Возбуждение молекул F2 и CF4 электронным ударом тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

РГб ол

1 п ДПР 1393

МИНИСТЕРСТВО ПРОСВЕЩЕНИЯ УКРАИНЫ УЖГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

На правах рукописи УДК 539.196

ЧАВАРГА Николай Николаевич

ВОЗБУЖДЕНИЕ МОЛЕКУЛ В И СР< ЭЛЕКТРОННЫМ УДАРОМ

Специальность 01.04.04. — физическая электроника

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Ужгород — 1993

Работа выполнена на кафедре квантовой электроники Ужгородского государственного университета

Научный руководитель - доктор физико-математических наук,

профессор Алексахин И.С.

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук,

профессор Шпеник О.Б.

кандидат физико-математических наук Данилевский Н.П.

Ведущая организация - физико-технический институт низких

температур АН Украины

Защита состоится " 22 " апреля 199з г. в 14°° на заседании специализированного совета К 068.07.02 по физико-математическим наукам при Ужгородском госушверсите-те .( ауд. X8I )» ( г.Ужгород, ул.Горького, 46 ).

С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке Ужгородского госуниверситета ( ул.Кремлевская, 9 ).

Автореферат разослан " lf " /Uaftvu 1993

ЕЛЕЦКАН Д.И. v

Ученый секретарь специализированного совета, доктор физико-математических наук, профессор

МИНИСТЕРСТВО ПРОСВЕЩЕНИЯ УКРАИНЫ . УЖГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

На правах рукописи УДК 539.196

ЧАВАРГА НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ

ВОЗБУЖДЕНИЕ МОЛЕКУЛ И СГ4 ЭЛЕКТРОННЫМ УДАРОМ Специальность 01.04.04.- физическая электроника

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА. РАБОТЫ

...Актуальность темы. Актуальность задачи по исследованию процессов возбуждения, происходящих при столкновениях электронов с молекулами фтора и фторсодерхащими молекулами, определяется широким ех применением в плазменных технологиях сухого травления в микроэлектронике, а такие в качестве рабочего тела различных лазеров. Роль электронной компоненты в низкотемпературной плазме_решающая [1] , поэтому информация о сечениях взаимодействия электронов с молекулами, в том числе в ин -формация о сечениях их возбуждения, представляет собой инте -рес как для анализа и моделирования процессов в разрядах, так и для ех контроля в плазменных технологиях .

Несмотря на свою актуальность, экспериментальные данные о сечениях возбукдания эмиссий молекул электронами отсутствуют для всего спектрального диапазона, по-видимому, объясняется экспериментальными трудностями, связанными с большой химической активностью фтора.

Исследования процессов возбуждения молекул СГД электронны!! ударом проводились в ряде работ, но они имеют фрагментарный характер. С другой стороны, между имеющимися результатами различных авторов-наблюдаются существенные различия, не позволяйте однозначно интерпретировать данные измерений.. Кроме того участок спектра Л с 140 нм оставался неисследованным, а ряд шлро кодолосных эмиссий в видимой области спектра оставался неотог;-дествленным. Все это указывает на актуальность исследований по возбуждении молекул Г2 и СГ4 электронным- ударом .

Молекула представляет интерес как первая в ряду фтор-содержащих,а также как широко используемая в плазменных технолс геях. При выборе объектов исследований мы рассчитывали также, что результаты окакутся взаимодополкякщиии, что и подтвердилосг в ходе исследований.

Цель работы состояла в проведении систематических иследо-ваний процессов возбуждения молекул Г2 и СГ^ контролируемым электронным ударом. В ходе выполнения работы были'решены следующие задачи :

I. Создана экспериментальная спектрометрическая установка для исследований процессов возбуждения атомов и молекул контролируемым электронным ударом в спектральном диапазоне

50-800 нм в интервале энергий 10-300 зВ, содержащая два моно-громатора.

2. Разработана методика исследований химически активных фторсодергащих газов.

3. Исследованы эмиссионное спектры е ч- ?2 я е + С?^ взаимо действий.

4. Измерены энергетические зависшоста сечений возбуждения наблэданддяхся эмиссий от порога возбуждения до 300 зВ.

5. Определены абсолютные значения сечений возбуждения эмиссий.

6. Проведен анализ полученных результатов, отождествлены наблюдающиеся эмиссии и элементарные процессы.

Научная .новизна .

Г. Построена экспериментальная спектрометрическая зззухка-кальная установка, позволягщая проводить доследования по возоузде-Н1Ш атомов я. молекул контролируемым электронным ударом в спектральном диапазоне 50-800 нм.

2. Предложен и реализован способ залщты металлических ■ялеу.с нтов электронной оптики от воздействия фторсодергащнх газов.

3. Предложен и реализован способ калибровка энергетической икала электронного пучка, заключающийся в одновременных зс-слздованиях эмиссий исследуемого и контрольного газов в разных оптических каналах.

4. Впервые проведены систематические исследования эмясси-эшшх спектров з + Г2 2 е + взаимодействий, возбуждаемых ссктроляруекым электронным ударом. Зарегистрированы и гссладо-заны ранее не наблгдавзиеся змкссгв молекулярного фтора л 174 т и Л 290 км.

5. Впервые прозедеяы систематические исследования знерге-?яческих зависимостей сечений Еозбухдення эызссгЗ е + л

! + СГ^ взаи-.'оде^стгиЯ. Всего исследовано 123 ь«2сснз,'*лз них "01 впервые.

6. Бперзке определены абсолгткнэ "значения сэчэЕяг зсзГужон ад экяссзй е + Го взаимодействий а резонансных линий атс^св тсра а + Еза21.:сдз2ствнй.

7. Показано, что лаге сяк Я пеоеход ыолестл ~л дли-о

* *з *

одни А 157,5 нм осуществляется «ежду I з а сс:тс.::-:п-за пределами области »ранка-Хэндоза.

8. Установлено, что при взаимодействиях электронов с молекулами Г^ и СР^ наиболее эффективно образуются возбужденные фрагменты Р2, Р2"^ и С!1/.

9. Показано, что непрерывные эмиссии X 230 , 290 и 400 "нм принадлежат связанно-несвязанным переходам

Научная и практическая ценность работы

1. Разработанная методика позволяет проводить исследования по возбуадению электронным ударом химически активных фторсодер-хащих газов, при этом надежность и достоверность результатов не уступает соответствующим измерениям химически неактивных газов.

2. Полученные результаты имеют фундаментальный характер и несут информацию как о строении исследуемых объектов, так и о параметрах элементарных процессов электронно-молекулярных взаимо действий.

3. Результаты исследований имеют практическое значение для анализа процессов в газоразрядной плазме и уже были использованы при моделировавки процессов в газовом разряде лазеров.

4. Разработанная методика исследований может быть использована и другими авторами при исследованиях электронно-молекулярных взаимодействий как химически активных, так и неактивных газов.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту

1. Экспериментальная установка,- позволяющая проводить исследования по возбуждений атомов и молекул методом газовой ячейки, включая и химически активные фторсодержащие газы в спектраль ном диапазоне ( 50-800 нм ).

2. Способ калибровки энергетической шкалы электронного

пучка.

3. Способ защиты металлических поверхностей элементов электронной оптики от воздействия фторсодержащей среды. .

4. Эмиссионные спектры, образующиеся при взаимодействиях электронов с молекулами и СР^.

5. Функции возбуждения эмиссий от порога возбуждения до 300 эБ.

6. Абсолютные значения сечений возбуждения исследованных эмиссий.

7. Идентификация спектров и элементарных процессов.

Апробация работы. Основные результаты работа докладывались на XI Всесоюзной конференции по физике электронных и атсммых столкновений, Рига, 1984, на Всесоюзном семинаре "Процессы ионизации с участием возбужденных атомов", Ленинград, 1958, на X Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений, Ужгород, 1988, на XI Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений, Чебоксары, 1391.

Объем и структура работы. Работа состоит из" введен!*::, трех глав, заключения и списка основной использованной литературы. Работа содержит 170 страниц, включая 64 рисунка, 16 таблиц и список литературы из 103 наименований.

ОСНОЕНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность работы, указана ее научная новизна и практическая ценность, сформулирована цель исследований, приведены основные положения, зкносимые ка ззцату.

В первой главе содержится обзор литературы по исследованию электронной структуры молекул отмечено, что экспериментальна е исследования по возбужденно молекул ?£ электронным ударом проводились лишь в узком спектральном диапазоне 140 - ' 169 нм [ 2], а измерения абсолютных значения сечений возбуждения ^ отсутствуют для всего спектрального диапазона. Кроме этого, состояния лазерного перехода молекул г^ оставались неотоздествленндаи. [3].

Молекула СРд, как широко используемая в плазменных технологиях и химически менее активная, исследована более широко, но исследования кмеат фрагментарный характер, а участок спектра А < 140 нм оставался неиссдедованкш«. В исследованном зе диапазоне спектра в результатах различных авторов наблпдаятся существенные расхождения - так, разница в порогах возбуждения одной и той же эмиссии в разных экспериментах составляет более 12 эВ. Кроме этого, непрерывные эмиссии X 2о0, 290 а 4СО кы оставались неотоздестЕлешжми [4]. Все это указывает на актуальность исследований по возбухдениэ молекул ?9 и С?^ электроника ударом.

_Зо второй главе дано описание экспериментальной устаков-:-.'л и ее узлов. Лолрогно описана методика определения абсолют-нкх значений сечений ?сзбухде.-.ия эмиссий по стандартыс.*у источнику излучения £ для участка 400-600 ны ) и г.о известным аэ литературы сеченкта возбуждения эиясгхя других объектов ' для

?

участка 50-400 нм ).

Исследования проводились методом газовой ячейки. Схема экспериментальной установеи приведена на рисунке I. Установка имеет два монохроматора - монохроматор (I) для вакуумного

Рис.1. Схема экспериментальной установки.

ультрафиолета С 50-250 нм ) схемы Сейя-Йамиока, спроектированного и изготовленного нами, и монохроматора (2)' для диапазона 200-600 нм. Каждый оптический канал имеет независимую систему регистрации фотоэлектрических импульсов (ф),(7). Приемниками излучения служили: ВЗУ-6 (50—120 нм ), ФЭУ-142 ( 115-250 нм ) и ФЭУ-106 ( 200-80QHM ). Излучение из газовой ячейки (9) выводится через открытую щель в ВУФ-монохроматор и через прозрачные окошка во второй монохроматор.

Дисперсия вакуумного монохроматора составляет—17 А/мм, монохроматора для видимой области спектра 20 А/мм. Плотность тока электронного пучка ~I0~^ А/мм^, давление в газовой ячейке 2-3 х Ю-3 Topp, давление остаточного газа З'Ю"^ Topp, разброс электронов по энергиям -I эВ для 90 % электронов.

Основные исследования состояли в изучении:» эмиссионных спектров электронно-молекулярных взаимодействий, в изучении энергетических зависимостей сечений возбуждения эмиссий от порога возбуждения до 300 эВ, а также измерениях абсолютных: значений сечений возбуждения эмиссий. Калибровка чувствительности установки осуществлялась в видимой области (400-600 нм ) по излучению спектральной лампы СИ 8-<¡00 У, в ультрафиолетовой области (250-400 нм) по результатам для азота, в вакуумном ультрафиолете - по результатам для инертных газов, водорода и молекулы 5 Р^. Ошибки определения сечений возбуждения эмиссий в видимой области не превышают 50 %, в ультрафиолетовой 60 % ив вакуумном ультрафиолете порядка 70 %.

Основная экспериментальная трудность при исследованиях фторсодержащих газов связана с образованием диэлектрических пле-' нок на элементах электронной оптики. Это приводит к сильному искажению результатов измерений - сдвиг порогов возбуждения эмиссий в сторону больших энергий может достигать 20 эВ и более. -Защита электродов пушки от воздействия фторсодержащих газов с помощью графита ( на рис.1, схематически показано жирными линиями ; существенно облегчает проведение экспериментов, огнако пленки образуются и на графите, хотя и значительно более медленно, поэтому проблема калибровки энергетической пкады электронного пучка оставалась актуальной.

Для решения этой проблемы в газовуо ячейку одновременно с исследуемым газом напускался контрольный газ с известными порогами и функциями возбуждения эмиссий и проводились одновременные измерения функций возбуждения эмиссий исследуемого газа э оцнгя* оптическом канале и контрольной эмиссии в другом. Такой способ калибровки не только устраняет озибхи,в измерениях порогов возбуждения эмиссий, связанные с образованием диэлектрических пленок, но и позволяет контролировать форму функций возбуждения.

Кроме основных исследований, в работе проводились дополнительные эксперименты по определению чувствительности термопарных манометров к исследуемым газан, поскольку соответствуя^? данные в литературе отсутствовали. Для ?0 и С?л чувствительности определены разными 1,14 и ' 0.35 -ост~етст-~г::-.о.

3 данной работа был также усовершенствован способ ния концентрации «сенег» в Га-л? ой ячейке, ¿ля этого ь отдельных экспериментах з гачозуо ячейку пометался термсп^гннЛ ддт-г/.:-

так, чтобы его платиновая нить находилась в центре области столкновений к измерялся перепад давлений между местом крепления рабочего датчика давлений и областью столкновений. В нал ем случае, при расстоянии между датчиками - 25 см давление в области столкновений оказалось в 2 ; 0,1 раза меньшим, чем в месте крепления рабочего датчика. Неучег перепада приводит к завышению абсолютных значений сечений возбуждения.

В глазе III представлены результаты исследований е ->- Г9 к е + СГд взаимодействий ( эмиссионные спектры в области 50800 км, типичные функции возбуждения эмиссий от порога возбуждения до 300 эБ и сечения возбуждения эмиссий при энергии электро-' коь 100 зВ ) к приведено их обсуждение.

Для спектров е + взаимодействий характерно наличке э.мкесий связанно-связанных ( резонансных к переходов мезду еоз-буздекнши состояниями ) и связанно-несвязанных переходов Р9, эмиссий связанно-связанных, переходов ^^> а также интенсивных линий атома и иона атома штора.

В вакуумном ультрафиолете наблюдаются резонансные змисси молекулярного фтора, эмиссии связанно-несвязанных переходов ^ Лгаах 157,5 и \таХ 174 нм, а также резонансные линии атома и иона атома фтора. В ультрафиолетовой части зарегистрированы линии иона атома фтора и две эмиссии небольшой интенсивности молекулярного фтора в районе 290 нм. На участке спектра 400-800 нм зарегистрированы эмиссии связанно-связанных переходов молекулярного иона ?2 » линии Зр - Зз переходов Р1, а тагаке полосы небольшой ЕктексиЕНОСти связанно-связанных переходов ^ - так называемой "оранжевой" системы.

Экисси Л 174 нм и Л 290 нм зарегистрированы и исследованы нами впервые. Порог возбуждения эмиссий Л 290 нм указывает на их принадлежность связанно-связанным переходам из сверхвозбужденного состояния У2~ Полосы Л 157,5 и X 174 нм приписаны связанно-несвязанным переходам из К состояния Т^. На длине волны Л 157,5 нм ранее наблюдалось лазерное излучение на связанно-связанных переходах молекулы Т^ * Анализ полученных и имезхужея в литературе данных показывает, что лазерный переход осуществляется мекду 1 и а 3ПЦ состояниям Т^ за пределами области Франка-Кондона.

В отличие от спектров р£, для спектров е + СТ^ взаимодействий характерно наличие интенсивных широкополосных эмиссий молекулярного иона СР£, относительно интенсивных линий П и

линий небольшой интенсивности атома углерода. Для спектров характерно такие отсутствие эмиссий исходной молекулы, а также линий иона атома фтор?.'

Для эмиссий молекулярного фтора обнаружено три типа функций Еозбугдения. Для 1,0,С,В 1ц- X ^переходов характерно наличие относительно острого максиг-ума при 40-45 оВ, кривая I, рис.2. Для полос X 157,5 и Л 174 нм характерно наличие пологого максимума при 90 зВ, кривая 2, рис.2. Третий тип функций гоэ-бугдеяия характерен для переходов из сверхвозбунценного состояния Г2, кривая 3. Этот процесс осуществляется с наименьшей эффективностью из всех наблюдаемых нами для молекулы табл.I.

Элементарные процессы е+ Рг

Таблица I и е + СР4 ззакмодсйстспй

Процесс

По|эог,

! Ю~19с,2 !

|_I

I. е + Р2 Гг*+е ^ + е + Л у 13 150

2. р^+е р^+е + Ну 14,9 36

3. е е + Ьу 18,5 16

4. е. Р*+Р + е 14,5

5. е .16 ■ 230

6. —> "32

7. 18,5 240

8. 40 87

9. е+СР,-^ Сф+Р + ге. 22

10. 15 640

И. 18 56

г

В таблице I приведен список наблюдающихся элементарных процессов, пороги их образования, а также сечения образования. Зечения получены путем суммирования сечений возбуждения соответствующих эмиссий. В работе приводятся сечения возбуждения каждой эмиссии отдельно.

О 50 100 Е<зВ 200 300

Рас.2. Тухзвав возбуждена зуиссий е +• Г? взаимодействий.

Для всех функций возбуждения линий атомарного фтора из молекулы ?2 ( кроме первых резонансных линий X 95,5 и Л 97,4 нм) характерно наличие двух максимумов - относительно острого при 28 эВ и широкого при 80-100 эВ, кривая 4, рис.2. Первый максимум связан с образованием возбужденных атомов фтора в паре с неЕОз-бужденным атомом в процессе диссоциативного возбуждения молекул Р^, процессы 4 и 5,табл.I, а второй с образованием Г* в паре с невозбувденным ионом Р % процесс б, табл.1.

Отличие функций возбуждения первых двух резонансных линий П ( кривая 5,рис.2 ) от остальных линий П связано с относительно большим вкладом в функции возбуждения процесса образования г*в паре с невозбужденным атомом, процесс 4, а также, частично, со спектральным наложением эмиссий С,И ,£ - Х'Х^ переходов молекулярного фтора.

Для всех эмиссий молекулярного иона характерно на-

личие одного типа функций возбуждения с близким к линейному нарастанием в припороговой области, кривая ?, рис.2. от процесс осуществляется с наибольшей эффективностью для е + р£ взаимодействий, процесс 7, табл.1.

Функции возбуждения Р + получены только для двух линий 60,7 и 320,8 нм, 1фивая б, рис.2, так как все остальные линии Р +или перекрываются эмиссиями р£+, или имеют незначительную интенсивность. В отличие от молекул С^ и 5 образование Р +из молекулы р£ осуществляется с эффективностью, сравнимой по порядку величины с эффективностями образования других фрагментов ( процесс 8,табл.1.). _

Для корректного отождествления непрерывных эмиссий е + СР^ взаимодействий дополнительно проводились масс-спектромет-рические исследования, особое вникание при этом уделялось измерениям порогов появления фрагментов. Сопоставление данных масс- спектрометрических исследований с данными оптических исследований, а также литературными данными фотоэлектронных и других исследований позволило сделать вывод, что непрерывные эмиссии Л 230, 290 и 400 нм принадлежат связанно-несвязанным, переходам молекулярного иона

Функции возбуждения непрерывных эмиссий как переходов из С состояния, так и из Ъ состояния имеют практически одинаковую форму, кривая 2. рис.3. Процесс этот осуществляется с наибольшей эффективностью из всех наблюдаемых в наших исследованиях процессов ( процесс 9, табл.1 ).

Рис.3.Функции возбуждения эмиссий е + СГ^ взаимодействий.

Для Функций возбуждения линий атома йтора из СР^ характерно плавное нарастание в припороговой области ;; наличие широкого уаке/адума при 150-160 эВ, кривая I, рис.3..В этом случае возбужденнее атомы *тора образуется з паре с невозоукдеинкм (фрагмент той ( прцесс II, табл.1 .

С.)а£нс".н;е сечений возбуждения оезонанснкх линий П из Го -.1 л'.'ьий ?1 из позволяет сделать вывод, что сродство к пл-йчтрсну *дго%ч; ;".'сра ; 3,6 эВ ) играет существенна роль при

«•¿•.скуя Го и СГ^. Для молекул это проявляет-■•„ утдонуз?«« вероятности образования атомов лтора в высоко-

возбужденных состояниях. Для молекулы СТ^ образование фрагмента Р + осуществляется с незначительной эффективностью, а образование возбужденных ионов атома фтора практически не наблюдается.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

^ Т. Спроектирована, изготовлена и введена з действие современная экспериментальная двухканальная спектрометрическая установка для исследований процессов электронно-молекулярных взаимодействий, включая оригинальные конструкции вакуумного монохрома-тора и источника электронного пучка. Установка позволяет провод-дить исследования методом газовой ячейки в широком спектральном диапазоне 50-800 нм в интервале энергий от порога возбуждения до 300 эЗ.

2. Разработана методика исследования электронно-молекулярных взаимодействий химически активных фторсодернащих газов. Предложен и реализован способ калибровки энергетической шкалы электронного пучка в химически активной среде. Усовершенствован способ определения концентрации мишеней в газовой ячейке.

3. Контрольные относительные и абсолютные измерения, проведенные для атомов гелия и молекул азота, подтверждают работоспособность установки, надежность и достоверность полученных данных.

4. Впервые проведены систематические исследования эмиссионных спектров молекул р£ и С^, возбуждаемых контролируемым электронным ударом. В спектрах зарегистрированы эмиссии молекул ?2> молекулярных ионов Т^ и СР^", линии атомов фтора, а также ионов атомов фтора. Проведено отождествление как ранее наблюдавшихся, но не отождествленных, так и впервые наблюдавшихся эмиссий.

5. Впервые проведены систематические исследования энергетических зависимостей сечений возбуздения эмиссий, измерены пороги появления эмиссий и их абсолютные сечения возбуждения. Установлено, что наиболее эффективно образуются возбужденные фрагменты Т^, и СР4+, а образование С?| г. Р + * из СР4 не наблюдается.

6. Установлено, что лазерный переход молекул Р^ осуществляется между f и а 3ПИ состояниями за пределами области Франка-Кондояа.

7. Результаты исследований носят фундаментальный характер, имеют практическое значение и уже использовались при моделировании элементарных процессов во фтореодержащих средах лазеров.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ ИЗЛОЖЕНЫ В СЛЕДУЮЩИХ РАБОТАХ

1. Фельцан П. В.., Чаварга H.H., Сушанин И. В. Возбуждение молекул F£ и Хер£ электронны:- ударом. Тезисы докладов IX Всесоюзной конференция по физике электронных и ато;дных столкновений. Рига, 1984, т.II, с.34.

2. Алексахин И.С., Чаварга H.H., Шельцан П.В., Сушанин И.В. Спектры эмиссий в вакуумной ультрафиолетовой области (50-200 км) при взаимодействии медленных электронов с молекулами С?^. Тезисы докладов на УН Всесоюзной конференции по физике вакуумного ультрафиолета и его взаимодействию с веществом. ЕУФ-86. Рига, 1986, с.125.

3. Славик В.Н., Чаварга H.H., Алексахин И.С. ,Фельцан П.В. Масс-спектрометрическое исследование диссоциативной ионизации молекул CF4 электронным ударом. ЖТФ, т.57. в. 12. 1987, с.2409-2411.

4. Славик В.Н., Чаварга H.H., Волкова С. Е. ",Фельцан П.В. Алексахин К. С.. Ионизация • CF^ электронным ударом. Тезисы докладов на Всесоюзном семинаре "Процессы ионизации с участием возбужденных атомов". Ленинград, IS88, с.74-75.

с. Чаварга H.H., Славик В.Н., Чернигова И.В. «Фельцан П.В., Алексахин И.О. Возбуждение эмиссий в области 50-800 ни при столкновении медленных электронов с молекулами F^. Тезисы докладов на Всесоюзном семинаре "Процессы ионизации с участием возбужденных атомов". Ленинград, I988,c.72-73.

6. Чаварга H.H. Определение чувствительности термопарного манометра к некоторым фторсодержащим газам. Тезисы докладов на X Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений. Ужгород, 1968, с. 163.

7. Чаварга H.H., Славик В.Н., Чернышова И.В.,Фелъцан Ö.B. Алексахин Я.С. Механизмы образования возбужденных атомов при '¡уаимодействии электронов с молекулами Fg и CFa. Тезисы цок-л^до» на X Всесоюзной конференции по физике электронных и атемньк столп-.овений. Ужгород, 1983, с.64.

8. Славик В.Н., Чаварга H.H., Волкова C.S., Угрин С.Ю., Алексахин И.С. Процессы ионизации СР^ электронным ударом. Тезисы докладов на X Всесоюзной конференции по Физике электронных и атомных столкновений. Ужгород, 1988, с. 65.

9. Чаварга H.H., Славик В.Н..Фельцан П.В.,Алексахин И.С. Исследование'излучательных переходов в СРД, стимулированных электронны:.? ударом. Тезисы докладов на X Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений. Ужгород, 1988, с. 66.

10. Чаварга H.H. Определение концентрации исследуемых частиц в газовой ячейке при исследованиях электронно-молекулярных столкновений в области вакуумного ультрафиолета. Тезисы докладов на УШ Всесоюзной конференции по физике вакуумного ультрафиолета и его взаимодействия с веществом. Иркутск, IS89, с.154.

11. Чаврга H.H., Славик В.Н.,§ельцан П.В..Алексахин И.С. Возбуждение резонансных переходов атомов фтора при взаимодействии электронов с млекулами Fg и CF/i. Тезисы докладоь на УШ Всесоюзной конференции по физике вакууиногг ультрафиолета и его взаимодействия с'веществом. Иркутск, 1989, с.233-234.

12. Чаварга H.H., Славик В.Н. ,Фельцан П.В.,Алексахин И.С. Спектры э'миссий в области 115-200 нм при столкновении медленных электронов с молекулами Fg. Тезисы докладов ка УШ Всесоюзной конференции по физике Еакуумного ультрафиолета и его взаимодействия с веществом. Иркутск, 1989, с.235-236.

13. Чаварга H.H. , Славик В.Н. .Чернигова И.В. .Фельцан П.В. , Алексахин И.С. Абсолютные сечения возбуждения эмиссий Fg электронным ударом в области 50-125 нм. Тезисы докладов на УШ Всесоюзной конференции по физике вакуумного ультрафиолета и его взаимодействия с веществом. Иркутск, 1989, с.237-233.

14. Чаварга H.H., Славик В.Н..Сушинин И.В.,Фельцан П.В. Образование возбужденных ионов Fg+ при взаимодействии электронов с молекулами Fg. Тезисы докладов на XI Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений. Чебоксары, 1991, с.37.

15. Чаварга H.H., Славик В.Н., Алексахин И.С. Спектроскопические исследования образования возбужденного фрагмента F + из молекулы Fg. Тезисы докладов на XI Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений. Чебоксары, 1991, с. 39.

16. Славик В.Н. .Чаварга H.H., Фельцан П. Б.,Данашевский М.В. Возбуждение эмиссий оранжевой системы полос молекул F2 электронным ударом. Тезисы докладов на ХГ Всесоизной конференции по • физике электронных и атомных столкновений. Чебоксары, 199Т, с.38.

ГГ. Чаварга H.H. Установка для исследований спектров излучений атомов и молекул (50-800 ни), стимулированных электронным ударом. Тезисы докладов на XT Взесопзной конференции по физике электронных и атомных столкновений. Чебоксары, Т99Т, с. 192.

18: Чаварга H.H., Славик ЕН. Спектроскопические исследования процессов возбуждения при взаимодействии электронов с молекулами Fg. В книге "®1зика электронных и атомных столкновений", * 12, Санкт-Петербург, Т99Т, С.209-2Т8.

ЛИТЕРАТУРА

Г. Словецкий д. и. Диссоциация молекул электронным ударом.// Веб. "Химия плазмы", вып. t. 1974, с. 156-202.

2. Direct observation of 157 пт foser phoions -from the 4 state- о/ F¿ ßy hight - r e. sü fu ti on efectron ún -pact / Soence-D., Tonaba. И., DilLon M.A. Lani'k K. // J.Pbys. 3. At MoL.Phijs.- 1986 - Vol- 19. - L S63 - £.573 .

3. Theoretical study offfie. recently oSs&rved Hj sta,ie-ot Fz molecule /. Sokai Т., Tanaca. 1С,M ur&kamiA.-.&•{ ai /í J.Pfitfs.B. И- Moí-Opí. Phys.~/388,- N2.1.~ Р'-гг9-237.

4. /Wfs J. P.M. Jon aiid electron impact ¡onizcution Cty studied vio. ¿IV emission I/ Chem -Phys. Le-íi; — /385;- Ni.- P. IH-(¿O.''

5. Rice 1-K-! ríaus A.K., Woodworíb jf. R. AlUV emissions from mixíures, o4 F¿ onof íhe. noéCe. qase.5 -A mo¿ccu¿ar P^ios&r di (S75~ A // App¿-Pht/s. Lett.- 1977. - Vo¿.31, V i.— p. 3/-33.