Спектроскопическое исследование фторуглеродной плазмы тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.05 ВАК РФ

Введение

1. Низкотемпературная фторуглеродная плазма и спектроскопические методы ее диагностики.

1.1. Фторуглеродная плазма - как частный случай плазмы с химическими реакциями.

1.2 Методы диагностики плазмы.

1.3 Спектрально-оптические методы диагностики плазмы с химическими реакциями.

1.4 Диагностика фторуглеродной плазмы.

2, Экспериментальное исследование спектров фторуглеродной плазмы.

2.1 Экспериментальная установка.

2.2 Спектр фторуглеродной плазмы.

2.3 Методика отождествления спектров на примере радикалов С А/ и.

2.4 Термодинамический расчет состава плазмы.

2.5 Оценка ошибок, возникающих при спектроскопических измерениях.

3. Экспериментальное определение температуры неравновесной фторуглеродной плазмы.

3.1 Определение вращательной температуры.

3.1.1 Использование эмиссионных спектров и СЫ для определения вращательной температуры.

3.1.2 Аномалии в спектрах сг ж СМ.

3.2 Определение колебательной температуры плазмы.

3.2.1 Эмиссионные спектры и СМ и их использование для определения колебательной температуры частиц.

3,2«2 Аномалии в колебательной структуре спектров радикалов и СМ и их причины.

3.3 Определение электронной температуры плазмы и связанные с этим трудности.

3.4 Определение поступательной температуры.

4, Отождествление спектра фторуглеродной плазмы.

4.1 Эмиссионный спектр

4.2 Эмиссионные спектры радикалов С^ и С^.

Выводы.

Одним из наиболее молодых и перспективных направлений в промышленности и в науке является плазмохимия, начало развития которой можно отнести к пятидесятым-шестидесятым годам. Плазмохимия - это не только химия плазмы, это также физика низкотемпературной плазмы, в которой протекают химические реакции. Такая плазма является неравновесной и неоднородной по своему составу. Протекание быстрых химических реакций ставит много проблем, связанных с диагностикой такой плазмы. Под диагностикой будем понимать определение состава плазмы в разных температурных зонах, определение неравновесных температур и некоторых параметров плазмы.

Задачи исследования плазмохимических процессов можно подразделить на три класса. Первое, - это технические задачи, которые сводятся к созданию соответствующей аппаратуры. Второе, - это задачи химические: определение констант скоростей реакций и определение их зависимости от различных параметров. И, наконец, третий класс, - это задачи физические: изучение процессов, происходящих в плазме, описание их параметрами, которые могли бы использоваться в технологии получения продуктов с целью оптимизации процессов.

Следует отметить, что основной способ определения параметров быстропротекающих химических процессов - это спектрально-оптический. Следовательно, нужно прежде всего знать спектры радикалов, существующих и образующихся в плазме. К сожалению, данных в литературе о спектрах фторуглеродных радикалов недостаточно, поэтому в данной работе нам приходилось производить расшифровку спектров, еще не описанных в мировой литературе или описанных недостаточно полно. Это относится прежде всего к эмиссионным спектрам многоатомных молекул, таким как С^ , Сг^ и . Для неко торых молекул нами проводились также неэмпирические расчеты электронного строения фторуглеродных радикалов С2^2 и сравнения этих расчетов с экспериментальными результатами работ разных авторов. Расчеты производились по программам 1ВМ(Нг5и Оаи&Мап-Уб в разных базисах.

Далее производились термодинамические расчеты существования радикалов. В качестве первого приближения плазма считалась равновесной. Термодинамический расчет позволил качественно оценить присутствие того или иного радикала в плазме и отнести необходимые молекулярные полосы к этому радикалу при соответствующих температурах. Термодинамический расчет выполнен по программе, составленной в ГИПХе на машине БЭСМ-6.

Важным элементом диагностики плазмы является знание неравновесных температур. Измерение вращательной температуры проводилось нами по радикалам С'2 и СМ . Последний всегда присутствует, из-за небольших добавок азота, в исходном газе Как показали опыты, для радикала СМ существует слабая зависимость между межъядерным расстоянием в молекуле и квантовым числом Н , характеризующим векторную сумму орбитального момента электронов и момента молекулы в случае связи Гунда /б/. Во фторуглеродной плазме радикал С М остается без изменения. Радикал же проявляет сильную зависимость от условий, существующих в плазме. Поэтому, прежде чем использовать его для диагностики плазмы, необходимо было выяснить, как влияет фторуглеродная плазма на характер спектра.

Был обнаружен ряд интересных аномалий, связанных со структурой спектра радикала С2 .

Измерение колебательной температуры проводилось в основном по спектру радикала С2 . Эти измерения также показали аномальный характер поведения радикала в некоторых случаях. Показано, что эти аномалии связаны с опустошением некоторых колебательных уровней радикала в результате химических реакций. Для контроля за правильностью эксперимента и более точного расчета некоторых экспериментальных данных вычислялись постоянные 8^ и <2)-у- для радикалов С^ и СН и сравнивались с литературными данными, которые, к с «калению, приводятся только для нулевого вращательного квантового числа N .

Для отождествления спектров необходимо знать температуру плазмы. Исследование фторуглеродной плазмы как неравновесной системы потребовало измерения поступательной, электронной, колебательной и вращательной температур. Такие измерения в данной диссертации также выполнены. В результате цель диссертации мшено сформулировать следующим образом.

1. Получение эмиссионных спектров фторуглеродных радикалов, в том числе и многоатомных, не описанных ранее в литературе.

2. Отождествление спектров известных молекул во фторуглеродной плазме.

3. Отождествление спектров новых, ранее не отождествленных молекул, С^2> » ^2^ » » т*е» определение характеристических частот, квантовых чисел переходов и энергии диссоциации.

4. Изучение поведения радикалов а „ сн во фторуглеродной плазме и определение условий их применения для определения температур. Изучение аномалий в спектрах радикалов и С А/ их объяснение.

5. Определение вращательной температуры плазмы по радикалам

6. Определение колебательной, среднемассовой и электронной температуры. Объяснение аномалий в колебательной структуре спектров.

I. Низкотемпературная фторуглеродная плазма и спектроскопические методы ее диагностики

Вывода

1. Создана лабораторная установка, включающая плазмотрон, мощностью до 180 квт, для исследования фторуглеродной плазмы с оптической регистрацией спектра в различных зонах плазменного факела.

2. Зарегистрированы спектры соединений фтора. Показано,что во фторуглеродной плазме, генерируемой плазмотроном, который работает на газе CF, , образуются радикалы также радикалы С2 и СМ . Последний радикал образуется за счет небольшого содержания азота в исходном продукте /порядка ОД %/ и дает интенсивные молекулярные полосы в фиолетовой части спектра за счет большой вероятности перехода.

3. Расшифрована вращательная структура радикалов и СМ с целью использования их для определения вращательной структуры. Изучены аномалии во вращательной структуре полос этих радикалов. Показано, что исчезновение вращательной линии Н - 47 и резкое ослабление линии N = 51 Р - ветви радикала можно использовать для ^идентификации вращательного спектра. Точно также аномальное расщепление уровня N = 59 радикала Ш может быть использовано для этой же цели.

4. Показано, что во фторуглеродной плазме наблюдается резкое отступление от бальцмановского распределения энергии по уровням. Найдено граничное значение квантового числа А/ , начиная с которого можно пользоваться больцмановским распределением.

5. Построена зависимость изменения вращательной температуры в плазмотроне от расхода газа и от расстояния вдоль плазменной струи. Определена также зависимость температуры от радиуса струи. Показано, что значительное изменение температуры происходит только у стенок камеры.

6. Определена колебательная температура фторугл ер одной плазмы. Изучены аномалии в колебательной структуре полос и даны рекомендации по учету этих аномалий при определении температуры.

7. Экспериментально показано, что в маломощной дуговой аргоновой плазме, возбуждаемой в кварцевой трубке, вращательная температура значительно отличается от колебательной /4700 и 8550К соответственно/. Это указывает на значительную неравновесность плазмы. Во фторуглеродной среде в трубке неравновесность еще больше увеличилась /6400 и ИООСК соответственно/. В плазмотроне наблюдается такое же различие между колебательной и вращательной температурами /колебательная температура оказалась порядка 7600К, вращательная 3800/. Показано, что отличие колебательной температуры от вращательной обусловлено хемшгомннесценцией, т.е. протеканием химических реакций.

8. Определены электронная и поступательная температуры, которые оказались близкими к вращательной.

9. Выполнен термодинамический расчет состава: г = 1000:1, близкого к экспериментальному. Как показал расчет, радикал СГ3 образуется в температурной зоне от 2000 до 4000К. Радикал С2Р от 3000 до 5500К; радикал 0т 2500 до 4500К; радикал от 3300 до 7000К. Радикал СА/ не учитывался в расчете, но экспериментально обнаруживается во всем измеренном диапазоне.

10. Отождествлены эмиссионные спектры радикалов , С2 Р жС£ = е . Рассчитаны колебательные частоты основного и возбужденного состояния радикалов и , а также факторы ангармоничности этих же радикалов.

11. Определена энергия диссоциации радикала ^ во фтор-углеродной плазме по 5 секвенциям, а также минимальные энергии возбуждения всех фторуглеродных радикалов.

Знание спектров фторуглеродных радикалов позволяет осуществить диагностику фторуглеродной плазмы, определить оптимальный режим получения того или иного промышленного продукта и это является главной целью и результатом данной работы.

1. Физический энциклопедический словарь. -М.: Советская энциклопедия, 1983, 928 с.

2. Кузнецова Л.А., Кузьменко Н.Е., Кузяков Ю.Я., Бластшшн Ю.А. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул. М.: Наука, 1980, 320 с.

3. Полак I.C., Овсянников А.А., Словецкий Д.И., Вурзель Ф.В. Теоретическая и прикладная плазмохимия.- М.: Наука, 1975 , 304 с.

4. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.: Наука, 1980, 310 с.

5. Кинетика и термодинамика химических реакций в низкотемпературной плазме /Под ред. Л.С.Полака/. М.: Наука, 1965, 254 с.

6. Низкотемпературная плазма. Труды международного симпозиума по свойствам и применению низкотемпературной плазмы при XX Международном конгрессе по теоретической и прикладной химии. Москва, июль 15-17, 1965. М.: Мир, 1967, 639 с.

7. Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы /под. ред. Л.С. Полака/. М.: Наука, 1971, 433 с.

8. Физика и техника низкотемпературной плазмы. М.: Атомиздат,1972, 352 с.

9. Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме. /Йод ред. Л.С.Полака/. М.: Наука,1973, 272 с.

10. Химия плазмы: Сб.статей /под ред. В.М.Смирнова/. М.: Атомиздат, 1974, Вып. I, 304 е.; 1975, Вып.2, 280 е.; 1976, Вып.З, 302 е.; Вып.4, 222 е.; 1978, Вып.5, 328 с.

11. Биберман Л.М., Воробьев B.C., Якубов И.Г. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982, 374 с.

12. Гордиец Б.Ф., Осипов А.И., Шелепин Л.А. Кинетические процессы . в газах и молекулярные лазеры. М.: Наука, 1980, 510 с.

13. Диагностика плазмы /под ред. Хадлстроуна Р./. М.: Мир, 1967, 516 с.

14. Методы исследования плазмы /под ред. Лохте-Хсльтгревена/. -М.: Мир, 1971, 552 с.

15. Lapworfeh К.С. Spectroscopic temperature measurements in high temperature gases and. plasmas. -J.Fnysics. E:Scientific Instruments, 1974, v.7, p.3-4-21.

16. Пеннер С.С. Количественная молекулярная спектроскопия и излу-чательная способность газов. М.: ИЛ, 1963, 494 с.

17. Нагибин И.М., Прокофьев В.К. Спектральные приборы и техника спектроскопии. М.: МАШГИЗ, 1967, 270 с.

18. Практикум по спектроскопии /под ред. проф.Левшина Л.В./. -М.: МГУ, 1976, 320 с.

19. Оптическая пирометрия плазмы /под ред. Соболева И.И./. М.: ИЛ, I960, с.52-82.

20. Фишман И.С. Метод статистической регуляризации и его применение в спектроскопии. Казань: КГУ, 1979, 22 с.

21. Малышев В.И. Введение в экспериментальную спектроскопию. -М.: Наука, 1979, 478 с.

22. Осипов А.И., Ступоченко Е.В. Нарушение максвелловского распределения при химических реакциях. Реагирующая однокомпонентная система в термостате тяжелого газа. Т еор. и экспер.химия, 1970, т.У1, с.753-762.

23. Герцберг Г. Спектры и строение двухатомных молекул, М.: ИЛ, 1949, 404 с.

24. Герцберг Г. Электронные спектры и строение многоатомных молекул. -М.: Мир, 1969, 772 с.

25. Герцберг Г. Спектры и строение простых свободных радикалов. -М.: Мир, 1974, 208 с.

26. Ельяшевич М.Я. Атомная и молекулярная спектроскопия. М.:4Ы

27. Гос. изд. физико-математ. лит., 1962, 892 с.

28. Гейдон А. Энергия диссоциации и спектры двухатомных молекул.-М.: ИЛ, 1949, 302 с.

29. Грим Г. Спектроскопия плазмы. М.: Атомиздат, 1969, 452 с.

30. Глушко Л.Н., Твердохлебов В.И. Вращательная температура СН и с2 и колебательная температура с2 в реакционной зоне аце-тилено-воздушного пламени низкого давления. В кн.: "Химия и физика низкотемпературной плазмы". -М.: МГУ, 1971, с.130-133.

31. Bleekrod Е., Nieuwpoort V/.G. Absorption and Emission Measurements of C2 and CH, Electronic Bands in Low-Pressure Oxy-acetylene Flames.- Cliem.Pnys. ,1 965, v.43, p.2051-2055.

32. Nieuwpoort W.C., Bleekrod E. On Intensity Alterations in C2 "Swan" Emission Spectra.-Ohcm.Ehys.,1969,v.51,р.2051-2055.

33. Bleekrod E. Pressure Dependence of Eotational Intensity-Distribution in C2 "Swan" Emission from Low-Pressure Oxy-acetylene Flames.-Chem.Phys.,1966, v.4-5, P-3153-3154.

34. Корлисс И., Бозман У. Вероятности переходов и силы осцилляторов 70 элементов. М.: Мир, 1968, 562 с.

35. Халтурин В.Г., Шайдуров B.C. Диагностика фторуглеродной плазмы по эмиссионному спектру радикала с0 . ЖПС, 1981, т.34,вып. 4, с. 770-774.

36. Ортенберг Д.С. Вычисление факторов Франка-Кондона для систем N0 , С2 ,00 . Опт. и спектр, 1964, т.16, с. 729-734.

37. Cooper D.M. Transition Probability CpMoleculc.- Spectroscopy Letters, 1976, v.9(3), P-139-155.

38. Leo Brewer and Lucy Eagan. the Oscillator Strength of tlie Og "Swan" Bands.- High Temperature Science, 1979» v.11, p.233-263.

39. Свиридов А.Г. Экспериментальное определение матричного элемента дипольного момента электронного перехода системы полос Свана молекулы С2 . Труды ФИАН, 1970 г. т.51, с. 124-193.

40. Gausset Т., Herrberg G., Lagerqvist A., and Eozen В. Spectrum of the С^ Molecule. Discovery of the Faraday Society, 1963» v. 35, p.113-117.

41. Herrberg G, ,Lagerqvist A. A New Spectrum Association with Diatomic Carbon. Oanad.J.Phys.,1968, v.46, p.2363-2573*

42. Andrews E.B., Barrow R.F. The Band-Spectrum of Carbon Monoflu-oride, OF. Proc. Phys. Soc. (London), 1951,v. 64 A, p.481-492.

43. Andrews E.B., Barrov; R.F. Ultra-Violet Band System of OF. -Nature, 1950, v.165, p.890.

44. Porter T.L., Mann D.E., Acqista IT. Emission Spectrum of OF. -Mol. Spectr., 1965, v. 16,p. 223-263.

45. Oarrol P.K., Grennan T.P. The B-X System of OF. J.Phys.В : Atom., Mol. Phys., 1970, v.J, p. 865-877«

46. Verma E.D. New Spectrum of CF+ . Canad. J. Phys., 1961, v. 59, p.1377-1383.

47. Trush B.A., Zwolenilc J.J. Predissociation in the Absolution Spectra of OF and GF^. Transactions of the Faraday Society, 1962, v. 59, p. 582-587.

48. Кипа'an Adlis., Beguin Cloude P., Margrave John L. Spectroscopic Investigations of Some Holida Reactions in Plasmaч Generating Devices.- Appl. Spectr.,1966, v.20, p. 18-25*

49. Монякин А.П., Святкин И.А., Овсянникова Н,Г., Кузнецова Л.А., Кузяков Ю.Я. Определение вероятности перехода молекулы CF.-Вестник МГУ, 1977, т.18, с.38-46.

50. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980, 240 с.

51. Хьюберт К.П., Герцберг Г. Вероятности переходов и константы двухатомных молекул. М.: Мир, 1984, т,1, 408 е., т.2, 366с.

52. JAlTAF.Thermochemical Tables, Second Edd. -Washington, 1971, 1141 p.

53. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочное руководство в четырех томах /под ред. В.П.Глушко/. М.: Наука, 1979, т.1, кн.1, 495 е.; т.П, кн.1, 440 с.

54. Молекулярные постоянные неорганических соединений. Справочник. Ленинград: Химия, 1979, 446 с.

55. Venkateswarlu P. On the Emission Bands of CF^. -Phys.Rev., 1950, v. 77, p. 676-680.

56. Laird R.K., Andrews E.B. , Barrow R.F. The Absorption Spectrum og OFg. Trans. Faraday Soc. ,195°,v. 46,p. 8О3-8О5.

57. Mathews C. Weldon. The Absorption Spectrum of CFp Canad.

58. J. Phys., 1967, v. 45, p.2555-2374.

59. Применение плазмотрона в спектроскопии. /Сб.статей под ред.-т

60. ЖДеенбаева/. Материалы всесоюзного симпозиума. Фрунзе,: ШШМ, 1970, 219 с.

61. Зайдель А.Н., Островская Г.В., Островский Ю.М. Техника и практика спектрального анализа. М. : Наука, 1972, 376 с.

62. Пирс Р.У., Гейдон А.Г. Отождествление молекулярных спектров. М.: ИД, 1949, 240 с.

63. Виноградов Г.К., Словецкий Д.И., Федосеев Т.В. Спектроскопическое исследование кинетики образования атомов фтора в тлеющем разряде тетрафторметане. Теплофизика высоких температур, 1984, т.22, с. 225-232.

64. Ingleman Eolf, Jr. The V=0 and +1 Sequence Bands of ON Violet System Observed During the Flash Photoljsis of BrCH.-J.Mol. Spectr., 1974, v. 49, p. 106-116.

65. Кудрявцев E.M. Экспериментальное определение матричного элемента дипсльного момента электронного перехода фиолетовой системы полос циана. Труды ФИАНА, 1966, т.35, с. 74-149.

66. Слынько I.E. Использование термодинамических расчетов в плазмохимии. В кн.: Плазмохимические реакции и процессы. -М.: Наука, 1977, с. 164-192.

67. Термодинамические свойства индивидуальных веществ /под ред. Глушко В.П./. М.: Наука, 1962, т.1, 1162 с.

68. Халтурин В.Г., Назаренко Л.А., Зянкина Н.В. Определение температуры фторуглеродной плазмы по эмиссионным спектрам тяжелых молекул. В кн.: "IX Всесоюзная конференция по генераторам низкотемпературной плазмы",- Фрунзе, ШШМ, 1983, с.226-227.

69. Doniel Flamm. Mechanism of Radical Production Radiofrequency Discharges of CF^Ol, CF^Br and Certain other Plasma ïïtchaints: Spectrum of ïransient Species.- J. Appl. Ehys., 1980, v. 51, p. 5688-5692.

70. Le Roy Roberts J. and Edward R. Vrocay. Periodicity of the Oscillatory J Dependence of Diatomic Molecule Franck-Condon

71. Factors.- Canad. J. Phys., 1975,v. 53, p. 1560-1372.

72. Гейдон А. Спектроскопия пламен. M.: ИЛ, 1959 , 382 с.

73. Iwa Nishiyama, Tomotsu Kondow and Kozo Kuchitsu. Formation2 +of CN(B ) by the Electron Impact Dissociation of HON.Measurements near Threshold.-Chem.Phys.Letters, 1979, v.62,p. 462466.

74. Anthony J.Kotlar, Robert W.Field and Jeffry I.Steinfield. Analysis of Perturbations in the A2f| System of

75. ON.- J. Mol. Spectr., 1980, v. 80, p. 86-108.

76. Ортенберг Ф.С., Антропов E.T. Вероятности электронно-колебательных переходов в двухатомных молекулах. УФН, 1966, т.90, с. 235-273.

77. Nicholls R.W.Approximate Formulas for Franc Condon Factors.-J. Chem. Phys., 1981,v. 74, p. 6980-6981.от1.icholls E.W. Approximate Formulas for Franc Condon Factors: A reply. - J. Amer. Chem. Phys., 1982, v. 77, p.1614-1616.op

78. Chifuru Moda and Rechard IT.Zare. Relation between classical and Quantum Formulations of the Franc Condon Principle : The Generalized ^ - Centroid Approximation.-J. Mol. Spectr., 1982, v. 95, p. 254-270.

79. Ramjes M. Rao M.L.P, and etc. Franc Condon Factors with Vibrational-Rotation Interaction for Morse Oscillators. -J. Chem.-Phys., 1982, v. 77,p. 5252-5253*

80. Заполь Б.П. О вычислении фактора Франка-Кондона в.гармоничес-. ком приближении. Сер.физ. и техн, наук, 1983,?- 3,с.41-45.

81. Кузнецова Л.А.,Кузьменко Н.Е. и др. Вероятности оптических, переходов электронно-колебательно-вращательных спектров двух. атомных молекул УФН, 1974, т.ИЗ,с.285-325.

82. Кузьменко Н.Е. »Кузнецова JI.A. Донякин А.П. и др. Вероятности электронных переходов и времена, жизни электронно-возбужденных, состояний двухатомных молекул. УФН,1979,т.127, с.451-478.

83. Кузнецова Л.А. .Кузьменко Н.Е.Дузяков Ю Л. и др. Определение вероятности электронных переходов. В кн.:"Спектры и строение молекул". ~М.: МГУ,1980,с.147-190.

84. Кузьменко Н.Е.»Кузнецова Л.А.,Кузяков Ю.Я. Проблемы описания интенсивностей электронных спектров двухатомных молекул в адиабатическом приближении. УФН,1983,т.140,с.76-96.

85. Кузьменко Н.Е.,Кузнецова Л.А./Матвеев В.К. Зависимости сил электронных.переходов двухатомных молекул от длин волн. -Опт.спектр.,1982,т.63,с.235-239.-m

86. Кузьменко H.E. Факторы Франка-Кондона двухатомных молекул с учетом вращения. Хим.физика,19831,с.З-9.

87. Klemsdal Helge. The Variation of the Electronic Transition Moment, Re, in the Intensity Theory of Diatomic Molecules.-J. Quant. Spectr. Radiat. Transfer, 1973, v.13» P*517-541.

88. Danylewych L.L. and Hicholls R.W. Intensity Measurementsand Transition Probability for Band of СИ Violet (B2jf"b~X2jr + ) Band System.- Proc. R. Soc. bond.,1978, v.A 360,p.557-575.

89. Халтурин В.Г.»Минахметова К.Г.Дайдуров B.C. Диагностика фтэруглеродной плазмы по эмиссионному спектру С2 с учетом аномалии в спектре. В кн.:"Тезисы докладов 1У Всесоюзного симпозиума по плазиохимии". Днепропетровск,1984,с.2I0-2II.

90. Зайдель А.Н.,Прокофьев В.К.,Райский С.М. и др. Таблица спектральных линий. М.:Наука,1969,782 с.

91. Masako Suto and Nobuaki Washida. Emission Spectra of CF^ Radicals. IY. Excitation Spectra Quantum Yields and Potential Energy Surfaces of the CF-, Fluorescences.- J. Chem. Phys., 1983,чмi v. 78, p. 1025-1052.

92. Carlson A. Caiy and Pimentel C.George. Infrared Detection of gaseous Trifluoromethyl Radical.- J. Chem, Phys., 1966, v.44,p. 4055-4054.

93. Atoms.The Infrared Spectra of Normal and -^-Substituted CFgand CF^. Chem. Hays., 1968, v. 48, p. 2265-2271.

94. Richard W.Fessenden and Robert; H.Schuler. ESS- Spectra and Structure of the Fluorinated Methyl Radicals.- Chem. Phys., 1965, v. 43, P. 2704-2712.

95. Linus Pauling. Structure of the Methyl Sadical and other Radicals.- Chem. Phys., 1969, v. 51, p. 2767-2769.

96. Chava Lifshtz and William A. Chapka. Photoionization of CF^ Radical. Chem. Phys., 1967, v. 47, p. 3^39-3443.

97. Волькешптейк M.В.,Грибов JI.A.,Ельяшевич M.A.,Степанов B.H. Колебания молекул. М.:Наука,1972,467 с.

98. Godda:cd John D* Fluoro- and Difluorovinylidenes and their Rearrangements to Acetylenes.-Chem.Phys.Letters,1981,v.85, p.312-316.

99. Халтурин В.Г.Дайдуров B.C. Определение температуры фторуг-леродной плазмы по эмиссионному спектру он • ~ НПСД985, т. 42,вып.2, с. 322-325. НО. Агекян Т.А. Основы теории ошибок. М.: Наука,1972,170 с.