Термодинамические характеристики химических процессов в системе ниобий-иод тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.01 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1. Термодинамические данные для соединений в системе №»-1.

1.2. Структурные характеристики иодидов ниобия.

1.3. Способы получения ниобия осаждением из газовой фазы в галогенидных системах.

2. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ИНДИВИДУАЛЬНЫХ ИОДИДОВ НИОБИЯ.

2.1 Введение

2.2. Термодинамические функции кристаллического №>15 • • •

2.3. Термодинамические функции кристаллического тетраи-одида ниобия.

2.4. Теплоемкость и термодинамические функции кристаллического №>з18.

2.5. Сравнительный анализ полученных результатов.

2.6. Электронографическое изучение газообразных №14 и

М)013.

3. ТЕНЗИМЕТРИЧЕСКОЕ ИЗУЧЕНИЕ ГЕТЕРОГЕННЫХ РАВНОВЕСИЙ

3.1. Введение.

3.2. Методы исследования.

3.2.1. Статический метод.

3.2.2. Метод потока.

3.3. Уравнения материального баланса.

3.4. Тензиметрическое изучение равновесия №15 (кр.) - газ

3.5. Гетерогенное равновесие №15(кр)-№14(кр)-газовая фаза

3.6. Гетерогенное равновесие NbL^Kp) - газовая фаза.

3.6.1. Статический метод

3.6.2. Метод потока.

3.6.3. Совместная обработка результатов.

3.7. Равновесие в гетерогенной системе Nb3lg(Kp) - КЬЦкр) -газовая фаза.

3.7.1. Метод потока.

3.7.2. Статический метод.

3.8. Равновесие №>(кр) - газовая фаза.

4. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СИСТЕМЫ Nb -1

ИНЕРТНЫЙ ГАЗ.

4.1. Набор согласованных термодинамических данных для иодидов ниобия.

4.2. Термодинамическое моделирование фазовых равновесий

4.3. Осаждение ниобия из газовой фазы в системе Nb - I - 103 инертный газ.

ВЫВОДЫ.

Методы химической термодинамики все шире используются для решения самых разнообразных задач химии, а также других отраслей науки и производства. В первую очередь это связано с прогрессом в средствах и методах вычислительной техники, позволившим рассчитывать равновесия в сложных многокомпонентных и многофазных системах. Термодинамическое моделирование позволяет значительно сократить затраты времени и средств на выбор оптимальных путей проведения известных процессов и разработки новых методов синтеза соединений и материалов.

В то же время предсказательная способность и надежность выводов, полученных с помощью термодинамического моделирования тесно связаны с надежностью и достоверностью данных о термодинамических свойствах физико-химических систем и адекватностью используемых для решения задач моделей. Для этого необходимо изучать не только отдельные свойства веществ, но и проводить исследования целых физико-химических систем. Этим и определяется актуальность данной работы, направленной на всестороннее термодинамическое изучение системы ниобий - иод в широком интервале условий с целью получения согласованного набора термодинамических характеристик соединений в этой системе.

Наличие полной сводки термодинамических данных позволит провести термодинамическое моделирование процессов получения ниобия и его соединений из газовой фазы с высокой степенью достоверности.

Интерес к термодинамике системы №> - I диктуется технологическими задачами, направленными на получение чистого ниобия, защитных нио-биевых покрытий, ниобийсодержащих соединений, например, 1л№>03.

Особый интерес вызывают соединения типа №>3Ое, ]МЪз8п, являющиеся сверхпроводящими фазами.

Ниобий является важным компонентом в высокопрочных, высокотемпературных сплавах. Имея малое эффективное поперечное сечение захвата нейтронов и совместимость с ураном, ниобий широко используется в атомной электронике. Широким применением ниобия в различных областях науки и техники и объясняется практическая значимость работ по определению термодинамических характеристик его соединений.

Иодидную технологию получения и рафинирования ниобия начали использовать еще в начале века [1]. Многие процессы газофазного получения ниобия и его соединений в галогенидных системах при относительно невысоких температурах могут быть реализованы только с применением иодидной технологии. Вместе с тем литературные данные по термодинамическим свойствам соединений в системе №> - I, необходимые для моделирования и выбора оптимальных условий проведения процессов, не полны и в значительной степени противоречивы. Это объясняется трудностью экспериментальной работы с галогенидами ниобия, которые чрезвычайно реакционноспособны (легко взаимодействуют с влагой, кислородом). Система №> -1 интересна и в теоретическом плане, поскольку в равновесии с целым рядом кристаллических фаз всегда сосуществуют несколько молекулярных газовых форм. Это вносит определенные сложности в интерпретацию результатов исследований. Кроме того, кристаллические М)б1ц и №>з18 являются соединениями кластерного типа.

В настоящей работе для систематического термодинамического исследования индивидуальных иодидов ниобия использован комплекс различных экспериментальных методов: вакуумная адиабатическая калориметрия, калориметрия смешения, дифференциальная сканирующая калориметрия. Экспериментально определены стандартные энтропии и теплоемкости кристаллических иодидов ниобия и термодинамические характеристики фазовых переходов. Для исследования состава газовой фазы использовался масс-спектрометрический метод. С помощью газовой электронографии получены термодинамические характеристики газообразного тетраиодида ниобия.

Тензиметрическими методами ( статический метод измерения давления пара и метод потока) экспериментально изучены гетерогенные равновесия в системах ниобий - иод и ниобий - иод - инертный газ. Обработка полученных результатов позволила получить термодинамические характеристики фазовых превращений и рассчитать термодинамические функции газообразных и кристаллических иодидов ниобия. Следует отметить, что термодинамические данные для одного и того же соединения были получены разными методами при исследовании разных гетерогенных равновесий. Приведенные в работе результаты дали возможность получить набор самосогласованных термодинамических характеристик соединений в системе №> -1, который использовали в расчетах фазовых равновесий.

Цель термодинамического моделирования - определение состава газовой фазы и находящейся в равновесии с ней конденсированной фазы (или смеси фаз) при заданных параметрах системы. Результаты расчетов представлены в виде СУБ фазовых диаграмм для системы №> -I - инерт-- ный газ. Предложен вариант проведения процесса осаждения №> в безводородной системе в проточном реакторе. С применением этой схемы получены ниобиевые пленки и покрытия.

Диссертация состоит из четырех глав и приложения.

выводы

1. В широком интервале температур впервые экспериментально определены величины изобарной теплоемкости и изменения энтальпии кристаллических №15, №14 и №з18, при этом использован комплекс различных экспериментальных методов: вакуумный адиабатический калориметр, калориметр смешения , дифференциальный сканирующий калориметр. Проведена совместная обработка всех экспериментальных данных и рассчитаны стандартные значения изменения энтальпии, энтропии и приведенной энергии Гиббса этих соединений. Определены термодинамические характеристики фазовых переходов твердого тетраиодида ниобия.

2. Методом газовой электронографии определены силовые постоянные, частоты колебаний и конфигурация молекул №Ц и №01з, что позволило в рамках модели гармонический осциллятор-жесткий ротатор рассчитать величину стандартной энтропии и температурную зависимость теплоемкости газообразного тетраиодида ниобия.

3. Тензиметрическими методами (статический мембранный метод измерения давления пара и метод потока) экспериментально изучены гетерогенные равновесия в системах ниобий-иод и ниобий-иод-инертный газ. Обработка результатов с учетом сложного состава газовой фазы позволила получить охарактеризованные доверительными интервалами термодинамические характеристики химических реакций и фазовых превращений в исследуемой системе. Рассчитаны термодинамические функции газообразных и кристаллических иодидов ниобия.

4. Термодинамические характеристики одного и того же соединения были получены несколькими методами, что позволило путем построения различных термодинамических циклов организовать взаимную проверку достоверности их значений. Проведена совместная обработка данных разных методов и получен набор согласованных термодинамических характеристик соединений в системе ниобий-иод, который занесён в фонды Банка данных по свойствам материалов электронной техники.

5. С использованием набора согласованных термодинамических данных проведено термодинамическое моделирование фазовых равновесий в системе КЪ-1-инертный газ, цель которого - определение состава газовой фазы и находящихся в равновесии с ней конденсированных фаз при заданных входных параметрах. Результаты приведены в виде различных вариантов СУБ фазовых диаграмм.

6. Предложен вариант эффективного проведения процесса осаждения ниобия в безводородной газотранспортной системе. С учетом выработанных рекомендаций экспериментально получены образцы ниобие-вых покрытий и пленок.

1. Рол стен Р.Ф. Иодидные металлы и иодиды металлов М.: Металлургия, 1968.-524 с.

2. Seabaugh P.W., Corbett J.D. The Niobium Iodides. Characterization of Niobium (IV) Iodide, Niobium (III) Iodide, and Triniobium Octaiodide // Inorg. Chem.- 1965.-V. 4, No 2,-P. 176-181.

3. Corbett J.D., Seabaugh P.W. Preparation of the niobium (IV) and niobium (III) iodides // J. Inorg. Nucl. Chem.- 1958,- V. 6,- P. 207-209.

4. Kust M.A., Corbett J.D., Friedman R.M. The Vaporization Equilibrium of the System Nb3I8(s) Nb6In(s) // Inorg. Chem.- 1968,- V. 7, No 10,- P. 2081-2086.

5. Wells A.F. Structural Inorganic Chemistry. 5th edition.- Oxford University Press, 1986.-P. 424^34.

6. Littke von W., Brauer G. Darstellung und Kristallstruktur von Niobpentaiodid // Z. Anorg. Allgem. Chemie.- 1963,- B. 325,- S. 122-128.

7. Dahl L.F., Wampler D.L. The Crystal Structure of a-Niobium Tetraiodide // ActaCryst.- 1962,-V. 15,-P. 903-911.

8. Schafer H., Heine H. Die Bildungsenthalpie der Halogenide NbBr5 und Nbls // Z. Anorg. Allgem. Chem.- 1967,- B. 352,- S. 258-264.

9. Monheim В., Schafer H. Die Bildungsenthalpie von NbBr4 und NbLt // Z. Anorg. Allgem. Chem.- 1985,-B. 520,- S. 87-92.

10. Амосов В.M. К термохимии пентаиодидов тантала и ниобия // Изв. вузов. Цветная металлургия-1963 -№ 2 С. 103-113.

11. Barin I. Thermochemical Data of Pure Substances- Weinheim (FRG): VCH, 1989.-Part II.-P. 1014-1024.

12. Wagman D.D., Evans W.H., Parker V.B., Schümm R.H., Halow Y., Bailly S.M., Chureney K.L., Nuttall R.L. The NBS Tables of Chemical Thermodynamics Properties National Bureau of Standards (NBS).- Washington: DC, 1982.

13. Термтермические константы веществ: Справочник / Под ред. В.П. Глушко.-М., 1974,-Вып. 7.-Ч. 1.-С.212.

14. Loose W., Monheim В., Schafer Н. Der Sättigungsdruck von NbBr5, Nbl5 und Tal5 // Z. Anorg. Allgem. Chem.- 1985.- B. 522.- S. 108-116.

15. Hinode H., Wakihara M., Kamiga S., Sacki M., Tanigushi M. Thermodynamic Properties of the Nb-I System // Chemistry Letters (Jap.).- 1984 P. 63-66.

16. Банк термодинамических данных ИВТАНТЕРМО- М.: Рекламное изд. ИВТ АН СССР, 1981,- 2 с.

17. Гурвич Л.В. ИВТАНТЕРМО автоматизированная система данных о термодинамических свойствах веществ // Вестн. АН СССР - 1983 - № 3,- С. 54-65.

18. Термодинамические свойства индивидуальных веществ: Справочник / Под ред. В.П. Глушко,- М.: Наука, 1978,- Т. 1,- Кн. 1, 2,- 1982,- Т. 4,-Кн. 1,2.

19. Schafer Н., Gerken R. NbOI3 und NbO^. Darstellung, Eigenschaften und thermisches Verhalten // Z. Anorg. Allgem. Chemie 1962,- В. 317 - S. 105-112.

20. Simon A., Schnering H.G. ß-Nb3Br8 und ß-Nb3I8. Darstellung, Eigenschaften und Struktur // J. Less-Common Metals.- 1966 .-V. 11,- P. 31-46.

21. Simon A., Schnering H.G., Schafer H. Nbgln Eine Verbindung mit №>б18 -Gruppen // Z. Anorg. Allgem. Chem.- 1967,- B. 5-6,- S. 295-310.

22. Rolsten R.F. Iodide Columbium // Trans, of the Metallurgical Society of ATME- 1959,-V. 215,-P. 478-^83.

23. Miyake M., Hirooka Y., Imoto R., Sano T. Chemical Vapor Deposition of Niobium on Graphite // Thin Solid Films.- 1979,- V. 63,- P. 303-308.

24. Braginski A.I., Roland G.W. Chemical Vapor Deposition of Superconducting Nb3Ge Having High Transition Temperatures // Appl. Phys. Lett-1974,- V. 25, No 12,- P. 762-763.

25. Roland G.W., Braginski A.I. Chemical Vapor Deposition of Superconducting Nb3Ge // Adv. Cryogenic Eng.- 1977,- V. 22,- P. 347-355.

26. Kawamura H., Tachikawa K. Synthesis of the superconducting Nb3Ge Films by the Chemical Vapor Deposition // Phys. Lett. A 1974,- V. 50,- P. 2930.

27. Weiss F., Madar R., Senateur J.P., Boursier D., Bernard C., Fruchart R. Chemical Vapor Deposition of superconducting Nb3Ge; Experimental and thermodynamic studies // J. Cryst. Growth.- 1982 V. 56 - P. 423-428.

28. Madar R., Weiss F., Fruchart R., Bernard C. Thermodynamic and experimental studies of the CVD A-15 Superconductors I. Nb3Ga // J. Cryst. Growth.- 1978,- V. 45,-P. 37-47.

29. Скуратов C.H., Колесов В.П., Воробьев А.Ф. Термохимия М.: Изд-во Моск. ун-та, 1964,- Ч. 1 - 302 с.

30. Веструм Е.Ф., Фурукава Г.Т., МакКаллаф Дж.П. Адиабатическая низкотемпературная калориметрия Сб. науч. тр. "Низкотемпературная калориметрия",-М.: Мир, 1971- С. 9-136.

31. Berezovsky G.A., Bazhanova L.M., Vlaskina О.I., Golubenko A.N., Pau-kov I.E., Sysoev S.V. Heat Capacity of Niobium Halides in 5-300 К Range // Abstracts of The International Symposium on Calorimetry and Chemical Thermodynamics-Moscow, 1991-P. 57.

32. Schäfer H., Dohman K-D. Präparative Untersuchugen mit niederen Niob-chloriden // Z. Anorg. Allgem. Chem.- 1959,- B. 300, No 1-2,- S. 1-32.

33. Стрелков П.Г., Ицкевич Е.С., Костриков В.Н., Мирская Г.Г., Самойлов Б.Н. Термодинамические исследования при низких температурах // Журн. физ. химии,- 1954.-Т. 28, № 3,- С. 459-472.

34. Рыбкин Н.П., Орлова М.П., Баранюк А.Н., Нурулаев Н.Г., Рожновская JI.H. Точная калориметрия при низких температурах // Измерительная техника,- 1974,-№ 7,- С. 29-32.

35. Стенин Ю.Г. Термохимия хлоридов, бромидов и иодидов олова: Автореферат дис. . к.х.н.: 02.00.01 Новосибирск, 1982.-22 с.

36. Вукалович М.П., Иванов А.И., Фокин Л.Р., Яковлев А.Т. Теплофизи-ческие свойства ртути М.: Изд-во стандартов, 1971- 311 с.

37. Свидетельство на стандартный образец термодинамических свойств а-А1203 № 149-71 по Гос. реестру мер и изм. приборов СССР (разд. "Стандартные образцы").- 1973 6 с.

38. Stenin Yu.G., Sysoev S.V., Golubenko A.N., Beresovsky G.A. Thermodynamic Properties of a-, ß-, y-modifications of Niobium Tetraiodide // Book of Abstracts of The 5 European Conf. On Solid State Chemistry Montpe-lier, France, 1995,-V. l.-P. 2-3.

39. Стенин Ю.Г., Карпова Т.Д., Березовский Г.А., Сысоев С.В., Голубенко А.Н. Термодинамические функции тетраиодида ниобия в интервале 7-740 К//Журн. физ. химии,- 1997.- Т. 71, № 11,- С. 1941-1944.

40. Амитин Е.Б., Миненков Ю.Ф., Пауков И.Е., Сысоев С.В. Голубенко А.Н. Теплоемкость и термодинамические функции Nb3Ig в интервале 8,5-300,6 К//Журн. физ. химии 1994 - Т.68, № 7 - С. 1332-1333.

41. Амитин Е.Б., Миненков Ю.Ф., Набутовская O.A., Наумов В.Н., Пауков И.Е., Кондратьев С.Н. Термодинамические свойства селена в интервале 7-304 К // Журн. физ. химии,- 1987,- Т. 61, № 10.- С. 2611-2615.

42. Титов В.А., Малахов Д.В. О совместной обработке экспериментальных данных по температурным зависимостям теплоемкостей и энтальпий //Журн. физ. химии,- 1996,- Т. 70, № 12,- С. 2137-2141.

43. Корнилов А. H., Титов В.А. О точности расчета по III закону термодинамики //Журн. физ. химии,- 1996,- Т. 70, № 7,- С. 1159-1164.

44. Сысоев C.B., Стенин Ю.Г., Карпова Т.Д., Голубенко А.Н., Титов В.А., Березовский Г.А. Термодинамические функции иодида ниобия №>з1з в интервале 8,5-1016,8 К//Журн. физ. химии,- 1998,- Т. 72, № 12,- С. 2155-2157.

45. Tagaev A.V., Bazhanova L.M., Beresovsky G.A. Heat Capasity of Niobium chlorides in the Range 6-320 К // J. Thermal Analysis 1988 -V.33, No 1- P. 217-221.

46. Бажанова Л.М., Березовский Г.А., Пауков И.Е., Тагаев A.B., Цирель-ников В.И. Термодинамические свойства низших хлоридов ниобия в интервале 7-340 К // Журн. физ. химии,- 1988,- Т. 62, №> 8,- С. 20352039.

47. Киреев В.А. Методы практических расчетов в термодинамике химических реакций,- М.: Химия, 1970,- 520 с.

48. Карапетьянц М.Х. Методы сравнительного расчета физико-химических реакций-М.: Наука, 1965.-403 с.

49. Гиричева Н.И., Гиричев Г.В., Шлыков С.А., Петров В.М., Павлова Г.Ю., Сысоев C.B., Голубенко А.Н., Титов В.А. Геометрическое строение и частоты колебаний молекулы NI3I4 // Журн. структур, химии,-1992,-Т. 33, № 4,-С. 37-43.

50. Гиричева Н.И., Гиричев Г.В., Шлыков С.А., Петров В.М., Павлова Г.Ю., Сысоев C.B., Голубенко А.Н., Титов В.А. Электронографические исследования системы Nb-1-O // Изв. вузов. Сер. "Химия и химическая технология",- 1992 Т. 35, вып. 5 - С. 69-80.

51. Гиричева Н.И., Гиричев Г.В., Шлыков С.А., Павлова Г.Ю., Сысоев C.B., Голубенко А.Н., Титов В.А. Электронографическое исследование строение молекулы №>01з // Журн. структур, химии 1992 - Т.33, № 4,- С. 44-49.

52. Титов В.А., Коковин Г.А. О выборе целевой функции при обработке данных по давлению насыщенного пара // Сб. науч. тр. "Математика в химической термодинамике" / Под ред Г.А. Коковина- Новосибирск: Наука, 1980 С.98-105.

53. Титов В.А. Анализ некоторых физико-химических равновесий с помощью статического метода измерения давления пара: Автореферат дис. . к.х.н.: 02.00.01 -Новосибирск, 1980 17 с.

54. Кузнецов Ф.А., Коковин Г.А., Буждан Я.М. Термодинамический анализ сложных газотранспортных систем. Возможности и общая методика // Изв. СО АН СССР,- 1975,- Вып. 1, № 2,- С. 5-24.

55. Суворов А.В. Термодинамическая химия парообразного .состояния-Л.: Химия, 1970.-207 с.

56. Новиков Г.И., Суворов А.В. Мембранный нуль-манометр для измерения давления паров в широком интервале температур // Заводская лаборатория,- 1959,-№ 6,- С. 750-751.

57. Титов В.А., Чусова Т.П., Коковин Г.А. Анализ основных источников погрешностей мембранного измерения давления пара // Электронная техника. Сер. "Материалы".- 1984,-Вып. 10 (195).- С. 49-51.

58. Титов В.А. Методологические и методические аспекты информационного обеспечения термодинамических расчетов в материаловедческих задачах электроники : Автореферат дис. . д.х.н.: 02.00.04-Новосибирск, 1994.-43 с.

59. Kubaschewski О., Evaus E.L., Alcock C.B. Metallurgical Thermchemistry-4th ed Oxford: Pergamon Press, 1967 - 475 p.

60. Евсеев A.M. Математическое моделирование химических равновесий,- М: МГУ,- 1988,- 192 с.

61. Титов А.А. Свойства решений прямых и обратных задач расчета химического равновесия: Автореферат дис. . к.ф.-м.н.: 02.00.04-Новосибирск, 1990- 16 с.

62. Коковин Г.А., Титов В.А., Буждан Я.М., Дехтярь Р.В. О возможности решения некоторых обратных задач физической химии // Изв. СО АН СССР,- Сер. хим. наук,- 1975,- Вып. 3,- С. 25-35.

63. Титов А.А. Алгоритм решения задач расчета химических равновесий // Тезисы докладов 3 Всесоюзной школы "Применение математических методов для описания и изучения физико-химических равновесий".-Новосибирск, 1980,-Ч. 2,-С. 237-240.

64. Луке Г. Экспериментальные методы в неорганической химии М.: Мир, 1965,-С. 653.

65. Справочник химика, 2-е издание / Под ред. Б.П. Никольского,—М.-Л.: Химия, 1962,-Т. 1.-С. 567.

66. Титов В.А., Чусова Т.П., Коковин Г.А. Химические равновесия в газовой фазе системы In I // Изв. СО АН СССР - Сер. хим. наук - 1987-Вып. 1.-С. 75-81.

67. Титов В.А., Чусова Т.П., Коковин Г.А. Химические равновесия в ненасыщенном паре мышьяка // Изв. СО АН СССР Сер. хим. наук-1983.-Вып. 3,- С. 42-48.

68. CODATA Recommended Key Values for Thermodynamics- CODATA Bull.- 1975-No 17.

69. Титов В.А., Коковин Г.А., Кузнецов Ф.А. Вопросы организации хранения термодинамической информации // Сб. науч. тр. "Прямые и обратные задачи химической термодинамики" / Под ред. В.А. Титова-Новосибирск: Наука, 1987 С. 64-73.

70. Kuznetsov F.A., Titov V.A., Borisov S.V., Vertoprakhov V.N. Data Bases for Properties of Electronic Materials // COD ATA Bulletin Abstracts from the 11th International CODATA Conference.- 1988.- No 68,- P. 9.

71. Голубенко A.H., Сысоев C.B., Стенин Ю.Г., Титов А.А. Термодинамическое изучение процесса осаждения ниобия из газовой фазы в системе Nb-1-He // Неорганические материалы 1997- Т. 33, № 8 - С. 951956.

72. Barin I. Thermochemical Data of Pure Substances- Weinheim: VCH, 1989,-Part 2,-P. 1730.

73. Сысоев C.B., Голубенко A.H., Титов B.A. Изучение гетерогенного равновесия в системе ниобий-йод-гелий // Тезисы докладов 3 Всесоюзной конференции "Термодинамика и материаловедение полупроводников",- М., 1986.-С. 115-116.

74. Сысоев С.В., Голубенко А.Н., Румянцев Ю.М. Осаждения ниобия из газовой фазы в иодидной системе // Сб. науч. тр. И Всесоюзной конференции "Теория и практика газотермического нанесения покрытий",- Дмитров, 1989. Т. IV.- С. 52-55.

75. Golubenko A.N., Sysoev S.V., Stenin Yu.G., Titov А.А. A Thermodynamic Approach to Chemical Vapour Deposition of Niobium in Nb-I-He System // Electrochemical Society Proceedings.- 1997-V. 97-25,-P. 1596-1603.

76. Golubenko A.N., Sysoev S.V., Stenin Yu.G., Titov A.A. Chemical Vapour Deposition of Niobium in the Nb-I-He System: A Thermodynamic Study // Inorganic Materials.- 1997,- V.33, No 8,- P. 801-805.

77. Кузнецов Ф.А., Титов В.А., Голубенко А.Н., Титов А.А. Термодинамическое моделирование процессов осаждения силицидов вольфрама и молибдена из сложных летучих элементоорганических соединений // Сиб. хим. журн-1993 -№ 2,- С. 112-118.

78. Golubenko A.N., Sysoev S.V., Titov А.А., Stenin Yu.G. CVD niobium in Nb-Hal-(H)-inert gas systems: A Thermodynamic and experimental approaches // J. De Physique 4,- 1999,- V. 9,- P. 8-93-8-99.

79. Сысоев C.B., Голубенко A.H., Титов A.A., Стенин Ю.Г. Осаждение ниобия из газовой фазы в системе Nb галоген - инертный газ // Тезисы докладов Второй конференции «Материалы Сибири». Барнаул, 1998,- С. 65.

80. Kelley К.К. Contributions to the Data on Theoretical Metallurgy. 13. High-Temperature Heat-Content, Heat-Capacity and Entropy Data For the Elements and Inorganic Compounds // Bull. Bureau of Mines (USA).- 1960-V. 584,- 232 p.