Восстановление профиля концентрации примеси в методе резонансных ядерных реакций тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.01 ВАК РФ

р р §сл!сщ физико - шюжшжж лкстшт

г 0;í¡ i На правах руксихси

ЗАБАКТА ОЛЕГ ИЗАЮ?'1Ч

. УДК 539.12. 04

i з

С

ВОССТАНОВЛЕНИЕ ПРОФИЛЯ КОНЦЕНТРАЦИИ IMMECH В. • МЕТОДЕ РЕЗОНАНСНЫХ ЯДЕРНЫХ РЕАКЦИЙ

01.04.01 - Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований

Автореферат ^гасертацик ка соискание учёной степени •кандидата физико-математических - наук

СУШ - 1993

С '- -

Раг-с-г. zv...zzY.eH2. в Ияотятут? прокладкой АН

г. Суш. .

Hs'^-Sfie руководители; довтср фгэмкз-кз? ?катическ::х. ту:..

npcjecrccp, члзн-корреспопдск: АН Укг.г::ш: Е.Е. Стсриасо,

кандидат 4<гзшсо -«зтегатическк:' ¡.с.-;:: А. II Кульмгятьев

Официальные

сапснеЕТУ; ' доктор ^»кко-иатс-ьаткчгсскх нгук,

с

профессор ' Б. А. Нэкоиасало,

кандидат фазисо-ьгатематач^гу.:» KCV:c . А. Л. Пог?егняк Бьдузг орг&кпьаиия: СуыгкпЛ Еедагсгечгакгй институт.

~iEirra диссертации состоятся ь. кг г?гседанк!' сяецкапизкрзБанг.ого ог-гега .К-OSS ''SO 2

:.- Суигкок' £1!мгкс-тгх1*сгггхческок гксгитуте. -Л;г>гс; ?;~4С-37, Сутая, ул.Fiiiicicorc-Корсакова, ¿.2, тел, 25-34-55 С диоггртрадсй kdsho ознакомиться е оягяггтекг Сс'ГП • ' Адтереоерат раоесяап т.

Проси« ярйягтъ участке ь .работ» совета еле прислать етзкь 1 сдкак Э5к?е»лляре( заверенный лечатьг организации.

Учг1:<£ секретарь

•:-: - с?? ^ с-? А.*' .

те;.;ь:, Vctcviîs ;::.голъзс;з2П::л

т.: реяг'д;":!, вссбуждае:.&к засскс-энэргетгчя&з: sycascï

эардленЕЫх частяц, ггглъкэ к

!

сгр/'-'тула л соотавз приповерхнолтасЯ сбяастх -sepsuz

несколько дэс лтллзткй. Такяе яагахт^ргстак*.! v :-:ода ?«з.пй :г<игс ядс-рнчх рэахагй С?Я?), как исг'иратэльносгь, дг.пелы ccf ружяпк Легких алэмеятоз и Hepaspy'assu'il гзрахте;-хггяхзя сделал:: с-гс слвгу из яаз£слее удсс'!ш;{ :i точках лдгтгдсэания хскцэнтрацяЗ легхиз элементов к ях распределен:::! гг г.г'СИ!-? п п-^аслялл е:.;у зая гп». зазноб мест" о^едя яру:'::.: v«rw isusKT-.jro ачализа матсзаалоз.

2 ллслгдл.э годы з связи' с разь;ггиэк таках отрдслгЛ, ла:с •mpcn rrr---:rro"i;î::a, чодлф® ..для язя:; о-rлаз кеанг *и метода?-:: ллзс-р-аестз! л г. s. , существенна раеаярялся крут езгэктез, длл пегл-здгзакля хетерж" ¿етоа РЯР есс&яяо перелектаэ«»". Ол"--v^iim» этого л вяявг. няе потгнаиалхно гаяохэняьи з

л-змеггеотел едзртлзаллсь рядом прячгн. 3 частяост:!, го ллл ддр укредояялй лодкод, ксгла длл езре.2Э.{9:гзя

расг.??;эяэаия копитнтрацл:: пркмеси ссуаэстзяяе-гсл г V* п?;алы энергий' з налу глусап. Трудязстз "этода езлзаньт с ьереавт^сстьк нехлтлр::': узгг5«а.та*»*агж1 ?акж. как нвхерректиаа1 хара»:

ураззэяяя »ыхеяэ., гыгоу.ая "^стз-тепъность рвзугь.атез s идполъзугмеа модэлз зза*.тздейэт:гдд лучка ««"Hcn с г.гаэгтзем, :. таг™ о лесихслллость» судестьекного ' улучаянхг парзяэтрез окгпзртшенталы^го с<5ср;*дезпнхя: ^.лоеллч-кля > •^л'л^-л ; чтя по -'ютгтм • г■:.■•:?z :;*.•••••• г

1 %D* л скределгзхч охлеглл ¡r/"ia л

-г -

точность».

В сеяз" с этим, возникла необходимость реиенля следующие задач:

1. Получение уравнения выхода в кэте^в- РЯР, которое адекватно отражало бы современное пг.эдетавлэяиэ о взаимодействии пучка ионов с твердым телом п ¿11 достаточно эффективно в вычислительном плане:

2. Создание пакета программ для решения обратной задачи г, методе РЯР о учетом некорректного характера задачи решения уравнения вывода;

3. Разработка . автоматизированной системы стгбллизадаг энергии лучка конов и . энергетического сканирования применительно к электростатическому ускорители;

4. Проведение экспериментальных и теоретических исследований распределений п^^меск по глубине. „езникшгих з результате различных псоцессоа иеяво - плазменной обрайотки материалов и эволюции Таких распределений б разллчныг условиях.

Целью работы является с оьер., енств охание воз::озкостей метода РЯР:. .. 1) разработка автоматизированных сисге:,; стабиг. «зачти и . сканирован;!:;; 23 создание пакета програии полкой обработки кривых выхода в методе резонансных ядерны:-: реакций;•ЗЗиссяедовагае возможностей этого метода при решении актуальных практических задач в различных областях науки и техники.

Научная нов и-на. работы закле ¡ается в том, что в ней:

1 Разработана схема решения урчвчения выхода в методе РЯР при решении обратной задачи с учетом некорректного характера

-угтгс ура^"ек

т ."¿едлсх^на ама С752л^2заи,гз я ягггкгзяя сквргяи с .•.•¿гсгрсстатичэсксг а ускаритэзл.

3 Слгэдглзну прг^глл . зрхи&г«! алгжк'л л титана,

э ргсультглоклсй 'лмдлантад;::! з матрицу. Ге.

гссгт.. с:слз зло'лггсЯ структура 7:К-Си. Наследовано

з.гл:Гл"? гг лрг;-::г-т.. атсуса ¿лагоро^нш газсз на прсигп

' ^ о

-"юность оаллсч.:; а разработке скоте;«

: ягкзнгям энергии электростатического уо.-:ср.-~г.-.?, ссгдгаг:* гтакгта лосграгск, предназначенного длл лт.-:ой обрабс "сл о^еятрез в м~тсде РЯР и отработке мг.одикл :др?:;е;:эн'ля п-э;ярлмэсо"

Резу.тьт^тн работы могут нкЗти применение в сргазззацяли, аиейгпг узхорлтели г-\?ксго де». .твл;. кгх дя.т 'модернизации : л-^трукцил. и совершен "тзевани.т используемых

а^-аллза Ееаэс;ьа: ХФТЙ :Хар:хсз), -ФЭИ СОбнянсяЗ, КГЛФА 'Салкт-ГГетербуртЗ, -12Й& МГУ СИсскза). ЙЯЙ СХльзЗ, ЛйляФ 'ТгмсдЗ. ОйЯИ (ЛубнаЗ.

Апробация работы. Материалы работы дск^чдкваяясъ и оесузсдаяись; - :

-на III Всесссоной яенф-ренщ»" по макроанализу ,;а меши-л пучках С Супы, 15903

-на научно - техническое холтеренцж! преподавателей, сотрудников и лудентов СФТИ 19£.'.гЗ

-на XXII нерациональном совещания по флзихе лзаимодег.-твия зараженйш: чгэтяц с кристаллами (МГУ. 133ГЛ.

t.-is. XI кэ^унарс-^кс:'. ¿.c^icpx-.u:::: гл / г.

Isa -Ii Î}zz:p2£, i?ZZ).

Гг;бп':з1',' ru ГЪ те«? saccepi myinzxcK:.;;;- 7 рас г-:.

ÖSLSIi к ÇXSIûSffiâ писсеотацп;. :ьзгг::т к~ ьаедсягг. чггарех таг. сга/z Ei3~r.c-:-:

яа:орггу?-\ зклгат^-г» ¿13 рз*сг. rV-'::::

кзлогена на ici страной каг/зспяо: т&кзта, с^хз-.-.'-:? рисунлоЕ л 2

¿2222 прегог^.-.л* : -der;-' г.гк

v.STHAZiYMesiii'Si каук, c.yzyaz;:-:' оснс-;:-:^ г^ло-гн::.-, с г. ац::;::

1. И2.7еиат«чгск££ с-гг^к-лл г./. аавксвксстя выгмг ргпенакгкгй яге;ес-й p->a::i:r2 с-пр^г-ггл-к;:/ профиля ке'^егтрггик элементен ио тпус/.т- ки р-ех-ггг::.-: зср^сг са&гчк с. учетов кекоръектазго характер! »ш:««:* iimzs. геср«п:чэскй5 г: ьхепержьнтгльягл пр&г-а-р;:^ 5-г:л»

2. Аь?о;*:гТьс;:рпъаЕкая сястл» стазхяетаакк г /ir..-. кэкз& к 2керггп5Ч»гк2гс скакирс>1гг.:'..<: у. г-зг.ектрсст^ткческслгу усхсротета. с

3. Результата определения грегг/.ля расг.р-сспгГ.;'.;. AI, 7;. икпхгЕткроЕаккь'х i »-Fe. с- •

<. Результат гкегерхмектггъикх кггкгоьгткя sise^pfeKü'Js ¿токов бгагередшгх газоь на процесс csoEcrus структур типа 1iN-Cu.

ccue?:*urï"£ раб«::!

: '• V" pa; ■;■:-! г.р:*.:- зргг^лтегглнчз >:\рзлт:

г .-г*. 1~л -»v.z г::'.; oc.'íí-Tj:'.

v м;«с-: r.-rb y.-.r.-ïio р-игг.г л

- ..• ::: ví:,,.-:- а:-*.."".::: 2- r.z ; рдг.сг:^.-.?^':* лггу.:'.::

:■:.-._r.r.pí: лл-^т^я лз „злис:* YCI 1

:: >::.'! :;a ллрал v.cr.z^cú пр'лм.~с;:.

. * '.' .* ГГ.". * *s "'.* i Y. •• - "~•• • Z'.^y" ' "r" '1

?C'í.). ъз сс-р-гзу л прсгкаярзярсзаяа

:rijc:;ïKCHi:i: {.p-.çr ... иглслкг/гы^:: еря т.т/2:"-т.

.... г: р „с.'-..-гс np;í:.<sw;l, с~ H С".

I..r.rv з расзг-з зслучечс уз^в'тгкяе ~ы:согт. з методе 3

сглзчг .лмю.-оз.теях? CCI) яо гнягда Z }

о

• " ~ , ' ; ~ ~ ' ~ - - ' ~ ! ■ •* '

грз I - ■::'•: пучка яснеа К - псстолняаз ,:::.< zxüíJZ /-r.csi'.:î о?.'.:.эр-,5М2нта аэяэт'лаа, вг за^з зр^гхгдъзсстл

с-лсте«; " л т. s. . CCt5 - пслсмс^ лр:::..^:; по r.TySffiis, qtt.â ) - .f-pc ур;-з>:^л'/.:- CD- зэсся-хяссть .гсзбуз^-гния ас.чс» рзс?••■атрлза.-уса рътчгл! ка гяуагл» I. г1нгзгр::рС2зпгэ з Cl; azar m-иптгриалу ía.b! расяреяэя-гзия гряц*--:: j

зсзазце.

&рэ уравнения (13 когно определят^ ® ьиде:

с

О- ;

?{*-.£,> •= I <пЕ) 01Е;Е,;О сЕ,

» и " I

где с-'ЕЗ- сечение рассматриваемой ядерной реакции, дСЕ;Е,;13-пяотеость вероятности нахождения частицы пучг:а в интервале знгргий ¿Е вблизи Е на глубине 1 при средней начальной энергии частиц Е ,

Функция дСЕ;£ определяется сягдугжики факторами: 13 зкгргетичгским разбросом исходного лучка; 23 дсяляеровсхин yxr.peny.eu; ЗЗстраггЛЕКГОУ энергетических потерь; 4)торксэкт«г способностям:: ыяаенк, Бри 1 « С .д(Е;Е ;1) описывает энергетическое распределений пучка частицпаласаих на ыизекь,, который определяется параметрами коккреткаго ускорителя заряженных частиц. Обычно яриии'.а&тся, что распределение частиц в пучке является функцией только £ - Е , которая взбирается ь зиге распределения Гаусса. Лля большинства экспериментальных установок дисперсия зтого распределен!:.: легит ь пределах от 100 эВ до 3 кэВ." Энергс тачзски": разброс, обусловленный э$ф_:<ток Долпяера, кокет быть такие пру.олигенко сглюак гауссовой кряьоа. Вклад з££е;;та Долпяера в эпергетическкя разброс обычно не пргвиаает нескольких десятков гЗ. Суммарное влияние кеь'онохроштичиооти исходного пучка ионоь и вклад аффекта Лопплера цэгет быть описано распределение!.! Гаусса с дисперсией распределения (й* 21..2, где ¿^-ширина

начального энергетического распределения пучка ионоз, -вклад эффекта Дояплэрг.

При 1 > О основной вклад е функцкк д С £; Е1; 13 вносят процесса тсркогеккг. Интегрируя по исходному знертетичесцэыу

распределение ■ частил, г лучке, псяучте

о л

д(Е;£,;1) = | ¿е',

-

где *•{£ ;£;'."> - вероятность того, что мокмфс'латкч&сккк пучат •:астлц с опертое:': Е будет икгть энергию '£ на глуокгс г. '¿та ьол:чпна определяется страггяккгом эк?рг5тс*гескид потере. Ксд.-.ретаьй вид уравнения, сякскзас^бго величину страгглкнга, , выскраетоя в зависимости от играны дсдояьзу.пюго резонанса и глусдкис мд^-эк:;. иироккх резонансоз С Г ь 1 ко?) и/кля

со,:ь!_"" гдусдн <'х а. Ю) аоктэ ясгояьзсвать годедъ Бора, в •ладьна:-: случаях яесйссдаю пользоваться точным реаенкем Еазддсза.

Окончательно,- уравяэяке выхода т:?=т вид:

¡р Г&

' ГС£ } = I К Г СС1) [ -С£3 [с „СЕ'- £,) «

1 ^ Л 1 Ы) 1

а О С

Пол;, чэнноэ уравнение» вклада допускает аналитическое. реЕс-ниг- только в раксах прост-зймж, чрезмерно упрсаенкьд: ь:сд.д?^. По:то:/у, для получения фунг.ддк ССгI) неооходкко ксдодьзсЕать те кл;: дкыэ численные кетоды

Ьлдэча пс спгелеленкс С{1) путем решения кнтегсглько:"-уравнения С!) дзля-зтся некорректно;:, поскольку послелн;---представляет собой уравнение Фредгодьиа 1-го рола. Для реаенкя ксполвзустся различные подходы: лрямае кетодь, предстаЕяекпэ ко.-, омой са~.;:о"!.'.ост1: ССО в виде л;:ягйгоь кскзяягк*и каккх-дясо фуккцг:: или разложение в ряд по систем? ортогональных ползгго\с-з, разлит» иттерационвы? игтодн к т.д.

ji/.a згсл-г £~пн,:лаг.т трудаости, оаллаяные с згвдйасгаэннссгь.с каустсйчязсстьс рзленлл, крхзздлса •. дслуи-алг .iü::--:? нсприешзпелс ресульт. .се. Дола-тсл ь-тсд с г.;...;, чго 2 гладах функций, наиболее эйекглвньш матг::м додала уравнения типа С13 пря на а;": е.-

огракяченак явллетса кггог рагулязлзац;::: ло

Во второй главе Длссортад:::: rc.a-.oio, что р.ч-лл^лл:: этого алгоритма лр;;мэнигела;;а к ураа^нл.о • '-а:;;. • ?Н?

озодлтоя к чаате-ккоа ;гла^2с.кй5г0 "/.лала

СГ.2дусцего вида:

dCCt}

Hu ССШ] = « И С 'Сt3 +

ж !

£

1

cCE,L)CMU d:.- YCZ) j j

Показано, что иопояьпсзанлэ iters г a p лл лярлоадл:; л г-Ткчснову в задаче определения CCD з \-:етс~^ ?Я? исас.-гл,-коррактко учесть: аЗокспори;.:энталг?;ь;.з е..

прийлигег&ый - характер теоретического сп:с;-гал лрацг-::-.-:. взаимодействия вдаокоэнергетачяьпе вок.^з с аел-.-стаа;.!, :-.} вичйбяитэяьнке погрешности, связанна с длзхреп-злдлэй задач;:, а такяе оценить влияние всех этих $a?.ccpci на точность по -учаемогс рзиеная.

Прозе>р:са кр«аяяьног?и прадлохенной модели длл нллалдзллл CCt) прове/члась з 3 этапа. Hi. пер.о»< прслэрялааь пргвяльзсст^ рззчэта ядра уравнения выхода, ка втором - правильность р-"-лэнлл ойратдой задачи методом регу^гоягаани по Тлдокоау. л

t-st* C;-.¿ cry'l' ; гtгкок-птг-яьезя про^рка гу7?и ct,2£e?kus

тг^ретич?:- v р.гсс :;':Í :ссггркогленякх правиле:: -чя ;. í ус.-сьиг; эксперкие-ктг.. I" ::rc--r;>::* гтзгйлькггг:; расчета ядрг rsrerpaaiHc:? ур.чг гг?.':*? р-.ос.ч-трУЕзлзеь слопзггя струг-ург. подро;-.-.:-« гг. \.чад.:з,:р::? гдкзл г / !л:г?1 5. ai. Nucí. Зг.згг. ¿nd Hnh. - У■':■!. -?• 1-13 •. íú-nr.-n зс?алаеь ядерная р?2кцяя

' 1-У "рямсй ззга'гг ¿ют госотаксмени

•r¿ •zn :: сгрукту; 2 игггя::, ьсгор*-? скгагягсь таккта is, лак я з р.чгсте Кшг?! В.

npcsc-ркя кзрректасст;! алгоритма решения ./¿рат'-х;: г^дг-г: рагсаагрггзпгь сглъзыг*. недель. Предполагалось, что ь с-с;.-а-г.г . сзгтссзгй :::•< í-'о. грисугстгул? прамез* Аг с атсмньм vp.'.air.'.:;.: v-'Kíos i'i , .:рс$;:ль распределения которой сзндаястзя СС 1 = С expí-ftD.

£:..t распределения примеси использовалась

Р1..к:г,'л "'"'i. , сечен:»? которой опгсьааяссь формулой

- Ьггнсрс с .параметра:.:;!: 2 е 1101.3 кзЕ, Г = 0.040 гнерготачеиккй разсрос коков гучк? полагался 0.3 температур; ссразаа - 200 К. .Энергия пучка

1 иктьрвглё от 1Í00 до 112.1 кэВ с магом 512 эВ. Г параметра:.:;' рассщт^алсзь ядро уравнения С1), а

кс:;сльос*акие «гдепьяс-й ¿ункдя: СЛ)- позволило рассчитать ;'..ч:кииг> ькхэдг rlZ }. Наличие на кривой статистически осусдсгленчнх флуктуация. коделирогглссь путем задания новой фуимая». выхода:

iCE^ = УСЕ,DС1 - £¿.r гл«- i: - сяучзйныр отклонен, л, которые разигигвалксь с

генератора случайных чисел. Показано, " что даге при г! ( << 1 прямой, ьсетсд решения уравнения вьлшда приводит к ф^якчески нелрземле.'гку результата« в та зргкл, как разработанная сгеыа позволяет корректно ззсотагойдть зависимость СС13.

Эксперигэагальяув лрог-ерт/ правиль-костл г.р п.гзнлс;: иодэгш для нахогдеаия СШ лрсзодляи на ссразцад Га, легарсзаазых хояааа П. К-гллантад-я: грозодияас^ прх усхср.;са-з:-.' напряжении 40 кВ еснння яу-чом с зарялзг^м сэстаэс:,;.

СоЕпадеЕве про$аяей концентрат:;: 71, смсдгягрзваяного с поысцыз прогрг1е23 ТГ;1Л для данных условия окслерлае:-гга ;: восстановленного по экспериментально измеренной кривей выхода ргзонансной реакщш 48Т1Ср, г)49*/, с Е =100/ я Е -,=1013 хэ5 таю» свидетельствует с Ераздльноста предлоге:- нзЗ модели з целом.

Третья глава содержит описание спроектированных систем стабилизации и сканировала, обеспечивавших получение следующих параметров: величина зн-ргетпческого разороса при ускоряющем напряженки 1 МБ ¿100эЗ, минимальная величина шага энерг.гичесхого сканирования - ЮоБ, диапазон изменения энергии при использовании системы сканирования =3% су средней энергии.ускоренного пучка ионов.

Разработанная система является абсолютно калиброванной, езебодна от эффект ;в гистерезиса и полностью автоматизирована. Ее использование позволит существенно улучшить всзмоянгсти метода РЯР при восстановлении про&илей распределения гримесей по глубине с высоким разрешением:

Четвертая глава посвящена описаний экспериментальна:

'лсс.тэдований, выполненных с использованием разработанное системи. На примере исследования даффузяа О з 31 псказзна чувствительность результатов к точбси форие* резонанса, а такдо проведено сравнение схемы решения лряыой и обратноЗ задач. На зрамерэ А1, дашлантпрованяого з Ре показана вазяосгь адекватного саясанат взаимодействия лужа ускоренны:! понев с в&аестзом. Возможность использования иетода РЯР . з случае нескольких едновремгняо зозбугдагянз ррчсканосп,

продемонстрирована на примере Тд, иыпяаятарезаикего в 7о. При этом впервые до дублету бянзхсрасположэяяых реэснаясоз был 2ссстанозлен просаль распределения 71, образсвадшг.гся в процессе высоксдсзной имплантация з ?е. Исследовалось влияние примеси яяертнш газов. на процесс радиациоянэ-стимуякрованней диф$узхи. Был восстановлен состаа слоистой структуры ПН - С:: ¡1 сделан вывод о той, что обработка иояаыл инертного .-лог позволяет управлять процессом диффузии Н.

основные результаты работы:

1. Разработана адекватная математическая модель сппсажя

энергетической зависимости вьыода резонансной ядерной реакции

1

для определения профиля концентрации элементов по гпубяцэ решения обратной задачи с учетом некорректного характера уравнения выхода. Проведена—теоретическая и экспериментальная проверка это? модели.

2. Создан пакет программ для полной обработки спектров в методе РЯР, вклпчащий в сес,'< решение обратной задача на основе метода регуляризации • по Тихонову, а также реи:е;.л:. прямой задали для слоистых структур.

3. Разработан- аьтокатааироааняыэ систсми стайглияадо: энергии пучка и экергетачасксго сканирования.

4. Определены профили распределяя алк.шнлл к тлталх

и

образовавшая в результате нояноа иыяяактацкл з матрицу Fa. Восстановлен состав слоистой сттт/ктуры Tilí-Cu.

5. Показана высокая чувствительность получа-эмкг з .лгголз ?ЯР результатов х. заданно точней $орда резонанса, ¿¿бер/ адекватной модели' процесс i взаваодезстваз усхсргннсгэ лу-л-'.л ;:о:;тэ с влдосгзсм.

5. Показана возможность использование метода дл."-" определеяая профиля примгеи не только ло изолирссакьойу резонансу, но к ло группе одноэремек-о дезбу^ае-й :г рэзонакеов.

Основное содержание диссертации опубликовало в работа?: i.Ззбашта О.И. ,Кулькевтьев А.И. ,Сторияко Э.Е. ,Пяукогг í.G. Пакет программ для расчета разраданяя по глубакг з катодэ резона}, оных ядерных реакций //Сб. материалов З-rü ВсесовзкоЗ конференции ' "Макроанализ за ионна:: пу-глал", -IGG1. -Z. °35-233;

2.Дгдпк А.Н. . Забашта О.И. , Ifesiaäcoa E.H. к -р. Onpssonsan-s

г

фтора а. образцах соча«- методом ядерных ргагтаг на гаедгвян'л чю-иаагс.//Там зэ. -С. 271-274; '

3.Даете А.К., Эгбацт- О.И. , Ехзчэа О.И. Камора р.-сгещшл для комзлзксяого . элементного анализа кате-лал^з //Гам s-э.

- 144-142;

'г. глсл-па 0. X, Яебеяенхо H.A., Сав;*.ц O.K. Рзгоаостгл автома-;»: pcsasraoÄ сястемы стлоилл^алли с л

■ с::£-ргэт:г*?схсгс екаяирслая?я элгктр ^отатичэсксга ускернг?-

■ ля // Тезис? долл. кауч.-тех. кокф. преподавателей, сотр.

ст. ОКИ Î932 г. -Сумы, 1ь32. -С. 62; rî. сааа^та О.И. , КуяьмоЕТьев А! И., йестеренко А.£. ю др Определило профиля конце нтрадлз: примь«к г методе гозоуаненк:: ядертас peaxusß //Наторкали XXII !.л-и:ац;!онал:.:2сго оого^. ло флзлке взаимодействия гарягрнньс: частиц с кргстаяггми. -МУ, 1993. -С. 161 - 165. 'о. ЗаЗддта 0. И. , Кульдантьез А. И. .Нестерезко А. Е. .Сторижко В.Е. С'Пр£-дэяе>:;;е профглл кояцечтрации прямеоя а методе > резона.ьс".:л: ядерник реакций. //Укр. . фга. 'журя.' -12S3. -Т4. -С, 434 - 5DÖ. 7.3а6адта O.Ii., Ку,тъ;,:гктьов А.Н. , Стсрижко S.S.. Глубинное про^иягрсдакЕе легдлд прл."~оей методом ре; ояаненга ядерзнх •р-загдай. //Известил РУЬ«зв. Серия: "Фкзика" -1993. -Т5. -С. 73-?3. • • «