Рентгенографические исследования структуры аморфных окислов алюминия тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

им. М.В. ЛОМОНОСОВА п п _

" П ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ

На правах рукописи

' ' УдК 539.213

НИКИТИНА ЕЛЕНА АНАТОЛЬЕВНА

РЕНТГЕНОГРАФИЧЕСКИ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРУ АМОРФНЫХ ОКИСЛОВ АЛШИНИЯ

Специальность 01.04.07 - физика твердого тела

Автореферат диссертации иа соискание ученой степени: кандидата $изихо-мзт5ка,ппескта наук

Москва 1994

Работа выполнена на кафедре физики твердого тела физического факультета Петрозаводского государственного университета

Научные руководитель: кандидат физико-математических наук, доцент Алешине Л.А.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, профессор Каинельсон A.A. кандидат физико-математических наук Хрущов U.U.

Ведущая организация - кафедра физики твердого тела Воронежского государственного университета.

Защита состоится " f^'f^ i^'r. в /¿^часов на заседании Диссертационного Совета Я I К-019.05.19 Отделения физики твердого тела в МГУ по адресу: 199899, ГСП, Москва, Ленинские горы, МГУ. физический факультет, ауд. ЮСр/)

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке физического факультета МГУ.

Автореферат разослан - —"

Ученый секретарь Диссертационного Совета К 1 Отделения физики твердого тела доктор физико-математических наук

ев В.А.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ.

_Актуальность работы.

Интерес к аморфным окисным пленкам алюминия обусловлен, специфичностью их электронных свойств. Использование алюмо-окисной технологии а разработке электронных систем и приборов показало ряд преимуществ, заключающихся в высокой надежности, коррозийной стойкости, механической прочности, широте функционального применения, экологичности, дешевизне производства.

Прогночиронянио тезп'.оплечлиннх элементов требует зна-

ния характера расположения атомов в «стгользуемых пленках и его зависимости от условий получения.

Сложность изучения атомного строения аморфных окислов алюминия связана, в первую очередь, с тем, что катионы могут иметь два кристаллохимически неэквивалентных кислородных окружения - тгтра-эдрическое (А104) и октаэдрическое (А10б), причем соотношение структурных элементов АЮ4 и А106 заранее неизвестно и определяется условиями и способами получения окисных пленок. При этом, низкотемпературные кристаллические фазы, возникающие в результате кристаллизации аморфных, относятся к материалам, в которых число возможных катаонных позиций больше, чем число катионов, которые, исходя из химического состава, могут быть в них размещены.

Вследствие этого возникает необходимость отработки методики анализа данных рентгенографических исследований аморфных окислов алюминия, с целью получения количественных характеристик ближнего порядка в расположении атомов в материале.

Цель работы

Целью данной работы является отработка методики анализа данных рентгенографических исследований аморфных окислов алюминия, получение характеристик ближнего порядка й анализ расположения атомов в анодных аморфных окисных пленках алюминия, зэформовэнних в разных электролитах и при различных условиях.

Научная новизна и практическая ценность работы состоит в том,

чго:

1. Проведено исследование влияния электролита, режимов анодирования (плотности тока, температуры и концентрации электролита), а также участия в предварительном плотном анодировании окислов редкоземельных элементов на атомную структуру аморфных анодных окис-ных пленок алюминия и впервые получены характеристики ближнего порядка для анионной, анион-квтионной и катионной подсистем указанных окислов.

2. Наличие количественных структурных характеристик исследованных материалов позволит провести ряд теоретических расчетов электрофизических параметров: плотности электронных состояний, диэлектрической проницаемости, электричосксй прочности и т.д.

3. Разработана методика, анализа результатов рентгенографических исследований некристаллических материалов, в которых атомы имеют неэквивалентное кристаллохимическое окружение. Показано, что обрыв экспериментальной кривой рассеяния при максимально возможных значениях углов рассеяния для Ре- и даже для Си-Ка излучения в данном случае приводит к искажению информации о характеристиках структуры.

4. Впервые для исключения влияния ошибок эксперимента на кривые распределения парных функций, характеризующие распределение электронной плотности материала, использован метод обратного Фурье-преобразования.

5. Впервые для расчета характеристик ближнего порядка применен метод сингулярного разложения.

На защиту выносятся следующие, обладающие научной новизной положения:

1. Количественные структурные характеристики ближнего порядка (координационные числа, радиусы координационных сфер и их размытия) в исследуемых материалах.

2. Расположение атомов в аморфных анодных окиснкх пленках алюминия

(особошюсти анионной упаковки, характер котионного распродоло-пил), анализ которого позволяет утверждать, что несоответствие ближгого порядка в анодных аморфных окислох алюминия располокогаю атомов о кристаллических фазах Л1203, проявляется в первую очередь в особенностях катионного распределения.

3, Результаты машинного моделирования расположения катионов в ГЦК кислородной подрешотке кристаллического окисла 7'-А120 , основанного На случайном заполнении окта- и тетраэдрических пустот катио-иямй мшшиш. Пзпгзкга, что « случав наложения запретов на разме-вднив катионос з бяяквйиих соседних окта- и тотрээяр?м«оких, а также тетра- и тетраэдрических позициях в катиошюй подсистема возникает ближний порядок, несоответствующий типу распределения катионов ни в одной из кубических кристаллических модификаций.

4. Коэффициенты ближнего порядка в системе "алюминий-вакантны^ ка-тионные позиции" в исследуемых образцах.

Апробация работы. Все основные результаты и выводы, изложенные в диссертации, докладывались на научных семинарах каферн физики твердого тела ПГУ, научных конференциях:

1. Международной научной конференции "Анодный оксид алюминия" (йн-твранод~93), Казань, 1993;

2. 3-й всесоюзной научной конференции "Физика окисных пленок", Петрозаводск, 1991;

3. 4-й Всероссийской научной-технической конфзренции "Физика окисных пленок", Петрозаводск, 1994.

Публикации.

Основные результаты, изложенные в диссертации, опубликованы в

трех статьях и тезисах девяти докладов на международных конференциях, список которых приводится в конце автореферата. Структура и объем диссертации. Содержание работы изложено на 168 страницах, включающих 158 страниц основного текста, 51 рисунок и 53 таблицы. Текст состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы, содор-

жащаго 78 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ.

Диссертация состоит из введения, четырех глав и выводов.

Во введении рассматривается актуальность тематики, формулируются и обосновываются цель и задачи работы, излагаются основные положения, выносимые на защиту, определяется научная новизна и практическая ценность работы, приводится краткое содержание работы.

Первая глава представляет. собой обзор литературных данных по структуре кристаллических модификаций окисла алюминия, результатам исследования ближнего порядка в аморфных окислах алюминия, полученных различными способами, влиянии электролита и условий анодирования на структуру и свойства аморфных окисных пленок А1г03. •

Во второй главе излагается методика эксперимента, обработки экспериментальных данных и машинного моделирования структуры окисла алюминия. ■

В первом параграфе указывается , что в работе исследовались аморфные окисные пленки алюминия, полученные электрохимическим окислением в растворах щавелевой, серной и сульфасалициловой кислот, толщиной 15-60 мкм, а также пленки, прошедшие предварительное плотное окисление в растворах пирофосфорной кислоты с добавками окислов редкоземельных элементов и рабочее анодирование в растворе щавелевой кислоты..

Образца рефенограффовались в геометриях на отражение и на просвет на дифрактометрах ДРОН-З.О, ДРОН-4.0 в автоматическом режиме . Использовались Мо-Кц, Си~Ка< Ре-Кд излучения, монохроматизи-. рованные кристаллами пиролитического графита.

Во втором параграфе излагается методика обработки экспериментальных кривых распределения интенсивности рассеяния, расчета интерференционной функции и кривых распределения парных функций методом Уоррена-Финбака. .-Для заданных значений радиусов координационных сфер. г13 и их размытгй;{01;), координационные числа М1;( из кривых распределения парных функций В (г) рассчитывались методом

сингулярного разложения. Одновременно проводилось моделировании распределения атомов методом размывания кристаллической решетки. Все расчеты выполнялись с использованием пакета прикладных программ "Х-гау", реализованного на ЭВМ СМ-4 (на языка фортран) и IBM PC/AT 286/287 (на языке Си).

В третьем параграфе приводится алгоритм построения распределения катионов в ГЦК кислородной подрешетке на основе модели слу-'загго.«!«тия октаэдлических и тетраэдрических пустот.

Провэдэно "ол»лированн0 характера распределения- касший* по пустотам ГЦК' кислородной упаковки в четырех случаях: катионы хаотически (непрерывно) распределены по любым октаэдричес-ким (А10) и тетраэдрическим (А1т) позициям;

хаотичность распределения, катионов нарушается за счет: а) запрета на расположение в соседних окта - и тетраэдрических пустотах (г=1.71 А), б) запрета на расположение в соседних тетраэдрических пустотах (г=1.975 к), в).оба запрета реализуются одновременно.

В третьей главе изложены результаты эксперимента, анализируются случайные и систематические ошибки эксперимента и расчета.

В первом пврагрьфе представлены результаты эксперимента и проведено сопоставление кривых распределения интенсивности рассеяния со штрихдиаграммами кристаллических модификаций окисла алюминия.

Обнаруженная для образца, полученного в сернокислом электролите, асимметрия первого пика кривых D(r) со стороны меньших значений г , обусловлена вкладом пар атомов S-0 в тетраэдрах 50 встроенных в структуру данного окисла.

Выполнены расчеты радиусов координационных сфер и координационных чисел для кристаллических модификаций и проведено сопоставление положений максимумов на кривых распределения парных функций с радиусами координационных сфер для кристаллических фаз.

Во втором параграфе анализируются причины возникновения ложных деталей на кривых D(r) и возможность применения метода обратного Фурье-преобразования для устранения ошибок эксперимента.

- а -

Установлено, что сочетание методов устранения ложных максимумов на кривых D(r) с проведением обратного Фурье преобразования позволяет надежно диагностировать и исключить систематические ошибки эксперимента и расчета при дифракционных исследованиях структуры аморфных материалов", а также корректно провести плавную кривую по экспериментальным точкам в облаоти.больших значений а.

В четвертой главе анвлизируются результаты расчета характеристик ближнего порядка в исследуемых образцах.

В первом параграфе излагаются проблемы анализа структуры аморфных окислов алюминия при определении характеристик ближнего порядка, частично решить которые - определить соотношение числа заполненных катионами октаэдров АЮ6 и тетраэдров А10д- позволил анализ первого пика кривых В(г).

Установлено, что во всех исследованных образцах доля тетраэдров АЮ4 выше,чем в кристаллических кубических фазах окисла алюминия. Расстояния А1о-0 в октаэдрах А10б (табл.1) меньше соответствующих расстояний для кубических фаз и средних значений для искаженных октаэдров в е-AlgOg, но выше, чем минимальные расстояния А1„-О В e-AlpCL.

о с 3

Сократите длины связи в октаэдрах сопровождается увеличением расстояний А1т-0 в тетраэдрах: оно оказывается.больше соответствующих расстояний в кубических структурах и ближе к среднему значению для 9-А1203.

Дисперсия aXi кратчайших расстояний AI-О в образце, полученном в щавелевокислом электролите, практически отсутствует (табл.1). В образце, полученном в сернокислом электролите, аналогичные значения o1;J отличны от нуля, при этом дисперсия расстояния AI-0 в тетраэдре А10д в 5 раз больше, чем в октаэдре А10б (табл.1). Расстояние S-0 составляет 1.43 L

• ) Во втором параграфе приводятся результаты моделирования распределения катионов по пустотам ГЩС кислородной упаковки при различных соотношениях их в пустотах разного типа.

.Показано, что отсутствие катионов на сферах с г=1.71 А или г=>

1.975 А или на обоих из них вызывает изменения в координационных числах для последующих сфер по сравнению с соответствующими данными для полностью хаотического распределения. Эти изменения различны для разных типов координационных сфер (А10-А1с, А1о-А1 , А1Т-А1,Г), и их можно интерпретировать как некоторое упорядочение катионов в пространстве. Для обсуждения характера этого упорядочения моделируемая система была рассмотрена как бинарный твердый ролтвлр А1-незаполп0Нная пустота(*): "AI-*". Состояние порядка в кем было описано с помощью коэффициентов оликнвго порядка а«.

Анализ коэффициентов ai для моделируемой системы при отсутст вии катионов в ближайших окта- и тетраэдрических, а также в соседних тетраэдрических позициях показал, что возникающий ближний порядок в расположении катионов не соответствует распределению алюминия ни в одной из кристаллических фаз.

В третьем параграфе приведены результаты расчета из кривых D(r) характеристик ближнего порядка для объединенных координационных сфер в сравнении с соответствующими данными для кристаллических модификаций окисла алюминия и результатами моделирования, изложенными в предыдущем параграфе.

Необходимость объединения координационных сфер была вызвана как большим их количеством под каждым пиком кривых D(r) в аморфных анодных окислах, так и совпадением радиусов координационных сфер разного типа в кубических структурах.

Рассчитанные из экспериментальной кривой D(r) значения г , о и N (табл.1) позволили установить, что в исследуемых амор&шх окислах А1„03 анионы образуют искаженую ГЦК кислородную упаковку, часть пустот которой заполняют катионы.

Искажение ГЦК упаковки в аморфных окислах алюминия таково, что кратчайшие кислород-кислородные расстояния го_0 (2.68-2.7 А) имеют значения меньшие, чем в кубических фазах (2.793 А) и 6-А1-0,(2.821 А). При этом длина связи г в заполненных катиона-

С. О * ф О—О т

ми октаэдрах составляет 2.7 А, а г в тетраэдрах А10д - 2.84 А.

Следовательно, длина 0-0 связи в незаполненных кислородных тетра-

эдрах и октаэдрах должна быть заметно меньше 2.7 А и ближе к сумме ионных радиусов кислорода (2.44 А). О разбросе длин связей кислород-кислород свидетельствовало и заметно большее по сравнению с соседними размытие этой сферы.

Моделирование структуры аморфных окислов алюминия методом размывания кристаллической решетки показало, что наиболее близки к экспериментальным кривым D(r) кривые DTeop (г), рассчитанные для моделей со случайным заполнением пустот кислородной ГЦК подрешетки без ограничений и с одним из ограничений, но полного совпадения нет и в данном случае.

В четвертом параграфе показано, что несмотря на использование метода Финбака, при исследованиях аморфных окислов алюминия обрыв экспериментальных кривых распределения интенсивности рассеяния при smax<10 А-1 приводит к искажению информации о характеристиках ближнего порядка. В частности, при s|nax= 6.0 А"1 среднее значение определяемого из эксперимента первого координационного числа (Na1Q) возрастает до 5.45. Такое резкое увеличение первого координационного числа неизбежно приводит к переоценке количества катионов, занимающих октаэдрические позиции.

Таким образом, при анализе ближнего порядка в аморфных материалах даже при использовании метода .Финбака необходимо в каждом конкретном случае проводить анализ влияния эффекта обрыва на получаемые результаты.

В пятом параграфе проанализированы особенности катионного распределения по координационным сферам в анодных аморфных окислах алюминия, полученных в электролитах, приготовленных на основе щавелевой, серной и сульфасаллициловой кислот. Из результатов расчета r±J, a1J и N1;J для объединенных координационных сфер были рассчитаны парциальные кривые DA1_o(r) и DQ_0(r) и выделены парциальные функции КА1_д1(г). В табл.2 приведены значения гд1_д1, од1_д1 и Ыд1_д1, рассчитанные из кривых Бд1_д1(г). Полученные результаты свидетельствовали о том, что катионное распределение по координационным сферам в исследованных образцах отличается как от распре-

Таб.шца I.

Радиусы координационных сфер и их размытий, координационные числа для аморфных окислов алюминия. Радиусы координационных сфер для кристаллических фаз окисла.

щавелевый эл-т сернокис. зл-т кубич. фазы о-А1.,о3

соотношение числ! 50Ï5Q Т i тетраэдров А104 4ÜTB0 и октаэдров ------7СГ:30~~1 А10б --Б0:5СГ

Г 1ук 01;).А V13 rirA

тип сферы А1-0 т 1 wVmrii" ! 71 П К 'J Л ' 1' 7<П i ТАП

2 t.91 О.Oí э.о

3 3.34 0.23 G.0'

4 3.47 0.17 4.0

5 4.30 0.56 18.0

6 5.13 0.42 8.0

7 5.88 0.55 27.0

2 3.94 0.18 6.0

3 4.83 0.58 24.0

4 5.58 0.40 12.0

i

3.31 3.47 4.30 5.13 5.88

■u.uS.

о.г? 0.17 0.56 0.42 0.55

7.2 3.2 16.8 9.6 26.4

3.90 0.19 6.0 4.8-i 0.58 24.0 5.59 0.40 12.0

< о

w t О

3.421 4.380 5.131 5.880

3.95

4.837

5.586

t .947

з.эээ 3.429 4.408 5.196 5.993

4.022 4.889 5.661

Таблица 2.

Координационные числа, радиусы и размытия координационных сфер тшта Al-Al.

ТИП сфер

ГАТ~АГ

о о

А1Т-А1Т А10-А1Т

ц-тгчт:

о о А1Т-А1Т

о т А1Т-А1Т

ALo'Alo

ь А1г-А1т А10~А1т

щавелевый" gл-т

щавелевый эл-т г13,Х аиД Nt

3.06 0.14 4.98*0.2

3.76 0.04 2.2i0.5

4.12 0.20 3.8*0.8

4.54 0.24 5.4 г 1 .0

4.99 0.25 6.5*1.0

сернокис. эл-т Г1.ГД NUiAN

3.06 0.14 3.82*0.2

3.72 0.04 3.1*0.4

4.15 0.20 4.3*0.6

4.52 0.17 5.9*1.0

4.90 0.18 6.2*1.0

Ar1;j=t0'.02 Á для 1 -З^'коордмшциошшх сфер, tO.Ub Â

для 3-5-й координационных сфер, До =*0.01 L

деления в 7- и е- фазах окисла А1203, так и от распределения, полученного для рассмотренных выше моделей. Окислы, заформованные в растворах сульфасаллициловой и щавелевой кислот практически идентичны по атомному строению и отличаются друг от друга лишь некоторым перераспределением катионов по координационным сферам, В окисле, полученном в сернокислом электролите, число катионов, занимающих тетраэдрические пустоты, на 10% выше, чем в обоих выше указанных окислах. Кроме того, при формовке в сернокислом электролите в структуру окисла А1г03 встраиваются тетраэдра S04.

В шестом параграфе излагаются результаты исследования влияния условий формовки на структуру анодных окисных пленок алюминия, полученных в щавелевокислом электролите. При выборе условий анодирования можно варьировать плотность тока, температуру электролита, а также его концентрацию. Исследовались анодные окисние пленки, при получении которых в щавелевокислом электролите изменялся один из вышеуказанных параметров формовки: плотность тока ( J ) изменялась от 30 до. 50 тА/см2, концентрация электролита (с) - от 3% до 7%, а его температура (t) - от 10°С до 23°С. Было установлено, что изменение условий формовки не приводит к изменению числа катионов, занимающих окта- и тетраэдрические позиции. При увеличении плотности тока формовки окисных пленок А1г03 в щавелевокислом электролите уменьшается искажение* кислородной упаковки, что проявляется в уменьшении размытий двух первых кислород-кислородных, сфер на 0.020.03 1 и в возрастании расстояний А1-0 в октаэдрах на 0.03 к, то есть в стремлении их к таковым для кубических структур. Увеличение температуры электролита привело к наиболее значительному перераспределению катионов по координационным сферам. В частности, наблюдалось увеличение числа катионов на сфере с г=3.06 к и уменьшение числа катионов на последующей сфере с г=3.76 А. Наблюдаемые изменения в координационных числах связаны с перегруппировкой катионов, занимающих тетраэдрические позиции в кислородной упаковке.

В седьмом параграфе приведены результаты исследования влияния предварительного плотного анодирования в электролитах, содержащих

редкоземалыш«?. элементе-/, и последующем анодировании в раотвере щавелевой кислоты. Такой способ приготовления пленок применяется для улучшения их диэлектрических свойств. Установлено, что в исследуемых образцах сохраняются все особенности анионной упаковки, соотношение числа катионов в ее окта- и твтраэдрических пустотах остается равным 50:50. Изменения в распределении кптионоз по координационным сферам качественно аналогичны изменениям, имеющим место при увеличении температуры электролита, однако, возрастание числа катионов наомшю'.ш аз толы» нй п г=з.0б А. но и при Г=4.12 А. -

В восьмом параграфе анализируется состояние ближнего порядка в системе "влкшний-вакаитйые катионные позиции" в исследовашшх образцах. Приводится методика расчета коэффициентов ближнего порядка для данной системы о учетом того, что экспериментально определенные координационные числа Ид1_д1 являются суммарными для 2-3 близко расположеннных сфер (табл.2).

Обнаружено, что величины а1 для аморфных анодных окислов алюминия (табл.3) численно не совпадают со значениями, рассчитанными• для кристаллических фаз и различных моделей. Однако, чередовгние знаков а1 на координационных сфорах для образцов, полученных в растворе щавелевой кислоты с предварительным плотным анодированием в электролита с доС&вками окислов редкоземельных элементов, и для образца, приготовленного при температуре электролита 25°С идентично таковоуу в псевдобемитной форме 7~А1203 (табл.3).

Таблица 3.

Коэффициенты ближнего порядка для анодных аморфных окислов алюминия. полученных в щавелевокислом электролите, для 0-, у-А1г03 шпи-

ийльной формы, 7-А1£03 псевдобсмитной формы и моделей.

N экспе щаве^о; ¡римент ¡¡отел и; 23 С 1 эл-т рзм МГ з.т-т 1Д6ЛИ з.о-т 2 зап 8 50:50 т-шп. 63:37 7ПС.0 54:46

1 2 3 4 5 З.'Об 3.76 4.12 4.54 4.99 I ооооо оо'о'оо "0':сю5 0.01 0.05 -0.02 0.05 0.СЮ7 0.01 0.06 -0.02 0.04 0.01 -0.01 0.00 -0.00 0.00 '0.02 0.02 -0.01 0.01 0.00 "0.06 -0.02 0.00 -0.02 0.04 "ТГ.'СД -0.05 -0.06 0.00 -0.01 0.03 -0.04 -0.08 -0.03 0.03 0.02 0.08 0.01 -0.03 0.06

Для всех образцов коэффициенты ближнего порядка для последней координационной сферы заметно отличаются от нуля. Это позволяет утверждать, что дальность корреляции в системе "алкминий-катионные позиции Ш упаковки",'не ограничивается г=5 I. Для моделей аналогичный результат был получен только в случае наличия двух ограничений на ближайшее расположение катионов.

Таким обрезом, методика обработки рентгенографических данных, полученных для некристаллических окислов алюминия, и нестандартный подход к анализу. кривых распределения парных функций, характеризующих распределение пар атомов по расстояниям, впервые позволили, получить количественные характеристки расположения атомов в области ближнего упорядочения аморфных окислов А1203.

По результатам работы были сделаны следующие выводы:

1) В аморфных анодных окисных пленках алюминия анионы образуют искаженную гранецентрированную кубическую упаковку, часть окта- и тетраэдрических пустот которой заполнена катионами.

2) Размеры заполнения А1 кислородных тетраэдров больше, а заполне-ных А1 кислородных октаэдров меньше, чем в кристаллических кубических фазах А1г0д.

3) Доля катионов, имеющих тетраэдрическое окружение, выше, чем в низкотемпературных кубических модификациях.

4) Результатом моделирования распределения катионов на основе случайного заполнения пустот ГЦК кислородной упаковки при наличии ограничений на расположение катионов в ближайших соседних окта- и тетраэдрических, а также тетраэдрических позициях, является возникновение ближнего порядка в системе "алюминий-вакантные катион-ные позиции", несоответствующего таковому в кубических фазах окисла и в аморфных анодных окислах.

б) Ближний порядок в системе "алюминий-вакантные катионные позиции" в образцах, прошедших предварительное анодирование с участием отелов редкоземельных элементов, и в образцах, приготовленных при температуре электролита 25°0, соотвествует упорядочению катионов и пустот в псевдобемитной форме т-А1203; в остальных исследованных.

окислах ближний порядок отличается от порядка в кристаллических фазах,

6) Дальность корреляции в системе "алюминий-вакантные катиошше позиции" в аморфных анодных окислах алюминия превышает 5А.

7) Тип электролита и условия формовки окисла в основном влияют на характер катионного распределения.

Список работ,опубликованных по теме диссертации Основные результаты, изложенные в диссертации опубликованы в работах:

1. Л.Л. Ааевяга,' В,а. ишшПшЗ ^дглярдамп» структуры аморфных окислов алюминия методом размывши кртствлличйокой pscouffi"; Рукопись деп. в ВИНИТИ N 566-В92, 71 с.

2. Л.А. Алешина, К.Л. Ковалев-Троицкий, E.Ä. Никитина, А.Д. Фофанов "Моделирование распределения атомов AI в ГЦК кислородной под-решетке окисла А1г03". Рукопись деп. в ВИНИТИ N 2Б24-В92, 16 с.

3. Алешина Л.А., Ковалев-Троицкий К.Л.,. Никитина Е.А., фофанов А,Д., "Ближний порядок в катионной подрешетке кубического окисла алюминия". Кристаллография, 1993, т.38, в.6, с.158-165.

4. Алешина Л.А., Фофанов А.Д., Никитина Е.А., Позднякова A.B. ■ "Влияние электролита на ближний порядок в аморфных окислах алюминия". Тезисы международной научной конференции "Анодный оксид алюминия" (Юнтераиод-93), Казань, 1993, с.90-91.

5. Алешина Л.А., Фофанов А.Д., Никитина Е.А., Макаров Л.И., Ковалев К.Л. "Моделирование распределения атомов алюминия в ГЦК кислородной подрешетке окисла алюминия". Тезисы международной научной конференции "Анодный оксид алюминия" (Интеранод-93), Казань, 1993, с.92-93.

6. Никитина Е.А., Фофанов А.Д. "Моделирование распределения катионов в структурах шпинельного типа". Тезисы 3-й всесоюзной научной конференции "Физика окисных пленок", Петрозаводск, 1991, ч.1, с.36.

7. Л.А. Алешина, Е.А. Никитина "Рентгенографическое исследование структуры аморфных окислов алюминия". Тезисы 3-й всесоюзной научной конференции "Физика окисных пленок",Петрозаводск,1991,ч.1,с.23,

8. Aleshlna L.A., Foianov A.D., Nikitina E.A., Kovalev K.L. "The short-range order in the cation sublattlce oi the cubic aluminium oxide*. The abstracts of the International conference Eptiic-3. Vienna, Austria, 1993.

9. Aleehina L.A., Foianov A.D., Nikitina E.A. "The study of the short-range order at the non-crystal A1203 oxide". Second European Powder Diilraotion Conference, Netherlahds, 1992.

10. Алешина Л.А., Никитина E.A., Луговская Л.Н. Структура аморфшх окиолов А1гОэ, полученных в различных условиях. Тезисы докладов 4-й Всероссийской науч.-тех. конференции "Физика. окисных пленок", Петрозаводск, 1994, с.б. '

И. Alesnlna I.A.« Fofanov A.D., Nikitina E.A. The structure of amorphous oxide aluminium films. The abstracts of the international conference "Powder diffraotion and Crystal Chemistry", Saint— Petersburg, 1994, p.62.

12. L.A.Aleshlna, L.A.Lugovskya, E.A.Nikitina, A.D.Foianov. The structure specification of amorphous oxide films obtained in the different electrolytes. The abstracts of the seventh international symposium on passivity passivation of metals and semiconductors. Olausthal, Germany. 1994, p. 129,