов, А.И. Дрожжин, и.В. Мишин, М.И. Старовиков // Рост и структура нитевидных кристаллов и тонких пленок.-Воронеж: ВПИ, 1984.-е. 31-36.

169. Самопроизвольное крученйе нитевидных кристаллов кремния в процессе ползучести при одноосном растяжении / м.и. старовиков, А.П. Ермаков, А.И. Дрожжин, С.А. АНТИПОВ, A.M. РОЩуП-КИН.-Воронеж, 1986.-42 С.-Деп. В ВИНИТИ 24.02.86, № 1251-В86.

170. Ротационная мода ползучести нитевидных кристаллов p-Si <lll> под действием одноосной растягивающей нагрузки / С.А. АНТИПОВ, А.И. Дрожжин, А.Л. Ермаков, М.И. СтарОВИКОВ, A.M. Рощупкин. Воронеж, 1986. - 23 С. - Деп. В ВИНИТИ 30.10.86, № 7466-В86.

171. Особенности ползучести нитевидных кристаллов кремния при растяжении / С.А. Антипов, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, A.M. Рощупкин, М.И. Старовиков // Физика твердого тела.-1987.-Т. 29, Jfi 8.-С. 2476-2478.

172. Ротационная неустойчивость нитевидных кристаллов в процессе пластической деформации / С.А. Антипов, И.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, A.M. Рощупкин, М.И. Старовиков // Известия вузов. Физика.-1988.8.-С. 76-81.

173. Кинетика и природа самопроизвольного кручения под действием одноосной растягивающей нагрузки / С.А. Антипов, и.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, A.M. Рощупкин. -Воронеж, 1988.-42 с.-деп. в ВИНИТИ 27.12.88. № 9029-В88.

174. Кинетика самопроизвольного кручения нитевидных кристаллов кремния, деформируемых растяжением / С.А. Антипов, и.л. Батаронов, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, A.M. Рощупкин.-Воронеж, 1988.-12 с.-Деп. в ВИНИТИ 23.12.88, № 8906-В88.

175. Испытание на ползучесть при одноосном растяжении нитевидных кристаллов / а.П. Ермаков, М.И. Старовиков, С. а. Антипов, а.и. Дрожжин, A.M. Рощупкин // Приборы и техника эксперимента. -1988. № 6.-С. 163-165.

176. О ротационной неустойчивости пластически деформируемых растяжением нитевидных кристаллов кремния / С.А. Антипов, И. Л. Батаронов, А. И. Дрожжин, А. П. Ермаков, A.M., Рощупкин, М.И. Старовиков // Кристаллография.-1986.З.-С. 702-705.

177. Особенности пластической деформации нитевидных кристаллов полупроводников при одноосном растяжении // XIII Всесоюз. науч.-техн. конф. по' тепловой микроскопии: Тез. докл.-Каунас: Каунас, политехи, ин-т, 1989.-С. 164-165.

178. Кинетика ротационной неустойчивости деформируемых растяжением нитевидных кристаллов кремния / с.А. Антипов, И.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, А.П. Ермаков, A.M. Рощупкин // Прикладная механика и техническая физика.-1992.-.№ 1.-С. 144-150.

179. Антипов С.А. Ротационная неустойчивость нитевидных кристаллов при трансляционной деформации // XIII Междунар. конф, по физике прочности и пластичности металлов и сплавов: Тез. докл.-Самара: Самарский политехи, ин-т, 1992.-С. 208.

180. Дрожжин А.И., Старовиков М.И., Антипов С.А. Дислокационная структура нитевидных кристаллов кремния, деформированных изгибом // Дефекты структуры в полупроводниках: Тез. докл. IV Всесоюз. совещания -Новосибирск: НГУ, 1984.-Ч.1.-С. 23-24.

181. Дислокационная структура деформированных изгибом нитевидных кристаллов кремния / а. П. Ермаков, М.И. Старовиков, С.а. антипов, а.И. Дрожжин. -Воронеж, 1988.-8 с.-Деп. в ВИНИТИ 13.07.88, № 5632-В88.

182. Фридель Ж. Дислокации.-M.: Мир, 1967.-644 с.

183. Даринский Б.М., Федоров Ю.А. Внутреннее трение, обусловленное движением дислокационных стенок // Физика металлов и металловедение.-1970.-.№ 6.-С. 1279-1286.

184. Даринский Б.М., Постников B.C., Федоров Ю.А. Внутреннее трение, обусловленное взаимодействующими дислокациями // Физика и химия обработки материалов.-1967.З.-С. 43-49.

185. Li J.C.V. Possibility of subgrain rotation during re-crystallization // J. of Appl. Phys. 1961. -Vol. 33, N 10. -P. 2958-2965.

186. Андронов B.M., Гридкнх В.А. Экспериментальное исследование пластичности нитевидных кристаллов меди // Физика металлов и металловедение.-1*972.-Л» 5.-С. 1056-1062.

187. Эшелби Дж. Континуальная теория дислокаций.-М.: иностранная лит-ра, 1963.-248 с.

188. Alexander Н., Haasen P. Dislocation and plastic flow in the diamond structure // Solid State Phisics.- 1968.-V01. 22 -P. 27-158.

189. Eshelby J.D. Dislocation in Solids.-Amsterdam: North-Holland Pupl., 1979.-Vol. l.-P. 167-221.

190. Инденбом В.Л. Теоремы взаимности и функции влияния для тензора плотности дислокаций и тензора несовместимости деформаций. // Доклады АН СССР.-1959.-Т. 128. № 5.-С. 906-909.

191. Де Вит Р. Континуальная теория дислокаций.-М.: Мир, 1977.-208 с.

192. Старовиков М.и. структурные и кинетические особенности пластической деформации нитевидных кристаллов кремния: Автореф. дис. . канд. физ.-мат. наук.-Воронеж, 1986.-16 с.

193. Най Д.Ф. Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц.-М.: Мир, 1967.-385 с.250. сидельников И.в. Исследование микропластичности в нитевидных кристаллах кремния: Автореф. дис. . канд. физ.-мат. наук, Воронеж, 1978.-16 с.

194. George A., Champier G. On the Cross-slip of Isolated Dislocations at the Surface of Silicon Crystals // Scripta Met. -1980.-Vol. 14, N 2.-P. 399-403.

195. Бернер P., Кронмюллер Г. Пластическая деформация монокристаллов.-М.: Мир, 1969.-349 с.

196. Иевлев В.М., Трусов В.А., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках.-М.: Металлургия, 1982.-248 с.

197. Смирнов Б.И. Дислокационная структура и упрочнение кристаллов.-Л.: Наука, 1981. -235 с.

198. Scoble W.R., Weissmann S. Fatigue induced microstruc-ture in semiconductor crystals //■ Cryst. Lattice Defects.-1973. -Vol. 4, N 2.-P. 123-136.

199. George A., Escaravage G., Champier G., Schroter W. Velocities of screw and 60°-dislocations in silicon // Phys. status solidi (b).-1972.-Vol. 53.-P. 483-496.

200. Милевский Л.е., Чувилин Ю.Н. Особенности движения сегментов дислокационных петель, образованных в объеме сильно легированных монокристаллов кремния // Физика твердого тела. -1980.-Т. 22. № З.-С. 2632-2639.

201. Косевич A.M., Косевич Ю.А. Ступенька на поверхности кристалла, образованная выходом краевой дислокации // Физика низких температур.-1981.10.-С. 1347-1349.

202. Дрожжин А.И., СИДеЛЬНИКОВ И.В., ПОСТНИКОВ B.C. ДИСЛОкационное затухание в кремнии // Физика твердого тела.-1975. -Т. 17, № 8.-С. 2417-2419.

203. Suzuki H.J. A note on the Pierls force // Phys. Soc. Japan, Suppll, 1963.-vol. 18.-P. 182-187.

204. Labush R. Berechnung des Pierlspotentials in diamant-gitter // Phys. Stat. Sol.-1965.-Vol. 10, N 2.-P. 645-653.

205. Хасигути P., Игата H., Камоста Г. Максимумы внутреннего трения в металлах, подвергнутых холодной деформации // Внутреннее трение и дефекты в металлах.-М.: Металлургия, 1965. -С. 293-303.

206. А. Новик, Б. Берри. Релаксационные явления в кристаллах. -М.: Атомиздат, 1975.-472 с.

207. Hasiguti R.R. Theory of mechanical relaxation peaks in coldwerked metals // Phys. stat. sol.-1965.-Vol. 9, N 1. -P. 157-166.

208. Батаронов И. Л. , "Рощупкин A.M. О влиянии электрического тока и магнитного поля на взаимодействие дислокаций с точечными дефектами в металлах // Физика твердого тела.-1988.-Т. 30, № 11.-С. 3311-3318.

209. Косевич A.M. Основы механики кристаллической решетки. -М.: Наука, 1972.-280 с.

210. Косевич A.M. Физическая механика реальных кристаллов. -Киев: Наук, думка, 1981.-326 с.•

211. Альшиц В.И., Инденбом В.Л. Динамическое торможение дислокаций // Динамика дислокаций. Киев: Наук, думка, 1975. -С. 232-275.

212. Нацик В.Д. Квантовое движение дислокаций через локальные барьеры // Физика низких температур.-1979.-Л» 4.-С. 400-414.

213. Алефельд Г. сопоставление дислокационных моделей струны и цепочки перегибов // Актуальные вопросы теории дислокаций. -М.: Мир, 1968.-С. 49-71.

214. Косилов А.Т., Беликов A.M., Кузьмищев В.А. Ориентаци-онная зависимость дислокационного возврата в НК меди // Кристаллография. -1974. -.№ З.-С. 603-607.

215. Никаноров С.П., Кардашев Б.К. Упругость и дислокационная неупругость кристаллов.-м.: Наука, 1985.-254 с.

216. Никитенко В.И. Подвижность дислокаций в потенциальном рельефе Пайерлса // динамика дислокаций.-Киев: Наук, думка, 1975.-С. 7-26.

217. Аммер С. А., Дрожжин А.И., Москаленко А.Г. Термоакти-вационные процессы вблизи поверхности кристаллов // Известия вузов. Физика.-1974.-№ 9.-С. 87-90.

218. Mdller H.-J. Line tension induced dislocation motion atasurface of germanium and silicon // Acta met.-1979.-Vol. 27. N 8.-P. 1355-1362.

219. Петухов Б. в. о стартовых напряжениях при движении дислокаций в потенциальном рельефе кристаллической решетки // Физика твердого тела.-1982.-Т. 24. № 2.-С. 439-442.

220. Хорнстра Дж. Дислокации в решетке алмаза // Дефекты в кристаллах полупроводников.-м.: Мир, 1969.-с. 15-37.

221. Даринский Б.м. к теории пика Бордони // Физика твердого тела.-1971.-Т. 13. # 5.-С. 1470-1472.

222. Patel J.R., Chaudhuri A.R. Charged impurity effects on the deformation of dislocation-free germanium // Phys. Rew.-1966.- Vol. 143. N 2.-P. 601-608.

223. Ерофеев B.H., Никитенко В.И., Освенский В.Б. Влияние примесей на преодоление дислокациями высоких барьеров Пайерлса // Доклады АН СССР.-1969.-Т. 189. № З.-С. 513-515.

224. Бондаренко и.е., Ерофеев В.Н., никитенко В.И. Влияние электрически активных примесей на подвижность индивидуальных дислокаций в германии // Журнал экспериментальной и теоретической физики.-1973.6.-С. 2196-2209.

225. Ерофеев В.Н., никитенко В.И. Подвижность дислокаций вкремнии, содержащем примеси замещения и внедрения // Физика твердого тела.-1971.-Т. 13. № 1.-С. 146-151.

226. Кведер В.В., Осипьян Ю.А. Исследование дислокаций в кремнии методом фото-ЭПР // Журнал экспериментальной и теоретической физики.-1981.З.-С. 1206-1216.о

227. Jones L. The Structure of kinks on the 90 partial in silicon and a "straied-bond model" for dislocation // Phil. Mag. -1980.-Vol. 42. N 2.-P. 213-219.

228. Белявский В.И., Даринский Б.М., Шалимов В.В. Влияние электронных связанных состояний на подвижность дислокационных перегибов в полупроводниках // Физика твердого тела.-1981.-Т. 23. № 1.-С. 326-328.

229. Белявский В.И., Даринский Б.М., Шалимов В.В. К теории подвижности дислокаций в легированных полупроводниках // Физика твердого тела.-1982.-Т. 24. № 2.-С. 511-516.

230. Southgate P.D., Mendelson K.S. High-temperature dislocation damping in covalent crystals // J. of Appl. Phys.-1965.-Vol. 36. N 9.-P. 2685-2692.

231. Moller H.-J., Buchhol J. Low temperature internal friction of deformed germanium and silicon // Phys. stat. sol. (a)-1973.-Vol. 20. N 2.-P. 545-554.

232. Низкотемпературное внутреннее трение в кремнии / с.В. Стародубцев, Д. Кайпназаров, Л.П. Хизниченко, П.Ф. кромер // Физика твердого Тела.-1966.-Т. 8. № 6.-С. 1924-1928.

233. Mecs B.M.j Nowick A.S. Low-Temperature internal friction peacks in Si and Ge crystals // Appl. Phys. Letters.-1966.-Vol. 8. N 4.-P. 75-76.

234. Лебедев А.Б. Внутреннее трение при квазистатическомдеформировании кристаллов // Физика твердого тела. -1993.-Т. 35. № 9.-С. 2305-2341.

235. Александров Л.Н., Зотов М.И., Эдельман Ф.Л. Некоторые механизмы затухания в пластически деформированном кремнии // Физика твердого тела.-1970.-т. 12. № 1.-С. 1859-1860.

236. Внутреннее трение в кристаллах Si и CdS / А.А. Блис-танов, И.П. Борунов, В.Н. Вишняков, В.В. Гераськин // Материалы Всесоюз. совещания по дефектам структуры в полупроводниках. -Новосибирск: Наука, 1970.-С. 70-78.

237. Касьян Н.Н., Малец Е.Б., Мялова Е.Е., солошенко И.И. О пластических свойствах кремния, определяемых методом внутреннего трения // Украинский физический журнал. 1980. - № 2. -С. 306-308.

238. Александров Л.Н., Зотов М.И. внутреннее трение и дефекты в полупроводниках.-Новосибирск: Наука, 1979.-160 с.

239. Dorward R.G., Kirkaldy J.S. The precipitation kinetics of copper in silicon near room temperature // Phil. Mag.-1968.-Vol. 17 N 149.-P. 229-241.

240. Гарбер P.И., Солошенко И.И., Маркина И.А. Амплитудная зависимость внутреннего трения в кремнии // Физика твердого тела.-1973.-Т. 15. № 10.-С. 3088-3089.

241. Southgate P.D., Attard А.Е. Thermally activated dislocation Kink motion in silicon // J. of Appl. Phys.-1963,-Vol. 34. N 4.-P. 855-863.

242. Kromer P.F., Khiznichenko L.P. On the low-temperatureinternal friction in silicon // Phys. Stat. Sol.-1967.-Vol. 21. N 2.-P. 811-818.

243. Внутреннее трение в нитевидных кристаллах кремния / С.А. Аммер, А.И. Дрожжин, В.В. Господаревский, И.В. Сидельников, Н.К. Седых // Нитевидные кристаллы и тонкие пленки.-Воронеж: ВПИ, 1975.-Ч. 1 .-С. 255-258."

244. Внутреннее трение и микропластичность нитевидных кристаллов кремния / А.И. Дрожжин, В.А. Евсюков, А.П. Ермаков, И.В. Сидельников.-Воронеж, 1985.-33 с.-Деп. в ВИНИТИ 24.07.85, № 5396-85.

245. Внутреннее трение в si<Au>, связанное с золотом /

246. B.C. Постников, В.И. Кириллов, Ю.А. Капустин, С.А. Аммер, Ю.И. Козлов // Физика твердого тела.-1978.-Т. 20. .№ 11.-С. 3509-3511.

247. Капустин Ю.А. к природе высокотемпературного внутреннего трения в пластически деформированном монокристаллическом кремнии // Физика твердого тела.-1993.-Т. 35. .№ 2.-с:. 473-480.

248. Дрожжин А.И., Ермаков А.П. Начальная стадия пластической деформации в исходно бездислокационных нитевидных кристаллах полупроводников. Воронеж, 1986. - 17 с. - Деп. в ВИНИТИ 27.03.86, № 2108-В86.

249. Локализация пластической деформации в монокристаллах фтористого лития при повышенных температурах / Г.В. Бережкова, П.П. скворцова, П.П. Перстнев, в.Р. Регель // Физика твердого тела.-1984.-Т. 26. № 4.-С. 1074-1079.

250. Мильштейн С.X., Никитенко В.И. Диодный эффект на дислокациях в n-Si // Физика твердого тела.-1974.-Т. 16. № 2. -С. 545-547.

251. Никитенко В.И., Полянский А.И. Влияние дислокаций на электрические свойства кремния // Материалы Всесоюз. совещания по дефектам структуры в полупроводниках. Новосибирск: Наука. Сибирск. отд-НИе, 1979.-Ч.1.-С. 382-391.

252. Lebedev А.В., The similarity law between the temperature dependences of yield stress and microyield stress evaluated from internal friction // Journal of Alloys and Compounds-1994.-Vol. 211/212.-P. 177-180.

253. Головин Ю.И., Тюрин А.И. Динамика и микромеханизмы ранних стадий внедрения жесткого индентора при микроиндентиро-вании ионных кристаллов // Кристаллография.-1995.З.-С. 1-5.

254. Материалы X Юбилейной конференции "Датчики и преобразователи информационных систем измерения, контроля и управления (Датчик-98)".-Гурзуф: МИЭМ, 1998.-304 с.

255. Тензопреобразователи для контроля механических свойств композиционных материалов / с.а. антипов, Н.К. седых, а.И. Дрожжин, в.к. Бочарников // композиционные материалы: Тез. докл. V Всесоюз. конф. Вып. 2.-М.: МГУ, 1981.-С. 75-77.

256. Антипов С.А., Седых Н.К; Изменение электросопротивления НК кремния в электростатическом поле // Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. школы-семинара.-Воронеж: ВПИ, 1993.-с. 4.

257. Изменение электросопротивления тензорезисторов при изгибе / с.а. антипов, и.л. Батаронов, А. И. дрожжин, A.M. Рощупкин // Физика и техника полупроводников. -1993. Вып. б. -С. 937-943.

258. Антипов С.А. Релаксация электросопротивления в нитевидных кристаллах кремния // Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: тез. докл. Ill Междунар. конф.-Воронеж: ВГТУ, 1994."-С. 70.

259. Изменение электросопротивления НК кремния при изгибе / С.А. Антипов, И.Л. Батаронов, А.И. Дрожжин, A.M. Рощупкин // Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. Ill междунар. конф.-Воронеж: ВГТУ, 1994. -с. 69.

260. Антипов С.А., Седых Н.К., Заславский Е.Л. Электропроводность кристаллов кремния при деформации в электрическом поле // Действие элетромагнитных полей на пластичность и прочность материалов: Тез. докл. III Междунар. конф.-Воронеж: ВГТУ, 1994.-С.63.

261. Antipov S.A., Bataronov I.L., Drozhzhin A.I. and Ro-shchupkin A.M. Change in the electrical resistance of strein ganges due to bending // Semiconductors. 1993. - Vol. 6. -P. 508-511.

262. Применение нитевидных кристаллов кремния для измерения физических величин / и.И. Марьямова, Ю.И. Заганяч, Ю.с. Яцюк, Ю.М. Панков, Г.И. Ворошило // Нитевидные кристаллы и тонкие пленки: Материалы II Всесоюз. науч. конф. -Воронеж: ВПИ, 1975.-С. 269-274.

263. Марьямова И.И., Заганяч Ю.И., Яцюк Ю.с. Датчики механических величин на основе тензорезистивного эффекта в нитевидных кристаллах кремния // Нитевидные кристаллы для новой техники: Материалы III Всесоюз. конф.-Воронеж: ВПИ, 1979.-с. 119-124.

264. Полупроводниковые тензорезисторы с расширенным диапазоном деформаций / А.В. сандулова, И.И. Марьямова, Ю.И. Заганяч, Ю.М. Панков, Г. И. Ворошило /'/ Приборы и системы управления. -1976.-№ 1.-С. 23-24.2

265. А.с. 697934 СССР, МКИ G 01 Р 15/08. Акселерометр / Р. И. Байцар, А. п. Решетило, а. А. Новиков (СССР).-л» 2586906/18; Заявлено 06.03.78; опубл. 15.11.79, Бюл. № 42 // открытия. Изобретения. -1979.42.-С. 183.

266. Абрамчук Г.А., Алехин В.А., Дергачева В.г. Нитевидный кремниевый тензорезистор для регистрации импульсных процессов // Приборы и техника эксперимента.-1977.2.-с. 217-218.

267. Абрамчук Г.А. Тензочувствительность нитевидных кремниевых тензорезисторов к импульсным упругим волнам деформации в интервале температур -50+Ю0°С // Приборы и техника эксперимента. -1976.1.-С. 181-182.

268. Никифоров Ю.Н., Пундык А.В., Яцюк Ю.с. Датчики электродинамических усилий на основе нитевидных кристаллов // Нитевидные кристаллы для новой техники: Материалы III Всесоюз. конф. -Воронеж: ВПИ, 1979.-С. 139 -143.

269. Постников B.C., Аммер С.А., Елисеев В.А. Нитевидныекристаллы в микроэлектронике // микроэлектроника. -1976. -* 3. -С. 268-274.

270. Дрожжин А.И., Седых Н.К. Тензорезисторы на основе нитевидных кристаллов кремния // Приборы и техника эксперимента.-1977.-* 5.-С. 214-216.

271. Беленов Г.Н., Дрожжин А.И. Циклические испытания образцов нитевидной формы // Приборы и техника эксперимента. -1996.-* 4.-С. 1-6.

272. Аммер С.А., Карелин Б.В., Елисеева о.С. Тензорезисторы сложного профиля на основе пластически деформированных монокристаллов кремния // Метрология.-1976.-* 5.-С. 19-22.

273. А.с. 653559 СССР, МКИ G 01 Р 15/12. Струнный акселерометр / С.А. Аммер, Г.н. Беленов, А.И. Дрожжин, Е.А. Коротаев (СССР). * 2486449/18-28; Заявлено ю.05.77; Опубл. 25.03.79, Бюл. * 11 // открытия. Изобретения.-1979.И.-С. 149.

274. Марьямова И.И., Мечела И.Г., яцюк Ю.С. Влияние электронного облучения на характеристики полупроводниковых тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния // Физическая электроника.-Львов, 1962.-* 24.-С. 102-106.

275. Дрожжин А.И., седых Н.К., Сидельников А.И. Исследование характеристик тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния // Метрология.-1980.1.-С. 55-61.

276. Седых н.к., Беликов A.M., Дрожжин А.И. Релаксация электросопротивления в нитевидных кристаллах кремния при циклических деформациях // Механизмы релаксационных явлений в твердых телах.-Воронеж: ВПИ, 1981.-С. 191-197.

277. А. с. 787921 СССР, МКИ3 G 01 L 13/02. Устройство для измерения разности давлений / Р.И. Байцар, А.А. Новиков, А.П. Решетило (СССР). № 2726581/18-10; Заявлено 12.02.79; опубл. 15.12.80, Бюл. № 46 // Открытия. Изобретения. -1980. -№ 46.-С.199.

278. А.С. 896382 СССР, МКИ3 G 01 В 7/18. Тензорезистор / С.С. Варшава, Е.И. Ференс (СССР). № 2917132/25-28; Заявлено 25.04.80; опубл. 7.01.82, Бюл. № 1 // Открытия. Изобретения.-1982.1.-С. 179.

279. Заганяч Ю.И., Жилко в.А., Иващук Т.М. Высокотемпературный миниатюрный датчик давления типа ДДП-1 // Поиборы и системы управления.-1981.1.-С. 21-22.

280. А.С. 1024697 СССР, МКИ3 G 01 В 7/18. МаЛОбазнЫЙ тензотермодатчик / А.и. Дрожжин, А.П. Ермаков (СССР). -К» 3402374/25-28; Заявлено" 22.02.82; Опубл. 23.06.83, Бюл. № 23 // Открытия. Изобретения.-1983.23.-с. 119.

281. Ермаков А.П., Щетинин А.А., Дрожжин А.И. Применение нитевидных кристаллов кремния в первичных преобразователях всестороннего давления. Воронеж, 1984. - 15 с. - Деп. в ВИНИТИ 22.02.84, № 1022-84.

282. Седых Н.К., Дрожжин А.И. Влияние слабых магнитных полей и упругих деформаций на электросопротивление микрокристаллов германия // Известия РАН. Сер. физическая.-1997.-Т.61. № 2.25.

283. Кривоносое А.И. Полупроводниковые датчики температуры. -м.: Энергия, 1976.-184 с.360. матаре Г. Электроника дефектов в полупроводниках.-М.: Мир, 1974.-464 с.

284. Тензорезисторы на основе нитевидных крирталлов кремния / А.И. Дрожжин, А.А. Щетинин, Н.К. Седых, Е.П. Новокрещено-ва, А.И. Дунаев, В.Н. Сарыкалин // Измерительная техника.-1978.1. И.-С. 51-52.

285. Ильинская Л.е., Подмарьков А.н. Полупроводниковые тензодатчики.-М.-л.: Энергия, 1966.-120 с.

286. Городецкий А.Ф., Кравченко А.Ф. Полупроводниковые приборы.-М.: Высш. шк., 1967.-348 с.

287. Вагнер Р. Рост кристаллов по механизму пар-жидкость-кристалл // монокристаллические волокна и армированные ими материалы. -М.: Мир, 1973.-е. 42-117.

288. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982.-532 с.

289. Полякова А.Л. Деформация полупроводников и полупроводниковых приборов.-М.: Энергия, 1987.-167 с.

290. Сандулова А.В., Марьяиова И.И., Загоняч Ю.И., Алехин В.А., сидор Б.И. Исследование некоторых клеев для приклейки полупроводниковых тензорезисторов // Электротензометрия. 4.2.-Л.: ЛДНТП, 1969.-с. 3-6.

291. Марьямова И.И., Каретникова Е.Н., Яцюк Ю.С. Исследование тензорезистивных свойств кремния р-типа при низких температурах // Физическая электроника. Львов, 1983. - Вып. 26. -С. 28-32.

292. Деформация и стабильность свойств нитевидных кристаллов кремния в тепловых, упругих и электромагнитных полях / а.п. Ермаков, И.Л. Батаронов, а.И. Дрожжин, С.н. Яценко // Известия ран. Сер. физическая.-1997.-т. 61. №5.-С. 906-912.

293. Антипов С.А., Дрожжин А.И., Федоров Ю.А. Природа высокотемпературного фона внутреннего трения в нитевидных кристаллах кремния // Релаксационные явления в твердых телах: Тез. докл. Междунар. семинара.-Воронеж: ВГТУ, 1995.-с. 26.

294. Устройство на базе нитевидных кристаллов кремния для измерения деформации / С.Н. Корников, М.М. Пацак, с.В. Попов, С.а. антипов, В.К. Бочарников / ЦНТИ: Волна, 1987.- ВДНХ СССР.-НТТМ Московская выставка-ярмарка.

295. Степанов А.В. Основы практической прочности кристаллов." М.: Наука, 1974.-132 с.

296. Измеритель мускульных усилий с нитевидными кристаллами кремния в электрической цепи / с.а. антипов, а.И. Дрожжин, Е.П. Новокрещенова, с.В. Попов, Н.К. седых, В.Н. Эктов. Воронеж, 1986.-8 с.-деп. В ВИНИТИ .3.12.86, № 8234-В86.

297. Датчик сил с тензорезисторами на нитевидных кристаллах кремния / С. в. Попов, а. П. Ермаков, С. а. антипов, а. и. Дрожжин, В.Н. эктов // Приборы и системы управления.-1987.-Вып. 6. -С. 30.

298. Частотные преобразователи с нитевидными кристаллами кремния в электрических цепях / а.П. Ермаков, с.а. антипов, а.И. Дрожжин, Н.К. седых. -Воронеж, 1985. -21 с.-Деп. в ВИНИТИ 26.04.85, № 2782-85.

299. Приборы на основе нитевидных кристаллов: Методические указания для выполнения дипломного, курсового проектирования и НИРС / Сост.: с.А. Антипов, А.И. Дрожжин, В.Н. Сарыкалин.-Воронеж: ВПИ, 1988.-23 с.

300. Дрожжин А.И., Ермаков А.П., Яценко С.Н. Влияние импульсов электрического тока и осевой нагрузки растяжения на структуру и свойства нитевидных кристаллов кремния // Известия РАН. сер. физическая.-1997.-Т. 61. № 5.-С. 1012-1018.

301. Седых Н.К., Спичкин Ю.В., Дрожжин А.И. Влияние термо-и электромагнитных полей на структуру и стабильность параметров монокристаллов кремния // Известия РАН. Сер. физическая.-1995.-Т. 59. № 10.-С. 72-76.

302. Эрлер В., Вальтер Л. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.-М.: Мир, 1974.-285 с.

303. Левшина Е.С., Новицкий П.В. Электрические измерения физических величин.-Л.: Энергоиздат, 1983.-320 с.

304. Мазур А.И., Алехин В.п., Шоршоров М.Х. процессы сварки и пайки в производстве полупроводниковых приборов.-М.: Радио и связь, 1981.-224 с.