Физико-химические свойства и ориентирующее действие пленок, получаемых при гетерогенной полимеризации и травлении в неравновесной плазме тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.04 ВАК РФ

Б ОД

МАИ ивановская государственная

химико-технологическая академия

Па правах рукописи

КЛЛЕДЁНКОВА Нина Владимировна

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И ОРИЕНТИРУЮЩЕЕ ДЕЙСТВИЕ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ ПРИ ГЕТЕРОГЕННОЙ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ И ТРАВЛЕНИИ В НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЕ

02.00.04 — Физическая химия

Автореферат

диссертации на соискание ученой стгпеми кандидата химических наук

Ипл ново 10913

Работа выполнена на кафедре молекулярной физики Ивановского государственного университета.

Научный руководитель —

доктор химических паук, профессор Зайцев В. В.

Официальные оппоненты:

доктор химических паук, профессор Светцов В. И. (ИГХТА),

доктор химических наук, профессор Батюк В. А. (МГТУ).

Ведущая организация — Московскгя государственная академия прикладной биотехнологии.

Защита состоится « /7. » {'-¿.у. . 1995 г. на заседании специализированного ученого совета К 063.11.01 Ивановской государственной химико-технологической академии. ¿суу /Ос''

Адрес: 153460, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке ИГХТА.

Автореферат разослан « £ » 1995 г.

Учений секретарь совета кандидат химических наук, доцент

петрова р. л.

Обтчая характеристики работы. Настоящая работа посвящена модификации поверхности путем нанесения на нее тонких пленок или травления полимерных материалов метолом плазмохимической обработки,а также исследованию влияния модифицированных по -верхностей на нематические жидкие кристаллы. Пленки наноси -лись в тлеющем разряде пониженного давления путем гетерогенной полимеризации на подложках некоторых органических и неорганических мономеров. Получаемые пленки обладали ориентирую -тим действием на молекулы жидких кристаллов, задавая расположение молекул либо параллельно поверхности.либо перпендикулярно ей в зависимости от типа пленок. Взаимодействие жидкого кристалла с поверхностью оказывало влияние на физические свойства кристаллов,такие как диэлектрическая деформация,электропроводность, электрогидродинамическая неустойчивость. Другим способом модификации поверхности явилось травление полимерных поверхностей из полиметилметакрилата в плазме тлеющего разряда. Изменение поверхностных свойств /полярных и дисперсионных вкладов в поверхностное натяжение подложки/ путем окисления поверхности вызывает изменение энергии взаимодействия жидкого кристалла с подложкой и задает направление ориентации молекул жидкого кристалла. Таким образом,жидкие кристаллы можно исполг. зовать для контроля качества обработки поверхности гак ее индикаторы, поскольку длинные оси молекул могут перестраиваться под действием внешних факторов.

Актуальность темы. В современной технике и электронных технологиях,яспользутаих жидкие кристаллы,определяющую роль играют поверхностная энергия /поверхностное натяжение/, ори -ентируюшее действие и однородность свойств по всей поверхности подложки.Учитывая тот факт,что известные методы /метод Шат-лена,косое напыление, металлов и окислов,вытягивание из растворов, химическая полимеризация и др./ не обеспечивают получение заранее заданных,выше названных,параметров и,особенно,однородности на сложных и большая поверхностях,тема диссертационной работы является актуальной.

Целью работы являлось:

1. Исследование кинетики роста пленок в -неравновесной плазма тлеющего разряда пониженного давления следующих мономеров: метэкриловой кислотн,тетранитршт тетрассрн,стирола,то -лус.чо, метилметакрилатя;

2. Изучение Физико-химических свойств получаемых пленок и

их структуры; установление фактора,определяющего ориентацию жидких кристаллов на поверхности полученных подложек и взаимосвязи ориентирующих свойств и электрофизических характеристик жидких кристаллов;

3. Модификация поверхности полимерных слоев из полиме -тилметакрилата,исследование их поверхностных свойств и взаимодействия поверхностей с жидким кристаллом.

Научная новизна. В диссертационной работе впервые:

Разработан способ получения ориентирующих покрытий в положительном столбе тлеющего разряда постоянного тока в смесях криптона с мономерами: метакриловой кислотой,тетранитридом reí pacopu,стиролом,толуолом,метилметакрилатом.а также в смеси криптона,стирола и ртути;

Установлена связь критического поверхностного натяжения пленок / Зе / с ориентацией жидкого кристалла 4-метоксибензи-лиден-4-бутиланилина /МББА/ на поверхности подложки,согласующаяся с правилом Фриделя-Крейг-Кмегца;

Показано влияние покрытий,полученных таким способом, на электрофизические свойства нематического жидкого кристалла-НЖК /электропроводность,пороговые характеристики электрогидродинамической неустойчивости/.Энергия активации электропроводности НХК увеличивалась от 2 до 3,5 раз.критическая частота электрогидродинамической неустойчивости увеличивалась от 3,5 до 22,7 раз в зависимости от типа пленок на электродах, время диэлектрической релаксации уменьшалось на 1 порядок величины го сравнению с образцом, у которого электроды были без пленок и обработаны по методу Шатлена;

Показано влияние пленок на основе тетранитрида тетрасеры / SiMi/ на эффект Фредерикса,соответствующего В-деформации в гомеотропном образце МББА, который наблюдался в интервале 3-7 В подаваемого на жидкий кристалл электрического напряжения на частотах 2000 Гп и 4000 |\i;

Установлена связь поверхностных характеристик полимерных пленок из полиметилметакрилата / Jl' , /.модифицированных в плазме тлеющего разряда,с энергией взаимодействия жидкий кристалл-подложка и предложен метод контроля качества обрабатываемой поверхности при травлении п химически активной плазме;

Установлены характерные времена модификации поверхности.

Практическая значимость работ». Выполненные d работе исследования имеют народно-хозяйственное значение. Они представляют интерес для специалистов,работающих в области микроэлектроники, могут быть использованы для изготовления элементов .работавших на жидких кристаллах. Полученные результаты и выводы защищена авторским свидетельством № 1167973 1985 г./для слу -жебного пользования/ и внедрены в учебном процессе Ивановского государственного университета в курс лекиий "Физика мезоморф -ного состояния",в лабораторный практикум /лабораторная работа i 5 " Исследование кинетики полимеризации в неравновесных условиях низкотемпературной плазмы "/УИРС/,лабораторная работа № 10 "Влияние свойств подложки на характеристики жидких кристаллов" /УИРС//.

Апробация работы. Результаты докладывались: на 17 Меж -дународной конференций социалистических стран по жидким кристаллам /Тбилиси,1981/, У Конференции социалистических стран по жидким кристаллам" /Одесса,1983/, 1У Всесоюзном симпозиуме по плазмохимии /Днепропетровск,1984/, Юбилейной научной конференции, посвященной 10-летию ИвГУ /Иваново,1984/, У Всесоюзной научной конференции "Еидкие кристаллы и их практическое использование" /Иваново,1985/, 1 Всесоюзной конференции "Смеси по -лимербв" /Иваново,1986/, 71 Всесоюзной конференции "Жидкие кристаллы и их практическое использование" /Чернигов,1988/, 111 Всесоюзном семинаре "Химические методы обработки поверх -ности неорганических материалов /Москва,1991/, Международном симпозиуме по теоретической и прикладной плазмохимии /Рига, 1991/, Всесоюзном семинаре "Теория и практика плазмохимнческой обработки тканей и полимерных пленок" /Иваново,1991/, 1У Межрегиональном совещании "Тонкие пленки в электронике" /Москва-Улан-Удэ, 1993/JI Международной конференции по лиотропннм жидким кристаллам /Иваново,1993/.

Структура я объем работы. Диссертация состоит из введения, трех глав /литературного обзора,методики эксперимента,обсуждения результатов/,выводов и списка литературы. Объем диссертации 236 страниц. Работа-включает в себя 110 рисунков, б таблиц, в списке литературы 180 библиографических ссылок.

СОДЕРЕАНИЕ РАБОТЫ.

Первая глава диссертации посвящена литературному обзору, в котором описаны свойства неравновесной плазмы тлеющего разряда, процессы полимеризации в плазме,особенности взаимодействия плазмы с' пленочными материалами,методы контроля и качества обработки поверхности,взаимодействие жидких кристаллов с поверхностью подложки. На основе анализа литературных данных сформу-лироЕаны основные направления работы: 1. исследовать физико -химические свойства,структуру и влияние получаемых пленок /на основе определенных мономеров: метакриловой кислоты,тетранитри-да тетрасери,стирола,толуола,метилметакрилата при различных параметрах плазмы/ на свойства нематических жидких кристаллов; 2. исследовать поверхностные характеристики обрабатываемых в плазме полимерных слоев из полиметилметакрилата /полярные -^ и дисперсионные - ^ вклады в поверхностное натяжение подложки/ и влияние модифицированных поверхностей на ориентацию и энергию взаимодействия жидкого кристалла с подложкой.

Во второй главе описана методика эксперимента: получение неравновесной плазмы,пленок в плазме,определение скорости роста пленки на поверхности подложки,исследование физико-химиче -ских свойств получаемых пленок,их структуры,влияния пленок на жидкие кристаллы,модификация полимерных поверхностей,определение у/ и и энергии взаимодействия жидкого кристалла с подложкой. Приведены также характеристики объектов исследования.

В третьей главе дается описание эксперимента и обсуждение полученных результатов,Она состоит из двух крупных разделов:

1. Получение полимерных пленок в условиях низкотемпературной плазмы,исследование свойств пленок и влияния полимерных поверхностей' на жидкие кристаллы!

2. Модификация полимерных слоев в условиях низкотемпературной плазмы,исследование их поверхностных свойств и влияния модифицированных полимерных поверхностей на жидкий кристалл.

Содержание раздела 34.

В работе предложен способ изготовления подложек для жидко кристаллических элементов в плазме тлеющего разряда постоянног тока,получаемых из газовой смеси /Кг + метакриловая кислота, Кг + , Кг + стирол , К г. + толуол, Кг г метил -

метакрилат, Кг + стирол + /при токах разряде7=1-2 мА, суммарном давлении смеси £ рл = 0,5-1 торр , при изменении процентного содержания мономеров /метакриловой кислоты,стирола, толуола, метилуетакрилата до 50 случае с тетраннт-ридом тетрасеры при изменении температуры вещества в ампуле от 100 до 180°С. Исследовались физические параметры плазмы /напряженность электрического поля,приведенная к суммарному давлению - Е/р и температура электронов - Т0 /.Скорость

роста пленок п Г—п^—-I определялась весовым методом. а [см41- с ]

Примеры исследования скорости пленкообраэования приведены в таблице 1.

Получаемые пленки имели достаточно высокую адгезию к поверхности. Они были химически стойкие по отношению к действию различных органических растворителей.

Микрофотография пленки,полученная с помощью электронного микроскопа, показала хорошую однородность. Небольшие неоднородности поверхности связаны .еозможно, с образованием надмолекулярных структур /глобул/,размеры и форма которых зависят от условий проведения полимеризации. При элект-ронографическсм исследовании пленок была обнаружена час -тично упорядоченная структура с областями,обладающими ближним порядком,с однотипной пространственной упорядоченностью,

Важным параметром,определяющим ориентацию жидкого кристалла на поверхности подложки,является критическое поверхностное иатяжениа пленок / ^ /. Величина ^ зависит от типа применяемого мономера / например, для пленок из органических мономеров : Ус = /29,3 - 35.0/-10"3 Н , для пленок на основе : = 20-Ю-3 Н /.

Для пленок из органических мономеров ^ слабо зависят от Е/р в пределах исследованных параметров Е/р .

Примеры значений ^ приведены в таблице 11.

Таблица 1.

.\;ет1шлетакрилат СН2 = С(СНз) - С00СН3

% мономера : 10 : 20 : 30 : 40 : 50

Л- ■ 1СГ9, г 2 см • с : 2,30 4,85 : 9,00 : 8,70 : 8,10

Стирол сбн5 - СН = СН2

% мономера : 10 : 20 : 30 : 40 : 50

я ■ Ю-9, г '" 2 ' см • с : 1,57 : 1,55 : 3,50' : 2,50 : 2,20

Толуол сен5 - сн3

% мономера : 10 : 20 : 30 : 40 : 50

А- 10~9, г .......0 - ■■ см*"- с • : 1,35 : 3,35 : 1,55 : 1,50 : 2,00

Тетраннтрид тетрасеры М,

С : 100 : 130 I : 140 : 150 : 160 ; 170 : 180

Я- ■10 8, г 2 см • с '1,12 '1,46 ; •' 1,74 • 2,10: 1,20: 1,16: 1,40

Таблица 11.

Стирол СбН5 - СН = СН2

. в Б/Р» торр см : 31 : 38 : 43 47

Тс' 10"3, Н м : 33,5 : 34,1 : 35 ,0 : 34,5

Таблица 11.

Толуол С6Н5 - СН3

Б 41

Е/р, ТОрр. ■ см 33 37 • 39

И м : 29,3 : 29,5 : 30,1 : 30,0

В соответствии с известным правилом Фриделя-Крейг-Кметца, если критическое поверхностное натяжение подложки

Тс 7 У/. /поверхностного натяжения жидкого кристалла / возникает пленарный тип ориентации жидкого кристалла, а при

Тс^Т*. -гомеотропний тип ориентации. Таким образом, по типу ориентации жидкого кристалла можно судить о ус . Пленки на основе ориентировали г/олекулн жидкого кристалла

перпендикулярно к поверхности /гомеотроиная ориентация/ . Лля пленок на основе ¿^Ц критическое поверхностное натяжение У меньше поверхностного натяжения жидкого кристалла у. . Лля пленок из органических мономеров У 7 У. / см.табл. 11/ , так как .согласно работам Кана- и др., ти -пичное значение У< для жидкого кристалла Г.ГЕБА составляет / 28,8 + 0,3 /-1СГ3 при 23°С. Пленки на основе органических мономеров создавали ориентацию молекул жидкого кристалла в плоскости подложки / планарная ориентация/.

На рис. 1-Я приведены интенсивности светопропускания/7 / образцов с гомеотропной ориентацией нематического жидкого кристалла 4-метокснбензилиден-4-бутиланидяна /МБНА/ в зависимости от приложенного к образцам напряжения / V /.На рис.2 видно, что с применением пленок на основе пороговое напряжение увеличивается,а,следовательно,увеличивается и модуль упругости" Кдд в 1,45 раза.Колебания сгетопропускания череп жидкий кристалл более интенсивные.?ти колебания обусловлены изменением направления директора ■&■=■ /Е, 2 / и,следовательно,величин;)

36 Зч 32 }0 13 26

7- /0~* А

90 ЯО Ю 60 50 М 30

Л

1 ув

7 у, а

Рис.1 Интенсивность светоиро-пускания образца /7 / в зависимости от приложенного напряжения / V / -для сте -кол с проводящим покрытием и подвергнутых тщательной очистке для создания гоме-отропной ориентации МББА. 1-2000' Гц; 2-4000 Гц.

Рис. 2 Интенсивность светопро-пусканил образца /7 / в зависимости от приложенного напряжения / V / -для стекол с нанесенными на проводящие покрытия полимерными пленками.

Л п /Е, 2 / /й п - двулучепрвломление нематического жидкого кристалла / в так называемом эффекте Фредерикса,соответствующего В-деформации. Кривые рис.2 характеризуют более качественную ориентацию НЖК по сравнению с кривыми рис.1. Увеличение амплитуды колебаний интенсивности светопропускания.в соответствии с теорией прохождения света через-скрещенные поляроиды и помещенную между ними жидкокристаллическую ячейку,свидетельствует об однородности ансамбля жидкокристаллических молекул. &1(Г

В результате проделанных исследований били получены температурные зависимости электропроводности НКК /рис.3/. Из графиков по наклону температурной зависимости ^^ /Т-^/ была определена энергия активации электропроводности НЖК / V/ /. Из графиков рис.3 V/ составила: 1-лля образна,обработанного по методу Шатлена 0,44 эВ ,для образна с пленками из стирола 0,86 эВ. Аналогичная обработка данных для образцов с пленками из толуола при использовании МББА дала соответствующие результаты: для образна, обработанного по методу Шатлена У составила 0,32 эВ, -для образца с плазмохшлческими покрытиями из толуола 1,12 эВ. Влияние изолирующего действия плазмохимических покрытий для проводягпих подложек из и изменение в целом эквивалентной

схемы исследуемых образцов при этом приводит к увеличен™ сбке-го сопротивления между электродами и смешению зависимости

' ¿Ь -4?

Рис.3 Температурная за-вис.шость электропроводности 4,4-азоксианкзола /ПА К/ для нематической и изотропией фаз:

1-электроды обработаны по методу Шатлена;

2-электроды покрыты пленкой, полученной в смеси Кг со стиролом. 1-нематический жидкий кристалл;

Л-изотропная жидкость.

фГ/Г1/.

На рис.4-5 приведены зависимости порогового напряжения образования доменов / V„ /от частоты приложенного к жидкому кристаллу электрического поля /У /.

Vn.B

Z J

¥

ч

бо'

SU 40 J0 20 10

I I

1 Z 3 Ч 5 £,$)

Рис.4 Зависимость порогового напряжения образования доменов / \'п /- от частоты электрического поля / )) / для [/ЛБА. 1- для электродов,обработанных по методу Шатлена; 2- для электродов с пленками из метилмета-крилата; 3-для электродов с пленками из толуола.

Рис.5 Зависимость порогового напряжения образования доменов / Vn / от частоты электрического поля / )' / для IIAA. 1- для электродов, обработанных по методу Шатлена; 2- для электродов с пленками из стирола.

Полученные данные позволили определить время диэлектрической релаксации /2 / и критическую частоту / ^ / электрогидродинамической неустойчивости по соотношению:

—~р"—= 4Я*ГЛ* ¿с , ...

где У ' = 6 В- ^ -пороговое напряжение электро-

гидродинамической неустойчивости. Для ШЖА из рис.4 -1 Т = ^ = 435 Гц; рис.4—2 27 =4,5 1СГ4 с, >\ -1540 Гц;

, из расчетных графиков ---.г/--- (ifV

1,0 10~3 с,

рис.4-3 Г =1,1 Ю-4^ % -5812 Hi.

Содержание разпела 3.2.

В таблице 111. приведены значения скоростей травлений по/ при

лимерных слоев из полимотилыетакрилата /£ 10"'-различном времени обработки в плазме / Г /,токе разряда / 7 /

СМ"

to

и расположения подложек по отношению к еходт проточного газа /АХ/.

Таблица 111.

Т , с ' /и: t5 см ' лл =10 см ' л х =5 см '¿;г=10 см

7= 2 мА 7= 10 мА

60 - 32,47 1,77

300 - 10,00 2,35

900 2,47 0,33 2,78 0,83

1800 3,88 0,54 7,28 1,25

3600 2,75 0,30 1,67 1,08

5400 1,47 0,13 2,73 0,62

Лаяние таблицы 111 показывают, что скорость травления связана как с параметрами плазмы /плотность тока j = е пеЫы состав активных частно/, так и с состоянием поверхности.

На рис.6 приведены зависимости краевых углов смачивания полярными жидкостями от времени обработки поверхности полимера в плазме. Изменением краевого угла смачивания характеризуется степень плазменной модификации полимерных поверхностей. Модифицирование сопровождается уменьшением краевого угла. Это уменьшение происходит в течение-900 секунд обработки, затем идет насыщение. Подобные кривые имеют место и при другой скорости протока газа. Модификация полимеров в плазме,вызывающая увеличение гидрофильности их поверхностей, сопровождается появлением по -лярных групп /- С = 0, - 0-0-Н, -ОН / в результате окисления поверхности полимера.С ростом тока разряда и скорости протока газа происуолит уменьшение краевых углов смачивания,так как увеличивается поток активных частиц,идущих на подложку /атомы 0 в ос -ионном ¡1 иопоуздр/шом состояниях,кванты УФ-излучения, метаста -бнльныо молекулы, озон и попы 0+ , О4 /, Сто влияет нп процесс

ГТ

О, граА

* / и.

_ „л 1

-г-— -а ч , Я V

/1

П

Л

г</Л

а

=1=11

2Гзб Й Г/о*с

Рис. 6 .Зависимость краевого утла смачивания / ■&- /от времени обработки подложек в плазме: 1,2-вода; 1,3,5-2 мА; 3,4-этиленгликоль; 2,4,610 мА; 5,6-формамид.

Рис. 7.Изменение полярного , / дисперсионного/ Л /

вкладов от времени обработки подложек в плазме: 1,23,4-; 1,4-10 мА; 2,3-2 мА.

Рис.8. Изменение энергии взаимодействия //жидкого кристалла с подложкой от времени обработки в плазмо: 1-10 мА: 2- 2 мА.

и

36

Г /О* с

Т2

образования полярных групп,изменяет микрорельеф поверхности. Обработка полимера в плазме приводит к увеличению полярного вклада в поверхностное натяжение подложки /л^ 36■10 Ц / и уменьшению дисперсионного вклада Ю-3 И / рис. 7 .

При этом суммарное поверхностное натяжение ^ = + увеличивается. Наблюдаемые изменения полярной составляющей поверхностного натяжения определяют ,в основном, изменения краевых углов смачивания.

Изменение поверхностных свойств подложки оказывает влияние на энергию взаимодействия подложки с жидким кристаллом /рис.8/. Энергия взаимодействия / увеличивается до определенного значения в течение~900 секунд и выходит затем на насыщение. Причиной этого является диполь-дипольное взаимодействие жидкого кристалла на полярной поверхности, которое определяет пленарную ориентацию молекул жидкого кристалла с л 6 /анизотропией диэлектрической проницаемости/ ^ 0 . При наблюдении в поляризационный микроскоп оптических картин исследовалась ориентация МББА на необработанной и обработанной в плазме подложках. На необработанной подложке возникала цветная неоднородная картина с областями различной интенсивности света. На обработанной- цветная картина, однородность которой увеличивалась с ростом времени обработки в плазме. Причиной цветовой окраски является двойное лучепреломление в тонком слое МББА, в результате которого происходит интерференция света. Молекулы жидкого кристалла на необработанной в плазме поверхности располагаются участками под различными азимутальными углами в плоскости подложки. Поворот столика поляризационного микроскопа до совпадения плоскости поляризатора .или ана -лизатора с выстроенной оптической осью жидкого кристалла на обработанной в плазме подложке приводит к регистрации эффекта прохождения света через два скрещенных поляроида. Увеличение однородности ориентации связано с увеличением энергии взаимодействия жидкого кристалла с подложкой и свидетельствует о том, что молекулы жидкого кристалла располагаются на полярной по -верхности по принципу плотнейшей упаковки,которая энергетически более выгодна.

ТЗ

ОСНОВШЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.

1. Разработан способ получения ориентирующих покрытий в положительном столбе тлеющего разряда постоянного тока в смесях криптона с мономерами: метакриловой кислотой.тетранитри -дом тетрасерн,стиролом,толуолом,метилметакрилатом,а также в смеси криптона,стирола и ртути.

2. Исследовано ориентирующее действие плазмохимических покрытий,полученных таким способом, и их влияние на электрофизические свойства нематического жидкого кристалла / электропроводность, пороговые характеристики электрогидродинамической неустойчивости/.Энергия активации электропроводности

НЖК увеличивалась от 2 до 3,5 раз. Критическая частота электрогидродинамической неустойчивости увеличивалась от 3,5 до 22,7 раз в зависимости от типа пленок на электродах. Время диэлектрической релаксации уменьшалось на 1 порядок величины по сравнению с образцом, у которого электроды были без пленок и обработаны по методу 15атлена.

3. Показано влияние пленок на основе в^Щ на эффект Фрз-дершсса, соответствующего В-деформации в гомеотропном образце МББА,наблюдаемого в интервале 3-7 В подаваемого на жидкий крис талл электрического напряжения на частотах 2000 и 4000 Гц. Применение таких пленок давало более качественную ориентацию нематического жидкого кристалла МББА и увеличивало модуль упругости К33 в 1,45 раза по сравнению с образцом,у которого электроды были без пле.чок и подвергнуты тщательной очистке для создания гомеотропной ориентации НЖК.

4. Установлена связь критического поверхностного натяжения пленок /¿Ц / с ориентацией жидкого кристалла Ш5А на поверхности подложки,согласующаяся с правилом Фриделя-Крейг -Кметца. Пленки на основе ,для которых критическое по -вархностное натяжение меньше поверхностного натяжения жидкого кристалла ^ гомеотропно ориентировали нематическкй жидкий кристалл. Пленки на основе органически мономеров,для которых Л планарно ориентировали нематический жидкий кристалл.

5. Л результате обработки поверхности почимерных слоев из полимсгилштакрилата в плазме тлеющего разряда повышается однородность ориентации жидкого кристалла МЕБА в течение ой-

ределенного времени модификации /~900 с /,при котором значение энергии взаимодействия жидкого кристалла с подложкой /\*/и/ выходит на состояние насыщения, что может быть использовано при применении жидкого кристалла как индикатора качества обработки поверхности.

Основной материал диссертации изложен в следующих публикациях.

1. Влияние свойств подложки на термодинамику,электриче -ские и оптические характеристики жидких кристаллов/ Зайцев В.В., Каледенкова Н.В.,Еаренов Р.И..Чистяков И.Г./I/Международная конференция социалистических стран по жидким кристаллам.Тез. докл.т.2-Тбилиси,1981.-с.283-284.

2. Зайцев В.Б..Каледенкова Н.В.,Чистяков И,Г. Влияние сеойств подложки на электрические и оптические характеристика нидких кристаллов.// Жидкие кристаллы и их практическое приие-нение-межвузовский сб.научных трудов.-Иваново,ИвГУ,1982.-с.104-111.

3. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В..Чистяков И.Г. Молекулярный механизм образования полимерных пленок в низкотемпературной плазме,оказывающих ориентирующее действие на нематические жидкие кристаллы.// У Конференция социалистических стран по лсидким кристаллам. Те з. докл. -т. 1, ч. 2. -Одесса, 1983. -с. 205-206.

4. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В..Блинов А.П. Получение полимерных покрытий в плазме положительного столба тлеющего разряда.// 1У Всесоюзный симпозиум по плазмохимии.Тез.докл.т.11. -Днепропетровск, 1984. -с. 105.-106.

5. Зайцев В.В,.Каледенкова Н.В. Молекулярный механизм образования полимерных пленок,оказывающих ориентирующее действие на нематические жидкие кристаллы.//Юбилейная научная конференция, посвященная 10-летию ИвГУ.Теэ.докл.-Иваново,1984.-с.132.

6.А.с. 1167973 С02 Р 1/13. Способ изготовления .подложек для жидкокристаллических элементов./Зайцев В.В..Ерыкалов Ю.Г., Каледенкова Н.В. /СССР/-3633498/24-25; Заявл. 16.08.83 /не подлежит опубликованию в открытой печати/.

7. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Влияние плазмохимических покрытий на некоторые электрофизические свойства нематических жидких кристаллов.// У Всесоюзная научная конференция "Жидкие кристаллы и их практическое использование".Тез.докл.т.11,кн.2. -Иваново,1985.-е.138

8. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Получение смесей полимер-мономерных соединений на поверхности подложки в тлеющем разряде пониженного давления.//1 Всесоюзная конференция "Смеси полимеров"Лез.докл.-Иваново,1986.-с,181-182.

9. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Влияние поверхностей тонких плазменных покрытий на свойстеэ жидких кристаллов.// Поверхность.Физика,химия,механика.-1987,- № 4.-с.71-76.

10. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Влияние тонких плаз -менных покрытий на свойства нематических жидких кристаллов.// Жидкие кристаллы -межвузовский сб.научных трудов.-Иваново, ИвГУ,1987.-с.87-92.

11. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Взаимодействие жид -ких кристаллов с подложками.полученными в низкотемпературной плазме тлеющего разряда пониженного давления.// У1 Всесоюзная конференция "Жидкие кристаллы и их практическое использование" .Тез.докл » т.1У.-Чернигов.1988.-с.527.

12. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Плазмохимическое осаждение на поверхности ориентирующих для жидких 1фистал-лов покрытий.// 111 Всесоюзный семинар "Химические методы обработки поверхности неорганических материалов".Тез.докл.-Москва,1991.-с.32.

13. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Применение нематических жидких кристаллов /МБЕА/ для индикации качества обработки поверхности.// 111 Всесоюзный семинар "Химические методы обработки поверхности неорганических материалов".Тез. докл.-Москва.1991.-с.33.

14. Зайцев В.В..Каледенкова Н.В. Выстраивание полимерных пленок в плазме для модификация поверхности жидкокристаллических индикаторов.// Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Тез.докл. -Рига,1991.-с.183-185.

18. Zaltsev V. V., Kaledenkova К. V. ftllanment of polymer Films ln plasma for modification of surface of llquld crystalllne lndlcators. /7 International Symposium on Thfioretical and Applied Asper.ts of Plasrw» Chemlstry. O^al pnd Poster Prusnntatlons. - Rlga.Latvla, 1991. -p. 164.

T6