Использование спектрофотополяриметрических методов для определения параметров шероховатости поверхностей и оптических параметров тонких пленок тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.05 ВАК РФ

ЧЕРН1ВЕЦБШ ДЕРЖАВНИИ Я11ВЕРСИТЕТ 1м. Ю. ФЕДЬКОБИЧА

РГ6 од

На правах рунопису

У «< мл г

С- « ¡¿^

ЖИТАРПС Вистор Григорович

ВИКОРИСТАННЯ СПЕ1С1Р04ОТ0П0ЛЯРИМЕТРИЧНИХ МЕТОД1В ДЛЯ ВИЗИАЧЕИНЯ ПАРАМЕТР1В Ш0РСТЮ0СТ1 ПОВЕРХОИЬ ТА ОПТИЧНИХ ПАРАМЕТР1В ТОНКИХ ГШВОК

01.04.05 - оптика

Автореферат

дисертац! I на здобуття науювого ступеня хацяхдата ф! зико-математичлих наук

Черн1вц1 - 1993

Робота виконана в Чсршвсцькону державному ушверситет! 1мс1П Пр1я Федьковича

НАУКОВИИ ШЧВНИК - кавдндат ф! зико-матенагнчгшх наук, до цент

ГУМШЕЦЬШ Стефан Герасимонич.

0Ф1Ц!ШП ОПОШЛИ:

доктор ф1знко-матокатичних наук, професор Китьського державного университету

ШАИКЕВИЧ !гор АндрIйонич.

кандидат ф1зико-натенатич1ШХ наук, доцент Чершвецького державного ушверситету

ПОЛЯНСШИ В 'ячеслав Костянтикович.

ПРОВ1ЯНА ОСТАНОВА - Харк|вськия дераавний ун1верситет.

Захист вибудеться 1993р. о 143° год. на

зас1данн1 спец1ал1зованот ради К 066.16. Об при Чершвецькому державному ушверситет! 1м. Ср1я Федъковича за адресов: 274012, м. Черн1вц1,-вул, УШверситетська, 1.

3 дисертащею ложка ознайомитись в науков1йб1блттещ Чер-швецького державного университету 1м. Ю. Федьковича.

Автореферат роз 1сланий ¿ц^ам&а 1993р.

Вчб1Шй сскретар спец|ал!зованот ради МОХУНЬ 1.1

ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА Р'ОБОТИ

Актуальность тони. Розвиток олтико-^зичного приладобудуЕан-я висувае перед досщдшманп та конструктора»! проблему розв 'яз-■у прямих та обернсних задач взаснод!I влпром I нхшння з игарсткнни юверхняни об *скт ! в та Екроб 1 в, функцюнальн! зластивост1 яких иэначаеться стано.ч тх и!крогеометр| г. Ц]ш зушвта:ться кеобх1д-Псть прогнозування розстших власпгшстея понерхонь rio норкова-ик стандартани параметрах шорсгкосп, а з 1нюого боку - д]агнос-■ики стану шкрогсомвтрп по параметрах в1дбитого поля випрон!лишня. При нанесенн! гол бок ira недопои iроваш чи шорстк1 поверхн! ашкае питания про вплкв шкрогсометр) I гпддог.хл на тонкогопвхо-ü структур« з течки зору трансформац!г гх оптичних зластнЕостей. Актуалыпсть таких досл1джень визначаеться такими (¡актора-чи.

1.Ексгйрцлеитальн1 доел i дни кня характеристик в1дбитого cbit-ювого поля проводиться на атсстованих по параметрах юрсткосл товерхнях, виготовлених методом в!льного абразиву. Це вшагае знания ф1зич1П1Х та технолог1чних умов формувакня мкрорельефу, <арактеру взаемозв'язку игл параметрами шорсткост!, як1 викорис-говупгься при теоретичному описашм явищ в1дбивання.

¿.Структура в1дбитого св1тлового поля в1добра»эс функцп х>зпод!лу м1кронер!вностея як по висол, так i по нахилу; цэ зу-■ювлюз важлив!стъ експериментального досл!дкення цих розпод1л1в 1 ix тооретичну апроксимащю стандартнини законами розпод|лу.

З.В зв'язку з активними пошуками безконтактних метод 1 в контролю стану шкрогеометр1I поверхонь, зокрема оптичних, важливими s експериментадьн1 досл1дження параметр!в св!тлового поля в функцп нормованих параметра шорсткосл на предмет Естановлення нет-ролопчного узгодяЕння юнугмкх оптичних та иштх иетодт вюпрю-вання,. можливостея та ефективност! нових розробок.

4.3ростання застосування покрить поверхонь та тонкошиекових систем вимагае виявлсш« ступеня в1дпов1дност! м!крогеометр!й по-верхн1 шару 1 шдстилашо! поверхн!, встановлення {актор I в таган в1дпов1дност1 та ф1зично1 картини формувалня поверхонь шар!в. Тут додатково вини; де експерииентальна задача досл1д;*ення впливу м!к-рогеоматри шдлолюк на точшетъ визначення оптичних параметр!в тонких шар|в. При цьому. в свою чоргу, необх1дне знания похибок встановлення оптичних тосляних шар!в, вдаликаних наближеннями метод!в об:;рненого .розв'язку задач оптики тонких гопвок та алара-

туршши похибками бим 1 рлзвашш параметр]в свтювих пол1в.

Мота роботи полягас у про веда щи систешшх терретичних та огепоринонтапышх доел 1даонь кож застосуваиня спекГрофотокетрич-шк та иоляризатяних методIв при д1агносгищ коркованих парапет-р1в шорсткост! порI вних погерхонь, виявлення стану М1крогеоиетр| т поверхопь шр1в, со наноситься на гпдложку, встановлення точносП визначення чкелових значень оптичних постшних тонких шар1Е. Вка-зана мета досягасться розв'язком сд|ду0гих задач.

1. Дэслиукешш статистики 1 параметр! и н!крогеометр1! шл 1 -ваних виьшж абразивом паи!рхо11ь б широкому д1апазон1 IX зииш

С о. 01 £ к,, п,г. мкн).

2. Експоппкешилын та теоретичш досл1д;гешш вигляду функ-цп розпод1лу мIкронпрIвностсй по висот!, 1х апроксимацт стандартам розподыои Грамма-Шарльс.

3.Теоретично досл!дження коофЩ1снта дзоркальнос.1, отрима-пого методом дотнчнот плоаини, у випадку аироксимац! I функцп розпод|лу вказашш више чином. Теоретично та експеринентадыю доел !джешщ появи та виявлення дзеркального блиску на фош дкфуз-1ЮГ0 розе 1 ЯШш.

4.Експеркненгалып досл!дження спектрофотометричннх характеристик параметра св1тлового поля: дзеркального, дифузного, пов-ного в1дбивань випромпшвашш в!д шорстких поверхопь р1зно1 ф!-зично1 природа в функцп параметра шорсткост!.

Б.Розробка способу визначення шорсткост! деталей по кутовим досл1дженням дзеркального взбивания.

6. Поляризац1Ян1 досл!даеш1я в1дбитого випрон1ншання В1д вказаиих поверхонь, вклшахни матриц1 Мюллера для дзеркально! та дифузно! складових', коефЩ1ент1Б яскравост! на предмет встановлення 1нвар1антностГ окрених елеменпв до ф1зичних та геометрич-них параметра шорстких поверхонь.

7. Виявлення коре ляд п величин евторозаяння шдложки та нанесено! на не! ПЛ1ВКИ.

8.Виявлення впливу св1тлорозс1яння шдложки на значения встановлених ,.араметр!в тонко! гопвки, нанесено! на цю шдложку.

9.Досл1дження меж застосування спещю1нтерференц1Шшх мето-д|в визначення оптичних параметр!в тонких дапвок.

Наумова новизна роботи:

1.Остановлено, шр в облает I не до по л |ро во к поверхонь функцт р03п0д1лу М1КрО}!Рр1ЕНОСТСЙ л0 висот I значно в1др13шсться в!д 1'а-

усового типу 1 ноже, бути апроксиконана розпод1лои Грамма-Шарлье; для Яого представления необх!дне знания таких статистичних параметра як асинстр1я е* та ексцсс XIд цих величин в функцп середнъоквадратичн! висоти ССКВ) нжооиортностеа нас ушвер-салышй характер, шзалензнй в)д ишу матер 1алу поверхн) та технолог 1чних режим!в пол!рування. Висловлсио прилунения, вр така заложи1сть характерна для будь-якого перехдаого ренину формуван-ня нового Бипадкового процесу 13 наивного,-

2.Д0СЛ1Д1КС1П1Л статистики н!крорелызфу та зв'яэаних з нею параметра шорсткост! для матер I ал 1 в з р!зиов ф!зичною природою дозволила встаиовити експеркненталышя зв'язок ник параметрами шорсткост 1, а також те, шр величина зершктост! абразивного порошку -но с однозначшм критерии иорсткосп, яка залежить таком В1д ф1зико-механ!чтгх властивостел поверхм. ' -

3.Виходячи 1з встшювленого виразу для функцп розиод1лу н1крошр1вностсй по бис от 1 для реальних поверхонь, одержано формулу для коефилента дзерлалыюго в1дбивання.. Експериментально показано, шо дзеркальнз шдбшання визначаеться параметром висоти та ф1зюш-мохан1Ф(ими властшзостями матер|алу поверхн!. Проведена апроксиматя ефективного значения регулярного в1дбивання в функцп параметра висоти кц.

4. На основ1 виклацоного в пункт 1 П, запропоновано спос!б ви-значёння шорсткостI детал! за результатами кутовях доопдаень дзеркалыюго в!дбивалня.

5.Сформульовано фазову иггерферентйну умову дзеркальност 1. Встановлено зв'язок мин пггерференцшаш параметром висоти н'кро-нер|виостей та стандартними параметрами шорсткостI.

6.Систематизатя оптичннх. доел I диень по в1дбиванню в функцп параметра »ч дозволяе оц]нити меж! застосуванкя та можливост! оптичних метод!в д]агностики шорсткост1 поверхонь.

7. Експерииентально показана, пр компоненти иатриць дзеркаль-ного та дифузного в!дбивання однозначно визначаюгься параметрами шорсткост! поверхонь конкретного матер1алу. При цьоиу встановлено. ар елененти дифузних матриць б1льш чутлив! до зм!н м1крогео-метрп та до типу доел!джуваного матер 1алу.

8.Доел 1 джбккями ворелящтшх властивостей м!крогеонетр1Я поверхонь шару та шдлояоси Бстановлено, шр д!електричним конденсатам властиве розе юти на внутр1шн!х неоднор!дностях та адатквна модель шорсткост!. Висловлено придушення про наявшеть критично!

висоти М1 крошр 1вностсЯ шдлояаси, при досягненн! яко! в1дбуЕаеть-ся змша нехал!зн|в конденсат I вакуумних покрить.^П1вв!дшшення Ц)е1 висоти. розм!р1в зерен конденсату та товщшш шару визначапгь характер модсл! Шорсткост1 поверхонь.

9.Експериментально доел I доено вллив недопол |ровок шдножки на метролог 1ю оптичних параметр!в тонких шивок, як1 Еиэначаягьсн спектро 1нтер(1еронетр!ею. Естановлпна липяна залежшеть показника заломлення та експонентна для поглинання випрошншашш шнвки В1Д шорсткост!.

10.Досл|дження похибок споктроштерфзрсншйких негодик дозволило встановити меж! застосування осталшх та вимоги до нетро-логишого забезпечення вик1ршання коеф\ц1екпв в|дбивання та пропускания систем.

П.Запропоновано спсктрофотометричний метод вишривання показника поглинання тонко! шпеки. На в!дм!ну в!д 1спу01их, дана, методика слабо критична до експериментальних похибок вин I ртання оптичних параметра поля кшромIнизания.

Практично значеш1Я роботи. На основ! одержаних результат!в по вюиршашио статистичних параметр!в ыорстких поверхонь, дос-Л1джень величин св!тлового поля, розс!яного шорсткоо поверхнею та сформованого взаемо.тею 1з системою "гопвка-шдлонка", розроб-лено ряд практичних рекомендац1й та пропозид1й:.

1. Для поверхонь, отриманих методом В1льюгр абразиву, вста-ношен! К1лыс1сн1 зв'язки мш висотними параметрами шорсткост! в широкому д1апазон! 1х зм!ни.

2.Встановлено, ио оптичн! метода д1 агностики'м1крогео.нетрп, в основу яких закладено теорI» 1саковича-0екмана, можуть бути за-стосован! для високопол!рованих поверхонь з кч<0,02 мкм.

3.Врахування реально! функцп розпод1лу М1 крошр ишостей для шпфованих виьним абразивом поверхонь в рамках вказано I теор и розширюг область II застосування вклщно до 0,15 нкм;

4. Запропоновашт спос!б визначе)шя шорсткост 1 деталей поши-рюеться на поверхн! з к,>0,15 мкм I забезпечуе метролог!чне уз-годження оптичних та проф!лометричних метод| в вим!рхвань.

б.Знайдеш законом 1рност1 знш величин компонент матриць дзеркалыюго та дифузного вибивання в залежносп В1д нормованих параметр!в шорсткост 1 можуть бути використан) для реал!зацп без-контактнкх оптичних метод1в кокгрол» цкх парамэтр!в.

6. Всташвлена ефективн!сть застосування розглкнутих спектро-

игтерферентяних метод1 в виэначення оптичиих пост!йних тонких пл1вок, доел 1 давно вплив недогол1роЕок шдложок.

Результати роботи сприяить оеммеленн» теоретнчних полокень у шшчсгаи взаеноди електромагштного випром]нх©ання та нер1вно1 поверхн!. Свди Б1дносяться умови застосування методу дотнчних площин, критерии дзеркальност 1, дерев 1дбивання та зат1не}шя, по-лярнзацшм е^екги i таке ¡нес.

Одержан! експсрименталып результати сприяюгь прогнозуванню ефзктивнсст 1 наукових розробок по створенн» метод!в та метода оптично! д|агностики стану м!к*рогеометр! г поверхн!. , забезпечзнюо метролог 1Ч1гого узгодаеши даних метод!в та профшометрп.

Встановлення моделей в!дпов|дност! м1крорельеф1в поверх)!! пл1вю[ та п1дложки сприятиме оптин!зад!1 конструкт я нашарованих дшлектричинх систем при гх розрахунках матричники методами.

Проведена робота по оцIнцI точност! дозволяс виявити вплив залишкового розаяння шдяожки та експзриментальних похибок вим!-рювання паранётр!в поля на встановлення параметр!в тонких пл!вок.

На захист вшюситъся!

1. ФункцIя розподиу м!кронер1вностея по висот1 для шорстких поверхокь, о'триманих в!льшм абразивом, в|др1знясться в1д гаусо-Бог форми I мойе бути апроксимована розпод1лом Грамма-Шарлье.

2.Ефектив)шй коеф1Шент в!дбивання "випромишвання визнача-еться не тиьки сукупними характеристиками и1крогеометр|I поверх-н1, але I II ф!зико-механ1чними властивостями.

3.При д|апюстиц| поляризатяними методами ф!зичних та гео-метричних параметр!в шорстко1 поверхн1 на предмет Естановлення 1х 1нвар1антност1 до окремих елеменлв матриц! перетворення 1нтен-сивностея, н'Яб!льш !нформативною е дифузна складова в1дбитого випромиивання.

4.Ступпш В1 дпов!дностI м!крогеометр1й поЕерхн! гипвки та шдложки визначаеться величиною м!крогеометрп остаяньои розм1-рами структурних утворень шару, його товщиною.

5.Спос!б вим1рювання шорсткост! поверхн1 детал1 по 1нтенсив-1юст1 кутового ходу дзеркально в!дбитого т ипром1нювшшя, якия за-безпечуе метролог1чне узгодження з проф!лометр1ею.

6.Точнють' встановлення спектро1нтерферометр1ев показника поглинання шивки як и оптичного параметру, наяб1льш критична до похибок вим1рювання св1тлових величин та залишкового шеля пол|-рування рельефу поверхн! п!длотси.

7.Методика визначеши показпика поглинання тонкоi шнеки, слабочутлива до похибок вшпрмзаши свилових параметра систем.

Апройатя роботи. Осшвн! результат» та положения роботи др-пов! дались та оЗговорявались на: Ресиубл!канськ1й конференцп "Структура и физические свойства тонких пленок" Си. Ужгород, 1977р. л, ni, 1у Всесоюних парадах по шширенки лазерного випромиюзання в дисперсному середовщ! Си. Обшнськ, 1982, lS85p. р., и. Барнаул, 1903 p.), v-ij> Всесоюшя науково-техннвПй конференцп "Фотомотрля и ее метрологическое обеспечите" Сн. Москва, 1084р. ), v-m Всесоюзна шсол! по огггнчнт обробц! !кформа-цп Си. !Сигв, 1004р.), "-in Всесоюшя конференцп "Радаоволновиз и оптические метода л средства неразрушавдго контроля качества прониилешшх изделий" Си. Одеса, 1985р.х1-|Д Всесоюзнт наукош-техн1чн1Я конференцп "Неразрушащие физические методы и средства контроля" См. Москва, lS67pJ.

ПубЛ1кадп. По матерIалах дисертацшю! роботи опубликовано 15 роб!т в наукоЕнх журналах та !шшх виданнях.

Структура та об'ей роботи. ДисертаЩя складасться 13 вступу, п'яти.'лав, еисновк1в; вякладена на 223 сторшках машшопису, 34 малшен та 15 таблиць, б1блюграф!я - 207 наяиенуваиня.

3MICT РОБОТИ

У сстугп обгрунтовусться акгуалыпеть теми, сформульовано мету роботи та склад задач досл1дазнь, представлено новизну та практкчиу значшпеть, дана коротка аштащя по главам, приводиться осиовш положения, як1 бшюсяться на захист.

Периа глава побудогана на анал!з1 наукоЕо-техн!чю1 лпера-тури по теи1 роботи. 'Розглядаетъся теоретичний аспект взаемод! i електроиагштшго поля з норшпою поверхнею. Обгрунтовуетьсн ие-обх1ди1сть системного досл1да:ення функцп розподиу н!крон2р1вно-стей по BiicoTl в широкому д!аггазок1 зм!ки висот н1кронер!вкостей для оптичиих поверхонь, отримашк методом вцьного абразиву. По-' казано, ер у фориувашп в1дбитого С пропущзного) нер1вною поЕерх-нею вищшипсваши прилнаг щлий конплекс явшд та процес1в. а са~ ме= рельеф■ поверх«!, пров1дн1сть натер 1алу, явищ первв1дбивання та затиюпня, наявшеть виюшканого обробкою трицинуватого шару, дифракишп та плазмонн! ефекти. В розгляд! 1снуших теор1й акцептована увага lia краев! умови висх!дш!х поломень.

Розглядаоться практичн! реал!зацп оптичиих метод ! в. в основу яких покладсно анал ! а- скалярних та ьекторнпх конпонещ поля.

шдбитих чи пропушшх шорсткою поверхнею. 1з анал!зу лиератури вшшшае. щр наявш методики не поиипшгься на поверх}!i з k^i, де у- - хвильовий вектор, а -СКВ нжроиертностей, аналогом яко! е параметр шорсткост!

3 вивэоэиаченого вишпшае необх1дн!сть проведения систекних експериментальних доел I день залежлост! вказаних компонент поля в1д регланентованих нормативними документами параметра шорсткос-Ti HeplBüoi ловерхл!. Для регулхвання необх1дного р!вня величини поля, то зазнае взаемодп з поверхнею, на останню накосяться р1з-номанítiil покриття. Тут вшмкае питания про ступ!нь в1дпов1дност1 н1крогеометр!Я поверхонь nnlBim та Шдложки. Разом з цин, в1дсут-н1 експериментальн! досл1да;ення впливу залишкоюг м1крогеометр! I на точшеть визначення оптичних параметра тонких гоивок.

На 0СЮВ1 проведеного анал1зу сформульована мета роботи та склад розБ 'язуваних задач.

D друг i я глав I обгрунтовуеться виб i р об 'ект! в досл1 даень, проводяться доел i давши статистичнкх характеристик та параметр!в шорстких поверхонь. отриманих нетодон вьтьного абразиву.

Виб1р матер i ал I в для об'ект 1 в досл!джень баэуеться на вимоз| ix непрозорост1 у ,досл1джувшюму спектральному 1нтерЕал1, однак з р!зною глибииою прошжнешш хвил1 у приловерхневий шар. Це герма-шя, кремн1Я та д!електрик - скло 1ЧСЗ. " В1дм1нн!сть у глибин1 прониснення дозволяе поруч 1з рельефнмх шаром доел 1 дай вклад у .в!дбивання I порукеного обробкою приповерхнеЕого трI щинуватого шару. Для розд!лу цих чинникш поверхш метал Iзувались у вакуум! ag, ai," in. Дэсл1дження тонкопл]вкових покрить проводилось як на метал 1зованих, так I на д|електричних- системах.

Досл|ди:гння М1кгорельефу в терм1нах параметра шорсткост 1 проводилось, окр1м вказаного, На поверхнях оптичного скла Кв, ЛС5, $3, ТФ1. В якост! абразиву вшсористовувались порошки м?12, wt5, М40. !.С8. М20. мю. Пол1рування велось алназнимл пастагш та полентой на заншевих та повстяних пол1рувальниках. Це дозволило розширити градащю рельефу поверхонь включно до висот кх=чЮ шш.

Вюмрювання статистичних параметра -а характеристик проводились з допомогою проф1лометра-проф1лографа та1ьшг-5 ф1рии "Теялор-Гобсон", Великобриташя. ОброЗка одержаних екслеринен-тальних результата проводилась зпдно виког стандарту ГОСТ 8.207-76, враховуши характер розподиу результат!в спостережень.

Результати досл!джень зведеш в таблиц! 1 подан! в дисерта-

Ц1ЯН1Я робип. lía шдстав! цих даних всташвлеш к1льк|сния зв'я-эок ми; висотнюш параметрами шорсткост!, а сане:

i-дикнка, , 0-ка<0,05:- R„;

11-д1ляшса, 0,05-R.,<0.55= R*=*5.7Ra. Ra»>r27ñ R«,". ш-Д!ЛКЗиса, С,ет<ка: Ra=>/~E7ñ R,.

Прям mea. Маж1 диянок встающей! в мжрометрах.

ЗвТдск'ёжшшае, да рекокендацп ГОСТ 2789-73 в!дносно киь-к1сшго за *язку к1и вказаними величинами, на шверхн!, отриман1 методом виьного абраз;шу, не пошршться.

Додатков1 Д0СЛ1ДИВННЯ статичних властивостея шорстких повер-хонь проводится то результатах обробки профиограм, як1 включали в себе розрахунки параметр!в шорсткостI, асимегри sk ra ексдесу е„, побудову пстограм як' екеперкменталъного аналогу функцп роз-под1лу HiKpoHcpiBHocTeñ по висотI, а також апрокеимацио реального розподиу стандартними: Гауса та Грамма-Шарлье. 3 допомогою кри-терпв Шрсона та шзеса-сшрнова проведено оц1нку налешност! реального розподиу до нормального. Наявния матер1ал дозволив дос-Л1ДИТИ Лункпоналыш Х1д.<%, E„j=f(Rq). з нього випливае, щр поверхн1, отрииаш методом в1льного абразиву, не можуть в загаль-ному випадку описусатись юрмальнщ законом розподиу. Ун 1 нереальною нормою кого описания ноже бути стандартния розлоди Грам-ма-Еарлье з параметрами оц!кки Rq, s, , е.,.

Дослдаекня функционального ходу кл=г1к„) виявляе особливу точку в облает i кч^о.об юш, тобто в. облает 1 екстремальних зна-чень s,.( ех. Бказане е також насл1Дкои досл1дження матенатичного очпеування параметра реального к i норнального t процесш, як1 зв'язэди.ми; собою залеипстю ¿c<Ra>=EiiRJR4. Це означас, щр в раз! ЗН1Ш1 функцп розподиу випадс0Б01 еоличини ф!зичкого пронесу. дославши будъ-якого з пьраштрш цього процесу в функцп Rq> як перыого моменту розподиу, можуть виявлятись особлив1 точки. зв 'язал! не тиькн з фоикою процесу. але 1 з яого статистикою. Ц1 точки не проявляться в представленн! параметра Rq-другого моменту розподиу. Отже, при розробц! оптичних метод ie контроле необх1днв вшгорлсташш параметра кя - середньоквадратич-ного В1дхилешш м1кронер1вностея в1д середньо1 Л1нп, який 1сну-шим стандартом на шорешеть ГОСТ 2789-73 не регламентуеться.

В трет!я глав! досл!джуються меж! эастосувйння скалярних ..а-раметр!в поля для визначення параметр 1 в шорсткаст! поверхонь. Пе-

ревами б1льш!сть обернешь розв'язюв грунтуюься на теоретишшх розробках 1сах»вича-Еекмана, результатом нкнх, наприклад, для дзеркальнаго ефективного в|дбива1иш сшвшдношення'

я*^=1лСчж>1а • (.и

Тут до коефпцснти регулярного ыдбивашш

шорсткот та абсолютно гладкоI поверхонь того ¡к матер!аду ; *Счг> -характеристична функди норновано1 густшш розпод1лу м!кронер!в-ностея по Бисот1; чг - проект я ладашого та в!дбитого хвильового векггора на нормаль до сероднього р|вня поверх«!.

В !сну0ш>: теор!ях приведегаш сп1вв1дношения СУ до розра-хушсошго вигляду зд!йсиогться шляхом прийняття гаусово1 (¡орнн функцп розпод!лу. Вив® показано, пр для оптичних поверхонь найб1льш сприлтливою'формою розпод1лу с розпод!л Гранна-Еарльс.

3 прияняттям цього характеристична функц!я матине вигляд:

+ + м^3] в*1'С-1\\<*г/2). (2)

ш

08

0£

04

02

о.«м аов '0.12 щб ого 0.24 9ьмкн Мал.1. XIд дзеркального в1дбивашш в!д шорстких поверхонь при нормальному опромженн) в функцп параметра Крив! 1, 2-розрахунки зпдно сп!вв!дноиень 1саковича та Со)! з+5 -експеримент для 51 та 1ЧС-3.

В таршнах комитента в)дбившпш ложна записати8

Е С 5

"„Л"'1 4 47 12 +{ 5Т ) (3)

Вирази С2). СЗ; в1др1зшшгься в|д в1дпов1дних в теорп 1са-ковича-Бекиаш наявшсгю члена в.дужках б!ля еюегешенги 1 при нормальному процва (Ек, £^=0) прмймаоть загальнов!дония виг лед.

3 нал.1 вшшваг, шр використання реально! функцн розподиу дае кравд наближзшш до експерименту, о;£нак задов!льного описают не спостер1гаетья внаоидок обмеженост! висх1дних полошень теорп 1сакавича. Ота®, оптимальшш е пошук алрокснмац! я, як! б эадо-В1лыю описували парамотри в!дбитого сытлового поля.

Беручи спизв1дношення СЗ) за базоыз, апроксинац!» експери-ыенталышх залеааюстей 3--5 для довиышх купв опромтення модаа представити у вигляд!:

Ч'£Т*] +рт] ^^ С4)

Тут а - параметр, яий визиачасться кр;ших Ст5 1 дпя кремню, герианш та 1ЧСЗ в1дпов1дш даршшс 0,754; 1,334; 1,(576.

Однак сп!ввIднолзшш С«) не допускае обернешго розв'язку

в1 д1£0С|£0 О. Це ЗД1ЙСИВе~ься 112 ОСНОВ 1 НаСГуПНОГО СП!ВВ1ДН0ШеКЯЯ:

с1 - С 51

Туг: - кутова фушсц1я, о г параметр, який экспериментально иизначаеться на поверяих з В1доним к,. Яюсть апроксииацз I эа-ленаюстея домаштруеться проставлению! шткани бш-кривих 3+5.

Приведено сшвыдношення покладдно в основу розробленого способу визначешш шорсткост! поверхонь деталей, захвданого ав-торсысим св1д0цтб0м. Иш;о суть полягас.в тому, щэ випробовану по-вврхив опром!;;«хоть лучгои кол)шзашго мошхроыатичного випром!-нювання поел I давно шд кугамн а, та 1а, В1ш!ршть !нтенсивностI гм1,1да2 дзоркального вибнтого випроитшшня та виэначавгь кч.

В продставяешп С13 характориет^ша фуюсцIя мае змют анши-туди в!дбито1 в д^ркальному иапряму хбклг. Наявшсть конплешш одинищ б!ля иоефипента асикотрп тдпе шжлиысть статистичио! 1нтерпретад| I в)дош1х явищ спектрального розкладу 61 лого випром!-ишашш шорсткими поверхнями в напршиу дзеркального в1дбивання при близьких до дотичиих кутах, та В1дхшзння дзеркального блиску в)д геометрнчшго напримку при монохроматичнону опром!ненн1. Це шшливас з сшшлдаоьення (3?, так як його комплексна форяа св1л~ чигь про ианБН!с1ь у в1дбиванш зсуву фаз л, вимиканого асимет-

pie» фужцп розпод^у. Величина цього зсуву визначаеться*

tqto-^ Чу/ [14^ .,V]. Ш

Тут ч2= -2пСсо*<р + sir.y.5^, де р - кут пад1ния, v - кут В1дбиьан-¡ш в налряжу дзеркального блиску.

Розглшгута кутов! укози появи та в [ зуалыюго спостережння дзеркального блиску на предмет гх використання в д1агностид1 шор-сткостI. Узагалынаочия анал]з науковот л1тератури та проведена теоретична робота дозволили сформулгвати три незаленних унови дзеркального вибиваши: етатистичну, хвильону та фазово-пггерфе-ренцгагу. Зг1дно статиетич1!01 умови принцип в!зуального вняЕлення дзеркального блиску на фон! дифузного розс!яння залмсетьея1

г », (.7)

де в чисельнику штеисившсть дзеркального блиску. а в знаменнмку - дифузного фону в межах дифракшяного конусу розс1яшш.

На наш погляд. в в]дом1Я умов! Мелисса Енча невилсиених с пошття i jrrepíjepe i Яш I влеоти в тер.чпшх параметр] в шрсткост 1. ■3 проведешши в1дпов1дного розгляду вказана унова запинаться:

и CiAi ✓ C32cosvO '. СО)

Чазова штерфореншяиа унова, с^ормульоиана па шдстав) от-

Ф4 80

60

40

20

Мал 2. йюви появи дззркалыюго б писку. Крив! 1+3 -розрахунки зпдно вираз|в С7+9). з*,4 -екслерименталь-н1, для чистих та Аз-металюованих поверхонь 1ЧСЗ.

риманого нами сп1вв|дноиення СЗ), де п1д знаком експоненти ф1гу-руе квадрат фази для в1дбито! гаверхнею хвшп, заяишеться:

ССчсо^1(1 п*

--- —-:- < — ^о^

Л.2 0,7Ь - (П^а^р)0,1 1

На мал. 2 крива 3 отримана шдсташвко» в <?> значения параметра с, яке в1дов|дае иовзрхням 13 1ЧСЗ. Крнв1 ?.'+4 -екепзримен-тальш, в!дповIдно для поверхонь !ЧСЗ та дня тих же ювархонь, але нетал 1 зованих ср|блои. Крив1 3 та 3' 'пракгично сшышдають, тод1 як х1д 4 деда В1др1зняеться в!д ходу 3. Вважаемо. щр таке сп|внадашш було б ножлщ'им, якби в унову (9) п'дставиги б значения с, яке Б1дпов1д<цз поверхзшм ср1б;,а. Огае, найкрал^ в1дпов1-дае експерименгалыош даним фазова штерференцшш умова, яка ноне бути покладена в основу методики визначенкя параметра к, при встановленому для конкретно! поверхш параметр 1 с.

Вюлршання повного в!дбивань в1д поверхонь обект 1в проводились на ютегральшму фотометр! з центральна розм|щзнням зразк1в в 1нтервал1 0,4-1,0 мкм. При реестрацп дифуэно! складово1 регулярная пучок шшодшся через отв1р, а отримане значения дифузного коефщ. лгга скоректовано в1дпов1дно втрат на ньому.

Спектральн! вщпрхваши на бс1х дослдаених паБзрхнях з гра-

Крив! 1+4 -повне Б1дбива1шя для аз, А1, та зп 5 та 5' -дифуз-но в1дбиванни поверхонь ги 5 -прям! експериментяиьн! дан|, а 5"-скорекгован: на втрати через отв!р.

дацию в межах 0,025+1,7 юсм, окр!м 1ЧСЗ, виявили незначну се-лективн!сть у вказанному иггервал) х. отше, дифракц1йн1 ефекти не справлять помтюго впливу на скалярш параметри ыдбитого Кипром! нкжання, а IX величина може прогнозуватись теориши, в яких закладено метод дотично! плошини.

Мал. 3 демонструе Х1д повного СR*) та дифуэного (.«*) ыдби-вання. Зиеншення його 1з зростанням на лочатков1й дтянщ за-лежностей зв'язуеться 31 збиьшекням кратност I акт I в перев1дби-вшшя випромишзання мин вершинами м1кронер!ЕностеЯ. Починаюш а кчг=0,5 мкм, в!дбивашш В1д метал )зованих поЕерхонь. приямае лос-т)яиу величину, тобто зб1льшення млькосп вказаних акт)в призу-пиняеться )з зростанням к,. В1дм!нн1сть ходу я» для поверхонь si та а» поясмоеться р1зною глибиною проникнення випромтхвання в приговерхневий'шар матер 1алу. Н 'зростання залучае у взаснодю шв| горизонта трИщшуватого шару, збиьшути тин самим к1льк1сть об'емних неоднор|дностей, як| i зумовлшгь зростання в1дбивання.

Цей факт особливо актуалышй для 1ЧСЗ, для якого глибина проникнення становить 125 мкм при *=0,63 мкм, шр значно перевшцуе глибину залягання тридинуватого шару. Спекгральна залекн1сть повного в1дбивання поверхонь IMC3 з р1зними кч. на в|дм)ну В1д попе-реджх, виявляе яскавий обернешь характрер, а ефективний коеф1-ц|ент в!дбивання перевищуе одюшцю. ВихоДячи з того, шр в1дбиван-ня Ад-метал1зованих поверхонь 1ЧСз практично не виявляе спектрально! залежност! при дов1лышх к,,. можна вважати, щр вказана залежн1сть викликана оптнчиими неоднор1дностями тршщнуватого шару. Знаядена алроксимац!я продставляеться наступннм ьиразом:

/г* =(« ✓ t 5 } +.L. (10)

Тут параметр '< заложить в|д зернистост! застосованого для форну-вання мифорельефу абразиву, а параметр як асимптота р!вняння СЮ), для поверхонь.з великими знаходигься в меиах 0,82-0,83 i сп1впадае 13 значениями »л високовцбиваююго Аэ-локриття. Отже, можна вважати, шр асимптота l являе собою в'дбивання вшцюм|нд-вшшя рельефом поверх])!, тод! язе лерший чинши сл!вв1дношення (10) формуеться припоЕерхнввим трицинуватм шаром. Встановлення заленаюст! м)ж параметром м та розм|ром абразивного зерна еиявило п линяний характер. Виходячи з шлоигнь технологи обробки оп-тичних поверхонь, показуеться, 'щэ параметр м пропорциям глибин1 залягання тр|щинуватого шару.

Анал13 попереднього показус, шр гавне в!дбквання не може.бу-

ти використаним для встановлення м!крогеометр| I шорстких повер-хонь, а слвктралышй х]д цього в1дбившшя для матерIал Iв з великою глибшо» проникнеиня випронпссвання дае пфрмацио про пара-метри трцщшуватого шару як насл1дку дп тструменту на поверхню.

Анал1з залсиаюст! дифузного в|дбиван1и на ионотоннють в функцп кч вкявляе добр! перспективи для використакня цього параметру поля в задачах д1агностики стану шкрогеоиетр!I повархонь, на яких спостер!гаеться дзеркаиьния блиск Смал.З, крив1 5. 5').

В чствер'ПЯ глав] представлеш результат« досл]даень полярн-защкпох струкгурй~Е1дбитого ыорсткою повархна» випрон1ншання у виг ляд 1 елешглв матриць перетворення вектор-параметра Стокса та поляризащяних дифузних.компонент пх, пи коефЩ!ента яскравост!.

Як в дзеркалыпя, так I в дифузн!Я матрщях, для дов!льних купв спроншення та спостеренення е кс ш рим е нт ал ь но шдтвердкено наяшпсть д]агоналысих та елемзнив г21, г^,

Апал1з результат!в вим]рввання иатриць дзеркального взбивания для вс 1х доел I дауваних об'екпз виявляе слабку чутливють окрених когаонент до зм]н параметр!в шорсткостI, зокрема к,.

Ц4

О?

02

0.1

-01

-02

•

~/?у,и км

О 2 ^ V 0 6 > 1 0 1.2

ае 0.7 0.8

Мал.4. Х!д елемент!в матриць дафузного в1дбивання. Опромтспня нормали®, слостереження при Крив1 1+4

-елемент г пэверхонь а», т», <*«», крива 5 -вденект г 1ЧС-3.

Так. значения для се знаходиться в менах 0,65+0,9? при знпп пч в!д 0,07 до 1.3 мкм в облает! купв спостереження у=0+60°. При у;60° гы дещо зростае, досягаючи значень, близьких до олиниц!. 1нш| натер1али виявллюгь сл!дуючу картину: дня 1ЧС-3 г22=0,98*0,935 (угЭБ+ЕО"): для та тп розкид значень <22 при змии «т у вказанону для I¡порвал 1 знаходиться в кэшах 0,93-5-0,97 (.у;60°). Для 31 наксииальния д1алазон зм!ни компонент г33. знаходиться в менах 0,75-0,9 (у=50-55°). Для 1г. та А1 вказашш д1апазон дещо меншия В1д 21, однак бпшшия, шж для 1ЧС-3. Таким чином, доел! ■ :вш1п д|агональних - компонент гшказус шдсутшсть ч1тко1 в1дпов1дност1 мIж тх чшелышми значениями та змию» параметра к., . /Зля компонент г 1221, 1картина дешр иша. ПаЯбиьша змта спостер]гаеться для А1 на 1 складае 40.5+0.22) в облает! ^70°, а наЯмеша - для 1ЧС-3 (40,94+1,00)5 в облает! при сксч1,е7 мкм.

Отае, використання елоненпв дзеркалыш матриц) перзтшрен-ня вектор-параметр 1 в Стокса з кетою д!агностики шорсткост) поверхонь малопсрспскгивне з причини низько! .IX чутливист! до зм!н

Елемеити матрнць дифузиогс в1дб;шання 1стотно В1др!зшшгься В1д попередтх по. 1нфорнативност1 та ишар!антних властишстнх до ф!зико-геометричш1Х параметров поверхонь. Спостер!гаетьсн достат-ня для практичного використання чутлив!сть та нонотоюисть залек-ностей прнведеннх елеменпв, особливо при невеликих к, (.нал. 4).

Отже, поданий графншия матер1ал демонструе можливост) вико-ристшпш цього методу для рсал!заци безконгактних онтичних спо-соб1в вишршшня параметр!в н1крогеом8тр11 шорстких поверхонь.

Поляризац1йн! доелдаення коеф1ц)ент1в яскравост), язе регла-ментованих ф,.тометричшк величин, на поверхнях з градацию м!кро-геонетрп виявляюгь селектившсть яскравост! в функцп параметра висоти. Встановлення чисельного критер|я ц!е1 висоти дозволяе прогнозувати дифузш властмвост! шорстких поЕерхонь. Показана вн-сска чутлишеть методу до з«1н параметра абсолкггне значения якого не перевищус 0,2 мкм. Однак його використання можливе при наявност! еталонних поверхонь.

В п*ят1й глав! розглянуто питания ступеня в1дшв]дност1 м1к-рорельеф!в поверхонь хинвки та шдлоь-ки, екепериментально дос-л1джено вплив залишкового м!крорельефу поверхн! шдложки-на точ-шеть визначення оптичзшх параметр1в пл1вки, нанесено! на що шд-ложку. Тут же доел 1 давно г.охибки Бюирювання оптичнкх параметра

ПЛ1ВКИ, зуковлеиих, з одного боку, наблишениями розв'язку оберне-них задач оптики тонких пл!вок, а з пшого - похкбкани вимлршан-ня параметр)в св1тлобих лол1б'тонколл1вкових систем.

Дослидання ступеня в1дпов1дност| зд|р.снюсться встановленням залехаюст! шж иггегралыш св1тлорозс1янням д1електрично1 слсте-ни "лл!в;са-п1длотса" та св!тлорозс1янням чисто! шдложки, а таком по вишриванням тдикатрис шдбитого випром названия поЕерхшши м-, 1П-1Ш1Б0К, накесених на ыорстк! шдложки. Д|елекгричн1 система отржусались у вакуум! терк1чшм нанасенняк на клкнопо-д!бн! скляш п1 длолак з градащею м1крогеонетр! I робочих поЕер-хоиь в!д високопол 1 рованих до иорстюс< з нкм. Анал1з ре-

зультат! в по розс1яшю на дюлектричних системах проводився з ви-користаниян в1доиих теорспгчиих моделей С 1стиаи, Карн!льа) коре-ляцп поверхонь: адитивно1, повно! кореляцп або II в!дсутност!, неоднор1дност1 показника залонлеиня самого шару.

Залежи 1сть повного розс1шшя системи "шивка-шдложка" . «ст в!д повного розс1яюш Ц1С1 ¡к п 1 дложки Лпд мае дв1 р1зних функцю-нальних д1лянки. Для поверхонь з ^<0,015 ккм лет=Сб+8^пд, а при б1лыш>. лпд=о,Злст- 3 ?еоретичних положень випливае, що кодна з перечислен}« моделей не лоясюое такого зб!льшення св!тлорозс1-яння сигтени в межах перпш диянки, Показано, що поЕерхням Д1-елекгричлих конденсат 1 в, нанесених на шдложки з ^<0,015 мкм, властив1 дв! нодел 1: внутр1щньо1 неоднор!дност1 та адативно! шор-стквст 1 з псреваааяиик егошвом. пераот. При сх:п,015 внб1р моделей-такой неоднозначниЯ: проглядавгься о^наки кореляшйног модел 1 з коеф!Ц1снтом кореляцп, близьким до адшшд|, та адигивно1. Проло-нуеться назвати такий'стан кореляшяно-адитивною ноделлю.

ЗмIна моделей кореляцп поьерхонъ в окол1 =0,015 нкм св!д-чить про змигу мехашзму конденсац! I структур: зб!льшення шорст-кост! Шдложки р!влозначио зб1льшенн» центр1в конденсади, шр приводить до згасання М1град1йлих процесс на поверхн! I форму-вання др1бнодисперсио! структури шпвки. Бисловлено г!потезу на-явност! критичних висот м!кронер|вностей поверхн! шдложки. при яких в|дбуваеться зм1на мехашзм|в конденсат I структур.

' Доопдаення нехашзшв кореляцп при ^0,1 мкм проводилось да ищикатрисам в1дбитого випромпиовання в!д метал 1зованих ** та 1п поверхонь а. обгоБорення скспериментальних результат 1 в грун-туеться на в1докоиу тезис 1: при 1дентичних !кникагрисах шкро-рслььефи поверхонь тотовд!, Поршндння |нднкатрис чистих та

ai-поверхонь практично не виявляоть в1дмишостея при невеликих кутах розеiяши Cv<40°> та значениях Н1крогеометрп еих1дно! по-верхн1 R<,=0. ОЗмкм , однак при.б1льших кутах розакша здатн1сть ai -поверхоиь дошо змеишуеться. Причиною цього с шйтрал1зац1я ме-талевою шнвкою припоЕсрхнепого тршшуватого шару, ягам в!дпов1-дас за розс1яння у великокутову зону. Зб1лыен1ш шорсткост1 шд-ложок призводить до позначного розшиппння шдикатриси для ai -поверхоиь, а для in-покрить -значного у Есьому кутовону д1апа-зош, виклгасане флуктуащями тобщини шару, тобто екходом на по-верхню додаткових м1кронер1вностей. Розбиток цих процес1в спричн-няеться зб1льшенням м1крогеомстрп niдлоахи з одного боку, а з 1ншого - великими розм|рани кристалтв, характепними для 1ндио. Таким чином, при шдносно гладких шдаояках та кйЕ-еликих роз.ч!рах кристаллITIв-вакуумного конденсату ноиша 'сприянэти кореляцтно-адитивну модель юрсткост!, а при розвитку процесс виходу зерен шару на поверхню вказапа модель переродиться в некореляц!йну.

Доел 1 дяешш впливу залишковог м!крогеомегр| I шдложки на точнють визначенкя оптичних параметра тонких гопзок проводилось на д|електричних системах "m.)f2 - .скляна клинопод1бна шдложха". Спектрограма пропускания системи записувалась з використанням 1H-тегралыюго кульового фотонетра, спряжепого з оитичним виходом спектрофотометра СФ-4А. Точн1сть Бим|рювання - на р1внЮ,2к. Виз-начення оптичних послянлх. шар1в проводилось по нетодид! Ляшенко-Мияославського, X ) д показника заломлення » та поглинакня ■ M'jf, при зростакп параметра К шдпожки виявлне л1к1яний спад п та експоненц1Яне зростання ». Зб1льшення означае зненшення фактору заповнення приповерхнево I зони, тобто змешення Зростання * пов'язуеться 31 зб иьшекням рохшпи на поверхн! при зростан-HI Розрахована товщина шар1в не виявляе залежностI В1д к».

Викормстання вказаног методики вимагае попереднього визначенкя порядку ттерференцп. Дня цього використовуеться вираз:

» СШ

де р - к!льк1сть екстренум1в на спекгрограм! пропускания, а та

-В1ДПОБ1ДН1 довжини хвиль крайних екстремум!в.

Однак, реыпзашя обернених розв'язк!в задач оптики тонких ПЛ1БОК вносить долю сумн)в)в в зв'язкг/ з припущенняни та набли-нвннями, из приймашься в IX ход|, а також каяЕШстю апаратурних похибок вюиршання коеф1щент!в нропускання та взбивания. Роз-рахушеовому анал!зу шдлягали чотири cneirrpo!нтерферекцIйних не-

тодики розв'язку обернених задач: 1-мотод посл1довних наближень Ляшенко-Милославського. 2-нонограми Бадеева, ' S-iTcam I Г1с1на-Конпхова-ИссмелоБа, 4-иодель Черемухжа-Кириснко-Гурджа. Висх!д-III рОЗраХУНКп В1 AwríL^úIim Та ПрОЛУоКаНИЯ rpamllvJ рОЗД1 лу ^ik» та систени пов1тря-пл1вка-п1длошка-пов1т'ря т, як розв'яаок прямо! задач), сфориували базу висх1дних даних для машинного розв'язку злдао вказанях методик. Вишоена ршиця mi« заданиям паралетра-ми шпвки та отриманими в ход! оборнених розв'яэюв скиадас тео- . рстичну похибку метод i в. Апаратурш похибки враховувалксь шляхом змши ВИСХ1ДНИХ даних точного розв'язку пряно! задач 1 на величину -f0,F>".; причому вважалось, щр в максимуи! прилад завшцуе нокази, а в мипмум! зашккуе. Показуетъся, шр вже друге наближення для ме-тод!в 1, 2 забезпечуе точнють не прше I'/-. Використання значень точного розв'язку R, т для методик 1-о(к1льк1сть наблшкень для 1,2- чотнрн) виявляе практично сшвпадання з висх1;,.шни даними при «<0,01. Врахугання апаратурних тохибок показуе, щэ для " та товщшш пл1в1си t при «<0,1 тохкбка не перевищуе 1*. Особливо зна-чния вплив апаратурш похибки справлять на показник поглинання при нкзькому його piBHl. Иалриклад, при «=i*io"* методики 1.2 ви-являоть похибку порядку 400-/., 3 - 180*, 4 - 3000-'.. Зменшення ■ на порядок зб1льшуе вказаш похибки також на порядок. Таким чином, найбмьша критична увага при визначещ! t гопвок повинна

виявлятись до' показника поглинання *.

Запропонова нами методика вим|рювання суть яко1 полягае в иоделювакн! грапиць роздиу систени ловiтря-плiвка-ir1дяокка-пов!тря одн1ею ефекгивною границею роздиу. на як1й в1дбуваетъся роздрплещи падашого потоку на в!дбитий та пропушрний. Ф1зично Це в1дпов!дае язифт ДБОпроменево1 шгерференцп. а висх1дне сшв~ в1днопюння для Бугер1вського поглинання ^ мае вигляд:

le » t"4 ln ЦТ / С1 - R3] ✓ IТ0. ✓ С1 - (.12}

Тут т, r - пропускания та в1дбивання системи шпвка-шдлоноса, а т0, к,, -чисто i шдлойски. Роэрахункова похибка визначення * вияв-ляе залежнють В1Д р1зниц| показника заломлення шпеки та шдлож-ки дп та абсолютного'значения «. Так, при «=o,ooi i дп=х, & *12*. При менших значениях «, ця похибка значно менша; в цьо-му тояягае позитивна перевага запропоновано1 методики.

. ОСНОВШ РЕЗУЛЬТАТ*! ТА ВИСНОВКИ i.Ha даноку етап! в!дсутня теория, яка враховувала б Еесь комплекс явищ та пронес]в, що лриймэдгь участь в формуваян! в!д-

битого короткою говоохнею вппром!низания I ппогнозукша б зв'язок ■ лого ларами гр1 в з м1кроструктуршГшт характеристиками рельефу в широкому д1апаг,ои! пиши остагапх.

2. Для пог>опхоиь,отр!!)!аш1х кетодоч вольного аЗрлзиву, фу,чкц!я Р03П0Д1 лу МПфОПСрШЮСТОЯ 510 ВИСОТ1 В1 Др! ЗПЯС1 ЬСИ В1Д ГауСОВОГО

типу, особлисо в облает! ипдолол1рокок: алроксинащя розподиюн Грамма-Иарлье, з параметрами асиметрп ексцесу »1., в1дпов1дае експеринентаяышм ентуашян в широкому д|апазон! зн!н еисот нпс-рокер1вностеа Естановлоно, що х 1 л я», з,. в, фу]паи I кч нас уШверсалышя характер, незаложния Е1д катер! апу та технолог 1чннх рекин1 в пол1рувшшя. Висловьено прппуцчнкн, шр данля х)д характерней лля дов1 лыюго переходного регану фородванмя нового емзд-кового прошеу 1з наявного.

3. Для розв'язку обернених задач оптики коротких поверхонъ вваиасться рацюиальннн апрокекмашя експергаекгу математичншш сп!бв|дно'шС1П[ям;1, як! допускаюгь зворотшя розв'лзок. Проведения цього дозволило" розробити снос 16 вим!ршашш шорсткост! та стко-рити передумови розробки нового, по куту появи дзеркачьного блис-ку; дати статкстичну ¡нтерлретацт в1доних явщ, шр спостер1га-

- югься при шдбивашп випрокпквапня Б1д шорстгах поверхонь.

■4.врахувашш реально г функцп розпо.щлу вксот! в не;ках теорп 1саковича забезпечуе в!дпов|дн1сть експерименгу фази регулярного в!дбивання. Розподи в|дбитих ттенсиглостей Н1ж регуляр-' ною та лифузгаю складовимк по забезпечуеться.

5.Дэсл1джешш окромук параметр1в св1тлового ноля в функцп параметр!в шорсткост! на монотонн1сть та . чутлишеть вюшляюгь можливост 1 1х використання для реал!защг оптнчних беэконтактних способ!в в>ш!рюваши шорсткост!.

6. Стушнь в1 дпоБ! дност1 м1крогеометр1й ловорхокь пл1вки та шдложки визначаеться сп1вв1дношеннями розм!р1в кристалтв конденсату, та шорсткост! шдложки, а також товщиною шивки.

7.Бйзначен1 спектро!нтерферонетр1ею локазник заломлення гол нет зменЕуеться Л1н!йю 1з збиьшзнияк шорсткост! шдложки, а показник.поглинання - експоненгно зростас.

8. Дэапдаь.лшми точносп спектро1нтер$еренц!йних метод!в визначення оптичних пост!йних тонких шар1в встановлено, щэ ная-б 1 льш 1 похибки харакгерш для поглинання шару, як) особлию зрос-таюгь !з зб!льшенням похибок вимфювання параметр!в поля.

Список л!тератури но tghi дисертац1йио1 роботи . Т. ГумшюцкййТГГ, Житарш В.Г. Определение температуры рекрие-таллнзашш тонких слоев по спектрам поглощения" Тез. докл. рес-публ. конф. "Структура и физические свойства тонких пленок", 1077. - «¡¡город, 1П77. - С. T24-I25.

2. Хигаркк В. Г., Гунинецкия С.Г. Улрошрнныа метод определения показателя поглощения тонких интергГеренционних спаев" Хурн. ирикл. спектр.-1070.-Т. 20, В.6.-С. T0C7-I070.

3. Жптарюх В. Г.. Гунинецкия С. Г. О точности интерференционных методов определения оптических постоянных тонких слоев/-' Опт. и спектр.-Т902. - Т.СП, B.I.-C. 126-130.

4.Гунинецкия С.Г., Житарш В.Г. Исследование интегрального рассеяния лазерного излучения шероховатой поверхностью" Тез. докл. и Всосохш. совещания по распространении лазерного излучения в дисперсной среде.- Обнинск. 1032. -Ч. I. -1932.-С. 279-282.

5. Житарш В.Г., Гунинецкия С.Г., Бабич В.В. Влияние величины шероховатости поверхности на относительную интенсивность отраженного ею потока'/ Тез. докл. v Бсссозн. научно-технич. конф. "Фотометрия и се метрологическое обеспечение".-Москва, 1904.-ВНИИОФИ, 1904.-С.III.

6. Гуминсцкий С. Г., Житарш В. Г., Марчук Я. П.. Исследование чувствительности компонент матриц диффузного отражения к параметрам шероховатости поверхности// Тез. докл. v Всееозн. научно-технич. конф. "Фотометрия и ее метрологическое обеспечение". -Москва, 1884.-ВНИИОФИ, 1004.-С.341.

7.Жчтарюк В.Г., Гунинецкия С.Г. Информативность поля рассеянного излучения и функция распределения eicot микронеровностея шероховатых поверхностей// Тез. докл. v Бсесоюзн. школы по оптической обработке информации. -¡Сиев, 1904.-С. I20-I2I.

8.Гунинецкия С.Г., Житарш В.Г. Диагностика состояния шероховатых поверхностей с помошыо лазерного излучения// Тез. докл. ш Бсесоюзн. совещания по распространена лазерного излучения в дисперсной среде.-Обнинск, 198s. Ч. т.-1983.-С. вз-вз. "».Гуиинещсия С.Г.. Житарш В.Г. Матрицы отражения шероховатых поверхностей /Черновицкий ун-т. им. Ю. Федьковича. -Черновцы. 1985. -27С. -Двп. В УкрНИИНТИ 21.11.65, м 2597-Ук.

Ю.Ангельския О.В., Житарш В.Г., Маюскияк П. П. О возможности корреляционно-оптического исследования фазоЕО-неоднородкнх стати-

гз

стических поверхностей'/ Опт. и спектр. -Í&4G. -Т.СО, -В. С. -С. I0I3-I0I7.

Н.Житарш В. Г.. Гуминецкий'С.Г. О роля функции распределения ни-кронеровностей по высоте в определении параметров шероховатости эптичесгаши методани// Тез. докл. xi Всесоюзн. науч.-технич. конф. "Норазрушашие. физические методы и средства контроля", - М.. 1987. -С. 108.

[2.Ангельский 0.В., ЖитарюкВ.Г., Кагун И.И.. Максияяк П.П.// Сорреляциошга-оптические исследования шероховатых поверхностей' 'ед. жури. "Дефектоскопия". Свордловск. Т983. -12с. -Дзл. в Укр-ШПТЙ I2.0T.eo, м 107-^0. Коррелящго}Шо-оптическ.че исследовали шероховатых поверхностей-'Дефектоскопия, реф. статьи -1900. -Т. 5. -С. .96.

[З.Г.умшющсий С.Г., Житархк В.Г. Об отрашнии излучения иарохова-гыни поверхностями// Жури, прикл. спектр. -198«. -Т. 48. В. 2. -С. 302-308.

[4. Гуминецкия С. Г. Житарш В. Г. Статистическая интерпретация диф-закционных явления в диспорсних средах на примере шероховатых но-зерхностея// Тез. докл. iv Всесоюзн, сов." по распгостр. лазер, шуч. в дисперсн. среде.-Обнинск-Барнаул. -1980. -T.I. .-С.232-Í33.

:5.А.С. 1657950.(СССР). Способ измерения !героховатости поверхнос-•и детали. Житарпс В.Г.,-Гунинецкия с.Г., Пучковския И.А. Опубл. ) Б.И., 1991» N23.

Подписаво к печати 31.06.83. Форм» 1/1в.физ.печ.л.1,0 Усп.пвч л.О,83.Уч.иадл. 1,6.3а*.698.Тир. 100 Черновицкий госуктторситот ОУС 274018, Черновцы, Ленин* 240-а