Твердофазный синтез в двухслойных тонких металлических пленках, связанный с мартенситными превращениями в продуктах реакции тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Введение

Глава I. Твердофазный синтез и твердофазные превращения в тонких плёнках (литературный обзор). Постановка задач.

1.1. Твердофазный синтез в тонких плёнках. Основные закономерности и правило первой фазы.

1.2. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в тонких плёнках.

1.3. Мартенситные превращения и структурные особенности NiTi сплава.

1.4. Характеристики мартенсйтных фаз в AuCd сплаве.

1.5. Мартенситные фазы в NiAl системе.

1.6. Мартенситные превращения в NiMn сплаве.

1.7. Низкотемпературные мартенситные переходы в AgCd сплаве

1.8. Особенности мартенсйтных превращений в FeMn сплаве.

1.9. Постановка задач исследований.

Глава II. Методики эксперимента. Образцы для исследования.

2.1. Образцы для исследования.

2.1.1. Осаждение двухслойных плёнок вакуумным испарением.

2.1.2. Получение двухслойных и мультислойных Ni/Ti плёнок на трехэлектродной установке ионно-плазменного осаждения.

2.2. Методики эксперимента.

2.2.1. Универсальная установка для измерения параметров твёрдофазного синтеза.

2.2.2. Метод крутящих моментов. Определение степени превращения

2.2.3. Метод крутящих моментов. Определение намагниченности насыщения и первой константы магнитной анизотропии

2.2.4. Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ.

2.2.5. Рентгеноструктурный анализ.

2.2.6. Метод инициирования твёрдофазного синтеза в плёночных системах.

Глава III. Твердофазный синтез и мартенситиые превращения в Ni/Ti двухслойных плёночных системах.

3.1. Литературный обзор по твердофазному синтезу в системе Ti-Ni 45 3.1.1 Получение нитинола методом самораспространяющийся высокотемпературного синтеза.

3.1.2. Особенности твердофазного синтеза и мартенситный переход в Ti/Ni мультислоях.

3.2. Твердофазные реакции и мартенситный переход в Ti/Ni тонких плёнках.

3.3. Выводы.

Глава IV. Твердофазный синтез и мартенситиые превращения в Cd/Au и Cd/Ag двухслойных тонких плёнках.

4.1. Твердофазный синтез в Au/Cd тонких плёнках. Правило первой фазы. Модель мартенситоподобного механизма реакции.

4.2. Низкотемпературный синтез и мартенситный переход в Cd/Ag тонких плёнках.

4.3. Выводы.

Глава V. Твердофазный синтез и мартенситиые превращения в Al/Ni двухслойных пленочных системах.

5.1. Литературный обзор по твердофазному синтезу в пленочной системе Al-Ni.

5.1.1. Основные закономерности твердофазного синтеза в Al/Ni мультислоях и двухслойных тонких плёнках.

5.1.2. Фазовая последовательность в (30.3hm)A1/(20hm)Ní мультислоях.

5.1.3. Фазовая последовательность в Al/Ni мультислоях (Л =10 и

Л = 20нм).

5.2. Структурный анализ реакций в Al/Ni двухслойных тонких плёнках, проходящий в режиме самораспространяющегося высокотемпературного синтеза.

5.3. Ввыводы.

Глава VI. Твёрдофазный синтез и мартенситные превращения в 1Ч1Мп,

РеМп и АиМп двухслойных плёнках.^

6.1. Общие характеристики мартенситного перехода и твердофазного 84 синтеза в №/Мп двухслойных тонких плёнках.

6.2. Особенности протекания твердофазных реакций в Ре/Мп плёнках.

6.3. Анализ твёрдофазного синтеза и мартенситного перехода в Аи/Мп тонких плёнках.

6.4. Выводы.

Бурное развитие микроэлектроники связано с интенсивным внедрением в неё тонкоплёночных элементов. Помимо тонких плёнок, мультислоёв и сверхрешёток, которые являются двухмерными объектами, существуют наноструктуры, имеющие более низкую размерность. В частности, к одномерным наноструктурам относятся квантовые проволоки, нанотрубки, к нульмерным - квантовые точки. В системах пониженной размерности по отношению к трёхмерным объектам происходит изменение характеристик энергетического спектра электронной системы, что существенно изменяет большинство электрических и оптических свойств. Низкомерные структуры могут служить основой для создания новых устройств для микро-, опто- и наноэлектронники. Важным требованием при создании таких устройств является постоянство физико-химических свойств используемых сред в процессе их эксплуатации. Твердофазные реакции и твердофазные превращения являются основным фактором, нарушающим микроструктуру и фазовый состав тонких плёнок и наноструктур. Одной из особенностей тонких плёнок является низкие температуры протекания твёрдофазных реакций по сравнению с объемными образцами. Примером, убедительно демонстрирующим низкотемпературный твёрдофазный синтез, может служить появление "пурпурной чумы" при контакте тонких плёнок алюминия и золота. Алюминий и золото при сравнительно низких температурах (~400К) образуют интерметаллическое соединение АиАЬ с характерным пурпурным цветом. Интерметаллические фазы, которые образуются на границе раздела плёнок, часто оказываются хрупкими, что приводит к потере механической прочности и разрушению контактов. Проблема "пурпурной чумы" была одной из первых в целом ряде интересных и сложных проблем, связанных с реакциями в твёрдой фазе. От решения этих проблем зависело применение тонкоплёпочных технологий в производстве интегральных схем. В настоящее время все крупнейшие мировые производители микроэлектроники занимаются исследованием твердофазного синтеза в тонких плёнках.

Объектами исследования твёрдофазного синтеза в тонких плёнках являются двухслойные тонкие плёнки или мультислои, в которых с повышением температуры образцов Т$ инициируются твердофазные реакции. Поиск оптимальных условий протекания твёрдофазного синтеза в тонких плёнках осуществляется исключительно опытным путём. К тому же не существует ясного понимания механизмов протекания твёрдофазного синтеза. Общепринято, что основную роль в реакциях в тонких плёнках играет диффузия по границам зёрен и наличие большого количества пор и дефектов, которые уменьшают температуру инициирования твёрдофазного синтеза в тонких слоях и наноструктурах. Из экспериментальных данных следует, что при отжиге пленок при достижении некоторой температуры реакция может проходить в течение нескольких секунд. Это плохо объясняется диффузионным механизмом, так как коэффициент диффузии при этом должен быть близок к коэффициенту диффузии в жидкой фазе. Поэтому требуются новые подходы в объяснении механизма массопереноса во время низкотемпературных твердофазных реакций.

Анализ многих экспериментальных данных показывает, что с повышением температуры отжига на границе раздела плёнок вначале из множества фаз присутствующих на данной диаграмме состояния реагентов образуется одна фаза. Далее с увеличением температуры отжига возможно формирование других фаз с образованием фазовой последовательности. С фундаментальной и прикладной точек важно знать:

1) какая фаза среди множества фаз данной бинарной системы должна образовываться первой на границе раздела пленочных конденсатов;

2) чем определяется температура инициирования То первой фазы

В 1982 работе Бене P.B.(Bene R.W.) [2] впервые предложено правило для определения первой зарождающейся фазы на плоской границе раздела кремний-переходной металл. Различные варианты образования первой фазы предлагались и в дальнейшем, однако они не объясняют всего многообразия экспериментальных данных.

В наших работах [14,28,29] образование первой фазы и фазовой последовательности в двухслойных плёнках и мультислоях было связано со структурными твердофазными превращениями, проходящими в данной бинарной системе (порядок-беспорядок, металл-диэлектрик). Структурные фазовые переходы порядок-беспорядок и металл-диэлектрик в рассмотренных пленочных системах осуществляются при помощи диффузионных механизмов, которые допускают разрыв химических связей и перенос атомов реагентов в пределах решётки. Среди твердофазных превращений мартенситные переходы являются бездиффузионными превращениями, где атомы коллективным когерентным движением без разрыва химических связей переходят из аустенитной фазы в мартенситную фазу. Истинное смещение каждого атома относительно его соседа намного меньше периода решётки (величина деформации ~ 10"1 - 10'2 периода решётки). Энергия активации для процесса роста мартенсита очень низкая [36]. Поэтому трудно ожидать образование соединений при температуре мартенситного перехода. Однако экспериментальные результаты, приведенные в данной диссертации, доказывает, что синтез в Ni/Ti, Au/Cd, Ni/Al, Au/Mn, Ag/Cd, Ni/Mn, Fe/Mn двухслойных тонких пленках идет при температуре обратного мартенситного перехода с образованием мартенситных фаз в продуктах реакции.

Целью настоящей работы является экспериментальное исследование общих характеристик и особенностей твёрдофазного синтеза и мартенситных превращений в продуктах реакции для Ni/Ti, Au/Cd, Ni/AI, Au/Mn, Ag/Cd, Ni/Mn, Fe/Mn двухслойных плёночных систем.

Объём и структура диссертации:

Диссертация состоит из введения, шести глав, заключения, приложения и списка литературы.

Основные результаты диссертации, которые сведены в таблицу 6, подтверждают предложенное правило образования первой фазы:

А) Твердофазный синтез инициируется в Ti/Ni, Cd/Au, Cd/Ag, Al/Ni, Au/Mn, Ni/Mn, Fe/Mn двухслойных плёночных системах. С экспериментальной точностью температуры инициирования То совпадают с температурами As старта обратного мартенситного перехода. Б) В продуктах реакции, в вышеперечисленных двухслойных пленочных системах, образуются мартенситные фазы.

Заключение.

1. Проведено комплексное экспериментальное исследование твёрдофазного синтеза в Ti/Ni, Cd/Au, Al/Ni, Cd/Ag, Au/Mn, Ni/Mn, Fe/Mn двухслойных плёночных системах. Эксперименты показали, что во всех этих плёночных системах синтез имеет место при температурах обратного мартенситного перехода в TiNi, CdAu, CdAg, AINi, AuMn, NiMn, FeMn сплавах с образованием мартенситных фаз в продуктах реакции.

2. Сформулировано правило образования первой фазы для твёрдофазных реакций, связанных с мартенситными превращениями в продуктах реакции: а) первой фазой, образующейся на границе раздела двух плёночных конденсатов, является фаза, которая согласно диаграмме фазового равновесия имеет наименьшую температуру структурного фазового превращения; б) если таким структурным фазовым превращением является мартенситное превращение, то температура инициирования То твердофазной реакции в тонких плёнках совпадает с температурой старта обратного мартенситного перехода As ( То = As ) и продукты реакции содержат аустенитную и мартенситные фазы.

3. Впервые предложен мартенситоподобный механизм атомного переноса в начальной стадии твердофазной реакции в тонких плёнках, который отличается от обычного случайного механизма диффузии. Массоперенос реагентов при этом носит направленный, кооперативный характер.

4. Создана автоматизированная установка для определения основных характеристик твердофазного синтеза Установка позволяет снять зависимости изменения сопротивления и температуры образца во время реакции от температуры нагрева и оценить временные параметры реакции (скорость нагрева, скорость изменения температуры и сопротивления пленки).

1. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции Под. ред. Дж. Поута, К.Ту, Дж.Мейера - М.: Мир. -1982. -576 с.

2. Bene R.W. First nucleation rule for solid-state nucleation in metal-metal thin-film systems // Appl. Phys. Lett. 1982.-V. 41, N 6. -P 529-531.

3. Colgan E.G., Cabral C., Jr., Kotecki D.E. Activation energy for CoSi and CoSi? formation measured during rapid thermal annealing // J. Appl. Phys. 1995. - V.77, N 2. - P. 614-619.

4. Clevenger U.A., Arcort В., Ziegler W., Colgan E.G., Hong Q.Z., d'Heurle F.M., Catral C., Jr., Gallo T.A., Harper J.M.E. Interdiffusion and phase formation in Cu(Sn) alloy films // J. Appl. Phys.- 1998 -V. 81,N l.-P. 90-99.

5. Bergstrom D.B., Petrov I., Allen L.H., Greene J.E. Reaction paths and kinetics of aluminide formation in Al/epitaxial-W(001) model diffusion barrier systems // J. Appl. Phys.- 1995. -V. 78, N l.-P. 194-203.

6. Wittmer M., Oelhafen P., Tu K.N. Chemical reaction and Schottky-barrier formation at the lr/Si interface // Phys. Rev. B. 1987. - V. 35, N 17. - P. 9073- 9084.

7. Wang W.H., Wang W.K., Silicide formation in Co/amorphpous Si multilayers // J. Appl. Phys. -1994.-V. 76, N3.-P. 1578-1584.

8. Zhang M., Yu W., Wang W.H., Wang W.K., Initial phase formation in Nb/Si multilayers deposited at different temperature // J. Appl. Phys. 1996. - V. 80, N 3. - P. 1422.

9. Nakanishi Т., Takeyama M., Noya A., Sasaki K. Formation of metal-rich silicides in the initial stage of interfacial reactions in Nb/Si systems // J. Appl. Phys. 1995. -V. 77, N 2. - P. 948950.

10. Gosele U., Tu K.N. Growth kinetics of planar binary diffusion couples: " Thin film case" versus "bulk cases"//J. AppJ.Phys. 1982. - V. 53. - P. 3252-2360.

11. Gosele U., Tu K.N. Critical thickness" of amorphous phase formation in binary diffusion couples //J. Appl.Phys.- 1989. V. 66. - P. 2619.

12. Hoyt J.J:, Brush L.N. On the nucleation of an intermediate phase at an interface in the presence of a concentration gradient Hi. Appl. Phys. 1995. - V. 78, N 3. - P. 1589-1594.

13. Мягков В.Г., Быкова Л.Е. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в тонких пленках // ДАН. 1997. - Т. 354, N 6. - С. 777-779.

14. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Быкова Л.Е., Мальцев В.К. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез и твердофазные превращения в тонких пленках // ЖТФ. 1998. - Т. 68, Вып. 10. - С. .58-62.

15. Мержанов А.Г. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез Физическая химия. Сб. статей под ред. Колотыркина. - 1983.

16. Мержанов А.Г. Твёрдо пламенное горение Черноголовка, ИСМАН. - 2000. 238 с.

17. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез: теория и практика. Под. ред. Сычева А.Е. Черноголовка, ИСМАН, Территория. - 2001. - 440 с.

18. Химия синтеза сжиганием. Сб. статей под ред. Коидзуми M.- М.: Мир. 1998. -247 с.

19. Левашов Е.А., Рогачёв A.C., Юхвид В.И., Боровинская И.П. Физико-химические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Москва, Бином. -1999.- 175 с.

20. Munir Z., Alselmi-Tamburini U. Self-Propagation exothermic reactions: the synthesis of high-temperature materials by combustion // Mater. Sei. Rep.- 1989. -V. 3. P. 277.

21. Мержанов А.Г. Процессы горения и взрыва в физикохимии и технологии неорганических материалов // Успехи химии. — 2003. Т. 72, Вып. 4. - С. 323-345.

22. Мягков В.Г., Фролов Г.И. Автоволновой процесс окисления плёнок железа // Письма вЖТФ. 1990.-Т. 14, Вып. 23.-С. 1-4.

23. Мягков В.Г., Бакшеев Н.В. Тепловое излучение при автоволновом окислении плёнок железа//Письма в ЖТФ. 1992.-Т. 18, Вып.6.-С. 14-17.

24. Мягков В.Г., Автоволновое окисление металлов, Наука и техника, №6, 45(1991).

25. Мягков В.Г. Множественный самораспространяющийся высокотемпературный синтез в двухслойных тонких плёнках //ДАН. 1999. - Т. 364, N3. - С. 330-332.

26. Мягков В.Г., Быкова Л.Е. Бондаренко Г.Н. Множественный самораспространяющийся высокотемпературный сиитез и твердофазные реакции в двухслойных тонких плёнках // ЖЭТФ. 1999. - Т. 115, Вып. 5. - С. 1756-1764.

27. Мягков В.Г., Быкова Л.Е., Ссрёдкин В.А. Осцилляции фронта самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в двухслойных тонких плёнках // ДАН. 1998. - Т. 363, № 6. - С. 762-764.

28. Мягков В.Г., Быкова Л.Е., Жигалов B.C., Польский А.И., Мягков Ф.В. Твердофазные реакции, самораспространяющийся высокотемпературный синтез и фазовый переход порядок-беспорядок в тонких пленках // Письма в ЖЭТФ. -2000. -Т.71, Вып.5. С. 268-273.

29. Мягков В.Г., Быкова JI.E., Бондаренко Г.Н., Бондаренко Г.В., Мягков Ф.В. Твердофазные реакции и фазовый переход порядок — беспорядок в тонких плёнках // ЖТФ. 2001. - Т. 71, Вып. 6. - С. 104-109.

30. Хачин В.Н., Пушин В.Г., Кондратьев В.В. Никелид титана: структура и свойства. Наука, Москва. - 1992.-162 с.

31. Корнилов И.И., Белоусов O.K., Качур Е.В. Никелид титана и другие сплавы с эффектом памяти. Наука, Москва. - 1977. — 180 с.

32. Курдюмов Г.В. Мартенситные превращения (Обзор) // Металлофизика.-1980. Т.1, №1. -С. 81-91.

33. Химия синтеза сжиганием, под. ред. Коидзуки М. Мир, Москва. - 1998. - гл.З.

34. Варлимонт X., Дилей Л. Мартенситные превращения в сплавах на основе меди, серебра и золота М.: Наука. - 1980. - 205с.

35. Кауфман Л., Коэн М. Термодинамика и кинетика мартенситных превращений, в сб. Успехи физики металлов IV. М.: Гос.Н-Т Изд-во лит. по чёр. и цвет. Металлургии. - 1961. С.192-289.

36. Пушин, В.В. Память формы М.: Знание. - 1984. - 64с.

37. Lin Y.M., Wang G.J. A direct method for the crystallography of martensitic transformations and its to NiTi and AuCd. // Acta Mater.- 2000. V. 50, P. 2967.

38. Filip P., Mazanec K. The two way memory effect in NiTi alloys. // Scripta Mater.- 1996. V. 35, № 3. - P. 394.

39. Uchil J., Mahesh K.K., Kumara K.G. Dilatometric study of martensitic transformations in NiTiCu and NiTi shape memory alloys // J. Mater. Sci. 2001. - V.36. - P.5823.

40. Chen P., Ting J-M. Characteristic of NiTi alloy thin films // Thin solid films. 2001. - V.398-399. - P.597.

41. Lehnert, S. Crevoiserat, Gotthardt R. Transformations properties and microstructures of sputter-deposited NiTi shape memory alloys thin films//J. Mater. Sci. 2002. - V.37. - P. 1523.

42. Noh H.Y., Lee K.H., Cui X.X., Choi C-S. The composition and structure of NiTi thin films formed by electron beam evaporation // Scripta Mater.- 2000. V. 43, № 3. - P. 847.

43. Lehnert Т., Grimmer H., Boni P., Horisberger M., Gotthardt R. Characterization of shape memory alloys thin films made up sputter-deposited NiTi multilayers // Acta Mater.- 2000. -V.48. P. 4065-4071.

44. Yang Y.Q., Jia H.S., Zhang Z.F., Shen H.M., Hu A., Wang Y.N. Transformations in sputter-deposited thin films of NiTi shape memory alloys. // Mater. Lett. 1995. - V. 22, №2. - P. 137.

45. Matsunaga Т., Kajiwara S., Ogawa K., Kikuchi Т., Miyazaki S. Internal structures and memory properties of sputter-deposited thin films of Ni-Ti-Cu alloys // Acta Mater.- 2001. V. 49. - P. 1921.

46. Cahn R.W. Metalic rubber bouces back // Nature. 1995. - V. 374. - P. 120-121.

47. Ren X., Otsuka K. Origin of rubber-like behavior in metal alloys. // Nature. 1997. - V. 379. -P. 579-581.

48. Suzuki Т., Fujimoto K. Composition dependence of structural parameters in the ortorombic y'2 martensite of Au-Cd alloys // Scripta Metall. 1997.-V. 37, № 10.-P. 1525-1530.

49. Kogachi M., Ishibashi H., Ohba Т., Ren X., Otsuka K. Examination of vacancy migration andlong-range orderig due to ageing in Au-49.8Cd shape memory alloys // Scripta Mater. -2000. V. 42, № 9. - P. 841-847.

50. Ohba Т., Otsuka K., Sasaki S. Study of rubber-like behaviour in a Au-47.5at%Cd alloy synchrotron-orbital radiation // Mater.Sci. Forum. -1990. V. 56-58. - P.317-322.

51. Murakami Y., Nakajima Y., Otsuka K. Effect of quenched-in vacancies on the martensitic transformations // Scripta mater. 1996. - V. 34, №6. - P. 955-962.

52. Nakajima Y., Aoki S., Ohba Т., Otsuka K. The rubber-like behavior of ¿¡'2 (trigonal) martensite in Au-49.5 to 50 at% Cd alloys // Mater. Lett. 1994. - V. 21. - P. 271.

53. Kozuma M., Murakami Y., Kawano Т., Nakajima Y. An isothermal martensitic transformations in a quenched Au-49.5 at% Cd alloy // Scripta Mater. 1997. - V.36, №2. - P. 253-258.

54. Уманский Я.С., Скаков Ю.А., Физика металлов М.: Атомиздат. - 1978. - 352 с.

55. Xie C.Y., Hsu T.Y., Chung C.Y. Shape memory effect of Nd-doped polycrystalline NiAl alloy // Scripta Mater. 1998. - V.38, №6. - P. 969-974.

56. Kim H.Y., Miyazaki S. Martensitic transformation behavior in Ni-Al and Ni-Al-Re melt-spun ribbons // Scripta Mater. 2004. - V. 50. - P. 237-241.

57. Ооцука. К., Симидзу К., Судзуки Ю. и др. под ред. Фунакубо X.: Пр с японск.-М.:Металлургия. 1990. - 224 с.

58. Potapov P.L, Ochin P., PonS J., Schryvers D. Nanoscale inhomogeneities in melt-spun Ni-Al // Acta Mater.- 2000. V.48. P. 3833 - 3845.

59. Nagasawa A. Martensitic transformation and related properties in AgCd alloy // J.Phys. Soc. Japan. -1973. V. 35, № 2. - P. 489-494.

60. Tomota Y., Morioka Y., Nakagawara W. Epsilon martensite to austenite reversion and related phenomena in Fc2-24Mn and Fe2-24Mn-6Si alloys // Acta Mater.- 2000. V. 46, №4. - P. 1419- 1426.

61. Lu X., Qin Z., Zhang Y., Ding В., Hu Z. The anomalous expansion of lattice parameter as a function of temperature for an Fe-24Mn alloy during у -> s martensitic transformation // Scripta Mater. 2000. - V. 42, № 3. - P. 433-437.

62. Lin H.C., Lin K.M. An investigation of martensitic transformation in an Fe-24Mn-6Si shape memory alloys // Scripta Mater. 1996. - V. 34, №3. - P. 343-347.

63. Tomota Y., Yamaguchi K. Influence of alfa martensite on shape memory in Fe-Mn-based alloy // J. de Phys.III. 1995. - V. 5. - P. 421-426.

64. Захарова Е.Г., Киреева И.В., Чумляков Ю.И., Уфименко С.П., Ссхитоглу X., Карамаи И. Механизмы деформации и деформационное упрочнение стали Гадфильда, легированная алюминием // ДАН. 2002. - Т. 385, № 3. - С. 328-331.

65. Chikazumi S. Epitaxial grown and magnetic properties of single-crystal films jf iron, nickel, permalloy //J. Appl. Phys. -1961. V. 32. - P. 81S - 82S.

66. Бондаренко Г.В., Иванова Л.Б. Садилов К.А. Рентгеноструктурный анализ тонких ферритовых плёнок // Заводская лаборатория .- 1973. Т. 89, №6. - С. 688-691

67. Li B-Y, Rong L.J, Li Y.Y., Gjunter V.E. Electrical resistance phenomena in porous Ni-Ti shape-memory alloys produced by SHS //Scripta Mater. 1998. - V. 38 ,№ 6. - P. 969-974.

68. Li B-Y, Rong L.J, Li Y.Y., Gjunter V.E. Synthesis of porous Ni-Ti shape-memory alloys by self-propagating high-temperature synthesis: reaction mechanism and anisotropy in pore structure // Acta mater. 2000. - T. 48. - P. 3895- 3904.

69. Kudryavtsev V.V., Nemoshkalenko V.V., Lee Y.P., Kim K.W., Szymanski B. Magneto-optical spectroscopy study of the solid-state reaction in Ti/Ni multilayered films // J. Appl. Phys. -2000. V. 88, № 5. - P. 2430-2436.

70. Clements B.M. Effect of sputtering pressure on the structure and solid-state reaction of titanium-nickel compositionally modulated film // J.Appl.Phys. 1987. - V. 61. - P. 4525.

71. Clements B.M. Solid-state reaction and structure in compositionally modulated zirconium-nickel and titanium-nickel films // Phys. Rev.B. 1986. - V. 33. - P. 7615.

72. Мягков В.Г., Быкова JI.E., Ли Л.А., Турпанов И.А., Бондаренко Г.Н. Твёрдофазные реакции, самораспространяющийся высокотемпературный синтез, и мартенситный переход в Ni/Ti тонких плёнках // ДАН. 2002. - Т. 382, № 4. - С. 463- 467.

73. Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции. Химия - Москва. - 1978. - 127с.

74. В.А. Шкловский, В.М. Кузьменко Взрывная кристаллизация аморфных веществ // УФЫ. 1989.-Т. 157, Вып.2.-С. 311.

75. Gilmer G.H., Leamy H.J. An analysis of explosive crystallization of amorphous layers // Laser and Electron Beam Processing of Materials. - New York, Academic Press. - 1980. - P. 227 -232.

76. Мягков В.Г., Быкова JI.E., Бондаренко Г.Н. Твёрдофазные реакции, самораспространяющийся высокотемпературный синтез и мартснсптпмп переход в тонких плёнках // ДАН. 2003. - Т. 388, № 1. - С. 844-850.

77. Бриджмен П.В. Новейшие работы в области высоких давлений Гос. Изд-во. ИЛ. - 1948. 299 с.

78. Ениколопян Н.С., Сверхбыстрые химические реакции в твёрдых телах // Журн. физ. Химии. 1989. - Т. 63. - С. 2289.

79. Вол А.Е., Каган И.К. Строение и свойства двойных металлических систем, т. III. М:, Наука, - 1976.-814 с.

80. Sieber Н., Park J.S. Weissmuller J., Perepezko J.H., Structural evolution and phase formation in cold-rolled aluminum- nickel multilayers // Acta mater. -2001. V. 49. - P. 1139- 1151.

81. Gavens A.J., Van Heerden D., Mann A.B., Reiss M.E., Weihs T.P. Effect of intermixing on exothermic reactions in Al/Ni nanolaminate foils // J. Appl. Phys. 2000. - V. 87, № 3. - P. 1255-1263.

82. Jeske Т., Schmitz G. Nanoscale analysis of the early interreaction stages in Al/Ni // Scripta mater. 2001. - V. 45. - P. 555-560.

83. Battezzati L., Pappalepore P., Durbiano F., Gallino I. Solid State reactions in Al/Ni alternate foils induced by cold rolling and annealing // Acta mater. 1999. - V. 47, № 6. - P. 1901-1914.

84. Garcia V.H., Mors P.M., Scherer C. Kinetic of phase formation in binary thin films: The Al/Ni case//Acta mater.-2000.-V. 48.-P. 1201- 1206.

85. Srinivasan D., Jayaram V., Das P.K., Chattopadhyay K. Nanodispersed microstructures on laser mixing of A1 Ni multilayers // Scripta mater. - 1998. - V. 38, № 6, - P. 857-861.

86. Biswas A., Roy S.K., Gurumurthy K.R., Prabhu N., Banerjee S. A study of self-propagating high-temperature synthesis of NiAl in thermal explosion mode // Acta mater. 2002. - V. 50. -P. 757-773.

87. Atzmon M., In situ thermal Observation of explosive compound-formation reaction during mechanical alloying // Phys. Rev. Lett. 1990. - V. 64, №4. - P. 487-490.

88. Dyer T.S., Munir Z.A., Ruth V. The combustion synthesis of multilayer NiAl systems // Scripta mettall. mater.- 1994.-V. 30, № 10.-P. 1281-1286.

89. Rothhaar U., Oechsner H., Scheib M., Muller R. Compositional and structural characterization of temperature-induced solid-state reactions in NiAl multilayers // Phys. Rev.B. 2000. - V. 61, №2.-P. 974-979.

90. Michaelsen C., Barmak K., Lucadanno G. The early stages of solid-state reactions in NiAl multilayer films // J. Appl. Phys. 1996. - V. 80, № 12. - P. 6689-6697.

91. Sussan P.E., Marder A.R. Ni-Al composite coating: diffusion analysis and coating lifetime estimation //Acta mater.-2001. V. 49.-P. 1153-1163.

92. Ng H.P., Ngan A.H.W. Metal-to-insulanor transition in sputter deposited in 3NiAl thin films // J. Appl. Phys. 2000. - V. 88, № 5. - P. 2609-2616.

93. Ma E., Thompson C.V., Clevenger L.A., Tu K.N. Self-propagating explosive reaction in NiAl multilayer thin films // Appl. Phys. Lett. 1990. - V. 57, № 12. - P. 1262-1264.

94. Mumtas K., Echigoya I., Nakata C., Husain S.W. Effect of cold rolling and subsequent annealing on hot pressed Ni/Al laminates // J Mater. Sci. 2001. - V. 36. - P. 3981 - 3987.

95. Edelstein A.S., Everett R.K., Richardson G.Y., Qadri S.B., Altman E.I., Foley J.C. J.I I.Perepezko, Intermetallic phase formation during annealing of NiAl multilayers // J. Appl. Phys. 1994. - V. 76, № 12. - P. 7650-7659.

96. Ma E., Thompson C.V., Clevenger L.A. Nucleation and growth during reactions in multilayer NiAl films: The early stages of №зА1 formation // J. Appl. Phys. 1991. - V. 69, № 4.-P. 2211-2218.

97. Colgan E.G., Nastasi M., Mayer J.W. Initial phase formation and dissociation thin-film Ni/Al system // J. Appl. Phys. 1985. - V. 58, № 11. - P. 4125-4129.

98. Cjtes S., Fernandez Guillermet A., Sade M. Phase stability and fcc/hcp martensitic transformation in Fe-Mn-Si alloys // J. of Alloys and Compounds. 1998. - V. 278. - P. 231238.

99. Rong L.J., Li Y.Y., Shi C.X. An electon microscopy study of the reverse transformation behavior of stress-induced martensite in an in Fe-Mn-Si alloys // Mater. Lett. 1995. - V. 24. -P. 143-146.

100. Мягков В.Г., Быкова JI.E., Бондаренко Г.Н. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в монокристаллических тонких пленках // ДАН. — 1999. Т. 368, N 5. - С. 615-617.

101. Мягков В.Г., Ли JI.A., Быкова JI.E., Турпанов И.А., Ким П.Д., Бондаренко Г.В., Бондаренко Г.Н. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в эпитаксиальных Pt/Co/MgO (001) тонких пленках // ФТТ. 2000. - Т. 42, Вып. 5. - С. 937-941.

102. Мягков В.Г., Быкова JI.E. Твердофазный синтез и мартенситные превращения в Al/Ni тонких плёнках // ДАН. 2004. - Т. 396, № 2. - С. 187- 190.

103. Быкова Л.Е., Мягков В.Г, Г.Н.Бондаренко Твёрдофазный синтез и мартенситные превращения в тонких плёнках // Химия в интересах устойчивого развития. 2005. - Т. 13, № 2.