Состав и структура композиционных мишеней на основе карбида и диборида титана, полученных методом СВС тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.07 ВАК РФ

Введение

1. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез (СВС) как перспективная технология. Обзор литературы.

1.1. Получение тугоплавких соединений традиционными методами

1.2.Классификация процессов и продуктов СВС

1.3.Закономерности и механизмы в безгазовых системах СВС-процессов

1.4. Экспериментальные методы исследования СВС процессов

1.5. СВС-компактирование

1.5.1. Функционально-градиентный подход

1.6. Структура и свойства некоторых составов, полученных методом СВС

1.6.1. Сплавы марки СТИМ

1.6.2. Продукты безгазового горения системы Ti-Si-C

1.6.3. Керамические мишени на основе карбида и диборида титана

2. Материалы и методы исследования

2.1.Характеристика исходных материалов

2.2. проведение синтеза

2.3. Измерение макрокинетических параметров

2.4. Изучение микроструктуры

2.4.1. Световая микроскопия

2.4.2. Растровая электронная микроскопия и микрорентгеноспектральный анализ

2.4.3. Просвечивающая электронная микроскопия

2.4.4. Измерение микротвердости

2.5. Рентгеновский фазовый анализ 2.5.1. Динамический фазовый анализ

2.5.2. Фазовый анализ продуктов синтеза на рентгеновском дифрактометре 2.6. Статистическая обработка результатов измерений

3. Формирование структуры и свойств композиционных мишеней системы ТьБьС, полученных при безгазовом горении

3. ¡.Особенности формирования состава и структуры компактных многослойных СВС-мишеней с рабочим слоем системы Тл-БьС

3.2.Микротвердость трехслойных мишеней

3.3.Состав, структура и свойства покрытий, полученных магнетронным распылением мишеней с рабочим слоем ТьБьС

4. Особенности горения смесей ТьБьВ и формирование состава, структуры, свойств композиционных мишеней на основе ИВ2 и Т1581з

4.1. Структуре- и фазообразование продуктов синтеза

4.2. Расчет адиабатических температур горения смеси Тл-В^

4.2.1. Параллельные реакции

4.2.2. Последовательные реакции

4.2.3. Влияние добавки кремня как инертного наполнителя На расчетную адиабатическую температуру горения системы ТьВ

4.3. Особенности формирования состава и структуры компактных двухслойных СВС-мишеней с рабочим слоем состава ТьЗьВ

4.4. Микротвердость двухслойных мишеней

5. Фазо- и структурообразование в компактных мишенях на основе диборида и алюминида титана

5.1. Макрокинетика процессов горения

5.1.1. Расчет адиабатической температуры горения в системе Т1-В-А

5.2. Состав и структура компзипионных мишеней системы Ti-B-Al

5.3. Микротвердость продуктов синтеза 124 6. формирования в условиях СВС-компактировании функциональных градиентных катодов на основе нестехиометрического карбида титана

Выводы

В настоящее время основное внимание уделено синтезу тугоплавких боридов и карбидов. На основе карбидов и боридов разработаны материалы, способные эксплуатироваться в экстремальных условиях: при высоких температурах и давлениях, в агрессивных средах, условиях высоких напряжений и скоростей. Карбиды и бориды нашли применение и часто незаменимы в машиностроении и металлургии, космонавтике и авиации, атомном реакторостроении и других отраслях техники.

К тугоплавким принято относить соединения, плавящиеся при температурах выше 1500-1600 °С. Граница тугоплавкости условно и непрерывно возрастает, соответствуя уровню технического развития материалов. Наряду с нитридами и силицидами карбиды и бориды-удивительно интересные представители класса тугоплавких соединений. Важное в практическом отношении значение имеют бориды состава МеВ2 и МегВз и высшие по содержанию углерода карбиды металлов IVa - Via групп периодической системы, а также карбиды бора и кремния.

К числу таких материалов относятся композиционные многослойные и функционально-градиентные мишени-катоды для реактивного ионно-плазменного, ионно-лучевого и электронно-лучевого напыления износостойких, коррозионностойких или многофункциональных покрытий.

Вызывают большой интерес покрытия составами Ti-Si-B-N, Ti-Si-C-N, Ti-A1-B-N из-за их высоких механических свойств, физической и химической стабильности. Получение методом СВС композиционных мишеней-катодов на основе TIC, TiB2, Ti3SiC2, SIC, Ti5Si3, TiAl и др. является важной и актуальной задачей. На основе СВС разработаны высокоэффективные способы получения керамических, твердосплавных и функционально-градиентных материалов в одну технологическую стадию. СВС-компактирование отличается от известного в порошковой металлургии способа горячего прессования тем, что, вместо предварительно синтезированных и инертных в химическом отношении компонентов, используются химические элементы, способные к сильноэкзотермическому взаимодействию.

Одностадийное получение композиционных мишеней по технологии СВС-компактирования является сложной макрокинетической задачей, включающей совместное рассмотрение процессов теплообмена, массопереноса, образования фаз, кристаллизации и т.п. Для получения малопористого СВС-продукта с высокими физико-механическими характеристиками необходимо учитывать закономерности горения смесей, образования химического и фазового состава продукта синтеза, а также осуществлять процесс СВС-компактирования в оптимальных режимах.

Помимо высоких требований к прочностным характеристикам материал мишени-катода должен обладать удовлетворительной электро- и теплопроводностью, термостойкостью (стойкостью к термоциклированию и тепловым ударам). Данным требованиям часто отвечают многослойные и функционально-градиентные материалы.

Целью работы являлось изучение макрокинетических особенностей горения гетерогенных конденсированных смесей ТьЗьС, ТьВ-81, Т1-В-А1, и закономерностей фазо- и структурообразования однородных и многослойных продуктов самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) на основе соединений Т1В2-Т15813, Т1С-Ть81С2-'П8!2, Т1В2-Т1А1, Т1-ТЮ0,5

Таким образом следующие положения выносимы на защиту:

1- Результаты термодинамических расчетов адиабатической температуры горения смесей ТЧ-В-81 и ТьВ-А1.

2- Экспериментальные результаты исследования макрокинетических особенностей горения смесей ТьС-81 ТьВ-Э! и ТьВ-А1 в зависимости от соотношения исходных компонентов в шихте.

3- Установленые закономерности фазо- и структурного образования продуктов горения при СВС в системах Т1-С-81, Т1-В-81 и Т1-В-А1, позволившие 7 объяснить высокую термостойкость мишеней и создать основу технологии производства в режиме СВС функционально-градиентных керамических катодных материалов с распыляемым слоем различного состава.

4- Изготовление опытных образцов функционально-градиентных мишеней на основе нестехиометрического карбида ТЧС^.

5- Построенные диаграммы микротвердости мишеней различных оставов, позволяющие конструировать и прогнозировать свойства изделий.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА:

1- Проведены термодинамические расчеты адиабатической температуры горения трехкомпонентных смесей Т1-В-81 и Т1-В-А1 в приближении протекания параллельных или последовательных химических реакций. Показано влияние относительно инертного наполнителя 81 на адиабатическую температуру горения смеси (1-х)(Т1+2В)+х81.

2- Изучены макрокинетические особенности горения трехкомпонентных смесей Т1-С-81, Т1-В-81, Т1-В-А1. Показано, что температура и скорость горения увеличиваются с ростом удельной доли ГП+С) и (ТИ-2В) в шихте,

3- На основе полученных экспериментальных данных о фазо- и структурообразовании трехслойных продуктов горения с рабочим слоем состава ТьЗьС выявлено, что причиной высокой термостойкости мишеней, является образование широкой диффузионной переходной зоны между рабочим слоем мишени и слоем Т1С.

4- Установлены закономерности фазо- и структурообразование однослойных и двухслойных продуктов синтеза с рабочим слоем системы ТьВ-81. Показано, что независимо от состава рабочего слоя мишени, образуются сравнительно широкие до 0,3-2 мм переходные зоны между рабочим слоем и подслоем, что подтвердило возможность создания в режиме СВС функционально-градиентных керамических материалов и позволило осуществить синтез компактных композиционных мишеней с различным соотношением фаз Т1В2, Т15813, 81.

5- В результате комплексных исследований фазового состава и структуры продуктов синтеза в системе ТьВ-А! с различным соотношением В и А1 показано, что увеличение концентрации бора в исходной шихте ведет к превалирующей роли боридообразования в формировании структуры сплава. При этом заметно растет размер зерен ИВ2 и твердость продуктов синтеза.

6- На основе изучения особенностей формирования структуры и свойств градиентных мишеней при варьировании соотношения масс шихтовых слоев титана и (Тх+0,5С), а также режимов силового СВС-компактирования, осуществлен синтез функционально-градиентного материала с рабочим слоем из нестехиометрического карбида титана Т1С0,5

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЗНАЧИМОСТЬ работы заключается в следующем:

1. Методом ситового СВС-компактирования изготовлены высококачественные одно-, двух- и трехслойные композиционные мишени-катоды, перспективные для технологий инженерии поверхности, в частности, для магнетронного распыления.

2. Построены диаграммы микротвердости мишеней различных составов, позволяющие конструировать и прогнозировать свойства изделий.

3. Изготовлены опытные образцы функционально-градиентных мишеней на основе нсстсхиометрического карбида титана Т1С0;5, перспективные для получения покрытий из карбонитрида титана с использованием технологий инженерии поверхности.

4. Результаты проведенных научных исследований легли в основу разрабатываемой технологии производства катодных материалов с распыляемым слоем различного состава в системах ТьЗьС, ТьБьВ, ТьА1-В, Т1С<3;5.

Работа выполнена в научно-учебном центре СВС Московского государственного института стали и сплавов (технологический университет) и Института структурной макрокинетики и проблем материаловедения РАН.

Выводы

1- Проведены термодинамические расчеты адиабатической температуры горения трехкомпонентных смесей ТьВ-81 и ТьВ-А1 в приближении протекания параллельных и последовательных химических реакций. Увеличение содержания инертного наполнителя в смеси (1-;с)(Тл+2В)+ * 81 уменьшает температуру горения.

2- Изучены макрокинетические особенности горения трехкомпонентных смесей ТьС-81, Т1-В-81, Т1-В-А1. Показано, что температура и скорость горения увеличиваются с ростом удельной доли (Тл+С) и (Т1+2В) в шихте.

3- Изучены закономерности фазо- и структурообразования продуктов горения в системах ТьС-81 и Т1-В-81 в зависимости от состава смеси. В частности установлено, что в составе, соответствующем равной массовой доле силицида и карбида (диборида) титана, зерна фаз имеют наименьшие размеры, а при увеличении в шихте относительного содержания какой-либо фазы растет и размер ее зерен в конечном продукте. Также показано, что по мере роста концентрации наполнителя (81) в смеси (1-х)(ТН-2В)+ х81, размер зерна ТШг уменьшается.

4- Показано, что, независимо от состава рабочего слоя мишени, при СВС образуется сравнительно широкая от 0,3 до 2 мм переходная зона между рабочим слоем и подслоем. Данный факт подтвердил возможность создания в режиме СВС функционально-градиентных керамических материалов и позволил осуществить синтез компактных композиционных мишеней с различным соотношением фаз ТШ2 и Т1581з, 81.

5- Проведены комплексные исследования фазо- и структурообразования продуктов синтеза в системе Т1-В-А1 с различным соотношением бора и алюминия. Показано, что увеличение концентрации бора в исходной шихте ведет к превалирующей роли боридообразования в формировании структуры сплава. При этом заметно растет размер зерен диборида титана и твердость продуктов синтеза.

Осуществлен синтез функционально-градиентного материала на основе нестехиометрического карбида титана ТлСо^-Тг Изучены особенности формирования структуры и свойств градиентных мишеней при варьировании соотношения масс шихтовых слоев титана и (Тл+0,5С), также режимов силового СВС-компактирования. Изготовлены опытные образцы функционально-градиентных мишеней на основе нестехиометрического карбида титана Т1С05, перспективные для получения покрытий из карбонитрида титана с использованием технологий инженерии поверхности.

Построены диаграммы микротвердости мишеней различных составов, позволяющие конструировать и прогнозировать свойства изделий. Методом силового СВС-компактирования изготовлены высококачественные однослойные, двух- и трехслойные композиционные мишени-катоды, перспективные для технологий инженерии поверхности, в частности, для магнетронного распыления.

Результаты проведенных научных исследований легли в основу создаваемой технологии производства катодных материалов с распыляемым слоем различного состава в системах Ть8ьС, Ть8ьВ, ТьА1-В, Т1Со,5.

140

1. Мержанов А. Г., Боровинская И. П. , Шкиро В. М. Франция.// патент, № 7014363, 1972.

2. Мержанов А. Г., Шкиро В. М.5 Боровинская И. П. США.// патент, № 3726643, 1973.

3. Мержанов А. Г., Боровинская И. П.//Докл. АН СССР, 1972, 204, № 2, стр. 366.

4. Богатов Ю.В., Однородные и градиентные сплавы на основе карбида тшта.Канд. дисс.//, Черноголовка, 1988.

5. Джонс, Д.В., Основы порошковой металлургии, прессование испекние. пер. с англ.-М.:// Мир, 1965, с.403.

6. Еременко В.П., Леснин Н.Д. О пропитке пористого карбида титана кобалтом, никелем и их сплавами с медью.// Порошковая металлургия, 1961, № 1, с.43-49.

7. Кислый П.С. и др. Физико-химические основы получения тугоплавких сверхтвердых материалов.-Киев:// Наук.думка. 1986, с.208.

8. Самсонов Г.В., Ковальченко. М.С. горячее прессование. Киев:// Изд.технической литературы, 1962, с.212.

9. Дорофеев Ю.Г. Динамическое горячее прессование. М.:// Металлургия, 1972, С.176.

10. Вязников Н.Ф., Ерменков С.С. Металлокерамические материлы и изделия, Л.// Машиностроение, 1967.

11. Касьян М.В., Манукян Н.В., Саркисиян Ш.Э., Металлокерамические материлы и изделия. Труды 5-го научного технического семинара. //Ереван, 1969, с.23.

12. Бабич М.М., Неоднородность твердых сплавов по содержанию углерода и ее устранение. -Киев: //Наук думка, 1975, с. 174.

13. Кифер Р., Бенезовский Д. Твердые сплавы, -М:// Металлургия,1971, с.390.

14. Suzuki H. Effects of addition of carbides on strengh of TiC-M02-Ni(Co) alloys. -j.jap.Soc. Powder and Powder Met., 1978, 25, № 4, p.132-135.

15. Лисовский А.Ф., Исследование процесса проникновения расплава никеля в спеченные твердые сплавы на основе карбида титана. // Порошковая металлургия, 1980, № 11, с. 35-38.

16. Боровинская И.П., Вишнякова Г.А., Маслов в.М., Мержанов А.Г., О возможности получения композиционных материалов в режиме горения. В сб.: //Процессы горения в химической технологии и металлургии, Черноголовка, 1975, с. 141-149.

17. Боровинская И.П. Доклад на конференции: Процессы горения в химической технологии и металлургии, Арзакан,// сборник тезисов докладов, Черноголовка, 1973, с.6.

18. Авакян А. Б., Баграмян А. П., Боровинская И. П., Григорян С. JI., Мержанов А. Г. В сб.:// Процессы горения в химической технологии и металлургии. Черноголовка, 1975, стр. 98.

19. Левашов Е. А., Рогачев А. С., Юхвид В. И., Боровинская И. П. Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. —М.: Изд-во "БИНОМ", 1999. 176 с.

20. Боровинская И.П., Лорян В.Э. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез нитридов титана при высоких давлениях азота.// Порошковая металлургия, 1978, № 11, с.42-45.

21. Ратников В.И., Энман В.К. Оборудование для процессов СВС при сверхвысоком давлении газа. В: ППроблемы технологического горения. Том II, Черноголовка, 1981,с.8-12.

22. Похил П.Ф., Мальцев В.М., Зайцев В.М.//Методы исследования процессов горения и детонации. М., Мир, 1969,269с.

23. Азатян Т.С., Мальцев В.М., Мержанов А.Г., Селезнев В.А. Исследование излучательной способности самораспространяющейся волны142высокотемпературного синтеза.// Физика горения и взрыва, 1978, № 6, с. 8891.

24. Азатян Т.С., Мальцев В.М., Мержанов А.Г., Селезнев В.А. Некоторые закономерности горения смесей титана с кремнием. //Физика горения и взрыва, 1979,№1,с.43-49.

25. Азатян Т.С., Мальцев В.М., Мержанов А.Г., Селезнев В.А. О механизме распространения волны горения в смесях титана с бором.// Физика горения и взрыва, 1980, № 2, с.37-42.

26. Мамян С.С., Мержанов А.Г. Термодинамический анализ возможности получения диборидов нескольких металлов из элементов, окислов и галогенидов в режиме горения.// Препринт ОИХФАНСССР. Черноголовка, 1978, 23с.

27. Мамян С.С., Мержанов А.Г. Термодинамический анализ возможности металлотермического восстановления окислов металлов в режиме горения. //Препринт ОИХФАНСССР. Черноголовка, 1978, 23 с.

28. Мержанов А.Г. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез. В://Физическая химия. Современные проблемы. М., Химия, 1983, с.5-45.

29. Хайкин Б.И. К теории процессов горения в гетерогенных конденсированных средах. В:// Процессы горения в химической технологии и металлургии. Черноголовка, 1975, с.227-244.

30. Зельдович Я.Б. Теория предела распространения тихого пламени.// Журнал экспериментальной и теоретической физики. 1941, с. 159-168.

31. Вершинников В.И., Филоненко А.К. О зависимости скорости безгазового режима горения от давления.// Физика горения и взрыва, 1978, № 5, с.42-47.

32. Филоненко А.К., Вершинников В.И. Газовыделение от примесей при безгазовом горении смесей переходных металлов с бором. ИХимическая физика, 1984, Том 3, № 6, с.430-435.

33. С. JI. Харатян, Г. А. Нерсисян, И. П. Боровинская, А. Г. Мержанов. Способ получения порошков углеводосодержащих тугоплавких соединений.// Авторское свидетельство СССР № 1024153, 1983.

34. Merzhanov A.G. Regularities and mechanism of Pyrotechnic Titanium-Boron Mixtures. In: I ¡Proceedings of the Fourth Symposium on Chemical Problems Connected with the Stability of Explosives Molle, Sweden, May 31, June 2, 1975, pp.381-401.

35. Шкиро В.М., Боровинская И.П. Исследование закономерностей горения смесей титана с углеродом. В: //Процессы горения в химической технологии и металлургии. Черноголовка, 1975, с.253-258.

36. Алдушин А.П., Хайкин Б.И. К теории горения смесевых систем, образующих конденсированные продукты реакции. //Физика гор. и взрыва, 1974, №3, стр.313-323.

37. Ма Е., Thompson C.V., Clevenger L.A., and Tu K.N. Self-propagating explosive reactions in Al/Ni multilayer thin films.// J. AppL Phys. Lett. 57 (12), 17, September 1990,pp. 1262-1264.

38. Вадченко С.Г., Григорьев Ю.М., Мержанов А.Г. "Исследование механизма воспламенения и горения систем Ti+C, Zr+C электротермографическим методом ".//Физика горения и взрыва, 1976, №5, с.676-682.144

39. Некрасов Е.А., Максимов Ю.М., Зиатдинов М.Х., Штейнберг A.C. Влияние капиллярного растекания на распространение волны горения в безгазовых системах.// Физика горения и взрыва, 1978, № 5, с.26-33.

40. Кислый П.С., Кузенкова М.А., Боднарук Н.И., Грабчук Б.Л. Карбид бора. Киев.НауковаДумка, 1988, 216 с.

41. Мержанов А.Г., Боровинская И.П., Юхвид В.И., Ратников В.И. Новые методы получения высокотемпературных материалов, основанные на горении. В -.//Научные основы материаловедения, М., 1981, с. 193-206.

42. Stel'makh L.S., Zhilyaeva N.N., Stolin A.M. Mathematical modeling of termal regimes of SHS compaction. Inzh.-Fiz.,1992, v.63, N 5, p.623-629.

43. Pityulin A.N., Bogatov Yu.V., Rogachev A.S. Gradient hard alloys. Int. J. Of SHS, 1992, v.l, № 1, p. 111-118.

44. Лисовский А. Ф. Миграция расплавов металлов в спеченных композиционных телах. Киев, 1984.

45. Мержанов А.Г., Рогачев A.C., Мукасьян A.C., Хусид Б.М.//ФЛ5. 1990. Т. 26, № 1. с.104-114.

46. Рогачев A.C., Шкиро В. М., Чаусская И. Д. и др. // ФГВ. 1988. Т. 24, № 6. с.88-92.

47. Рогачев A.C., Гальченко Ю.А., Асламазошвили З.Г., Питюлин А. П.//Изв. АН СССР: Неорганические материалы. 1986. Т. 22, № 11. с. 1842—1844.145

48. Кипарисов С. С., Левинский Ю. В., Петров Ю. В. В кн. //Карбид титана. Получение, свойства, применение. М., 1987.

49. Левашов Е.А., Богатов Ю.В., Питюлин А.Н., Хавский Н.Н. Закономерности структурообразования при горении систем титан-углерод и титан-углерод-никель. В сб.: !/Структура, свойства и технология металлических систем и керамик. -М. МИСиС, 1988, с. 19-23.

50. Богатов Ю.В., Левашов Е.А., Питюлин А.Н.//Закономерности структурообразования сплавов группы СТИМ на основе карбида титана. Черноголовка, 1987, 34 с.

51. Мержанов А.Г., Боровинская И.П., Питюлин А.Н. и др. Прямое получение методом СВС безвольфрамовых твердых сплавов и режущих пластин марки СШМЛ Отчет ОИФХАНСССР, Черноголовка, 1981, с. 38.

52. Jeitschko W., Nowotny H. Тур. Monatash. Chem., 98, p. 329 (1967).

53. Arunajaiesan S., Carim A.H. J. Ceram. Soc. Jpn. (Int. Ed.), 78(3), p. 667 (1995).

54. Lis J., Pampuch R., Stobierski L. Intern. J. ofSHS, № 1, p.401 (1992).

55. Morgiel J., Lis J., Pampuch R. Mater. Lett., № 27, p. 85 (1996).

56. Григорян А.Э., Рогачев A.C., Пономарев В.И., Левашов Е.А. Формирование структуры продуктов при безгазовом гореии в системе Ti-Si-C.//npmipifflT, УДК.546, Черноголовка, 1998, 12с.

57. ГребенкинаВ.Г., Сорокин В.Н., Юсов Ю.Й. ДР. Использование тугоплавких карбидов в резисторах.// Порошковая металлургия. 1973, № 6. с.83-87.

58. Осипов К.А., Юсипов Н.Ю., Борович Т.Л., др. Структура в электрофизические свойства пленок TiB2. //Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1981, т. 17, № И, с.2032-2034.

59. Мержанов А.Г. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез. Двадцать лет поисков и находок.// Препринт ИСМАН СССР, Черноголовка, 1988, 93 с.

60. Мишени резистивные СВС-П.// Технические условия (ТУ) 88-29-185-91.146

61. Мишени, резистивные спеченные СТ3812.125 и СТ3812.165. АУЭ0.023.003 ТУ.

62. ГОСТ 22025-76. Сплавы кремниевые резистивные.

63. Рогачев А.С., Мукасян А.С., Мержанов А.Г. Докл. АН СССР, 297, № 6, с. 1425 (1987).

64. Мержанов А.Г., Боровинская И.П., Пономарев В.И. и др. Докл. РАН, 328, № 1, с. 72 (1993).

65. Grigoryan Н.Е., Rogachev A.S., Sytschev А.Е. Intern. J. of SHS, 7(1), p. 29 (1997).

66. Shtansky D.V., Levashov E.A„ Sheveiko A.N., Moore JJ. J. Metal, and Mater. Trans., 30A, № 9, p. 2439 (1999).

67. Shtansky D.V., Levashov E.A., Sheveiko A.N., Moore J.J. J. Mater. Synth. Proc., 7, № 3, p. 187 (1999).

68. Grigorian H.E., Rogachev A.S., Ponomerev V.I., Levashov E.A. Intern. J. of Self Propagating High Temperature Synthesis, №4, p. 507 (1998).

69. Мержанов А.Г., Боровинская И.П., Ратников В.И., Юхвид В.И. — В кн. Научные основы материаловедения, с. 193. М., Наука (1981).

70. Штанский Д.В., Левашов Е.А., Швейко А.Н., Мур Дж.Дж. Изв. вузов. Цв. металлургия, № 1, с. 67 (1999).

71. Sun X, Reid J.S., Kolawa Е., Nicolet М.-А. J. Appl Phys., 81(2), p. 656 (1997).

72. Posadowski W. Thin Solid Films, 162, p. Ill (1988).

73. Mitterer C., Rauter M., Rodhammer P. Surf Coat. Techn., 41, p. 351(1990).

74. Kothari D.C. Scardi P., Gialaniella S., Guzman I. Phil. Mag. В, B61, p. 627 (1990).147

75. Stiiber M., Leiste H., Ulrich S., Skokan A. // Zeitschrift Metallkunde. 1999. N 10. P. 774-779.

76. Veprek S. // J. Vac. Sci. and Technol. A. 1999. V. 17(5). Sept./Oct P. 2401-2420.

77. Levashov E. A., Shtansky D. V., Sheveiko A. N., Moore J. J. //Proc. 14th Inter. PLANSEESeminar'97. May 12-16, 1997. -Rutte (Austria), 1997. V. 3. P. 277-294.

78. Shtansky D. V., Levashov E. A., Sheveiko A. N., Moore J. J. // J. Mater. Synthesis and Processing. 1998. V. 6. N 1. P. 61-72.

79. Shtansky D. V., Levashov E. A., Sheveiko A. N. et al. // Inter. J. Self-Propagating High-Temperature Synthesis. 1998. V. 7. N 2. P. 249-262.

80. Shtansky D. V., Levashov E. A., Sheveiko A. N., Moore J. J. // J. Mater. Synthesis and Processing. 1999. V. 7. N 3. P. 187-193.

81. Shtansky D. V., Levashov E. A., Sheveiko A. N., Moore J. J. // Metallurg. and Mater. Trans. 1999. V. 30A. N 9. P. 2439-2447.

82. Shtansky D. V., Levashov E. A., Sheveiko A. N // Galvanotechnic. 1997. H. 10. S. 3368-3378.

83. Боровинская И. П., Ратинков В. И., Вишнякова Г. А. // Инж.-физ. жури. 1992. Т. 63. №5. С. 517-524.

84. Левашов Е. А., Богатев Ю. В., Рогачев А. С. и др. // Инж.-физ. журн. 1992. Т. 63. № 5. С. 558-576.

85. Рахбари Р.Г., Левашов Е.А., Сенатулин Б.Р., Иванов А.Н. Особенности горения смесей Ti-Si-B и формирование состава, структуры, свойств композиционных мишеней на основе TiB2 и Ti5Si3. // Цветные металлы, 2000, № 2, с.77.

86. Самсонов Г. В., Винницкий И. М. Тугоплавкие соединения: Справочник. —М.: Металлургия, 1976. С. 138—142.

87. Пат. 3726643 США / А. Г. Мержанов, И. П. Боровинская, В.М.Шкиро. 1973.

88. Мержанов А. Г., Боровинская И. П. //Докл. АН СССР. 1972. Т. 204. С. 336.

89. Маслов В. М., Боровинская И. П., Мержанов А. Г. // Физика горения и взрыва. 1978. № 5.148

90. Новиков Н. П., Боровинская И. П., Мержанов А. Г. // В сб. Процессы горения в химической технологии и металлургии. Черноголовка, 1975. С. 174-187.

91. Mollart ТР., Gibson P.M., Baker М.А. J. Phys. D: Appl Phys.,30, р. 1827(1987).

92. Rickerby D.G. Phil. Mag. B, 68 (6), p. 939 (1993).

93. Shtansky D.V., Levashov E.A., Sheveiko A.N. Galvanotechnik, 10, p. 3368 (1997).

94. Mitterer C., Rauter M., Rodhammer Р. //Surf. Coat. Techn., 41, p. 351 (1990).

95. Mollart T.P., Baker M., I/Haupt J. etal.Ibid, 74/75,p.491 (1995).

96. Tamura M, Kubo H. Ibid, 54/55, p. 255 (1995).

97. Münz W.D. J. Vac. Sei. Technol. А, 4, р. 2717 (1986).

98. Hultman L., Hakansson G., Wahlstrom U. //et al. Thin Solid Films, 205, p. 153(1991).

99. Wuhrer R, Kirn S, Yeung W.Y. Scripta Mater., 37 (8), р. 1163(1997).

100. Levashov E.A, Shtansky D. V., Sheveiko A.N., Moore J. J. —// In Proc. 14 Int. PLANSEE Seminar 91 (May 12-16), p. 276. Reutte, Austria (1997).

101. Stuber M., Leiste H., Ulrich S., Skokan A. HMetallokunde, №10,5774(1999).

102. Veprek S .HJ. Vac. Sei. Technol A, 17 (5), p. 2401 (1999).

103. Shtansky D.V., Levashov E.A, Sheveiko AN., Moore J.J. J. Mater. Synth. Proces., 6, № 1, p. 61 (1998).

104. Штанский Д.В., Левашов E.A, Шевейко АН., Мур Дж. //Изв. вузов. Цв. металлургия, № 3, с. 49 (1999).

105. Штанский Д.В., Левашов Е.А., Шевейко А.Н., Мур Дж. Изв. вузов. Цв. металлургия, №1, с. 67 (1999).149

106. Gutmanas E.V. Progr.// Mater. Sel, 34, p.361 (1990).

107. Мержанов А.Г., Боровинская И.П. Докл. АН СССР, 204 (2), р. 429 (1972).

108. Grigoryan Н.Е., Rogachev AS., Ponomarev V.l. Levashov E.A.// Int. J. SHS, 7, №4, p. 507(1998).

109. Григорян А.Э., Рогачев AC., Пономарев В.И., Левашов E.A. Формирование структуры продуктов при безгазовом горении в системе Ti-Si-CJ/Upenp. ИСМАН, Черноголовка (1998).

110. Левашов Е.А., Рогачев A.C., Юхвид В.И., Боровинская И.П.// Физико-хглмические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. М., Бином (1999).

111. Veprek S. Н J. Vac. Sei. and Technology. A. 1999. V. 17(5). Sep./Oct. P. 24012420.

112. Stuber M., Leiste H., Ulrich S., Skokan A. II Zeitschrift Metallkunde. 1999. N 10. P. 774-779.

113. Shtansky D. V., Levashov E. A., Sheveiko A. N., Moore J. J. // J. Mater. Synthesis and Processing. 1998. V. 6. N 1. P. 61-72.

114. Levashov E. A. Il J. FGMForum. FGM News. 1998. N 37. P. 10-13.

115. Щербаков В. A. Макрокинетика самораспространяющегося высокотемпературного синтеза с участием жидкой фазы: Дис. . докт. физ.-мат. наук. —Черноголовка, 1999.— 190 с.

116. Левашов Е.А., Рахбари Р.Г., Штанская И.В., Питюлин А.Н. Разработка новых функциональных градиентных мишеней на основе нестехиометрического карбида титана. И Цветные металлы, 2000, № 3. с. 104.150