Динамические эффекты когерентного и диффузного рассеяния рентгеновских лучей в Лауэ-геометрии дефектными монокристаллами кремния тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ

Глава I. РАССЕЯНИЕ РЕНТГЕНОВСКИХ ЛУЧЕЙ СОВЕРШЕННЫМИ И ~

ИСКАЖЕННЫМИ КРИСТАЛЛАМИ (литературный обзор)

1.1. Особенности когерентного рассеяния рентгеновских лучей совершенными и дефектными кристаллами в геометрии Лауэ

1.2. Толщинные осцилляции интенсивности при диф -ракции рентгеновских лучей в совершенных и искаженных кристаллах

1.3. Аномальное прохождение рентгеновских лучей в искаженных кристаллах

1.4. Когерентное и диффузное рассеяние в искаженных кристаллах

1.5. Экстинкция и поляризация рентгеновских лучей, рассеянных реальными кристаллами

Глава 2. АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ТОЛЩШНОЙ ЗАВИСИМОСТИ ХАРАКТЕРИСТИК ЛАУЭ-ДШРАКЦИИ РЕНТГЕНОВСКИХ ЛУЧЕЙ

2.1. Методика измерения толщинных зависимостей интегральной интенсивности и поляризационного отношения

2.2. Методика определения периода толщинных осцилля-ций интегральной интенсивности и статического фактора Дебая-Валлера для слабо искаженных кристаллов

2.3. Методика исследования толщинных оецилляций интегральной интенсивности при различных темпе -ратурах

2.4. Измерения коэффициента поляризации в геометрии Лауэ

2.5. Приготовление образцов различной степени совершенства

Глава 3. ТОЛЩИНЕ ЗАВИСИМОСТИ ХАРАКТЕРИСТИК ЛАУЭ-ДЩ>АК-ЦИИ ДЛЯ ДЕФЕКТНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ (экспери -ментальные данные)

3.1. Толщинные осцилляции интегральной интенсивности для кристаллов с малой плотностью дислокаций

3.2. Определение характеристической температуры Дебая из исследований толщинных осцилляций интегральной интенсивности при различных температурах

3.3. Интегральная интенсивность, поляризационное отношение и коэффициент поляризации для кристаллов с большой плотностью дислокаций

3.4. Толщинная зависимость интегральной интенсивности рассеяния для кристаллов с дефектами кластерного типа

Глава 4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ДЕФЕКТНОСТИ СЛАБО ЖКАЖЕН- . НЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПО ТОЛЩИННОЙ ЗАВИСИ -МОСТИ ИНТЕГРАЛЬНОЙ ИНТЕНСИВНОСТИ

4.1. Толщинные осцилляции интегральной интенсивности и статический фактор Дебая-Валлера для бездислокационных кислородосодержащих кристаллов кремния

4.2. Статический фактор Дебая-Валлера для дислокационных кристаллов

4.3. Коэффициент поглощения когерентных волн за счет диффузного рассеяния в слабо искаженных кристаллах

4.4. Определение типа и параметров дефектов в кислородосодержащих кристаллах кремния

Глава 5. АНАЛИЗ ТОЛЩШНОЙ ЗАВИСИМОСТИ ХАРАКТЕРИСТИК

ДИФРАКЦИЙ ДЛЯ ДЕФЕКТНЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

5.1. Анализ экспериментальных данных по статистической теории динамического рассеяния

5.2. Анализ дифракционных характеристик сильно искаженных кристаллов по теории экстинкции

5.3. Интенсивности когерентной и диффузной компонент рассеяния для слабо искаженных кристаллов

5.3.1. Определение диффузной компоненты интенсивности рассеяния для кристаллов с дефектами кластерного типа

5.3.2. Эффект аномального прохождения для диффузного рассеяния

5.3.3. Диффузная компонента рассеяния для кристаллов с малой плотностью дислокаций

5.4. Анализ дифракционных характеристик для кристаллов с большой плотностью дислокаций

В настоящее время все более широкое применение в науке и технике находят монокристаллы высокого качества. Разработка и создание на их основе современных приборов предъявляет особые требования к структурному совершенству используемых материалов. Наличие дефектов в кристаллах приводит к изменению электропроводности и теплопроводности, существенно влияет на механические, оптические, диэлектрические, магнитные и другие свойства. Поэтому разработка чувствительных методов анализа дефектности кристаллической решетки является одной из наиболее важных в научном и практическом отношении задач материаловедения, физики прочности и пластичности, радиационной физики и других областей физики твердого тела /1-9/.

Для решения этой задачи наряду с другими широко используются рентгенодифракционные методы. Их применение обусловлено высокой чувствительностью, большим объемом и важностью информации, которую можно получить при оценке влияния дефектов на характеристики дифракции рентгеновских лучей. Успех и практические возможности анализа рентгенодифракционных данных зависят от уровня развития теории дифракции рентгеновских лучей дефектными кристаллами. До настоящего времени теория рассеяния в таких кристаллах не получила своего завершения. Существует несколько различных моделей, описывающих процессы рассеяния в искаженных кристаллах в той или иной степени приближения. В них используются основные принципы кинематической или динамической теорий рассеяния, справедливых, соответственно, для идеально мозаичного или.идеально совершенного кристаллов. Для выяснения механизма рассеяния и определения применимости используемых приближений большое значение имеет проведение экспериментальных исследований различных характеристик дифракции в искаженных кристаллах.

Важную информацию о типе и концентрации дефектов можно получить из величин статического фактора Дебая-Валлера, определяющего ослабление когерентного рассеяния, и из интенсивности диффузного рассеяния /2,3,10,11/. Диффузное рассеяние в сильно искаженных кристаллах и в областях, далеко отстоящих от узлов обратной решетки, достаточно хорошо описывается кинематической теорией /2,3/. Вблизи брэгговских рефлексов в почти совершенных кристаллах с дефектами диффузное рассеяние необходимо рассматривать с привлечением динамической теории рассеяния /11-14/. При -этом важно учитывать не только поправки, связанные с влиянием диффузного рассеяния на когерентное излучение, но и интенсивность самого диффузного рассеяния. Исследование соотношения когерентного и диффузного рассеяния и изучение присущих им динамических эффектов открывает новые возможности выяснения особенностей механизма рассеяния рентгеновских лучей искаженными кристаллами и обуславливает актуальность проведения таких исследований.

Одним из широко используемых приближений описания механизма рассеяния излучений в реальных кристаллах является приближение теории экстинкции /15/. Эта теория применяется для оценки дефектности и параметров микроструктуры кристаллов, а также в рентгеновской кристаллографии для установления количественной связи между измеряемыми интегральными характеристиками и структурной амплитудой рассеяния. Однако расчет ряда характеристик рассеяния на основании существующих приближений теории экстинк-ции носит приближенный характер, так как они строятся без однозначного решения вопроса о соотношении первичной и вторичной экстинкции, а также без учета диффузного рассеяния. Для установления пределов применимости используемых приближений и выяснения природы экстинкции в сильно искаженных кристаллах большой интерес представляют исследования дифракционной поляризации /16/. В связи с этим является важным изучение поляризационного отношения и коэффициента поляризации в геометрии Лауэ совместно с фактором экстинкции.

Целью настоящей работы явилось прямое определение статического фактора Дебая-Валлера для кристаллов со статистически распределенными дефектами, выделение из измеряемой интенсивности диффузной компоненты рассеяния, установление характера ее толщинной зависимости и выяснение пределов применимости существующих теорий дифракции рентгеновских лучей реальными кристаллами на основе исследования динамических эффектов толщинной осцилляции интегральной интенсивности и аномального прохождения при Лауэ-дифракции и толщинной зависимости фактора экстинкции и поляризационных характеристик. В качестве объектов исследования были выбраны монокристаллы кремния, содержащие дефекты кластерного типа (квазиточечные дефекты) и дислокационные кристаллы с широким диапазоном изменения плотности дислокаций.

На защиту выносятся следующие основные положения:

I.результаты экспериментального исследования динамического эффекта - толщинной осцилляции интегральной интенсивности рассеяния рентгеновских лучей для слабо искаженных кристаллов, содержащих статистически распределенные дефекты - дислокации с плотностью меньше Ю3 мм~^лидефекты кластерного типа;

2. метод прямого определения статического фактора Дебая-Валлера Е-ехр(~Ц по периоду толщиной осцилляции интегральной интенсивности рефлексов и результаты его определения, показывающие, что для слабо искаженных кристаллов независимо от исследованного типа дефектов показатель степени данного фактора много меньше единицы (£ « i );

3. способ разделения измеренной интегральной интенсивности рассеяния рентгеновских лучей на когерентную и диффузную компоненты и экспериментальное доказательство существования эффекта аномального прохождения для диффузного рассеяния в слабо искаженных кристаллах;

4. возможность прецизионного определения температурного фактора Дебая-Валлера и характеристической температуры по температурной зависимости периода толщинной осцилляции интегральной интенсивности рефлексов для дефектных кристаллов;

5. результаты исследования толщинной зависимости фактора экстинкции и характеристик дифракционной поляризации для сильно искаженных кристаллов с различной плотностью дислокаций, показавшие, что природа экстинкции при Лауэ дифракции в таких кристаллах определяется динамическим рассеянием в отдельных когерентных областях и ослаблением когерентной компоненты за счет диффузного рассеяния.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОД*

1. Проведены систематические исследования динамического эффекта толщинной осцилляции интегральной интенсивности рассеяния рентгеновских лучей в монокристаллах со статистически распределенными дефектами. Показано, что этот эффект наблюдается только для слабо искаженных кристаллов, содержащих квазито

3 2 чечные дефекты или дислокации с плотностью меньшей 10 мм . При большей плотности дислокаций имеет место только эффект экстинкции.

2. Найден характер изменения параметров толщинных осцил-ляций интегральной интенсивности рассеяния и ее абсолютной величины от степени искажения 1фисталлической решетки . Установлено, что введение в кристалл статистически распределенных дефектов приводит к быстрому затуханию осцилляций и к небольшому увеличению их периода.

3. Предложен способ прямого определения статического фактора Дебая-Валлера для слабо искаженных кристаллов по периоду толщинных осцилляций интегральных интенсивноетей. Найдено, что для дислокационных кристаллов, как и для кристаллов с квазиточечными дефектами этот фактор мало отличается от единицы.

4. Установлено, что по температурному изменению периода толщинной осцилляции интегральной интенсивности рассеяния рентгеновских лучей в слабо искаженных кристаллах можно с высокой точностью определять характеристическую температуру Дебая.

5. Для слабо искаженных кристаллов предложен метод разделения измеренной интегральной интенсивности на когерентную и диффузную компоненты путем совместного исследования эффектов толщинной осцилляции интегральной интенсивности и аномального прохождения рентгеновских лучей.

6. Экспериментально показано, что для диффузной компоненты рассеяния в области толстых слабо искаженных кристаллов имеет место эффект аномального прохождения, а в области тонких кристаллов толщинная зависимость этой компоненты описывается по кинематической теории.

7. На основе наеденных значений показателя степени статического фактора Дебая-Валлера и коэффициента поглощения за счет диффузного рассеяния показано, что доминирующими дефектами в исследуемых бездислокационных кристаллах кремния являются кластеры. Высокотемпературный отжиг кристаллов приводит к увеличению концентрации примесных атомов в кластерах без существенного изменения их размера.

8. Из анализа толщинной зависимости фактора экстинкции, поляризационного отношения и коэффициента поляризации установлено, что природа экстинкции в сильно искаженных кристаллах при Л ауэ-дифракции определяется в основном динамическим эффектом рассеяния в отдельных когерентных областях кристалла и ослаблением когерентной компоненты интенсивности за счет диффузного рассеяния. Показана ограниченность приближений экстинкции Дарвина-Захариазена и статистической динамической теории Като.

В заключение выражаю благодарность моему научному руководителю заведующему лабораторией рентгенографических исследований Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР кандидату физико-математических наук Николаю Михайловичу Олех-новичу за предложенную тему исследования, полезное обсуждение результатов и постоянную поддержку на протяжении всего периода выполнения работы.

Считаю своим приятным долгом выразить искреннюю признательность Олехнович А.Й. за помощь при проведении расчетов на ЭВМ, Скидан В.М., Пузенковой Л.Д. за помощь при проведении некоторых измерений, всем сотрудникам лаборатории за полезные дискуссии и доброжелательное отношение.

137

1. Джеймс Р. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. - М.: ИЛ, 1950, 572 с.

2. Кривоглаз М,А. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами, М.:Наука, 1967, 336 с.

3. Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах, Киев: Hayкова думка,1983, 408 с,

4. Иверонова В.И., Ревкевич Г.П. Теория рассеяния рентгеновских лучей, -М.: Изд-во МГУ, 1978, 277 с.

5. Пинскер З.Г. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в вдеальных кристаллах. М.: Наука, 1974, 368 с,

6. Пинскер З.Г, Рентгеновская 1фисталлооптика. М.:Наука, 1982, 392 с.

7. Елистратов A.M. Црямые методы исследования дефектов в кристаллах. М.:Мир, 1965, 286 с.

8. Гольцев В.П., Черняев Г.А., Чечеткина З.И. Радиационное материаловедение бериллия. -Минск: Наука и техника, 1977, 96 с.

9. Гольцев В.П., Федшин Е.Е., Коротов В.Ф. Исследование радиационного старения хромоникелевых сталей. -Сб.: Радиационные эффекты в металлах и сплавах. Црецринт КИШ 76-26, Киев, 1976, Ю с.

10. Acta Cryst., 1963, v.16, N 11, p. 1139-1144.

11. Олехнович H.M. Поляризация рентгеновского излучения, дифрагированного в реальных кристаллах, и пределы применимости мозаичной модели кристалла. Изв. АН БССР, с.ф.-м.н.,1980, В 4, с.57-65.> *

12. Darwin C.G. The.Theory of X-Ray Reflection. Phil.Mag. and J.of Scionce, 1914, v.27, N 158, p.315-333i N 160, p.675-690} 1922, v.43, N 257, p*800-829.

13. Ramachandran G.N. X-Ray Anti Reflections in Crystals. Part II. Calculation of the Integrated Reflection and Integrated Anti - Reflection for an Internal Reflection. Proc. Indian Acad. Sci., 1954, A 39. p.65-80.

14. Kato N. Integrated Intensities of the Diffracted and Trans•'-. ' ' t * 1 * 1 . • * • •mitted X-rays due to ideally Perfect Crystal. J.Phys. Soc. Japan, 1955» v.10. N 1, p.46-55.1

15. De Marco J.J., Weiss R.J. The Integrated Intensities of Perfect Crystals. Acta Cryst, 1965, v.19. N 1, p.68-72.

16. Penning P., Polder D. Anomalous transmission of X-rays in' * * 'elastically deformed crystals« Phil.Res.Repts^ 1961, уИб, N 5» P«419-440. 22« Kato N. Pendellosung fringes in distorted crystals. III«1. Л ' ' * ' * r

17. Application to homogeneously tent crystals, J.Phys. Soc. Japan, 1964, v.19. N 6, p.971-985.

18. Цетрашень П.В, Применение метода Римана к расчету дифракции рентгеновских лучей на кристалле с квадратичным полемсмещений. ФТТ, 1973, т. 15. выпЛО, с.3131-3132.

19. Чуховский Ф.Н. Динамическое рассеяние рентгеновских лучейна кристалле, изогнутом в плоскости волнового фронта. Кристаллография, 1974, т.19. вып.З, с.482-488,

20. Чуховский Ф.Н., Петрашень П.В, Дифракция рентгеновских лучей на изогнутом 1фисталле. -ДАН СССР, 1975, т.222. № 3, с.599-602.

21. Иверонова В.И., Кацнельсон А.А., Кисин В.И. Расчет интерференционного коэффициента поглощения рентгеновских лучей в кристаллах с точечными дефектами. ФТТ, 1969, т.н. J& II, с.3154-3160.

22. Иверонова В.И., Кузнецов А.В. Вычисление зависимости интерференционного коэффициента поглощения рентгеновских лучей от плотности дислокаций. ФТТ, 1973, т.15. 1Ь 9, с. 2689 -2693.

23. Dederichs P.N. Dynamical Fcattering Theory for Crystals with Point Defects. Phys. Stat. Sol,, 1967, v.23. N 1, Р»377-386«

24. Dederichs P.H. Effect of Defect Clustering on Anomalous X-Ray Transmission. Phys. Rev. 1970, v.B1, N 4, p.1306*1317.>

25. Authier A., Simon D. Applicatoin de la Theorie Dynamique de S.Takagi an Contraste d'un Défaut Plan en Topographie par Rayons X. I. Faute d'Empilement. Acta Cryst. 1968,

26. V.A24, N 5, p.517-526; II. Franges de Moire, p.527-534.

27. Ивденбом В.Л., Слободецкий И.Ш., Труни К.Г. Рентгеновскийинтерферометр с узким пучком. ЖЭТФ, 1974, т.66. вып.З, с. III0-II20.

28. Суворов Э.В., Половинкина В.И. Экспериментальное обнаружение дифракционной фокусировки рентгеновских лучей. Письма в ЖЭТФ, 1974, £¿20, вып.5, с. 326-329.

29. Authier A., Milne A.D., Sauvage M. X-Ray Dynamical Contrast of a Planar Defect. Pbys. Stat. Sol., 1968, v.26. N 2, p.469-484.

30. V.L. Investigation of image formation of straight-linedislocations in the case of extinction contrast«- Phys.* ' *

31. Stat.Solidi (a), 1974, v.26. N 1,p.385-395. 41.Indenbom V.L,, Slobodetski I.Sh. Image of a Stacking Fault.

32. General Considerations. Acta Oryst. 1961, v.14. N 5,p.526-532.- -. * 146#Kato N. Spherical Wave Theory of Dynamical X-Ray Diffractionfor Absorbing Perfect Crystals. I. The Crystal Wave Filds.J.•• < f « f

33. Appl. Phys, 1968, v. 39* N 5, р#2225-2230; II. Integrated Hef-lection Power, p.,2251-2257. 47.Афанасьев A.M., Кон Б.Г. Динамическая теория дифракции сферической рентгеновской волны. Общий формализм. ФТТ, 1977, т.19. .§ 6, с, 1775-1783.

34. Аристов В.В., Половинкина В.И., Шмытько И.М., Щулаков Е.В. Обнаружение фокусировки дифрагированных совершенным металлом рентгеновских лучей. Письма в ЖЭТФ, 1978, т.28. вып. I, с.6-9.

35. Козьмик В.Д., Михайлюк И.П. Динамическая фокусировка сферической рентгеновской волны. 7Ш, 1978, т.23. № 9,с.1570-1571.

36. Аристов В.В., Афанасьев A.M., Кон В.Г., Половинкина В.И.

37. Пенделлозунг-эффект при дифракции сферической рентгеновскойволны в совершенном кристалле. Препринт ИФТТП, Черноголовка, 1979, -23 с. 51»Aristov V.V., Polovinkina V.I,, Afanas*ev A.M., Kohn V#G.

38. Pendellosung Fringes for X-ray Spherical Wave Diffraction in a Perfect Crystal. - Acta Oryst., 1980, v»A36. N 6, p.1002-1013«

39. Hattori H., Kuriyama H., Katagawa T., Kato N. Absolute Measurement of Structure Factors of Si Single Crystal by Means of X-Ray Pendellosung Fringes J.Phys. Soc. Japan, 1965» v.20. N 6, p.988-996.

40. Hattori H., Kato N. An Experimental Stady on the Form of X-Ray Dispersion Surface Ъу Means of Pendellosung Fringes. J.Phys.Soc. Japan, 1966, v.21. N 9, P.1772-1777.

41. Tanemura S.f Kato N. Absolute Measurement of Structure Factors of Si by Using X-ray Pendellosung and Interferometryif - • . - - ' jH" * ' *

42. Fringes. Acta Cryst., 1972, v.28. N 1, p.69-80. 55#Aldred P.J.E., Hart M. The electron distribution in silicon. I. Experiment. Proc.Roy.Soc.1973.v.332. N 1589, p.223-228; II. Theoretical interpretation, p.239-254.143у ' ' * '9

43. Somenkov V.A., Shilstein S.Sh., Belova N.E., Utemisov K. Observation of Dynamical Oscillations for Neutron Scattering by Ge crystals using the Inclination Method. Solid. State Communications , 1978, v.25. N 8, p.595-595.

44. Takama Т., Iwasaki M., Sato S. Measurement of X-ray Pendellosung Intensity Beats in Diffracted White Radiation from Silicon Wafers. -Acta Cryst, 1980, V.A36. N 6, p.1025-1030.

45. Takama Т., Sato S. Determination of the Atomic Scattering Factors of Germanium by Means of the Pendellosung Beat Measurement Using White Radiations. J.p.n. J.Appl. Phys, 1981, v.20. N 7, p.1183-1189♦f " * V • , t г *

46. Kato N. Pendellosung Fringes in Distorted Crystals, J.Phys.

47. Soc.Japan, 1963, v»18. N 12, p.1785-1791; 1964,v.19, N 1,t . * ■ * • " * ■ . . . .1. P.67-77.67# Kato N., Ando Y. Contraction of Pendellosung Fringes in Distorted Crystals. J.Phys, Soc. Japan, 1966, v.21. N 5» p.964-968.

48. Hart M. Pendellosung Fringes in Elastically Deformed Silicon. Z. Physik, 1966, v.189. N 3, p.269-291.

49. Раранский Н.Д., Боядаан Г.С. Влияние давления и температуры на период маятниковых полос. Тезисы докладов Ш Всесоюзного совещания по применению рентгеновских лучей к исследованию материалов. Черноголовка, 1982, с.181.

50. Тихонова Е.А. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей кристаллами, находящимися в поле ультразвуковой волны. -Металлофизика, 1981, ^3, Ш 4, с.18-27.

51. Тихонова Е.А. Динамическое рассеяние в 1фисталлах со слабыми быстро и медленно меняющимися синусоидальными искажениями. Металлофизика, 1983, tJ5, jg 2, с.8-14.

52. Kato N. Statistical Dynamical Theory of Crystal Diffraction.

53. General Formulation. Acta Cryst., 1980. v.A36. N 5э p»763-769. II. Intensity Distribution and Integrated Intensity in the Laue cases, p.770-778.

54. Елистратов A.M., Ефимов O.H. Влияние плотности дислокаций на эффект аномального прохождения рентгеновских лучей в германии. ФГТ, 1962, т.4, JS 10, с.2908-2916.

55. Ефимов О.Н. Интегральные характеристики аномального прохождения рентгеновских лучей для кристаллов германия с дислокациями. ФТТ, 1963, Тдб, № 5, с.1466-1476.

56. Patel J.R., Batterman B.W. Impurity Clustering Effects onthe Anomalous Transmission of X-Ray in Silicon, J.Appl. Phys, 1965, v.34, N 9, p.2716-2721.

57. Чайковский Э.Ф., Загарий Л.Б. Аномальное прохождение рентгеновских лучей в монокристаллах хлористого калия. ФТТ, 1970, Тд12, Jê 5, с .1534-1536.

58. Кушнир С.Х., Николаева Л.Г. К вопросу о характере нарушений, возникающих в бездислокационном Si при облучении быстрыми нейтронами. ФТТ, 1966, Тд8, В 3, с.982-984.

59. Baldwin Т.О., Sherrill F.A., Young FJ, Investigation of Fast-Neutron Radiation Damage in Nearly Perfect Copper Crystals Ъу X-Ray Diffraction Techniques« J.Appl. Phys., 1968, v.39, N 5, Р.1541-1550.

60. Kohra K., Kikuta S., Annaka S., Nakano S. Stady on Temperature Effect on X-Ray Diffraction Curves from Single Crystals by a Triple Crystal Spectrometer» J.Phys. Soc. Japan, 4966, v.21, N 8, p.1565-1572.

61. Baldwin Т.О. The Temperature Dependence of the Borrman Effect in Copper. Phys. Stat. Sol., 1968, v.25. N 1, p.71-74.

62. Елистратов A.M., Ефимов O.H. Влияние нарушений периодичности на эффект аномального прохождения рентгеновских лучей. Интегральные характеристики аномального прохождения рентгеновских лучей. ФТТ, 1962, т^.Яз 9, с.2397-2410.

63. Efimov O.N., Kovev Е.К. Integral Characteristics of Anomalous Transmission of X-Rays. Phys. Stat. SoL, 1969, v.17.<•1. N 1, p.397-410.

64. Kovev E.K., Efimov O.N., Korovin L.I. Characteristics of Anomalous Transmission of X-Rays in the General Case of Laue Diffraction. Phys.Stat, S0lf 1969, v.35. N 1, p.455-468.

65. Елистратов A.M., Ефимов O.H. Влияние примесей на аномальное прохождение рентгеновских лучей в G-e . ФТТ, 1963, т»5. № 7, с.1869-1879.

66. Альтшуллер В.М., Рычкова С.В. Влияние нарушений периодичности возникающих при распаде твердого раствора кислорода в кремнии на интегральные характеристики аномального прохождения рентгеновских лучей. ШТ, 1968, тЛО. JS 4, с.322-324.

67. Efimov O.N*, Sheikhet E.G., Datsenko L.I. Effect of Impurity Presipitations on the anomalous X-Ray Transmission in Heavily Arsenic Doped Germanium. Phys.Stat. Sol., 1970, V.38. N 2, p.489-498.

68. Шейхет Э.Г., Ефимов O.H. Исследование преципитации кислорода в германии методом аномального црохокдения рентгеновских лучей. ФТТ, 1970, Tjg, J& 8, с. 2250т2255.

69. Dederichs P.H. Dynamical Diffraction Theory by Optical

70. Cruber Е.Е., Blewitt Т.Н., Baldwin Т.О. Anomalous X-ray transmission evidence for olustering in the annealing stade of neutron irradiated copper. J.Appl.Phys., 1974, v.45. n 2, pe542-548.

71. Ефимов O.H., Персон Э. Интегральные характеристики аномального прохождения рентгеновских лучей в германии для интеровала длин волн 0,4970+2,2896 А, -ФТТ, №, т.10 . 1968, с.2234-2237.

72. ЮО.Даценко Л.И., Скороход М.Я., Васильковский А.С. Интерференционное прохождение рентгеновских лучей вблизи К-края поглощения &е . УШ, 1967, т.12. й 2, с. I92I-I924.

73. Ю1.Скороход М.Я., Даценко Л.И., З^уреев А.Н., Васильковский А.С. Исследование совершенства кристаллов однощшетальным спектрометром в случае Лауэ-дифракции. УШ, I97Q.T.I5. JS 5,с.789-797.

74. Gureev A.N., Gudzenko G.I., Datsenko L.I., Molodkin V.B. The X-Ray Laue Diffraction near the Absorption K-Edges of the Ga As Lattice Atoms. Phys. Stat.Sol. (a), 1973, v.19. N 1. p.519-330.

75. Datsenko L.I., Skorokhod M.Ya., Vasilkovskii A.S. The Effect of Dislocations on the Intensity Jumps at the Inter-ferentical Transmission of X-Ray near the K-Edge of Absorption in (re .Phys.Stat.Sol., 1968.V.30.N 1,p,231-237.

76. Даценко Л.И., Короткевич Н.Ф. Дефекты, возникающие при механической обработке поверхности монокристаллов . УШ, 1973, tJ8, Jg I, с.146-154.

77. Даценко Л.И., Николаева Л.Г., Шматко Г.Г. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей с длинами волн, близкими к К-краю поглощения германия, на радиационных дефектах. УШ, 1975, т.20, JS 9, с.1471-1475.

78. I» Тихонова Е.А. Основные уравнения динамической теории рассеяния рентгеновских лучей для несовершенных кристаллов, ФТТ, 1967, ±t9, Biffl.JS 2, с.516-525.

79. П2. Afönas'ev A.M., Kagan lu,, Chukhovskii F.N, Dynamical Treatment of the Thermal Diffuse Scattering of X-Rays. Phys. ' ' f t >

80. Stat.Sol., 1968, v.28. N 1t p.28?~294.

81. Молодкин В.Б. Классификация дефектов 1фисталла по их влиянию на дифракцию излучений в рамках динамической теории рассеяния. I. Когерентное рассеяние (обзор). Металлофизика, 1980, т^2, ü I, с.3-22.

82. Молодкин В.В., Олиховский С.И., Осиновский М.Е. Динамическая теория диффузного рассеяния рентгеновских лучей и электронов в щшсталлах, содержащих дефекты кулоновс-кого типа. Металлофизика, 1983, т.5. № I, с.3-15.

83. Zachariasen W.H. А General Theory of X-Ray Diffraction in Crystals. Acta Cryst., 1967, v.23. N 4, p.558-564.

84. Zachariasen W.H. Extinction and Borrman Effect in Mosaic• t *

85. Crystals. Acta Cryst, 1968, V.A24. N 4, p.421-424.

86. Cooper M.J., Rouse K.D, Extinction in X-ray and Neutron Diffraction. Acta Cryst., 1970, V.A26« N 2, p.214-222.

87. Becker P., Ooppens P. Extinction within the Limit of4 '

88. Validity of the Darvin Transfer Equations. I. General formalisms for primary and Extinction and their application to spherical crystals. Acta Cryst,, 1974, У.АЗО.1. N2, p, 129-147,

89. Zachariasen. Experimental Tests of the General Formula for the Integrated Intensity of a Real Crystal. Acta Cryst., 1968, V.A24. N 1, p.212-216.

90. Zachariasen W.H, Theoretical Corrections for Extinction. Acta Cryst., 1969, V.A25. N 1, p.102.

91. Кузнецов А.Б. О применимости формул Захариасена для подсчета интегральной мощности рассеяной "толстым" щшсталлом в брэгговском симметричном случае при любых плотностях дислокаций. Кристаллография, 1973, т.18. вып.5, с. 944-949.

92. Tomiyoshi S., Yamada М., Watanahe Н. Extinction Correction in White X-ray and Neutron Diffraction. Acta Cryst., 1980,1. V.A36. N 4, p.600-604.$ 'it

93. Werner S.A.' An Zachariasen's 196? paper on the general theory of X-ray diffraction in crystals. Acta Cryst., 1969, v.A25. N 5, P.639.

94. Werner S.A. Extinction in mosaic crystals. J. Appl.Phys. ^974, N 8, p.3246-3254•

95. Laurence J.L. A Critique of Zachariasen*s The6ry of Extinction. Acta Cryst., 1977. v.A33v N 1, p.232-234.

96. Becker P. The theoretical Model of Extinction. Their Domain of Applicability. Acta Cryst., 1977, v*A33. N 1,p.243-249.127« Lawrence J.L. Extinction in large Crystal of Lithium

97. Flouride. Acta Cryst., 1972» v.A28. N 5». p.400-404. 128* Lawrence J.L. Large Extinction Effects in Magnesium Oxide. Acta Cryst,, 1973. v»A29. N 2, p.208-210.

98. Denne W.A. A Type 1 Intensity Measurement Project. Acta Cryst., 1972, v.A28, N 2, p. 192-201.

99. Coppens P», Sabine T.M. Neutron Diffraction Study of Hydrogen Bonding and Thermal Motion in Denterated oC and Oxalic Acid Dihydrate. Acta Cryst., 1969, v.B25. N 12, p.2442-2451*

100. Killean R.C.G., Lawrence J.L., Sharma V.C. Extinction in Lithium Fluoride A Comment on Zachariasenfs Theory of Extinction. Acta Cryst., 1972, v.A28. N 5, p.405-407.

101. Boehm J.M., Prager P.B., Barnea Z. The Effect of Surface Damage on the Intensity of X-Ray Diffracted by Ground Spherical Single Crystals. Acta Cryst., 1974, v.A50. N 3, P.335-337.

102. Sharma V.C. Debye-Waller Factors and Extinction in Sodium- • - - f f , ,

103. Fluoride. Acta Cryst., 1974, v.A30. N 2, p. 278-280.

104. Harvey G.G., Prager P.R. Severe Extinction in Calcium Fluoride: a Test of the Becker and Coppens Extinction Formalism. Acta Cryst., 1975, v.A31. N 3, p.393-394.135«» Cooper M.J.,. Rouse K.D. The wavelength Dependence of

105. Secondary Extinction Effects. Acta Cryst., 1976, v.A32,, ■■ •1. N 5, p.806-812.

106. Kato N, On Extinction. 1. General Formulation* Acta Cryst., 1976, v.A32t N 3, p.453-457. II.The Theory of Secondary Extinction, p.458-466.

107. Олехнович Н.М. О степени поляризации рентгеновского излучения, рассеянного кристаллами германия с различной плотностью дислокаций. ДАН СССР, 1973, т.213. с.560-562.

108. Олехнович Н.М. Зависимость степени поляризации от интегральной интенсивности рентгеновских лучей, рассеянных кристаллами германия. ДАН БССР, 1974, т.18. № 8, с.696-699.

109. Олехнович Н.М., Рубцов Б.А., Шмидт М.П. Зависимость поляризационного отношения и интегральной интенсивности брэггов-ского рассеяния рентгеновских лучей в кристаллах кремния от плотности дислокаций. Кристаллография, 1975, т.20. вып.4, с.796-802.

110. Олехнович Н.М., Шмидт М.П. О применимости уравнений переноса для описания экстинкции в кристаллах. Изв. АН БССР,серия ф.-м.н.,. 1977, №. I, с.118-122.

111. Olekhnovich N.M., KarpeiA.L., Markovich V.L. Polarization of MoK^ -Radiation of the Bragg Diffraction in Real Silicon Crystals. Kristal und Technik, 1978, v.13. N 12, p. 1463-1469.

112. Олехнович H.M., Маркович B.JI. Угловая зависимость поляризации рентгеновского излучения в области кривой брэг-говского рефлекса III Si с различной плотностью дислокаций. Кристаллография, 1978, т.23. të 3, с.658-661.

113. Олехнович Н.М., Олехнович А.И. Поляризация рентгеновского излучения при дифракции в кристаллах конечных размеров. ДДН БССР, 1978, 3V22, № I, с.32-35; J& 6, с.506-509.• t г / '

114. Olekhnovich N.M., Olekchnovioh A.I. Primary Extinction for Finite Crystals. Acta Cryst*, 1978, v.A34. N 2, p.321 326; 1980, V.A36. N 1, p.22-27.

115. Олехнович H.M., Маркович В Д. Поляризация рентгеновского излучения в области кривой брэгговского отражения дислокационных кристаллов кремния. Кристаллография, 1982, т.27. вып.5, с.886-890.

116. Олехнович Н.М., Маркович ВД. О поляризации рентгеновского излучения в области кривой брэгговского рефлекса Ш реальных кристаллов . Д/Ш БССР, 1979, т.23 . № 5, с.421-424.

117. Маркович ВД. Дифракционная поляризация рентгеновских лучей и экстинкция в реальных кристаллах. Автореферат на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. -Минск, 1985.

118. Lawrence J.L., Mathieson A.McL. Variable-Path Laue Measu-renents and Extinction. Acta Cryst., 1977» v»A33. N 2,p.288-293.

119. Белова H.E., Айххорн Ф., Соменков В.А., Утемисов К., Шилыптейн С.Ш. Изучение маятниковых полос в дифракции нейтронов и рентгеновских лучей методом наклона. Цре-цринт ИАЭ им, И.В.Курчатова 33 46//9, г.Москва, 1980, 31 с.

120. Кондратов А.П., Шестопалов Е.В. Основы физического эксперимента и математическая обработка результатов измерений. Атомиздат, M., 1977, с.136.

121. Олехнович Н.М., Шмидт М.П. Экспериментальные методы исследования поляризации рентгеновского излучения, рассеянного кристаллами. Изв. АН БССР, серия ф.-м.н., 1974, J* 4, с .115-117.

122. Олехнович Н.М., Карпей А.Л., Олехнович А.И. Прямое определение статического фактора Дебая-Валлера для слабо искаженных монокристаллов. Доклады АН БССР, 1983,т.27. В 12, стр. 1083-1085.t ■ /Г < J

123. Olekhnovich N.M., Karpei A.L., Skidan V.M., Puzenkova L.D. Dynamical Oscillations of X-Ray Integrated Intensity in Laue Diffraction and Their Temperature Dependences for Si Dislocation Crystals. Phys.Stat.Sol. (a), 1982, v.72. да 2, P.463-467.

124. Олехнович Н.М., Карпей А.Л., Олехнович А.И. Поляризация рентгеновского излучения дифрагированного дислокационными кристаллами в геометрии Лауэ. Весц1 АН БССР, сер.ф1з.-мат.навук, 1983, № 5, с.43-47.

125. Олехнович Н.М., Маркович В.Л., Олехнович А.И., Получан-кина Л.П. Измерение поляризационных характеристик рентгеновских дифракционных пучков. Изв. АН БССР, серияф.-м.н., 198I, £ 2, с.64-67.• ■ >

126. Sirtl Е., Adler А. Chroiisäure-Flursäure als spezifis-ch.es System zur Atzgrubenentwicklung auf Siliziun. Z. Metallkunde, 1961, v.52. heft 8, p.529-531.» •

127. Olekhnovich N.M., Karpei A.L., Olekhnovich A.I., Puzen• ' , ' 't **• « * *kova L.D. Effect of Dislocation Density on Integrated intensity of X-ray Scattering by Silicon Crystals in Laue

128. Gepiientry. Acta Ciyst, 1983, V.A39. N 1, p.116-122.

129. Кютт P.H., Ефимов O.H. Температурная зависимость аномального прохождения рентгеновских лучей в кремнии. ФТТ, 1969, т.Н. вып.2, с.283-289.t • ** TT

130. Kruger A., Stephanik H# Untersuchungen zum Einfluss von1. А ,

131. Temperatur und Versetzungen auf die integralen Rontgenin-tensitäten von Si Einkristallen. Kristall u Technic, 1977» v£T2, N 3, p. 269r273.t > ■ *

132. Olekhnovich N.M., Karpei A.L. Dynamical Effects of X-Ray Scattering in Laue Geometry for Si Crystals with Structure Defects. Phys. Stat.Sol.(a), 1984, v. 82. N 1,1. P» 365-371.

133. Олехнович H.M., Карпей А.Л., Олехнонич А.И. Соотношение интеноивностей диффузного и когерентного рассеяния рентгеновских лучей для монокристаллов 1фемния с дефектами кластерного типа. Металлофизика, 1984, т.^6, J& 5,с.46-50.

134. Даценко Л.И. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей и структурное совершенство реальных кристаллов полупроводников. Докторская диссертация, Киев, 1977, -312 с.