Моделирование физических и физико-химических процессов, происходящих при изготовлении и деградации изделий из поликристаллического карбида кремния тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.10 ВАК РФ

САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ

МОДЕЛИРОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПШ ИЗГОТОВЛЕНИИ и ДЕГРАДАЦИЙ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ПОЛИКШСТАЛЛИЧЕСКОГО КАРБИДА КРЕМНИЯ

Специальность: 01.04.10 - Физика полупроводников и

УНИВЕРСИТЕТ

На правах рукопиои

Диалло Тьерно Ибрагим

диэлектриков

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физикб-математичеоких наук

Санкт-Петербург - 1993

Робота выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом уливорситете.

Научтш руководитель - доктор технических наук,

профессор Волокоблнскш; D.'.I.

Официальные оппонента:

доктор физико-математических наук, профессор Константинов O.E. кандидат технических наук, доцент Никитина Г.В.

Ведущая организация - СПб государственный университет телекоммуникаций гол.проф.М.Л.Бонч--Бруевича

в /ц часов на заседании специализированного совета л ubrf.36.I0 Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета по адресу: 197376, Санкт-Петербург, ул.Проф.Попова, 5.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке университет«

Защита диссертации состоится

Автореферат разослан "?р" Uos £1993 г.

Учеккй секретарь сяоциалкзщ-юзаикого сове та

0::унев И.Т.

т

ОБШАЛ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТУ

Актуальность теш.

Диссертационная работа посвящена теоретическому исследованию на ЭВМ физических и физико-химичесютс процессов з деталях из поликристаллического карбида кремния при их изготовлении и эксплуатации.

Карбид кремния широко применяется в электротехнике и электронике при изготовлении высоковольтных разрядников, нелинейных полупроводниковых сопротивлений и нагревателей. Проводятся интенсивные исследования, направленные на использование к карбида крем1П1я в качестве конструкционного матэриача в машиностроении и электронике. О ванной роли, которая отводится керамически материалам на основе карбида кремния в техническом прогрессе", могло судить по многочисленным публикациям и материала!,I научно-технических конференций. Базой для проведи ния настоящей работы явились успехи в исследовании электрофизических свойств поли- и монокристаллического карбида крем. кия на кафедре диэлектриков и полупроводников СПб ЭТУ, а также широкие возможности.для моделирования физических и технологических процессов, открывшиеся в связи с появлением быстродействующих ЭВМ и программного обеспечения. Использование ЭВМ позволяет сделать каглядннчл высокотемпературные процессы, происходящие в замкнутом объеме и недоступные непосредственному наблюдений-;' способствует лучшему понимаю® физических явлений, совершенствованию характеристик приборов и технологии их производства. Ощущается необходимость в обучаю-' щих программах для подготовки научно-технических кадров, специализирующихся в области исоледовагыя, разработки к технологии производства изделий из полпкристаллнческого карбида кремния. Моделирование (физических и физико-химических процессов в карбиде кремния - подходящая база для разработки таких программ. Теоретические исследования карбида кремния с применением ЭВМ проводились в рамках плана 1и!Р каГедры ЛД СПб ЭТУ по шрокозонным полупроводникам в ьоотяочетхтл с коорд:т-игщионгел! планом АН по еттуатанкн пгл^тг/л.

Целью настоящей диссертации является обобщение экспериме»-. талышх и теоретических работ, выполненных на кафедре диэлектриков и полупроводников СПб ЭТУ в области поликристаллического карбида кремния и составление на его основе программное го обеспечения для моделирования, на ПЭВМ процессов в карбиде кремния, а также дальнейшее развитие теории явлений, происходящих при эксплуатации нагревателей из'карбида кремния»

В связи с поставленной целью рассмотрены следующие вопросы:

1. Проведен анализ современного состояния работ в области исследования и применения поликристаллического карбида крем-■ния в электротехнике'и полупроводниковой промышленности с концентрацией внимания на результатах, полученных на кафедре ДП СПб ЭТУ.

2. Исследованы тепловые поля и термоупругие напряжения' в'" стержневых и трубчатых "Нагревателях и получены аналитические выражения для расчета распределения температуры и механических напряжений в нагревателях и защитных йокрытиях на их поверхности.

3. Изучены процессы деградации нагревателей с учетом особенностей структуры и физико-химических свойств карбида кремния и показано, что имеется хорошее согласование предложенной теории с экспериментальными данными.

4. Разработаны модели-и программы расчета на ПЭВМ процео-сов, происходящих при производстве и применении изделий из поликристаллического карбида кремния, с использованием эко-периментальных данных и стандартного программного обеспечения с ориентацией на интерактивный режим работы на ЭВМ и неоглядное и информативное представление результатов моделирования.

Научная новизна работы состоит в том, что:

1. Рассмотрены физические и физико-химические процессы* происходящие при изготовлении и эксплуатации деталей из поликристаллического карбида кремния, на основе чего развита теория и получены аналитические выражения для распределения' температуры и термоупругих напряжений с учетом'режима работы.

2. Предложена теория процессов окисления .изделий из кар-

бида кремния, имеющих форму пластин, стержней, трубок и шаров и установлены общие закономерности деградационных явлений.

3. Разработаны модели и методика расчета на ПЭВМ физических и физико-химических процессов в деталях из карбида кремния в зависимости от режима работы и характеристики конкретных изделий.

Практическая значимость диссертационной работы заключается в создании методики расчета на ЭВМ и программного обеспечения, которые могут быть использованы при конструировании нагревателей из карбида кремния, управлении технологическим ■ процессом и в учебном процессе по дисциплинам технологического профиля.

Теория позволяет подобрать конструкции и режимы изготовления нагревателей о требуемыми характеристиками, произвести оценку допустимой пористости и минимизировать производственные затраты.

Разработан и внедрен в учебный процесс пакет прикладных программ для моделирования физических явлений в поликристаллических полупроводниках и керамических диэлектриках.

Научные положения, выносимые на защиту:

I. Учет деградационных явлений в нагревателях из полукристаллического карбида кремния позволяет рассчитывать и моделировать процессы окисления изделий, тлеющих форму пластин, стержней, трубок и сфер, а также окисление в шаровых и цилиндрических порах.

2.. На начальном этапе скорость возрастания массы окисла пропорциональна поверхности деталей, находящихся в контакте с агрессивной средой, а на заключительных этапах скорость увеличения толщины окисла и прирост его массы зависят от формы изделий. Время полного окисления деталей цилиндрической или сферической формы пропорционально квадрату радиуса или квадрату толщины пластины при окислении плоских изделий,

3. Предложенный расчет тепловых полей и термоупруЛгх напряжений в нагревателях и в защитных покрытиях позволяет подбирать физичзсние параметры материала для покрытий.

4. Пакет программ моделирования на ЭВМ физических и физико-химических процеосов в изделиях из поликристаллическоги карбида кремния и из керамических материалов, предназначенных для применения в лабораторном практикуме при обучении студентов технологическим дисциплинам.

Апробация результатов диссертационной работы была проведена следующих научно-технических конференциях:

1. 45-ой научно-технической конференции Ленинградского электротехнического института связи им.проф.М.А.Бонч-Бруеви ча, состоявшейся 27 - 31 января 1992 г. в С.-Петербурге; тема доклада:"Электрофизические.процессы в неоднородных структурах".

2. Международной научно-технической конференции "Актуальные проблемы электронного машиностроения" АПЭП-92, состоявшейся 23 - 26 сентября в г.Новосибирске; тема доклада: "Исследование и моделирование технологических процеооов изготовления изделий из анизотропных полупроводниковых материалов".

3. 46-ой научно-технической конференции Электротехнического института связи им.проф.М.А.Бонч-Бруевича, состоявшейся. 25 - 29 января 1993 г. в С.-Петербурге; тема доклада:"Моде-лирование в'лияния примесей на'электрические овойства высокотемпературных полупроводниковых материалов".

4. Научно-технической конференции "Проблемы и прикладные вопросы физики", состоявшейся 18 - 20 мая 1993 г. в г.Саранске; тема доклада:"Использование ЭВМ при обучении студентов технологическим дисциплинам".

5. Научной конференции "Эргономика в Роосии, СНГ и мире:, прошлое, настоящее, будущее", состоявшейся 20 - 23 июня 1993 года в С.-Петербурге; тема доклада ^'Компьютеризация обучения студентов технологическим дисциплинам".

6. Российской научно-технической конференции по физике диэлектриков с меядународным 'участием "Диэлектрики - 93", состоявшейся 22 - 24 ишя 1998 г, в С.-Петербурге; тема до-глг-да:" Физические процессы при фор.'ягоовании и деградации

изделий из карбидкремниевой керамики".

Публикации. По материалам диссертации подготовлены и направлены в журнал "Электронная техника, Cep.fi, Материалы'' две статьи:

1. Тепловые поля и связанные с ниш механические напряжения в высокотемпературных полупроводниковых элементах.

2. К расчету параметров пленочных покрытий.

Опубликованы тезисы докладов на 6-ти конференциях, перечисленных выше.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа включает введение, четыре раздела, заключение и список литературы, содержащий 88 наименовании. Основная часть работы изложена на 1Я9 страницах машинописного'текста. Приводятся 33 рисунка.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОта

Во введении обоснована актуальность теш, научная и практическая ценность диссертации, сформулирована цель и задачи исследования, также научные положения, выносимые на защиту.

В первом разделе.- озаглавленном:"Физические свойства и физико-химические процессы при высокотемпературной обработке нагревателей из карбида кремния", рассматриваются физические и физико-химические процессы при изготовлении и использовании изделий из поликриоталлического карбида кремния, внимание акцентируется на методах производства нагревателей, обладакь-щих примесной проводимостью в рабочем интервале температур, повышенной стойкостью к окислению и длительным сроком службы. Сопоотавляются различные способы спекания: I/ с применением добавок, способствующих образованию жидкой фазы; 2/ при массопереносе в газовой среде. На основе теоретических и оксиериментальких результатов, полученных на кафедре ДП ЭТУ, проводится анализ кинетики спекания заготовок.

Во втором разделе, озаглавленном:"Исследование тепловых полей, мехаштеоких напряжении и плектропроволности карбид-кремниевой керамики", излагаются результаты теоретических

исследований, и моделирования тепловых полей и механичеоких напряжений в нагревателях и их сопоставление с экспериментальными данными научных сотрудников кафедры ДП ЭТУ.

Распределение температуры Т в стационарных случаях, например , при эксплуатации в установившемся режиме или на завершающей стадии процесса спекания нагревателей, определяется решением дифференциального уравнения теплопроводности

(Иу(К.вгаат) = - <3,

где К - коэффициент теплопроводности, Вт/м.К; <3= ¿ТЕ** -удельное тепловыделение, Вт/м3; р - удельная проводимость, См/м; Е - напряженность электрического поля, В/м.

Расчет тепловых полей в деталях сложной формы с учетом температурной зависимости у и К при значительных перепада;: температур производится численными методами на ЭВМ.

При определении максимальных механических напряжений в о о е симме тричных изделиях, например, в отержневых и трубчатых нагревателях из карбида кремния, можно ограничиться анализом распределения температуры в наиболее нагретой удаленной от концов области, полагая в приближении К,у и постоянными, решая уравнение теплопроводности и определяя механиче ские напряжения аналитическими методами. Опасность представляют растягивающие напряжения, так как они могут послужить причиной возникновения трещин и разрушения нагревателей. Максимальной величины растягивающие напряжения достигают на охлавдавмой поверхности., В случае отержневого. нагревателя

максимальные растягивающие напряжения, равны

™ *осЕу

е* га ( >

С ,тах ° 4К ^ 1 - уи ' '

где Р - мощность, отводимая с единицы поверхности; ос - коэффициент линейного расширения; и ~ коэффициент Пуассона; и - радиус стержня.

При Р = 200 кВт/м^ = ?0 Вт/см^ для стержневого нагревателя с В а 0,05 м получим б„ „_ = 50 мнд£ = 500 .

С 'тах см2

Растягиваззпдае напряжения ка охлаждаемой поверхности труб-

чатого нагревателя определяются выражением

€

РИ

обЕу

Тр.тах 4К 1 _

Л

1 „ 2>2..Ч.-

й2-г2 (й2-г2)2 Г

* Х'^О.тах »

где г- • - внутренний и Я - наружный радиусы трубки;

Х- сумма членов, отоящих в квадратных скобках, равная отношению максимальных растягивающих напряжений в трубчатом и стержневом нагревателях при одинаковых радиусах и и мощностях Р. При т/к = 0,5 % = 0,53, то есть при одинаковых размерах и мощностях максимальные раотягивающие напряжения в трубчатом нагревателе примерно вдвое меньше, чем в стержневом.

Термоупругие напряжения в пленочном защитном покрытии на поверхности стержня, нагретого в рабочем режиме, составляют

^ , . . . . „ . кк . V

'г

о [ ( Л -егп)Тг+ы-т.]

4К - 1 - уЦп

где о<. п - коэффициент линейного расширения материала пленки; Тг = Тн - Тф - разность температур внешней поверхности нагревателя Тн и формирования пленочного покрытия Тф, при которой пленка переходит в твердое упругое состояние; ВуП и уид -модуль упругости и коэффициент Пуаосона материала, пленочного покрытия.

При хранении отержневого нагревателя в холодном оостоянии при температуре Т^ термоупругие напряжения в защитной пленке имеют величину

= ! - % Ф

где Т^ = - Т,

'X - ( - тх

Мп

X ~ 1нх ~ Аф*

При равенстве коэффициентов линейного расширения материа-нагревателя Ы и покрытия" ©¿п в холодной пленке механические напряжения отсутствуют, в горячей возникают из-за пере-

пада температур в стержне. При ос^о^ холодный защитный слой находится в скатом состоянии, е при ос < с<п в растянутом. Последний случай неблагоприятен в связи с возможностью появления трещин в защитной пленке при хранении изделий.

В третьем разделе, озаглавленном "Математические основы процессов деградации", приводится теория деградации карбид-кремниевых нагревателей при эксплуатации в окислительных и агрессивных средах. Определены общие закономерности окисления пористых образцов и тел различной формы. Теория базируется на литературных экспериментальных данных о процессах окисления карбида кремния и результатах опытов, проводившихся на кафедре ДП Э'1У.

Экспериментально установлено, что срок службы нагревателей зависит от их химического состава,структуры, конструкции и от условий эксплуатации: температурного режима и ок~ руиающей среда. В агрессивных средах срок службы заметно сокращается. Деградация нагревателей на воздухе проявляется в увеличении их сопротивления и массы, Предшествующим теоретическим анализом экспериментальных данных установлено, что скорость окисления лимитируется процессом диффузии кислорода через слой растущего окисла из атмосферы к границе карбид кремния - окисел, где кислород вступает в реакцию с кремнием и углеродом. Наоса и объем образовавшегося 'окисла больше,. чем у карбида кремния, вступившего во взаимодействие с кислородом. Известно, что плотность диффузионного потока кислорода

j , „ D-äs , где Ü = D ехр( - W/kT) -

dr _ о

Koa.ispiiwit'iiT диффузии кислорода и dn/dr. - градиент концентрации избыточного кислорода в пленке окисла зю2, Do ~ постоянная; и - энергия активации процесса диффузии.

Теоретически исследовано окисление пластин, стсрнней, трубок и пашв из карбида кремния, также цилиндрических и счг. .¡чйогяк п-)р. Плоский случай рассматривался ранее другими

, • -(дось он приводится лишь с целью сопоставления • о:> ].. щтов с; ИГ.ЗЛ1Ш1ШСЯ сведениями об окислении Sic.

Определены зависимости концентрации избыточного кислорода п и её градиента gradn в слое sio2 от координат, времени и температуры.

Выяснены общие закономерности деградационных явлений тел, имеющих форму пластин, стержней, трубок и сфер, а также цилиндрических и сферических пор: I/ На начальном этапе процесса окисления скорость прироста массы d( Am)/dt и относительный прирост : ассы д m/ra0 (mQ - исходная масса) про-

порциональнальны поверхности s, соприкасающейся с окислительной средой; 2/ При малых t относительный прирост массы пропорционален корню квадратному из времени t от начала процесса окисления; для пластин эта зависимость от времени соблюдается и при больших t; 3/ Время полного окисления сферических и цилиндрических образцов пропорционально квадрату их радиуоа R, для плаотины пропорционально квадрату её толщины; время заполнения шаровых и цилиндрических пор окиолом пропорционально квадрату радиуса пор д.

Например,' при окислении с двух оторон плаотины толщиной 2h время полного окисления tn связано о h выражением

fl2h2/2 » Atn ,

где А.= v.j nQD/21 v1 - объем одной молекулы Si02, nQ - концентрация избыточного кислорода в слое si02 на границе с атмосферой; в - отношение объемов образовавшегося, Si02 и

вступившего в реакцию с киолородом SIC, в анализируемом случае окисления карбида'кремния в = 4,74.

Стержень из карбида кремния радиусом R полностью окисляется за время tCT, определяемое из равенства

в2 а2

----— lnfl = AtCT •

4 fl - 1

Принимая л =. h,найдем отношения времен полного окислекит стержня и пластины

= 2(0 - 1) '

Для изделий из карбида кремния это отношение равно 0,209, и, следовательно, в одинаковых условиях окисление стержня, диен-метр которого совпадает с толщиной плаотины, завершается примерно в 5 раз быстрее, чем пластины.

Время полного окисления сферического образца 1;сф можно найти из соотношения

в ( , а^3 ~ 1 ч _ А+ .

и при и =. ь отношение времен полного окисления шара и пластины составляет

* сф 1 ~ В~1/3 ~ а - 1

Для шаров и пластин из карбида кремния величина этого отношения равна 0,108, таким образом, при выбранных размерах офери-ческие частицы окисляются примерно в 10 раз быстрее плооких образцов. V

Полученные теоретические результаты позволяют сделать практические выводыВо-первых, в целях повышения срока слузв-бы нагревателей необходимо использовать крупнозернистые фра^ ции с диаметром зерен в несколько сотен микрон. Во-вторых, для обеспечения устойчивости образцов к окислению не обязательно полное исключение пористости, доотаточно её снижение до 20 об,%, которое' достигается путем введения добавок, улучшающих спекание карбида кремния. Последнее заключение объясняется тем, что при пористости менее 20 об.% очень мала ве-^ роятность образования тонких перешейков на пути тока, представляющих опасность из-за быстрого перегорания.

В четвертом разделе, озаглавленном:"Моделирование на'ЭВМ физических и физико-химических процесоов в поликристаллическом карбиде кремния", описываются математические модели и программы расчета на ПЭВМ процеосов, происходящих при изготовлении и применении нагревателей из карбида кремния, с использованием экспериментальных данных и стандартного программного обеспечения с ориентацией на интерактивный режим

работы на ЭВМ и наглядное и информативное представление результатов моделирования. Научной базой для составления'пакета прикладных прогрет.™, предназначенных для применения, в лабораторном практикуме при обучении студентов технологическим дисциплинам, явилиоь теоретические исследования и экспери- . ментальные данные, изложенные в предыдущих разделах. В соответствии с принятой методикой написания руководств составлены и прошли успешную апробацию руководства к 8 лабораторным работам по технологии керамических материалов, 3 из которых имеют общий характер, а 5 относятся непосредственно к изучению изделий из карбида кремния. Кроме того, составлены методические указания работы студентов на ПЭВМ.

Практика проводится на двух уровнях. На первом уровне студенты пользуются готовыми программами и работают в диалоговом режиме, вводя по запросу машины требуемые данные и пользуясь консультациями, даваемыми машиной в рамках программы, получая информацию о физических и физико-химических -процессах и о роли различных_факторов в наглядной форме. На втором этапе студенты, имеющие достаточно высокую подготовку в области программирования и работы на ПЭВМj в соответствии с методическими указаниями сами составляют программы расчетов по имеющимся формулам, выбирая алгоритмический язык программирования'по своему усмотрению.

В заключении перечислены основные результаты диссертационной работы.

I/ Проведен анализ современного состояния работ в области исследования и применения поликристаллического карбида кремния, Определены основные закономерности физических и физико-химических процессов, происходящих при синтезе изделий из поликристачлического карбида кремния.

2/ Составлены программы расчета тепловых полей и скорости процессов массопереноса sic и осуществлено численное моделирование на ПЭВМ, результаты которого сопоставлены и подтверждены экспериментальными данными.

3/ Выполнено моделирование процессов образования вторичного карбида кремния в ходе массопереноса я легирозгьття • з±с

методом диффузии. Показано, что диадузионши способ легирования эффективен лишь при малых размерах зерен, а массопереноса - при больших, вследствие чего сопротивление спеченных образцов в зависимости от размеров зерен проходит через максимум при размере зерен 4 4-6 мкм.

4/ Осуществлено моделирование на ПЭВМ процессов спекания и легирования карбида кремния методом введения добавок примесей, способствующих образованию жидкой фазы. Рассчитаны пористость, электрические и механические характеристики спеченных изделий. Результаты расчетов совпадают с имеющимися экспериментальными данными.

5/ Предложены оригинальные формулы для расчета электрической проводимости композиционных материалов, учитывающие различия в физических свойствах первичного и вторичного карбида кремния, пористость, анизотропию проводимости монокристаллов карбида кремния. Выяснено, что при промышленном производстве нагревателей в целях уменьшения разброса параметров и брака изделий необходимо содержание вторичного карбида кремния не ниже 30 об./2. Для обеспечения длительного срока службы желательно, чтобы открытая пористость была не выше 20 об,%.

6/ Па базе экспериментальных данных научных сотрудников кафедры ДП ЭТУ развита теория деградационшх процессов натре-* вателей из карбида кремния и определены основные закономерности развития деградации. Выполнены расчеты процессов окисле-' ния изделий различной формы, цилиндрических и сферических пор. Установлено, что для увеличения срока службы нагревателей при их производстве целесообразно попользовать крупнозернистые фракции с размера™ зерен в несколько сотен микрон,

7/ Выполнен расчет термоупругих напряжений в нагревателях из карбида кремния и в защитных покрытиях на их поверхности. Сформулированы требования к физическим параметрам покрытий.

8/ Составлены и внедрены в учебный процесс руководства по моделированию технологических процессов и физических характеристик наделай полукристаллического карбида кремния и керамических ¡катерналов в зависимости от режлиа из изготовле-

Н'М.

СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Электрофизические процессы в неоднородных структурах/ М.Ю.Волокобинсклй", Т.В.Матюхина, И.В.Фалина, Т.И.Диалло, Б.И.Решетш:ков//Тез. докл. 4!>-ой научно-техн. конф.ЛЭИС.

27 - ЯТ яшз. 199?, г. - СПб. - 1992. - С.55.

2. Исследование и моделирование технологических процессов изготовления изделий из анизотропных полупроводниковых материалов/!). М. Таиров, В.Ф,Цветков,-Ю.М.Волокобинский, Т.И.Диал-ло, Н.В.Ф9лина//Тез. докл. Междунар.научно-техн. конф. "Актуальные проблеш электронного машиностроения" АГОП-92.

23 - 26 сент. 1992 г. - Г.Новосибирск. - C.I4.

3. Матюхина Т.Б., Диалло Т.И., Фалина И.В. Моделирование влияния примесей на электрофизические свойства высокотемпературных полупроводниковых материалов//Тез. докл. 4Я-ой научно-техн. конф. Электротехн. ин-та связи им.М.А.Бонч-бруевича. 25 - 29 янв. 1993 г. - СПб. - 1993. - C.R9.'

4» Диалло' Т.И. Использование ЭВМ при обучении студентов технологическим дисциплинам//Тез. .докл. научно-техн. конф. "Проблемы и прикладные вопросы физики". 18 - 20 мая 1993 г. - Г.Саранск. - 1993. - C.II3.

5. Волокобинский М.Ю., Диалло Т.И. Компьютеризация обучения студентов технологическим дисциплинам//Тез, докл. научной конф. "Эргономика в России, СНГ и мире: прошлое, настоящее, будущее". 20 - 23 июня 1993 г. - СПб. - 1993. - С.35.

В. Авров Д.Д., Волокобинский Ю.М., Диалло Т.И, Физические процессы при формировании и деградации изделий из карбид-кремниевоп керамики//Тез. докл. Российской научно-техн. конф. по физике диэлектриков с международным участием "Диэлектри-ки-93". 1993 Г. - СПб. - С.147 - 148.