Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники

Коряев, Евгений Николаевич

Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.16 ВАК РФ

Коряев, Евгений Николаевич АВТОР

доктора технических наук УЧЕНАЯ СТЕПЕНЬ

Саратов МЕСТО ЗАЩИТЫ

2000 ГОД ЗАЩИТЫ

02.00.16 КОД ВАК РФ

Диссертация по химии на тему «Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники»

Автореферат диссертации на тему "Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники"

На правах рукописи

КОРЯЕВ Евгений Николаевич г I ь ОД

КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ В ИЗДЕЛИЯХ ЗНАКОСИНТЕЗИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

02.00.16 - Химия композиционных материалов

Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук

Саратов 2000

Работа выполнена в Саратовском государственном университете им. Н.Г. Чернышевского и Саратовском специальном конструкторском бюро оптико-электронных приборов (Госстандарт РФ)

Научный консультант - доктор технических наук профессор

Севостьянов В.П.

Официальные оппоненты: доктор технических наук

Беляев В.В.

доктор технических наук профессор Лясников В.Н.

доктор химических наук профессор Дмитриенко А.О.

Ведущая организация - ОАО «НИТИ-ТЕСАР» (г. Саратов)

Защита состоится «31» мая 2000 г. в 1300 часов в ауд. 433 на заседании диссертационного совета Д 063.58.07 Саратовского государственного технического университета по адресу: 413100, Саратовская обл., г. Энгельс, пл. Свободы, 17.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Саратовского государственного технического университета (410054, г. Саратов, ул. Политехническая, 77).

Автореферат разослан « 27 » апреля 2000 г.

Ученый секретарь диссертационного совета

В.В. Ефанова

¿а. а л • о <0

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Развитие средств отображения информации, разработка и применение управляемых световым потоком систем, возможность считывания информации при ярком внешнем освещении и, наоборот, в условиях ограниченной видимости, создание сверхминиатюрных индикаторов индивидуального и табло больших размеров коллективного пользования в плоском исполнении с плотностью считывания информации на уровне полноцветных экранов требует поиска и разработки новых и совершенствования известных оптически-активных. элементов. Такими элементами являются жидкие кристаллы, лазерные генераторы, магнитодисперсные и электрохимические системы, люминофоры и т.д., на которых получены и серийно выпускаются в мире миллионными тиражами жидкокристаллические, электро- и катодолюминес-центные, электрохромные, светоизлучающие диодные, газоразрядные, полупроводниковые дисплеи и экраны.

Общим для всех этих устройств является фундаментальное положение -изменение оптической плотности активного элемента при воздействии на его свойства физических и химических факторов.

Все это связано с решением комплекса научно-практических задач, направленных на совершенствование конструкции и технологии производства электронных приборов, их метрического обеспечения, внедрение в серийную аппаратуру и, что очень важно, с разработкой и использованием новых материалов. Именно материаловедение является ключевым моментом в реализации сложнейших инженерных и технических решений при создании изделий электронной техники.

Конечно, практика предъявляет все новые требования к материалам с точки зрения их эффективности, ресурсоемкое™, экологической безопасности и т.д. Все эти материалы в общем можно разделить на три группы.

К первой относятся стандартные реактивы и соединения (например, растворители), которые практически не претерпевают заметных изменений в ходе технологических операций. Вторая группа материалов включает новые, принципиально влияющие на технологию производства индикаторной техники соединения. К третьей группе можно отнести специфические материалы; их особенность заключается в том, что они, как правило, апробированы серийной практикой и унифицированы к различным видам индикаторной техники. Их свойства мало зависят от конструкции приборов и применяемых оптических эффектов. Из-за их специфических (конструктивных) свойств исключить их из технологии практически невозможно, а замена (внедрение новых) сложна и требует больших экономических затрат. Применение таких материалов требует регулярного совершенствования в части поиска компро-

миссных решений между рецептурами, параметрами материалов и характеристиками приборов в целом. Но именно эти материалы решают в электронике экономические задачи: сокращение материало- и трудоемкости, расхода энергии и т.д., то есть позволяют принципиально удешевить конечную продукцию, а также улучшить технические характеристики и потребительские свойства.

Как правило, эти материалы представляют собой сложные композиционные системы. Многокомпонентность их состава, с одной стороны, затрудняет их модификацию, а с другой - наоборот, дает большой инженерный простор для изменения их параметров и улучшения экономических и технических характеристик выпускаемой продукции. Именно нахождение компромисса между сложностью синтеза и требуемыми параметрами и является решением актуальной проблемы материаловедения, возникающей, в частности, при оптимизации изделий знакосинтезирующей электроники.

Работа выполнена в соответствии с решением Президиума РАН по разработке и внедрению приоритетных направлений фундаментальных исследований в области сверхчистых веществ и функциональных материалов для волоконной оптики и оптоэлектроники (см. «Поиск», № 7 (457), от 07.02.98 г.) и является частью работы, проведенной в рамках межотраслевой программы «Свет», утвержденной Фондом развития электронной промышленности РФ 3 декабря 1993 г. (№ ГР 6000107).

Исходя из сказанного, целью работы явилась разработка физико-химических основ технологии композиционных материалов для производства изделий знакосинтезирующей электроники.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1) оптимизация состава, физико-химических и технических свойств и характеристик композитов;

2) установление механизмов влияния высокоэнергетических воздействий (электрогидравлического удара, ВЧ-плазмы, УЗ-колебаний, УФ-излучения, ионного легирования) на стабильность композитов;

3) направленное регулирование на этой основе эксплуатационных свойств приборов;

4) разработка технологического и экспериментального оборудования для исследования физико-химических и технических характеристик индикаторов и их отдельных узлов;

5) проведение комплексных высокоэнергетических воздействий на композиционные материалы типа «органическая (полимерная) матрица - неорганические порошки», ориентирующие жидкие кристаллы (ЖК) полиимиды, диэлектрические и токопроводящие эпоксидные пасты, цементы, магнито-дисперсные материалы, стеклопорошки и т.д. и выявление на этой основе за-

кономерностей по изменению эксплуатационных характеристик отдельных узлов и приборов в целом;

6) разработка технологических процессов на основе высокоэнергетических воздействий (электрогидравлического удара, ВЧ-, УФ- и УЗ-воздействий и легирования), позволяющих повысить эффективность технологии производства индикаторов;

7) оптимизация оптических параметров индикаторов на вновь разработанных магнитодисперсных композитах «полимер — наночастицы железа», дающих основание для создания опытных образцов приборов;

8) установление механизма и экспериментальное подтверждение особенностей управляемого электрическим полем светорассеяния (увеличение порогового и насыщающего напряжений эффекта, уменьшение температурного дрейфа вольт-контрастной характеристики (ВКХ), падение контраста), возникающих при переходе от жидкокристаллической SA фазы к композитным средам на ее основе, применительно к разработке эластичных модуляторов света и оптических затворов с регулируемым уровнем защиты человеческого зрения;

9) теоретическое и экспериментальное исследование ориентирующих систем на основе косонапыленных пленок монооксида германия, как технологии, альтернативной применению органических композитов на основе по-лиимидных пленок;

10) апробация и внедрение результатов исследований в производство индикаторной техники и учебный процесс Саратовского государственного университета.

Научная новизна работы состоит в том, что впервые:

1) разработаны новые композиты для индикаторов на магнитодисперсных системах, «поливинилбутиральных и эпоксидных смолах — смектиче-ских А жидких кристаллах», «поливиниловом спирте - холестерическом жидком кристалле»;

2) комплексно определены условия граничной ориентации жидких кристаллов на различных пленках полимерных композитов и неорганических соединений;

3) предложена технология предварительной обработки порошковых материалов (наполнители полимерной матрицы) электрогидравлическим ударом в растворе исходной полимерной матрицы;

4) предложено для пассивации порошковых наполнителей использовать их обработку пучком легирующих ионов до 150 а.е.м. при ускоряющем потенциале до 180 кВ;

5) найдено техническое решение, позволяющее избежать возникновения паразитного оптического фона,. создаваемого полимером, и визуализации границ раздела «жидкий кристалл - диэлектрик». В частности, установлено,

что для согласования показателя преломления ЖК смесей с показателем преломления полимерной матрицы и достижения прозрачного состояния композита в электрическом поле следует использовать эпоксидные матрицы, показатель преломления которых легко изменить, смешивая различные эпоксидные смолы;

6) разработано и предложено метрическое оборудование для определения оптических параметров индикаторов на магнитодисперсных системах.

Таким образом, на защиту выносятся следующие положения:

1) модельные представления ориентации жидких кристаллов на композиционных полиимидных пленках, подвергнутых высокоэнергетическому воздействию ВЧ-плазмы, с реализацией индикаторных устройств отображения информации на гомеопланарной ориентации; •

2) теоретические и экспериментальные закономерности по изменению физико-химических и технических характеристик композитов: «органическая (полимерная) матрица - неорганические порошки», ориентирующие жидкие кристаллы полиимиды, диэлектрические и токопроводящие эпоксидные пасты, цементы, магнитодисперсные материалы, стеклопорошки под действием высокоэнергетических воздействий (электрогидравлического удара, ВЧ-плазмы, УЗ-колебаний, ионного легирования);

3) особенности механизма управления полем светорассеяния, возникающего при переходе от смектических А жидких кристаллов к композитным средам на их основе, определяются преимущественно оптическими, диэлектрическими и неплсфизическими свойствами полимерной матрицы, а также граничными условиями на поверхности «полимер (поливиниловый спирт) - жидкий кристалл» и морфологическими характеристиками системы (размерами, формой и структурой микрокапсул);

4) экспериментальные данные, подтверждающие эффективность предварительной обработки порошковых материалов полимерами, составляющими органическую матрицу композитов, а также капсулированную систему «полимер-жидкий кристалл»;

5) технические решения для создания индикаторных устройств отображения информации на магнитодисперсных композитах и систем «органическая матрица — смектический А (холестерический) жидкий кристалл».

Достоверность полученных результатов достигается использованием современного взаимодополняющего научно-исследовательского оборудования (рентгенофазовый анализ, Оже-, ИК-спектроскопия, дифференциально-термический анализ, приборы по анализу реологических свойств полимеров и т.д.), нормативных методик и оборудования для анализа композиционных материалов, принятых в условиях их массового применения; использованием для расчетов и анализа статистических данных компьютерной техники, ре-

альными испытаниями изделий в условиях производства индикаторов на ОАО «Рефлектор».

Практическая значимость работы состоит во внедрении ее результатов в производство индикаторов на ОАО «Рефлектор» и его дочерних предприятиях («Реф-СОИ»), в учебный процесс Саратовского государственного университета, о чем имеются соответствующие акты внедрения.

Личный вклад автора. В диссертации обобщены исследования 19802000 гг. Автор являлся инициатором и руководителем научно-исследовательских работ по разработке экспериментального (измерительного и технологического) оборудования, новых материалов и композитов. Автором определены направления и задачи исследований. Им лично написаны соответствующие разделы в коллективных монографиях, учебных пособиях и публикациях. Автор участвовал в работе конференций различного уровня. Им лично проводились эксперименты, математическая обработка и обсуждением полученных результатов.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 25 печатных работ, в том числе 3 монографии (две в соавторстве), в соавторстве 2 учебных пособия, 7 статей в отечественных и 6 статей в зарубежных периодических изданиях, тезисы докладов конференций.

Объем и структура диссертации. Диссертация содержит 290 страниц, включая 23 таблицы, 70 рисунков и 263 ссылки на цитируемые литературные источники. Диссертация состоит из введения, пяти глав основного текста, выводов, списка литературы и приложений.

Апробация работы. Основные результаты диссертации были доложены на следующих научно-технических конференциях: 1-й Всесоюзный семинар по оптике жидких кристаллов, Ленинград, 1987; 2-я Республиканская конференция по жидким кристаллам, Баку, 1990; Всесоюзный симпозиум «Дис-плей-90», Саратов, 1990; Всероссийская конференция молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии», Саратов, 1997; II Всероссийская конференция молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии», Саратов, 1999; семинарах по проблеме жидких кристаллов на химическом факультете Саратовского государственного университета, Государственного федерального унитарного предприятия ЦНИИ «Комета».

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность поставленной в работе проблемы, сформулированы цели и задачи исследования, достоверность полученных результатов, их новизна и практическая значимость. Отмечается, что наиболее перспективными направлениями в технологии производства изделий знакосинтезирующей электроники является модификация композиционных материалов не только при изменении их рецептуры, но и при воздейст-

вии на них высокоэнергетических физико-химических (электрогидравлический удар, ВЧ-плазма, УФ-излучение или УЗ-колебания, ионное легирование) факторов.

Глава 1. Литературный обзор. Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники

Литературный обзор посвящен краткому анализу конструкции и технологии производства изделий знакосинтезирующей электроники, высокоэнергетическим (экстремальным) воздействиям в химии композиционных материалов. Из композитов особое место отведено проблеме физической химии тонких пленок полиимидов как наиболее важного и менее изученного компонента композитной' матрицы в индикаторной (дисплейной) технике. Делается вывод: одной из актуальных проблем в технологии производства и эксплуатации индикаторов является повышение стабильности системы «стекло электродной платы - полимер - жидкий кристалл», а также разработка соответствующих технологий и оборудования для обеспечения найденных технических решений.

Глава 2. Экспериментальная часть. Приборы, установки, реактивы, материалы

Разработано, модифицировано и изготовлено специализированное изме-ритсльное и тех* ¡алогическое оборудование, являющееся унифицированным для производства изделий знакосинтезирующей электроники. Оборудование и отдельные узлы необходимы, прежде всего, для прецизионного нанесения и контроля параметров композиционных материалов, а именно, установки записи оптической информации, электрогидравлического удара, измерения угла преднаклона жидких кристаллов на поверхности ориентирующих пленок, определения электрооптических параметров жидкокристаллических материалов, изготовления индикаторов на основе капсулированных композитов «поливиниловый спирт - холестерический жидкий кристалл» и др. Особое место в работе уделено разработанной оригинальной ионно-лучевой установке пассивации стекла ионами бора и мышьяка (на базе «Лада-30») с параметрами: режим ионного легирования - групповой; производительность - до 1,5... 1,1 л<2/ч; легирующие ионы - до 150 а.в.м.; диапазон энергии ионов -5... 180 кэВ; ток ионного пучка на мишени - до 5 мА; неравномерность дозы легирования — 1,5 %; угол имплантации - 7°; потребляемая мощность — 35...40 кВА). Установка позволяет легировать не только стекло, но и другие компоненты и материалы микроэлектроники (рис. 1).

Рис. 1. Структурная схема ионно-лучевой установки: 1 - дверки приемной камеры; 2 - приемная камера; 3 - карусель; 4 - блок подачи деионизован-ной воды; 5 - коллектор вторичных обмоток; 6 - затвор 2; 7 - смотровое окно; 8 - панель управления; 9 - ускорительная трубка; 10 - заслонка 2; 11 - измерительно-индикаторные панели; 12 - коллиматор; 13 - высоковольтный отсек; 14 - анализирующий отсек; 15 - фокусирующие насадки; 16 - затвор 1 \ 17- заслонка 1; 18- изоляторы диф. насоса; 19 - вытягивающие электроды; 20 - ионный источник; 21 - ввод электропитания, охлаждающей воды и вспомогательных газов; 22 - двери

Глава 3. Композиционные материалы с магнитной активностью

Разработана технология получения оптически активных композиций на основе магнитных систем «парафин (полиэтилен) - частицы металлического железа», пригодных для записи на них оптической информации с пороговой чувствительностью на уровне ~1(Г2 Цж/см2.

Результаты, изложенные в работе, свидетельствуют о существенном влиянии химического характера органической матрицы на структуру и свойства металлических наноразмерных частиц железа. В парафинах присутствует относительно высокая концентрация молекулярных дефектов в виде двой-

пых связей -C=C-, которые, во-первых, становятся центром координации атомов металла в композитах и, во-вторых, обеспечивают преимущественную координацию с атомами железа и, как следствие, сильное обменное взаимодействие. Кроме того, в матрице парафина происходит образование частиц железа многодоменного типа, форма частиц - эллипсоиды с той или иной степенью сферичности. Соотношение между их диаметром и длиной в большой степени зависит от концентрации металла в композиции. Увеличение концентрации металлических частиц железа приводит к усилению ди-польного взаимодейств!.я между органической матрицей и металлом, что затрудняет образование цепочечной структуры и, как следствие, ухудшает качество оптической записи информации.

Показано, что плотность почернения вуали оптически активной композиции «парафин - наночастицы железа» (толщиной 50 мкм) лежит в приемлемых пределах оптической плотности D = 1,8...2,5 (что соответствует 30...40 % контрастности индикации) при величине удельной намагниченности насыщения 5,5...8,5 гс-см3/г. Оптимальные для записи изображения параметры образцов: контрастность индикации на уровне 30...40 %, Ошах = 8 гс см /г. Таким образом, делается вывод об унификации узлов и деталей магнитодисперсных индикаторов с серийно выпускаемыми низковольтными катодолюминесцентными индикаторными приборами и, как следствие, возможности проведения работ по созданию конструкции и технологии изготовления приборов на магнитодисперсных композитных системах «органическая матрица — ферромагнитные частицы металла».

Применительно к магнитоактивным композициям для герметизирующих индикаторные устройства материалов разработан технологический процесс, суть которого заключается в замене дорогостоящей технологии получения наночастиц (на основе термического разложения дорогостоящих соединений пентакарбонила железа) в матрице композита на промышленно выпускаемые ультрадисперсные (0,5... 1,5 мкм) порошки железа. При этом особенностью процесса явилось предварительное воздействие электрогидравлическим ударом (напряжением 8...9 кВ, 5...7 импульсов) на порошки, где в качестве жидкой фазы использовался разбавленный (до 10 масс. %) органический раствор эпоксидной смолы. В дальнейшем при полимеризации каждая полученная капсулированная частица железа создавала «квазигомогенную» систему, хорошо совместимую с исходной матрицей композита.

Изготовленные композиты позволили: независимо от состава полимерной (эпоксидной) матрицы увеличить степень отверждения полимеров до 95...97 %; реализовать предел прочности на сдвиг 160... 170 кГс/см2,ударную вязкость до 4 кДж/м2, жизнеспособность композиции до 200 ч, а время начала ее «старения» до 60 ч; принципиально улучшить точность нанесения пе-

чатного рисунка на уровне 80...90 мкм (при растекании шва топологического рисунка ±5 % от исходного состояния) на плате индикаторов; заменить многозональные энергоемкие конвейерные печи на альтернативные с ИК-нагревом.

Предложено в качестве базового технологического процесса использовать обработку калибраторов (наполнителей полимерной матрицы композита) электрогидравлическим ударом напряжением до 5 кВ. Это дает возможность гарантированно разбить агломераты порошков, равномерно распределить калибраторы в объеме композита, практически исключить процесс их седиментации (увеличить жизнеспособность композиции в 5...8 раз). В качестве жидкой фазы в реакторе ЭГУ установки могут быть применены три вида растворов: жидкая фаза полимерной матрицы композита; раствор, входящий в полимерную композицию или любой другой, выбранный в соответствии с поставленной задачей или другими техническими соображениями. Экспериментально показано, что ЭГУ, используемый при воздействии на стекло растворов моносиланов или смеси моносиланов с полиимидными ориентантами, или эпоксидными герметиками, в 2...2,5 раза повышает адгезионную прочность границы раздела «стекло - полиимидная (эпоксидная) композиция».

Глава 4. Формирование полиимидной композиционной пленки на электродной плате индикаторов

Экспериментально установлено, что величина угла преднаклона немати-ческого ЖК может варьироваться выбором типа полиимида. В ряду рассмотренных полиимидных материалов угол преднаклона может быть реализован в диапазоне 0...80. При этом режимы термообработки полимерной пленки должны выбираться не только из условия имидизации, близкой к 100 %, но и быть достаточными для получения требуемого угла преднаклона. Это связано с особенностями проявления как индивидуальных, так и кооперативных конформационных эффектов при упаковке макромолекул полиимидов. Особое внимание при проведении процессов нанесения пленки полиамидокисло-ты на подложку следует обращать на время хранения концентрированных и рабочих растворов полиимида.

Установлено, что обоснованный выбор материала ориентанта и корректное исполнение процессов формирования пленки отнюдь не гарантируют отсутствия технологических потерь и дефектообразований. Это является следствием многооперационности всего техпроцесса и взаимного влияния свойств материалов, входящих в индикатор.

Показано, что исходный угол преднаклона на текстурированном поли-имиде определяется кооперативными конформационными эффектами в упаковке полимерных цепей, количеством и размерами боковых функциональ-

ных групп, их полярностью, стерическим действием длинных алкильных концевых групп, если таковые имеются. Показано, что угол преднаклона и, как следствие, угол обзора индикатора зависят не только от условий тексту-рирования поверхности полиимидной композиции, но и от технологии ее имидизации и «старения».

Для этой цели были проведены исследования спектральных и ориента-ционных характеристик полиимидных пленок, имидизированных при различных температурах. Эти исследования были выполнены для полиимида, синтезированного из пиромеллитового диангидрида и 2'2-бис[4-(амино-фенокси)фенил]пропана. Образцы пленок подвергались ступенчатой термообработке от 180 до 300 °С. Характеристические полосы в данном случае имели следующие отнесения: 1780 слГ1 - симметричные валентные колебания группы С=0, 1380 слГ1 - валентные колебания группы C-N, 725 слГ1 -деформационные колебания группы С=0, а также полосы амида I, 1660 см'1 - валентные колебания группы С=0, амида II, 1550 смх - колебания CNH, 3240...3320 слГ1 - колебания группы NH. Количественные оценки степени имидизации показали, что уже при 180° степень имидизации составляла 99... 100 %. В то же время величина угла преднаклона ЖК-смеси на основе цианобифенилов в контакте с пленками, термообработанными при тех же температурах, составляла: 80 °С - 2,5°; 250 °С - 5,4°; 300 °С - 6,7°. Важным является то обстоятельство, что фиксируемая 100 %-ная имидизация некоторых ориентантов при температурах 200.„230 °С отнюдь не означает окончания роста угла преднаклона, который продолжается до Т- 300...350 °С в зависимости от типа полиимида.

В температурном диапазоне выше Т = 300 °С, очевидно, продолжается формирование надмолекулярной структуры полиимидной пленки. При этом увеличенная кинетическая гибкость цепи и наличие шарнирных звеньев инициирует образование различных конформационных и кристаллографических модификаций.

Режимы термообработки полимерной пленки должны выбираться не только из условия имидизации, близкой к 100 %, но и быть достаточными для получения требуемого угла преднаклона. Это связано с особенностями проявления как индивидуальных, так и кооперативных конформационных эффектов при упаковке макромолекул полиимидов. Особое внимание при проведении процесров нанесения пленки полиамидокислоты на подложку следует обращать на время хранения концентрированных и рабочих (разбавленных) растворов полиимидных композиций, в том числе и на технологию химической прививки полиимидов алкоксилановыми соединениями (типа H2N-Y-Si(OAlk)3 где Y = (СНА, (СН2)*КН(СН2)Ь к=Ъ...9, L= 1...3, А1к = СН3, С2Н5 ) к стеклу электродной платы индикатора.

На основе обнаруженного эффекта плазмохимической модификации ориентирующих свойств поверхности полиимида разработано индикаторное устройство с гомеопланарной ориентацией.

Глава 5. Технология капсулирования композиционных систем

Данная глава диссертации состоит из трех разделов. Первая часть посвящена изучению композиционных систем «полимер - холестерический жидкий кристалл»; вторая - диспергированным системам на основе «полимер - смектические А жидкие кристаллы»; третья - относится к получению капсул в композитах «полиимиды (эпоксидные смолы) - неорганические порошки оксидов кремния».

Расширены составы капсулированных композиционных материалов на основе систем «поливиниловый спирт - холестерический жидкий кристалл». Разработана технология создания термоиндикаторного устройства с распределенным шагом спирали, основанного на эффекте изменения закручивающей силы в холестерике в зависимости от энергетической экспозиции слоя (его «старения») при облучении в УФ диапазоне с реализацией цветотемпе-ратурных характеристик капсулированных холестериков (рис. 2).

Рис. 2. Распределенная цветотемпературная характеристика по длине пленки ЖК композита

Комплексный анализ полученных данных композитов «полимер - смектические А жидкие кристаллы» показывает, что при создании активных оптических сред не меньшее значение, чем характеристики кристалла, будут иметь свойства полимерной матрицы, форма и характер распределения в ней

ЖК микрокапсул, т.е. морфологические характеристики системы. Для получения однородного контраста требуется: равномерное, с достаточно высокой удельной плотностью распределение микрокапсул в объеме и на поверхности композитной пленки. Полуэмпирически установлено, что оптимальными следует считать те распределения, при которых площади сечения отдельных микрокапсул перекрываются и в каждом условном цилиндрическом объеме композита с диаметром основания, равном среднему диаметру микрокапсул, содержится более одной микрокапсулы; во избежание возникновения паразитного оптического фона, создаваемого полимером, и визуализации границ раздела «жидкий кристалл - диэлектрик» в процессе работы оптического устройства необходимо создавать минимальную рассогласованность оптических свойств материалов с постоянной (полимер) и переменной (ЖК) оптической плотностью.

Динамика изменения оптических и структурных характеристик ЖК пленки и ЖК, диспергированного в полимере, качественно не меняется. В обоих случаях время достижения максимального контраста резко падает с увеличением напряжения. Однако при напряжениях насыщения скорости электрогидродинамических (ЭГД) процессов и конфокально-гомеотропных переходов становятся сопоставимыми (~20 мс), тогда как в ЖК пленке время изменения контраста в результате диэлектрической переориентации молекул ЖК на порядок величины меньше (рис. 3). Выравнивание продолжительности переноса и поворота основной массы ЖК происходит благодаря изначальной сильно деформированной структуре кристалла, полученной в процессе создания композита SIPS методом, способствующей турбулизации ЭГД состояния фазы.

Для получения оптимальных по параметрам композитов «полиимиды (эпоксидные смолы) - неорганические порошки оксидов кремния» предложено в качестве базового технологического процесса использовать обязательную обработку калибраторов электрогидравлическим ударом малой интенсивности (до 5 кВ). При этом в качестве жидкой фазы в реакторе установки могут быть применены три вида растворов: жидкая фаза полимерной матрицы композита; раствор, входящий в полимерную композицию или любой другой раствор, выбранный по определенным научно-техническим соображениям. Оптимальными являются растворы второй группы, в частности, для

ориентирующей полиимидной композиции состава: раствор полисилоксано-вой жидкости (2 масс. %) в полиимиде (8 масс. %) и гексане (2 масс. %).

T,arb. 40

40 80 120 160 U,V

Рис. 3. Вольт-контрастная характеристика электрогидродинамической неустойчивости и SA фазе при Г= 10 °С (/) и 22 °С (2) и композите при Т= 10...22 °С (б) в переменном поле с/= 20 Гц\ диэлектрической переориентации в SA фазе (5, 4) и композите (5) при тех же Г в поле с частотой 5 кГц

Глава 6. Особенности применения композиционных материалов в производстве изделий знакосинтсзирующей электроники

В данном разделе диссертации рассматриваются такие вопросы, как исследование адгезионных свойств систем «композит ориентирующей пленки — герметик» и «композит ориентирующей пленки - электродная плата индикатора»; подготовка поверхности электродных плат индикаторов к процессу формирования ориентирующих и герметизирующих слоев; исследование альтернативных композиционных материалов и технологии их применения в изделиях знакосинтезирующей электроники; экспериментальный анализ фазово-структурного состояния и свойства вакуумных конденсатов оксида германия (II) для средств отображения информации, а также особенности ориентации жидких кристаллов на текстурированных пленках оксида кремния (II).

В результате проведенных теоретических и экспериментальных исследований рассчитаны коэффициенты прилипания частиц аэросила к поверхности стекла электродной платы индикатора в процессе ее механического тек-стурирования. Показано, что в адгезии малых частиц аэросила к стеклу доминирует межмолекулярное взаимодействие, оценивающееся величиной прилипания порядка = 108..Л0'\

Экспериментально показано, что ЭГУ, используемый при воздействии на стекло растворов моносиланов или смеси моносиланов с полиимидными ориентантами или эпоксидными герметиками (по сравнению с технологией центрифугирования указанных выше компонентов на стекле), значительно (в 2...2,5 раза) повышает адгезионную прочность границы раздела «стекло -полиимидная (эпоксидная) композиция».

Улучшение качества поверхности стекла при ЭГУ обработке имеет принципиальное значение, поскольку электродная плата ЖКИ выступает в качестве подложки, на поверхность которой последовательно нанесены то-копроводящие 1ТО-слои, ориентирующие пленки полиимида толщиной й?=500...700 А, герметик и снова указанные пленки. При плохой очистке поверхности стекла с 1ТО-слоями полиимидная пленка после термообработки имеет разрывы, проявляет разнотолщинность, что отрицательно влияет на ориентацию ЖК. Вторым принципиальным фактором, снижающим надежность изделия, является проникновение влаги на границе раздела «1ТО-пленка - полиимидная композиция».

Обработка стекла органическими и неорганическими растворителями при дополнительном воздействии электрогидравлического удара, так же, как и для силановых соединений, показала положительные результаты. Это относится к очистке стекла в перекисно-аммиачном растворе и, особенно, при дополнительном воздействии ЭГУ, где интенсивность пика углерода на Оже-спектрограмме снижается до фонового уровня (рис. 4). Электронно-микроскопические изображения (рис. 5) свидетельствуют о полном удалении разрушенного слоя с поверхности подложки. В то же время, судя по данным Оже-спектроскопии (рис. 4), реальный уровень очистки поверхности при ЭГУ обработке с раствором силиката натрия в качестве рабочей среды превосходит все известные ранее, о чем свидетельствует практически полное отсутствие углерода на поверхности стекла как непосредственно по завершению очистки, так и после травления ее электронным пучком прямо в Оже-спектрометре, причем содержание остальных компонентов (Са, Б! в форме БЮз, К) остается неизменным.

254 \[С «У^»

1а 271 б 274 272 в

»V Аг 11 294 270 «294 Лдг 254 « ' Г 295 271

Г д 273 е

Рис. 4. Оже-спектры стеклянных электродных подложек после различных очисток в: а — трихлорэтилене; б - водном растворе ПАВ с применением ультразвука; в - пере-кисно-аммиачной смеси; г - перекисно-аммиачной смеси с промежуточной обработкой в растворе силиката натрия; д, е - рабочей камере установки ЭГУ в дистиллированной воде и растворе силиката натрия соответственно

Установлено, что образующиеся на поверхности диоксида кремния стеклянной платы индикаторов царапины аэросила (при механическом тек-стурировании ее поверхности) глубиной >1000 А в реальных условиях эксплуатации индикаторов не обеспечивают оптимальных электрооптических и эргономических параметров приборов. Решение прямой и обратной задач показало, что с энергетической точки зрения оптимальными являются тексту-рированные царапины глубиной 30...40 А.

Вакуумные толстопленочные конденсаты монооксида германия, сформированные на подложках, являются микрогетерогенными системами, что является следствием их термодинамической неустойчивости в конденсированном состоянии по отношению к реакции диспропорционирования на германий и диоксид германия. Пленки оксида германия (II) в части применения их в виде ориентрующих косонапыленных покрытий не могут быть альтернативой полиимдным композиционным материалам. В этой связи, по нашему мнению, необходимо дальнейшее совершенствование технологии «органических связующих» систем на границах раздела: «стекло - полимерные ориен-танты - полимерные герметики - жидкие кристаллы».

Рис. 5. Микроэлектронные фотографии поверхности стеклянных пластин: а -до обработки и после различных обработок в: б - трихлорэтилене; в - водном растворе ПАВ с применением ультразвука; г - перекисно-аммиачной смеси; д -- перекисно-аммиачной смеси с последующим отжигом; е, ж - рабочей камере установки ЭГУ в дистиллированной воде и растворе силиката натрия соответственно

Статистическая обработка результатов исследования ориентирующих пленок на основе полиимидов, косонапыленных структур монооксида германия, текстурированных систем пленок ЗЮ2 показала, что между параметрами ориентирующих структур и углом преднаклона жидкого кристалла существуют определенные зависимости. В частности, при достижении некоторых морфологических параметров (при заданных углах напыления, скорости конденсации ориентанта, глубины текстурированных бороздок и т.д.) дальнейшая перестройка ориентирующего микрорельефа не приводит к увеличению (изменению) угла преднаклона.

Таким образом, из приведенных данных видно: хотя морфология поверхности ориентирующей пленки играет важнейшую роль в процессе молекулярной ориентации ЖК, параметры рельефа не являются единственным фактором, ответственным за весь комплекс наблюдающихся закономерностей.

Доминирующее значение в проблеме молекулярной ориентации имеют вязкоупругие особенности веществ, выражающиеся через упругие константы Франка Ки. В то же время нельзя исключить влияние на процесс ориентации активных центров или адсорбционных сил, изменяющих симметрию молекул в молекулярных ориентационных слоях и задающих ориентационный порядок в капилляре пакета индикатора, хотя в целом данная проблема до настоящего времени не решена. В практическом плане влияние морфологии ориентирующих слоев и функциональная зависимость 9 = {(Т) имеет определенный смысл. Большие углы преднаклова в твист-индикаторах приводят к уменьшению контраста ЖКИ, появлению цветных интерференционных полос. Отмечено, например, что азоксибензолы, в отличие от цианобифенилов, менее критичны к ориентации и достаточно легко (уже при малых температурах отжига) переходят в гомогенную систему.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Развито научное направление в электронной технике — решение комплекса задач по оптимизации композиционных материалов и разработке технологических процессов в производстве изделий знакосинтезирующей электроники.

2. В результате целенаправленной работы и в соответствии с поставленной задачей проведено комплексное физико-химическое исследование, оптимизация составов и параметров композиционных материалов для изделий знакосинтезирующей электроники. Изучено влияние на них различных факторов, прежде всего, высокоэнергетических воздействий - высоковольтного электрогидравлического удара, ВЧ-плазмы, УЗ-колебаний, ионной имплантации и др. Разработаны технологические процессы (регламенты) производства приборов индикаторной техники, базирующиеся на указанных композитах, серийном и специально разработанном технологическом и метрическом оборудовании.

струкция и технология изготовления параметрического ряда опытных партий магнитодисперсных индикаторов, обладающих: оптической памятью; контрастностью на уровне 30...40 %; удельной намагниченностью насыщения до 8,5...9,0 гс-см/г\ пороговой чувствительностью до 10~2 Цж/см2. Узлы, детали и технология изготовления магнитодисперсных индикаторов полностью унифицированы с серийно выпускаемыми низковольтными катодолюминес-центными индикаторными приборами.

4. Экспериментально установлено, что предварительная обработка ультрадисперсных порошков металлического железа электрогидравлическим ударом (напряжением 8...9 кВ, 5...7 импульсов) в разбавленных органических растворах полимерной матрицы или входящего в композит жидкого Компонента приводит к их капсулированию, что положительно сказывается на однородности последующего распределения Fe в композиционной системе «эпоксидная (полиимидная) композиция - ультрадисперсные порошки железа». Полученные составы композитов позволили (независимо от состава полимерной матрицы) увеличить степень отверждения полимеров (до 95...98 %); принципиально улучшить точность нанесения печатного рисунка (на уровне ±5...10 % от исходного состояния рельефа рисунка) на плате индикаторов; заменить многозональные энергоемкие конвейерные печи на альтернативные с ИК-нагревом.

5. С целью стабилизации приповерхностного (до 0,5... 1 лиси) слоя стекла и стеклокалибраторов разработана установка и технология его легирования пучком ионов бора, фосфора, мышьяка. Установка собрана на базе «Ла-да-30», причем конструкция выбрана таким образом, что система формирования ионного луча, анализирующий электромагнит, коллиматор, ускорительная трубка находятся под потенциалом ускоряющего напряжения, а приемная камера с каруселью - под потенциалом «земля». Основные параметры установки (режим ионного легирования - групповой; производительность -до 1,5...1,1 л»2/ч; легирующие ионы — до 150 а.е.м.; диапазон энергии ионов-5... 180 кэВ; ток ионного пучка на мишени - до 5 мА; неравномерность дозы легирования - 1,5 %; неравномерность дозы облучения ±2 %; угол имплантации - 7°; потребляемая мощность - 35...40 кВА) позволяют легировать не только стекло, но и другие компоненты и материалы микроэлектроники.

соображениями. При последующей теромобработке происходит не только равномерное распределение наполнителя в матрице, но и химическая «прививка» функциональных групп полиимида с силановыми соединениями и далее к стеклу электродной платы индикатора. Экспериментально показано, что ЭГУ, используемый при воздействии на стекло растворов моносиланов или смеси моносиланов с полиимидными ориентантами (эпоксидными гер-метиками), в 2...2,5 раза повышает адгезионную прочность границы раздела «стекло - полимерная композиция».

7. Установлено, что режимы термообработки полимерной ориентирующей пленки должны выбираться не только из условия имидизации, близкой к 100 %, но и быть достаточными для получения требуемого угла преднаклона. Это связано с особенностями проявления как индивидуальных, так и кооперативных информационных эффектов при упаковке макромолекул поли-имидов. Особое внимание при проведении процессов нанесения пленки по-лиамидокислоты на подложку следует обращать на время хранения концентрированных и рабочих (разбавленных) растворов полиимидных композиций, в том числе и на технологию химической прививки полиимидов ачкок-силановыми соединениями. Показано, что исходный угол преднаклона на текстурированном полиимиде определяется кооперативными конформаци-онными эффектами в упаковке полимерных цепей, количеством и размерами боковых функциональных групп, их полярностью, стерическим действием длинных алкильных концевых групп.

8. Предложены составы капсулированных композиционных материалов на основе систем «поливиниловый спирт - холестерический жидкий кристалл» с реализацией цветотемпературных характеристик (ЦТХ) капсулированных холестериков. Разработанные технические решения - фотохимическое регулирование цветотемпературной характеристики композиционной системы - позволили разработать гибкий пленочный ЖК дисплей нового типа для медицинской диагностики, контактной или дистанционной термографии, содержащий один термохромный композитный слой с управляемой ЦТХ и дающий оптический отклик при различных температурах объекта исследования. Регистрация температуры осуществляется цветовым пятном, перемещающимся по линейной температурной шкале, нанесенной непосредственно на термохромный слой или подложку дисплея. Термоиндикаторное устройство реализовано как на твердой, так и на полимерной (гибкий вариант) подложке. Устройство экологически безопасно, является прямым аналогом ртутного (медицинского) термометра, обладает высокой точностью при измерении температуры, универсальностью.

кающие при переходе от ЖК Sa фазы к композитным средам на их основе, определяются преимущественно оптическими, диэлектрическими и теплофи-зическими свойствами полимерной матрицы; граничными условиями на сферически искривленной поверхности «ЖК - полимер» и морфологическими характеристиками системы (размерами, формой и структурой микрокапсул). Полученные результаты использованы при разработке эластичных модуляторов света и оптических затворов с регулируемым уровнем защиты человеческого зрения.

10. Установлено, что образующиеся на поверхности диоксида кремния стеклянной платы индикаторов царапины аэросила (при механическом тек-стурировании ее поверхности) глубиной >1000 Ä в реальных условиях эксплуатации индикаторов не обеспечивают оптимальных электрооптйческих и эргономических параметров приборов. Решение прямой и обратной задач показало, что с энергетической точки зрения оптимальными являются тексту-рированные царапины глубиной 30...40 А. Предложен механизм и экспериментально подтвержден факт образования ориентирующего слоя механически текстурированной поверхности диоксида кремния аэросилом, как реализация двух ориентирующих моделей: с одной стороны,скопление частиц Si02 (аналогия с косонапыленными неорганическими системами); с другой - частичная деформация ее поверхности (аналогично механическому натиранию органических ориентантов.

11. Вакуумные толстопленочные конденсаты монооксида германия, сформированные на подложках, являются микрогетерогенными системами, что является следствием их термодинамической неустойчивости в конденсированном состоянии по отношению к реакции диспропорционирования на германий и диоксид германия. Диспропорционирование при конденсации и термообработках можно рассматривать как процесс фазового распада по схеме: химическая реакция - коагуляция - кристаллизация. Аморфное состояние вакуумных конденсатов стабильно вследствие реализации в них коллоидного равновесия. Особенности фазового распада вакуумных конденсатов монооксида германия позволяют рассматривать их как стареющий аморфный сплав Ge-GeOi-

По теме диссертации опубликованы следующие работы:

1. Коряев E.H. Композиционные материалы для изделий знакосинтези-рующей электроники. - Саратов: СГАП, 2000. - 236 с.

2. Федоров Е. Ю., Кузьмин Н.Г., Коряев E.H., Холкина Т. В. Знакосинте-зирующая электроника: структура и физическая химия полиимидных ориентирующих пленок. - Саратов: СГАП, 1999. - 288 с.

3. Севастьянов В. П., Фипкелыитейн С.Х., Коряев Е.Н., Семенов А.Н. Знакосинтезирующая электроника: структура и физическая химия тонких пленок монооксида германия. - Минск: Изд-во «Микровидеосистемы», 1999. - 158 с.

4. Самохвалов М.В., Коряев Е.Н., Кузнецов М.В., Севастьянов В.П. Знакосинтезирующая электроника: тонкопленочные люминесцентные источники излучения: Учеб. пособие. - Саратов: СГАП, 1999. - 188 с.

5. Коряев Е.Н., Кузнецов М.В., Севастьянов В.П., Холкина Т.В. Знакосинтезирующая электроника: органические растворители: характеристики, свойства и токсикология: Учебно-справочное пособие. - Минск: Изд-во «Микровидеосистемы», 1997.— 102 с.

6. Aristov V.L., Kurchatkin S.P., Sevostyanov V.P., Koryaev E.N. Investigation of Liquid Crystal Shutter Electrooptics for Eye Protection Systems // Photonics & Optoelectronics. - 1997. - V. 4, N. 4. - P. 131-137.

7. Koryaev E.N., Mitrokhin M.V., Aristov V.L., Sevostyanov V.P. Polymer-Dispersed Smectic A Liquid Crystals for Light Control Application // Photonics & Optoelectronics. - 1999. - V. 6, N. 4. - P. 167-169.

8. Aristov V.L., Mitrokhin M.V., Koryaev E.N. Defect Cumulation in Liquid Crystal Display Media 11 Photonics & Optoelectronics. - 1999. - V. 6, N. 4. - P. 170-172.

9. Kosobudsky I.D., Koryaev E.N., Sevostyanov V.P. Composition Magnetic Materials for Optical Information Recording // Photonics & Optoelectronics. -1997.-V. 4, N. 4.-P. 138-140.

10. Sorokin V.M., Aristov V.L., Mitrokhin M.V., Koryaev E.N. Liquid Crystal Memory Indicator for Counters // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 1999. - V. 4, N. 2. - P. 60-65.

11. Sevostyanov V.P., Koryaev E.N., Kurchatkin S.P. et al. Study of Liquid Crystal Alignment on PCT-modified Polyimide Films // Molecular Materials. — 1997. - V. 9.-P. 37-40.

12. Сухое В.П., Исаков В.К, Коряев Е.Н., Хайкин JI.E. Источник высоковольтный на 200 кВ с изоляцией умножителя на твердом диэлектрике // Электронная техника. Сер. 7,- 1986.-Вып. 1 (134).-С. 83-85.

13. Исаков В.И., Коряев Е.Н., Хайкин Л.Е., Чикин С.Н. Промышленная установка прецизионной имплантации «Лада-20» // Электронная техника. Сер. 7,- 1986.-Вып. 1(134).-С. 75-77.

14. Митрохин М.В., Аристов В.Л., Кузьмин Н.Г., Севастьянов В.П. Запоминающие жидкокристаллические индикаторы для счетчиков расхода газов, жидкостей и электроэнергии // Электронная промышленность. - 2000. -№2.-С. 67-69.

15. Курчаткин С.П., Севастьянов В.П., Коряев E.H., Холкина Т.В. Поли-имидные ориентанты для индикаторов на жидких кристаллах (обзор) / Деп. в ВИНИТИ № 3346-В97, 14.11.1998, 20 с.

16. Коряев E.H. Ионный источник с холодным катодом для промышленных ионно-лучевых установок // Электронная промышленность. - 1982. -Вып. 4.-С. 46-47.

17. Курчаткин С.П., Коряев E.H., Холкина Т.В., Севостьянов В.П. Плаз-мохимическая модификация полиимидных ориентантов для жидкокристаллических индикаторов // Электронная промышленность. - 2000. - № 2. -С. 50-53.

18. Ракитин С.А., Финкелыитейн С.Х., Холкина Т.В., Коряев E.H. Механизм низкотемпературного плавления пленочной гетерокомпозиции Ge-Al // Электронная промышленность. - 2000. - № 2. - С. 88-90.

19. Семенов А.Н., Ракитин С.А., Коряев E.H., Севостьянов В.П. Очистка •стеклянных подложек электродных плат магнитогидродинамическим эффектом // Электронная промышленность. - 2000. - № 2. - С. 91-93.

20. Севостьянов В.П., Коряев E.H. Особенности использования метода ионной имплантации в технологических процессах нанесения ориентирующих покрытий / 1-й Всес. семинар по оптике жидких кристаллов: Тез. докл. -Л.: ГОИ, 1987.-С. 239.

21. Кузнецов М.В., Коряев E.H. Особенности образования дисклинаци-онных структур в сверхзакрученном нематике в переменном электрическом поле // Всерос. конф. молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии», 25-26 июля 1997 г.: Тез. докл. - Саратов, 1997.-С. 99.

22. Коряев E.H. и др. Исследование ширины бездоменной области в сверхзакрученных структурах нематика // Всерос. конф. молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии», 25-26 июля 1997 г.: Тез. докл. - Саратов, 1997. - С. 98.

23. Митрохин М.В., Коряев E.H. Формирование капиллярных слоев смектических А жидких кристаллов в электрических полях // II Всерос. конф. молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии»: Тез. докл. - Саратов, 1999. - С. 30-31.

24. Коряев E.H., Севостьянов В.П. Технология оптимизации свойств поверхности электродных плат ЖКИ / 2-я респ. конф. по жидким кристаллам: Мат. конф. - Баку, 1990. - С. 36.

25. Коряев E.H., Севостьянов В.П. Формирование ориентантов на платах ЖКИ после их плазмохимической обработки / Всес. симпозиум «Дисплей-90»: Тез. докл. - Саратов, 1990. - С. 61.

Содержание диссертации автор исследовательской работы: доктора технических наук, Коряев, Евгений Николаевич

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. Литературный обзор. Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники

1.1. Изделия знакосинтезирующей электроники как средства отображения визуальной информации

1.2. Экстремальные воздействия в химической технологии.

1.2.1. Электрогидравлический удар

1.2.2. Ультразвуковые колебания.

1.2.3. Плазма.

1.3. Физическая химия полиимидных ориентантов

1.3.1. Химическое строение, синтез, и свойства полиимидов

1.3.2. Полиимидные композиты для ориентации жидких кристаллов

1.4. Выводы к главе 1.

ГЛАВА 2. Экспериментальная часть. Приборы, установки, реактивы, материалы

2.1. Приборы и установки.

2.1.1. Установка записи оптической информации магнито-дисперсных индикаторов

2.1.2. Установка электрогидравлического удара.

2.1.3. Измерение угла преднаклона жидких кристаллов на поверхности полиимидной композиции

2.1.4. Установки для определения электрооптических параметров жидкокристаллических материалов.

2.1.5. Установка для изготовления индикаторов на основе капсулированных композитов «поливиниловый спирт -холестерический жидкий кристалл».

2.1.6. Установка для нанесения композиционных материалов методом трафаретной печати

2.2. Приборы.

2.3. Реактивы.

2.4. Обработка экспериментальных данных методами математической статистики и теории случайных процессов

2.5. Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3. Композиционные материалы с магнитной активностью

3.1. Композиционные материалы для магнитодисперсных индикаторов.

3.2. Магнитоактивные эпоксидные композиции

3.3. Выводы к главе 3.

ГЛАВА 4. Формирование полиимидной композитной пленки на электродной плате индикаторов.

4.1. Поверхностная обработка полиимидных ориентантов.

4.2. Физико-химическая модификация полиимидных ориентантов

4.3. Выводы к главе 4.

ГЛАВА 5. Технология капсулирования композитных систем.

5.1. Композиционные материалы для систем «полимер -холестерический жидкий кристалл».

5.2. Диспергированные системы на основе «полимер смектические А жидкие кристаллы»

5.3. Композиционные материалы для систем «полимер -неорганический наполнитель (стеклопорошок)»

5.4. Выводы к главе 5.

ГЛАВА 6. Технология подготовки поверхности электродных плат индикаторов к процессу формирования на них композиционных материалов

6.1. Технология очистки поверхности электродных плат для создания ориентирующих пленок

6.2. Подготовка поверхности электродных плат индикаторов к процессу формирования ориентирующих и герметизирующих слоев.

6.3. Альтернативные материалы и технологии их применения в изделиях знакосинтезирующей электроники.

6.3.1. Фазово-структурные состояния и свойства вакуумных конденсатов оксида германия (II) для средств отображения информации.

6.3.2. Ориентация жидких кристаллов на текстурированных пленках оксида кремния (II)

6.4. Кинетическая устойчивость металлических пленок алюминия в системе Ое-А

6.5. Выводы к главе 6.

Введение диссертация по химии, на тему "Композиционные материалы в изделиях знакосинтезирующей электроники"

Развитие средств отображения информации, разработка и применение управляемых световым потоком систем, возможность считывания информации при ярком внешнем освещении и, наоборот, в условиях ограниченной видимости, создание сверхминиатюрных индикаторов индивидуального и табло больших размеров коллективного пользования в плоском исполнении с плотностью считывания информации на уровне полноцветных экранов, требует поиска и разработки новых и совершенствования известных оптически активных элементов. Такими элементами являются жидкие кристаллы, лазерные генераторы, магнитодисперсные и электрохимические системы, люминофоры и т.д., на которых получены и серийно выпускаются в мире миллионными тиражами жидкокристаллические, электро- и катодолюминесцентные, электрохромные, све-тоизлучающие диодные, газоразрядные, полупроводниковые дисплеи и экраны.

Общим для всех этих устройств является фундаментальное качество - изменение оптической плотности активного элемента при воздействии на него физических и химических факторов.

Все это связано с решением комплекса научно-практических задач, направленных на совершенствование конструкции и технологии производства электронных приборов, их метрического обеспечения, внедрение в серийную аппаратуру и, что очень важно, с разработкой и освоением новых материалов. Именно материаловедение является ключевым моментом в решении сложнейших инженерных и технических задач, возникающих при создании изделий электронной техники.

Конечно, практика предъявляет все новые и новые требования к материалам с точки зрения их эффективности, материалоемкости, экологической безопасности и т.д. Все эти материалы, в общем случае, можно разделить на три группы.

К первой относятся стандартные реактивы и соединения (например, растворители), которые практически не претерпевают заметных изменений. Они, как правило, требуют незначительной периодической модернизации, связанной с совершенствованием технологических режимов их эксплуатации.

Ко второй группе материалов соотносятся новые, принципиально влияющие на технологию производства индикаторной техники соединения.

К третьей группе можно отнести специфические материалы. Их особенность заключается в том, что они, как правило, апробированы серийной практикой и унифицированы применительно к различным видам индикаторной техники. Их свойства мало зависят от конструкции приборов и применяемых оптических эффектов. Из-за их специфических (конструктивных) свойств исключить их из технологии практически невозможно, а замена их (внедрение новых) сложна и требует больших экономических затрат. Применение таких материалов требует регулярного совершенствования в части поиска компромиссных решений между рецептурами, параметрами материалов и характеристиками приборов в целом. Но именно эти материалы решают в электронике экономические задачи: сокращение материало- и трудоемкости, расхода энергии и т.д., то есть проблемы принципиального удешевления конечной продукции, а также технических задач: уменьшение размеров и массы приборов, улучшение их потребительских параметров, увеличение долговечности и надежности эксплуатации готовой аппаратуры. Как правило, эти материалы представляют собой сложные композиционные системы. Многокомпонентность их состава и свойств, с одной стороны, препятствует всякой их модернизации, а с другой -наоборот, дает большой инженерный простор для изменения их параметров и улучшения экономических и технических характеристик выпускаемой продукции. Именно нахождение этого компромисса (между сложностью синтеза и необходимыми значениями параметров) и является решением актуальной проблемы в материаловедении, в том числе, при поиске оптимального решения инженерных задач, связанных с изготовлением изделий знакосинтезирующей электроники.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1) оптимизация состава, физико-химических и технических свойств и характеристик композитов;

3) направленное регулирование на этой основе эксплуатационных свойств приборов;

5) проведение комплексных высокоэнергетических воздействий на композиционные материалы типа «органическая (полимерная) матрица - неорганические порошки», ориентирующие жидкие кристаллы (ЖК) полиимиды, диэлектрические и токопроводящие эпоксидные пасты, цементы, магнитодисперсные материалы, стеклопорошки и т.д. и выявление на этой основе закономерностей по изменению эксплуатационных характеристик отдельных узлов и приборов в целом;

7) оптимизация оптических параметров индикаторов на вновь разработанных магнитодисперсных композитах «полимер - наночастицы железа», дающих основание для создания опытных образцов приборов;

8) установление механизма и экспериментальное подтверждение особенностей управляемого электрическим полем светорассеяния (увеличение порогового и насыщающего напряжений эффекта, уменьшение температурного дрейфа вольт-контрастной характеристики (ВКХ), падение контраста), возникающих при переходе от жидкокристаллической 8А фазы к композитным средам на ее основе, применительно к разработке эластичных модуляторов света и оптических затворов с регулируемым уровнем защиты человеческого зрения;

Научная новизна работы состоит в том, что впервые:

1) разработаны новые композиты для индикаторов на магнито дисперсных системах, «поливинилбутиральных и эпоксидных смолах - смектических А жидких кристаллах», «поливиниловом спирте - холестерическом жидком кристалле»;

5) найдено техническое решение, позволяющее избежать возникновения паразитного оптического фона, создаваемого полимером, и визуализации границ раздела «жидкий кристалл - диэлектрик». В частности, установлено, что для согласования показателя преломления ЖК смесей с показателем преломления полимерной матрицы и достижения прозрачного состояния композита в электрическом поле следует использовать эпоксидные матрицы, показатель преломления которых легко изменить, смешивая различные эпоксидные смолы;

Таким образом, на защиту выносятся следующие положения:

3) особенности механизма управления полем светорассеяния, возникающего при переходе от смектических А жидких кристаллов к композитным средам на их основе, определяются преимущественно оптическими, диэлектрическими и теплофизическими свойствами полимерной матрицы, а также граничными условиями на поверхности «полимер (поливиниловый спирт) - жидкий кристалл» и морфологическими характеристиками системы (размерами, формой и структурой микрокапсул);

5) технические решения для создания индикаторных устройств отображения информации на магнитодисперсных композитах и систем «органическая матрица - смектический А (холестерический) жидкий кристалл».

Личный вклад автора. В диссертации обобщены исследования 1980-2000 гг. Автор являлся инициатором и руководителем научно-исследовательских работ по разработке экспериментального (измерительного и технологического) оборудования, новых материалов и композитов. Автором определены направления и задачи исследований. Им лично написаны соответствующие разделы в коллективных монографиях, учебных пособиях и публикациях. Автор участвовал в работе конференций различного уровня. Им лично проводились эксперименты, математическая обработка и обсуждение полученных результатов.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 25 печатных работ, в том числе: 3 монографии (две в соавторстве), 2 учебных пособия (в соавторстве), 7 статей в отечественных и 6 статей в зарубежных периодических изданиях, тезисы докладов конференций.

Апробация работы. Основные результаты диссертации были доложены на следующих научно-технических конференциях: 1-й Всесоюзный семинар по оптике жидких кристаллов (Ленинград, 1987); 2-я Республиканская конференция по жидким кристаллам (Баку, 1990); Всесоюзный симпозиум «Дисплей-90» (Саратов, 1990); Всероссийская конференция молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии» (Саратов, 1997); II Всероссийская конференция молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии» (Саратов, 1999); семинарах по проблеме жидких кристаллов на химическом факультете Саратовского государственного университета, Государственного федерального унитарного предприятия ЦНИИ «Комета».

Заключение диссертации по теме "Химия и технология композиционных материалов"

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Развито научное направление в электронной технике - решение комплекса задач по оптимизации композиционных материалов и разработке технологических процессов в производстве изделий знакосинтезирующей электроники.

2. В результате целенаправленной работы и в соответствии с поставленной задачей проведены комплексное физико-химическое исследование, оптимизация составов и параметров композиционных материалов для изделий знакосинтезирующей электроники. Изучено влияние на них различных факторов, прежде всего, высокоэнергетических воздействий - высоковольтного электрогидравлического удара, ВЧ-плазмы, УЗ-колебаний, ионной имплантации и др. Разработаны технологические процессы (регламенты) производства приборов индикаторной техники, базирующиеся на указанных композитах, серийном и специально разработанном технологическом и метрическом оборудовании.

3. Разработаны и предложены в производство магнитоактивные композиционные материалы на основе систем «парафин (полиэтилен) - мелкодисперсные частицы a-Fe», пригодные для записи оптической информации с пассивной индикацией. На данных композитах (с учетом концентрации, размера частиц ферромагнетиков, равномерности их распределения в органической матрице, толщины оптически активного слоя) разработана базовая конструкция и технология изготовления параметрического ряда опытных партий магнитодисперс-ных индикаторов, обладающих: оптической памятью; контрастностью на урово не 30.40 %; удельной намагниченностью насыщения до 8,5.9,0 гс-см /г; пол ^ роговой чувствительностью до 10 Цж/см . Узлы, детали и технология изготовления магнитодисперсных индикаторов полностью унифицированы с серийно выпускаемыми низковольтными катодолюминесцентными индикаторными приборами.

4. Экспериментально установлено, что предварительная обработка ультрадисперсных порошков металлического железа электрогидравлическим ударом (напряжением 8.9 кВ, 5.7 импульсов) в разбавленных органических растворах полимерной матрицы или входящего в композит жидкого компонента, приводит к их капсулированию, что положительно сказывается на однородности последующего распределения Fe в композиционной системе «эпоксидная (по-лиимидная) композиция - ультрадисперсные порошки железа». Полученные составы композитов позволили (независимо от состава полимерной матрицы) увеличить степень отверждения полимеров (до 95.98 %); принципиально улучшить точность нанесения печатного рисунка (на уровне ±5. 10 % от исходного состояния рельефа рисунка) на плате индикаторов; заменить многозональные энергоемкие конвейерные печи на альтернативные с ИК-нагревом.

5. С целью стабилизации приповерхностного (до 0,5.1 мкм) слоя стекла и стеклокалибраторов разработана установка и технология его легирования пучком ионов бора, фосфора, мышьяка. Установка собрана на базе «Лада-30», причем конструкция выбрана таким образом, что система формирования ионного луча, анализирующий электромагнит, коллиматор, ускорительная трубка находятся под потенциалом ускоряющего напряжения, а приемная камера с каруселью - под потенциалом «земля». Основные параметры установки (режим ионного легирования - групповой; производительность - до 1,5. 1,1 м /ч; легирующие ионы - до 150 а.е.м.; диапазон энергии ионов - 5. 180 кэВ; ток ионного пучка на мишени - до 5 мА; неравномерность дозы легирования - 1,5 %; неравномерность дозы облучения ±2 %; угол имплантации - 7°; потребляемая мощность - 35.40 кВА) позволяют легировать не только стекло, но и другие компоненты и материалы микроэлектроники.

6. Предложено в качестве базового технологического процесса использовать обязательную обработку калибраторов (наполнителей полимерной матрицы композита) электрогидравлическим ударом напряжением до 5 кВ. При этом в качестве жидкой фазы в реакторе установки могут быть применены три вида растворов: жидкая фаза полимерной матрицы композита; раствор, входящий в полимерную композицию, или любой другой раствор, выбранный в соответствии с поставленной задачей или иными техническими соображениями. При последующей теромобработке происходит не только равномерное распределение наполнителя в матрице, но и химическая «прививка» функциональных групп полиимида с силановыми соединениями и далее к стеклу электродной платы индикатора. Экспериментально показано, что ЭГУ, используемый при воздействии на стекло растворов моносиланов или смеси моносиланов с полиимид-ными ориентантами (эпоксидными герметиками), в 2.2,5 раза повышает адгезионную прочность границы раздела «стекло - полимерная композиция».

7. Установлено, что режимы термообработки полимерной ориентирующей пленки должны выбираться не только из условия имидизации, близкой к 100 %, но и быть достаточными для получения требуемого угла преднаклона. Это связано с особенностями проявления как индивидуальных, так и кооперативных конформационных эффектов при упаковке макромолекул полиимидов. Особое внимание при проведении процессов нанесения пленки полиамидокислоты на подложку следует обращать на время хранения концентрированных и рабочих (разбавленных) растворов полиимидных композиций, в том числе и на технологию химической прививки полиимидов алкоксисилановыми соединениями. Показано, что исходный угол преднаклона на текстурированном полиимиде определяется кооперативными конформационными эффектами в упаковке полимерных цепей, количеством и размерами боковых функциональных групп, их полярностью, стерическим действием длинных алкильных концевых групп.

8. Предложены составы капсулированных композиционных материалов на основе систем «поливиниловый спирт - холестерический жидкий кристалл» с реализацией цветотемпературных характеристик (ЦТХ) капсулированных хо-лестериков. Разработанные технические решения - фотохимическое регулирование цветотемпературной характеристики композиционной системы - позволили разработать гибкий пленочный ЖК дисплей нового типа для медицинской диагностики, контактной или дистанционной термографии, содержащий один термохромный композитный слой с управляемой ЦТХ и дающий оптический отклик при различных температурах объекта исследования. Регистрация температуры осуществляется цветовым пятном, перемещающимся по линейной температурной шкале, нанесенной непосредственно на термохромный слой или подложку дисплея. Термоиндикаторное устройство реализовано как на твердой, так и на полимерной (гибкий вариант) подложке. Устройство экологически безопасно, является прямым аналогом ртутного (медицинского) термометра, обладает высокой точностью при измерении температуры, универсальностью.

9. Установлено, что специфические особенности управляемого полем светорассеяния (увеличение порогового и насыщающего напряжений эффекта, уменьшение температурного дрейфа ВКХ, падение контраста), возникающие при переходе от ЖК 8А фазы к композитным средам на их основе, определяются преимущественно оптическими, диэлектрическими и теплофизическими свойствами полимерной матрицы; граничными условиями на сферически искривленной поверхности «ЖК - полимер» и морфологическими характеристиками системы (размерами, формой и структурой микрокапсул). Полученные результаты использованы при разработке эластичных модуляторов света и оптических затворов с регулируемым уровнем защиты человеческого зрения.

10. Установлено, что образующиеся на поверхности диоксида кремния стеклянной платы индикаторов царапины аэросила (при механическом тексту-рировании ее поверхности) глубиной >1000 А в реальных условиях эксплуатации индикаторов не обеспечивают оптимальных электрооптичес-ких и эргономических параметров приборов. Решение прямой и обратной задач показало, что с энергетической точки зрения оптимальными являются текстурированные царапины глубиной 30.40 А. Предложен механизм и экспериментально подтвержден факт образования ориентирующего слоя механически текстурирован-ной поверхности диоксида кремния аэросилом, как реализация двух ориентирующих моделей: с одной стороны, скопление частиц 8Ю2 (аналогия с косона-пыленными неорганическими системами); с другой - частичная деформация ее поверхности (аналогично механическому натиранию органических ориентан-тов).

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Таким образом, в результате целенаправленной работы в соответствии с поставленной задачей проведено комплексное физико-химическое исследование и оптимизация составов и параметров композиционных материалов, изучено влияние на них различных факторов, прежде всего, высокоэнергетических воздействий - высоковольтный электрогидравлический удар, ВЧ-плазма, УЗ-колебания, ионная имплантация и др.

Разработаны технологические процессы (регламенты) производства изделий знакосинтезирующей электроники, базирующиеся на серийном и специально разработанном технологическом и метрическом оборудовании.

Говоря о внедрении предложенных технических решений, необходимо остановиться на двух аспектах.

К первому относится патентная ситуация. К сожалению, предложенные рецептуры композитов и технологии их модификации чрезвычайно конкретны (точная концентрация полиимидных композитов и количество введенных калибраторов, температуры отверждения, точные параметры электрогидравлического удара с характеристиками разрядного импульса и т.д.). Иными словами, разработанные технологические процессы не содержат элементов «ноу-хау». Поэтому опубликование научных разработок возможно только через научные журналы, где элементы «ноу-хау» (по определению) находятся «в тени». Таким образом, коммерческая прибыль от предложенных технических решений может быть получена за счет продажи комплекта технической документации на изготовление готовых изделий, а также при экономии собственных средств в результате повышения эффективности производства в целом.

Второй момент - это наличие оборотных средств на предприятии. Предложенные в работе конструкции индикаторов (например, на магнитодисперс-ных системах или электролюминесценции), оборудование (прежде всего, для реализации ЭГУ), составы органосилановых соединений, жидких кристаллов, полиимидов с четко заданным строением полимерной цепи и т.д., требуют больших материальных затрат, окупаемость которых определяется массовостью (серийностью) выпускаемой продукции.

Тем не менее необходимо отметить, что в настоящее время в стране осуществляется постепенный рост отечественного производства, включая изделия электронной техники, и есть надежда, что новые технические решения, в частности, предлагаемые в настоящей работе, найдут свое достойное применение.

Список источников диссертации и автореферата по химии, доктора технических наук, Коряев, Евгений Николаевич, Саратов

1. Дисплеи / Под ред. Ж. Панкова. - М.: Мир, 1982. - 320 с.

2. Горфинкель Б.И., Абалдуев Б.В., Медведев Р.С. и др. Низковольтные ка-тодолюминесцентные индикаторы. М.: Радио и связь, 1983. - 112 с.

3. Кузьмин Н.Г., Севастьянов В.П. Знакосинтезирующая электроника: материалы, технология, экология. — Саратов: Изд-во СГУ, 1991. 36 с.

4. Севастьянов В.П., Аристов В.Л., Митрохин М.В. Жидкокристаллические дисплеи: электрооптика, управление, конструкция и технология. Минск: Изд-во «Микровидеосистемы», 1998. - 508 с.

5. Севастьянов В.П. Материалы и технология серийного производства индикаторов на жидких кристаллах. Дисс. . д-ра техн. наук. Саратов: СГУ, 1987. -471 с.

6. Севастьянов В.П., Ракитин С.А. Экстремальные физические воздействия в технологии производства изделий знакосинтезирующей электроники. -Саратов: СГАП, 1999. 228 с.

7. Самохвалов М.В., Коряев Е.Н., Кузнецов М.В., Севастьянов В.П. Знакосинтезирующая электроника: тонкопленочные люминесцентные источники излучения: Уч. пос. Саратов: СГАП, 1999. - 188 с.

8. Kosobudsky I.D., Gubin S.P., Koryaev E.N. et al. Composition Magnetic Materials for Optical Information Recording // J. Optoel. Phot. 1999. - V. 6, N. 4.

9. Помогайло А.А. Полимер-иммобилизованные наноразмерные и кластерные частицы металлов // Успехи химии. 1997. - Т. 66, № 8. - С. 750-792.

10. Губин С.П., Кособудский И.Д. Металлические кластеры в полимерных матрицах // Успехи химии. 1983. - Т. 52. - С.1350-1364.

11. Натансон Э.М., Ульберг З.П. Коллоидные металлы и металлополимеры. Киев: Наукова думка, 1977. - 97 с.

12. Моносов Я.А. Препринт №13 (296). М., 1980.

13. Моносов Я.А. Заявка в СССР № 2462902/18-10 от 01.04.77.

14. Несеребряные и необычные среды для голографии: Сб. / Под ред. В.А. Барачевского. Л.: Наука, 1978. - 235 с.

15. Моносов Я.А. Заявка в СССР №2543210/18-10 от 25.11.77.

16. Лазаренко Б.Р., Лазаренко Н.И. Электрическая эрозия металлов. М.: Госэнергоиздат, 1944. - С. 20-23.

17. Мазов М.В., Мейер Г.Я. II Труды лаб. аэрометодов АН СССР. 1955. -№ 5.-С. 119-122.

18. Юткин Л.А. Новое в электрофизической и электрохимической обработке. М.: Машиностроение, 1966. - С. 249-270.

19. Юткин Л.А. Электрогидравлический эффект и его применение в промышленности. JL: Машиностроение, 1986. - 253 с.

20. Наугольных К.А., Рой H.A. Электрические разряды в воде (гидродинамическое описание). -М.: Наука, 1971. 155 с.

21. Иванов В.В., Швец И.С., Иванов A.B. Подводные искровые разряды. -Киев: Наукова думка, 1982. 190 с.

22. Гулый Г.А. Электрогидравлический эффект и его применение. М.: Машиностроение, 1981.-С. 153.

23. Маргулис М.А. Звукохимия — новая перспективная область химической технологии // Журн. Всесоюзного хим. о-ва. 1990. - Т. 35, № 5. - С. 579-586.

24. Маргулис М.А. Исследование электрических явлений, связанных с кавитацией // Журн. физ. химии. 1985. - Т. 59, № 6. - С. 1497-1503.

25. Бергман Л. Ультразвук и его применение в науке и технике. М.: Иностр. лит., 1957. - 727 с.

26. Абрамов О.В., Хорбенко И.Г., Швегла Ш. Ультразвуковая обработка материалов / Под ред. О.В. Абрамова. М.: Машиностроение, 1984. - 280 с.

27. Шутилов В.А. Основы физики ультразвука. Л.: Изд-во ЛГУ, 1980. -280 с.

28. Гершагал Д.А., Фридман В.М. Ультразвуковая технологическая аппаратура. М.: Энергия, 1976. - 320 с.

29. Мощные ультразвуковые поля / Под ред. Л.Д. Розенберга. М.: Наука, 1968.-С.266.

30. Чен Ф.Ф. Введение в физику плазмы. М.: Мир, 1987. - 398 с.

31. Арцимович Л.А. Элементарная физика плазмы / 3-е изд. М.: Атомиз-дат, 1969.- 191 с.

32. Артамонов А.Г., Володин В.М., Авдеев В.Г. Математическое моделирование и оптимизация плазмохимических процессов. М.: Химия, 1989. - 224 с.

33. Сонин A.C. Введение в физику жидких кристаллов. М.: Наука, 1983. -319 с.

34. Беляков В.А., Сонин А. С. Оптика холестерических жидких кристаллов. -М.: Наука, 1981.-336 с.

35. Федоров Е.Ю., Кузьмин Н.Г., Коряев Е.Н., Холкина Т.В. Знакосинтези-рующая электроника: структура и физическая химия полиимидных ориентирующих пленок. Саратов: СГАП, 1999. - 208 с.

36. Энциклопедия полимеров. В 2 т. М., 1972. Т. 1.

37. Андрова Н.А. и др. Полиимиды новый класс термостойких полимеров. -Л., 1968.38. Пат. 570858 Англия, 1945.

38. Пат. 2710853 США, W.M. Edwards, I.M. Robinson, 1955.

39. Ли Г., Стоффи Д., Невилл К. Новые линейные полимеры. М., 1972.

40. Sroog С.Е. et al. Aromatic Polypyromellitimides from Aromatic Polyamic Acids // J. Polym. Sci., Pt. 1. 1965. - V. 3, N. 4.

41. Бессонов М.И. и др. Полиимиды класс термостойких полимеров. - Л., 1983.

42. Рудаков А.П. и др. О связи свойств полиаримидов с их химическим строением // Высокомолек. соед. 1970. - Т. 12, № 3.

43. Бессонов М.И., Кузнецов Н.П., Котон М.М. О температурах переходов ароматических полиимидов и физических основах их химической классификации // Высокомолек. соед. 1978. - Т. 20, № 2.

44. Булгаровская И.В. и др. Кристаллическая структура диимида пиромел-литовой кислоты // Кристаллография. 1976. - Т. 21, № 3.

45. Ghatge N.D., Mulik U.P. Polyimides from Diisocyanates and Dianhidrides // J. Polim. Sci., Polym. Chem. Ed. 1980. - V. 18, N. 6.

46. Khune G.D. Preparation and Properties of Polyimides from Diisocyanates // J. Macromolec. Sci. Chem. 1980. - V. 14, N. 5.

47. Харьков C.H. и др. Ароматические полиимиды из этерифицированных полиамидокислот // Высокомолек. соед. 1971. - Т. 13, № 4.

48. Delvigs P., Nsu Li-Chen, Serafini Т. Т. The Synthesis of a Novel Polyimides Precursor // J. Polym. Sci., Pt. B. 1970. - V. 8, N. 1.

49. Денисов B.M. и др. Изомерный состав полиамидокислот по данным спектров ЯМР С13 // Высокомолек. соед. 1979. - Т. 21, № 7.

50. Коршак В.В., Цейтлин Г.М., Азаров В.И. Исследование процесса образования некоторых высокомолекулярных окси- и метоксисодержащих полиамидокислот // Высокомолек. соед. 1969. - Т. 11, № 3.

51. Forst L. W., Kesse I. Spontaneous Degradation of Aromatic Polypyromelli-tamic Acids // J. Appl. Polym. Sci. 1964. - V. 8, N. 3.

52. Камзолкина Е.В. и др. Гидролиз ангидридов и его роль в синтезе поли-амидокислот и полиимидов // ДАН СССР. 1977. - Т. 233, № 1.

53. Камзолкина Е.В. и др. Роль деструктивных процессов при синтезе полиимидов. Новый механизм имидизации полиамидокислот // ДАН СССР. -1974. Т. 219, №3.

54. Ардашников А.Я., Кардаш И.Е., Праведников А.Е. Равновесный характер реакции ангидридов ароматических аминокислот с ароматическими аминами и его роль в синтезе полиимидов // Высокомолек. соед. 1971. - Т. 13, № 8.

55. Праведников А.Н. и др. Некоторые закономерности синтеза термостойких гетероциклических полимеров // Высокомолек. соед. 1973. - Т. 15, № 2.

56. Колегов В.И. и др. О влиянии условий синтеза полиамидокислот на мо-лекулярно-весовые характеристики // ДАН СССР. -1977. Т. 232, № 4.

57. Колегов В.И., Френкель С.Я. Теоретическое исследование процесса образования поликонденсационных полимеров полиамидокислот // Высокомолек. соед. - 1976. - Т. 8, № 8.

58. Колегов В.И. Влияние побочных реакций на молекулярно-массовые характеристики полиамидокислот // Высокомолек. соед. 1976. - Т. 18, № 8.

59. Котон М.М. и др. Исследование оптических неоднородностей концентрированных растворов полиамидокислот // Высокомолек. соед. 1981. - Т. 23, № 1.

60. Котон М.М. и др. О влиянии природы амидного растворителя на молекулярные характеристики 4,4'-(оксидифенилен)пиромеллитамидокислоты // Высокомолек. соед. 1979. - Т. 21, № 3.

61. Эскин В.Е. и др. Изучение свойств поли-(4,4'-оксидифенилен) пиромел-литамидокислоты и ее эфиров в растворах // Высокомолек. соед. 1976. - Т. 18, № 10.

62. Белъникевич Н.Г. и др. Баланс химических и физико-химических превращений в растворах полиамидокислот при хранении // Высокомолек. соед. -1981.-Т. 23, №6.

63. Смирнова В.Е. Изучение связи механических свойств ароматических полиимидов с молекулярной массой и физико-химическими превращениями форполимеров: Автореф. дис. канд. хим. наук. JI., 1977.

64. Коршак В.В., Виноградова C.B. Равновесная поликонденсация. М., 1968.

65. Reims chues s el H.H., Roldan L.G. Structure of Novel Polyimide // J. Polym. Sei., Pt. 2. 1968. - V. 6.

66. Wrasidlo W., Augl J.M. Aromatic Polyimide-co-amides // J. Polym. Sei., Pt. 1.-1969.-V. 7.

67. Колесников Г.С., Федотова О.Я., Хофбауер Э.И. О взаимодействии ди-ангидридов с диаминами в среде нуклеофильных растворителей // Высокомо-лек. соед. 1968. - Т. 10, № 7.

68. Tsimpris C.W., Mayhan К.G. Synthesis and Characterization of Poly(p-phenilene)pyromellitamic Acid // J. Polym. Sei. Polym. Phys. Ed. 1973. - V. 11, N. 6.

69. Глухое H.A. u др. Синтез и свойства галогенсодержащих полипиромел-литимидов // Высокомолек. соед. 1974. - Т. 16, № 5.

70. Кардаш И.Е. и др. Кинетика термической циклодегидратации ароматических поли-о-оксиамидов в полибензоксазолы // Высокомолек. соед. 1967. -Т. 9, № 9.

71. Коршак В.В., Берестенева Г.Л., Брагина И.П. Исследование основных закономерностей реакции циклизации полигидразидов в твердой фазе // Высокомолек. соед. 1972. - Т. 14, № 5.

72. Лавров C.B. и др. Циклизация ароматических полиамидокислот в поли-имиды. Кинетика циклизации модельного соединения N-фенилфталамидной кислоты // Высокомолек. соед. 1977. - Т. 19, № 5.

73. Лайус Л.А., Бессонов М.И., Флоринский Ф.С. О некоторых особенностях кинетики образования полиимидов // Высокомолек. соед. 1971. - Т. 13, №9.

74. Коршак В.В. и др. О структурно-химических аспектах реакции термической имидизации // ДАН СССР. 1977. - Т. 233, № 4.

75. Коршак В.В., Берестенева Г.Л., Брагина И.П. Об увеличении жесткости полимерных цепей в процессе твердофазной полициклизации // ДАН СССР. -1971.-Т. 197, №3.

76. Слонимский Г.Л. и др. Исследование некоторых особенностей циклизации поли-(о-эфиро)амидов в твердом состоянии // Высокомолек. соед. 1974. -Т. 16, №11.

77. Семенова Л.С. и др. Термическая циклодегидратация полигидразидо-кислот в пленке и в растворе // Высокомолек. соед. 1978. - Т. 20, № 4.

78. Кардаш И.Е. и др. Влияние природы растворителя на кинетику процесса циклизации полиамидокислот в полиимиды // Высокомолек. соед. 1975. -Т. 17, №3.

79. Лавров B.C. Кинетика и механизм термической циклизации и гидролиза ароматических полиамидокислот и модельных соединений: Автореф. дис. . канд. хим. наук. М., 1978.

80. Котон М.М. Реакции внутримолекулярной циклизации линейных молекул полимеров // Высокомолек. соед. 1977. - Т. 19, № 7.

81. Коршак В.В. и др. Исследование термической внутримолекулярной полициклизации в кристаллических полимерах // ДАН СССР. 1979. - Т. 245, №5.

82. Цаповский М.И. Экспериментальное и теоретическое исследование термической циклизации полиамидокислот в твердом состоянии. Дисс. . канд. хим. наук. Л., 1982.

83. Sazanov Ju.N., Shibaev L.A. High Temperature Degradation of Components Modeling Polyimid Fragment // Termochem. Acta. 1973. - V. 15.

84. Серченкова C.B. u др. Изучение особенностей реакции циклодегидра-тации бензамидокислотных систем // Высокомолек. соед. 1978. - Т. 20, № 5.

85. Милевская И.С., Лукашова Н.В., Ельяшевич A.M. Конформационное исследование реакции имидизации // Высокомолек. соед. 1979. - Т. 21, № 6.

86. Кардаш И.Е. и др. Роль реакции внутримолекулярного распада амидо-кислотных звеньев при твердофазной циклизации ароматических полиамидокислот // Изв. АН СССР. Сер. хим. 1979, № 7.

87. Пат. 3179633 США. Ароматические полиимиды из т- и п-фенилен-диамина / A.L. Endrey II РЖ Хим. 1967. - 7С236П.

88. Пат. 3179631 США. Ароматические порошкообразные полиимиды из полициклических диаминов / A.L. Endrey II РЖ Хим. 1967. - 7С294П.

89. Котон М.М. и др. Исследование кинетики химической имидизации // Высокомолек. соед. 1982. - Т. 24, № 4.

90. Котон М.М. и др. Получение полипиромеллитимида и его физико-механические свойства // ЖП. 1965. - Т. 38, № 12.

91. Технология пластических масс. М., 1972.

92. Оприц З.Г. и др. Некоторые механические и термомеханические свойства полиимидных волокон // Хим. волокна. 1970. - № 3.

93. Новое в производстве химических волокон. М., 1968.

94. Коряев Е.Н. Физико-химические основы создания композиционных систем «полимер жидкий кристалл» в индикаторных устройствах. Дис. . канд. техн. наук. Саратов: СГУ, 1997. - 170 с.96. де Жен П. Физика жидких кристаллов. М.: Мир, 1977. - 400 с.

95. Berreman D.W. Solid Surface Shape and the Alignment of the Adjacent Nematic LC // Phys. Rev. Lett. 1973. -V. 28, N. 215.

96. Castellano J. Surface Anchoring of Liquid Crystal Molecules on Various Substrates // Mol. Cryst. Liq. Cryst. 1983. - V. 94. - P. 33-41.

97. Севастьянов В.П. и др. Материалы и особенности их применения в ЖК индикаторах. Сообщение 1. Условия ориентации молекул жидких кристаллов на полиимидных пленках // Электронная техника. Сер. Материалы. 1983. -Вып. 12 (185).-С. 49-54.

98. Конъяр Ж. Ориентация нематических жидких кристаллов и их смесей. Минск: Изд-во БГУ, 1986. - 104 с.

99. Chatelain P. Propriétés optiques du para-azoxyphenital et du para-azoxyanisol aux stats: cristal liquides, isotropes // Bull. Soc. Fr. Miner. 1943. - V. 66,N. 105.-P. 280-311.

100. Kahn F.J., Taylor G.N., Schonchorn H. Surface Produced Alignment of Liquid Crystals // Proc. IEEE. 1973. - V. 61. - P. 823.

101. Janning J.B. Thin Film Surface Orientation for Liquid Crystal // Appl. Phys. Lett. 1972. - V. 24, N. 4. - P. 173-174.

102. A.c. 898870 СССР, МКИ G 02F1/16 Жидкокристаллическая ячейка / В.В. Астахов, В.П. Севостьянов (СССР). № 1586482; Заявлено 19.02.75; опубл. 15.09.81.

103. Севостьянов В.П. Материалы и технология серийного производства индикаторов на жидких кристаллах. Автореф. дис. . д-ра техн. наук. М.,1987.

104. Финкелыитейн С.Х. Формирование пленок монооксида германия в устройствах индикаторной техники. Автореф. дис. . канд. техн. наук. Киев,1988.

105. Guyon Е., Pieranski P., Boix M. On Different Boundary Conditions of Nematic Film Deposited on Obliqually Evaporated Plates // Lett. Appl. Eng. Sci. -1973.-N. l.-P. 19.

106. Barbero G. Surface Geometry and Indiced Orientation of a Nematic Liquid Crystal // Lett. Nuomo cim. 1980. - V. 29, N. 17. - P. 553-559.

107. Горбунов О.Б. и др. Ориентация жидких кристаллов с помощью косо-напыленных пленок монооксида германия // Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1983.-Т. 19, № 3. - С. 467-471.

108. Blodgett К.В., Langmuir A. Built-up Films of Barium Sterate and Their Optical Properties // Phys. Rev. 1937. - V. 51. - P. 964-982.

109. Dyadyusha A., Marusii Т., Resnikov Yu., et al. Oblique Photoalignment of a Nematic Liquid Crystal by Modified Polyvinylcinnamates // Int. LC Workshop "Surface Phenomena", 21-23 June 1995, St-Petersburg: Proc., V. 2. P. 151.

110. Niitsu Y. Alignment Coatings for LCD // SEMIKOM, Flat Panel Display Seminar, 18 Jan 1995, Korea: Proc. P. 143-149.

111. Baur G. Optical Characteristics of Liquid Crystal Displays // Mol. Cryst. Liq. Cryst. 1981. - V. 63. - P. 45-58.

112. Курчаткин С.П., Кузьмин Н.Г., Севостъянов В.П. Введение жидких кристаллов в пакет индикаторов. Сообщение III. Влияние конструкции индикаторов на процесс заполнения // Электронная техника, Сер. 6. 1985. - Вып. 6 (111).-С. 32-35.

113. Севостьянов В.П., Финкельштейн С.Х., Коряев Е.Н., Семенов А.Н. Жидкокристаллические дисплеи: структура и физическая химия тонких пленок монооксида германия. Минск: Изд-во «Микровидеосистемы», 1998. - 158 с.

114. Курчаткин С.П., Севостьянов В.П., Коряев Е.Н., Холкина Т.В. Поли-имидные ориентанты для индикаторов на жидких кристаллах (обзор) / Деп. в ВИНИТИ № 3346-В97, 14.11.98, 20 с.

115. Жаркова Г.М., Сонин А.С. Жидкокристаллические композиты. — Новосибирск: ВО «Наука», 1994. 214 с.

116. Гидродинамический эффект: электрические схемы установки / Севостьянов В.П., Семенов А.Н., Кузин С.Г. и др.; СГУ. Саратов, 1996. - 32 с. -Деп. в ВИНИТИ г. Москва, № 1062-В96.

117. Komitov L., Hauk G., Koswig H.D. Conoscopic Optical Method of Determining Liquid Crystal Low Tilt Angles // Cryst. Res. Technol. 1981. - V. 19, N. 2. - P. 253-260.

118. Nakano F., Isogai M., Sato M. Sample Method of Determining Liquid Crystal Tilt-Bias Angle // J. J. Appl. Phys. 1980. - V. 19, N. 10. - P. 2013-2014.

119. Ванин В.А. Интерференционный метод измерения величины зазора между прозрачными плоскими поверхностями с помощью лазера // Опт. мех. пром. 1982.-№ 1.-С. 18-20.

120. Cano R. Interpretation les discontinites le Grangene // Bull. Soc. Fr. Mineral. Crystal. 1968. -V. 19, N. 1. - P. 20-27.

121. Горшков M.M. Эллипсометрия. M.: Сов. радио, 1974. - 200 с.

122. Коряев E.H., Кузьмин Н.Г., Севостъянов В.П., Холкина Т.В. Знакосинте-зирующая электроника: органические растворители: характеристики, свойства, токсикология / Учеб.-справ. пособ. Минск: Изд-во «Микровидеосистемы», 1997.-104 с.

123. Пискорский В.П., Петраковский Г.А., Кособудский ИД. и др. Магнитные свойства металлополимера на основе железо полиэтилен // «Магнитные и резонансные свойства магнитных материалов»: Сб. - Красноярск: СО АН СССР, 1980.-С. 17-24.

124. Пискорский В.П., Петраковский Г.А., Кособудский И.Д. и др. Магнитные свойства металлополимера на основе железо тефлон // 2-й семинар по аморфному магнетизму, 1980, Красноярск, СО АН СССР: Тез. докл. - С. 189190.

125. Сыркин В.Г. Карбонильные металлы. М.: Металлургия, 1978.

126. Волков В.Л. и др. Карбонильное железо. М.: Металлургия, 1969.

127. Морохов И.Д., Трусов Л.И., Чижик С.П. Ультрадисперсные металлические среды. М.: Атомиздат, 1977. - С. 17.

128. Жданов Г.С., Илюшин A.C., Никитина C.B. Дифракционный и резонансный структурный анализ. -М.: Наука, 1980. С. 316.

129. Суздалев И.П. Динамические эффекты в гамма-резонансной спектроскопии. М.: Атомиздат, 1979. - С. 134.

130. Голъданский В.И. Химические применения мессбауэровской спектроскопии. М.: Мир, 1970. - С. 384.

131. Катушев Я.Н., Шерстов В.И. Основы теории фотографических процессов. М.: Искусство, 1964. - С. 264.

132. Вонсовский C.B. Магнетизм. М.: Наука, 1971. - С. 784-802.

133. Козинкин A.B., Север О.В., Губин С.П. и др. Кластеры в полимерной матрице. 1. Исследование состава и строения железосодержащих кластеров вофторопластовой матрице // Неорганические материалы. 1996. - Т. 30, № 5. -С. 678-684.

134. Козинкин A.A., Власенко В.Т., Губин С.П. Кластеры в полимерной матрице. 2. Исследование состава и строения металлосодержащих кластеров в полиэтиленовой матрице // Неорганические материалы. 1996. - Т. 32, № 4. -С. 422-428.

135. Паелюхина JI.A., Зайкоеа Т.О., Одегова Г.В. и др. Синтез и некоторые физические характеристики кластеров и наночастиц серебра, полученных в микроэмульсиях в масле // Неорганические материалы. 1998. - Т. 34, № 2. -С. 159-164.

136. Коряев E.H. Композиционные материалы для изделий знакосинтези-рующей электроники. Саратов: СГАП, 2000. - 236 с.

137. Aristov V.L., Mitrokhin M.V., Koryaev E.N. Defect Cumulation in Liquid Crystal Display Media // Photonics & Optoelectronics. 1999. - V. 6, N. 4. -P. 170-172.

138. Sorokin V.M., Aristov V.L., Mitrokhin M.V., Koryaev E.N. Liquid Crystal Memory Indicator for Counters // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. 1999. - V. 4, N. 2. - P. 60-65.

139. Sevostyanov VP., Koryaev E.N., Kurchatkin S.P. et al. Study of Liquid Crystal Alignment on PCT-modified Polyimide Films // Molecular Materials. 1997. -V. 9.-P. 37-40.

140. Сухов В.П., Исаков В.И., Коряев E.H., Хайкин U.E. Источник высоковольтный на 200 кВ с изоляцией умножителя на твердом диэлектрике // Электронная техника. Сер. 7. 1986. - Вып. 1 (134). - С. 83-85.

141. Исаков В.И., Коряев E.H., Хайкин Л.Е., Чикин С.Н. Промышленная установка прецизионной имплантации «Лада-20» // Электронная техника. Сер. 7. 1986. - Вып. 1(134). - С. 75-77.

142. Митрохин М.В., Аристов В.Л., Кузьмин Н.Г., Севостъянов В.П. Запоминающие жидкокристаллические индикаторы для счетчиков расхода газов, жидкостей и электроэнергии // Электронная промышленность. 2000. - № 2. -С. 67-69.

143. Коряев E.H. Ионный источник с холодным катодом для промышленных ионно-лучевых установок // Электронная промышленность. 1982. - Вып. 4. - С. 46-47.

144. Курчаткин С.П., Коряев E.H., Холкина Т.В., Сееостъянов В.П. Плаз-мохимическая модификация полиимидных ориентантов для жидкокристаллических индикаторов // Электронная промышленность. 2000. - № 2. -С. 50-53.

145. Ракитин С.А., Финкелъштейн С.Х., Холкина Т.В., Коряев E.H. Механизм низкотемпературного плавления пленочной гетерокомпозиции Ge-Al // Электронная промышленность. 2000. - № 2. - С. 88-90.

146. Семенов А.Н., Ракитин С.А., Коряев E.H., Севостьянов В.П. Очистка стеклянных подложек электродных плат магнитогидродинамическим эффектом // Электронная промышленность. 2000. - № 2. - С. 91-93.

147. Севостьянов В.П., Коряев E.H. Особенности использования метода ионной имплантации в технологических процессах нанесения ориентирующих покрытий /1-й Всес. семинар по оптике жидких кристаллов: Тез. докл. Л. : ГОИ, 1987.-С. 239.

148. Коряев E.H. и др. Исследование ширины бездоменной области в сверхзакрученных структурах нематика // Всерос. конф. молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии», 25-26 июля 1997 г.: Тез. докл. Саратов, 1997. - С. 98.

149. Митрохин М.В., Коряев E.H. Формирование капиллярных слоев смек-тических А жидких кристаллов в электрических полях // II Всерос. конф. молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии»: Тез. докл. Саратов, 1999. - С. 30-31.

150. Коряев E.H., Севостьянов В.П. Технология оптимизации свойств поверхности электродных плат ЖКИ / 2-я респ. конф. по жидким кристаллам: Мат. конф. Баку, 1990. - С. 36.

151. Митрохин М.В., Коряев E.H. Формирование капиллярных слоев смек-тических А жидких кристаллов в электрических полях // II Всерос. конф. молодых ученых «Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии»: Тез. докл. Саратов, 1999. - С. 30-31.

152. Коряев E.H., Севастьянов В.П. Формирование ориентантов на платах ЖКИ после их плазмохимической обработки / Всесоюзн. симпозиум «Дисплей-90»: Тез. докл. Саратов, 1990. - С. 61.

153. Розенберг Р., Салливан М., Говард Дж. Влияние взаимодействий в тонких пленках на технологию кремниевых приборов: Сб. / «Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции». -М.: Мир, 1982. С. 17-58.

154. By л Б.Л. Диаграммы состояний и свойства двойных металлических систем. М.: Наука, 1978. - 348 с.

155. A.c. 897022 СССР. МКИ G02F1/13. Способ изготовления жидкокристаллических устройств / Севостъянов В.П. и др. 1981. - № 2921151/18-25. -Бюл. № 1.

156. A.c. 982460 СССР. МКИ G02F1/13. Способ изготовления жидкокристаллических индикаторов / Севостъянов В.П. и др. 1982. - № 3296719/18-25. - Бюл. № 46.

157. Курчаткин С.П. и др. Исследование термической устойчивости ориентирующих свойств натертых поверхностей пленок двуокиси кремния // Со-вещ. «Электрооптика границы раздела жидкий кристалл твердое тело»: Тез. докл. - М., 1985.

158. Курчаткин С.П. и др. Термостабильность гомогенной ориентации НЖК на поверхности натертых пленок двуокиси кремния // Электронная техника, Сер. 4. 1985. - Вып. 1.

159. Zocher H.H. Morphology Properties of Alignment Surface in Liquid Crystal Displays // J. Phis. Chem. 1968. - V. 132.

160. A.c. 188582 СССР. МКИ G02F1/16. Способ изготовления жидкокристаллических индикаторов / В.П. Севостъянов и др. 1983. - № 3054125.

161. Севастьянов В.П., Кузьмин Н.Г., Курчаткин С.П., Семенов А.Н. Жидкокристаллические дисплеи: основные элементы технологии серийного производства. Минск: Изд-во «Микровидеосистемы», 1998. - 115 с.

162. Курчаткин С.П. и др. Выбор оптимальной геометрии граничной ориентации директора жидкого кристалла в разработках твист-индикаторов // Электронная техника, Сер. 4. 1988. - Вып. 1.

163. Курчаткин С.П., Праслов Д.В., Федоров Е.Ю. Алгоритм выбора оптимальной геометрии граничной ориентации директора жидкого кристалла для твист- и супертвист-структур // II Респ. конф. «Жидкие кристаллы и их применение»: Сб. докл. Баку, 1990.

164. Gaas Р.Е. et al. A Polyimide Proceedings Technique for the Manufacture of the Displays // SID'87: Proc, V. 28/4.

165. Патент № 2055384, Россия, G 02 F 1/133, (1992).

166. Nakano F., Isogai M., Sato M. Sample Method of Determining Liquid Crystal Tilt-Bias 4 Angle // J.J.Appl.Phys. 1980. - V. 19, N. 10. - P. 2013-2014.

167. Каталог НИОПИК. 1997. 36 с.

168. Лукьянченко E.C., Козунов В.А., Григос В.И. Взаимодействие немати-ческих жидких кристаллов с анизотропными полимерными поверхностями // Поверхность. Физ. хим. механ. 1985. -№ 2. - С. 121-125.

169. Кубо С. Микрокапсулирование жидких кристаллов // Микон Инсацу Гаккай Ротбуки. 1973. - Т. 14, № з. с. 94-98.

170. Zozzi Z.A. Microencapsulation // J. Farm. Sci. 1970. - V. 59, N. 10. - P. 1367-1369.

171. Патент № 7420.967, Япония, опубл. 1970 г.

172. Солодовник В.Д. Микрокапсулирование. М.: Химия, 1980. - 216 с.

173. А.с. СССР № 630999, МКИ C09D 5/26, опубл. 1978.

174. Жаркова Г.М. Термоиндикаторные пленки на основе жидких кристаллов // «Свойства и применение жидкокристаллических индикаторов» под ред. Г.М. Жарковой. Новосибирск: Ин-т теорет. и прикл. механики СО АН СССР, 1980.-С. 1-16.

175. Патент 3.620.889 США, опубл. 1968.

176. Dixon G.D., Meier J.F. Liquid Crystal rubber dispersions // Mol. Cryst. and Liq. Cryst. - 1976. - V. 37. - P. 233-240.

177. Патент № 7443.269, Япония, опубл. 1970.

178. Патент № 7407.595, Япония, опубл. 1970.

179. Жаркова Г.М., Сонин A.C. Электрооптические полимерные жидкокристаллические композиты // Высокомолекулярные соед. 1993. - Т. 35, № 10. -С. 17-22.

180. Тагер A.A. О «хорошем» и «плохом» растворителе полимеров // Успехи химии. 1958. - Т. 27, № 4. - С. 481-487.

181. Каргин В.А., Слонимский Г.Л. Краткие очерки по физикохимии полимеров. М.: Химия, 1960. - 220 с.

182. Липатов Ю.С. Коллоидная химия полимеров. Киев: Наукова думка, 1984.-263 с.

183. Цринберг А.Я. Технология пленкообразующих веществ. Д.: Госхим-издат, 1955. - 651 с.

184. Candau S., Le Roy P., Debeauvis F. Magnetic Field Effect in Nematic and Cholesteric Droplets Suspended in an Isotropie Liquid // Mol. Cryst. and Liq. Cryst. -1973.-V. 23.-P. 283-287.

185. Курик M.B., Лаврентович О.Д. Переходы «отрицательный» «положительный» монополь в холестеристичеких жидких кристаллах // Письма в ЖЭТФ. - 1982. - Т. 35, № 9. - С. 363-365.

186. Жаркова Г.М., Трашкеев С.И. Ориентация жидких кристаллов в сферическом объеме // Кристаллография. 1989. - Т. 34, № 3. - С. 695-701.

187. Сонин A.C., Шибаев И.Н. Структурная упорядоченность и свойства холестерических псевдокапсулированных пленок // Журн. физ. химии. 1982. -Т. 55, №5.-С. 1263-1268.

188. Ушаков С.Н. Поливиниловый спирт и его производные. Т. 1, 2. М.: Изд-во АН СССР, 1960. - 860 с.

189. Кизелъ В.А., Кудашев С.И. Механизм упорядочения в холестерических жидких кристаллах // ЖЭТФ. 1977. - Т. 72, № 6. - С. 280-288.

190. Pollmann V.P., Stegemeyer H. Pressure Dependence of the Helical Structure of Cholesterics // Chem. Phys. Lett. 1973. - V. 20, N. 11. - P. 87-90.

191. Pollmann KP., Stegemeyer H. Der Einfluss abbseitingen Druckes auf die Structure Cholesterischer Mesophasen // Ibid. S. 843-848/

192. Сонин A.C. Полимерные пленки, содержащие низкомолекулярные жидкие кристаллы // 1-й Всес. симп. по жидкокристаллическим полимерам, 1416 дек. 1982, Суздаль: Тез. докл. Черноголовка, 1982. - С. 14-16.

193. Шевчук С.В., Махотило А.П., Тищенко В.Г. Пленочные индикаторы, содержащие жидкие кристаллы // Свойства и применение жидкокристаллических индикаторов / Под ред. Г.М. Жарковой. Новосибирск: Ин-т теорет. и прикл. механики СО АН СССР, 1976. - С. 67-69.

194. Сонин A.C., Шибаев И.Н. Оптические свойства мелкодисперсных хо-лестерических пленок. Исследование селективного отражения в псевдокапсулированных пленках разной толщины // Журн. физ. хим. 1980. - Т. 54, № 12. -С. 3109-3113.

195. Патент США № 5058999, G 02 F 1/13.

196. Aristov V.L., Kurchatkin S.P., Sevostyanov V.P., Koryaev E.N. Investigation of Liquid Crystal Shutter Electrooptics for Eye Protection Systems // Photonics & Optoelectronics. 1997. -V. 4, N. 4. - P. 131-137.

197. Чирков B.H., Алиев Д.Ф., Зейналлин А. Ч. Электрически обратимый эффект памяти в смектических жидких кристаллах // Письма в ЖТФ. 1977. - № З.-С. 1016-1018.

198. Aliev D.F., Aristov V.L., Mitrokhin V. V, Sevostyanov VP. Operating Characterisation of Smectic A LCD 11 Displays. 1991. - N. 4. - P. 86-90.

199. Aristov V.L., Kurchatkin S.P., Mitrokhin M.V., Sevostyanov VP., The Controlled Electric Field Light Scattering of Polymer-Dispersed Liquid Crystal Displays //SPIE. 1998.-V. 331, N. 8.-P. 526-528.

200. Koryaev E.N., Mitrokhin M. V., Aristov V.L., Sevostyanov VP. Polymer-Dispersed Smectic A Liquid Crystals for Light Control Application // Photonics & Optoelectronics. 1999. - V. 9, N. 6.

201. West J.L. Phase Separation of Liquid Crystals in Polymer // Mol. Cryst.1.q. Cryst. 1988. -V. 157. - P. 427-441.

202. Патент № 1771309 (СССР) Метод изготовления жидкокристаллического индикатора / Митрохин В.В., Аристов В.Л., Аношкин В.А. Опубл. 22.06.92.

203. Kitzerov H.S. Polymer-Dispersed Liquid Crystals from the Nematic Curvilinear Aligned Phase to Ferroelectric Films // Liq. Cryst. 1994. - V. 16, N. 1. - P. 1-31.

204. Yaniv Z., Doane J.W., West J.L., Tomura-Lis W. Active Matrix Polymer Dispersed Liquid Crystal // Japan. Display. 1989. - P. 572-575.

205. Cognard J. Molecular Crystals and Liquid Crystals. Supplement 1. Alignment of Nematic Liquid Crystals and Their Mixtures. N.Y.C, 1982.

206. Севостъянов В.П., Федоров Е.Ю. Модифицированные полиимидные ориентирующие композиции в жидкокристаллических индикаторах / II респ. конф. «Жидкие кристаллы и их применение»: Сб. докладов. Баку, 1990.

207. Холкина Т.В. Синтез и свойства композиционных материалов на основе систем «парафин, полиимидные и эпоксидные соединения мелкодисперсные порошки железа и стекла» для средств отображения информации. Дис. . канд. хим. наук. Саратов: СГУ, 2000. - 189 с.

208. Аппен А.А. Химия стекла. JL, 1974.

209. Безбородое М.А. Химическая устойчивость силикатных стекол. -Минск, 1972.

210. Луфт Б.Д., Чустина А.Л. Очистка деталей электронных приборов. -М., 1968.

211. Назарова Т.М. и др. Исследование состояния поверхности электродных плат после химической очистки // Электронная техника. Сер. 4. 1983. -Вып. 4.

212. Абалдуев Б.В. и др. Особенности адгезионного взаимодействия в системе стеклянная подложка пленка ванадий-алюминий // Электронная техника. Сер. 4,- 1984.-Вып. 4.

213. А.с. 1033467 СССР. МКИ G02F1/37. Способ очистки стеклянных подложек / В.П. Севостъянов и др. 1983. - № 3355716/29-33. - Бюл. 29.

214. Пат. 52-1440020 Япония. Способ очистки стекла / Каталог фирмы «Дай ниппон Торье», 1980.

215. Жаров В.А., Горелова О.Н. Поверхностные свойства стекла после обработки его тлеющим разрядом и нагрева // Физика и химия стекла. 1978. - Т. 4, № 8.

216. Анохин Б.Г., Бакун А.В. Нанесение пленок двуокиси кремния методом окисления моносилана // Электронная промышленность. 1973. - № 7.

217. А.с. 1227606 СССР. МКИ 4С0323/00. Способ очистки поверхности стекла / В.П. Севостъянов и др. 1986. - № 3631579/29-33.

218. Зелинская Н.С. и др. Отмывка стеклянных заготовок фотошаблонов // Электронная промышленность. 1976. - № 10.

219. Chapman B.N. II J. Vac. Sci. Technol. 1974. - V. 11, N. 1.

220. Сорбционные процессы в вакууме. М., 1966.

221. Чеботаренко В.Я. и др. Исследование прочности сцепления пленок Cr, Ni, А1, Си с подложками из ситаллов и стекол // Неорганические материалы. -1974.-Т. 10, №2.

222. Ройх И.Л., Жаров В.А. Особенности адгезии вакуумноосажденных слоев окислов к стеклу и ситаллу после обработки их поверхности в тлеющем разряде // Физика и химия обработки материалов. 1976. - № 6.

223. Ракитин С.А. Влияние электрогидравлического удара на полупроводниковые и диэлектрические материалы и компоненты знакосинтезирующей электроники. Дисс. . канд. физ.-мат. наук. Саратов: СГУ, 1999.-220 с.

224. А.с. 162478 СССР. МКИ G02F1/16. Способ изготовления жидкокристаллического индикатора / В.П. Севостъянов, С.А. Студенцов. 1981. - № 2287247.

225. А.с. 655224 СССР. МКИ G02F1/13. Жидкокристаллический индикатор с гомеотропной ориентацией / В.П. Севостъянов и др. 1978. - № 2338171/1825.-Бюл.№ 28.

226. Справочник по производству стекла, Т. 1. М., 1963.

227. Tobias М. International Handbook of Liquid Crystal Displays 1975-76. -London, 1976.

228. Pat. 3834792 (U3A) Int. CI2 0027/16, USA CI 350/160. Alignment Films for a Liquid Crystal Display Cell / J.I. Janning (USA). NCRC. - Applic. No. 386772.- 10.09.74.

229. Pat. 3964158 (USA) Int. CI2 3027/16, USA CI 350/160. Method of Making a Liquid Crystal Display Cell / J.I. Janning (USA). NCRC. - Applic. No. 427184. -11.05.76.

230. Pat. 15553551 (England), Pat. 4128314 (USA), Pat. 2727024 (BDR), Pat. 616003 (Switzerland); Pat. 2399083 (France).

231. Борун А.Ф., Горбунов О.Б., Севостъянов В.П., Фшипченко В.Я., Фин-келъштейн С.Х. Фазовый состав пленок оксида германия, полученных при наклонном напылении в вакууме // Изв. АН СССР. Сер. Неорганические материалы.- 1984.-Т. 20.-С. 1852-1857.

232. Финкелыитейн С.Х., Горбунов О.Б., Севостъянов В.П. и др. Особенности морфологической структуры косонапыленных пленок моноокиси германия // Получение и свойства тонких пленок. Киев: АН УССР, 1981. - С. 44-46.

233. Курчаткин С.П., Севостъянов В.П., Фшипченко В.Я. Особенности наклонной ориентации жидких кристаллов на косонапыленных пленках // Письма в ЖТФ. 1981. - Т. 7, № 19.-С. 1192-1196.

234. Горбунов О.Б., Мухаев А.А., Курчаткин С.П. и др. Ориентация жидких кристаллов с помощью косонапыленных пленок моноокиси германия // Изв. АН СССР. Сер. Неорганические материалы. 1983. - Т. 19. - С. 467-471.

235. Курчаткин С.П., Севостъяков В.П., Фшипченко В.Я. Особенности поверхностной ориентации жидких кристаллов на неоднородностях косонапыленных пленок // Поверхность. 1985. - С. 45-49.

236. Congrad J. Alignment of Nematic Liquid Crystals and Their Mixtures // Mol. Cryst. Liq. Cryst., Supp. Ser. 1982. - V. 78. - P.76.

237. Ними Э., Гшмер Г., Цирке А. Микроструктура тонких пленок, осажденных из паровой фазы // Актуальные проблемы материаловедения / Под ред. Э. Колписа. Вып. 2. -М.: Мир, 1983. С. 240-274.

238. Лукъянченко Е.С., Козунов В.А., Григос В.И. Ориентация нематических жидких кристаллов // Успехи химии. 1985. - Т. 4, № 2. - С.214-218.

239. Nakhodkin N.G., Shaldervan A.I. Effect of Vapor Incidence Angles on Profile and Properties of Condensed Films // Thin Solid Films. 1972. - V. 10. - P. 109113.

240. JJrbach W., Boix M., Guyon E. Alignment of Nematics and Smectics on Evaporated Films // Appl. Phys. Lett. 1974. - V. 2. - P. 479-481.

241. Цжоннер A.K., Хилл P.H. Электропроводность неупорядоченных металлических пленок // Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 8. М.: Мир, 1978. - С. 180-263.

242. Berreman D.W. Solid Surface Shape and the Alignment of an Adjacent Nematics Liquid Crystal // Phys. Rev. Lett. 1972. - V. 28. - P. 1683-1685.

243. Власенко Н.А. Лисовский И.П., Назаренков Ф.А. Исследование процессов накопления заряда в запоминающей многослойной структуре на основе фотоэффекта из GeOx // Украинский физический журнал. 1984. - Т. 9, № 1. -С. 111-115.

244. Третьяков В.Д. Твердофазные реакции. М.: Химия, 1978. - С. 8-51.

245. Находкин Н.Г., Новосельская А.И., Бардамид А.Ф. Структура пленок аморфного германия// ФТН. 1985. - Т. 19. - С. 1918-1928.

246. Wand K.L., Joshi A. Auger Electron Spectroscopy of a Stable Germanium Oxide// J.Vac. Sci. Technol. 1972. - V. 12. - P. 927-931.

247. Леко B.K., Мазурин O.B. Об интерпретации структурных преобразований в стеклообразующих расплавах на основе представления о смещении в них химического равновесия при изменении температуры // Физ. и хим. стекла. -1977. Т. 4, № 1.-С. 34-41.

248. Мейскин З.Г. Несплошные и керметные пленки. Физика тонких пленок. Современное состояние и технические применения / Под ред. Г. Хасса, М. Франконда и Р. Гофмана. Т. 8. -М.: Мир, 1978. С. 106-179.

249. Коцин И., Небреженский И., Фандерлик И. Окрашивание стекла. -М.: Стройиздат, 1983. С. 42-131.

250. Ferier R.P., Chapman J.N., Toms N. The Study of Periodic Magnetic Structures by Electron Diffraction // J. Vac. Sci. Technol. 1973. - V. 10. - P. 640645.

251. Зимон А.Д. Адгезия пыли и порошков. М., 1976.

252. Gross G.A. Electrostatic Effects in the Adhesion of Powder Layers // Surface Contamitation. 1979. - V. 1.

253. Курчаткж С.П. Разработка и исследование элементов технологического процесса, определяющих электрооптические параметры жидкокристаллических индикаторов. Автореф. дисс. .канд. техн. наук. Киев: ИП АНУССР, 1987.- 16 с.

254. Nehring G., Kmetz A.R. Scheffer J.J. Analysis of Walk Boundary Coupling Effects in Liquid-Crystal Display // J. Appl. Phys. 1976. - V. 4, N. 7.