Генерация мощных ионных пучков в диодах с самоизоляцией и применение этих пучков для модификации поверхности материалов тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.13 ВАК РФ

Введение.

Глава 1. Обзор методов генерации мощных ионных пучков ( МИП).

Глава 2 Экспериментальная техника и диагностика МИП.

2.1 Ускоритель "ПАРУС".

2.2 Экспериментальная техника в работах по применению МИП для модификации поверхности материалов.

2.3 Диагностический комплекс.

Глава 3 Генерация МИП в диодах с самоизоляцией и в микросекундных плазменных прерывателях тока (MILLIT).

3.1 Генерация и фокусировка МИП в диоде сферической геометрии с пассивным анодом.

3.2 Генерация и фокусировка МИП в плазмонаполненном диоде сферической геометрии.

3.3 Генерация МИП в микросекундном плазменном прерывателе тока.

Глава 4 Применение МИП, генерируемого в МППТ, для модификации поверхности материалов.

4.1 Физические основы модификации поверхности.

4.2 Численное моделирование взаимодействия МИП с металлами.

4.3 Экспериментальные результаты.

Актуальность работы. Перспективность использования мощных импульсных ионных пучков ( МИЛ) для различных технологических целей и изучения новых физических явлений, происходящих при взаимодействии МИП с конденсированными средами, обусловливает необходимость развития методов генерации и фокусировки МИП. Взаимодействие МИП с твёрдым телом и процесс модификации поверхности при облучении ионным пучком также находится в стадии интенсивного теоретического и экспериментального изучения. Актуальность указанных тем несомненна.

Целью настоящей работы является получение мощных ионных пучков с энергией до 2 МэВ и их фокусировка до плотности тока более 10 кА/см , а также исследование модификации поверхности металлов под действием МИП, генерируемого в микросекундном плазменном прерывателе тока ( МППТ).

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1. Создание наносекундного ускорителя "ПАРУС" с импедансом 2,8 Ом и номинальной мощностью 2x1011 Вт.

2. Исследование генерации и баллистической фокусировки МИП в различных схемах диодов с самоизоляцией.

3. Исследование однородности генерации ионных потоков в МППТ.

4. Исследование изменений микротвёрдости, коррозионной стойкости, усталостной прочности металлов и сплавов, обработанных ионным пучком, генерируемым в МППТ.

Научная новизна работы состоит в следующем: Впервые исследована работа ионного диода с магнитной самоизоляцией с пассивным анодом при применении плазменного прерывателя тока для обострения мощности на наносекундном ускорителе. Показано, что в отличие от магнитно-изолированного диода с внешним магнитным полем, генерация МИП происходит на фронте импульса и задержка генерации МИП относительно начала импульса мала.

Впервые исследована генерация и фокусировка МИП в плазмонаполненном диоде сферической геометрии, который работает в цепи с индуктивным накопителем в режиме плазменного прерывателя тока с обострением мощности.

Впервые исследована модификация поверхности металлов под действием МИП, генерируемого в микросекундном плазменном прерывателе тока. Показано, что такая методика обладает рядом преимуществ перед развитой ранее технологией модификации, где МИП генерируется в стандартных ионных диодах.

Практическая значимость работы определяется тем, что её результаты могут быть использованы при проектировании схем ионных диодов. Полученные данные по модификации могут быть использованы для создания материалов с улучшенными свойствами поверхности ( микротвёрдость, коррозионная стойкость, усталостная прочность и т.д.).

Положения, выносимые на защиту:

1. Отсутствие внешнего магнитного поля в ионных диодах с самоизоляцией электронного потока обеспечивает образование плазмы на диэлектрическом аноде на фронте импульса напряжения и малую задержку генерации МИП относительно начала импульса. Показано что, однородность ионного тока в инверсной модификации сферического диода выше, чем в прямой. В инверсном диоде получена плотность тока

О 1А О в фокусе 15 кА/см при плотности мощности 2x10 Вт/см .

2. Продемонстрирована возможность работы плазмонаполненного диода сферической геометрии в цепи с индуктивным накопителем в режиме плазменного прерывателя тока с обострением мощности и фокусировкой ионного потока. На наносекундном ускорителе ПАРУС получено увеличение мощности, выделяемой в плазмонаполненном диоде, в 2,5 раза по сравнению с идеально согласованной нагрузкой.

Получена плотность мощности ионного пучка в фокусе на уровне

10 2

3,5x10 Вт /см . Показано, что экспериментальные данные согласуются с численными расчётами по плазмоэрозионной модели Оттингера-Голдстейна.

3. Предложено использовать ионный поток, генерируемый в МППТ, для модификации поверхности материалов и показан ряд преимуществ по сравнению с традиционными ионными диодами.

4. Показано, что в микросекундном плазменном прерывателе существует азимутальная неоднородность ионного потока, которая увеличивается по направлению от начала прерывателя к дальней от генератора границе плазмы.

5. При облучении алюминиевых сплавов ионным пучком с энергией 200 КэВ и плотностью тока 80-100 А/см2, генерируемым в МППТ, достигается увеличение коррозионной стойкости примерно на порядок и увеличение усталостной долговечности в коррозионной среде. При облучении различных видов сталей ионным пучком с энергией 0,8-1 МэВ и плотностью тока 40-80 А/см , генерируемым в МППТ, достигается увеличение микротвёрдости в 2-2,5 раза на глубину в сотни мкм.

Апробация результатов работы. Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на 7, 8, Всесоюзных симпозиумах по сильноточной электронике ( 1988 - Новосибирск, 1990 - Екатеринбург); на Зем Всесоюзном семинаре по плазменной электронике ( 1988, Харьков); на Международном совещании по физике и технике мощных прерывателей тока ( Новосибирск, 1989); на 50М Всесоюзном семинаре по физике и технике интенсивных источников ионов и ионных пучков ( 1991, Киев); на 8, 9, 10, И, 12 Международных конференциях по мощным пучкам заряженных частиц ( 1990 - Новосибирск; 1992 - Washington, DC, USA; 1994 - San-Diego, CA, USA; 1996 - Прага, Чехия; 1998 - Haifa, Israel.); на 4ой Всероссийской конференции по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц ( 1996, Томск); на 11, 12 Международных конференциях по импульсной технике ( 1997, Baltimore, MA, USA; 1999, Monterey, CA, USA); 25, Международной конференции по физике плазмы (ICOPS - 97, San Diego, CA, USA). Публикации. По материалам диссертации опубликовано 12 статей в центральных и зарубежных журналах ( ПТЭ, ЖТФ, Laser and Particle Beams, Material Science and Engineering, Nuclear Instruments and Methods, Theoretical and Applied Fracture Mechanics) и ряд докладов в материалах конференций.

Структура и объём диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырёх глав, заключения и списка литературы. Она изложена на 133 страницах машинописного текста, включая 44 рисунка, 14 таблиц и список литературы на 9 е.

Основные результаты и выводы, полученные в данной работе, сводятся к следующему:

1. Для экспериментов по генерации МИЛ спроектирован и запущен в эксплуатацию наносекундный ускоритель ПАРУС с импедансом 2,8 Ом и номинальной мощностью 0,2 ТВт.

2. Исследованы различные схемы диодов с самоизоляцией с пассивным анодом. Показано, что в отличие от диодов с внешним магнитным полем, в диоде с самоизоляцией эффективно работает диэлектрический анод и при длительности импульса менее 40 не.

3. Показано,что однородность ионного тока в инверсной модификации сферического диода выше, чем в прямой. В инверсном диоде МИП сфокусирован до 15 к А/см2 при плотности мощности 2x1010 Вт/см2.

4. В плазмонаполненном диоде сферической геометрии, работающем в режиме ППТ, получено обострение мощности в 2,5 раза по сравнению с согласованной нагрузкой при эффективности генерации МИП 25%. Получена плотность тока в фокусе около 20 кА/см при плотности мощности

3,5x1010 Вт/см2.

5. Исследована генерация МИП в МППТ на двух ускорителях, измерены аксиальное и азимутальное распределения ионного тока и выбраны режимы для экспериментов по модификации материалов.

6. Показано, что обработка в МППТ с высокими энергиями ионов (0,8-1 МэВ) перспективна для получения больших слоев ( сотни мкм) с повышенной микротвёрдостью в различных сталях, а с низкими энергиями ( 200-300 КэВ) - для улучшения коррозионных и усталостных свойств алюминиевых сплавов.

7. Количественно исследовано изменение коррозионных свойств и усталостной долговечности алюминиевых сплавов после облучения МИЛ в МППТ.

8. Показано, что при облучении тонкой плёнки титана (500 нм ) на поверхности алюминия достигается перемешивание плёнки с основой на глубину до 1,2 мкм без существенного испарения титана и достигается улучшение коррозионных свойств поверхности.

В заключение считаю своим приятным долгом выразить глубокую благодарность научному руководителю доктору физико-математических наук Быстрицкому В.М. за руководство и внимание к выполняемой работе и академику Ковальчуку Б.М. за общее руководство и помощь в экспериментальной работе. Выражаю глубокую благодарность сотрудникам НИИЯФ профессору Григорьеву В.П. и с.н.с. Коваль Т.В. за помощь в проведении численных расчётов и плодотворные дискуссии. Я признателен сотрудникам ИСЭ РАН Кокшенёву В.Г., Волкову С.Н., Григорьеву С.П. за помощь в работе и обсуждение результатов. Я также благодарен профессору Enrike Lavernia за помощь в проведении материаловедческих анализов и доктору Eusebio Garate за помощь в проведении экспериментов и обсуждение результатов ( оба University of California, Irvine).

Заключение

1. Yonas G. Achievements and challenges in particle beam fusion research. Proc. of the 3rd Intern. Conf. on High Power Electron and Ion Beams. Novosibirsk, 1979, v.2, p. 390.

2. Humphries S. , Jr. Intense pulsed ion beams for fusion applications. Nuclear Fusion, 1980, v. 20, p. 1549.

3. B.M. Быстрицкий, A.H. Диденко. Мощные ионные пучки, М., Энергоиздат, 1984, 152 с.

4. Миллер Р.Б. Введение в физику сильноточных пучков заряженных частиц. М., Мир, 1984, 432 с.

5. Диденко А.Н., Лигачёв А.Е., Куракин И.Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М., Атомиздат, 1987, 184 с.

6. Humphries S. , Jr., Lee J., Sudan R.N. Appl. Phys. Lett., 1974, v. 25, p. 2022.

7. Stinnett R.W., Vandevender J.P., et al. Progress In lithium beam focusing and beam-target interactions experiments at Sandia National Laboratories. Proc. of the 9th Intern. Conf. on High Power Particle Beams. 1992, v. 1, p. 31-42.

8. Месяц Г.А. Эктоны, Часть 1, Наука, 184 с.

9. Greedon J.M., Prono D.S., Smith I. J. Appl. Phys. 1975, v. 55, №2, pp. 91-97.

10. Kapetanakos C.A., Golden J., Black W.M. Phys. Rev. Lett., 1976, v. 37, № 18, pp. 1236-1239.

11. Maxaffey R.A., Kapetanakos C.A., Straw D.C. Proc. of the 3d Intern. Symp. on Collective Methods of Acceleration, Laguna Beach, 1978, p. 521.

12. Maxaffey R.A., Kapetanakos C.A., Golden J. Recent Results on the generation of Intense Ion Beams and Formation of Ion Rings. Proc. of the 3rd Intern. Conf. on High Power Electron and Ion Beams. Novosibirsk, 1979, v.l, p. 78.

13. Humphries S.Jr., Sudan R.N., Villey T. J. Appl. Phys. 1976, v. 47, p. 2382.

14. Greedon J.M. J. Appl. Phys. 1975, v. 46, №7, pp. 2946-2955.

15. Antonsen T.M., Ott Т.Е. Theory of magnetic insulation. Phys. of Fluids, 1976, v. 19, №1, pp. 52-59.

16. Bergeron K.D. Two species flow in relativistic diodes near the critical field for magnetic insulation. Appl. Phys. Lett. 1976, v. 28, №6, pp. 306-309.

17. Sudan R.N., Longscope D.W. Phys. of Fluids, 1993, В 5, p. 1614

18. Desjarlais M.P., Coats R.S., Lockner T.R. et al. Uniform current density and divergence control in high power extraction diodes. Proc. of the 11th Intern. Conf. on High Power Part.Beams. 1996, Prague, v.l, pp. 101-110.

19. Goldstein S.A., Davidson R.C., Lee R. et al. Phys. Rev. Lett, 1974, v. 33, p. 1471.

20. Swain D.W. J. Appl. Phys., 1975, v. 46, №10, p. 4604.

21. Mendel C.W. Proc. of the IEEE Intern. Conf. on Plasma Science, 1980, Wisconsin.

22. Ottinger P.F., MosherD., Goldstein S.A. Phys. of Fluids, 1980, v. 23, №5, p. 909.

23. Vandevender J.P., Quintenz J.P., Leeper R.J. Self-magnetically insulated ion diode. J. Appl. Phys. 1981, v. 52, №1, pp. 4-12.

24. Матвиенко B.M. Экспериментальное исследование генерации ленточных мощных ионных пучков в магнитно-изолированных диодах. Дисс. канд. физ.-мат. наук, Томск, 1987, 124 с.

25. Masugata К. Two-dimensional focusing of self-magnetically insulated «Plasma focus diode». 1984, Bull. Amer. Phys. Soc. V. 29, p. 1292.

26. Yatsui K. Development of self-magnetically insulated diodes. Laser and Particle Beams, 1985, v. 3, p. 119.

27. Быстрицкий B.M., Красик Я.Е., Петров A.B. и др. Исследование коаксиального плазмоэрозионного размыкателя в наносекундном ускорителе в цепи с диодом на уровне мощности 1-2x1010 Вт. Ред.

28. Журнала « Известия Вузов, Физика », Томск, 1987, 37 с. Деп. В ВИНИТИ 6.01.1987, № 111-В87.

29. Месяц Г.А., Ковальчук Б.М. Генератор мощных наносекундных импульсов с вакуумной изоляцией и плазменным прерывателем. ДАН СССР. 1985, т. 284, № 4, с. 857-859.

30. Месяц Г.А., Диденко А.Н., Абдулин Э.Н. и др. Генерация мощных ионных пучков в индуктивном микросекундном накопителе с плазмоэрозионным размыкателем. ДАН СССР, 1986, т. 2, с. 115-116.

31. Абдуллин Э.Н., Баженов Г.П., Быстрицкий В.М. и др. Получение мощных короткоимпульсных ионных пучков в системе с микросекундным индуктивным накопителем и плазмоэрозионным размыкателем. Физика плазмы, 1987, т. 13, № 9, с. 1027-1034.

32. Ананьин П.С., Быстрицкий В.М., Лисицын И.В. и др. Исследование электронных и ионных потоков в стадии переключения тока в микросекундном плазменном прерывателе на уровне мощности 0,2 ТВт. Физика плазмы, 1991, т. 17, № 1, с. 69-74.

33. Быстрицкий В.М., Глушко Ю.А., Ковальчук Б.М., Харлов A.B. Наносекундный сильноточный ускоритель электронных и ионных пучков. ПТЭ, 1992, № 4, с. 40-44.

34. Бастриков А.Н., Воробьюшко М.И., Ковальчук Б.М. и др. Докл. 2й Всесоюзной конференции по инженерным проблемам термоядерных реакторов. Ленинград, НИИЭФА, 1983, т. 3, с. 152.

35. Ильин В.П. Численные методы решения задач электрооптики. Новосибирск, Наука, 1974.

36. Ушаков В.Я. Вода как диэлектрик в высоковольтных импульсных устройствах. Мощные наносекундные импульсные источники ускоренных электронов: сборник научных трудов. Новосибирск, Наука, 1974, с. 76-113.

37. Frazier G.B. OWL 2 pulsed-electron-beam generator. Journal of Vacuum Science and Tecnology, 1975, vol. 12, no. 6, p. 1183-1187.

38. Лагунов B.M., Фёдоров B.M. Применение водяной изоляции в импульсных генераторах тока и электронных ускорителях. Физика плазмы, 1978, т. 4, № 3, с. 703-714.

39. Бабыкин М.В., Бартов A.B. Методы получения предельных электрических мощностей в коротких импульсах. Препринт ИАЭ-2253, 1972.

40. Дж. Вандевендер. Пробойная напряжённость электрического поля при воздействии на воду коротких импульсов. В книге: Импульсные системы большой мощности. Москва, Мир, 1981, с. 48-55.

41. Куртенков Г.Е. Перекрытие твёрдых диэлектриков в воде в коаксиальной системе электродов на импульсном напряжении. Электронная обработка материалов, 1973, № 6, с. 53-56.

42. Ушаков В.Я, Капишников Н.К., Кухта В.Р. Электрическая прочность жидкостей и рабочая напряжённость изоляционных промежутков высоковольтных импульсных устройств. Импульсный разряд в диэлектриках, сб. научных трудов. Новосибирск, Наука, 1985, с. 114134.

43. В.В Багин, В.Я. Ушаков. Исследование электрической прочности диэлектриков применительно к изоляции высоковольтных наносекундных устройств. Электричество, 1972, № 4.

44. Ковшаров Н.Ф. Мощный наносекундный генератор мегаамперного тока "СНОП-II". Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук. Томск, 1988.

45. Ковальчук Б.М., Кремнёв В.В., Поталицын Ю.Ф. Сильноточные наносекундные коммутаторы., Новосибирск, Наука, 1979, 174 с.

46. Т. Мартин, С. Мерсер, Я. Смит. Компактный многоканальный газонаполненный разрядник на 3 MB. В книге: Накопление икоммутация энергии больших плотностей. Москва, Мир, 1979, с. 414420.

47. Martin J.C. Nanosecond pulse techniques. Aldermaston, Berks, 1970.

48. С.И. Брагинский. К теории развития канала искры. ЖЭТФ, т. 34, в.6, 1958, с. 1547.

49. Месяц Г.А. Генерирование мощных наносекундных импульсов. Москва, Советское Радио, 1974, с. 256.

50. С.И. Баранник, С.Б. Вассерман, А.Н. Лукин. Измерение сопротивления и индуктивности канала мощного искрового разряда в газе. ЖТФ, т. 44, в. 11, 1974, с. 2352-2359.

51. Кремнёв В.В., Новаковский М.В., Поталицын Ю.Ф. Динамика канала сильноточного искрового разряда в сжатом азоте в наносекундном диапазоне. Физика плазмы, т.11, в. 10, 1985, с. 1285.

52. J.P. VanDevender, Т.Н. Martin. IEEE Transactions Nuclear Science, Vol. NS-22, p. 979, 1975.

53. D.L. Johnson, J.P. VanDevender, Т.Н. Martin. High Power Water Dielectric Switching. IEEE Transactions on Plasma Science, 1980, Vol. PS-8, No. 3.

54. Кокшенёв B.M. Дисс. канд. техн. наук, Томск, 1987.

55. Bystritskii V.M., Garate Е, Kharlov A.V. Modification of material surface using plasma enhanced ion beams. Laser and Particle Beams,'1998, v. 16, № 4, p. 569.

56. Дейчули П.П., Фёдоров B.M. Измерение больших импульсных напряжений и токов наносекундной длительности. Вопросы атомной науки и техники, серия " Термоядерный синтез", 1984, вып. 3 (16), с. 2230.

57. Humphries S.Jr., Maenchen J, Sudan R.N. Measurements of 400 MW/cm2 proton fluxes. J. Appl. Phys., 1977, v. 48, p. 1449.

58. Prono D.S., Shearer J.W., Briggs R.J. Pulsed Ion Diode Experiment. Phys.Rev.Lett., 1976, v. 37, №. 1, pp. 21-25.

59. Янг Ф, Гольден Д, Капетанакос К. Диагностика интенсивных импульсов ионных пучков. Приборы для научных исследований, 1977, т. 48, № 4, с. 54-68.

60. Golden J., Mahaffey R.A., Pasour J.A., Kapetanakos C.A., Young F.C. Intense proton beam current measurements via prompt y-rays from nuclear reactions. Rev.Sci.Instrum., 1978, v. 49, p. 1384.

61. Бурдаков A.B., Койдан B.C., Рогозин В.И., Чикунов B.B. Эксперименты по коллективному ускорению ионов облаком релятивистских электронов. Препринт ИЯФ 80-183, Новосибирск, 1980.

62. Глозман И.А. Пьезокерамические материалы в электронной технике. Москва, Энергия, 1965.

63. C.JI. Фомин, С.С. Бацанов. Метод измерения давления в коротких плоских волнах с помощью пьезодатчиков. Метрология и физика динамических давлений. Сборник научных трудов. Москва, Изд. НПО "ВНИИФТРИ", 1989, с. 5-12.

64. Вайсбурд Д.И., Сёмин Б.Н. и др. Высокоэнергетическая электроника твёрдого тела. Новосибирск, Наука, 1982, с. 207-215.

65. В.М. Быстрицкий, Ю.А. Глушко, В.М. Матвиенко, А.В. Харлов. Генерация и фокусировка ионных пучков в диоде с самоизоляцией. Зй Всесоюзный семинар по плазменной электронике, 1988, Харьков, с. 68.

66. Bystritskii Y.M., Glushko Yu.A., Kharlov A.V., Sinebryukhov A.A. Experiments on high power ion beam generation in self-insulated diodes. Laser and Particle Beams, 1991, v. 9, № 3, pp. 691-698.

67. Gerber R.A. Light ion sources for inertial confinement fusion. The Physics and technology of ion sources, 1989, p. 371.

68. Mendel C.W, Mills G.S. J. Appl. Phys, 1982, v. 53, p. 7265.

69. Bystritskii V.M., Didenko A.N., Petrov A.V. Proc. of the 6th intern. Conf. on high power particle Beams. 1986, Kobe, Japan, p. 176.

70. Быстрицкий B.M., Петров A.B. Отражательный тетрод в режиме плазмоэрозионного размыкателя. ЖТФ, 1986, т. 56 , с. 801-803.

71. Быстрицкий В.М., Волков C.B. Тезисы докл. 7 Всес. Симп. По сильноточной электронике. Томск, 1988, т.2, с. 124.

72. Быстрицкий В.М., Григорьев C.B., Харлов A.B. Эксперименты по генерации мощных ионных пучков в плазмонаполненном диоде. ЖТФ, 1992, т. 62, в. 12, с. 163.

73. Bystritskii V.M., Kharlov A.V., Mesyats G.A., Sinebryukhov A.A. Experiments on generation of a high power ion beam in the plasma-filled diode. Laser and Particle Beams, 1993, v. 11, № 1, pp. 269-276.

74. Goldstein S.A., Meger R.A., Ottinger P.F. J. Appl. Phys. 1984, v. 56, pp. 774-789.

75. Bergman H.V., Nordike B.L. Journal of Material Science, 1981, v. 16, p. 863.

76. Buchheit R.G. et al Ion beam modification of materials. Advances in coating technologies for corrosion and wear resistant coatings, 1995, Warrendale, PA, USA, p. 163.

77. Быстрицкий B.M., Ковальчук Б.М., Месяц Г.А. и др. Физика элементарных частиц и атомного ядра, 1992, т. 23, сс. 19-57.

78. Comisso R.J. IEEE Transactions on plasma science, 1997, v. 25, p. 280.

79. Weber B.V. in Proc. of the 10th intern. Pulsed Power conf. IEEE, Piscataway, NJ, p. 202.

80. Andersen H.H., Bay H.L. Topics in Applied physics ( APS, New York), v. 47, p. 166.

81. Comisso R.J. Phys of Fluids, В 4, p. 2368.

82. Akiyama H, Lisitsyn I.V. Appl. Phys. Lett., 1997, v. 71, p. 2251.

83. Вальчук B.B., Халиков C.B., Яловец А.П. Моделирование воздействия интенсивных потоков заряженных частиц на слоистые мишени. Математическое Моделирование, 1992, т. 4, № 10, с. 111-123.

84. Bystritskii, V.M., S.V. Grigoriev S.V. et al., Use of microsecond plasma opening switch for material surface modification. Proc., 9th IEEE Conf. on Pulsed Power, Albuquerque, p. 1013, 1993. New Mexico.

85. Григорьев С.В., Харлов A.B. и др. Исследование модификации поверхности металлов и сплавов под воздействием ионного пучка. В докл. 4 Всероссийской конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, 1996, с. 141.

86. Bystritskii, V.M., Burkov, P.V., Grigoriev, S.V., Kharlov, A.V., Sinebryukhov, A.A. Material surface treatment using microsecond plasma opening switch. Theoretical and Applied Fracture Mechanics, 1997, Vol. 26, #2, p. 151.

87. Remnev G.E., Shulov V.A. Applications of ion beams for technology Laser and Particle Beams, 1993, vol. 11, no. 4, p. 707-731.

88. B.D. Cullity, Elements of X-ray Diffraction, 2nd ed., Addison-Wesley Publishing Company, Inc., 1978, p.257-272

89. V.l. Itin, Y.F. Ivanov, S.V. Lykov, G.A. Mesyats, G.E. Ozur, D.I. Proskurovsky and V.P. Rotshtein, Proceedings of 9th International Conference on High-Power Particle Beams, v. 3, p. 1942-1947, Washington DC, 1992

90. M.L. Sharp, G.E. Nordmark, С.С. Menzemer, Fatigue design of aluminum components and structures, 108-110, ( McGraw-Hill, New York, 1996)

91. E.H. Hollingsworth, H.Y. Hunsicker, in Book : Corrosion and corrosion protection handbook, 135-137, ( M. Dekker, New York, 1983, edited by Schweitzer, Philip A)

92. G.K. Wolf and W. Ensinger, Nucl. Instr. and Meth. B59/60 (1991) p. 173, and references therein.

93. J.E. Baglin, IBM Journal of Research and Development, July 1994, Vol. 38, #4, p. 413

94. D.L. Santos, J.P. Souza et al. Nucl. Instr. and Meth. 1995, B103, #1, p. 57.

95. H. Hasuyama, Y. Shima et al. Nucl. Instr. and Meth. 1993, B80/81, p. 1304.

96. Григорьев В.П., Коваль T.B. и др. Исследование модификации поверхности металлов и сплавов под воздействием ионного пучка. В докл. 4 Всероссийской конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, 1996, с. 213.