Возможности развития электронной оже-спектроскопии: учет влияния шероховатости поверхности и восстановление формы спектров тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.04 ВАК РФ

РЯЗАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

V

Нп правах рукописи УЛ1С 539.27*573.533

Яковоггко Андрей В.июнтинович

ВОЗМОЖНОСТИ РАЗВИТИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ОХЕ-СПЕКТРОСКОПИИ: УЧЕТ ВЛИЯНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ И ВОССТАНОВЛЕНИЕ ФОРМЫ СПЕКТРОВ

Глтциплыюгть: О 1 .(1.1 .11-1 - фИИИ'НМЖ.'И! П.ЖЧ'.Тр'ШНК.')

Лпторофор.чт диссортпцпи Не) соисклнио учоиоП стопонн КПНЛИДЛТГ) фипико мггпч.птичооких плуге

ПШШ>. 1'1'М

Работа выполнена п Нпучгга-иссладопатол[>пком тохнологичос институте.

Научный руководитель: доктор физико-математических наук,

профессор Горелик Виктор Абрамович

Официальные оппоненты:

доктор физико-математических наук Садофьей Юрий Григорьевич кандидат физико-математических наук Няумкин Александр Васильевич

Ведущая организация:

Научно-исследовательский институт атомных реакторов, г.Димитропогряд

Защита состоится »22,. ^ОЛЬ^994г. в часов на засада

специализированного Совета К113.10.0? при Рязанс

государственном педагогическом университете по адресу: 390 г.Рязань, ул.Свободы, д.46.

С диссертацией можно ознакомиться в научной биГ5лиот Рязанского государственного педагогического унипорситота.

Автореферат разослан " /V" октября 1994г.

Ученый секретарь

специализированного Совета, кандидат у __^

физико-математических наук, доцент V ^ 'Ь Чиркин М

*

Актуальность работы. Электронная ожп-сгшктроскопия (00С)

V

столп п настоящее время одним из основных мотодоп изучения поверхности образцов нп только п науко, но и п промышленности - п металлургии, микроэлектроника, материаловедении. Это объясняется кпк тем, что ЭОС дает информацию о количественном составе самых верхних монослоев приповерхностной области объекта, так и тем, что, анализируя форму оже-спектров, можно получить информацию ой электронном строении этой области. Такая возможность получать оба вида информации важна еще и потому, что они нередко оказываются взаимосвязанными. Например, восстановление фоу>мы оже-спектров позволяет корректно измерить необходимые для количественных расчетов ожа-сигналы, а концентрации компонентом п объекте могут оказывать значительное влияние па форму спектров.

. У ¡клюнь развития аппаратурных средств ожо-анализа и автоматизации оже спектрометров очень высок. Однако, во мпогих случаях но удается в полной мере использовать их возможности. Это связано с отсутствием или недостаточностью развития методов восстановления ожо-сиектров и учета факторов, влияющих на результаты оже-анализа. Так, отсутсЛвио мотодоп учета влияния шероховатости поверхности на ожо-сигнал часто делает ненадежной информацию, получаемую с помощью количественной ЭОС. А удовлетворительное восстановление формы спектров часто невозможно из-за отсутствия подходящих к соответствующей физической ситуации мотодоп. Кроме того, явно недостаточно применяются сов1н;мешше математические и вычислительные методы работы с данными.

Поэтому актуальной являотся проблема развития электронной оже-спектроскопии в указанных направлениях. F.e решение позволит повысить достоверность информации, получаемой с помощью ЭОС. В этом и состоит цель настоящей работы.

Выбранная цель в работе достигается решением следующих задач:

1) построение физико-математической модели влияния шероховатости поверхности на ожо-сигнал, включающей эффект затенения;

2) разработка метода сглаживания оже-спектров, свободного

от предположений о гауссовском характера шума и о накорроли ванности .сигнала и шума;

3) развитие метода восстановления формы оже-споктра

, измерения аппаратной функции анализатора в смысле расшире класса функций и формы представления спектров, для которых справедлив;

4) разработка метода восстановления формы оже-спектров их дифференциального вида, полученного посредством модуля отклоняющего потенциала анализатора'; , который не ограни условием малой модуляции.

Научная новизна результатов работы заключается в след

щем:

- впервые разработана физико-математическая модель вл ния шероховатости поверхности на оже-сигнал. Эта модель вк чает в себя затенение движения электронов. Показано, что наклонном падении первичных электронов возникает анизотро распределения оже-тока по азимутальному углу;

- впервые разработан метод сглаживания оже-спектров, котором не сделаны предположения о гауссовском распродоло шума и о некоррелированности сигнала и шума;

- получены необходимое и достаточное условия сходимо ' метода восстановления формы оже-спектров без измерения пп

ратной функции анализатора. Показана справедливость метода спектров не только в интегральном, но и в дифференциаль виде;

- разработанные методы восстановления формы оже-споктр полученных с помощью модуляции отклоняющего потенциала пня затора, по сравнению с предшествующими впервые не ограпич условием малой (2555 от ширины оже-линии) амплитуды модуляци

Достоверность результатов работы подтверждают коррскт использование математического аппарата и вычислительных мо дов и согласие расчетов с экспериментальными данными, п числе с известными в^ литоратуро.

На защиту выносятся следующие положения: 1) провести учет влияния шероховатости поверхности исс

дуемого образца нп ожо~сигнал позволяет моделирование этого ЭффоКТП, осиоилшюп ип представлении шероховатости п виде СТаЦИОНВрНОЙ СЛуЧПЙНОЙ функции ПОППрХПОГ.ТНЫХ коордиипт:

2) вычисление разности модулой Фурьо-обрпзов зарегистрированного сигналя и шумп диет возможность осуществить эффективное сглаживание оже-спектров;

3) вос.станоплоние формы ожо-сппктров Поз измерения аппаратной функции анализатора применимо но только для их интегрального, но и дифференциального вида и осуществимо при уровне шума до от амплитуды спектра;

4) восстановить форму оже-спектра, полученного с помощью модуляции отклоняющего потенциала анализатора, позволяет решение уравнения, свертки, связывающего аппаратную функцию системы регистрации и зарегистрированный и истинный спектры.

Научная и практическая ценность данной роботы состоит в следу идем.

На основе разработанной модели влияния шероховатости поверхности на оже-сигнал стало возможным делать поправки на шероховатость образца при проведении ожо анализа. Разработанные и развитые методы сглаживания и восстановления формы оже-спектров дают возможность проводить эти операции в ситуациях, не позволявших корректно выполнять их старыми методами. Все методы доведены до практической реализации на ЗВМ.

Принципы и пути построения модели влияния шероховатости поверхности на оже-сигнал будут во многом справедливы при создании аналогичных моделей в других видах электронной И ионной спектроскопии, в электронной микроскопии, в оптике, в исследованиях различных видов эмиссии электронов. Методы сглаживания и восстановления формы оже-спектров могут также использоваться в других видах спектроскопии.

Результаты диссертации были использованы в ходе выполнения нескольких НИР, что позволило улучшить эксплуатационные характеристики оже-глюктромотров. Имеется соответствующий1 акт использования результатов.

Апробация работы и публикации. По результатам проведенных исследований опубликовано 11 работ, сделан доклад па XXI Все-

союзной конференции по эмиссионной электронике (Лешшгрг 1991 год).

Структура и объем работы. Диссертационная работа состс из введения, трех глав, заключения, списка цитируемой лпто! туры из 97 наименований. Она содержит 91 страницу, 15 рис.) ков, 1 таблицу.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ ,

Во введении обоснована актуальность темы диссертащ определены цель и задачи работы, сформулированы выносимые защиту положения, отмечены новизна, научная и практичен ценность результатов исследований.

В первой главе сделан обзор литературы, в котором проан лизировано современное состояние проблемы. Показано, что оже-анализе одной из основных нерешенных проблем является уч влияния шероховатости поверхности образца на оже-сигнал. Ра смотрены факторы, искажающие форму оже-спектров, и существу щие методы ее восстановления. Указаны ограничения этих мет дов. Освещены основные вопросы, требующие решения по эт проблеме.

Глава завершается постановкой решаемых в работе задач.

Вторая глава посвящена построению фиэико-матвматическ модели влияния шероховатости поверхности на оже-сигнал. 1 ;как аналогичной модели к настоящему времени не было создан то она строилась в первом приближении. Это значит, что рассматривались вторичные эффекты такие, как взаимодейств отраженных первичных электронов с неровностями, упругое отр жение оже-электронов от неровностей и т.д.

В пункте 2.1 проведено описание шероховатой • поверхпос на основе вероятностногс подхода. Шероховатость рассматрип лась как стационарная случайная функция поверхностных коорд нат г(х,у) с нулевым математическим ожиданием и одинаковой каждой точке плотностью распределения вертикальной координа Г(й). ПредпЬлагалось, что характерные размеры неровност

много больше глубины выхода оже-элек.тронов (т.е. для применимости данного описяпия нижний предел этих размеров составляет величину порядка 10-20нм). Ото давало следствием то, что эффект шероховатости не зависел от энергии электронов (что соответствует известным экспериментальным данным), и то, что шероховатость .можно было представить как совокупность элементарных площадок с распределением по наклонам g((;) (наклон £=tglp■, где р - угол наклона элементарной площадки к плоскости, образованной математическим ожиданием) и по азимутальному углу <1(ф"). Так как шероховатость считалась изотропной, то )=(2л)"1.

Для гауссовской Г(я) распределение по наклонам является реле-енским: £)=(£/72)ехр(-0.5£2/гг)• Прй этом параметр 7 равен среднеквадратичному отклонению производной профиля поверхности.

Для применимости вероятностного подхода считалось также, что характерные размеры неровностей мпого меньше диаметра первичного пучка электронов. Это определяет верхнюю границу размеров неровностей величиной 2-Юмкм.

В пункте 2.2 на основе рассмотрения оже-тока с элементарной площадки и проводимого затем статистического усреднения по всем площадкам было получено следующее выражение для оже-тока с шероховатой поверхности без учета затенения движения электронов:

где к - определяемый материалом образца коэффициент, не зави-

0

сящий от углов; Т - ток перпичпых электронов; коэффициент М

а - угол падения первичных электронов; 0 и ч> - полярный и азимутальный углы вылета оже-электронов. Область интегрирования V определяется соотношениями углов п,0,Ц1.

Для изотропной шероховатости и релеепского вида при

некоторых значениях а,0,ч> выражение для М получается аналитическим. Имеем

при а=0, либо при ф=0 и вйя

р

учитывает влияние шероховатости и имеет пид:

- б -

М = \ [1 + erI(1/(/?Ttg0)) +

+ C2/rt)1 /zr tgö oxp(-1/(2*ztß:?0)) 1,

при и 0<a

M - \ [1 + eri (1/(/?]f tga)) t

+(2/я)1/гг tgö exp(-1/(2|z tgza))],

• при

у

M = 2 [orf( 1/(/2ytga)) t 0ГГ( 1/(/?ytg0)) K?/n)w?r l/;n

•(oxp(-1/(2rZtgz0)) - oxp(-1/(2r?4gZ«)))i. при 0-0

M = jy [ 1 f orf(1/(/?rtga))].

Здесь orf(t) - известная функции ошибок.

При других значениях а,0,ф вычисление М без особых тру костей осуществляется численными методами.

В пункто 2.3 рассмотрено затоняющое воздойстпио шорохов тости поверхности на движение олоктронои. Било показано, ч вероятность прохождения плоктроном участка Т без столкнопоп с норовностями равна oxpf~N*(7,,0.T) ], где N* • среднее чис выброс.оп случайной функции, описыиающей поверхность, над тр окториой электрона, вилетовшого в точке 7, под углом 0 к норм ли к средней плоскости. На основе данной вероятности с учет прохождения как первичны,:, так и оже-электронов посродств< статистического усреднения по точкам вылета было получп-следующее выражение для коэффициента, учитывающего затонение

ш

S= lim Jr(z)exp(-N<'('/,,a,'r)-N4'(7.,0,T) .

т—X»

-ю

Для гауссовской поверхности и прямолинейных траектор! олоктроков это выражение аналитическое:

S=[1-exp(-b(a)-b(0))]/(b(a)+b(G}), где Ъ(0) = j I(2/n)wS tgO ехр(-1/(2/z tgz 0)) +

+егГ( 1/(/?/tg0))-n,

b(u) имеет такой же вид, что и Ь(0), с соответствуют'

НПМПНОЙ 0 111) <».

В пункт» ■ 4 рассмотрен результирующий эффект шероховатости попв'рхност и в электронной оже-'с)пектроскопии. Окончательное выражение для ожи-тока на основании пунктов 2.2-2.4 имеет вид:

T,kT «liilíl MÍ?.

р СО!?«

Оффокт шероховатости поверхности описыпаотся произведением М5. В случпо гауссопской поверхности М является функцией четырех параметров (у,«,0.у), a S - трех (у,а,0). Из этих параметров только у характеризует шероховатость. Таким схЗра-яом, n разработанной модели в случае гауссопской поверхности для учета он плиннип на ожо-сигиал достаточно знать лишь один параметр, описывающий шероховатость: сродноквадратичное отклонение ирои: пи »дне 1Й профили поверхности (или параметр ролоевско-го распределении наклонов).

Результирующая углопая зависимость оже-тока определяется следующим выражением:

R= HS.

СОВ«

При наклонном падении первичных электронов М зависит от азимутального угла у. Следовательно, п этом случае даже при изотропной шероховатости, оже-ток имеет анизотропное распределение по азимутальному углу. Это видно из рис.1, где приведены зависимости R(0) при у=1.0, а=45° и различных значениях <|i. Анализ таких зависимостей показывает, что для у=0.2, для у=0.5 при п до 45°, для 7=1.0 при а до 15° азимутальной анизотропией R можно пренебречь. 0 ростом же уровня шероховатости угловое распределение ожо тока существенно ^меняется по сравнению с плоским случаем, в целом значительно уменьшаясь.

На основе угловых распределений оже-тока был рассчитан получаемый п цилиндрическом зеркальном анализаторе ожв-сигнал для сравнения с имеющимися экспериментальными данными. При умеренных уровнях шероховатости пти данные лежат в непосредственной близости от расчетных, при больших отклоняются вниз. Обсуждены возможные причины этого отклонения. С учетом этих причип ход расчетной кривой довольно хорошо согласуется с поведением экспериментальных данных, что в существенной степени подтверждает справедливость разработанной модели.

- о -

В третьей глава рассмотрены метода восстаноплонил фо[ охэ-спектров, искаженной шумами и аппаратурным воздействием.

В пункта 3*1 разработан мотод сглаживания ожо-сиоктрс спободний от традиционных предположений о гоуссопском харлк" ре шума и о некоррелированности сигнала и шума- Он основан оиммотричноати раапродолания рпзиооти фаз между Фурье обра-.ч оже-спектра и шума (это означает, что данный метод примо! для.наиболее распространенной ситуации, когда шумовые откло! пия от сигпола и в положительном, и п отрицательном пппрг^ киях имеют одипаковые вероятности). В итого была получ< следующая оценка модуля Фурье-образа истипного спектра:

где и Р(и) - модули Фурье-образов зарегистрированш

(несглаженного) спектра и шума. -

Соответственно, коэффициент фильтрации имоот слодукх:

вид:

к=1-х, где х=Г/К.

Выло пропедепо сравнонио полученного коэффициента фи. трации с коэффициентом фильтра Випера, для которого

к=1/(1+хг).

Рассматривались случай равномерного распределения указ! ной разности фаз (это соответствует некоррелированным сигн; и шуму) и случай косинусоидального распределения. Были выт лв1Ш коэффициенты фильтрации, соответствующие мато,матическ< ожиданию Б для этих распределений, а также соответствую каждому виду коэффициента фильтрации среднеквадратичные оап ки. Анализ полученных данных показал, что в случаях, ко! сигнал и шум коррелировали и распределение фаз между Н1 имеет неизвестный вид, для сглаживания спектров лучше испо. зовать разработанный метод.

Предлагаемый метод сглаживания был испытан па реалы оже-спектрах. Сглаженный этим методом ожо-споктр углер! приведен на рис.2. Его форма вполне соответствует форме сп< тров, полученных с высоким отношением сигнал/шум, что гово о хорошей эффективности розработаппого метода.

_ g _

В нункто 3.? рпппит мотод посстпповлония формы ожэ-сноктрои без измерения апнаратпой функции анализатора. Этот митод был предложен Гороликом В.A. п связи с отсутствием корректного способа для измерения аппаратной функции анализатора (поскольку она ааниоит от неизвестного априори углового рас-•предилвни']! ожо моктроноп). Здесь в ^ачоство исходных данных иснши.аукпч'.и дни ожи оипктра » (К) и'н (И), ппрпгпстрироиашшо о помощью цилиндрического зеркального анализатора с продтормо-жением при разности потенциалов между цилиндрами ÄV^ и ДУг соответственно. В этом случае вштпрптпыо функции для этих спектров связаны соотношением К2(E)=Kt(тЕ). где ro=ÄV /ДУ2. На его основе получается следующее решение для Фурьо-обраэов истинного спектра и аппаратной функции:

® m u (ы/m1) ~ ® u (u/m1)

z(w)= m u (ы) п -*=—^--« К (u)= П —^-.

г i.i u (u/m1) i.o m и?(ы/т')

Вывод rmix пыражпмий » диссертационной робото, в отлична от Гороликл В.Д.. сдоллн способом, автоматически покаэывавщом единственность решения (с точностью до постоянных взаимно обратных множителей пород 7.(ы) и К^и), что но сказывается но их форме).

Далее получены условия, при которых решение существует:

- необходимо ni>1, т.е. AVj>AVz (чтобы аргумент в сомножителях оставался коночным);

- необходимо, чтобы функция g(u)=ln[mu2(u)/uj(u)] была ограниченной, а в пулевой точке непрерывной;

- достаточно, чтобы при u—Ю функция g(u) являлась бесконечно малой величиной более высокого порядка, чем (lnu)"1.

Эти условия определяют более широкий по сравнению с известным рано» класс функций, для которых справедлив данный метод.

Кроме того, в процессе решения 1шгде не использовалась информация о виде спектра. Поэтому данный метод справедлив не только для спектров в интегральном, но и в дифференциальном представлении.

Впервые была осуществлена практическая реализация метода. На рис.За изображены два MNN оже-спектра серебра, взятые в качестве u (В) и u (В). Для первого спектра разрешение состав-

лило 1.4еВ, для второго - 0.7оВ, то опт!, т-2. Уровень шума спектрах порядка от пик-пик амплитуда. При посстанонлш

у

* применялись методы решения некорректных задач и сглаживание разработанному в диссертации методу. Восстановленные сп'октр аппаратная функция изображены па рис.36. Очовидно, что хор< проявилась тонкая структура спектра серебро. Она вполне сос оитствует спектрам, иолучошшм с высоким разрешением. I возрастании же шума до уровня 2% от пик-ник амплитуды peзyJ таты восстановления существенно ухудшались.

Пункт 3-3 посвящен разработке метода посстпноплония о> спектров из их дифференциального вида, полученного цосредст! модуляции отклоняющего потенциала анализатора. Выделение п] изподной споктра в таком случао осуществляется о помощью с! хронного детектировании. Перед отим сигнал усиливается Л1 широкополос!ШМ, либо резонансным усилителем. Существую методы снижения модуляционных искажений в полученных та! системой спектрах ограничены поличиной модуляции до у1юннн от ширины оже-линии. Поэтому в диссертации был разрабо-метод восстановления, не ограниченный условием малой моду, ции.

С помощью Фурье-преобразования уравнение, описывакх регистрируемый сигнал, было приведено к уравнению сверт] связывающему аппаратную функцию системы регистрации и зареп трированный и истинный спектры. Для синусоидальной и прям< гольной модуляций были получены Фурье-образы аппаратной фу; ции я(и) в явном виде. В случае синусоидальной модуляции . широкополосного усилителя а(ы)=1И (ит), для резонансного у лителя а(и)=и1(иш). Здесь ш - амплитуда модуляции, функция Струве нулевого порядка, Л^(х) - функция Бесселя рода 1 порядка. В случае прямоугольной модуля а(ы)=1к е1п(ыга), где к=1 для широкополосного усилителя и к= для резонансного усилителя. Долее с помощью методов реше некорректных задач решалось уравнение свертки.

Для прямоугольной модуляции был разработан еще один мо восстановления. В атом случае исходное уравнение было приве но к двум простым выражениям:

Г(Е)=1ЧЕ+2т)-гГ(Е+т),- Г (Е)=2Р(Е-т) + Г (Е-.2т).

Пти выражения представляют собой рекурентныо формулы, которые позволяют получить истинную форму спектра Г(Е) по измеренной форме К(Ю- Причем, по порпой формуле пычисленип проводится с праной стороны сноктра, по нторой - с левой. Здесь нужно отметить, что если спектр Т*( К> получен для участка [ I? ,], то чтобы восстановить Г(К) на этом жо участке, до начала вычислений, должны бить известны ПР.) па участке длиной Гт и Р.) па .участке длиной т. непосредственно примыкающих К соответствующему краю участка (Г. .1 . Обычно зто не является щишнчстпиом 1с применению этих формул, так как п спектрах, как правило, присутствуют протяженные участки практически постоянного сигнала.

Отметим также, что п обоих метода* восстановленный споктр И Я) будет иметь не дифференциальный, а интегральный вид.

Разработанные методы были испытаны при восстановлении реальных оже спег.т^ов. На рис. 4 л приведен исходный Т.ММ ожо-снектр цинка, зарегистрированный с амплитудой синусоидальной модуляции 1. Г»:»И с использованием резонансного усилителя. На рис.46 приведен восстановленный по первому методу споктр В дифференциальном и интегральном видах. При восстановлении применилось сглаживание но разработанному и п.1.1 диссертации методу. На рис.-Ча приведен исходный МШ оже сцпктр серебра, зарегистрированный с амплитудой прямоугольной модуляции 1.5эВ, на рис.г;б 'восстановленный по второму методу (по порпой формуле) спектр в дифференциальном и интегральном видах. Дифференциальный вид в обоих случаях был получен из интегрального с помощью .умножения его Фурье-образа на [и.

Улучшение разрешения топкой структуры спектров очевидно как дли серебра, так и для цинка. Для оже линий серебра между пиками Т4г).г>зП и 1г>1аП, между пиками Т>г>зВ и ТЗбэВ и цинка между пиками г>Г>аН и г)г)аП величина использовавшейся амплитуды модуляции К'ЗзВ значительно больше ограничения предшествующих методов восстановления, равного ?г)% от ширины оже-липии. Форма восстановленных спектров вполне соответствует спектрам, полученным без использовании техники модуляции отклоняющего потенциала анализатора. Псе зто показывает хорошую эффективность разработанных м<ггодоп.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ДИССЕРТАЦИИ

1. На основе вероятностного подхода разработана в перпс приближения физико-математическая модель влияния шероховатое! поверхности на охе-сигнал. Показано, что в случае гауссовскс поверхности для учета ее влияния на ожв-ток достаточно знат лишь один параметр, описывающий шероховатость: среднеквадрг тичное отклонение производной профиля поверхности. Рассмотрев затенение неровностями поверхности движения электронов. Общт эффект выражается в том, что с ростом уровня .шероховатое! существенно изменяется, в основном уменьшаясь, угловое распре деление оже-тока по сравнению с плоским случаем. Известнь вкспериментальные данные при умеренных уровнях шероховатост соответствуют данным, рассчитанным согласно разработаннс теории.

2. Разработан метод сглаживания оже-спектров, основаннь на сопоставлении Фурье-образов спектра и шума. Метод, в отли чие от других методов, свободен от обычных предположений некоррелированности сигнала и шума и о гауссовском характер шума. Показано, что в случае коррелированного с сигналом шуи этот метод корректнее метода винеровской фильтрации.

3- Развит метод восстановления формы спектра без измере ния аппаратной функции анализатора. Получены условия сходимос ти метода, что позволило расширить класс функций, для которь он действителен. Показана справедливость метода не только дл спектров в интегральном, но и в дифференциальном виде. Осущес твлена практическая реализация метода при наличии в спектра шума до уровня от пик-пик амплитуды.

4. Разработан метод восстановления формы оже-спектров полученных посредством модуляции отклоняющего потенциала ана лизатора. Он основан на решении уравнения свертки с получении в явном виде Фурье-образом аппаратной функции системы регис трации. В случае прямоугольной модуляции разработан еще оди метод восстановления формы спектров, основанный на просты рекурентных формулах. Данные методы, в отличие от уже сущес твовавших, не ограничены условием малой (25% от ширины оже линии) амплитуды модуляции.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ ОПУБЛИКОВАНЫ В СЛЕДУЮЩИХ РАБОТАХ:

1. Горелик В-А., Протопопов О.Д., Самсонопа Г.М., Яковен-ко A.B. Измерение коэффициентов элементной чувствительности на оже-спвктрометре 09И0С-2// Электронная техника, сор.8, 1983« в.5, с.38-39-

2. Барбашов М.Ю., Горелик В.А., Протопопов О.Д., Самсоно-ва Г.М., Яковенко A.B. Атлас око-спектров для количественного и качественного оже-анализо// Электронная промышленность» 1984, в.2(130), с.33-35-

3. Барбашов М.Ю., Горелик В.А., Кудинова Л.В., Протопопов 0.Д., Яковенко A.B. Программное обеспечение оперативного количественного ожо-апализа// Электронная промышленность, 1987, в.3(161), с.64-65. (

4- Горелик В.А., Протопопов О.Д., Яковенко A.B. Повышение . точности регистрации дифференциальных спектров с помощью иг линейной комбинации// ПТЭ, 1987, N4, с.155-156.

5- Яковенко A.B. 0 влиянии шероховатости поверхности на оже-сигнал// Поверхность, 1990, N12, с.44-51•

6. Яковенко A.B. Оценка влияния шероховатости поверхности на оже-анализ// XXI Всесоюзная конференция по эмиссионной электрокике, Ленинград, 1991- Тезисы докладов, т.2, с.137.

7- Яковенко A.B. Сглаживание спектров с использованием информации о. частотном составе шума// ПТЭ, 1991, N5, с.91-94.

8. Яковенко A.B. Влияние шероховатости поверхности на оже-сигнал при наклонном падении первичного электронного пучка.- Рязань, Науч.-исслед. технолог, ип-т, 1991, 23с.- Деп. в ВИНИТИ 29-01-92 N303-B92.

9- Яковенко A.B. Затенение движения частиц шероховатостью поверхности.- Рязань, Науч.-исслед. технолог, ин-т, 1994, 7с.-Деп. в ВИНИТИ 28.02.94 N475-B94.

10. Горелик В.А.. Яковенко A.B. Восстановление формы спектра без измерения аппаратной функции анализатора.- Рязань, Ряз.гос.пед.ун-т, 1994. 1?о.- Доп. в ВИНИТИ 15.03-94 N616-B94.

11. Яковенко A.B., Полонский Г>.Л., Протопопов О.Д. Метод восстановления формы электронных спектров в дифференциальном представлении. Рязань, Науч.-исслед. технолог, ин-т, 1994, 10с.- Доп. в ВИНИТИ 18.02.94 N4 33-B94-

Рио.1. Результирующая зависимость оже-тока от*'угла выл< оже-электронов 0 при у=1.0 и а=45°: 1 - Ч>=О, 2 - 90°, 3 К)=180и. Штриховая линия соответствует плоскому случаю.

^Д1 м*

Рис.2. КЫ» оже-спектр углерода: а - исходный, участок сглаживания выделен вертикальными липиями; б - сглаженный отмеченном участке.

л

V

351 Г 355

_

Рис-3. а - взятие п качество и^К) и и?(К) МШ оже-сиоктрн серебра (т-=?); б - тихтпиоилпшию сиоктр серебра я аппаратная функция. Чиоленнно значения дани и ,чВ.

а

5

Рис.4. LMM ожо-спектр цинка: а - исходный, зарегистрированный с амплитудой синусоидальной модуляции

1.5эВ; б - восстановлоппыа диффвре1щиальный и интегральный. Числекные значения даны в аВ.

а

5

серебра: а - исходный, 3f гистрированный с амплитj прямоугольной МОДУЛ5

1-5зВ; б - восстановле» дифференциальный и интегр? ный. Числоннно значения j в dB.