Оптические явления в нерегулярных тонкопленочных волноводах тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.21 ВАК РФ

Те од

: Автор;

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНШЖРНО-ШЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

На правах рукописи УДК 621.372.8.029.7

ЧЕШаГСКИН Игорь Васильевич

ООТИЧЕСККЕ ЯВЛЕНИЯ В НЕРЕГУЛЯРНЫХ

вмшсвр^ ,

01.04.21 - лазерная физика

дасмры^ на соискание; учено® степеш

Цосква-1994

Работа выполнена на кафедре радиофизики Российского Университета дружбы народов

Чпен-корре'спондент РАН, доктор технических наук, профессор Бахрах Л.Д., доктор физико-математических наук, ■ ' профессор Кравцов Н.В., доктор физико-математических наук, профессор Гончаров И.Г.

Ведучая организация - Институт общей фізики РАИ, г. Москва ,

Защита состоится , 1994:г. в/£ час.^^ мин.,

аул. Л на заседав диссертационного совета Д-053.03.09 в МИФИ по адресу: ІІБ409, г.Москва, Каширское воссв, 31. Телефон: 324-84-98 - . -

О диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МИФИ.

Автореферат разослан

Просим принять участие в работе совета или прислать , отзыв в одном экземпляре, заверенном печатьп организации.

Ученый секретарь . -. у.' '

диссертационного совета, ■

доктор фізико-математических наук, •

профессор : И.В.Евсеев

Официальные оппоненты:

- І -

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Проблема , создания диэлектрических танкопленочных элементов интегральной оптики,, а такьь* устройств на их основе-, является исходной для интегральной оптики - новой интенсивно развивающейся области науки и техішкиа в которой сигналы - световые пучки распространяются в тонкопленочных водаоводных структурах и обработка сигналов осуществляется оптическими методами на основе филичоских явлений в твердом теле. Интегральная оптика ставит своей задачей создание оптических интегральных схем, об'ладатцих высокой надежностью,, малыми размерами, малой потребляемой мощность» и возможностью интегрирования'на единой подложки. Преимущества интегральной оптики по сравнению с электроникой состоят в возможности производить параллельную обработку информации, повысить ' быстродействие, обеспечить помехозащищенность и т.іі. Широкие ¿.арспективы открывается ГфИ интеграции электронных и оптических элементов и устройств на едином кристалле.'

Элементная база интегральной оптики разраоатыш/тсь не основе разнообразных волноводах структур, среди которых юиОо следует выделить .тонкопленочные волноводы. При гьорп'ическом рассмотрении элементы интегральной оптики на ІСН'оЬв тонкопленочшх волноводов дают возможность' проводить ¡•очнын вычисления, благодаря простоте и строгости граничных гсливий, а. в' эксперименте они обладают преимуществом , фостоты изготовления оОъектой исследований И ПрОВ0ДЄНИИ шализа полученных результатов. Поэтому исследования штических явлений в волноводных структурах и выяснение »сосешюстей ІфИНЦИПОВ работы устройств интегральной оптики іяото выполнялись на тонкошюиочннх волноводах. В то кь Ір.змя тонкопленочные (тонкослойные ) ■ элементы И уСТрчйРТНЯ [нтвграяьной оптики, благодаря указанным сьойстнам, п рядп лучнев оказывайся рациональнее и уфцоктиымв по ораштіїия ; выполненными на других типах ьолнгвддних структур, КНК, апример, пто имннт место в макете прибора для опріділ^мия •татястичрских характеристик тероховдтостл . огітичіі"К ій

ОНОрХИОС'ГИ (ГЛ.І). Следу ОТ ТПКУ.ІЇ ОТМОТИТЬ, ЧТО ИЧіИо.ч—)

- г - •....■'

перстжтЖвшм направлением развития интегральной оптики является создание монолитных интвгряльннх схем на основе !1'>ПУ,ПроВОДНИКОВЫХ ТОНКОСЛОЙНЫХ... структур, для . которых технч.чогдя нанесения слоов. материалов с резкими' границами. являо.тся. хорошо отработанной и обеспеченной ' вплоть до наличия . промышленного' . оборудования- с . высокой производительностьюанготремными то'щосгями напыления толщин СЛОЙ!), возмсишостями. ссюдр.ния"' необходимого рельефа и т.п. К этому следует добавить, что достижения, последних лот в, области создания непрерывно действующих с низкими пороговыми энергиями инфекционных лазеров,. - источников излучения оптических интегральных схем . связан« с использованием теоретически л и экспериментальных результатов. полученных ; в интегральной оптике на тонкогою ночных волновдах. ' Современный полупроводниковые лазеры на гетероструктурах. являются по существу аналогами тонкопленочных лазеров на красителях и также непосредственно могут быть соединены .... с -тонкослойными. : ■ ВОЛНОВОДНЫМИ ' полупртводнйковыми структурами. В этой связи представляются вктуэлышии исследования оптических явлений в нерегулярных тонкоплоночных волноводах, а также разработка и создание устройств интегральной оптики на их основе.

Цель работы заключалась в -установлении некоторых особенностей в глкономерностях ряссояния, дисперсии, дифракции, фильтрации и генерации света в тонкоплэночных диэлектрических структурах; в разработке методов исайдов&ний оптических явлений, протекающих в них; в создании, исследовании и определении предельных возможностей новых тонкопленочных элементов интегральной оптики и устройств на их основе. ' ■ •

В соответствии с этим в Процессе выполнений работы решались следующие задачи:

- нахождение решения уравнений Максвелла, описывающих иоле, возникающие при падении волноводной моды на нерегулярный участок тонкопданочного волновода;

разработка методики измерений распределения интенсивности излучения, рассеянного в нерегулярном тункопленочнои волноводе;

- доказательство единственности решения обратной задачи

. рассеяния света ,В ЗхфкЩ&ШШт'- волноводе с неровностями

■ разработка .оптических люнздхиеночшх" волноводах фильтров и: спектральных ашлиадтрров*. а-также- оценка, их предельных; ВОЗМОгНОСТеА;

■•'"исахлбдавядаег.^ашкйшиаэч&а 'лазеров. с кольцевыми

- ка «слове, тонкопленочных лазерных, логических 'здаиа^юв;

- ' • - -,(Хйй1ш19г;--4масёФоаа.?"-взиефй^шшйи?- • .и • : сректральных • устройств, ва оонойе. ,товкдалбдошзых - - шл$овдцов и. волоконных

световодов.

■ \Х* ::'.' V■ :■ ■ <4- : :. ■'' "^ 1 •, '''

. .Научная вонища- и ашизд.:

■; •• Развита, ■'.> лаэ^га. в аднкЪпленочных

. •- ■ волйоводбх; оаву^но резание сшдаадьшй. электродинамической

задачи рассадам снега.'трехшртх;.!Шреадирйостях,

,. содезяадос- часть. -• спектра

пространственных -чартот .. на^рааае^иЛ;^ ■ Мршндикулярном

распростраагийо надйлгцей вашоВоДноа мода; найдена формулы,

опрвдайедаде диаграмма направленности . излучения«. з^ас^елйного

а несйвавтричаом тшлсшданочном -волноводе со случайными

- - нересуля^аст^, сш!сив^емши 1; ошдвШмк .г.авдами -функция сдактррдакой шзотносуй! дюредаоьской, гауссовцкой и другим, а шар,: водучкны гз^ЕШстаьт- отзосйтел^ннх- оса&рь,. модасти от параметров волшёода и надайщей, моды, Объяснены оеофйИост дидграыа направленности рассеянного измерения в тоакопленочнах

волновом* на основа органических пленок. , 2.1 На основания е^аисгвенвастй к корректности решения обратной задачи рассеякия света в тонковдецочиом волноводе

- раэфвЙотйНа методика определения •. ■ статистических характеристик шретуляриостей, аозврдяэдая примерно в тысячу раз повысить чувствительность измерений неровностей границ ,раздала Ьб- сравнению с методами, использующими однократное

рассеяние^ Ан&ииз- экспериментальных исследований рассеяния показал, что реализуемые на практика тонкоПленочпт волновода>: ймеют распределение *•: спектральной • .плотности 'ШУрвТ'уЛярЙСТ 1С лЬренцовскЬму':'й тауссоьсйом'у.. типу

> УйоряЖ»1 Жиайы;'-'«кЬшы. ■ '¡'сюр^йческие^ и

экспериментальные исследования • зависимостей меіод угловыми. X ' распределениями рассеяііного излучения и характеристиками нерегулярностей легли в основу Макета -прибора; для нахождения. : функций (спектральной плотности шероховатости особо гладких ОПТИЧОСКИХ поверхностей. V • ~ -". "

3. • На основании , анализа Дисперсионных ' свойств : тонкопленочнн* волноводов и волноводных систем разработаны тонкопленочные фильтры высоких пространственных частот на основе локального изменения толщины несущего слоя и локального изменения показателя преломления одной из сред и УЗКОПОЛОСНЫО фильтры на основе кольцевых тонкопленочных V: резонаторов; показаны возможности дискриминации .части периодических . полос пропускания в ^ слоистом кольцевом тонкопленочном резонаторе и определено продельное разрежение полос при уменьшении рэдиуса кольца. / V у ., :•'':

. Исходя из особенностей волноводных диспергирующих систем рвзработаны принципиальные схемы и получены формулы,'.; определяющие характеристики вшшоводных' спектроанализаторов - : типа * , эшелона Майкельсона. Экспериментально

продемонстрированы : возможности спектроанализаторов с V различными разрешающими способностями. Показано, что мате коэффициенты ■ затухания и возможность изготовления на основе волноводов и особенно волоконных световодов ступенек эшелона Г большой длиньч позволяют получать разрешающие способности, :, близкие к предельным, определяемым стабильностью внешние условий (температуры, давлеїшя и др.). ■

• 5. ' Разработаны способы реализации кольцевых ; тонкопленочных лазеров. Показано, что /втямальнне, близкие к предельным г размер •' кольцевых.'' тонкошюночны* лазерор : определяются потеря)® на излучение с изпіба тонкопленочного волновода и для органической пленки на стеклянном стержне составляю? ~50 мкм; Р целью оптимизации использоваяия ' накачки предложена в подробно исследована волновйдная схема,' ■ : при которой йакачка вводится непосредственно в активный волновод и практически полностью в нем поглощается,, ; обеспечивая сущэственноеснижение пороговой мощности по ' сранненив со схемой накачки" падавдей поперечной волной. Обнаружена и изучена - ■ асимметрия . выходного . излучения г Ї кольцевого тошссг!.ч»ночвого лазера, проявляющаяся ■■•■.;в .

о юнаправлеинсм . рекиме работы „■ 'лазера при ■ йолновоной накачка. 'V •''"'■>'; '•■;■,•.

; ■ 6. Проведенные исследования характеристик РОС-лазеров на . органически! красителял в .пленарном и- полосковом вариантах, с активным несущим слоем и активной обрамляющей средой, :■ модуляцией коэффициента усиления й параметров тонкопленочного волновода в зависимости от. вида и интенсивности накачки, глубины модуляции и _параметров, волновода показали возможность использования этих лазеров в

• качестве моделей источников когерентного излучения для ' оптических интегральных схем. '.>; -

V Развита теория тонкопле.ночных лазерных- . логических ■' йлементов: получены основные формулы,.определяющие временные ./ и; энергетические Характеристики, оптимизированы, параметры, дан анализ использования . перспективных материалов для ■'-■ активных лазерных среди показано, что : релаксационный ; характер установления генерации 1 в тонкоплейочном лазерном ; ■логическом-элементе не явлйетсй препятствием для выполнения элементом его функций. Работрспособность элементов была

* продемонстрирована с. помощью тонкоплеиочных РОС-лазероь на ' красителе. Намеренные' времена переключений со,ставила -величину, меньшую 100 ПС.: ' " '¿^.'-у'V

і'-. ;;,в.;Теоетически . и экспериментально ' исслодованы г тонкопленочные ' лазерные элементы с , продольной схемой •. распространения управляющего сигнала, при. которой мощность накачки может 'быть значительно (в 10-100 раз) снижена. Изучена возможность использования амплитудного, частотного и , поляризационного • кодирования информации " при продольном', распространении управлящих ■ сигналов, показана полнота логики," разработана принципиальная схема простейшего. ,. ,'. процессора.. Выполнена оценка; характеристик ,перспективных ' ЛСг'иЧвсгаа; оптических интегральных схем на двухчастотшх' элементах, которая покрывает* чтс времяпереключения и шютность- расположений .элементов в .• полупроводниковых . оп^іі ч ески; инть і 'рал ьнйх' схемах могут составлять 3-5» 10"1' Си . І03-10* элементов на мг при среднем значении рассеиваемой . нивдюті 3 Вт/см2.

(ЙауЧьгая , и прйсшческая • • ■ значг^^ость1 декйсертацэдг-заключается в -том-, что. проведенные исолвдовашй' - ''Гозршкаэт выделить .в'аибале'в существенные' особевдоети-чфсадавзйавяхс; в' ТОНКСПЛ^НРЧШХ волноводах: ■ решение . основных .'• теоретических и.: ■ -лфедйпйрвЪаЕЗС?§адзчу: 1:;о'31шс,аюпйи;' -на ■ путях создания оптачесвих. фняифздадак. схем дл-.ч систем св;щ51 и обра<*тш;тшфо;[ущдда»' -воль^йсь .просадят . тадкопЛейояными моделями. :.• .ос&ввш

звкономардо'стей:, предельных водмогиостей:и -.ЩАгачествеиГой. оценки ,/параметров трсжк^ивщг',.^ г>ле^ёлтов: ;ищ©гральвой оптики- 1 и

Установлено, что .решяиэ заданно

рассеянга света' .в- неред^родрвм^звада области »углда,- /в -т&щШ' гдйй^'^рвйшда^члявир^»«'-. мфке-т- йкть/.тфедставлвде'-в' ^шка .дфоцзведедаг .--'щт- решзвий».-кэждов: из которых. -явдаЗвзжя-

силиндрич&етаос > ушр^лярркр^ы- :.--.-язаволаяэ-: прэаест.-ана лиз;" диаграмм -Вдф^оз^с&да^^^

йункции спектральной /платности . иер&овэтоста поЕ®рц«ЬгйЖ: шдложки, .а таюке определить 'область адшшлыах парамдТро?

'тонкош^йчрешу. '^ещовода-;дйи.'■«аЗДрра^-.'дй^веярю до-¡^пользования в риттедких интегральнах схекгад.

" ^Ка 'основе проведенках "иссладрванйй разработана иэтоднкз измерешй статистических < харзктвристак EapoxpeatooTSI оптической 'поверхности йо рассеяйкю свата в тоякоплэкэтда! волношда^' являющаяся более информатцвкоЗ -я обвшетаеаваа? оолао высокую чувствительность, чем ОбЬГЧЕШ (ЕвВОЛЙОВРДГВ^в) даШраш^альные методы рассеяния -света я, такй» оЗрззрй, спс«обструюща,я улучшению контроля за качество* и характерктикс-щ Товколэнрчцнх элекентов интегральной апт*кя.

Выполнен макет прибора для измерения ввро*ова?остж . оптической - поверхности' по рассеянию .свеха б тйнкошшночнем волндводе, -обеспечивший - точность определения ерэдкй--квадратичного отклонений поверхности от плоскости ti,t им и интервал» корреляции шероховатости 0,2 ккм»

Преало-тг та йифтры шлоют пространственных частот (ФЕЧ),;..,'...'. огч эвгдпю на исцто.гьзорзнйи особенностей дисйер«»ойНЯ« • характеристик-

вмйо.водозу Bii«üCv"í:'u ; ррйіидане чзоФсті и- ютьф^икэш»

■ • птюпускашт фіхьтрсз -пеБ&>л9-тров..іЦЩїаводоз*

' iiàyépеяы /.щр&ядфш. ' ; образдов' .ФВ,Ч; с.

ойта^альнйді- паршлеяр.аїгл-.^отголлаиоч":-:!!^ волй^эодов'. ' У : їрвдахйзв * Va«" -.волноводшга j» пШЗЗКЯШД

Пай-гальсона,- ■іїсйойьЬ^^їОІ-уїш^ерЬиЬнїїце: -¿зоЛатда ск'цтемл ,

■ '■• Kai^JX3S3Eï?li; M^^cjï. JjtMK&ftÉ&Ógs Л; 'ÈpffiÔKOHHHX, СВОТ-ОВОДОВГ

.' ' вснаовбднце.

•.''. ; айвшнз,-. с"; fiHpoivda.'.;p23pteSaKiÄeÄ; .саооо&лосхщї с-Де-хаш, 'сценки. •

."'•;•"; Ис&яедовзій. gjs&e: ograäujie-oiua

• • ■'• ьтэ£&фэлёй/;^ катод'-к&ачки

: V тоейошшвочнїїі, : ■'• У^н58роЕ;гУ;і^'іі-с>кдзако;,; У ;.;что »• '. пороговая .; пнтейсжгкі?С(й); • «aaj^C Сёа&цфкрпо ' далжькака, по'

- йсс.г.іздркії ; '■шкода-' '^км^фїйя:-'. jjaawxesaÇOi \:яошгош;е.;:с-хоро - . дазррз -, ','с^уіттх>дсльі;с:"У Уйолтазр-дхзйt' ^йакз^шоїї.. і'іїзїлоренкіо ./• .значиліфсдальноЗ .вожаводкой

■ 50;'.: У'-;.' У V *У'.У ; '"-У • .

• ;ПрОЕЗ?',э:л,"У . ■У'Гй'.орв^ічрскй,''. " ' ■ ,ті.-У.¿їсопзрійївнтальїйїе • ' у^осидесісі-ас-- алиментов

ha ■' icccssü ' ' й&йяпя--' гїїїїєя:їя\ р&йерЕ'цшг .лаз-арішм "злу'гзйг.з:.!; У.ротдк'Пз спгй.Узецил- рарсі.:е:тррв. л дак .аналіз

• ' ';.cp;::-for 1er:?.: ^atiœâîffitî 'йлїояйоїш изглйрзішя . ■ ГргїГІШ * : ";"'"'■" "

• v"- 'У llpsjytó'/.sfcv-. '; .,,й'У- ';''-рдарббо-Т£щу.' .. даухчасяотшз. -- и

• поляр'іасді'.бгг.піо .-'У.ТЛїЙХ-Л г Дкспё^йл^альна' ' .ітодтезрздона . \'Еозг'сїзс'отьлрфт:!- ТЯЩ-йол^їїча^-рїЕой-.с&еме ;• рйзр-аб'о.гана--

' crc!:a''-nocTéüío'fO' п£о*дзсс0рЬ;.на. дв^хчастйишх .ТЛЛЭ,;■ показано, ':( ' <йо-:' .гі& . :oünöß3.; чдахчастоігік,'-; ШЭ ' когут ч Онть розданы

c'ucrpa^íc?.si'¡í;r:a' /'ЙЛі'Пр'ОЕОДіІІГЇСОВИЗ . /ЛОріГШСЛСІІв ОПТйЧв'СІШв . ; ГЛЙОІ-рЗЛУгІЗ/ ' ÖSKä, й.'УщіГвУлс-Г.ЙЙІ Г-ДЛЯ ' практйш ЄНЗЧ0ШЇЯМИ " "bnncpv;! рпссегийя-. -' .■ ' '.

-' У : ;.' Іпробацкя. работа ,« пубглйацжі. Нздст.віпше в диссортіУП'Л .-."егатернали докладывались из Всосргакиг ?оя5ер0шшйх:7, S, S я

■ 11-й па'ігогепан'л:оП и -пзлпшсйюЯ сятико, їгжопт, 197»: ,* ТОи-" .р.;!СИ,іетЗ., ІЬСІЛІЗ, ÎÎI7Q, Httsesu, îOÙZ'r Лззорц ка ocRons орг. -У ссз;а:ж::::Л і: її- прх*:--знс:;по, .Угтсрод, IS20; во радиос-гглясй,

Фрунзе, 1981; Оиткка лазеров,- Денинг^а^»' 1832; на 9-й' Мэздунвролной -ковфкэронцця • «по- кваотсет-Д- • алэктрощйсо ' и •

ЮЛСЯСЙЕОЙ .ОГПЯКвг ' ПОЗНШЬ., -ÎSSOr' / ÍÍ2- ' Всесафах-. нзучно-тезсшчвских конфвра-кадда - «хэ-. Лрг^аасна» -'лазеров. - в прпо'оростррешш, кавикзстроаакц • -.техняхе.,'

Москва, 1S79; по щ»$кхнрошшв 'р^и^горонгаюс' 'устройств', на диэлектрических .еолноеодзх-Кшглсп, 18?8;. на 'Всесоюзно;.-! научночтехнпзесксй' 'cûïiçipKçr.no ¿¿меротальиим устройствам', на .-Еапиогодак .оптического'

диапазона, йакск, -1383; на -ЕсоссЫкёх- o&inaapax. по 'элекзптсм иитоэлектроквки. '-дзш ' '.'парэл£;;5К,- » /'хранжк: .'-..к ' • обработки, штйормашет, • Сиг«фо!Шзза>-,'. -IS7S, IS?S„; :_ш;.научно-твзс51чвскяЕ.' конференциях: ..ко' опхичегафг^cotna Jçssïsz, ''C$3&zzh\----l$20'; алодигяф, .Ï39X; ■ .¿a' KçajÎQjîscçi.i ..''nà ' голографнесксод. коррвдавдонЕСйзу анаяазу ГЗЗЗ;.

на 1-й Bes СОЮЗКОЙ : ЧНЕТвГрзДёШЙ . '

У¡--город, IS9T ; -на ■'"- -^УчвЬгкра^гаяеской.. ,. кокфзреищщ . "Сотаческф, сотозаэ «эдгг^гаедздз- гаосэда- связи?,. Суздаль, ■ 19ЭЗ, 'а гакш на рнда' ^тзз; ' коя1'эреищЙ1,- сшетарос к совещаний.■ ' - ,.". . ■ , ''. - .- ■ ,

■ Основные ' иатераага' дас'сорзздай опубликовали ;-в -'.''48 . работах, список которих. прк^гщн.'в. какие авторофвртв.. -

Структура к объо«' работы.', Дя6сорТ8ЦИЗ'- СОСТОИТ •' КЗ. введэииг, четырех глаз ;î дадачзщм',- содержат 283 . страниц • цзлпнолкспого текста,'.ВО .{асукков. и список • лиеротура ИЗ--. 212 зшагэнааапиЯ. . -..' ; '-''•.' ' :'..,"■' .-..'■".■" -

' ,' .СОДНКГЖЗ РАБОТЫ" V V-:.-- V.'-"

Во аз'эденка ■ сбсскоззна .;"turts&r.№аеть ' ' /' выбранного ' направления ^следоаавнЗ. край© иакшпка содерзвшш'. диссертации и щ^кеш.'ишзтайаяг '¿шогазгаадт/вездху.

Перт Ьлава .нэй&аона , таот&пкбскоуу .'п.- схсааргдао-тальиому ' исшЩдаазшэ рэссеяйаа'. esota , а '^регулярных тэнкопяекочши 'вояговойк. - а., щ^лщтщ. ■ стазкеймесквх • sapaKïppiîCïffic . Eôpofcoaatocira' оотйчйской повэрхкоста ггшюподцаьш методама,' В основу рзсэшй шеташгашак • задач hw-oxího ревеияч ' 'aj^Ktp«ga8ffiOT»oeKoS- задета о рйссеягощ

■ в. •■'не.р&гу&ярисм тот«тшевощю;л> волноводе, при

. ограничении маиса,: -ва,личинами1 нерегуяяргюстей: и малика '

• прос?гранс,твешйвла; чясйтекли 4;£ре1'у,л-яр]'юстой в направлении, перя&нда^у'лярнсм- ".Па'ДаВДй ''EOJÜÍCfiO^IÓS' ? ( Принятие огра'т«юк!я:. .цозеЬляст " .упростить ураедедоя,

Y бпйрива^щра' явлейвё,' ■«■ говщчитъ .равзавэ- трелщкоЗ квд.тчм о

Y .рёо&явМ в>:вдоэ.-йррйзвв^ёеза регедс-й ¿фух^уклрйых. задач; КОЛЛЙ:Э,2рКОй. -ЙЗДаЯИ-■ ' '-О'' ' pacefflÊII. .фйВСЗО&КЯ- , иоду 'на ^•mràpçîâsiàEaxv.''- йв^зра^б&^ях: и •. ааатогачной

" ' Ra'. ¿SKia/.c.' даэор^Ес^згсйг, -;рас$ойоквяквм источников

' . У&аззШшэЧ- Ьгртгп^&йз- соетйздст-куют'; ус.чоьиям,

' -áisasisi-tvifíro' и;-Ъщё^шфлыагх' х&еаовявх дт кз'^эртый,

Y •XEpáKTéíKíiróík'. рсрреЭ^го'-^лукейЛЗ: X .»s. ,ирка«;ог. основную

Y; .";;noKtó2í!jio,v-4Tó исйдаебсь' света?. 'рзссеянногб з нэпрзкяешга yria..ско&зенкя' 6. .3 , ш«е;:ости, лгадзш'.я., в пределах иаякх 'irzpp:'оязлошвгя.'от • плсзкойта. падения., Их, -а) -шгот бить /^тадст.сйязна. ■.. . .''Y " ' - Y" ■. •

' ' ' «. ' Y* ' - " * ' - f » - -(X '

'"-Ь / Г ЛРзс(0)Шaj'Q(0>|á.-—:.ДР2С'(еОД6,

.• - • ' Y'' •"-. ■'.■."•,■ д '

,гдэ d.- zvrpsiü пяллгг.ого norjíC'io.Tiíoro' луча, G(0) - значение

.^УсптрзлкгоЗ ¡ъг.отаостл . кзгэгулярпсстеЛ при к -О,

' ■ ал-\/л, :~'г1>{0) " лзугг'зрпсл' ;?адти/ рзссегппя на"

. ;взрэг?х.1ркос7.«, С-потцьа получояшй Формула

•'.' йгапглка •&:arpftí:i!i •кгггргпдош1Ьотя галучопия, рассеянного на

• .• •'Vncfcàrjf.tjpàïcï.ix. / с - вадал1 'функций сшктральпой Y; aíd'nrocí:!;'-погасит; Yзешюсть'. и корректность реаения

Y.\ cCp3?!:c^'.s«^iajrj''nncc3iu¡Íti! п.-^лро-де^нс^рована.-Ьозшяность 'Y.Y 'ОтШэ"дэi'oí¡;!Л' ; • •;; TBpaKípjnwnk'" • кврохоьато.сти оптической • • ncsopxHocxi!. :по' %рйц'Л етмзретШ pacceñímoro йзлучвтш.

• 'Y'1-' ' '.¿rniâta-лровздошшх псслодовашШ характеристик рассеяния'

. ' сезтз 2 • ,".'c:isoíti'.5i:o«V!3is. ьолизводах .пслтзал' опрвдоляядуа роль v/jpozoz^icoví - сптн':есп:о'Л поиорхкоста поплопа! р, лгсб.:::-»-:"! . с0зД£:;пл то;:::опл;:оч!'"~ {.datoso,»«:) с 'v..vjsí í;C'ron;r.;:¡ ' « •г::::п::л сгсЗт'гггзсг.! \xî.j\":«oj8îct8s pn; coshhoîo ислухнан з

• з'п!:-.гс!;г:зсги ■ от" p':crr['3;',0"3iu!n гпэктралыюЗ пло-гностп V";; -.г. тр-т.;:ц и парх'.этроп волною.пз.Сенатов Ein:. •;; псе.: ":,"опсцплх íu.r.o ' уд'/"'",но paccííi.::;:;j

. ТВЬкаш'1 .в' адиомодогкм' "• во^шоазоде...,' ■Выяснена, 'что/'для ' -«эдуле.няя, ^шжяк^йй?' -та^ют ,'масто.

* ¡ряд. „ завсшм^ЬсааЖг.''. I)' ••во»!«рг'- на

рассе/нщ.е' -максщгалйта' фОдизи:-лъяфщъщк- значений'' а'

:прч ^'¡фшюйрфанпьчс. '.^^^'"'для'1 •званарй' в-х^ ■'■'щтф&ш.'.- '•' вгпха'Ело.гаю-сотг.рлссрлхй'оро ^^щщ'фг-.паа^лвв' -вата'-ура •' 1фд:ст>пнг. 'фу»:лиуь1- : .ч^к^дзширД гйолио.Рти' . .'(яорекцЬвской,. 1-гвуссУбс!1ой,.и• др.,-с'^уярводсг. значений-, угла. 8»'- 'к ,-дос.тлгапт' . 5-15;' 'гузду'ссш?, 3) 'потери'

ксщожп;; дв>. . оцвнагф:' ••по' результатам '„■

. рас^тов- "к.,- кф^щвднту . с»1-3, •••'

учз1Т,1лЗ^;сг5;э;.:у ' ." ^дсп^вделгзкда V/ ,спяк?р£лькой •. -плотности . .. шс;рохЬвдтЬстгл • нов^рхпортл' /;гг^ззц- >'рйзД0лаЛ,ТО11коп«эночнргд- • , лагол^ризгуия;- яздучш^; ,4'): :в

. тожгоп^детс*"-. -волноводе'; ; .врздщвд,;;, '•• в;, ■кэча'стве варл^ай,'" ■ обрамйЦ-ссе-й:;средй\ /ррсреква9к'ая'>-'/''-можо'Сть : -в.: •'•• основном .. направляй» в' щвкгщ^'Шя.лзхнЬко.йового'' 'волновода датграгЦа • нЦр^аяньсз?1_ ^кыева,тфай^эска'др^рш; ^главна«);.лэдасхок. с-. . лг^шоГх ю-15 ^йе^ичадвюм'. тохщхшг волновода '•'

колил&сззо-' лаггаркдав ■■ -ко 'главный' -'лй&стбг?- . .-

сс™азтс!гг • • знадаеяйку.'VбоШае : -'Еаоледукэлх^,; Капрэзлэнкэ.; уа ' >•' мб&синум ,/Гларкого.- ' • рпродв'яяется ./'фушсцдей ."•

спектральной' таряност 'эдрохова-тости. швзрнюста- тю&коЕЩ. л ' ' свойЬтв'агя! г;'адссйво1>ой фтющ. спзктр.злъной '•;..

ЩОфОСфк; 9маго КЭКЬШЭ,- 'чфл; ¿¡я .'лррзтщевской 'при ;разшх .••• . значениях'интервала;'коррр1ящщ в.'- V■/:/-■/""' ■■'-'■" ;''>;

Доказана-;■ едйнстзйнЁрс^б:'.' дашзШай. обратной. " з'адачк • . рассеяния^ р.вета\в';гтой>шлекочнрм 'вол51рводе при"что .■■• дкаграйду'' н^траадрЗай^йя''^"асёб^шйч" .БалпЬ'врдноа''. коды- на; ущетк ;состй'тиртйчесюйз! г случа^ша^,',;к9ре'гулярйост^'-." границ раздала«; мо^-./выр'агйть ' с . тюкощью. /целых функций,-.''-екшов'ешдиального .типа., -При .'этой, обратная' ездача рассеяния.'•. фор!лул1фуется'.. следующим.' образом:., пб щнафаввсй зоне' .диаграмма '.'. рассешной.. в .волкбнодз,,■'■ ■:,

кстосгк ;напрайлаемоЯ -:'т мода'"' определить, чстатаствадсия-хорактерпстики ,нервгудярностей ,тонкоплзноч~-пого. волновода ,:,.' фущада спектрзльной -пло-гаости '. ксч^Лвдрйную функцию -нарегул!фарст©й. ; Доказательство, 'опврйзхся • Щ .теорему..', одтксл'ввниосда! •-'да'|л1т>1Чбских, " функций, ,дх' ■ аналиииэского :

- и -

: ц';, Обладания и теорему Винера-Пали' из теории целых функций. ; / Разработана метр-дика- .' определения. статистических характеристик шерсхов-это.ста оптической поверхности: функции • спектральной плотности., 'сре^щ,енвадратаяного отклонения ; . шероховатой- шворхяоети .с» плоскос-ти,,.интервала корреляции и /, .других' /по'• : 'да.ар'рзмш вапраащнкзета излучения, •

.рассеянного в' тожсплеяочясм со^ловодо, и значениям, других .-' . параметров .: расседаиа; Предлагаемая .штодика, . позволяет " :п|айерно-;;в. измерений по

. I сравнению с методами,' использующими однократное рассеяние на .; . ойфьйфЙ. : 'поверхности. / -.-Поведенные/ /.экспериментальные ;' .исследования, пркгкйлй,, -что.-обаяно спектры шероховатости .у',-; могут,'•.бы.ть'. ./атдокеймировдны/ лоренцодской.'. или. г-ауссовской

• функциями- со ' среднеквадратичным отклонением 1-5 . нм и 'йНтвй^акЪм/ кор|»ляида,' 0;Д-Гдам.:/

• /^Приведено.-; олксажа. и .-технические .' характеристики

.-: разработанного на основа, проведенных исследований макета .

прибора',, позволяющего производить . измерения статистических ' ,.харасрчфиетик;., шё|юхова1те,ти'./опктЙс^., поверхностей . в диапазоне среднеквадратичных отклонений', ' 0,1-50 нм и •интервалов ко^реля^а 3«10~г- 20 мкм. На основе пблученных результатов ;ПОДОотрвлено-, техническое задание на разработку опытного образца- прибора для , измерений статистических '-. : - характеристик иероховатости оптических, поверхностей. Наряду ' с . высокой Чувствительность» макет прибора "сохраняет ";преиму1дес;^ВЕ : оптических. Методой', ;осйованных на .измерении : света ,.-• расеёяннбго / шероХоваи-ой поверхностью:1 отсутствие ,.' *•, -мёханических;' , новреждё-лий- и получение статистической •'V1. 'ииф<5]рМвц1й1; ф-;-сравйи'тельнЬ. большой гшощада'поверхности..

" Разработанная методика' измериний • -характеристик шероховатости поверхности дает 'возможность повысить чувствительность .- Д и^рмйтивно.сть . контроля качества . супер&нквмой л;.'-: обработки / :/оптиизских.: поверхностей, ... Ыйсббст.в'уя', . таким --образом ' развитию технологий, получения свё'рхгладких-;; поверхностей • • и улучшению . канализационных свойств тонко!¡л!:ночных ьо.'аЮЕОДОЙ.. . '...-''

Во второй глава . рассмотрены оптическио фильтры и диспергирующие 'элементы, основанные на явлении дисперсии .в " тонкопленочных, волноводах и волноводяых структурах; предложены принципиальные схемы устройств на их оснслю; получены .формулы., определяющие параметры устройств и' проведены экспериментальные исследования па макетах- 'некоторых . из них. " : • ! . . "!■ .'

В начале главы.описаны фильтры высслш пространственных, частот с- локальным изменением .толщины пленки,. со'ст,аящие из > основного волновода -и одномэдового суженного фад&трующого участка, по которому может распрсгстранят.ьсшл'и.зДУче'да!в только: с длинами волн, моньвими джяш волны отсечки. Присодены ; амплитудно-частотные характеристики фшштра высоких 'частот, :■•": построенного на основе пленки из окиси тантала с граничной . длиной волны 632,8¿им,. В области гзроэра^сю^к коэфйшент' передачи .фильтра, имел значения,, близкие к едшкао , а области . непрозрачности он- определяется окспс;ненщ;алыюй. зависимость» от длины фильтрующего, участка; У1при. длине :100 мкм составляет , 0,01. Резкость 'границы областей, состтавляе-т 10~нм,и'может,быть: при необходимости умэншена. ; , ' у • .. . ;

Проведены теоретические,.и экспериментальные, исследования \ фильтра высоких прострапственщх частот с ' локальным изменением показателя , '■.".

зависимость границы . области прозрачности .' от показателя" преломления одной из обрзмллюшх сред. На изготовлошшх макет,ах -проведены исследования, характеристик фильтров, работающее в видимом и ближнем ИК диапазонах. , ...

Рассчитаны и. исследованы . зкепэримейтально фиштругацие ..' устройства, на основе кольцевых тонкоплэночшх резонаторов, .. , частотные характеристики которых представляет собой периодически говорящиеся полоса!' пропускания с ■ периодом, определяемым интервалом 'между продольными модами кольцевого. резонатора. Определены предельно 'мазшв размеры кольцевого тонкопленочного резонатора,, при которых "начинается резкое возрастание излучения с изгиба волновода. Для волновода из желатиновой пленки на стеклянной подложке минимальный диаметр. ,. кольца составил. 50 мкм. Исследованные Фильтры существенно" дополняют возможности фильтрации .оптических сигналов с . помощью гофрированных' волноводов, и в ' совокупности" ;с ними \

"„^зволяют решать практические вопросы фильтрации при создании

- оптических шп-йгральннх схем.

.-' Предложены волвоводаше спектроанализаторы высокого и .. свехвысокого разрешения*, типа:Эщелона Майкельсона; (ЭМ) на основе тонкоидецочных волноводов и волоконных; световодов. ... Получены...формула-для определения оптических характеристик .тойкопщенояного и волоконного, спека'раанализаторЬд. Показано, что ЗМ на тонкохзденочных волноводах позволяет' получать оптические . характеристики, лре.восходящиё характеристики, объемных анаяогч>з при. значительно меиаких тасарххах. ' < '¿■'У:, л; Получены формулы., " оггредедянде допустимый отклонения ' : валичиш. разности хода между двумя соседними- кучами на дели , '.ДЛИНЫ ВОЛНЫ (ДЬ)1=Л./(поф«Н) . и на целое .число длин волн /- гДэ - .п'^ф- /эффективный .показатель/ преломления •волноводной структуры, N - число дасшргирумдос элементов, п : - раЗНОСТЬ ДЛИН; /ДВУХ, 'сРСвДНЙХ', ДИрЙер1^у.1ЩИХ .элементов.. :' Показано,' что для реал^з^ации'■ предельйой .разрешатещей схгосоЬнорти. ЭМ." дадат1 ■ Ш.т.ь. иснолъзсьаяа корректировка длины пути." отдельных. элементов, которую удойно проведать,' путем локально контролируемого язмешзния пЬф. ' 4

. ''Рассмотрены- вэрйааты; ,корректиро.вки,, .длины. оптического / ..'пути элементов дасп,ергирувдеЯ.системы пленарного ЭМ. Проведен / мшИз,,/ изаде^./аф^дтиЕИого показателя' преломления путем изменения толщины ВОЛНОЕОДН.ОГО слоя в трехслойной ,водаоводной . ■ системе _ а изменения . толщины. -. дополнительного слоя в четырехедоаной .- еодноводной системе. Показано,. . что использование четырехслойяой . системы дает возможность

- реализовать; налу» сксрсать изменения эффективного; показателя преломления от - толщиш- » дополнительного V. верхнего- - слоя и

!. позволяет. проводить.' корректировку ' длины волны, оптического •'пути с .точностью до 0,01 ДЛШЦ ВОЛЫ. . ' - -

'/»-/-. Разработана • конструкция пленарного ЭМ с диспергирующей.

.системой в'.;.виде ; ступенчатой . структура. -Проведен расчет-.. параметров дланарного' УМ. на основе тонкопленочного волновода из: . та^о^. Теоретически -'. й экспериментально. иоследована -зависимость светосилы прибора от потерь в волноводе «.потерь ..;-на.//неоднородности эффективного .-'показателя преломления ../' ступенчатой" структуры. С помощью фотолитографии и ионного 'траГ/.пепк'я 'кз/оювлен макет - ЭМ, • который имел разрешавшую

способность; £000, область .дагароия 30 1' и • киш?малы;оо расстояние „между1 дву.мя разрешенными, ■■по, Рэл^ю, линиями /3' А. ;: . ;' -

Нрвдлсжглш плапаркно- ЗМ отражательного типа.' Показано, что разрешающая ссс<»бксоть такях ЗУ., мсже-т бйть примерно- в 10 ,".' ,' раз больше,' чей'. айя; аналогичных . >ЭМ: .'пррвра?пю-го' "'типа,'.-. Приведены/конс.трук,т,ивны!9' ''варианты' отражательных Щ на' основе/-' ступенчатых структур. ОТ|КИ©(ГеЙЬНЫХ волноводных элементов'. ■ '.

Проводок расчет парада-тшв и разработаны конструктивггые вариант^ ВОЛОКОННЫХ' ЭМ. Сирзг.елелш допуститае ОТКЛСШПГЛЯ параметров .Еюкзвддаых^-.све'.тфодов ,о,т ^заданного' -зна'чшшя и ; кообходнмля . точность взаимного располождкня . ,отдельных волокон. Разработана методика »тамарепия параметров и контроля .'. взаимного распЬ!ложания. годномодо^х: -волоконных световодов с • ..тклодьв системы технического зрения. 4

Изгутсцшуш волокошшй; ЗУ на . основе одномодозых волоконных свётовеищв ,со'" Зм^щш^ааш '••прсэфадец-.'-яоказ^едог. . преломления и Определены их оптические. характеристики. Для . демонстрации возмохностеЛ волоконного ЭМ был изготовлен макет с характеристика^,:'' .й^хрдашми. да» -разрешения .продольных '" мод гелий-неонового лазера с медаодовым интервалом 0,000 1. Получены мшфофотогзйь^ы спэ.ктра, содержащего /.две'., •■: разрешенные, продольные1 мода лазера,.,'.. Рассмотрено .' влияние ; воздействия '" 'о1фу.жаюиаЙ ■ .среды', на ..-стабильность. работы., волоконного Ж. -Показана, определяющая роль термостатирования для получения продельных зйачений разрешающей способности.- ■ Поддержание' телгаературы с, точностью до 0,01. градуса обесточивает разрешающую способность 10°, что : значительно, превышает разрешающую способность классических (объемных) ЭМ- •■ Проведена оценка светосилы волоконных ЭМ и , определены пути "ее-, увеличения.- ';''..'-*".•'■ = : . -" " '"'.'. Г- "•'■'■■.'•1

Третья глава посвящена, теоретического и экспериментальному исследованию топкоплоночных. лазеров, основой для которых ■". послужили : . исследования ■ ; тонкопленочных. .. ' волноводов, : активированных органическими, красителями, и: различного ' типа 1 -волноводных резонаторов... Тонкопленочные волновода- с активными средами, обладающими "большими (~100 см"1). Коэффициентами усиления, позволяют . создавать' миниатюрные тонкопленочные ". лазеры, которые .. могут . .быть. , использованы . в . планерных, ' интегральных схемах, и служить ' моделями для . исследований• -

лшфервадЩу Кз\;іізв^іОТНШ5<сре;ДІ-Є .. большим.. иозЩщшййїі; усиления адя агжятіх,*'срвл '

' лазеров-, бшм>; 'яібраян '' растворы

' плйтток л-. гаедсщія в' нях- іддаой^ей. ійшії ст«к.трн

- цЬг-яо;ляг:;л •і'^ркя^с^гізс^юс:' '-.красЦтедай?. -в'..

. :,и. .у.сИлюшя,- еоожттс®55щіі9' а£феіветвн$е''.',седе!шія' и • "

; ; найдеш; .<.., оптатцьтав--..- - • тайпб^ашш---...^ краситадай- : для' . соответотвувдих-лазеров,, і 1 . *'■-'•

, ч ■ - - Іїолуяеаа* -'г.ж :--:ш>сждс&ащ' \ гвщет»-',.-1 щ ': ткшадзцх * .• тонкотзадшвдь.--. лазерах :.-(ЕЙЯ(> V: іюлщ&бщщ .тошшюіетчннми

• /резонаторами1 д' оргаііТОїсклімі' краскталотг.:.:" родяМинсм . 6Ж, .>1

'рода?®!^ а&тот.нкх- «ряд. • ;',; .

. ЕЬльдевке то.нгоійено*пше:' ; чрйзсітяжоїа; -имеет! • высокую , -; добротаоеть; .и ; полу,й,тьг. -гепр-рйци» лзэораа ітри "■'■

.'. 'двух; • і^йа^^йв^«^еяпшє^іш'. .-.

; / нэкячки позволяем ^^ іучей ' .

'ІїЗі^ГІв^-і&Г: • -■>

- " Предложиспособ накачки. КТ.Ї, '

' . •' при. которс^.иалучй^..ш!са^.г;іьода активный шлиоеод'к- •.. ттрАктлчесот / полностью а ії^;. тюгдащае;тс?я. .Кігагодаря: зтому'-;.

обычном .способе; наяалш падаїщай.. шдной.. Дім: волноводпойї' V,.. накачки. такгэ обнаружена асимметрия выходных луч&й, В " '; зависимости' • ■ от. концентрации. ■ ^•иЇвяія . молекул коэффициент}'■'■ 1

• напраатепности измейялся от 2 ,до'50:" ;.І>Л\'> І; ^ • , Лля объяснения нафшдашегося.. эффекта теоретически

. рассмотрен волново.тшЫй уонлитель с экспоненциально меняющейся: . по. его длине .интенсивностью накачки.;. Решеїше нелинейного ,

- диффярететальнбго•.• уравнения 'показало,- 1что в области.' малых *.-• . значений плотности накачки и . больших, значений плотности -излучения генерации имеет место 'эффект насыяеготя:' • В результате этого сигнал, распрострэняшдйся по направлению от

. ' больших плотностей н?качкй\к- малым,' -имеет Меньшее усилвниэ-на'.

один проход,,- ..чем- отвадь ^мспрйсадраэдйщийся в противоположном- -

■ ■ .яаирав^врш^¿Рас,читаавМ.-.вдэфЗзицишт.. «апра&неиносаи . .

. . .При ■ '.«(ОсагедоЁЧВии!■•• • шекдаашз^л • •

.сужение ойвктра выходного / л, ; ■ излучений- ьэ йр^Шандю.-ш. старая- КШ ир* ;обы,чшй. поперечно® ■: '•¿акачйв^.-лавю.-йи&^^ниа'. в

том, что ,с войвдаэд^а найачкой рэбшает в режиме, ::: ■ близком, да ¿¡еаОйу/^Зе^цеГ.'-ЕоЛ'ш, гфи ^бшоро^ Дфостранстшнная -^-дазогша^ ьзиачазалЕдр; .-шт-,~:*чвц -.для > режима стоячей (Волна. 4 • 1

Йсслр^вая гр^айврный лазйр, -в ротором для 'обеспечения обратной связят исЕользуетал брарговсков о,трая&ние на ■■ „; щерищйяйскюс, к '¡ааодйородЫаеэ^х щшшаЗршо* ьйлййвода. ■; с Ваквым ' преимуществам Затро? лазера двляатйя возможность получения & ' 'уйьш .,оде&траль«ам диааааоно, что

- г об^сшоздв&о структур. В — рабЬ^-е ' паофотреш* Дка типа таких, лазеров: лазер с периодическим изменеййем" жкхЙкцйек,т.а усиления и лазер с пертодка&ск^м Изменением ^олщкш зйлно&одногд слоя. ' ,

ПарййдИ,чёс«Ие ' намерения Коэф&шйента усиления :-до^тйг«ий1сь: участка - лактбной..-:-.Ш1&нки; -

иа?ерфереь4И0Н1.ай ^ргИлсй' с периодом, опрадёлаел^ш условием Брэгга, йсрыировянир йзта^фереждюн^сЙ картины-осуществлялось

■ за счет 'полного * ¿знуграншго отражения излучения накачки внутри хюджйуи. Ври1 ' атом накачка производилась через ПОД.ШКУ, ТО -есть ср&ДУ 'более ПЛОТ- тз опгачвсао«, чем воздух. Для налички использовалось взлучйа... с волны 0,53 мкм, соответствующее длине волны (¿аксиального поглощавши

ь родамина БЙ. В результата йля создан, лазер с низкой пороговой ковдостья накачки» 1 « того, реализованный способ получения .интерфврещ&ошюй .«шы позволил сделать его конструкцию ие. аничоски «бсткой, легко йотируемой к об&спа-шванцей плавную перестройку длины- волны генерации путей изменения

- угла падения накачки на пленку. ■ Изменение..этого угла на '3°45' .;• визивв/о изменена,' длиЧы ьолки генерации на 175 А. Ширина • лчнш излучения составляла 21.

* Исследочшш • тонкоплено пс^ лг х>рн с модуляцией То^шш ~ волноводного слоя, .которая, достигалась с помои!:» гофрирования'.' '-■

■ подлсжки- Tlpit эдш : ясполкйовазик».-• тонирование» ■ ¡1Щ]шт, .изгслгевлентю v.n^tt-.• .хвдедеееото'..- -травления"'- чеуеа ■.-'маску-,,

.,;■:,,/поденную ''фяфщто^ Вида ксслсдов'ана

■ генерация на ..1-ом, З-егл к .-': дифраящи;.; ••

'•.;'ташюштеночные:[%;nrájcicopás

срё'дой'——- ¡л- ,

:,В'ЭТО;/

' сотен ишзш&тт-.-- "На ,¿основен- фщчетв. 'результатов, ■фвсшегт V котструквдя 'нецр0р^ога^ тошсоотвшта0то --POG-лазера, с .жидкой , ." вефхней^'сйрйгйящей'- средой - и. сОжном aJerjicaióro вещества за . счет конвекции. J

Отвергая.,глава даотвкенз-- -/-.-.тесрвтиш<жш-.* ■■ и .•• эксцер^нтацгыам: f ''¡.иесв&яайацикм. .'.тОнкода&ночшх логических -элатнтову.'-'^ ?гасгкйдок> и -

по^рйзованногои :кодарав!эник.--.Дредаюжейа иошяуадсСо»;'; , ..чтонкопленочного - лазврк?^* ■■• лоитркого '^айемеята • (ИЩ), : '• исаголы^^ , юиоровгкак. сам-лазер,., так ••

:. "и ..ей?"-.-' вход: . и . '.йщалнвш • на орнаве единого ;

;; Т011КОПЛ8НОЧНОГО волнрфда«,. Вря такой конструкции■ ■ логических- ■ элементов /¿аВррмадийяВД»'.. •• {сигналы- -; распространяются- в. 1.; оптической схеме а ида поврротзсткнх воли; псу тонксшаношягу . ■ волноводу, что : обесп&чивйет устранение дафрзкщганных потерь и практически полную •цетвдзчу1 мощности сигй.ала - от логического * элемента . к . .щэугим элементам схемы на расстояния вплоть до"' нескольких сантиметров-. ' ¿

" Составлены- кинеТнчтекяоуравнения,-.-описывающие ■ работу ТЛЛЭ- в Становившемся" и переходных режимах,- проанализированы J стационарныережит работы при наличии гасящего сигнала; :. определеноf минимальное значение.коэффициента форма элемента. ' . рбеспечивапцае .' наполнение- логических'' операций. Получены : аналитвчэскае эавжеююсти $нергяя переключения -. и времени , .шрЙклкчэШЯ : ТЛЛЭ от парайатров активной среды, размеров: - элементов и, шггенсяваоста-: вакачки;* найден, оптимальный^ энергетический, режим работа и -; опроДелеао предельное . 'быстродействие;;;'".' найдейо* • что .. время 'i гашения '■\ генерации . • 01фвделяется формулой' . '.' .- -:" •-.-■.. "/-•;-■'-'. .-••••' '.; •

- І8--

и = У

/гтх

/ 8 О-

У-1

где:'твранй.-.'жвзаи-чадти^-ла»' гЬарасЗДм/ .і^айоааК'їдаоВйв^-.'

'К' ;, ■ : -Л;. ' .. .т'і; : У* - ■ \ / 'У-'' ■'-* У 1 '' ■ ' 'V.- ' ; : V- . ' '

, бремя. \ШЗВ2Іг '"фОТрт.В. ґ'& ; ' :-^р :

••.•п^шючр^-дшвркй,'-' ••• з^-;-'їіївдрцйІ&ваоїж• • ..¿вдаанки* :' *пауца№&й.:

на рЛЩвЩ!* ** 'йорйгоаііе ЗН#Ч|бав4 При режиме

. '-Время

первкййедад- £Ю» с, ,рй$амййт, 'в йачерйэб активного

■ «іЗСі* ? что - ^¡ол&бэтеу^ьный

характер у^ййовіледй^ '.¡фаерфчгёи Ь, 'ТАЮ не является препядавией дал віш>ада;ййя эле.межкаа его функций.,

Раэрсьботанэ мегйэдика измерений ' здар^етдч&оких и , временных-:'. ^раїїт^їй^іа;:' ••уаш^аИаа^рваивг • < с/-гавеши ■

ошгачеййой, ¡ашвффвті ■ : ■-■<яой-.'»НЩульйа '.йак-ачки,..

додаваемого,йа,л .'.гардаи&л 'лазер.', -.^алогичным: :■ 'сфазом ■ -для: ■. измерений ^вр&мбрі ршочени$г сенершіии .осйошой? -лазера, после >. ■ снайи; .¿.йасйчего' •.■сшгвайб-;-аэ6да®шв1ваизя>: амйуЛьс.. ■ накачки .-на:. : - осцавШЙ. ^лрз&р^-' .ввклшеййя-^(Гадания)" и-.

включшшя Генерации, .составим -0,24 и .0,16 не, (»ответственно, . что -.примерно; соответствовало крутизне. •/переднего;, и,".заднего' 1 фронтов тшіііьсав ■ Гасяча ЬЙГшілов. Аналлз результатов временных?..■■! 'И&абрвВИЙЛ'; .^Окдзал.,'- --'„• -что-"!;Переключение - /. -укхют: осуіцзствллтіісл за времена, ыэныш» .,,1 не, '

Предложен и ксследовая Двухч-- ьтотньй 1ЛЛЭ с продолышм гяшеЦиен генерации, использование которого позволяет уменьшить ширину лазера ' без, изменения временных характеристик,-;-так,.как она не входит ни & пороговое условие,'; ни в условие гаиениА генерации. При ^том когет Оыть сшшзна воплощаемая.-■: . -мощность -.накачки? увеличена л энергетическая-добротность :.и>. ¡облегчен >. .тепловой.- -реаам :'работа -элемента. ■ . Высокая.1 разреміаздая-,,способность, разделения Переменных - "0" и "I" в предлагаемой дЬухчьсютноы 'ШЭ достигается за счет • применения узкопалосшії '. решточных-: .фильтров -и -разнесения ■,'ччаї/гат гасимого\ -и '. гасящего- • злелентов.,;-Конструктивно* .-Ьову ..-'вдеманты -..ДГЛЛЭ->'Вияолна»тся.''-на' .осйова-;11сш?д«ж«вс; ■акшюЬбдоа,*

ї ^ Ті

гал

■'.reo .ї^йеЖСЗУ

то с Ч £Г С

- 1 І

-pan t" ср ь і ь t І г.таг. •

;ттс^®зйаіьше" - глследоватгля'' "про вольного * ;дошназс » -вдай, "гасяа&ііо'- 'и ■ ',Цо1луч?:їо' - jüoxxco' ■. гжетаїе- . гене-райгог .. и f рт"'oro гаі&їнія.'.' гзяаргции.' -.цря v r ~ "льчих у sr( 'ka¿epó¿,;иоюззна

с r\i m-t геїіерашї •. • палашем •

rrnia~ сс"°ргдаярЬв< 'подтв'арзгдаат

F г і " с^" т сжиз* ^ ^спзіек!о-чім;с,"' -ладернх

птг о п л " «з \\'■•■-•.''•'.,'■' •

Готл*>з ^ сго а ю із " 73«'^ві^яашая/ояероцгаг

іС, ,т """ 2? ^ т др , ті і о іатрі^фЬ'ватьг! логетескко

огт г- рп п " rj. -v с "Ї і оі~ іозз;-.¿ШІІЩ ра^аОо.тзіта'

СХо а пр^ " "О "цаС ра, О ЧИраЙиатЬ;" ;СЛ0:5;ЄШІЄ деух • Р^-ЧЇЦ -с - ь д"с і і с " ^теірзльтіе^оптачдсігле

с л a EL t < спот,-ги ''с"кст,рЬд-ейЬ,ЕЗХКїи'а;''

с «/■*• * о "д і ор іогі. ° в Qss;';.:Kd-TopHx'"notTyiraKT.

отгічо"а-х ст m " еогл сто сшгч&исих;'дишій:'сзязя.■ *-''.', Р з е~ ч є^оз гсрет8Ї£,Еш:ірго'' -¿apesara

ГЗ " 010 " "З І О" О у пофТіро ОДІЕЙОВсШ.ГетерОЛЗЗарОВ'

с грто -vir-T-i jrrp gj, деґр 3:аігі©Ла', тат'ско -

КОТОр"Ч гр- З Б"1 !С— "Т, раСС ГСа ЧСЙ 0 I.:'r(3,iC?í шіоотда ПОБЄр'ПІ"С тнтегрт Ju^T*. ' "СІЄЙП',. . . . плотность

-1 !,

расттолркр-нгш. ТЩу. обдадап^іх врсузіізм,. дареклячйштя 3-5» й-Зещд^Щу^кф&іШ- ЕЙзО 4ЙЙ'.- ксза.т срставлягь:- ІО^-ГО"' -злємзвїов' , ь"4;;' ■ - "І'■

-■"ГҐрсва'дейо.;-'-'сро'внешга'-' "ріааяяганнх. ['типов- іогаческпх' ьщШіо&і .'Йй&зено*;- ■,чгдчЇЛЯЗ иоіуз ,®ить основина ПЕраке'трн . «№ке8.-!е8-, , трайзЕстернна- структури; я

■ моУут іппамя-' .оіпзршсясйх .жигаЯ0окш?_

- sjietíSHToáv' „.;'>'\, .-' ; '

' - .^В'-зй^ігад.і^йстййгаш рсновн^а рабом.

І. ■Рзвйіта' тейрія- 'р'гсоз'яякя. свзта: в нере'гуляріаїх :тош»ііі».но?яах вЬлікійодзх: ■■ яіаї ,'услозяяі, адекватню: ~ре альйдл; условия?л\ йжарзяяЯі /, ' йозго-^Ьол... йссладоззть ; ' дигагреммн напрайвеіткгіїйг' взлучекга,.'ріссаякаогЬ • »ч . нсЬдабродаостяк сред, сбрззуггізїх. тощссшіз'очшгі солновод, и на шарбхозатостях : поперхностії подлоиот; .внработзть гзтодїіку опроізлення функцкй спектральной плоткоста пзроховатоста оптїгієсютх позврхяостей

і onmn^ Tj^aib, і . -ccf—xso i-v. і^ігьтралилз і

ыгь "л» - «іOu. o -J1 jjV oro ъ~1 azoïJ, " 4 соотзсжО-"1 с

■ ' ■' ." і ' ' Г.» ..........,'!' ■ • л». -v.". .. • • ; ,

. д і г..

■вс£& '"„одне і— j «т » ciar "т і л^гх

\арао.ї^г , Le^JôAC^iii-" егоза -СПЪ »^CS^SX

I0uuP4U" Oa^O'LjK ^"jr"«?^^^ p-^isJ—SI ECC-__ОТ

rip 7HJ ^ IООО wCTBiTS,__uOOi Ь ^w____«—J с

смлхфатг^ p ^уци і i ».^¡v^wO _ ^ДІК ro

ta ч u r ^ cru, ^«i c-OiJ^ тд, ^ o^-^Qv »,0,1 і

i, „ ;

OJ.".-! с oik прло^^і^ j. і -1 , я —„ V ^ эо»-,

Пиіи-G ї — su Í L „ ^г^аа.

- і ■ : ; - . - -. • • <;. /г.," , • -v - ••." ,> • f - • -. ,, : ' '

•'.. " - - . JZC-QTvii..'»,/ Г- ^»waU. ...Vt V '. ... ••

^í í * Ї ^ ?

i- " - V /—C^XC, ¿y. ' л . ж. ^ Í ^r.-ліі-;.-'r .. - . -,

1 (.0 JÛ ^ -.O^-fiXT I—.. .

i»^ ipj с -

. ' . uO. ----------- - ; i 1-V*. '...^....«..1 i.... i... л

t. *

(~I0 I.) O^r^CT.. ^ и . К • - С

xji<(Jií и, 4.W,!.! - ra«* ï u о^.г u

Qjp^Jííiwv. с. „Д bar^ í — С ^ с;,-. . ^.Jw» OCí. XJ.

nobu3v.rt,vJi с^а'^ « - » w. — _

Onp a / i^. tip , „ . . _ . -, 4 ^ láiL^.c

COCI £ „ ~£j t « .

' - - - - - . tfc.iwjrfj-**-^ . ".,*»;• ■ Lí-t - i .А* к- , - , ,í*..i .. и

.'к* кІ-Иі'И/ЛУІІііїли і- .'Сі'-ІЧ.»».*. • К -H . tj-W-»»»5- '

Í T w „ Í

«рі^ОіімСІм Ci^l w*. ¿ ,-J». Wi—** .-.-1 • C.»^ »*—*»

î ^ Ц . 0 -, j , ■ , J , і ^

Ut і і ~

> xo; і з * j w.„ .

L -і , s..o r

' _ 1, j ____і c.» >

С 1 і ÍJT-І . ......¿.J ..... T^ - '«• .• . ... J. ч • W-.í.^. » -і ------

1С Г . „

д - "І - .

paspo-"-' < „сгь ~ СГЗ її С * tu3, ссог^тствешю,:. С

\ :z:o^ "аГке~гсояа гр-,т-с"онЬтртгрозано-

разра-г - т"" ,тод гс-г^-геологого да"°рз о.?лв."иодовшл-

21 Ч хссхед'сшгг Т0С-С0Ш'8.;0ЧЕЬ"1:.-Л339рЫ с w " ""."л"01П2Г"з. р-зо^ccpp'cí Ез ріде орг'зкяесклх

■'Т . "гг*,т": тз^ерац"" еэ , po^van®'. -6Я.. с ■

г- с ...i . гсготтс-! колкіз. Ис^рті? гр^'ялсхзна я Г""" ^ го.і:''с"о^аз.сі • пса-г^з, ксторат позволяет,

з с^спть порог nro^rrnr. Сйпэртгсг" ^сгз&гетрпя,

■ '-'ío-Tp, ¿ùç-iscm сб.-аго^.'пт'-л "єогхгрол'с ,?ш\нзкачк;і -гэ тсстэг-пз'^сго j-^-cpor, когорт *а":ет - 'быть,

" о- л*-.. сг'»олагрсглйг'о*,о as^K'ta^;Еайдеко

; ~ - і , сїг:сігг"-—а раСсту кольцевого -

- 'отгото •ycvTnn с, î .которсэ,-

г. "о •со гкчкгють ::cs ^пг дцтд - асг",*стрп. :. сеьяспягй' . a(rr>„.,T, » IJp;-~cz:e

:: ".гг. "-je не*; то - t.rr>rj rarr^'Tv:^ Г—Г"- Гг. с'ссЧтпса'

с, - г. ^ Ч .• -X rj „J,. Ч ..^ду.^ц.^. эфйщпогта

: ГСЗСС" . т щ; r '"'Є-СТ ^ г г'\~1 \

XJ ЛГ--Т V- -, Г"— Г 1 . t — і... 1

с --z'l ci í' -.^. - ■ ' - ; ■ ■ с.'яс-'скь'а

-."^-^"-Э DC—СГ -3, :

ггстап ГСС-гсс^ва го лсргсtltsís [

- С", j ■•". ~ . " .

S. ' izz^zC-^i'n т тог^зкепочдаго. '

п» .-"i* лссггго аа.'/пртлцвпэ'-

f rsrtr.i rszy^x з катера*! лес??»* ecsszras:» пход.й' йжод ;'

зяэяоптэ • глюЕЗш - ••на--'-.ccncs» - ejsnoro^-чтешкяюевотаок». ... согкеводэ-.- п• • rs^ipicassj^ssty. • ••дагеилг.:-' распространяется .; в'-.-"-' cnrwosKct.ror;r,*j:ccnrr: ron пэ тетпе.гиэночпег,^ '-•- »fxij&áojtf jfôâ./ceTèpw• Прмэдпгд їеорзтичсскиз .а -

"'.'; сисгїізркvf^íif¿її:Э '^,.ггссхгізÄebä^ii .• дзззртах

¿огэтвек*!*.. •. toianiebî; -hasyeçâi •'."-;¿¿psjusi,': ■ спрэдзля^пне;. v • '{¿іягроЛїРсїіїП"»,' ■ гіЬрто.тїгїзс:-;^;; добротпосїь, '. грксгапьпуо-' . V".'.-йпввегшяееть ПЕла-жі-'усяоквд*•;;_'. V ;.'•„. fbСота •злгг.'Эйтсз; • 'тгслэдрЕспа • йзозйй'-',гаазнпа 'Гензраїш-.:- *, * -V ерзявва";•KpsanwsJCT-'агзгіййтоз*j етпояїввянх на ; -

'"efeaÓBs- TOîrériRSJîtwiiâx'' 'дг^зрей si». ' •

СОСТСі BöJL, 'Піну ~ ICO т-0. ( !

7. Ррсідо« vij и разраоседіш дві тЄіЖоплєлочл^

лаоер £мі лаги soïue о-'^&Дї^, і ^ пгододьша

распрооїр depdl ¡rnpaûvTiJîUx csTuc.^ у с-да^^лое, ча^юті'г

Uvü! П0лярі-3.~тл0"£00« АОДфС^а С . ' &1.J ГчаСТОТНьиЗ Ii полятиїзадиь са гадаии-ючь^а лазорх^з Í оЛі-цС-скЛе зле; ~атя ПОЗВОЛЯЛ? гарсі Ы ОТ ЯЛLblLTbCíOr К ПОЛОСКОВЫЛ ЕГ •ШОЕО^а1' 1 ЗІЛ^Л-ЇСОоГО оГЧИТЬ ІСРДСІОІ pG^El paöOTU биС.рОД !C,T B-yWíj JOnNciO^K СЦШЄСЦЛіХ. -„ЦТЧ^ЛЬЯЫХ exev. _Ссг. ясно йро^СіГишіо.\ Оі^зїд.о, тр.: ЗвВг ьадлрртч, j-asooaaaJ,'ол С I С І2! ПОЕерХКОСТЗІ tjpjarbs&töfl ДОІТС.Гри>Ші CZo'lî, iia НСІІ loldî б^ІЬ paC'lLwHö ICP-IÖ4 СДч' ОСТОВ» l^&tL^iZ. Бре'Л

Пу-ЧЗІЛ^ЧЄШШ ÓO-CO по, '

- Л' 7* > -V./fC' •,:,-.'"7' '' i : ' V:.-! .

ч<

Осюхйаз р^«ульти*л дахоеггр:^^-, о":о в і битсх:

т. 4aj>oî^cMa И.Ь., ГО^'ОШо

ВОЛІЛиО^Лі-ї JU3&P С ГССТ^С"^ .О^ГаЗмО*. СЛЯЙ-и ы,

К.ОД.,. і .Й bQ&ifójJJIÜ lj IC'líXZi . -Д.ОВЛЧ одактрзі. z*a,

197', і, ¿3, 6£ô.

2. ДзроііШ /Т.Н., О'і'ЮрОіілО 0.1.., CíT_¿t Ь,Е., Tiu-^: Л.Г., Ч Do ілскш. il.В., 4JJ а і". 1С» loi саг.,1 J4.—2 во іоі^ ' .-из.р о pu п дотс.„ cj^-i^., саяз-'а. - VII

DCJCOLC.R . OI х jpohi^lH hu кОГСТ ,10,1 Ii I.j; J.LÜ'OÚ ГЛП,V.Û. Тьзиси іадов,, ¿a-tioiii, IS?*;, іо/.

ö. Дьр-ы. ш JU ни .'■і h.D.; Ч '"-а ї.іі. Кил

юччс/^ьочіиЛ .га-ер с lo-.oo^xJ il .Сії,. -lipoid' \ I9-/5. І i, 72 Í. '

4,Koj-б.п. Iі.И., Оьча^ .up 0. &j>¿ і, E.L., И. В.", 'Тошйэплчиощйхй ; лазар с ;ра.опрздз.і:0ішол1 офцтлэ;'. .ов.пзьа из. . родашше, б::. .- КвЕЩтоі:Ь;л ахікдіотига;--І^лі - ІБЗІу; А •*

■ ; 5;

■D.E.', '"Фро&шн. . :..'V., --Чзреійіс;';аі_• íi.L. /Хйржгтгрлстшй:. 1 ' тікоплекочвого : -лагjpsörö • .':orxr-u- o..aru 1 а. ■ ' - ■ їІЇІ ,-

Воесошаая 'копфэрзицая. .п^/ког&рептиой/ц і.йз^ідіе.їййй:-оатикоі' Té засій докладов. ТбіШісв,' 1976, ЗІО. ■ * " ' :•" «•

Su ' Дерюг ші -- Л'ЛІ.;* ';.КодбШі. !'. П.,' Чграі.йсіаш ' Ú.B.,, >•' 3кснврщдштальнй0; исслэдовациа' ся^Готіиоскк:" характиристіг;' ЇЧ'лкоплєкочнсіго ■ лаглчис^гс ' Й.Ч'їзіітг/. ' ix '•'. Dieven-Jim'-

HOilîsspaHlUîM 110 KOropmriKOii ■ U JiwI.'.i.j.'Ijiüi' ОІГПіК'О, liOCbitïiiiil.Ki

•памяти, академика Р.В.Хохдова. Тезиса докладов, Ленинград.,. 1978, 109, ' ''.--Г - - : '■•'"7

7. Волощенко Ь.И., • Лори1*ин Л.Н., Курдтазв Ö. А., Сотин ; В.Е., '<^юдавн.'-В'.Т,у..^арешейш;. ifcpü Топкоигзночшй" вариант' : .лазерного логического . элемента. -' Йзвв'стия'. вузов СССР; - ■ Радагоэлектроникэj&Rf's,§£¿■'■¿¿6,"11.4?.. ■!■}:<•'. у.>: у к 8. • Дерет® ДШ., •• Чере№с^у1Г.В',; Гашение

Г0Н9р-:1Г ¡5 PCto-Л'азерОВ излучешшм ;,СБЗ'рХЖ№ЩКдаШЦИ!>.; • - ' . Известия' вузщ ОССР - Радиоэлектроника, 1978, gi, W,io<i. : ,

■ у г ^'Ö/.y'^iis^^riKvrHBitö'^pM о'со'бошостн ' ' излучешя 7юзльйевого тонкопленочного лазера».'Оптаяса! и .

••" .;;■ 10. .k -Jiäi0p j■ Г.; Колбкн У;И'.Й.,:'у Чэрешскш • И.В-.. • . Тонкспл9Я0чёва ¿¿зерн; па красителе РОРОР. - Известия .вузов, ОЗС^ - I^oaiaw^Hraca, 1978,' 2£, »10, 133.у' У УуД^/У

■ ßdü^^ö; .^Р^яй-Й^НХг' Курдамов «;:Штащ У У, 'В,^,','.'Щ^Ш^Ш'уу *В.Т., ' ' Черешския 'A.B. " Оптажзания

•• . .io^kiE^äqbJäaSsrs .v »дгмооквюис^» • тоняоплейочного

ъйщШха.'-,-. 'Шйэсйй, '-СССР"; :f 1- Paj^osifeKTpbf^. I^, ^.1 MI,I04. У у7 '""-.j.; V;'

Лаэерй^- ¿oraWcksia элёжет.' : ^^' : A.c. я 7I03S7 от .

■ у'-к\У:Щ.\- МрйШ Л.Н.-, . ^JÄSaa •• V-¡Че^шскик

.. " XflpaKWpHbtUR l^äKÜMSBErtßoi^J..¿ЙГ^ЭСХОГО y^JteMSH^'..';. ,-у. II у:'. Всвсоа^Л; йаушо^ЕВё^а^: коайэеаща .'"Йр^неоте лаз'ерЬв; . ' в' T^^^tpöeifta;''. ifaaw^'rpeilHHg я ив^ттокоа технике*. ТйЗЖСЯ докладов, Иосквр, 1579, &S8. 1

14. boummsbko Sspwte Л.Н., Курдюков O.A., Сотин

B.B.» «ролкий Bit * ♦ *&рввЕй«й-. M.B. Яйрэходае процесса при переключении лязгренх Лцуцкаац аямвнтов. - Известия вузов ссср - РадаовлеггроЕкка, хэтЭ, is,, т, 42.

15'.: -Дарвгй» ^ Ч&рвяиский Й.В.4 Ч9ХЛ0В8 '.Т.К.,'

Bojmoi»№air шиейчм tos^^ -. ix конференция

по i raresfoacift ' электроншев Яйеликейшв оггоше» эко?г~88, ПОЗИвИ** г вид. А, i960, 306.

16, Я*р**ий Л.Н"., КолЗИН И.И., Овчйрекко о'.и., 'fi^tjifKHH П."., Чэхлреа Т.К. «сс^едов'ичте юикигло-почиптd

лазерного логического элемента ва родамине 6К. - Известив , вузов босР - Радиоэлектроника, 1980, 23, Хв, 70.

17. Андлер Г., Черетаскин И.В. Потери на пассегаше в НврвГуЛЯрНОМ ЙеСЕМШТрИЧНОМ даалвктрическом воЛНОВОД9 . : . Известия вузов СССР - Радиоэлектроника, 1980, *Э, 38.

18. Чйрг.мискип И.В., Чехлова Т.К. Полосковые Тонкопленочные. лазеры на родамине 6Ж. - 1 Вс&ссданая конференция по радйооптике. Тезисы докладов, Фруйза, 1981, 291.

19. Дерюгин Л.Н., КолбИН И.И., Черемискин И.Б. Двух-чаатотный тон-оаленачный лазерный инвертор. - Там же, 296.

20. Черемискин И.В,, Чехлова , Т.К. Кольцевой тонкопленочный * лазер „ "предельно малого размера. - Оптика и спектроскопия, 1Э81, 61, в.6, 1047:

£1. Андлер Г., Черемискин И.П. Рассеяние в диэлектрическом волноводе со случайными искажениями -стенок. - -Известия вуарв ССР - Радиоэлектроника', 1981, 21, *9, 68. " "

22, Дерюгин Л.Н., Колбин И.И., Черемискин И.Б. Лазерный .логический элемент "НЕ". ¿.с.М0017$2от 024II. 1982.

23. Андлер Г., Гебрезгиабихер В., Чбремйскин И.В. , Рассеяние , в тонкошюночнбм диэлектрическом волноводе С синусоидальными гофрами« - Автометрия, 1382, *6, 87.

, 24. Дерюгин Л.Н., Колбий И.И., Черемискин И.В. Исследование • двухчвстотного тонкошюночноголазерного логического влемента. - Известия вузов СССР Радиоэлектроника, 1992, 83. •

25. ¿йдлер Г»,/чбгоров А.А. . Черемискин И.В. определение пар^шетров .шероховатости оптической поверхности по рассеянию в диэлектрическом волноводе. - Оц. ;а и спектроскопия, 1984, 5§. в.4, $31.

26. Мальханов О.В., Черемискин И.В«, Чехлова 'Т.К. . < Фильтрующие свойства кольцевого '„апкошшночаого резонатора. - -Оптика и спектроскопия, 1985, 5§, в.2, 420.

* 27. Рыжов О.И., Черемискин И.В., Чехлова Т.К. РОС-лазеры с активной обрамляющей средой. - • Журнал прикладной спектроскопии, 1985, 42, *1, 48.

28. Дерюгин ЛЛ"4., Черемискин И.В., Чехлова Т.К. • Фильтрующие системы на основе кольцевого тонкоплоночноГо резонатора., В об."Интегршьная птика, ({изические .основы, приложштн^ Ношсибирск, :изд.ГНьукп%' 198(5, ''

■29. Черемискин. И.В» Рассеяние; свети, на случайных неодно-■ родностях. ->-• . I Конференция: научно-учебного центра Физике--химич. методов исследования. Тез.докладов, Москва, 1988, 13. v , . 30. Васкес, С-.Ф., Черемискин И.В. Исследование излучения,'; рассеянного на случайных неоднородностях показателя преломления в то1я::;лленЬчного волноводе. - Автометрия, 1988, JS5, 46. •

." 31. Дервгиа Л.Н., .Черемискин Я.В. Оценка параметров лазерного логического элемента. -;;;;-»'. ;: Конференция -"Голографиче'ский корреляционный анализ ' к регастрйрущив. . ; среда". Тезисы докладов, Киев, 1988, 107. . , '■', ;. . 32. Гудзенко А.И., .Черемискин И.В.,- Чехлова Т.К. Волноводные эшелоны МаЯкельсоне-. - Известия вузов у; Радио'электрЬника, 1988» 511., JS8, 77. ;_./,> ':': у- .33. Колбиа И.И., Черемискин И.В. УЧэт крутизны переднего фронта накачки при оценке характеристик тонкопленочного лазерного логического элемента. - гизика, Физика' и химия, . поверхностей." В с<5;яат.трУДов УДК. М. 1988, 42. ; . ' / 34. Кастеяьяноз Л.Ф., .Черемискин И.В., Чехлова Т-.К. Оптические волвоводаыа фильтры высоких частот. - Известия вузов 5 Ра^элэктроника, 1990, й9, "у/ 35. Берикашваии В.Ш., КЬзлов М.Н., Колбин И.И.,'Васкес Х.Г., ЧереЛисяш И.В., Чехлова Т.К. Видеодяагпостика ' гвокетретесяо парэметрой одномодовых • волокон. -- Электросмзб, 1990, JK0, 22; ЧУ;;-.''-;' /....* 36. ТЙхврина В.Э.А., Черемискин И.В., Чехлова Т.К.' Шганартв* в&ШижЬр спектра типа эшелона Майкельсона. - VIII Региональный cdtamap "0пт6зле!еронвнв »етод» в устройства обра бств инфорюшш", 1фаснодар, 1990, 44. у'у:

37. Егоров A.A., %ре*искин И.В. Способ определения ' потерь; обусловленных рассеяние»! света на объемных i неодаородаоста в йлаварзнх; оптгческнх волноводах. V A.C.JHS39*tö01.10,1939. У -;/ / - Я,'

38. Егоров. A.A., ^рамасига И.В. Способ. определения : ; параметров «ероховатости оптическое поверхности. - A.c.

'•". *I620831 ОТ 15.09.1990. г V-V'"-V" ^" 'V. i -

39. Егоров A.A.. Чефвываат И.В. Устройство дая контроля 'шероховатости оптяческов„ поверхности. -;': A.c.*I6I0Z59 от 0i.08.i990. r-vy'у:.;

40. Колбин; И.И., Черемискин И.В. Схема. на основа

: двухчастных • ■ лазерных • : логических ■ элементов. . - ; VIII ■ Реі'.иояальшй семинар пОптич,еские и йптоэлактронгше методы и . устройртва oöpäöoтки ■ информации. Тезисы докладов, Краснодар, Ç990,1 ' «

4ІІ Вйснес С.Ф., Егоров A.A., Чаремискин И.В. К вопросу . о(б :-определении статистических характеристик нерегулярностей ТОНКРЗДбрОЧКЫХ ВОЛНОВОДОВ. - АВТОМвїрИЯ, 1991, Jjß, 51. ..■: '•'■.■v-^V-'EropOB-,AiÀ.1.'j--'4speHIÏCKHH И.В. Прибор дня измерения статистических характеристик \ оптической поверхности. -Прасоерт ЗДНХ СССР, I98Ô.

43. Вйсквс Х.Г., Тимакив А.Г., Черемискин И.В., Чехлова Т.К. Планарннй эшелон Майкяльсона. : - г Всесогхзная конференция -по интегральной оптике. ФэзИсы доклада, Укгород, 1991, 58.

44. ВадКес Х.Г., 'Черемискин И.В.. Чехлова Т.К. Ешюкошо-оптический •. анализатор спектра. ;>-: -Квантовая ьлектроника, 1382. ¿g, Jt4 , 387.

45. Дерюгин Л.H., Гудаенко A.И., Иарчук А.H., Логосов Г.А., tЧаре^шСкин И.В., *ЧеХлова t.If. Ан&низатор спектра и способ аго йзготодлёШИН. - À.C.,JH2040II от ОЙ.09.1985.

46. Тшдакин АІГ., Черемшой И.В., Чехлова Т.К. Водваводиый t отражательный елемент. - A.c. £1730604 о» 03.01 .l9Sßl

і. 47. мОсовицкий А.Н., Червыискан И.В. Рассешше света : в тонкопледочных волноводах и оАрэделейзе статистически характеристик иеродоватости повермоста. I Всесоюзная .конфёрещид по. ИЕтбгралі)Ной оптике. Тезйси докладоб, Ужгород ,"

Ï99J і "53..

40. Oeovitôky A.N., ТоЬеІІьі А.Р,, ïohereeiiBkin I.V. "Ijil^it scattering in a thin-filn. wavequlde and _ виі'ґіюв'- roughneea. etatistlüal - oharao-ter і e t і о determination". • Ûuitted-fciVe Optima, Alexander U.ProQhorov, Kvgeny M.Zolotov, Editors, Proo.STIK 19Э2, p.312-347 C1993). •