Применение лазерного атомно-флуоресцентного метода в анализе веществ высокой чистоты с атомизацией проб ионным распылением тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.02 ВАК РФ

государственный ордена октябрьской революции

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И ПРОЕКТНЫЙ ИНСТИТУТ РЕДНОМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ "ГИРЕДМЕТ"

На правах рукописи

ДАШИН Сергей Александрович

ПРИМЕНЕНИЕ ЛАЗЕРНОГО АТОМНО-ФЛУОРЕСЦЕНТНОГО МЕТОДА В АНАЛИЗЕ ВЕЩЕСТВ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ С АТОМИЗАЦИЕЙ ПРОБ ИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ

02.00.02. - Аналитическая химия

автореферат

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Москва - 1992

Работа выполнена в Государственном ордена Октябрьской Революции научно-исследовательском и проектном институте редкометаплической промышленности "Гиредмет".

Научный руководитель: кандидат технических наук И.А.Майоров

Официальные оппоненты: доктор химических наук Н.Б.Зоров, кандидат физико-математических наук А.Г.Марунков

Ведущее предприятие: Научно-исследовательский институт физики Санкт-Петербургского университета.

специализированного совета по аналитической химии Д ljy.U4.01 в Государственном научно-исследовательском и проектном институте редкометаплической промышленности "Гиредмет" по адресу: 109017, Москва, Б.Толмаческий переулок, дом 5.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке института.

Защита состоится

Автореферат разослан

ч

.1992 г.

Ученый секретарь специализированного совета кандидат химических наук

Г И.Шманенкова

ОБ ¡МАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы.

Создание надежных и эффективных методой аналитического контроля веществ высокой чистоты является одним из необходимых условий развития и разработки технологий их получения. В настоящее время методами атомно-эмиссионного и агомно-абсорбционного анализа, хорошо обеспеченным стандартным оборудованием и детально разработанными методиками, не всегда можно достигнуть нужных для современного состояния технологий пределов обнаружения примесей. Метод лазерной атомно-флуоресцентной спектрометрии (ЛАФС) отличается от упомянутых методов не только низкими пределами обнаружения, но и широким линейным диапазоном градуировочных характеристик и высокой селективностью. Сочетание метода ЛАФС и электротермической атомизации (ЭТА) позволило добиться в отдельных случаях рекордных пределов обнаружения как для растворов, так и для твердых образцов. Вместе с тем ЭТА обладает рядом существенных недостатков, не позволяющих широко использовать такой способ атомизации для прямого определения примесей методом ЛАФС на уровне первую очередь - необходимость нагрева тигля до

температур выше 3000 К, что с учетом требований к чистоте тиглей делает затруднительным выбор конструкционных материалов. Существенное влияние на чувствительность анализа оказывает загрязнение потока определяемых элементов примесями присутствующими в тигле и других деталях атомизатора: эффект памяти; недолговечность тиглей и ряд других параметров. Потребность повышения чувствительности и расширения границ применимости метода ЛАФС определяет необходимость поиска нетрадиционных для этого метода способов атомизации. Один из таких способов - атомизация проб ионной бомбардировкой в тлеющем разряде. Наряду с отсутствием присущих ЭТА недостатков, атомизация ионной бомбардировкой обладает дополнительными преимуществами: упрощение пробоподготовки; сведение к минимуму матричных эффектов; стабильность воспроизведения сигнала.

Цель работы состояла в применении для прямого определения примесей в высокочистых веществах атомизации проб ионной бомбардировкой в

тлеющем разряде в методе ЛАФС. В связи с этим были поставлены и решены следующие задачи:

- построение математической модели процессов атомизации вещества и переноса атомов в аналитическую зону;

- выявление основных факторов, влияющих на величину аналитического сигнала, поиск оптимальных условий атомизации проб и регистрации аналитического сигнала;

- разработка методик определения примесей в реальных пробах.

Научная новизна работы.

Определены основные физические факторы, влияющие на величину аналитического сигнала при анализе методом ЛАФС с использованием атомизаторов с полым катодом и планарным магнетроном.

Рассчитаны и экспериментально подтверждены оптимальные режимы работы спектрометра и регистрации аналитического сигнала методом ЛАФС с применением атомизаторов с полым катодом и планарным магнетроном.

Достигнута гарантированная нижняя граница интервалов определяемых содержаний Снг=5*10"®'* для свинца в меди с применением атомизатора с полым катодом. Применение планарного магнетрона позволило достигнуть Сн г =6*10"'' при определении кремния в галлии. Практическая значимость работы.

Разработанные способы повышают чувствительность анализа твердых веществ методом ЛАФС и позволяют снизить границы определяемых содержаний.

Полученные результаты и опыт работы с атомизаторами тлеющего разряда могут быть использованы при создании новых аналитических приборов, основанных как на методе ЛАФС, так и атомной абсорбции. На защиту выносятся:

1. Математическая модель метода ЛАФС с атомизацией твердых проб ионным распылением в тлеющем разряде.

2. Экспериментально установленные зависимости величины аналитического сигнала от параметров разряда и условий измерения.

1 Здесь и ниже содержание дается в процентах по массе.

2

3. Методика прямого определения свинца в меди с применением атомизатора с полым катодом.

4. Методика прямого ~ определения кремния"в~нндич "и галлии с применением атомизатора на основе пленарного магнетрона.

Апробация работы.

Основные результаты работы доложены и обсуждены на конкурсе молодых ученых ГИРЕДМЕТа и ИХАН (Горький, 1986 г.), Всесоюзном семинаре "Новые атомно-йбсорбционные, атомно-флуоресцентные и фотоионизационные методы анализа" (Северодонецк, 1986 г.), Всесоюзной конференции "Coape.-.ieiiHbie проблемы физики и ее приложений" (Москва, 1987 г), ХХУ1 международном спектроскопическом коллоквиуме (Болгария, София, 1988 г Л XI Международной конференции по аналитической атомной спектроскопии CANAS (Москва, 1990 г.), Московском коллоквиуме по спектральному анализу (Москва, 1987 и 1989 гг.), Всесоюзной научногтехнической конференции "Стандартные образцы в практической деятельности государственных и ведомственных метрологических служб" (Свердловск, 1986 г.). Публикации.

По теме диссертации опубликовано 8 работ. Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, семи глав, общих выводов, списка литературы и приложения. Работа изложена на 98 страницах машинописного текста, включающих 18 рисунков, 4 таблицы и список литературы из 61 названия.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность работы, обусловленная необходимостью создания новых высокоэффективных методов аналитического контроля технологий получения высокочистых веществ.

В первой главе (литературный обзор) рассмотрены аналитические возможности лазерного атомно-флуоресцентного анализа (ЛАФС), как одного из наиболее чувствительных методов анализа высокочистых веществ. Отмечено, что лучшие пределы обнаружения получены с применением в методе ЛАФС

электротермических атомизаторов. ЭТА позволяют работать "как с растворами, так и в отдельных случаях, проводить анализ твердых проб. Однако, в целом ЭТА, как было уже отмечено, имеют ряд существенных недостатков. Один из путей их преодоления - осуществление прямой атомизации проб распылением ее поверхности ионной бомбардировкой. Рассмотрены различных устройства, предназначенные для получения и формирования атомарных пучков путем ионного распыления исследуемых образцов. Наиболее простыми и эффективными являются устройства, использующие тлеющий разряд (ТР) в атмосфере инертного газа. К настоящему времени известно немного работ, связанных с использованием атомизаторов ТР в атомно-флуоресцентном анализе. Полученные пределы обнаружения, как правило, не ниже 10*®%. Для достижения методом ЛАФС пределов обнаружения при прямом определении примесей на уровне

10-6.,0-7 о/о

необходимо создание атомизаторов, позволяющих получать в газовой фазе концентрации атомов анализируемого вещества порядка 1012-1013 атомов/см^. Достичь таких концентраций возможно с применением источников атомарных потоков на основе полого катода и планарного магнетрона. Такие атомизаторы работают в атмосфере инертного газа при низком давлении (0,5-5 Па), что, за счет снижения эмиссионного фона, также способствует повышению чувствительности анализа.

Вторая глава посвящена разработке математической модели процессов атомизации и переноса атомизированного вещества при ионном распылении. Для оценки возможностей метода необходимо знать полное число фотонов флуоресценции, попадающих в систему регистрации

^л=В-По-^-Т-У, (1)

где п0 - концентрация атомов определяемой примеси в аналитической зоне; V - объем аналитической зоны, -Г1 - телесный угол сбора флуоресценции; ! -частота следования лазерных импульсов; Т - время накопления сигнала. Коэффициент В определяется выбранной схемой возбуждения и регистрации флуоресценции и спектральной плотностью энергии излучения.

Из литературы известно, что при распылении твердых тел ионной бомбардировкой вылетающие с бомбардируемой поверхности частицы на 90 %

нейтральные атомы в основном состоянии. При малых содержаниях примеси в образце парциальный коэффициент распыления примеси Ус и коэффициент "" распыления" атомов""простого вещества основы У-связаны зависимостью Ус = У*Сат, где Сат - атомная доля примеси в основе Теория распыления дает распределение эмиттированных атомов по скоростям что хорошо подтверждено экспериментально. Учитывая эти факторы и исходя из допущений, что плотность ионного тока на поверхности атомизируемой пробы распределена равномерно, поток эмиттируемых атомов изотропен и атомы достигают аналитической зоны без соударений можно определить п0. Для непрерывного режима распыления получаем выражение

„ - 1УСаг. Г Созв-СозУ ¿5 ,9ч

По - ~ЫГ) ^ 12)

5

где 1 - ионный ток; е - заряд электрона; Э - площадь распыляемой поверхности; 9 и V - углы между вектором скорости эмиттированного атома и нормалью к элементарной площадке распыляемой поверхности (¡Б и нормалью к

поверхности нижней границы аналитической зоны, соответственно; Я - расстояние от элементарной площадки ёЭ до аналитической зоны; ё - параметр

определяемый энергией сублимации атома ЕСу<з и его массой та .

При импульсном разряде возможно получение плотностей тока разряда, и соответственно плотностей потока эмиттированных атомов на порядок-два выше. При расчетах п0 для такого режима необходимо учитывать зависимость плотности ионного тока и коэффициента распыления от времени и время задержки {3 (время между началом импульса разрядного тока и прохождением импульса лазерного излучения через аналитическую зону). Выражение для п0 при импульсном режиме распыления имеет вид та

п0(0 = -Ць -^--(3)

е-5

Ий)

¿(Г

где Тв- длительность импульса тока; О" - скорость эмиттированного атома; ( - распределение эмиттированных атомов по скоростям. Условие

попадания атома определяемой примеси, вылетевшего с распыляемой поверхности в момент времени Т в аналитическую зону в момент времени 1, определяется соотношением =11/0-Т). Начало отсчетов времени I и "С соответствует моменту появления импульса разрядного тока. 1( Т) - определяется экспериментально. У("С) - определяется по вольтамперной характеристике разряда и(1( "С)) и табличным значениям зависимости коэффициента распыления от энергии падающих ионов. Как показывает анализ выражения (3) для случая прямоугольного импульса тока длительностью и амплитудой 10, для наиболее благоприятного случая регистрации сигнала флуоресценции 70 ={3, при выполнении соотношения

(3 > 2,6Я/£ (4)

где Г{ - среднее расстояние от распыляемой поверхности до аналитического объема, концентрация л0(1з) будет составлять 0,9*по, где п0 рассчитано для непрерывного режима распыления при 10 = I. Так как в импульсном режиме, как правило, реализуются разрядные токи на два порядка выше, чем при непрерывном, то следует ожидать такого же повышения концентрации атомов примеси в газовой фазе. Однако, как показывают расчеты, при реализации в разряде плотностей тока более 1А/см2, увеличение концентрации распыленных атомов основы в прикатодном слое приводит к уменьшению длины свободного пробега эмиттированных атомов и, следовательно, к обратному рассеянию и диффузии их к поверхности катода. За счет этого увеличение амплитуды импульса тока не приводит к пропорциональному росту сигнала флуоресценции.

В третьей главе описывается экспериментальная установка. Исследования проводили на лазерном атомно-флуоресцентком спектрометре ЛАФС-1 разработки Института спектроскопии АН СССР. Спектрометр состоит из эксимерного лазера накачки, лазера на красителях, удвоителя частоты, схемы управления и регистрации. В работе проводили эксперименты с двумя типами атомизаторов. Это - источник атомного пара с полым катодом и пленарный магнетрон. В атомизаторе первого типа через изготовленный из анализируемого вещества полый катод, имеющий форму цилиндра с внутренним диаметром 5-6

мм, длиной 20-30 мм и толщиной около 1 мм, непрерывно .фокачиваетск инертный газ. При этом в зоне разряда давление составляет 5 Па. Откачка газа из камеры, в которой находится катод, осущшвляегся турбомолекуляриым' насосом. Поддержание давления газа на заданном ур.гне обеспечивается дозированной подачей газа из баластного объема через управляемый электромагнитный клапан, связанный обратной связью с гермопармым вакууметром. При таких условиях в полом катоде реализуется рззнотглдпо-ть тлеющего разряда, позволяющая получить выходящий из катодной ¡wioira поток атомов исследуемого вещества. Атомарный поток просвечивается лазерным излучением, настроенным на резонансную длину волкк атомоч

определяемой примеси. Вывод атомов из зоны разряда позволяет существенно уменьшить влияние фонового излучения разряда на сигнал флуоресценции, а регистрация флуоресценции на смещенной линии практически исключает влияние на аналитический сигнал возбуждающего излучения, рассеянного на продуктах распыления пробы и стенках камеры атомизатора. Излучение флуоресценции с помощью кварцевой линзы собирается из аналитической зоны и фокусируется на входную щель монохроматора. За выходной щелью монохроматора помещен фотоумножитель типа ФЭУ-130, сигнал с выхода ФЭУ поступает на вход зарядочувствительного стробирующего аналого-цифрового преобразователя.

Запуск эксимерного лазера, синхронизация запуска блока питания атомизатора и канала регистрации осуществляется ЭВМ "MERA-60".

В атомизаторе с пленарным магнетроном проба, изготовленная из анализируемого вещества в виде диска диаметром 25-30 мм и толщиной 1-3 мм, помещается на верхнюю поверхность водоохлаждаемого катода, внутрь которого помещен постоянный кольцевой магнит. Вся поверхность катода, за исключением площадки для помещения образца, заключена в изолирующую тефлоновую оболочку. Благодаря тому, что с помощью кольцевого магнита над поверхностью катода создается магнитное поле арочной конфигурации, появляется составляющая магнитного поля, направленная парэллепьно поверхности катода и перпендикулярно электрическому полю. Электроны, эмиттированные с поверхности катода под действием скрещенных электрического и магнитного полей, дрейфуют в тороидальной зоне над поверхностью катода, в результате чего

увеличивается время жизни электронов в объеме между катодом и анодом и возрастает их ионизирующая способность. За счет этого удается добиться таких же плотностей разрядного тока, как и для разряда с полым катодом, но с более удачной геометрией формирования атомарных потоков.

Система управления блоком питания атомизатора и поддержания давления газа в камере для атомизатора с пленарным магнетроном такая же, как для атомизатора с полым катодом.

Четвертая глава посвящена экспериментальной проверке модели процессов формирования потоков атомизированного вещества. С помощью выражений (2) и (3), после подстановки в них нейбходимых параметров, определяющих условия эксперимента, были рассчитаны пространственные и временные распределения концентраций распыленных атомов в области, прилегающей к аналитическому объему.

Для проверки корректности проведенных расчетов были проведены следующие эксперименты. В месте расположения аналитической зоны перпендикулярно к оси полого катода была помещена стеклянная пластинка. В течение 20 минут при разрядном тока 70 мА и давлении в камере 0,2 Па на пластинку напыляли материал катода. Распределение напыленного вещества на пластинке определяли фотометрированием на микрофотоденситометре Joyce Loel (ширина щели 200 мкм). Сравнение полученного распределения с результатами расчета, сделанными с использованием выражения (2), позволило оценить эффект расширения пучка распыленных атомов за счет межатомных столкновений. В следующем эксперименте в месте расположения аналитической зоны помещали металлическую пластинку, на которую в течение 100 минут при тех же условиях эксперимента, как и для стеклянной пластинки, напыляли вещество катода. Количество напыленного вещества определяли взвешиванием по разности масс пластинки до и после напыления. Взвешивание проводили на весах Sartorius 1700 с погрешностью 10"^ г. Рассчитанное количество осажденного на пластинку вещества, полученное с использованием выражения (2) и поправки на расширение пучка распыленных атомов совпало с результатами взвешиЕания. Следует отметить, что влияние рассеяния на формирование атомного пучка

снижается при та>тг, где та - масса атома определяемой примеси, тг - масса атома инертного газа.

Так как- сигнал флуоресценции Афл пропорционален концентрации _. атомов определяемой примеси в аналитической зоне, для подтверждения справедливости выражения (3) экспериментально определена зависимость сигнала флуоресценции от времени задержки. В качестве определяемого элемента был выбран свинец, основа - медь. Результаты были представлены в виде отношения

Р _ Афд.ннп (Ь^) _ Пр (¿з) ^

Афл.н "о

где Афл.имп^З) " сигнал флуоресценции для импульсного режима распыления, Афлн - сигнал флуоресценции непрерывного распыления. Полученная экспериментальная зависимость хорошо согласуется с расчетом. Дополнительно, для фиксированного времени задержки была измерена зависимость Р от амплитуды разрядного тока 10. Полученные данные согласуются с расчетными, рост амплитуды тока не приводит к пропорциональному увеличению сигнала флуоресценции. Для атомизатора с пленарным магнетроном были проведены аналогичные эксперименты. В качестве основы были выбраны индий и галлий, определяемый элемент кремний. Экспериментальные зависимости сигнала флуоресценции от времени задержки были представлены в виде зависимостей от средней скорости распыленных атомов С?" = И/13 (И • среднее расстояние от поверхности образца до аналитической зоны) проходящих через аналитическую зону в момент времени Результаты измерений хорошо совпали с расчетами, однако, максимум распределения Афл( & ) для образца индия оказался на 20 % и для образца галлия на 10 % ниже расчетного, что связано с перераспределением скоростей распыленных атомов вследствие межатомных столкновений.

В целом, проведенные эксперименты доказывают справедливость сделанных допущений при проведении расчетов по определению концентрации

атомов примеси в аналитической зоне и позволяют правильно оценить и выбрать оптимальный режим работы атомизатора.

Пятая глава посвящена определению свинца в меди высокой чистоты с атомизацией пробы в разряде полого катода. Для построения градуировочной

характеристики был взят комплект государственных стандартных образцов состава меди (комплект ГСО М32) с содержанием свинца от 9*10"^ до 6*10"®. Образцы сравнения представляли собой гЛлые катоды, изготовленные из соответствующих стержней комплекта.

Исходя из полученных выражений для опредления концентрации атомов определяемой примеси в аналитической зоне п0 и условий регистрации флуоресценции, было получено выражение для гардуировочной характеристики

Афл= (6)

где 1*Т =100, £ =0,2 - квантовая эффективность фотокатода, 0,5 коэффициент пропускания монохроматора, К=30 - коэффициент преобразования АЦП,-=0:= 2,2*10"®, V = 0,2 см'®. Линия возбуждения флуоресценции АВозб= 283,31 нм, флуоресценцию регистрировали на линии Афл= 405,78 нм. Мощность лазерного излучения 30 кВт обеспечивала в измерениях режим, близкий к насыщению флуоресценции, вычисленный коэффициент В был равен 0,4. Для случая непрерывного режима распыления разрядный ток ! = 90 мА, для импульсного режима 10 = 8 А. При работе атомизатора в импульсном режиме, как показывают расчеты, максимум сигнала должен наблюдаться при 1з = 25 мкс. Эксперименты подтвердили корректность расчета. Аналитическим сигналом служила разность отсчетов Афл = Афл+ф-Афл, где Афл+ф - отсчет соответствующий суммарному излучению флуоресценции и фона, Аф - отсчет излучения фона. Градуировочные характеристики искали в виде Афл=^*Смасв.%. Коэффициент: р был получен обработкой экспериментальных данных по методу наименьших квадратов. С учетом найденных параметров градуировочной характеристики и результатов измерения фона была определена гарантированная нижняя граница определяемых содержаний свинца в меди Сн г, для которого Бг нт = 0,33. Для непрерывного режима распыления Сн г составила 8*10'5. Для импульсного 5*10"5.

Шестая глава посвящена использованию атомизатора с планарным магнетроном для определения кремния в индии и галлии. Для получения градуицовочных характеристик в экспериментах были использованы

синтетические образцы сравнения, полученные сплавлением в вакууме образцов с известным содержанием кремния с наиболее чистыми из имевшихся в наличии. Линия возбуждения флуоресценции кремния Дв03б= 251,-422 нм, флуоресценцию регистрировали на линии Афл = 252,85 нм. Атомизатор работал в импульсном режиме распыления: Т0= 10 мкс, (3 = 8 мкс, 10 = оА. Непрерывный режим распыления использовался для предварительной очистки поверхности образцов от случайно внесенных примесей. Градуировочные характеристики искали в виде пропорциональной зависимости Афл =/5 *Смасс %. С учетом найденных параметров градуировочной характеристики и результатов измерения фона была определена гарантированная нижняя граница определяемы:: содержаний кремния в индии и галлии; для кремния в индии она составила 6*10"^ и для кремния в галлии 1*10"6.

В седьмой главе проведен анализ возможных погрешностей расчета аналитических сигналов из-за неопределенности значений использованных параметров. Показано, что ЛАФС целесообразно использовать только в качестве сравнительного метода анализа. Полученные в результате экспериментов данные

свидетельствуют о правильности выбранного подхода к выявлению основных процессов, определяющих величину аналитического сигнала. Намечены возможные, пути дальнейшего снижения границ определяемых содержаний.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ

1. Разработан способ прямого лазерного атомно-флуоресцентного анализа с атомизацией твердых проб в тлеющем разряде. В качестве атомизаторов использовали атомизатор с полым катодом и планарный магнетрон.

2. На базе спектрометра ЛАФС-1, сопряженного с камерой атомизатора тлеющего разряда собрана установка для проведения анализа твердых проб. Управление установкой осуществляется в атоматическом режиме измерительно-вычислительным комплексом на базе ЭВМ МЕНА-60 с помощью специально разработанных программ.

3. Разработана математическая модель формирования потоков атомизированного вещества для атомизаторов тлеющего разряда с полым катодом и пленарным магнетроном, работающим как в режиме постоянного, так и

импульсного разряда. На основании предложенной модели по составленным программам проведены вычисления концентраций атомов определяемой примеси в аналитической зоне.

4. Правильность выводов теории проверена специальными экспериментами по определению интегрального потока распыленного вещества: по определению степени уширения атомного пучка распыленных атомов за счет межатомных столкновений; по измерению скоростного распределения распыленных атомов.

5. Разработана методика определения свинца в меди. Достигнута гарантированная нижняя граница определяемых содержаний Сн г = 5*10"®.

6. Разработана методика определения кремния в индии и галлик. Достигнута гарантированная нижняя граница определяемых содержаний кремния в индии Сн г = 6*10"^ и в галлии Сн.г = 1*10"®.

Основное содержание диссертации опубликовано в работах:

1. Дашин С.А., Майоров И.А. Использование синтетических образцов сравнения для градуировки лазерного атомно-флуоресцентного спектрометра при прямом определении микросодержаний кобальта в олове высокой чистоты / / Тез. докл. Всес. научно-технической конф. "Стандартные образцы в практической деятельности государственной и ведомственной метрологических служб". Свердловск. 1986. - С.181-183.

2. Большов М.А., Дашин С.А., Зыбин A.B., Колошников В.Г., Майоров И.А. и Смиренкина И.И. Прямое определение микроколичеств кобальта в олове высокой чистоты методом лазерной атомно-флуоресцентной спектрометрии с электротермической атомизацией в вакууме //Ж. аиалит.химии. - 1986. - Т.41. N 10. - С. 1862-1870.

3. Дашин С.А. и Майоров И.А. Синтетические образцы для определения кобальта в олове высокой чистоты методом прямого лазерного атомно-флуоресцентного анализа // Завод, лаборатория. 1987. - Т.53, N 11. -С.27-29.

4. Большов М.А., Дашин С.А., Майоров И.А., Кушлянский O.A. Прямой анализ высокочистых веществ методом лазерной атомно-флуоресцентной

спектроскопии с атомизацией проб ионным распылением // Спектральный йнализ: Труды Московского коллоквиума по спектральному анализу. 1989-1990. ТД. АН СССР Отд. общ. физ. и астрон. Науч. совет по спектроскопии. - М., 1990. - С.85-94. - Дискус. С.95-96.

5. Bolshov М.А., Dashin S.A., Kushlyansky О.A., Mayorov I.A. Direct analysis of high purity solid materials by LEAFS technique with ion sputtering atomization // XXVI Colloquim Spectroscopicum Internationale. - Sofia, Bulgaria. -July 2-9, 1989. - Abstracts, vol.1. - P. 17.

6. Dashin S.A., Mayorov I.A. Direct determination oi silicon in indium and gallium by method of laser atomic fluorescence //XI Conference on Analytical Atomic Spectroscopy. - Moscow, USSR. • July 29 - August 4, 1990. - Abstracts. -P.325.

7. Дашин С.А., Большое M.A., Карпов Ю.А., Кушлянский О.А., Майоров И.А. Возможности анализа чистых веществ методом лазерной атомно-флуоргсцектной спектрометрии с атомизацией проб ионным распылением //Ж. анал. химии. - 1990. - Т.45, N 5. - С.942-960.

8. Dashin S.A., Karpov Yu.A., Kushlyansky О.A., Mayorov I.A. and Bolshov M.A. Laser excited atomic fluorescence analysis of pure materials with sample atomization by lor sputtering / / Spectrochim, Acta B. - 1991. - V.46B, N 4. - P.467-482

Подписано в почать 5/1 1092 г. Формат 60x00 1/1 в

Тираж 120 экз. Объем 1,0 печ.л. Заказ У У

Отпечатано в ротапринтном цехе Гнрвдмета