Роль кислородных вакансий и фазового состава в формировании эмиссионных свойств оксидсодержащих катодных материалов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

1. ВВЕДЕНИЕ.

2. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ.

3. ВЛИЯНИЕ КИСЛОРОДНЫХ ВАКАНСИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ОКСИДА НА ЕГО ЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА И ИСПАРЕНИЕ КОМПОНЕНТОВ.

3.1. Равновесная концентрация кислородных вакансий на поверхности оксида.

3.2. Влияние кислородных вакансий в объеме и на поверхности оксида на его термоэмиссионные свойства.;.

3.3. Влияние кислородных вакансий в объеме и на поверхности оксида на его вторично-эмиссионные свойства.

3.4. Влияние кислородных вакансий в объеме и на поверхности оксида на процессы неконгруэнтного испарения его компонентов.

3.4.1. Термическое испарение.

3.4.2. Электронно - стимулированное испарение.

3.4.3. Испарение, стимулированное электрическим полем.

3.5. Влияние кислородных вакансий в объеме и на поверхности оксида на кинетику его взаимодействия с газовой фазой.

3.6. Основные научные результаты и научные положения.

4. ИССЛЕДОВАНИЕ КИНЕТИКИ ТВЕРДОФАЗНОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛАХ

НА ОСНОВЕ ОКСИДА ИТТРИЯ.

4.1. Элементы кинетической теории твердофазного взаимодействия.

4.2. Кинетика взаимодействия в базовых катодных материалах.

4.2.1. Катодный материал Та -Y2O3.

4.2.2. Катодный материал W - У203.

4.3. Кинетика взаимодействия в модельных катодных материалах.

4.3.1. Модельная система Та - Та205.

4.3.2. Модельный катодный материал Та - Та205 - Y203.

4.3.3. Модельный катодный материал W - Re2Y - Y

4.4. Основные научные результаты.

5. КИНЕТИЧЕСКАЯ ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ ДВУХКОМПОНЕНТНЫХ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.

5.1. Физико-химическая модель эмиссионной долговечности оксидов.

5.2. Кинетика изменения концентрации кислородных вакансий в оксидах.

5.3. Кинетика термоэлектронной эмиссии простых оксидов.

5.4. Кинетика вторичной электронной эмиссии простых оксидов.

5.5. Кинетика активирования двухкомпонентных катодных материалов.

5.6. Основные научные результаты и научные положения.

6. РАЗВИТИЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЙ О ФИЗИКО-ХИМИИ

И ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.,

6.1. Эмиссионные свойства двойных металлических сплавов.

6.2. Эмиссионные свойства двойных оксидов в области твердых растворов.

6.3. Физико-химические принципы создания многокомпонентных катодных материалов с учетом роли кислородных вакансий в оксидной фазе.

6.4. Основные научные результаты и научные положения.

7. РАЗРАБОТКА НОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ И МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ КАТОДОВ.

7.1. Технология сфероидизации высокочистого порошка вольфрама.

7.2. Технология синтеза высокочистых ультрадисперсных порошков оксидов.

7.3. Катодный материал Та - Таг05 - Y203.

7.4. Катодный материал Ru - W - У203.

7.5. Основные научные результаты.

8. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК И ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ

И СОЗДАНИЯ НОВЫХ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ.

8.1. Методика измерения концентрации кислородных вакансий в оксидах.

8.2. Методика диагностики качества катодных материалов.

8.3. Методика определения кинетических констант твердофазного взаимодействия в катодных материалах.

8.4. СВЧ плазменно-технологическая установка «Фиалка - 6».,.

8.5. Установка для исследования кинетики твердофазного взаимодействия в катодных материалах.

8.6. Установка для исследования эмиссионных свойств материалов.

8.7. Основные научные результаты.

Начиная с 70-х годов, в связи с интенсивным развитием мощной вакуумной электроники СВЧ диапазона длин волн, резко возросло число фундаментальных и прикладных исследований, направленных на создание новых высокоэффективных катодных материалов, развитие теории оксидсодержащих катодов, разработку методик контроля их качества и прогнозирования долговечности. Развитию указанных направлений способствовало широкое внедрение в исследовательскую практику новых методов анализа материалов: электронной и ионной спектроскопии, рентгено-электронного микроанализа, масс-спектромегрии и т.д.

В большинстве электровакуумных приборов СВЧ диапазона длин волн, созданных в 60-70-е годы, электронные пучки формировались с помощью оксидного катода, устойчиво работающего в течение десятков тысяч часов при плотностях тока до 0,1 - 0,15 А/см2 . Однако развитие систем спутниковой связи, а также систем приема спутниковой информации на антенны индивидуального пользования потребовало увеличения плотности электронного пучка до 0,3 - 0,8 А/см2 [1-5]. Кроме того, развитие мощных электровакуумных приборов миллиметрового диапазона длин волн, а также задачи создания мощных радиолокационных систем выявили необходимость разработки катодных материалов, обеспечивающих формирование электронных пучков с плотностью тока в десятки ампер с квадратного сантиметра [6-7]. Однако существовавшие методы разработка катодных материалов и технологий их производства в [5] образно сравнивались с «набором рецептов поваренной книги».

Современный катодный материал для мощного электровакуумного прибора представляет из себя композит на основе тугоплавкого металла (вольфрам, тантал), оксида бария (среднетемпературные катоды) [8-11] или оксида иттрия (высокотемпературные катоды) [10, 12-16] . Как правило, катодный материал содержит ряд дополнительных компонентов: оксидов (стронция, кальция, алюминия, вольфрама, скандия и т.д.) в виде второй фазы или в составе, сложного оксида, а также металлов (осмия, рения, родия, иридия и т.д.) в виде интерметаллического соединения или пленки на поверхности катода. Материалы указанных типов служат основой при создании высокоэффективных металло-керамических, металлопористых и синтерированных катодов.

В результате лабораторных исследований, стендовых и приборных испытаний экспериментально выявлено влияние многих из указанных дополнительных компонентов на эмиссионные свойства катодных материалов и на эмиссионную долговечность катодов в статическом и импульсном режимах работы приборов. Найдены и оптимизированы составы и технологии производства ряда высокоэффективных катодных материалов для электровакуумных приборов различных типов: магнетронных усилителей и генераторов, клистронов, ЛБВ и т.д. В настоящее время эмиссионная долговечность катодных материалов в серийных приборах большой мощности составляет 1000 - 3000 часов и достигает 10000 - 30000 часов в приборах средней мощности.

Экспериментально установленные закономерности были обобщены в систему физико-химических представлений о механизме работы оксидсодержаще-го катодного материала. В ее основе лежит положение об определяющей роли адсорбции атомов катиона оксида на его поверхности, которая приводит к снижению величины работы выхода оксида [17-19] . Влияние дополнительных компонентов при этом рассматривается в рамках нескольких (порой взаимоисключающих) моделей и сводится к обеспечению диффузии адсорбирующихся атомов из объема катодного материала к его поверхности, взаимодействию дополнительных компонентов с основным оксидом с образованием термодинамически стабильных сложных оксидных фаз с меньшей скоростью испарения атомов катионов, интенсификации процесса восстановления основного оксида металлической фазой катодного материала. Использующийся в рамках адсорбционной модели подход основан на применении методов равновесной термодинамики. Это не позволяет корректно рассмотреть кинетику твердофазного взаимодействия тугоплавкого металла с оксидом щелочноземельного и редкоземельного элемента, изменение скорости испарения компонентов катодного материала в течение срока службы катода, влияние внешнего электрического поля и электронной бомбардировки на скорость испарения компонентов катодного материала и т.д. Вопрос о закономерностях эмиссионных свойств сложных оксидов в рамках адсорбционной модели остается открытым.

Альтернативная полупроводниковая модель работы оксидсодержащего катодного материала [20-22] к моменту начала наших исследований не получила широкого признания, так как неадекватно описывала его эмиссионные свойства. Полупроводниковая модель не учитывала установленный экспериментально вклад поверхности оксидной фазы в формирование ее эмиссионных свойств, не позволяла связать эмиссионные свойства оксида с кинетикой испарения его компонентов, а также с кинетикой твердофазного взаимодействия в катодном материале в рамках единых физико-химических представлений. Многочисленные попытки обобщить основные положения адсорбционной и полупроводниковой моделей электронной эмиссии [23-29] оказались мало продуктивными.

Отсутствие кинетической теории электронной эмиссии оксидсодержащего катодного материала не позволяло самосогласовано рассмотреть весь комплекс протекающих в нем физико-химических процессов, сформулировать научно-обоснованные критерии выбора фазового состава катодного материала при разработке новых катодов, разработать физически обоснованную методику контроля качества и прогнозирования долговечности оксидсодержащих катодов. Данная диссертационная работа суммирует результаты научных исследований в этих направлениях, проведенных нами в рамках отраслевых комплексных программ «Базис» и «Базис - 2» (Научный руководитель программ - д.т.н., профессор В.П.Марин), а также результаты ряда НИОКР по созданию новых технологий и оборудования, выполненных нами в соответствии с Тематическими планами ФГУП "НПП «ТОРИЙ»".

9. ЗАКЛЮЧЕНИЕ.

Представленные результаты показывают, что автору удалось обобщить и развить представления адсорбционной и полупроводниковой моделей электронной эмиссии оксидсодержащего катодного материала в рамках единого научного подхода об определяющей роли кислородных вакансий в объеме и на поверхности оксидной фаза катодного материала, представить в рамках данного подхода основные физико-химические процессы, протекающие в катодном материале, а также обобщить технические решения и сформулировать научные принципы выбора фазового состава катодного материала на основе анализа возможных физико-химических механизмов управления процессами переноса кислорода в катодном материале и с учетом требований к его эмиссионным характеристикам. Основные научные результаты работы сводятся к следующему.

1. С использованием методов теории абсолютных скоростей реакций и физики неупорядоченных систем выявлена роль кислородных вакансий на поверхности оксида в формировании его эмиссионных свойств и обобщена адсорбционная и полупроводниковая модели электронной эмиссии оксида. Это позволило получить теоретические зависимости величины работы выхода и КВЭЭ оксида от концентрации кислородных вакансий в его объеме, которые автоматически учитывают отклонение состава поверхности оксида от стехиометрии, а также зависимости эмиссионных характеристик оксида от температуры. Полученные теоретические зависимости хорошо согласуются с известными экспериментальными закономерностями.

2. С использованием методов теории абсолютных скоростей реакций разработана теоретическая модель кинетики неконгруэнтного испарения компонентов оксида. Созданная модель позволила представить скорости испарения компонентов оксида в форме их зависимостей от концентрации кислородных вакансий в оксиде, температуры, напряженности внешнего электрического поля, мощности электронной бомбардировки поверхности оксида. Расчеты, выполненные на основе полученных теоретических зависимостей, хорошо согласуются с известными экспериментальными закономерностями.

3. Кинетическое уравнение массопереноса в катодном материале типа «металл-оксид» составлено в форме уравнения для концентрации кислородных вакансий в его оксидной фазе. Это позволило в одном уравнении учесть все основные физико-химические процессы, протекающие в объеме катодного материала (диффузионный массоперенос по объему и газофазный массоперенос по порам катодного материала, твердофазное взаимодействие между компонентами катодного материала), а также представить основные процессы на поверхности катодного материала (взаимодействие с газовой фазой, неконгруэнтное испарение компонентов, в том числе под действием электрического поля и электронной бомбардировки) в форме граничных условий кинетического уравнения.

4. Получены теоретические зависимости эмиссионных свойств сложного оксида (твердого раствора замещения) от состава оксида, концентрации кислородных вакансий и температуры, причем учтена возможная сегрегация более электроположительного катиона сложного оксида на его поверхности. Установлено, что кислородные вакансии на поверхности сложного оксида (для области твердого раствора замещения) при определенных условиях способствуют стабилизации состава его поверхности и, соответственно, его эмиссионных свойств.

5. Систематизированы и обобщены физико-химические механизмы влияния компонентов многофазного катодного материала на процессы переноса кислорода и накопления кислородных вакансий в его оксидной фазе, что позволило сформулировать физико-химические принципы выбора фазового состава катодных материалов при создании новых и оптимизации известных термоэмиссионных и вторично-эмиссионных катодов.

6. Проведены экспериментальные исследования кинетики твердофазного взаимодействия и эмиссионных свойств ряда двойных и тройных катодных материалов на основе оксида иттрия, определены кинетические константы твердофазного взаимодействия в указанных материалах и показано, что некоторые из исследованных материалов перспективны для создания новых катодов мощных электровакуумных магнетронных усилителей. С использованием СВЧ плазменных технологий разработаны новые порошковые материалы (сфероидизированный порошок вольфрама, высокочистые ультрадисперсные порошки оксидов), перспективные для использования в качестве компонентов новых катодных материалов.

7. Разработаны новые высокочувствительные экспериментальные методики исследования катодных материалов: методика определения кинетических констант твердофазного взаимодействия, методика одновременного измерения концентрации кислородных вакансий в объеме и в приповерхностной области оксидов. Предложена физически обоснованная методика контроля качества катодного материала, базирующаяся на специальной математической обработке результатов измерений эмиссионных характеристик катодного материала, позволяющая выявить физико-химические причины неоднородности его эмиссионных свойств и оценить характер их изменения в течение срока службы катода. Разработано технологическое и аналитическое оборудование для исследования и создания новых катодных материалов, а также оптимизации составов известных катодов.

1. Развитие катодов ЭВП СВЧ в США. Информация., Электронная техника, Сер. Электроника СВЧ, 1979, Вып. 3, с. 114-120.

2. Оценка надежности ЛБВ, испытания на срок службы и опыт космических полетов. Экспресс-информация. Сер. Электроника, 16.05.1979, №18, Реф. 110, с. 108.

3. Страус Р., Бреттинг Й., Метивье Р., Лампы бегущей волны для спутниковой связи., ТИИЭР, 1977, т. 65, №3, с. 123-142.

4. Bretting J., Stand der Technik von Satelliten Wanderfei drohren fur neue Nachrichten Systeme, Funk-Technik, 33 J., №1, 1978, S. F8cE9.

5. Kaisei S.F., Microwave Tube Technology Review., Microwave J., 1977, v. 20, № 7, p. 23-28.

6. Barman W., Design of PPM Focused High Efficiency Space TWTs at Millimeter Wavelengths, IEDM, Washington, 1976, p. 377-284.

7. Горбачевская 3.M., Состояние и тенденции развития зарубежных ЛБВ ./Обзоры по электронной технике., Сер. Электроника, 1978, Вып. 4, 30 с.

8. Козлов В.И., Технология и свойства металлопористых катодов для СВЧ при-боров./Обзоры по электронной технике. , Сер. Электроника СВЧ, 1980, Вып.6(709), 65 с.

9. Масленников О.Ю., Создание многолучевых катодов для мощных ЭВП СВЧ. Автореферат дисс.докт. техн. наук., Москва, 1994.

10. Дюбуа Б.Ч., Современные эффективные катоды., Электронная техника. Сер.1, 1995, №1, с. 93-102.

11. П. Есаулов Н.П., Физико-технологические основы разработки металлосплавных и металлооксидных катодных материалов и узлов для мощных ЭВП, Автореферат дисс. докт. техн. наук., Москва, 1996.

12. A.c. СССР № 18987 от 15.07.1958 г., «Оксидно итгриевый катод», /Марин В.П., Кульварская Б.С., Пушкарев А.Г.

13. Марин В.П., Научные и конструкторско-технологические основы разработки и создания базовых узлов мощных СВЧ ЭВП М-типа с долговечностью до 10 тыс. часов. Автореферат дисс.докт. техн. наук., Москва, 1983.

14. Марин В.П., Клименко А.Н., Меныденив Ю.В., Исследование химических процессов, протекающих в эффективных вторично-эмиссионных эмиттерах на основе У2Оэ А1203 - W. Электоронная техника. Сер. 6 (Материалы), 1982, №3, с.66-73.

15. Марин В.П., Исследование металлокерамических катодов на основе У203 -А1203-W. Электронная промышленность, 1982, Вып. 10-11, с. 128-129.

16. Korzhavyi А.Р., Advanced metallic materials for vacuum devices. J.Adv.Mat., 1994, v.l, №3, p.46-53.

17. Rittner E.C., On the Mechanism of Operation of the Type В impregnated Cathode, J. Appl. Phys., v. 48, №10, p. 4344-4352.

18. Forman R., Surface Studies of Barium and Barium Oxide on Tungsten and its Application to Understanding the Mechanism of Operation of an Impregnated Tungsten Cathode, J. Appl. Phys., 1976, v. 47, №12, p. 5372-5284.

19. Forman R., A proposed physical model for the impregnated tungsten cathode based on Auger surface studies of the Ba О - W system., Appl. Surfase Sci., 1979, v. 2. №2, p. 258-266.

20. Zalrn P., Thermionic cathodes., Adv. In Electronics and El. Phys., Acad. Press, N.Y.-Lon., 1968, v. 25, p. 211-272.

21. Никонов Б.П., Бейнар K.C., Термоэлектронная эмиссия оксидного катода в потоке бария., Радиотехника и электроника, 1970, т. 15, №6, с. 1272-1282.

22. Никонов Б.П., Оксидный катод., М.: Энергия, 1979, 240 с.

23. Дружинин А.В., Модель адсорбционных процессов на эмиттирующей поверхности металлопористого катода. Тезисы докладов XVI Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике, 1976, с. 141-142.

24. Гурков Ю.В., Дружинин А.В., Куприянова Т.А. и др., Эмиссионно-микроскопическое и рентгеновское исследование поверхности металлопористого катода, Изв. АН СССР, Сер. физ., 1974, т. 38, №11, с.2270-2275.

25. Дружинин А.В., Егоров Г.П., Местечкин Я.И. и др., Сопротивление эмитти-рующего слоя металлопористого катода., Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1977, Вып. 9, с. 56-62.

26. Maloney С.Е., Marrian С., Wyss G., Some observations of impregnated tungsten cathodes, Appl. Surface Sci., 1979, v. 2, №2, p. 284-292.

27. Hass T.W., Grant J.T., Scanning Electron Exited Auger Electron Spectroscopy,- Appl. Surface Sci., 1979, v. 2, №2, p. 322-329.

28. Haas I.A., Gray H.F., Thomas R.E., Effect of S, Ba and С on impregnated cathode surface. J. Appl. Phys., 1975, v.46, №8, p. 3293-3301.

29. Никонов Б.П., Модель оксидного катода с поверхностными донорными центрами. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1971, т.35, №2, с.270-278.

30. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В., Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966, 564 с.

31. Фоменко B.C., Эмиссионные свойства материалов ./Справочник. Киев, Нау-кова думка, 1981, 340 с.

32. Бейнар К.С., Никонов Б.П., Исследование влияния поверхностных состояний на термоэмиссионные свойства окислов щелочноземельных металлов. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1971, т.35, №2, с.286-294.

33. Смирнов В.А., Никонов Б.П., Эмиссионные и адсорбционные свойства системы окись бария барий. Радиотехника и электроника, 1964, т.9, №2, с. 308-316.

34. Бейнар К.С., Никонов Б.П., Эмиссионные и адсорбционные свойства систем BaO-Ba, SrO-Ba, СаО-Ва. Радиотехника и электроника, 1965, т. 10, №3, с. 476-482.

35. Glascock Н.Н., Thermionic emission from CaO in Ba vapor. Surf. Science, 1972, v. 29, №1, p. 291-296.

36. Соколов А.М., Никонов Б.П., Исследование донорных центров на поверхности окислов щелочноземельных металлов. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1976, т.40, №12, с. 2472-2477.

37. Helms C.R., Spicer W.E., Verification of the metal-rich surface model for the oxidation of Sr, by auger-electron spectroscopy. Phys. Rev. Lett., 1974, v.32, №5, p. 228-232.

38. Кульварская B.C., Дмитриев С.Г., Методология выбора катодного материала с меньшей работой выхода., Изв. АН СССР, Сер. физ., 1979, т.43, №3, с. 492496. ,

39. Дмитриев С.Г., Скорость поверхностной рекомбинации в полупроводниках., ФТП, 1985, т. 19, Вып. 9, с, 1685-1689.

40. Абалдуев Б.В., Уравнение термоэлектронной эмиссии в ионно-радикальной модели оксидного катода. Электронная техника. Сер.5. 1971, вып. 2(19), с.24-28.

41. Кульварская Б,С. ,Исследование термоэмиссионных свойств высокотемпературных соединений и разработка на их основе новых катодных материалов. Автореферат дисс. докт. физ.-мат. наук., Москва, 1978.

42. Поверхностные свойства твердых тел. Под.ред. М.Грина. Пер. с англ., М.: Мир, 1972, 432 с.

43. Теория хемосорбции. Под. Ред. Дж.Смита. Пер. с англ., М.:Мир, 1983, 334с.

44. Физико-химические свойства окислов: Справочник./Самсонов Г.В., Борисова А.Л., Жидкова Т.Г. и др., М.: «Металлургия», 1978, 472 с.

45. Портной К.И., Тимофеева Н.И., Кислородные соединения редкоземельныхэлементов. Справочник. М.: «Метеллургия», 1986, 480 с.

46. Zhang En-Qiu, Thermionic emission from dispenser cathode, Int.J.Electron., 1985, 58, №1, p.141-149.

47. Rorman R., Auger studies comparing the surface concentration of barium on tung' sten impregnated and M-cathodes. Appl.Surf.sci., 1985,24,№3-4,p.587-598.

48. Forman R., Comment on the mechanism of operat5ion of the impregnated tungsten cathode. J.Appl.PhysI, 1979, v.50,№3,p. 1546-1547.

49. Shin A., Haas G.A., Poisoning and reactivation processes in oxide-type cathodes. Appl.Surf.Sci.? 1981,v.8, №1-2, p.125-144.

50. Hasker J., Stoffelen H.J., «Alternative» Auger analysis reveals importent properties of M-type and scandate cathode.Appl.Surf.Sci., 1985, v.24, №3-4,p.330-339.

51. Lamartine B.C., Eyink K.G., A model of dispenser cathode activity. Appl.Surf.Sci., 1985, v.24, №3-4, p.575-586.

52. Толстогузов А.Б., Шуппе Г.П., О механизме работы оксидного катода на основе исследования элементного состава его поверхности методом ионного рассеяния. Радиотехника и электроника., 1982,1.21, №3, с. 592-597.

53. Шнюков В.Ф., Михацловский Б.И., Лушкин А.Е. и др., О роли кальция в ме-таллопористых катодах., Тезисы XXI Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике., Ленинград, 1990, с. 177.

54. Волков С.С., Толстогузов А.Б., Спектроскопия обратно рассеянных ионов низких энергий., Обзоры по электронной технике. Вып. 15(820), 1981, 80с.

55. Волков С.С., Толстогузов А.Б., Исследование состава поверхности прессованного катода методом ионного рассеяния., Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1981, Вып.9, с.25-27.

56. Глесстон С., Лейдлер К., Эйринг Г., Теория абсолютных скоростей реакций. Пер. с англ., 1948, М.: Из-во Иностранной литературы, 583 с.

57. Лушпа А.И., Основы химической термодинамики и кинетики химических реакций. М., Машиностроение, 1981, 240 с.

58. Капустин В.И., Марин В.П., «Физическая модель термоэмиссии оксидов термокатодов», В сб. «Тезисы докладов XX Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике», Киев, 1987, т. 1, с. 123.

59. Капустин В.И., «Расчет температурной зависимости работы выхода окиси бария», Изв. АН СССР, Сер. Физ., 1991, т.55, №12, с. 2455-2458.

60. Капустин В.И., «Расчет температурной зависимости работы выхода ВаО», В сб. «Тезисы докладов XXI Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике», Ленинград, 1990, т. 1, с.229.

61. Дэвисон С., Левин Дж., Поверхностные (Таммовские) состояния. Пер. с англ., 1973, М.: Мир, 232 с.

62. Маделунг О., Физика твердого тела. Локализованные состояния. Пер с нем., 1985, М.: Наука, 184 с.

63. Моррисон С., Химическая физика поверхности твердого тела. Пер. с англ., 1980, М.: Мир, 488 с.

64. Кульварская Б.С., К вопросу об оценке влияния поверхностных и объемных эффектов на величину работы выхода катодных материалов из окислов. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1976, т.40, №12, с. 1345-1349.

65. Киреев П.С., Физика полупроводников. 1975, М.: Высшая школа, 584 с.

66. Dionne G., The model of secondary electron emission, J. Appl. Phys., 1973, v. 44, p.5361-5365.

67. Dionne G., Origin of secondary electron emission yield curve parameters, J.

68. Appl. Phys., 1975, v. 46, p. 3347-3351.

69. Мотт H., Дэвис Э., Электронные процессы в некристаллических веществах. Пер. с англ., Том 1, 1982, М.: Мир, 368 с.

70. Лившиц И.М., Гредескул С.А., Пастур Л.А., Введение в теорию неупорядоченных систем., 1982, М.: Наука, 358 с.

71. Бонч-Бруевич В.Л., Звягин И.П., Кайпер Р. И др., Электронная теория неупорядоченных полупроводников, 1981, М.: Наука, 384 с.

72. Борисов В.Л., Лепешинская В.Н., Роль дефектов в ВЭЭ эффективных катодов. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1971, т.35, №5, с. 1056-1059.

73. Андронов А.Н., Борисов В.Л., Лепешинская В.Н., К вопросу о механизме работы эффективных эмиттеров вторичных электронов. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1969, т.ЗЗ, №3, с. 519-527.

74. Борисов В.Л., , Изв. АН СССР, Сер. физ., 1979, т.43, №3, с. 492-496.

75. Капустин В.И., Марин В.П., «Влияние температуры и точечных дефектов на вторичную электронную эмиссию окислов», Радиотехника и электроника, 1983, №7, т.28, с. 1366-1370.

76. Бронштейн И.М., Фрайман Б.С., Вторичная электронная эмиссия. М.: Наука, 1969, 408 с.

77. Ковалев В.П., Вторичные электроны. М.: Энергоагомиздат, 1987, 177 с.

78. Пикус Г.Я., Шнюков В.Ф., Никонов Б.П., Исследование термической диссоциации окислов щелочноземельных металлов в высоком вакууме., ФТТ, 1968, т. 10, №1, с. 125-134.

79. Никонов Б.П., Отмахова Н.Г., Исследование испарения щелочноземельных окислов., Электронная техника. Сер.1, Электроника СВЧ, 1971, №1, с. 117127.

80. Ковтуненко П.В., Паршина М.П., Исследование распределения между паровой фазой и кристаллами ВаО., ЖФХ, 1974, т.48, №1, с. 36-38.

81. Шнюков В.Р., Лушкин А.Е., Влияние толщины покрытия М-катода на скорость испарения его компонентов., Электронная техника. Сер.1, Электроника СВЧ, 1978, №1, с.58-62.

82. Кацман Я.А., Красинькова М.В., Мойжес Б.Я. и др., Исследование покрытий катодов с пониженным испарением активного вещества., Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1973, №5, с. 102119.

83. Козленко Т.А., Ковтуненко П.В., Киселева Е.В. и др., Исследование взаимодействия кислорода с окислами щелочноземельных металлов., ЖФХ, 1967, т.46, №5, с. 1118-1123.

84. Капустин В.И., Марин В.П., «Модель испарения компонентов оксидов термокатодов», В сб. «Тезисы докладов XX Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике», Киев, 1987, т.1, с.124.

85. Исследование возможности создания систем регулирования и контроля среды остаточных газов ЭВП., Научно-технический отчет ГНПП «ТОРИЙ» по теме «Холодец», 1986, 130 с.,/ Марин В.П., Капустин В.И., Клименко А.Н. и др.

86. Лазарев В.Б., Соболев В.В., Шаплыгин И.С., Химические и физические свойства простых оксидов металлов. М.: Наука, 1983, 240 с.

87. Варго, Щефферд, Диссоциация окислов щелочноземельных металлов, вызываемая электронной бомбардировкой, В кн. Эффективные термокатоды, Вып.2, М.:Госэнергоиздат, 1960, с. 168.

88. Мур, Диссоциация твердой окиси стронция при бомбардировке медленными электронами., В кн. Эффективные термокатоды., Вып.З, М.: Госэнергоиздат, 1961, с.201.

89. Андронов А.И., лепешинская В.Н., К вопросу о разрушении оксидных пленок электронным лучом., Радиотехника и электроника, 1971, т. 16, №10, с.1005-10012.

90. Лепешинская В.Н., Андронов А Н., Малышев С В., Влияние электронной бомбардировки на термо- и вторично-эмиссионные свойства прессованных катодов. Тезисы докладов Х1У Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике, 1970, Ташкент, с.35.

91. Жданов С.М., Файфер С.И., Тарасюк А.И., Изучение устойчивости вторично-эмиссионных бериллатных катодов к электронной бомбардировке. Электронная техника, Сер. Материалы, 1974, №2, с.20-23.

92. Андронов, А.Н., Борисов В.Л., Игнатьева И.В. и др., Диссоциация окиси магния под действием электронной бомбардировки. Труды ЛПИ им. М.И.Калинина, Физическая электроника, 1967, №277, с.50-54.

93. Dresner J., Goldstain В., Dissosiation of MgO films under heart and electron bombardment and its effect on secondary emission. J.Appl.Phys., 1976, v.3, №3, p. 1038-1043.

94. Мойжес Б.Я., Физические процессы в оксидном катоде, М.: Наука, 1968,480с.

95. Редега К.П., Свойства и технология изготовления материалов вторично-эмиссионных катодов мощных магнетронов, Дисс.канд. техн. наук, 1986, Калуга, 167 с.

96. Капустин В.И., Марин В.П., «Испарение окислов под действием электронной бомбардировки». Радиотехника и электроника, 1983, №6, т.28, с. 1159-1162.

97. Пикус Г.Я., Тетеря В.П., Влияние электрического поля на испарение кислорода из окислов щелочноземельных металлов. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1969, т.ЗЗ, №3, с.403-408.

98. Пикус Г.Я., Тетеря В.П., Влияние электрического поля на испарение компонентов и работу выхода окиси бария. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1971, т.35, №5, с. 102301030.

99. Дудкин В.Н., Киселев А.Б., Ворожейкин В.Г., Влияние электрического поля на термоэлектронную эмиссию и электропроводность оксидного катода. Изв. АН СССР, Сер', физ., 1974, т.38, №2, с.402-406.

100. Ворожейкин В.П., Курочкина Г.Я., Дудкин В.П. и др., Влияние отбора постоянного тока на процесс дезактивации оксидного катода кислородом. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1974, т.38, №2, с.398-401.

101. Дудкин В.H., Набоков Ю.И., Роль материала керна в процессе активирования оксидного катода. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1977, №5, с.26-31.

102. Подгорный В.И., Некоторые особенности термоэмиссии катодов на основе окислов лантана и иттрия. Изв. АН СССР, Сер. физ., 1982, т.46, №7, с. 14161419.

103. Васильев В.П., Радиоактивные изотопы в электронной технике. М.: Атом-издат, 1971, 97с.

104. Жмудь Е.С., Остацченко Е.П., Изучение системы ВаО W03. Электроника. 1959, №3, с. 137-142.

105. Ведула Ю.С., Гаврилюк В.М., Термохимическое восстановление бария из его окиси различными активаторами. Радиотехника и электроника. 1957, Т.2, №12, С.1519-1523.

106. Пикус Г.Я., Шнюков В.Ф., Влияние примеси никеля в оксидном катоде на физико-химические и эмиссионные свойства оксидного катода. Радиотехника и электроника. 1965, т. 10, №1, с. 124-130.

107. Пикус Г.Я., Шнюков В.Ф., Влияние мелкодисперсных добавок некоторых металлов на физико-химические и эмиссионные свойства оксидных катодов. Радиотехника и электроника. 1968, т.13, №2, с. 2273-2279.

108. Никонов Б.П., Взаимодействие окиси бария с вольфрамом в вакууме. Вопросы радиоэлектроники. Сер. Электроника, 1961, №4, с. 95-100.

109. Шнюков В.Ф., Михайловский Б.И., Лушин А.Е. и др. Влияние пленки тугоплавких металлов на испарение иеталлопористых катодов. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1982, Вып. 6(342), с. 36-38.

110. Шнюков В.Ф., Лушкин А.Е., Влияние пленок иридия на испарение компонентов М-катодов. Электронная техника. Сер.1, Электроника СВЧ, 1978, Вып.6, с. 61-64.

111. Latini В., Cristini Р., Fragila I. ets., Performance analysis of three different M-type dispenser cathode. Int. Conf. Microwave Tubes syst., London, 1984, P. 35.

112. Lampert W.V., Baun W.L., Lamartine B.C. ,ets., XPS/ISS investigation of the activation of M-type impregnated dispenser cathodes. Appl. Surface Sei., 1981, № M, p. 165-174.

113. Christian J.W., The theory of transformations in metals and alloys. Oxford, Per-gamon Press, 1965, 332p.

114. Fine M.E., Introduction to Phase transformations in condenced systems. New York, The MacMillan Company, 1965,416 p.

115. Burke J., The kinetics of phase transformations in metals. Oxford, Pergamon Press, 1965, 244 p.

116. Chandra S., Pandey G.K., Agraval V.K., Entropy of Vacancies in Ionic Crystals. Phvs. Rev., 1966, v. 144, 2, p.738-740.

117. Соловьева A.E., Влияние дефектов структуры на фазовые превращения в оксиде иттрия на воздухе и в вакууме. Изв. АН СССР, Неорганические материалы, 1985, Т.21, №5, с.808-813.

118. Физическое металловедение. Под ред. Р.Кана, М.: Мир, 1968, Вып.2, 490с.

119. Фром Е., Гебхардт Е., Газы и углерод в металлах М.: Металлургия, 1980,712 с.

120. Куликов И.С., Термодинамика оксидов. Справочник. М.: Металлургия, 1986,445 с.

121. Васильев B.C., Пинаева М.М., Шкирман С.Ф., Исследование субсолидуе-ных фазовых равновесий в системе Та205 -Y203 . Журнал неорганической химии, 1979, т.24, Вып.4, с.1046-1053.

122. Капустин В.И., Марин В.П., Никитин О.В. и др., «Исследование кинетики межфазного взаимодействия в системе Та-У203», В сб. «Физика твердого тела», Харьков, Из-во ХГУ, 1988, Вып. 18, с.88-91.

123. Капустин В.И., «Комплексное исследование катодов Та-У203 методом вторично-ионной масс-спектроскопии», Изв. АН СССР, Сер. Неорганические материалы, 1991, т.27, №4, с.790-794.

124. Капустин В.И., Шестов В.П., «Исследование технологии изготовления катодов типа Та-У203 методом ВИМС», В сб. «Физика твердого тела», Харьков, Из-во ХГУ, 1989. Вып. 19, с.85-87.

125. Капустин В.И., Марин В.П., Никитин О.В. и др., «Применение метода ВИМС для исследования катодов типа Та-У203», Электронная промышленность, 1988, Вып. 7(175), с.46-48.

126. Borchardt H.J., Yttrium-Tungsten Oxides. Inorganic Chemistry, 1963, v.3, №1, p. 170-173.

127. Абашидзе Т.Д., Надирадзе A.A., Гвелесиани Г.Г., Исследование свободной энергии Гиббса вольфраматов иттрия. «Термодинамические исследования неорганических материалов», Из-во «Мецниереба», Тбилиси, 1980, Вып. 1, с.82-87.

128. Капустин В.И., «Кинетические константы взаимодействия вольфрама и тантала с окисью иттрия», В сб. «Физика твердого тела», Харьков, Из-во ХГУ, 1990, Вып.20, с.79-83.

129. Капустин В.И., Марин В.П., Никитин О.В., «Применение метода ВИМС для исследования катодов типа Та-У203», В сб. Тезисов докладов VIII Всесоюзной конференции «Взаимодействие атомных частиц с твердым телом», Москва, 1987, т. 1, с.240-241.

130. Капустин В.И., «Применение метода ВИМС для исследования системы W-У203», В сб. Тезисов докладов IX Всесоюзной конференции «Взаимодействие атомных частиц с твердым телом», Москва, 1989, т.1, ч.2, с.215-217.

131. Князев А.Я., Михайлов O.A., Механизм ограничения долговечности оксидного катода диффузионными параметрами эмиссионного слоя. Электронная техника, Сер.1, Электроника СВЧ, 1985, №10, с.44-49.

132. Longo R.T., Adler Е.А., Falce L.R., Dispenser cathode life prediction model. Int.Electron Dev. Meet., San Francisco, 1984, N.-Y., p.318-321.

133. Никонов Б.П., Отмахова Н.Г., Исследование испарения щелочноземельных окислов., Электронная техника, Сер. Электроника СВЧ, 1971, №1, с.117-127.

134. A.c. СССР К® 570125, Способ оценки долговечности металлопористого катода/Таборко Е.И., Морозов В.Н., Дмитриева В.Н., от 24.03.76 г.

135. Деятельность фирмы «EMI-Varían» в области электронных приборов СВЧ, Информация. Электронная техника. Электроника СВЧ, 1975, Вып.9, сЛ 10.

136. Ворожейкин В.Г., Набоков Ю.И., Козлов В.И., Влияние материала анода на процесс стабилизации эмиссионных свойств осмированных металлопорис-тых катодов. Электронная техника, Электроника СВЧ, 1977, Вып.5, с.70 -79.

137. Straum A.J., Kuin P.N., Tracer study on the decrease of emission density of osmium coated impregnated cathodes. J.Appl.Phys., 1971,v.42,11, p.4436-4441.

138. Jones D., Me Neely, Swanson L.W., Surface and emission characterisation of the imoregnated dispenser cathodes., Appl.Suf.Sci., 1979, v.2, 2, p.232-240.

139. A.c. СССР №490205 от 01.04.74., Термокатод/' Дружинин A.B., Зябликова А.М., Кондрашенков Ю.А. и др.

140. Култашев O.K., Макаров А.П., Электронно-адсорбционные свойства пленочных систем Os-0-Ba и Jr-O-Ba и некоторые свойства металлопористых катодов с пленкой Os и Jr . Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1977, Вып.6, с. 86-92.

141. Дружинин A.B., Предельные параметры эффективных бариевых термокатодов. Тезисы докладов ХУП Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике. Л., 1979, с. 191.

142. Марин В.П., Исследование долговечности приборов М-типа. Электронная промышленность. 1982, Вып.9, с.34-37.

143. Марин В.П. Физико-химическая модель работы металлокерамического катода. Электронная промышленность. 1982, Вып.9, с.37-38.

144. Евтихиев H.H., Марин В.П., Капустин В.И., «Долговечность вторично-эмиссионных катодов», Электронная промышленность, 1983, №1, с. 16-21.

145. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.И., «Вторичная электронная эмиссия монокристалла соединения в системе молибден-родий». Доклады АН СССР, 1977, Т.233, №3, с.353-355.

146. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.И., «Вторичная электронная эмиссия монокристалла эпсилон-фазы в системе молибден-родий», В сб. «Тезисы докладов XIV Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике», Махачкала, 1976, т.2, с. 114-115.

147. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.И. и др., «Вторичная электронная эмиссия монокристалла иридия», Доклады АН СССР, 1977, т.234, №1, с.129-131.

148. Капустин В.И., «Вторичная электронная эмиссия некоторых тугоплавких металлов и сплавов», Автореферат диссертации на соиск. учен. степ, к.ф.м.-н., Киев, Из-во ИПМ АН УССР, 1977, 24 с.

149. Савицкий Е.М., Буров И.В., Пирогова C.B., Литвак Л.Н., электрические и эмиссионные свойства сплавов. М.: Наука, 1978, 269 с.

150. Капустин В.И., Литвак Л.Н., Томилин H.A. и др., «Диаграммы состав-свойство», В сб. «Физикохимия сплавов редких металлов», М.: «Наука», 1981, с.112-125.

151. Буров И.В., Капустин В.И., Кривда В.В. и др., «Катодные, высокоомные, конструкционные и контактные материалы», В сб. «Физикохимия сплавов редких металлов», М.: «Наука», 1981, с.217-234.

152. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.И., «Вторичная электронная эмиссия монокристаллов сплавов системы молибден-ниобий», Доклады АН СССР, 1976, т.231, №1, с.75-77.

153. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.И., «Вторичная электронная эмиссия монокристаллов сплавов системы Mo-Nb на плоскости (100)», В сб. «Монокристаллы тугоплавких и редких металлов, сплавов и соединений», М.: «Наука», 1977, с.142-144.

154. Рожков С.Е., Култашев O.K., Гугнин A.A., Технические характеристики термоэмиттеров на основе сплавов 1г с La, Се, Рг . Электронная техника, Генераторные, модуляторные и рентгеновские приборы. 1969, №2, с. 81-87.

155. Дюбуа Б.И., Лысенко В.К., Металлосплавной прямонакальный катод спиральной формы. Электронная техника. Сер. 1, Электроника СВЧ, 1980, №10, с.28-30.

156. Дюбуа Б.И., Ермолаев Е.А., Есаулов Н.П. и др., Электронная эмиссия сплавов Pt-Ba, Pd-Ba, Rh-Ba, Au-Ba . Радиотехника и электроника, 1967, т. 12, №2, с. 1523-1524.

157. Мазин А.М., Смирнов В.А., Симонов П.В. и др., Технология изготовления материалов для вторично-эмиссионных катодов на основе Ni-Al-Ba и Ni-Cu-Ва . Электронная техника, Сер. Материалы, 1974, Вып.7, с.9-12.

158. Савицкие Е.М., Тылкина М.А., Левин AM. Сплавы рения в электронике. М.: Энергия, 1980,216 с.

159. Гладков A.C., Амосов В.М., Копецкий Ч.В., Левин А.М., Металлы и сплавы для электровакуумных приборов. М.: Энергия, 1969, 476с.

160. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.А., «Физико-химия вторично-эмиссионных материалов», В сб. «Физические методы исследования неорганических материалов», М.: «Наука», 1981, с.254-261.

161. Герман Г., Вагенер С., Оксидный катод. М.: Гостехиздат, 1949, 508 с.

162. Бейнар К.С., Никонов Б.П., Измерение работы выхода оксидного катода методом контактной разности потенциалов. Радиотехника и электроника, 1964, т.9, №10, с.1832-1837.

163. Кудинцева Г.А., Мельников А.И., Морозов А.В., Никонов Б.П., Термоэлектронные катоды. М.: Энергия, 1966, 368 с.

164. Киселев А.Б., Никонов Б.П., Термоэлектронная эмиссия и работа выхода оксидного катода. Радиотехника и электроника, 1967, т.12, №5, с.872-876.

165. Кондрашенков Ю.А., Галанина З.Н., Дружинин А.В., Эмиссионные свойства молекулярно напыленного оксидного катода. Электронная техника, Сер. Электроника СВЧ, 1974, №6, с.55-62.

166. Бейнар К.С., Никонов Б.П., Эмиссионные свойства окислов стронция и кальция в потоке окиси бария. Радиотехника и электроника. 1967, т.12, №5, с.867-872.

167. Дмитриев С.Г., Григорьев В.В., Кривцов Ю.А. и др., Исследование изменений поверхностного состава иттрий-лантанового катода при термообработке. ЖТФ, 1988, т.58, вып.З, с.622-624.

168. Skinner H.В., Tuck R.A., Dobson P.J., Theoretical models of dispenser cathode surfaces. J.Phys.D: Appl.Phys., 1982,v.l5, №8, p. 1519-1529.

169. Maloney C.E., Richardson N., Some results of Auger spectroscopy and emission microscopy applied to impregnated cathodes., Appl.Surf.Sci., 1981, v. 8, № 1-2, p.2-12,

170. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Пер. с англ., Под ред. Д.Бриггса и М.П.Сиха, М.: Мир, 1987,598 с.

171. Williams F.L., Nason D., Binary alloy surface compositions from bulk alloy thermodynamic data., Surf. Sci., 1974, v.45, № 2, p.377-408.

172. Митягин А.Ю., Дворянкин В.Ф., Химический анализ поверхности твердых тел методом низкоэнергетической элекгронной спектроскопии., В кн. Проблемы аналитической химии, М.: Наука, 1977, Вып.4, с.206-232.

173. Haas G.A., Shih A., Thomas R.E., Electronic and chemical surface studies in oxide cathodes., Appl.Surf.Sci., 1979, v.2, 2, p.293-321.

174. Oostrom A., van Augustus L., Activation and early life of pressed barium scan-date cathodes., Appl.Surf.Sci., v.2, № 2, p. 173-18б'

175. Кульварская Б.С., Черевацкий Н.Я., Исследования поверхности карбидных катодов методом электронной оже-спектроскопии., Изв. АН СССР, Сер. физ., 1974, т.38, №2, с.374-375.

176. Ishikawa К., Tobuse H., AES observation of thoriated tungsten cathodes., Jap. J. Appl.Phys., 1976, v.15, № 8, p. 1571-1572.

177. Бондаренко Б.В., Ермаков C.B., Царев Б.М., Исследование эмиссионных свойств сложных оксидов, Радиотехника и электроника, 1960, т.5, №9, с.1553-1555.

178. Устинов B.C., Олесов Ю.Г., Дрозденко В.А. и др., Порошковая металлургия титана. И, Метеллургия, 1981, 248 с.

179. Гессингер Г.С. Порошковая металлургия жаропрочных сплавов. Пер. с англ., Челябинск, Металлургия, 1988, 320 с.

180. Андреев A.A., Аношкин Н.Ф., Борзецовская K.M. и др. Титановые сплавы: Плавка и литье Титановых сплавов, М.: Металлургия, 1978, 383с.

181. Алтунин Ю.Ф., Глазунов С.Г., Солонина О.П., Технология легких сплавов, 1970, №2, с. 120-126.

182. Квасов Ф.И., Аношкин Н.Ф., Технология легких сплавов, 1977, №4, с. 85092.

183. Патент США № 3099041 от 30.07.1963.

184. Roberts P.R., Loewenstein P., Powder metallurgy of titanium alloys, N-Y, 1980.

185. Патент ФРГ № 2103875, от 27.01.1972.

186. Патент ФРГ №2108978 от 16.09.1971.

187. Schmitt H., Powder metsllurgy int., 1979, 11, p. 71.

188. Росновская Л.А., Тареева C.K., Гаврилова Г.А., Йзготовление металлопо-ристых катодов методом горячего прессования. Электронная техника. Сер. Технология, организация производства и оборудование. 1976, Вып.2, с. 3.

189. A.c. СССР № 507902. Способ изготовления металлопористых катодов. От 25.10.74.

190. A.c. СССР № 654981. Способ изготовления пропитанных катодов из порошков тугоплавких металлов. От 06.10.77.

191. Капустин В.И., Лысов Г.В., Портяной A.C. и др., «Установка СВЧ плазменной обработки порошков «Фиалка-6», Электронная промышленность, 1990, №11, с.5-6.

192. A.c. СССР №1524763 от 15.06.88 г., «Способ термообработка вольфрамового порошка» / Капустин В.И., Лысов Г.В., Портяной A.C. и др.

193. Капустин В.И., Буров И.В., Высокочистый порошок вольфрама: сфероиди-зация, свойства, применение в электронике, Металлы, 1999, №1, с.66-71.

194. Капустин В.И., Лысов Г.В., Портяной A.C. и др., «СВЧ-плазменная установка для сфероидизации порошков», В сб. Тезисов докладов V Всесоюзного совещания «Плазменные процессы в металлургии и технологии неорганических материалов», Москва, 1988, с. 97.

195. Капустин В.И., Лысов Г.В., Портяной A.C. и др., «Использование свойств СВЧ разряда», В сб. Тезисов докладов П Всесоюзного совещания «Высокочастотный разряд в волновых полях», Куйбышев, 1989, с.54-55.

196. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Пер. с англ. Под ред. БеришаР.М., М.: Мир, 1984, 336 с.

197. Пархоменко В.Д., Сорока Г1.П., Краснокутский Ю.И. и др., Плазмохимиче-ская технология. Низкотемпературная плазма. Т.4, Новосибирск.: Наука, 1991, 392 с.

198. Батенин В.М., Климовский И.И., Лысов Г.В. и др., СВЧ генераторы плазмы: Физика, техника, применение. М.: Энергоатомиздат, 1988, 224 с.

199. Моссе А.Л., Буров М.С., Обработка дичсперсных материалов в плазменных реакторах. Минск.: Наука и техника, 1980, 208 с.

200. Туманов Ю.Н., Иванов A.B., Галкин А.Ф., Плазменные процессы получения дисперсных оксидных материалов. В сб. «Плазмохимия-90», ч.2, М.: ИНХС АН СССР, 1990, с. 151-196.

201. Young R.M., Pfender Е., Generation and behaviors of fine particles in thermal plasmas. Plasma Chemistry and Plasma Processing. 1985,v.5,no. 1,p. 1-37.

202. Асаналиев M.K., Жеенбаев Ж.Ж., Моссе А.Л., Плазмохимическая технология получения оксидов редкоземельных элементов. В сб. «Плазмохимия90», ч.1,М.: ИНХС АН СССР, 1990, с.120-150.

203. Берестенко В.И., Исследование процессов и разработка плазмохимического реактора для получения нитридов. Автореф. канд. техн. наук., М,1979.

204. Невский И.Р., Исследование и разработка технологии ультрадисперсных порошков оксидов алюминия, титана, циркония и иттрия в низкотемпературной плазме. Автореферат канд. техн. наук., М, 1984.

205. Невский И.Р., Казанец Г.И., Агеев Ю.А. и др., Получение ультрадисперсных порошков оксида иттрия пиролизом оксалата в низкотемпературной плазме. Высокотемпературная химия силикатов и оксидов. Тезисы докладов. Л., Наука, 1982, с.231.

206. Федорченко И.М., Францевич И.Н., Радомысельский PI.Д., Порошковая металлургия, Материалы, технология, свойства, области применения. Киев.: Наукова думка, 1985, 524с.

207. Лякишев Н.П., Невский И.Р., Петров Л.Н., Окись алюминия, получаемая в плазме СВЧ разряда. В сб. Дисперсные кристаллические порошки в материаловедении. Киев, ИПМ АН УССР, 1980, с,21-24.

208. A.c. СССР № 1617769 от 22.05.89 г., «Способ получения ультрадисперсного порошка оксида алюминия» /' Патрикеев А.Ф., Букреев Л.Н., Лысов Г.В'., Капустин В.И.

209. Капустин В.И., «Высокочистые ультрадисперсные порошки оксидов: оборудование, технология, применение». Перспективные материалы, 1998, №5, с.54-62.

210. A.c. СССР № 332515 от 10.1972, Способ изготовления катода для электровакуумных приборов. /Кульварская Б.С., Марин В.П., Панина П.С., Пушка-рев А.Г.

211. Бажин А.И., Буров И.В., Капустин В.И. и др., «Исследование методом ВИМС микропримесей азота, водорода, углерода и кислорода в танталовой фольге», В сб. «Физика твердого тела», Харьков, Из-во ХГУ, 1989, Вып. 19, с.82-84.

212. Марин В.П., Капустин В.И., Клименко А.Н. и др., «Разработка технологии опрессовки синтерированного оксидно-иттриевого катода», Электронная техника. Сер. 6 (Материалы), 1983, Вып.2 (175), с.21-23.

213. Марин В.П., Капустин В.И., Клименко А.Н. и др., «Влияние опрессовки на структуру синтерированного оксидноиттриевого катода», В сб. «Тезисы докладов XVIII Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике», Москва, 1981,с.274-275.

214. A.c. СССР Kol489487 от 14.09.87 г., «Катод для электронных приборов СВЧ» / Капустин В.И., Марин В.П., Никитин О.В. и др.

215. A.c. СССР № 348122 от 13.09.57. Термоэлектронный эмиттер для магнетронов сантиметрового диапазона./ Кульварская Б.С., Панин И.С., Марченко В.Б.

216. A.c. СССР №1329478 от 13.11.85 г., «Материал катода для электронных приборов» /' Марин В.П., Капустин В.И., Дробинин С.Ю.

217. Займан Дж., Модели беспорядка. Теоретическая физика однородно неупорядоченных систем. Пер. с англ., М.: Мир, 1982, 592 с. ;

218. Maurer D.W., Cathode activity measurement a modification of dip test. Bell. Syst. Techn. Journ., 1967,v.46,№10,p.2363-2375.

219. Никонов Б.П., Техническая диагностика котодно-подогревательных узлов. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1975, №1, с. 70-76.

220. Вирин Я.Л., Ненашева Л.В. Технология изготовления и термоэлектронные свойства прессованных алюминатных катодов. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1977, Вып. 9, с. 64-72.

221. Isrselsen В.P., Analytical representation of the cathode activity test. Int. Conf. Microwave Tubes Svst., London, 1984, p.71-74.

222. Шмелева Н.И., Никонов Б.П., Методика контроля эмиссионных характеристик оксидного катода. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, 1977, №6, с.81-86.

223. Grant Т.J., A powerful quality assurance technique for dispenser cathodes and electron guns. Int. Electron Dev. meet., San Francisco, 1984, p.334-337.

224. Lampert W.V., Rachocki K.D., Lamartine B.C., Haas T.W., Some aspects of electron spectroscopic investigations of impregnated tungsten dispenser cathodes. Appl. Aurf. Sci., 1981, v.S, № 1-2, p.66-80.

225. Свидетельство на промышленный образец СССР №36726 от 05.06.90 г.,«СВЧ плазменная установка «Фиалка-6»/Капустин В.И. ,Портяной А.С. , Лысов Г.В. и др.

226. Капустин В.И., Лысов Г.В., Портяной А.С. и др., «СВЧ плазменно-технологический комплекс», В сб. Тезисов докладов Ш сессии научно-технического совещания «Получение, исследование и использование плазмы в СВЧ полях», Иркутск, 1989, с.104г106,

227. Капустин В.И., Лысов Г.В., Портяной А.С. и др., «Установка СВЧ плазмо-химического синтеза ультрадисперсных порошков», Электронная промышленность, 1990, №11, с.7.

228. Пархоменко В.Д., Сорока П.П., Краснокутский Ю.И. и др., Плазмохимиче-ская технология. Низкотемпературная плазма. Т.4, Новосибирск, 1991, Наука, Сиб. отд-., 392 с.

229. Кутателадзе С.С., Основы теории теплообмена. Новосибирск, Наука, Сиб. Отд., 1970, 659 с. *

230. Создание макета ионно-фотонного спектрометра для технологического контроля материалов изделий электронной техники. Технический отчет ГНПП «ТОРИЙ» по теме «7188», 1991, /Капустин В.И., Мирошин Ю.Я., Портяной А.С. и др. /

231. Разработка установки для СВЧ плазменной очистки деталей ЭВП и нанесения металлических покрытий с высокой адгезией. Технический отчет ГНПП «ТОРИЙ» по теме «7185», 1991, /Капустин В.И., Мирошин Ю.Я., Портяной А.С. и др.

232. А.С. СССР №957675 от 28.11.80 г., «Устройство для калибровки масс-спектрометров по водороду» / Капустин В.И., Гольцов В.А., Балебанов В.М. и др.140

233. Создание лабораторных макетов блоков измерения и технологического контроля вторично-эмиссионных и термоэмиссионных параметров катодов. Технический отчет ГНПП «ТОРИЙ» по теме «8851», 1985, /Капустин В.И., Марин В.П., Никитин О.В. и др.

234. A.c. СССР №1414214 от 30.09.85 г., «Энергоанализатор коробчатого типа для определения энергии заряженных частиц» / Капустин В.И., Марин В.П., Дробинин С.Ю. и др.

235. Савицкий Е.М., Буров И.В., Капустин В.И., «Установка для автоматической регистрации коэффициента вторичной электронной эмиссии металлических материалов», Приборы и техника эксперимента, 1977, №2, с.169-171.