Определение электрически активных примесей в высокочистом германии методами эффекта Холла и примесного пробоя тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.19 ВАК РФ

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК . Институт химии высокочистых веществ

На правах,. рукописи УДК 537. 633. 2:537. 312

ПЯТОВ Михаил Юрьевич

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ПРИМЕСЁЙ В ВЫСОКОЧИСТОМ ГЕРМАНИИ МЕТОДАМИ ЭФФЕКТА ХОЛЛА И ПРИМЕСНОГО ПРОБОЯ

(02. 00. 19 - химия высокочистых веществ)

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук

Нижний Новгород - 1992 г.

Работа выполнена в Институте химии высокочистых веществ РАН, г. Нижний Новгород.

Научный руководитель: доктор химических наук,

академик Г. Г. Девятых

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук,

член-корреспондент РАН И К Павлов

доктор химических наук С. Ф. Маренки

Ведущее предприятие: ' Государственный научно-исследова тельский и проектный институт редкометаллической промышленност "ГИРЕДМЕТ", г. Москва.

Защита состоится $ " 19}£. в ^час. на заседа

нии специализированного совета по химии высокочистых веществ пр ИХВВ РАН по адресу: г. Нижний Новгород, ул. Тропинина, 49.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке ИХВВ РАЕ

Автореферат разослан " 19^.

Ученый секретарь специализированного совета, кандидат химических наук /д , У

С. В. Яньков

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Исследование примесного состава германия - одна из тем, которые актуальны вот уже более тридцати лет. Повышение чистоты вещества вызывает новые проблемы в оценке его качества. В настоящее время высокочистый германий является одним из наиболее чистых веществ. На основе высокочистого германия изготавливается ряд приборов: детекторы ионизирующих излучений, высоковольтные выпрямители, фотоприемники

и др. Для их создания применяется германий с концентрацией

Ф -3

электрически активных примесей на уровне 10 см . Традиционные методы анализа; химико-спектральный, масс-спектральный, акти-вационный методы не позволяют определить примесный состав высокочистого германия, так как достигнутые в этих методах пределы обнаружения на несколько порядков превышают концентрацию электрически активных примесей в высокочистом германии. Более чувствительными являются методы фотоэлектрической спектроскопии. ОиБ, эффекта Холла, примесного пробоя и др. Метод фотоэлектрической спектроскопии занимает ведущее место в исследовании примесей в высокочистом германии. В меньшей степени исследованы возможности эффекта Холла, который применяется для определения суммарного содержания электрически активных примесей в образцах высокочистого германия с подвиж-

2

ностью носителей заряда 40000-43000 см /В-с при температуре жидкого азота. Отсутствие методики исследования образцов с подвижностью носителей заряда < 40000 см /В-с ограничивает применение эффекта Холла для анализа высокочистого германия. В литературе нет детального описания методики измерения эффекта Холла в высокочистом германии, не раесматрива-

ются факторы, ограничивающие предел измерений, не приведены результаты исследования температурной зависимости подвижности носителей заряда, отсутствуют сопоставительные измерения степени компенсации примесей методами эффекта Холла и примесного пробоя. Исследовались только образцы германия, полученного оксидным методом. Б этой связи представлялась актуальной задача разработки методики определения электрически активных примесей

в образцах высокочистого германия с подвижностью носителей за-2

ряда < 40000 см /В-с при температуре жидкого азота и применение ее для анализа германия, полученного гидридным методом.

Цель работы: разработка методики определения электрически

активных примесей в высокочистом германии методами эффекта

9 1

Холла и примесного пробоя в диапазоне концентраций 10 - 10 ат/см5.

Научная новизна работы. Разработана методика определения

электрически активных примесей с помощью измерений, эффекта

9 <

Холла и примесного пробоя в диапазоне концентраций 10 - 10

з -а -э

ат/см (10 - 10 X ат.) в образцах высокочистого германия с подвижностью носителей заряда 25000-43000 смг/В-с при Т=77К. Выявлены факторы, ограничивающие предел определения примесей методом эффекта Холла. Оценено загрязнение образца в процессе изготовления контактов. Определено содержание электрически активных примесей в высокочистом германии, полученном гидридным методом. Показано, что в наиболее чистых образцах германия суммарное содержание 25 основных электрически активных примесей находится на уровне 8 • 10*°- 1 • ю" ат/см3. Определены основные акцепторные уровни в гидридном германии. Методами эффекта Холла и примесного пробоя проведены сопоставительные измерения степени компенсации примесей и определена

зависимость напряженности поля примесного пробоя от степени

компенсации примесей для образцов германия с концентрацией

Ю 4< 5

электрически активных примесей на уровне 10-10 ат/см . Измерена температурная зависимость подвижности носителей заряда в образцах германия с концентрацией электрически активных примесей на уровне 1*10 ат/см3. В области температур 6К<Т<40К наблюдается понижение подвижности, которое коррелирует со степенью компенсации примесей. Установлено, что для образцов германия с глубокими энергетическими уровнями характерно более неоднородное распределение концентрации носителей заряда

фактическая ценность. Разработана и создана автоматизированная установка для исследования эффекта Холла в высокочистом германии в области температур 4.5 - 80К. Полная автоматизация процесса измерения и обработки экспериментальных данных повысила точность результатов. Исследован примесный состав гидридного германия. Результаты диссертационной работы используются.в ИХВВ РАН при'плановых НИР. На защиту выносятся:

конструкция установки и методика определения электрически активных примесей в образцах высокочистого

германия методами эффекта Холла и примесного пробоя в

9 П з

диапазоне концентраций 10 - 10 ат/см ,

результаты исследования примесного состава гидридного германия.

Апробация работы и публикации. Результаты работы докладывались и обсуждались на УП и У.Ш Всесоюзных конференциях по методам получения и анализа высокочистых веществ /Горький, 1985, 1988/, Всесоюзной конференции по полупроводниковым детекторам /Рига, 1985/, Городском семинаре по химии высокочис-

тых веществ /Горький, 1988,1992/. По результатам выполненных исследований опубликовано 13 статей, 5 тезисов докладов, получено 1 авторское свидетельство.

Структура и обьем работы. Диссертация состоит из введения, трех глав, выводов, списка цитируемой литературы. Работа изложена на 139 страницах, включая 29 рисунков и 11 таблиц. Список литературы содержит 116 наименований.

Диссертационное исследование проводили в соответствии с

Государственной научно-технической программой "Перспективные

материалы", подпрограмма "Высокочистый монокристаллический

германий с содержанием электрически активных примесей не более ю з

10 ат/см для детекторов ионизирующих излучений высокого энергетического разрешения", утвержденной Постановлением СМ СССР.N 1474 от 30.12.1988, РАН N 10103-219 от 08.02.1989; Специальной научно-технической программой по реализации приоритетного направления развития химической науки и технологии "Создание новых процессов и новых технологий получения особо чистых веществ и материалов для волоконной техники, микро- и оптоэлект-роники", подпрограмма "Развитие комплекса оптических, фотоэлектрических и релаксационных методов анализа высокочистых полупроводников", утвервденной Постановлением ГКНТ СССР и АН СССР N 62/51 от 05.03.1988.

Содержание работы.

I. Литературный обзор.

В этой главе рассмотрены имеющиеся в литературе данные о методах определения электрически активных примесей в полупроводниках. Показано, что метод эффекта Холла обладает высокой

гаствительностью при определении электрически активных приме-

!й: минимально измеряемая концентрация примесей может состав-

д з

1ть 10 ат/см .

Определение примесей с помощью эффекта Холла основано на ¡следовании температурной зависимости концентрации носителей фяда. Из анализа температурной зависимости концентрации но-ггелей заряда определяется энергия ионизации и концентрация шмесей. При этом химическая природа примеси устанавливается ) величине энергии ионизации.

С помощью метода примесного пробоя определяется степень >мпенсации примесей. Определение основано на зависимости шряженности поля примесного пробоя в области гелиевых гмператур от степени компенсации примесей.

В обзоре отмечается отсутствие результатов измерения ;мпературной зависимости подвижности носителей заряда в >разцах высокочистого германия. Обсуждены основные трудности, >зникаюшяе при исследовании высокочистого германия методами рфекта Холла и примесного пробоя. Рассмотрены другие методы, отменяемые для анализа электрически активных примесей в юокочистом германии.

На основе литературного обзора делается вывод о важности шработки методики определения электрически активных примесей высокочистом германии методами эффекта Холла и примесного юбоя.

II. Экспериментальная часть.

В данной главе описана методика определения электрически пивных примесей в высокочистом германии методами эффекта

Холла и примесного пробоя.

Исследование эффекта Холла проводили на разработанной нам автоматизированной прецизионной установке, обеспечивакщэ измерение э.д. с. Холла в образцах высокочистого германия

3 *

удельным сопротивлением 10 - 10 Ом-см. Установка состояла и криостата со сверхпроводящим соленоидом, измерительной схемь блока обработки информации и вывода данных. Образец германия нанесенными на него контактами поменяли в криостат, которь устанавливали в транспортный сосуд Дыоара с жидким гелием. Вс необходимая информация преобразовывалась блоком аппарату]: измерения и преобразования сигналов, поступала в крейт КАШ а затем - в ЭВМ для последующей обработки. Диалог межг установкой и экспериментатором осуществлялся через терминал.

Конструкция криостата обеспечивала проведение измереш в области температур 4. 5 - 80К. Измерения проводились при фш-сированных значениях температуры с температурным шагом 0. 5-21 Колебания температуры образца во время измерения э. д. с. Хол: не превышали 0.05К/мин, что дало возможность проводить многс кратные измерения в одной температурной точке с последующим 5 реднением полученных результатов. Измерение эффекта Холла прс водили с применением постоянных электрического и магнитно1 полей. Диапазон магнитных полей составлял от 500 до 4500 Гс Экспериментально были определены возможности измеритель» схемы:

И

-входное сопротивление ............. 10 Ом

Ч -5

-диапазон измеряемых напряжений ____ 10 - 10 В

-з -г

-диапазон измеряемых токов ....... 10 - 10 А

Исследование эффекта Холла выполняли в полностью автом; тизированном режиме. Время измерения концентрации и подвижно!

ги носителей заряда в 50 температурных точках составляло менее I часов. Расход жидкого гелия на измерение одного образца не 1ревышал двух литров.

При разработке методики исследования эффекта Холла в об-)азцах высокочистого германия было показано, что основными ¡акторами, ограничивающими чувствительность измерений, являют-:я э. д. с. неэквипотенциальности, связанная с неоднородностью >аспределения концентрации носителей заряда, а также э. д. с., |бусловленная колебаниями температуры образца и шумом измери-ельной аппаратуры. Для' уменьшения погрешности определения .онцентрации носителей заряда были оптимизированы величины 1агнитной индукции и тока, протекающего через образец, чтобы вбежать возможную инжекцию носителей заряда из контактов; бы-о исключено загрязнение образца в процессе изготовления кон-актов; исследовано значение холл-фактора в области температур .5 - 80К; проведены многократные измерения в одной темпера-урной точке с последующим усреднением результатов. Разрабо-анная методика позволяла исследовать образцы с подвижностью осителей заряда 25000-43000 смг/В-с при Т- 77К. Погрешность змерения концентрации носителей заряда составляла 3%. Для ценки точности полученных данных были выполнены сопостави-ельные измерения эталонных образцов в ГИРЕДМЕТе, НПФ АН РАН и ХВВ РАН. Разброс измеренных значений концентрации носителей аряда составлял < 5%.

Математическую обработку температурной зависимости онцентрации носителей заряда проводили по одноуровневой одели, поскольку, как правило, в образцах доминировал один нергетический уровень. Энергию ионизации и концентрацию римесей определяли из условия минимума среднеквадратичного

отклонения расчетной кривой от экспериментальных данны Погрешность определения энергии ионизации примеси была рав: 3%, погрешность определения концентрации примеси - 10: Относительное стандартное отклонение результатов анализа превышало О.1. Предел, обнаружения основных и компенсирующ электрически активных примесей, оцененный по величи минимально измеряемой концентрации носителей заряда, составл

в 3 6 3

5-10 ат/см и 5 • 10 ат/см , соответственно. Правильное определения энергии ионизации примеси устанавливали с помои сравнения данных, полученных методами эффекта Холла фотоэлектрической спектроскопии. Отличие результатов в велич не энергии ионизации не превышало 3%. С целью повышения дост верности определения концентрации примеси измерение степе компенсации так же выполняли методом примесного пробоя. Крс того, результаты измерений двумя методами дополнялись данньа полученными методом релаксации фотопроводимости. Цри Т=4. снимали вольт-амперную характеристику исследуемых образцов по величине напряженности поля примесного пробоя определ5 степень компенсации примесей. Погрешность определения стеш компенсации методом примесного пробоя составляла 15%.

Ш. Результаты определения концентрации электричесгс активных примесей в высокочистом германии.

Были исследованы, образцы высокочистого германия

концентрацией нескомпенсированных носителей заряда р(77К)

9 42 -3

уровне 5-10 - 5 • 10 см , полученные гидридным и оксид

методами.

Химическую природу примеси определяли с помощью сопост

ления измеренной величины энергии ионизации с литературными данными. Для этого проводили измерение температурной зависимости концентрации носителей заряда р(Т) (рис.1). Анализ температурной зависимости концентрации носителей заряда показал, что метод эффекта Холла позволяет определить содержание примесей, создающих мелкие и глубокие энергетические уровни, компенсирующих примесей, а tarae оценить суммарную концентрацию 25 электрически активных примесей (табл.1). Было установлено, что в наиболее чистых образцах гидридного германия суммарное содержание 25 основных электрически активных примесей составило 8-10*- 1- Ю^ат/см3(2• 103-1о"*атом.г).

С помощью исследования эффекта Холла были определены основные акцепторные уровни в высокочистом германии. Наиболее распространенными акцепторными уровнями в гидридном германии являлись Ev+0.011 эВ, Ev+0.022 эВ, Ev+0.044 эВ, Ev+0.08 эВ, Ev+0.18 эВ. Уровень Ev + 0. 011 эВ образован элементами III группы Периодической -системы, уровни Ev+0.044 эВ, Ev+0.08 эВ и Ev+0.18 эВ соответствуют примеси меди и медь-водородньм комплексам. На основании результатов измерения концентрации дислокаций и экспериментов по отжигу образцов можно предположить, что уровень Ev +0. 022 эВ образован комплексом, в состав которого входят вакансии. Проведенные эксперименты показали, что концентрация электрически активных примесей в образцах германия, полученного по оксидной технологии, и в образцах гидридного германия сравнима между собой. Из полученн^ результатов следует, что содержание примесей в высокочистом германии во многом определяется заключительными стадиями его получения: зонной плавкой и выращиванием монокристаллов, которые одинаковы для обоих методов.

Р, см-3 II

10

10'

50

100

150

т^ю3,

сг-Х

Рис Л. Температурная зависимость концентрации носителей заряда в образцах высокочистого гидридного германия.

Таблица 1. Содержание электрически активных примесей в образцах гидридного германия N'10"? ат/см5.

Примесь Обр. 1 Обр. 2

I В. А1. 0а, 1п, Т1) 6 40

Х(1Л. Р. Аэ, БЬ, В1, Б, Бе. Те) г 10

Си <0.4 <3

А? <0.4 <3

Ве <0.4 <3

2п <0.4 <3

СИ <0.4 <3

Нг <0.4 <3

Сг <0.4 <3

№ <0.4 <3

РЬ <0.4 <3

Со <2 <3

N1 <0.8 <3

- 13 -

Исследование степени компенсации примесей методами эффек-:а Холла и примесного пробоя дало возможность определить кон-;ентрацию донорных и акцепторных примесей, создающих мелкие шергетические уровни. Полученные данные хорошо согласуются (евду собой, а также с результатами измерений методом релакса-даи фотопроводимости (табл.2). Сравнение результатов исследо-1ания степени компенсации примесей, полученных различными |лектрофизическими методами, позволило оценить правильность -пределения суммарной концентрации электрически активных при-[есей. Разброс измеряемых значений не превышал 50%. Степень юмпенсации примесей в образцах высокочистого германия с раз-остной концентрацией (Иа-ВД - 10У- 10 ат/см5 изменялась в ши-юком диапазоне от 6% до 90%. В основной массе образцов сте-ень компенсации примесей была более 20%. Было проведено исс-едование влияния.степени компенсации примесей на подвижность осителей заряда (рис.2). В интервале температур 6-40 К наблю-алось понижение подвижности носителей заряда, которое корре-ировало со степенью компенсации примесей. При увеличении сте-ени компенсации примесей величина подвижности уменьшалась, ыла проведена теоретическая оценка вкладов в рассеяние носи-елей заряда на фононах, на ионизированных примесях, на нейт-альных примесях и на примесных неоднородностях (пустоты (вы-еления водорода), локальные скопления и крупномасштабные не-днородности электрически активных примесей). Из теоретической ценки следовало, что подвижность носителей заряда в высокоистом германии с суммарной концентрацией электрически актив-л> Н з

ах примесей 10 - 10 ат/см в области температур Т>4. 2- К должна лределяться рассеянием на фононах -^р (Рис.2). При наличии в 5разце примесных неоднородностей величина подвижности должна

- -

Таблица 2. Результаты измерения степени компесации примесей в образцах высокочистого германия, 00.

игш

о

ат/см

№ обр.

КСэф.Х.)

К(прим.пр.)

К(вр.рел.)

1

2

3

4

5

6

7

8 9

1С 10 II

д

(ю ,п 10 ,10 II

6 9 18 25 27 35 71 88 90

10 10

35 25 40 85 90 90

20

50 38 70

Г

юс

10

, см /В-с

6 8 10

20

40 60 1

Рис.2. Температурная зависимость подвижности носителей зарядг в образцах высокочистого германия: 1-К=15%, 2-К=30%, 3-К=70#, Ц-К=90%, ^р- рассеяние на фононах.

2

4

отклоняться от |Ир. Поэтому изменение подвижности носителей заряда в области низких температур связывали с наличием в образцах высокочистого германия примесных неоднородносгей.

Исследование однородности распределения электрически активных примесей проводили с помощью измерения концентрации и подвижности носителей заряда по длине и по сечению слитка На основе результатов измерения распределения концентрации носителей заряда оценивали распределение электрически активных примесей, поскольку основной вклад в проводимость дают примеси. Для этого слиток разрезали на образцы и выполняли измерения при температуре Т=77 К. Это позволяло определить распределение электрофизических параметров по радиусу слитка с локальностью - 3 мм. Изучение однородности электрофизических свойств образцов, размеры которых были менее 10X10 мм , проводили посредством последовательного уменьшения измеряемой области (за счет более глубоких прорезей в образце) и определения концентрации носителей заряда В этом случае локальность измерений составляла - 1 мм. В большинстве из измеренных образцов высокочистого германия распределение концентрации носителей заряда не описывалось плавной кривой, а носило сложный характер. Измерение, проведенное на образцах с различными значениями градиента концентрации носителей заряда (1.1<Рмах/Рт1п<20) показало, что увеличение значения градиента, независимо от его знака, обуславливает резкое уменьшение величины подвижности носителей заряда. Это позволило по величине подвижности носителей заряда оценивать наличие и значение градиента концентрации носителей заряда. Были исследованы электрофизические свойства образцов высокочистого германия, в которых доминируют мелкие или глубокие энергетические уровни. Результаты измере-

ний указывали на то, что образцы с глубокими:энергетическими уровнями имеют более неоднородное распределение электрофизических параметров.

Изучение термостабильности свойств высокочистого германия проводили посредством резких охлаждений образцов до Т- 77К с последующим измерением их электрофизических параметров. Измерения показали, что при охлаждениях понижалась концентрация носителей заряда в ряде кристаллов р-типа с невысоким значением подвижности носителей заряда. С помощью измерения температурной зависимости концентрации носителей заряда было установлено, что в данных кристаллах доминируют глубокие энергетические уровни. Анализ р(Т) в образцах cjtf(T-77 К) > 30000 смг/В-с позволил выделить акцепторные уровни 0.04 эВ, 0.08 эв, 0.180 эВ, которые образованы медью и медь-содержащими комплексами. В образцах с Ц(Т-77 К)-25000-30000 смг/В-с наблюдались две зоны акцепторных уровней (0.04 - 0.1 эВ, 0.150 - 0.200 эВ). Сложный характер зависимости р(Т) в этих образцах затруднил получение точных значений энергии ионизации.

Таким образом, разработанная методика на основании измерений эффекта Холла и примесного пробоя позволила определить

содержание ■электрически активных примесей в высокочистом гера %

мании до концентраций 10 ат/см , а в ряде случаев установить химическую природу примесей. Автоматизация процессов измерения повысила точность получаемых данных, что открыло новые возможности эффективного контроля и физической диагностики высокочистых полупроводников. Совокупностью измерений методами эффекта Холла и примесного пробоя были исследованы электрофизические свойства высокочистого германия. Результаты исследования указывают на неоднородность распределения концентрации но-

сителей заряда в образцах высокочистого германия.

Выводы.

1. Разработана автоматизированная установка для измерения

эффекта Холла в интервале температур 5-80 К в образцах высоко-

з ?

чистого германия с удельным сопротивлением 10 - 10 Ом-см.

2. Разработана методика определения электрически активных примесей с помощью измерений эффекта Холла в диапазоне концентраций 10*- Ю^/см3 в образцах высокочистого германия с подвижностью носителей заряда 25000-43000 смг/В-с при Т-77К. Прецизионное измерение достигалось за счет малошумявдэй измерительной схемы, оптимизации условий эксперимента, высокой стабилизации температуры образца и проведения многократных измерений в одной температурной точке с последующим усреднением результатов. Проведена оценка загрязнения образца в процессе изготовления контактов. Показано, что при изготовлении контактов не имело места загрязнение образца на уровне 1*1с/ат/см'3.

Предел обнаружения основных и компенсирующих примесей составил

в з 6 г

5*10 ат/см и 5-10 ат/см , соответственно. Относительное стандартное отклонение результатов анализа не превышало 0.1.

3. Показано, что для высокочистого германия характерно неоднородное распределение концентрации носителей заряда Изменение концентрации носителей заряда по радиусу слитков германия превышало 102. Влияние неоднородности распределения концентрации носителей заряда проявлялось на уменьшении величины подвижности носителей заряда и на увеличении минимально измеряемой концентрации носителей заряда, что ограничивало предел определения примесей в высокочистом германии..

- 18 -

4. Определена степень компенсации примесей в германии с

ю и

разностной концентрацией примесей /Иа - N(1/ - 1-10 - 6-10 ат/см5 по эффекту Холла и по примесному пробою. Полученные данные хорошо согласуются между собой и с результатами метода релаксации фотопроводимости.

5. Показано, что исследование примесного пробоя позволяет определить степень компенсации примесей от 102 до 90% в образцах высокочистого германия, в которых доминируют мелкие энергетические уровни.

6. Установлено, что в наиболее чистых образцах гидридного германия суммарное содержание электрически активных примесей находится на уровне 8*10^- 1 -Ю^ат/см3. Исследована температурная зависимость подвижности носителей заряда в образцах германия с содержанием электрически активных примесей на уровне 1 -Ю^ат/ем5. Показано, что в области низких температур Т > 6 К не наблюдается рассеяния на электрически активных примесях. Корреляция величины подвижности носителей заряда в области низких температур (Т =7К) и степени компенсации примесей свидетельствует о наличии в образцах высокочистого германия примесных неоднородностей.

Основное содержание диссертации изложено в следующих работах:

1. Нечунеев КХ А., Гусев А. К , Козлов Е А., Мазов X С., Пя-тов М. ¡0. Измерение эффекта Холла в высокочистом германии в интервале температур 4.2 - ЗООК. //Физика полупроводников и полупроводниковая электроника. 1985. Саратов. Межвуз. сб. К12. С. 14-17.

2. Козлов Е А., Мазов X С., Нечунеев Ю. А., Гусев А. Е , Пя-

тов Ы.Ю. Прецизионная установка для исследования эффекта Холла в полупроводниках в интервале температур 4. 2 - 300К и магнитных полях до 70 кЭ.// Приборы и техника эксперимента. 1985. N 3. С. 229.

3. Девятых Г. Г., Андреев Б. А., Балабанов В. К , Гавва К А, Гусев А. В., Иконников В. Б., Максимов Г. А., Нечунеев П А., Пятов М. ¡а , Шагин а а примеси в высокочистом германии, полученное гидридным методом. // Изв. АН СССР. Сер. Беорганич. материалы. 1986. Т. 22. N 12. С. 1957-1961.

4. Краснова С. Г. , Прончатов А. Е , Пятов Ы. КХ Определение суммарной скорости поступления электрически активных примесей из кварцевого контейнера с штоуглеродным покрытием в германий. '/Получение и анализ чистых веществ. 1984. Горький. Медвуз, сб. 5.8-10.

5. Нечунеев Ю. А. , Мэкрушин А. Е , Пятов М. Ю., Ладонычев Г., Установка для измерения неоднородности удельного сопротив-

юния германия и кремния высокой чистоты.//Высокочистые вещест->а 1987. N 3. С. 219-221.

6. Нечунеев Ю. А. , Ладонычев Г. Е , Пятов М. Ю., Мокрушин А. Е [сследование возможности измерения эффекта ХЬлла на поликристал-[ических образцах германия высокой чистоты. //Там же. 1987. N 5. !. 225-226.

7. Нечунеев 1й А., Пятов М. XI, Мазов Л С., Мокрушин А. Е , ¡адонычев Г. Е Малогабаритный криостат для исследования электро-изических свойств высокочистого германия.//Там же. 1988. N 3. . 202-204.

8. Заболотский С. Е., Калинушкин Е П., Ладонычев Г. Е , Му-ин Д. И., Нечунеев Ю. А., Пятов М. Ю. Влияние многократного охлаж-ения на свойства высокочистого германия. //Там же. 1988. N 2.

С. 207-209.

9. Андреев Б. А., Иконников Е Б., Козлов Е. Б., Шмагин К В. , Соловьев Ю. А., Шкрушин А. К , Нечунеев Е А., Пятов И. Ю. Бесконтактный способ определения компенсирующих примесей в высокочистом германии. // Там же. 1989. N 6. С. 138-143.

10. Брайман Ы. П., Ильин В. М. , Нечунеев Е А., Пятов М. Ю. Мэкрупшн А. К Автоматизированная установка для исследована электрофизических параметров полупроводников. //Там же. 1990. 1 1. С. 229-232.

11. Девятых Г. Г., Нечунеев К1 А., Пятов М. Ю., Киселев И. Е Определение содержания кислорода в высокочистом германии методо! преципитации лития. //Там же. 1990. N 2. С. 217-219.

12. Нечунеев К1 А., Пятов М. Ю., Мокрушин А. К Исследован» подвижности носителей тока в высокочистом германии в облает: температур 6-80К. ///Там же. 1990. N 3. С. 71-73.

13. Пятов М. К1 Исследование эффекта Холла в образцах высо кочистого германия с примесью меди.//Там же. 1990. N 5. С. 64-66

14. Нечунеев Ю. А., Пятов М. Ю., Мазов Л. С. Криостат дл исследования электрофизических свойств полупроводников. //Ав торское свидетельство N 1686280.