Вольфрамовые бронзы редкоземельных элементов и их пленки тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.01 ВАК РФ

'ч 20 2 3 0;

А К А л а ;.! 'Л. Я А У К СССР УРАЛЬСКОЕ ОТШЕ!НК инст;:тут >хк1

На и раках рукописи

инукоза надеы-а тимофеевна

УМ 543.123.3

ьолыра'.;оеь;2 бронза релкозгГ.ьлькьх сЛе:.ектов ;:х плыш

(02.CC.0I - неорганическая химия)

Аг:торе?ерот диссертации на соискание .учёной степени кандидата химических наук

Свердловск - 1589

Работа ылюлнена i; Томском государстьенном унихерситете им. Ь.Ь. ¡vyviOuaeia

Научнее руководители: доктор химических наук,

IipO(]f.-CCOp Ссроорсниикоь Н.Ъ. канди ат химических наук Коз и к Ь.Ь.

0}ипкалыше оппонент):: доктор химических наук

Слободин Борис Иладпмнроьич кандицат химических наук 5.кунина Голвнп МихаКлпыт

Ведущая организация: Ростовский инженерно-строителышк институт

Защита состоится " ^ " _фбВрЗЛЯ_ 1980 i.

на заседании Специалпзироьглжого совета Д.002;04.01 при институте химии УрО All СССР по адресу: 62GI69, Свердлогск,

ул. Первомайская, 91, кон<{.срен»зал

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке УрО All СССР Автореферат разослан " « ЯНВЭРЯ_ 1930 г.

Учёней секретарь

Сноциализироианного сонета Д.0СЙ.04.01

Штин А.П.

Актуальность тем!..'К числу перспективных материале;-, при г— '^екик^х ьникание исследователей, относятся оксидные катеркалк.

"—г-?Щ^числе ьоль'.рамовие броням редкоземельных ьлекентоь (РЗо). Интерес к вольфрамовым бронзам н.зван .уникальность»! их свойств и, тем самш-1'оэмпкностыс использования отих соединений ь различных областях техники.

Б наше;; стране и за рубежом активно исследуются условия получения и С1-ОЙСТШ новых материалов на оспою РЗс. За последние года значительное развитие получили пленки на ос ном соединений РЗс. Благодаря комплексу электрических, оптических, магнитных, химических свойств зти пленки мог/т использоваться в качестге мзскир.у 1сеих и просветлясших покрытий, ферромагнитного материала для запоминавших устройств, элементов С'Г-Ч-техники. Ь связи с отим вольфрамовые бронзы РЗс могут представлять интерес как плёнкообраэусъке материал!,-.

Получение и свойства гольфрамовых бронз РЗс и их пленок представляет несомненней научный и практический интерес гак п области химии РЗс, так и в различнее областях современной техники.

Целью работы нижется исследование физико-химических свойств, области существования вольфрамовых бронз РЗЬ и их плёнок. 5 процессе выполнения работы ресзлись следувдие задачи:

1. Изучение структуры, электронного строения, области существования, физико-химических сеойств кубических вольфрамовых бронз РЗс.

2. Исследование возможности получения воспроизводимых по составу и свойствам плёнок вольфрамовых бронз Р35.

3. 'Изучение физико-химических свойств, структуры плёнок ЕольфрамоЕых бронз РЗс.

4. Установление закономерностей между составом, структурой

и свойствами вольфрамовых бронз Р31- I' порогах и пленках.

5. ^сслсдпкшио возможности практическою использования полученных пленок.

Научная новизна.

1. Ь:,'ерн:е подучена пленки роли* рлмомгх бронз Р31. Г>пре делены оптимальные услон;-я подучен;';: воспроизводимых по составу и свойствам пленок бронз.

Впервые изучены химические, ^лектрофнзические, оптические сво^.стш пленок вольфрамовых бронз РЗО.

3. Выявлены закономерности в изменении свойств 1 ольфрямовых бронз РЗО в порошках и пленках.

А. Разработана методика анализа с оста га плёнок вольфрамовых бронз РЗО.

Практическая ценность. Разработаны условия получения и изучены свойства пленок вольфрамовых бронз РЗ^. Установлена перспективность использования этих материалов для разработки нош« видов оптически и электрически активных материалов (интерференционных фильтров, проводящих полупрозрачных контактов, резистивных пленок в гибридных интегральных схемах).

Разработан способ разделения колы!рама и РЗО с последующим их количественным определением.

Результаты исследования физико-химических свойств полученных пленок вольфрамовых бронз РЗЗ являются справочным материалом для работающих и области химического материаловедения.

Апробапия работы. Материалы диссертации доложены и обсуждени на У Всесоюзном семинаре "Диаграммы фазовых соотношений оксидно-солевих систем ь метериаловедении и химической технологии" (Нальчик, 1988), УН Всесоюзном совещании по физико-химическому анализу (Срунзе, 1988), Менделеевской конференции (Томск, 1984), на-

ь

учно-практическоц конференции, посменной 85-летию XTi (Томск, IS85), icpaei'O;: научно-иракти^еско;; кон;срон::ии ".'пзико-химпческие методы контроля и исследования но них материалов и процессов" (Барнаул, 19Ь6), научно-практи^еско;: конференции "Химизация народного хозяйства - ьэу.ное условие ускорения научно-технического прогресса" (Барнаул, HF.7).

Результата представлялись отчсти СОДЯ СССР Ü'JDC) АН C'JJP по плану госбкхг.етно;*: Б'? ко'Je неорганической химии "Химия редкоземельных олементо:-: синтез, с;о::ст:а, материал),, технология", JiLIfc£GüC6246 и отдела "Но: ге материал!:" - "Разработка металл-неметаллических покрытия композиционных материалов для изделий современной техники", Л01й£СС15Я1? Томского государственного университета.

Публика::;:и. По теме .диссертации "публике;ано к печатных работ, имеется полоуительное ъи ■<-.> торское свидетельство.

Обьем и структура диссертации

Работа состоит из 5 разделов. Пер;-!:.': раздел содержит обзор литератур;, по воль^рамовьм бронзам. Обобщены сог-рбменнке представления о их структуре, свойствах, методах получения.

Во втором рззделе описан!; методики получения и исследования Еольфрамоьцс бронз P3Ó и их плёнок.

Третий раздел посЕядён исследованию состава, структура, области существования и сеойстб бронз в по;, ¡кристаллическом состоянии.

Четвертый раздел содержит сведения о составе и свойствах плёнок бронз.

3 пятом разделе обобгттся результата исследования вольфрамовых бронз РЗЬ и их плёнок, а также обсукдаются вопросы практичес-

кого использовании полученных плёнок.

Диссертационная работа изложено на ILG странишЛс машинописного текста, илльстриро^но 3V рисунками и LU таблицами. Ь список литературы включено ]37 робот отечественных и зарубежных

Ul-.TOpOls.

Содержание работы

Исходные ьсщестьа и методы исследования

Для синтеза волы) [«moiux бронз P3L- использошли оке иди PJ0 с содержанием основного вещестк! не менее оксидг воль*! рама

(У1), полученный разложением 1>олы|рамово)! кислоты марки "ОСТ и вольфрамовый порошок марки "Спектральный".

]>се бронзы синтезирован» методом твердофазных реакций в кюр-цевых ампулах при остаточном давлении 13-1СГ Па при 1273 К и исследованы методами абсорбционной L„-спектроскопии, puirricnojii— эовым (аппарат ДРОН - 2,0), термическим ("DERIVATOOiAPH CU1500), химическим, рентгеновским локальным анализом (рентгеновский мик-рошшлизатор 1ХЛ-3).

Плёнки вольфрамовых бронз получали методом термовакуумпою резистивного испарения на установках ВУП-4К, УВР-ЗМ и элоктрохи-мически из раствора.

Состав плёнок контролировали химическим анализом. Разделение ноль4рама и РЗс проводили хроматографнческим методом на анионите АН-17-8 (ГОСТ 20301-74), количественное определение - спектрофо-томотрически на приборе "SpeKol 10".

В качестве подложек использовали пластины стекла, кварца, поликора, л -врсенида галлия ориентации (111) В, монокристаллы NaCI, КВт, алкминиЬ.

Для доказательства соответствия состава, структуры плёнок г.

исходах heuiCCTi!, пленки подвергали олектроногра^ичсскому анализу н исследовали методом абсорбционной L,n -спектроскопии.

Оптические свойства плёнок исследовали с помощью оллипсо-метра JÎLC-3M и спектрофотометров "SpeKORD uv VI3", Gvi<-20,

Толщину пленок измеряли с помощью оллипсометра ЛСО-ЗМ и мик-роинтер']ерадетра ■'.3111-4, адгезию - микротвердомера II'.ÎT-З.

Температурную зависимость электропроводности волы1рамор|« бронз измеряли с помошьг. моста постоянною тока Р4060, плёнок -четкрехпондовьм методом в интервале температур 30G-G00 К. Знак носителе.'*, заряда определяли методом термозоида.

Исследование |пзико-химических свойств, области сукествовэ-ния кубических вольфрамовых бронз РЗО

Ъ качестве объекта исследования били выбран» систем» Mg^S" \-t - V/ (М- РЗс). Мольное соотношение РЗС'/V/ изменяли п пределах от 0,С5 до 0,5. Результат» рентгена,'азового анализа продуктов синтеза систем показали, что при полегл содермнии РЗЭ (РЗЭ/w ^ 0,Г6) наряду с бронзы присутствует оксид ^¡gO^o» а при

мольном соотнесении РЗс/U' превюакшем величину 0,2 , кубическая бронза сусеструет соьместно с воль<|ракатом РЗО и ^аэой восстановленного оксида вольфрама (WO^). Кроме того, в процессе синтеза происходило восстанор-ленис РЗС-, пмесщх переменнее значение степени окисления. Так, г случае систем европия, образующаяся фэза г-слг<;рамзтэ соответствует вольчрамату дву/.гдлентного европия.

даннке рзнтгено<]язового анализа находятся в соответствии с результатами абсорбционной L,,, -спектроскопии. В качестве примерз на рис, 1 и рис. 2 , а тагсте в табл.1 приведен« результат» определен:;". 7алентного состояния европия и церия в исследование оистс,"-г;. «vc-.otp 0,05< х <0,2 европий находится в трёхвялент-

Рис.1. Ьи-споктри поглощения европия и ЕиМО^Ш, системах плё11ках °Р0113 (6).

Таблица I

Содержание Еи2+ и Еи^*" в системе Еи20з~М-\л/03 (Еих\</03)

Соотав 1 ЕИ2+, % 1 I Еи3+, %

х=0,1 10 90

Х=0,2 40 60

70 30

х=0,4 80 20

х-0,5 90 10

Ей «04 95 5

отн.

57kü

5730

5710

Ы, oB

Рис.7:. Lm-c;;<;KTp поглощения ¡лр'.'я

1 - С5.1У/04)з

2 - COjrWOrj u = 0,1-0,0), пленки бронз

я о:.« состоянии, о с }'! сличением величины х происходит восстановлен;: о его избытка вольфрамом до дв.ухгалентного состояния.

Ьо гсех ¡телеломаных системах СеС^-^- ио^ 1Се иОд) галантное состояние церия остается таким же кок в юльфрзмате це-р;т. и!1). Количество двухвалентного европия нарастает по мере увеличения его содержания (х), то есть, фактически восстанавливается только та часть еЕропия, которая не вошла в реиётку оксида вольфрама Ш) (восстановление происходит при избытке РЗЭ по уравнению, реакции получения бронзы). Восстановление ионов иерия происходит при лсбои взятом количестве РЗЗ. Этот факт подтверждает -спектр поглощения церия л Еольфрэмате церия, полученного также, как все системы, то есть в данных условиях восстанавливается на (70^10) % в лсйой взятой системе.

Таким образом, проведённые исследования показывают, что кубические вольфрамовые бронзы РЗЗ, являсшиеся соединениями пере-

о

а, А

3,81

З.ЯЗ

3,79

1.0 Се Рг Ш Эт Ки оа Т) Ь.у Нп ' }•> Тт Ун Ц) 2

Рис.3. Зависимость параметра решетки бронз М^ 01

заряда ядра РЗЬ.

манного составе, повторяют свойства !> пределах области Ь,0Ь<х<'0,~, на что указывает непрерывное увеличение параметра решётки бронз без изменения ее типа. Изменение иариметра решетки бронз лкляет-СК фуНКЦИОЙ С1;011С115 ПриС.УТСТЬуЮЩеГО РЗо И 010 К0ЛИЧССТ1Й, что доказывает зависимость по]юыет1;и роиеткн от П"Ш1Ч1 о радиуса и заряду я.пра для бронз одного состпш (х-0,12), приведенная но рис.З.

Исследуемые вольфрамовые бронзы имеют структуру перовскита, и октаодрические пустоты которой внедрён нон РЗО. Ь зтом случае мольное соотношение РЗО и вольфрама даёт величину 1/0, что соответствует брутто формуле бронзы М^ внедрение иона РЗЭ вызывает увеличение каждой элементарной ячейки, а усреднение по всему объему даёт зависимость параметра решётки от состава. Креме тою, при внедрении иона РЗЗ перераспределение электронной плотности приводит к формальному частичному восстановлению вольфрама (У1). Высшим пределом растворимости иона РЗЗ в решётке МО^ является 50 % восстановление вольфрама, отвечающехо предельному содермзнию РЗЭ. Дальнейшее восстановление приводит к неустойчивости всей системы, по видимому, в результате чего выпадает фазь волы}раматв, уносящая избыточное количество Г.Х'«

1 ¥

-3,0

■1.5

0 2,5 3,0 1000

Т

Рис.4. Температурная зависимость электропроводности для

Область существования, экспериментально установленная, имеет пиридину , полностью сонпадзещую с теоретическим значением (х-0,125), что подтверждает справедливость приведенных рассухденш).

Рассмотрение электронной структуры вольфрамовых бронз РЭЬ, основываясь ни известной зонной структуре оксида вольфрама (У!) и приведённых выше результатах псследошпия, позволяет представить её слоцуедим образом. Г.'енду основными энергетическими состоянии-ми, соответствует!!!.!» связям V/-0, существует достаточно узкая зона, отьечаодая связям РЗЗ-0 и являющаяся одновременно, вследствие своего положения, уровнем донорной примеси. Косвенный доказа!сль-ством существования его положения в энергетическо;: зоне, м01ут служить данные по термической энергии активации проводимости, мп-пяыцейсн по ряду бронз в интертале 0,4-0,9 эВ.п соответствии с электронным строением РЗЗ. Термическая энергия активации проводимости, следовательно, не является истинной шириной зэпрьил-нно;»

зон» длн ИССЛСДУГМКХ брОЦЗ, П ипц^'ЛЯСТСЧ глубиной Э.ЧЛШЛНПЯ

дон"(.ч1гх ¡урщ ион. Х:>! • > г н'-л;м..ч ■•'!:.•«'•">:•. щ«-: »»зт»ств сохраняется л." тол;)1'!|аЧ7.ур» (.41) К 11;;:с.'1), соч - ит.71 у: 1, с'ч-лнсно литсратуршм данным, фазовому переходу нодр^ск/тки оксида ноль;}рямо (У1) из моноклинной в ромбическую, изменлшему характер связи и зонную электронную структуру кристалла.

Получение плёнок вольфрамовых бронз

Среди известных способов получения плёнок было выбран" вакуумное резистансе испарение, позволявшее наносить пленки но бые твёрдые объекты, как прово цяшне так и непроводящие. Ь Качестве исходных веществ использовали бронзы состава, отвечаки,ыо середине области их сушествования. Анализ экспериментальных даншлс о использованием регрессионно-статистического метода показвл, что на состав и свойства плёнок при неизменном исходном составе ве-шестю оказывает влияние температура испарения, длительность процесса испарения, остаточное давление, расстояние подложка-испаритель.

Установлено, что вольфрамовые бронзы РЗЬ испаряются с разложением, на что указывает различие состава конценевта-пленок при изменении времени напыления. Наиболее легколетучими компонентами являются оксиды вольфрама, среди ">.^орых основными являются V/ н МС^. Компонента, содержащая РЗЗ, также может испаряться в виде оксидов. Кинет1»ка испарения по каждому компоненту не одинакова. Зависимость скорости испарения от температуры такова, что оптимальное брутто соотношение (состав плёнки усреднённый по толщине) воспроизводится в достаточно узком интервале температур испарения (1770-1Э70 К) в комплексе с другими параметрами, влияющими на процесс испарения (остаточном давлении 13'10-^-13'1СГ^ Па, длитель-

кости испарения 14-16 am, ¡ .чсстпшнм! т'иуыукм - испаритель У-lí) <;м}.

OrtCTOl» И структуру получениях Ii;ii:IIOK |*ССЛ*гД«)Ы»Д» с UOMO&bli 0Л«;кт[)0!Ю1 [у ¡ичепко! о \таол.2), хш.шческщ » (табл.2) шшлпзоь и

IIбс ' I рб 11И о и H О ¡' (_ ,„ -С IUI К'Т р ос 1С ОП IUI .

Таблица 2

Результата олектроцог ¡химического и peirn eiiorpn.j ичсокого анализов бронз Mq " их пленок

■ 1 J.A июликрнс образцов i y.3,810 2,709 2,202 1,909 1,707 1,557 1,3-19 1,273

. г> <1, А ! 3 (пленок), ,79 2,66 2,20 1,87 1,67 1,53 I, 33 1,24

Таблиц?; i 3

Результаты химическою анализа пленок бронз M0,12w03 Ш - P3Ü)

Пленка ! rinninii . W (n =3) 1 P3Ü (n =3) ! V/P30,r/r

РЧп 'Найдено! п , w ,мкг, Ьг ,с" i í ! fin Плен o! 7» ! "°p=-0,S5,P3j,Mitr, , P+- P ! p-0,95, расч .окон.

l.ü 296 0,008 296±6 28 0,03 28-2 11,0 10,5

Со 315 0,018 3I5±I5 30 0,05 30¿4 10,9 10,5

Рг 360 0,014 360±13 38 0,045 38-4 10,0 9,5

lid 400 0,009 400ÍI0 ЗБ 0,024 36¿2 10,6 11,1

Sm 402 0,01 482-13 50 0,01 50±5 10,2 5,6

Ей 285 0,02 285¿I3 29 0,04 29¿4 10,1 9,8

GJ 655 0,006 650±10 71 0,01 71 ¿2 9,7 9,2

Тп 508 0,002 5G8±8 56 0,03 56-4 9,6 9,1

5.У 380 ' 0,005 380±5 42 0,04 42¿4 9,4 9,0

Но 600 0.013 600±20 59 0,03 59¿5 9,3 10,1

Er 530 0,008 530Í1I 52 0,02 52 ¿3 q ? ~ , • 10,1

Tm 405 0,004 4Ci5±4 41 0,04 41¿4 Q T ~ I - 9,8

YB 210 0,004 2ICÍ2 26 0,03 26-2 8,9 6,1

Lu 452 0,004 452±8 46 0,05 46±6 9.0 5,8

Соответствие мсуллпскостних расстояний исходнцх бронз и по--чуч^ннкх рекристаллизокптгх плёнок бронз, результаты химическою пнализп, о также одинаковый характер Ьщ-спектрон для бронз и их нл'-н'ч; (рисЛ и 2) свидетельствуют о соответствии их состава и 'VIр%чстуг» и юзможности получения вольфрамовых бронз в плёночном

1'ИЦ'1.

Физико-химические свойстга плёнок

Полученные плёнки подвергали различным методам исследования. Изучены некоторые оптические и электрофизические свойства, отношение к агрессивным средам, адгезия к различным материалам.

Оптические исследования плёнок вольфрамовых бронз РЗЗ показали их зависимость от структурных особенностей матрицы а возмущение кристаллической решётки, вызванное нонами одной природы, находящимися в одной степени окисления, не оказывает г данном случае заметного влияния (табл. 4). Оптические характеристики

Таблица 4

Оптические характеристики плёнок бронз ^ ~ ^^

Плёнка бронзы ! РЗЭ ! }[ , им ; лЕопт.'эВ ! Показатель , преломления

1а 322 3,85 1,897

Се 328 3,78 1,860

Рг 343 3,61 1,830

330 3,76 1,864

Зт 327 3,79 1,946

Ей 319 3,88 1,780

вл 326 3,80 1,980

Тв 357 3,47 1,790

йу 345 3,58 1,990

Но 342 3,62 2,044

Ег 342 3,62 2,034

Тт 344 3,60 2,064

Ув 336 3,68 2,ОСО

1и 317 3,91 2,130

(ширина запрещении:' зоны, показатель преломления) следует считать усреднёнными параметрами по все.! толщине пленки, так как при переходе от толстых пленок к тонким скпзычдстся эпитаксналь-ный эффект подложки, что должно приводить к фазовым неоднородно-стям по толщине. Действительно, экспериментально наблюдается разброс в знамениях ширины запрещенной зоны и показателя преломления при изменении толщины плёнки. Ь зависимости от области возможного практического использования полученных плёнок следует проводить более детальные исследования зависимости оптических свойств от толщины.

Электрофизические свойства плёнок бронз, /шпротин, ояределя-^ юте я в некоторой степени присутствием РЗЬ'. Так, по ряду бронз удельное сопротивление и термическая энергия активации проводи!,т-1 сти коррелирует с электронным строением РЗО (рис.5). {

2

—|-1-1-1-1-1-1-1-1-1_I-1---1—

Ьа Се Рг N<1 2т Ей GJ Т( Оу Но Ег Тт УЬ (.и х

Рис.5. Зависимости термической энергии активации проводимости ( л Е), удельного сопротивления (Р ) пленок бронз от порядкового номера РХ

Таким обра лог,:, по характеру про; одимости, структуре кристаллическое решётки рекркстиллизотннвс плёнки вольфрамовых бронз РЗЗ повторяют основш.е сп>::ства исходных соединений, хотя по абсолютному значение, электропроводность бронз и их пленок различна, ¿тот (}акт известен в литературе для плёночных образцов других материалов, в том числе оксидов РЗЗ, что объясняется проводимостью по поверхности кристаллитов, либо степенью амортизации микроструктуры.

Исследование химических свойств получениях пленок показало, что они устойчивы к различным кислотам и разрушаются щелочами, лучше;1, адгезией обладают к подложкам из металлов, сто, вероятно,

|»:зоно с тем, -что но своей природе вольфрамовые бронзы более ризки к металлам и их оксидам. Поверхность металлов, как правило, [крыта оксидами, которне могут взаимодействовать со сложными ок-идэки (оксидными бронзами) и растворяться друг в друге.

ВЫВОДЫ

1. Теоретические и экспериментальные исследования интервала гомогенности, физико-химических свойств кубических вольфрамовых бронз РЗЗ позволили получить на их основе ноЕке материалы - плёнки бронз. Методом абсорбционной ь ш —спектроскопии показано, что РЗЗ в области гомогенности находится в трёхвалентном состоянии для плёночных и компактных образцов. Взаимосвязь кристаллической структуры, электронного строения и свойств бронз обья.снена взаимным влиянием РЗЗ и вольфрама. Ионы РЗЭ выступает в качестве стабилизаторов, компенсирующих избыточные химические связи вольфрама. Существующий в результате обменного взаимодействия донорный уровень имеет энергию активации порядка 0,4-0,9 аЗ.

2. Впервые разработан способ получения пленок бронз состава Мд методом резистивного вакуумного испарения и установлены

оптимальнее условии получения ) ос«}'Г>:::«1-о)ак/.гх по составу пленок: остаточное давление 10~^-:3« ¡0""' "а , т. .-/т рят.'ура испарения 1770-.1970 Л, температура конденсации 300-3:10 К, длительность испарения I4—10 сек, расстояние подложка-испаритель 9-10 см.

3. Устано!лени' закономерности и изменении свогств порошков бронз 1! их плёнок от порядкового номера РЗО. Рентгеновская плотность порошков бронз коррелирует с ионным ради у с о?л РЗ'о, показателем преломления и молярными ретракциями их плёнок, па])амстр ре-аётки порошков, удельное сопротивление и анергия активации проводимости плёнок - с электронным строением РЗЬ.

Л. Определены область пропускания плёнок вольфрамовых бронз ряда 1.0- 1-й (0,4-0,8 мш), показатель преломления (1,78-2,13), оптическая ширина запрещённой зоны (3,5-3,9 эВ), термическая энер-I и я активации проводимости в области 300—100 К (0,3-0,9 эВ), удельное сопротивление при 298 К (10* Ом«см). Показано, что оптические свойства плёнок определяются свойствами структурной матрицы о на электрофизические свойства оказывает влияние

присутствие РЗЗ. '^то объясняется зависимостью электрофизических характеристик от степени делонализации электронов.

5. Разработана и применена для химического анализа плёнок вольфрамовых бронз РЗО методика хроматографического разделения РЗЬ и вольфрама с последующим их количественным определением.

На способ получено положительное решение на авторское свидетельство.

6. Показана возможность практического использования плёнок кубических вольфрамовых бронз РЗЭ в качестве резистиших плёнок в гибридных интегральных схемах, проводящих полупрозрачных контактов в электрооптических устройствах. Плёнки использованы в на-куумно-интегральных схемах для плоских экранов Томским институтом автоматизированных систем управления и радиоэлектроника (имеется

lo

справка) и рекомендованы для дальнейших испытаний в оптоэлектро-

нике.

Но материала диссертации опубликоюны следу кшие работы:

1. Шипу нова Н.Т., Козик B.D., Серебренников Ь.Б. Сизико-химический анализ и свойства вольфрамовых бронз редкоземельных элементов // (Материалы УН Всесоюзного совеюния по физико-химическому анализу, Ору нас, 1988. - С. 124-125.

2. Шипунова II.Т., Серебренников Б.Ь., Козик В. В., Спнкельитсйн

Л.Д., Ефремова H.H. Синтез и исследование нек-^пх рольфрамо-вых бронз редкоземельных элементов Ц £. неорган, химии. -1588. - т. - J.:II. - С.2732-2735.

3. Шипунова H.Т., Чечуакою Н.Е. Способ отделения вольфрама от редкоземельных элементов. Положительное ресение .44243004/3126 от 29.08.88.

4. Шипунова Н.Т. Вольфрамовые бронзы редкоземельных элементов // Материалы Менделеев, межьуз. конф., секц. физ. и орг. химии, Томск, 21-22 февр., 23-24 (Рукопись деп. в O'&V.TcV.Y.:.: г. Черкасы от 28 дек. 1984, И202 Деп.). (

5. Шипунова Н.Т., Серебренников З.В., Козик З.В. Вольфрамовые бронзы редкоземельных элементов е плёночном состоянии // С-изи-ко-химические метода контроля и исследования новых химических материалов. Тез. докл. II красой научно-практической конф., АГУ, Барнаул, 1986. С.55-56.

6. Шипунова Н.Т., Козик В.В. Вольфрамовые бронзы редкоземельных элементов и их плёнки // Химизация народного хозяйства - важное условие ускорения научно-технического прогресса. Тез.докл. к научно-практической конференции, Барнаул, 1987. - С.43-44.

7. Шипунова Н.Т. Вольфрамовые бронзы редкоземельных элементов // Химия и химическая технология. Тез. докл. к краевой научно-

практической конференции, поев. 150-летию со дня рождения Д.И. Менделеева, Барнаул, 12Н4. - С.37.

8. Шипунова Н.Т., Козик Ь.Н. Оксидные бронзы вольфрама и молибдена (Рукопись деп. в ОНШЪХИМ г. Черкасы 22 февр., 1988,

.'(207 XI1-88.

9. Ляпунова Н.Т. Синтез и исследование пределов существования некоторых бронз редкоземельных элементов // Физико-химические метод; исследования химических процессов / Межвуз. сборник.-Барнаул: изд-по Алт. ун-та, 1988. - С.123-125.

I .-1

Подписано в печать 3.11.89 АГ » 10637 Формат 60x90/ 16 Бумага писчая.Печать офсетная. Уч.-изд.л. 1,0.Усл.печ. 1,0. Тираж 100 экз. Заказ 1063. Бесплатно

Лаборатория множительной техники Алтайского госуниверситета. 656099.Барнаул,ул. Димитрова,66.