Анализ высокочистых диметилкадмия и диэтилцинка химико-спектральным методом тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.19 ВАК РФ

РГ6 од

- ^ Институт ХИМИИ ВЫСОКОЧИСТЫХ ВЕЩЕСТВ РАН

На правах рукописи УДК 543.064+547.254.7

ГОРДЕЕВ Андреи Михайлович

ЛНЯЛИЗ высокочистых ДИМЕТИЛКЯДМИЯ и диэтилцинкя ХИМИКО-СПЕКТРАЛЬНЫМ МЕТОДОМ

Специальность 02.00.19 — химия высокочистых веществ

Автореферат

диссертации на соискание ученой степени кандидата' химических наук

Нижний Новгород, 1994

Работа выполнена в Институте химии высокочистых веществ Российской академии наук, г. Нижний Новгород.

Научный руководитель: академик РАН Г. Г. Девятых.

Официальные оппоненты:

доктор химических наук, профессор Гурьев И. А.,

доктор технических наук Максимов Д. Е.

, Ведущая организация — Нижегородский научно-исследовательский физико-технический институт при ННГУ, г. Нижний Новгород.

Защита диссертации состоится « ^ » _ 1994 г

в /¿7 часов на заседании специализированного совета по химическим наукам (Д. 003.85.01) при Институте химии высокочистых вещести Российской академии наук по адресу: 603000, г. Нижний Новгород, ГСП-75, ул. Тропинииа, 49»

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института химии высокочистых веществ РАН.

Автореферат разослан <_ 27> __¡994 г-

Ученый секретарь специализированного совета, кандидат химических наук

|й/

С. В. Яньков.

ОВЦАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ ' ■ • " ' ■'"-■■■■ •' •

Актуальность теш. Диметилкадмий (ДОК) и диэтилцинх (ДЭЦ)

находят широкое применение в качестве исходных соединения ' в различных газофазных технологиях полупроводниковых соединений типа

ТТ VI

А В и твердых растворов.,-, на-.их.;, основе. Электрофизические свойства получаемых соединений в значительной степени зависят от чистоты исходных веществ^' """ •' ' - : ; '-"

Концентрация примесей . переходам -. металлов ,, в . исходных кеталлоорганичоских соединениях не должна превышать 10~® - Ю-7 % мае. Содержание других элементов I, III-VI групп должно быть менее Ю~5'-10" % [II. Для. надедаого. определения таких содержаний кеобходамы методики анализа с пределом.обнаружения 10 - 10 % мае. и менее.

Диметилкадмий и диэталцинк очень реакционноспособные и весьма токсичные соедтдашя. Для тог'о, чтобы избежать связанных с этими свойствами затруднений перед проведением атомно-эмиссионного анализа их переводят в аналитичесга удобную'форму. Так в известных; к началу данной работы методиках.анализировали;-оксид,", полученный, после минерализации-, образца 12-41,Значения предела обнаружения примесей (ПОШ составили ЗЛО-4- 5Л0-6 % мае.. При химико-спектральном анализе диметилкадмия, примеси металлов; концентрировали на частично осавденной основа после отгонки основного вещества 15]... Значения ПОП понизились до ЗЛО-5- 1Л0~7Х мае., но это не удовлетворяет современным требованиям'.1 • Цель работа: Цельи настоящей работы являлось снижение, значений, предела обнаружения примесей металлов в высокочистих диметялкадаии и диэгилцинке.

.Научная новизна и практическая ценность работа. Исследована форма нахождения металлсодержащих примесей, в высокочистых ДЭЦ и ДМК. Установлено, что примеси металлов, не образующих устойчивых алкильных производных, входят в состав нелетучих примесных веществ, а примеси алкилобразувдих элементов присутствуют в основном в растворенном виде в форме соответствующих влкильшх производных.

Предложен способ анализа высокочистых МОС состоящий в том, что

определяеше элемента разделяются на две группы: щелочные, ¡5£>лочноземельные и переходные металла определяются по сухому остатку после отгонки основного вещества, примеси алиментов, образувдих устойчивые алкильные производные, определяются в продуктах минерализации дистиллята.

Разработана методика атомно-эшссионного дугового спектрометрического анализа графитового коллектора с абсолютными значениями предела обнаружения примесей 3.I0"9 - 8.I0_iI г. Для снижения предела обнаружения использовали усиливающую добавку. Показано, что основным фактором» влияющим на ускоренное поступление примесей в разряд из графитового порошка является пар усиливащзй добавки.

Разработаны методики химико-спектрального анализа высокочистых диметилкадмия и даэтилцинка позволившие реализовать значения предела обнаружения 1.1СГ5- 2Л0"10 % мае.

Методики используются при получении этих соединений в ИХВВ РАН, а так же при аттестации образцов Постоянно действующей выставки-коллекции высокочистых веществ.

Апробация раОоты. Результаты работы докладывались и обсуадались иа:

-III Всесоюзной конференции по новым методам спектрального анализа, г. Запорожье, 1987 г. ; -VIII Всесоюзной конференции по методам получения и анализа высокочистых веществ, г. Горький, 1988 г.;. -IX Всесоюзной конференции по высокочистьш веществам, г.Низшей Новгород IS92 г.,

-XI Международной конференции по аналитической спектроскопии CANAS, г. Москва, 1989 г.;

-городских семинарах по химии высокочистых веществ, г. Нижний Новгород, 1988, 1992, 1994 г. Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 9

печатных работ.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех

.глав, выводов и списка цитируемой литературы. Содержит 155 страниц машинописного текста, включая 27 рисунков и 35 таблиц. Список

дитературы содоргит 178 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

ООсуздены работа по определена® примесей металлов в днмэтилкадмии и даэталцинкэ. Оценены возможности методов молекулярного анализа: масс-спектрометрического и

хроматографнчесного. Рассмотрены способы пробоподготовки и концентрирования, применяемые при хшико- спектральном анализе мэталлоорганических соединений и методы спектрального окончания.

Как следует из обзора литературы, основным методом определения примесей металлов в васокочистах МОС цинка и кадмия является химико-атомно- эмиссионный с предварительной минерализацией образца или концентрированием примесей.

Минерализация является самым универсальным способом переведения КОС в форму, удобную для последущего определения. Существенным недостатком этого метода является то, что в процессе минерализации не происходит отделения основного вещества. Чувствительность анализа с предварительной минерализацией составляет 1.10~4- 1.10""® % в зависимости от применяемого способа спектрального окончания.

Из рассмотрения методик анализа МОС с предварительным концентрированием можно сделать выеод, что метод отгонки основа, уступая по числу определяемых примесей экстракции, свободен от применения химических реактивов и более предпочтителен для жскения ПОП металлов в высокочистых МОС.

Известные методики анализа не удовлетворяют современным требованиям прежде всего по значения?,! предела обнаружения примесей.

Снизить предел обнаружения можно совераенствуя инструментальный метод, а так же увеличивая массу аналитической навоски, избежав при этом существенной потери примесей при концентрированиии увеличения поправки контрольного опыта. Поэтому в задачу исследования входили: разработка методик профподготовки и концентрирования, характеризующихся низким уровнем фоновых загрязнений, изучение причин потери примесей и источников загрязнений в процессе химико-спектрального анализа, а так же

сшЕЕвние абсолютного предела обнаружения спектрального окончания.

II. МЕТОДИКА ПРОБОПОДГОТОВКИ ПРИ тШО-СШСГРАЛШОМ АНАЛИЗЕ ШСОКОЧИСТЫХ ДИМЕТИЛКАШШЯ И ДЮТШЩИНКА.

С целью выбора метода концентрирования мы исследовали форму нахождения металлсодержащих примесей, в вксокочистых диметилкадшш и даэтилцинке. Анализ образцов ДЕЖ и ДЭЦ различными методами показал, что щелочные, щелочноземельные и переходные металлы, ко образующие устойчивых летучих алкильных производных , входят в состав нелетучих примесных веществ. Примеси алкилобразувдих элементов (непереходные элементы II - VI груш) присутствуют в иоо цинка и кадмия в летучей и нелетучей формах. Летучие соединения, которыми, как показывают результаты масс-спектрометрического анализа являются соответствующе ашшлышэ производные, определяют содержание этих элементов в проба.

Примеси щелочных, щелочноземельных и переходных металлов определяли после концентрирования. Концентрирование осуществляли путем отгонки основного вещества с графитового коллектора при пониженном давлении в герметичном аппарате из кварцевого стекла и фторопласта (рис.1, г). Для подготовки рабочей поверхности концентратора применялась методика, зазслвчаадаяся в промывке внутренней поверхности аппарата разбавленной фтористоводородной кислотой (рисЛ, а), и затем водой, очищенной дистилляцией баз кипения в специальном аппарате (рисЛ, О). Для удаления остаточных количеств влаги ампулы вакуумировали при нагревании до 250 °С (рис.1, в). После этого ампулы охлаждали, загружали угольный ' ~ ~ и

ДЭЦ. В контрольных опытах выполняли отгонку с графитового коллектора дистиллята полученного посла первой перегонки. Полноту перехода примесей в аналитический концентрат контролировали путем анализа двух последовательно полученных концентратов. Установлено, что в процессе однократной медленной перегонки удается сконцентрировать более 85 Ж примесей металлов, присутствующих в даметилкадмии и диэтилцинке в нелетучей форме.

I. гаогвтс&чя ПОВЕРХНОСТИ КСНЦЕНТРЯТОРЙ К ЙНШШ

ТРЯ&ЕЫИ:

покиовасти

(мГ'Н:0-1'10)

»работке (иисодастм ПЙРОМ

здялЕвиг влягн

п. концентрирование лрккесек

г

СУ£КЯ гагемта ала коядострирсаама

Рио.1. Схема пробоподготовкп при определении нелетучих примесей в вдсокочистых даметилкадмш и диэтилцинке

Для определения примесей алкклооразуюзщх элементов минерализовали дистиллят, полученный после концентрирования нелетучих примесей, Минерализацию проводили в аппарате из кварцевого стекла и фторопласта (рис.2). в кварцевую ампулу намораживали пентан, из расчета, чтобы его объем в пять раз превышал объем вещества, взятого на анализ. с помощью соединительной муфты подсоединяли к ней ампулу с анализируемым веществом , систему вакуумировали через патрубок 4 и перегружали пробу в пентан. Анализируевде образцы в среде пентана окисляли смесь» азотной и серной кислот (5:1), отгонят непрорэагировавше реагента. Ампулу с кинврализатои прокаливали прл температуре 550° С . Полноту разложения солей контролировали, взвссивая осадок. Полученный осадок анализировали дуговым спектрографическим методом.

Рис.2. Схема аппарате для проведения шнератзецан; I - кварцевая ажула, 2 - екнула с шалнзируемъш бэщэотвои0 3 - фтороплаотоаяе ЭЕЕордае креш» 4 - патрубок для вакуушровашш аппарате, б ~ ©овДЕнигаяьная муфте

III. СНИШШЕ АБСОЛЮТНОГО ПРЩЕЛА ОБНШШШ АТОШЮ-ЭШССИОННОП ЖТОДА.

Концавтрат примесей на гра&шшом коллекторе анализировали дуговым спектрографическим и спектрометрическим кечадами.

Дм построения гравировочных .зависимостей применяла образцы сравнения приготовленные на основе стандартного оОразда состава гранитового порошка ГСО 28Z0-83 СПГ-27 Пр.

В случае спектрографа ского окончания для снижения предела обнаружения использовали топографические особенности излучения дугового разряда, регистрируя прикатодньй. слой кежэлектродной

3

2

Рис-3, Мзобракениа проекции электродов на конденсорной насадке спектрографа; I - входная щель спектрографа, 2 - конденсорная насадкег 3 - проекция анода, 4 - фигурная диафрагма, Б - проекция катода

плазмы на дифракционном спектрографе СТЭ-1. Можэлектродаый промежуток 2, величиной 6 км" проецировали на Еель спектрографа ахроматическим кварцевым конденсором (1=96 мм). Прикатодную область выдзляли фигурной диафрагмой как показано на рис. 3. Сала разрядного тока 13 А. Время экспозиции 15 с. С целью снижения сплошного фона на спектрограмме перед полевой линзой спектрографа установливали дополнительную диафрагму (252-337 шл). Полученные значения абсолютного предела обнаружения составили 1.1СГ® 2Л0"11 г. (табл.1) что для ряда примесей заметно нижа полученных ранее [6].

Атомно-эмиссионный дуговой спектрометрический анализ проводили па автоматизированном спектрометре фирмы ЬАВТАМ. Для сшгаения абсолютного предела обнаружения использовали усиливающую добавку. Введение добавки изменяет как условия возбуждения спектров, так и скорость выгорания примесей из кратера электрода. В случае спектрометрической регистрации излучения имеется еозмояяость выбора оптимального времени экспозиции для каздого отдельного

Рис.4. Изменение интенсивности аналитической линии титана (Х-334.94 нм) в течение времени экспозиции при введении рааличных усаливавших добавок: I - без добавки, 2 - 0.5 % игарида натрия, 3 - 0.5 % нитрата натрия, 4 - 0.5 % сульфата натрия-

элемента в отличие от спектрографического метода;, где время экспозиции является компромиссным по всем определяемым элементам. Было исследовано влияние 'протекания реакций хлорирования, фторирования, сулъфидирования на скорость выгорания примесей из графитового коллектора. Для этого в образцы сравнения вводили хлорид, нитрат, сульфат и фторид натрия и следили за поступлением примесей в разряд.Как видно из рис. 4 введение добавки уменьшает время поступления примесей в разряд независимо от химической формы, в которой вводился натрий. Это свидетельствует о преимущественном влиянии на скорость выгорания примесей упругости пара вводимой добавки. Выбор оптимальной концентрации усиливающей

Таблица I

Зяачэшш абсолЕггпого предела обнаружения атоано-вмиосиошого анализа

Элемент 16) СТЭ -1 LAВШ

Hi 6.10""9 6. ю-9 3.10~Э

ïi - 1.1«Г9 6.1<Г10

Cr 5.1СГ9 1.10"9 3.10~9

So 1.10-9 7.10"10 1.1СГ9

Mb - - 3.10~9

Cd 5.10-9 5.W9 1.10"9

Ca 5.1Q-10 1.10"10 1.1СГ10

Sn 1.10"9 б.Ю"10 -

Fb 1.10~9 био"10 1.10~9

!3o - 8.10"9 б.Ю"9

В Б.10~9 б.ю-10

AI 6.1СГ9 1.1<Г9 1.10~9

«s - 5.10"10 3.10-9

Ca 6.10-9 I.IflT6 б.Ю-9

Bi 1.10-9 1 .Ю-9 1.1<Г*0

V - 1.10"0 б.ю-10

Hn 4 Л О-10 1.1<Г10 б.ю-11

Co - 8.10"9 2.10"9

ig 4.1<Г10 б.Ю"» -

добавки проводился путем сравнения значений абсолютного предела обнаружения, полученных при ее различных концентрациях . Лучшие значения предела обнаружения получены при введении в графитовый порошок 0.5 % Nací от массы навески, помещенной в электрод. Они составили I.IO_a - 8.I0"11 г (табл. I).

оксиды, полученные после минерализации анализировали дуговым спектрографическим методом. Излучение регистрировали на дифракционном спектрографе СТЭ-1. Для построения градуировочнзи зависимостей использовали образцы сравнения на основе оксидов, полученных из высокочистых ДЭЦ и ДОК.

Для снижения предела обнаружения в оксид цинка, полученный при минерализации вводили усиливаодую добавку 5 % хлорида натрия. При анализе оксида кадмия концентрировали примеси непосредственно в электроде в процессе экспозиции. Такой прием позволил получить по ряду примесей снижение предела обнаружения до порядка величины. И реализовать пределы обнаружения 10 -Ю~ь%, что в 3-5 раз лучше, чем в известных к началу данной работы методиках.

4. ОЦЕНКА МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК МЕТОДИК ХИММКО

-СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА ВЫСОКОЧИСТЫХ ДИМЕТИЛКАДМИЯ И ДИЭТИЛЦИНКА

При оценке метрологических характеристик химико-спектрального анализа высокочистых диметилкадмия и диэтилцинка были исследованы источники фоновых загрязнений, оценены значения поправки контрольного опыта, определен коэффициент извлечения, проведены проверки правильности результатов варьированием аналитической навески, способом "введено-найдено", а также сопоставлением результатов различных методов анализа.

Полученные данные о фоновых загрязнениях в процессе анализа высокочистых диметилкадмия и диэтилцинка атомно-эмиссионным методом с предварительным концентрированием примесей путем прямой отгонки основного вещества показали, что основной вклад в поправку контрольного опыта вносят загрязнения из воздушной среды лабораторного помещения.

По распространенным элементам загрязнения из воздуха, характерные для помещения класса 100 ООО, составляли I0~8- Ю-9 г. Такие загрязнения обусловлены накоплением частиц шли на открытой

ловерхности аналитических устройств вследстЕИн их седиментации пз воздуха.

При проверке правильности результатов методом "введено-найдено" примаси в виде солей минеральных кислот, вводили в высокочистие образцы диметилкадмия и диэтшщинка, очищенные предварительно двукратной медленной дистилляцией. Било установлено, что в процессе дастилляционного концентрирования не наблюдается значкшх потерь примесей переходных металлов, а также Са, Mg, Al, в то время как по ряду элементов, способных к образованию устойчивых летучих алкильных производных наблюдались потери в некоторых случаях до порядка величины. Мозно предположить, что в процессе приготовления модельной системы» ее хранения и анализа произошло частичное переалкилирование этих элементов. Анализы образцов диметилкадмия и дизтилцинка с использованием различных по массе навесок показали, что увеличение аналитической навески до 100 грамм не приводит к . значкмкм систематическим погрешностям.

При изучение кинетики поступления примесей в разряд аз коллектора после отгонки основного вещества и из образцов сравнения установлено, что остатки основы не влияют на скорость выгорания прямэсеЯ.

Отсутствие потерь при определении примесей алкилобразукеда: элементов проверяли методом "введено-найдено" на образцах дизтилцинка. Проверка проводилась на наиболее устойчивых прзмэсях, которые легча зсего потерять в процессе минерализации это алкильные производные олова, свинца и германия. Проверка показала, что примеей введенные в образец в виде этильных производных количественно переходат в оксид. Так та проводили сопоставление результатов химикс-спактрального определения алкилобразукда примесей с результатами прямого газохроматографического анализа. Значимых рвсходцений ив было обнаружено.

Оценку сходимости проводили путем статистической обработки результатов текущих анализов. Диапазон содвряаний примесей металлов в васокочистах димэтилкадмш я даэтилцинке составил Ю-4 - IG-9 : мае. Объем выборки составил 9-17 пар определений в зависимости от определяемого элемента. Значения относительного стандартного отклонения но превышали 0.4.

Tadjsme 2

Sucísima OTKocHTajiBHoro Erpa^esa oOHapysteaüfi npsaiacefi b bücokohicthx jsubtsuuusskb b asase m¡ikbí¡6smi

npEMacmiíí SJiewBHT Catín "B»-s

JBsMammc&wiHB í&raranuHHK

Pe 4. 1CT8 4 .10' -8

Ki 1. 10"8 1 10" -8

Cr 3. 10"9 3 10" -9

Kn i. io-10 . 3 10' -10

Cu 3. 10'9 3 10' -9

Ca 4. 10-s 4 10" -8

Hg 3. 10~8 3 10' -8

Co 8. 10~9 8 10' -9

Ko 3. 10"8 3 10"8

V 3. 10"9 3 10" -9

11 3. 10""9 3 10" -9

w 3. 10"8 3 10" -8

Ag 2, 10"10 2 10" -10

Ka 4. 10"7 4 10' -7

K 1. 1Q~7 1 10' -7

Al 1. 10~5 1. 10' -5

Pb 8. to-6 5. 10" -6

Zn a. w6

.ca 1 10" -5

In 3. 10"6 S 10" -6

Ge i. 10"6 6 10" -6

Sil 3. 10"6 5 10" -6

Bi 4. 10"6 5 10" -6

Ga a. 10""6 5. 10" -6.

Получен пае значения фоновых эагрязношШ и коэффициента извлечения использовали для оцэшш значений относительного предела обнарукэшгя прхмэсой щелочных, вдло'шоземелышх и переходных металлов в ЛМК и ДЭЦ.Использовали формулу:

3 m ,

»in

С , - - • 100 %

mi ст.

У-R

где rna(n - абсолютный предал обнаружении реализуемый по донкой методахв анализа, Я - коэффициент извлечения примесей; И - масса аналитической навеска, г; 3 - поправочный коеффшщент,, учктеввщай, что на единичное элекентоопрэделание расходуется 1/3 от масса коллектора, используемого на стадии аналитического концентрирования.

Значения относительного предела обнаружения примесей из 100 граммовой навески приведэ1Ш в таблице 2.

Для примесей щелочных щелочноземельных и переходных металлов они составили 4.10~7 - 2. I0"IG %, что на I- 3 порядка лучше изззстгак нз литературы. Значения предела алкилобрезущнх примесных элементов составили 1.10~5 - I.I0~S мае. % , что в 2-Ю раз лучше известных к началу нваей роботы методик 12-4].

вывода

1. Исследована форма нахождения металлсодержащая примесей в внеокочнетах дагетанкаддан и даэткцинке. Установлено 0 что щелочные, щелочноземельные и переходные металлы находятся в вида нелетучих соединений. Примеси апхилобразушда элементов присутствуют как в летучей, тек и в нелетучей фора. Ш содержание определяется летучими алкнльными производными.

2. Разработана методика предварительного концентрирования примесэй щелочных, щелочноземельных я переходных металлов а ЩШ ж ДЭЦ заключавшаяся в отгонке основного вещества с гранитового коллектора. Исследованы источники фоновых загрязнений. Установлено, что уровень загрязнений примесями распространенных металлов из воздушной среда лабораторного помещения класса 100 ООО гадает значения 4.Ш~а - 2.10~9 % мае., из материала электродов и

о

коллектора не более, чем 4.10 мае. % в пересчете на 100 г навеску.

3. Разработана мэтодаха минерализации шсокочистых диметнлкадмня и дизтшщинка в аппарата из кварцевого стекла и фторопласта. Методика основана на окислении образцов смесью концентрированных азотной и серной кислот в среде пектана. Показано, что при предложенном способе минерализации удается количественно перевести в минврализат устойчивые примесные алкильные соединения.

4. Разработаны методики атомно-эмиссионного спектрографического и спектрометрического анализа кощантратов примесей на угольком коллекторе. В случав спектрографического анализа для сниеэния предала обнаружения регистрировали излучение прикатодной части иеЕЭлектродаой плазма на дифракционном спектрографе СТЭ-1. В случае спектрометрической регистрации излучения для енстенмя предала обнаруазния использовали введение усиливающей добавки Значения абсолютного предела обнаружения составила 5. Ю-8 -6Л0-11 г.

5. Разработаны ыэтодаки спектрального анализа оксидов кадмия в цинка с пределами обнаружения 1Л0~5 - IЛ0~5 а ыас. При анализе оксида цинка для снижения предела обнврукенкя вводили усиливающую добавку, при анализа оксида .кадмия применяли концентрирование примесей в кратере електродов в процессе проведения спектрального анализа.

6. На основании выполненных исследований разработана методика хяшко-спвятралъного -анализа высокочистых диматилкадкия и ДИ8ТИЛЦИНК8 состоящая в определении примесей щелочных, щелочноземельных и переходных металлов в остатке на угольном коллектора после отгошш основного вещества, примесей апкшюбразуюцше элементов в оксидах, полученных после минерализации дистиллята. Значения предела обнаружения нелетучих примесей составили 4.10"7 - 2.10~10 %, что на 1-3 порядка лучше описанных в литературе, для примесей алкилобразущих елементов -1Л0"6 - 1.НГ6 Й, что в 2-10 раз ниже, чем в известных к началу данной работы методиках. Значения относительного стандартного отклонения не превышали 0.4.

Цитируемая литература

1. Грибов Б.Г., Козыркин Б. И., «едоров Е.А. //Эл. пром-ТЬ. 1980, N 8-9, С.91

2. Соломатин B.C., Джупий Л.С., Нихолина С.Н. // Зав- лаб.„ 1977 „ 7.43, с.1085-1086

3. Дкупий Л.С., Соломатин B.C., Красникова Г.В.//Электронная техника, сер.6 Материалы. 1979. вып.12, с. 123-125.

4. Соломатин B.C., Захарова Т.И., Джулий Л.С..Шаталина Л.Г., Власова Г.И.. Лакеева Н.И., Красникова Г.В., Николина С.К.// "Получение и анализ веществ особой чистоты" М.; Наука, 1978,

С. 240-246

б. А.Д. Зорин, O.A. Емельянова, В.Ф. Занозина, М.П. Маркова, Е.Н Каратаева, л.В. Степанова, И.А. ©евенко //Журн. прикл. спектроскопии, 1989, т.51, Н 6, с.903-906 6. Ларин Н.В., ГайворонскиЯ П.Е., Шишов В.Н., Пименов В.Г. //Журн. ярикл. спектроскопии, 1980, Е. 33, С. 25

Основное содержание диссертации изложено в следующих работах:

1. Шишов В.Н.„ Дряхлова И.А., Логинов A.B., Удалов О.Ф., Гордеев A.M. Анализ высокочистых летучих хлоридов атомно-эмиссионвнм катодом с предварительным дистилляционным концентрированием . примесей. // III Всесоюзная конференция по новым методам спектрального анализа. Запорожье. 1987. Тез. докл. С. 73

2. Гордеев A.M., Дуринов И.Ю., Шишов В.Н. Анализ высокочистах диэтилтеллура , диметилкадаия и диэтилцинка атомно-эмиссиошшм методом с предварительным дистилляционным концентрированием примесей. //VII Всесоюзная конференция по методам получения и анализа высокочистых веществ. Горький. 1988. Тез. докл. Ч.З, С. 52

3. Гордеев A.M., Гришнсва Н.Д., Дряхлова И.А., Моисеев А.Н., Салганский D.H., Шишов В.Н. Анализ высокочистого диэтилцинка с предварительным дистилляционным концентрированием примесей. //Высокочистые вещества. 1987. N 6. С. 138-143

4. Шипов В.Н., Дуринов И.Ю., Балабанов В.В. Золотов В.К., Гордеев A.M. Снижение пределов обнаружения примесей и улучвэние сходимости результатов' анализа моногермана хидако-атомно -smhcchohkm метода,1

// Высокочистые вещества, 1983, К б, С. 165

5. Шинов В.Н., Пименов В.Г., Гордеев A.U. Использование прикатодного эффекта плазма дугового разряда для снижения абсолютного предела обнаружения атомно-эмиссиоаного анализа. //Высокочистые вещества. 1989. N 4. С. 214

6. Гордеев А.К., Гришнова Н.Д., Гайворонсккй П.Е., Коксаев А.Н., Салганский Ю.М., Поляков В.М., Шилов В.Н., Шушунов Н.В. Природа металлсодержащих примесей в высокочистом диэтавдшке. //Высокочистые вещества. 1990. V 3. С. 124-128

7. Гордеев A.M., Гришнова Н.Д., Иоисзев А.Н., Салганский Ю.И. Газохроматографичвсков определение примесей алементоорганмческих веществ в высокочистом даэтищинке. // Высокочистые веяества. 1990. N 3. С. 167-171

8. Гордеев A.M., Гршвова Н.Д., Салганский Ю.Ц.„ Шаиов В.И. Хймико-атомно-эмиссионный анализ даэтвлщтка на содерааике примесей элементов, образувдях алкилъные со9Динвшя//Высокочистые вещества. 1990. Н 4. С. I4I-I45

9. А. М. Gordeev, I Yu. Durinov, Т. К. ShiehOY Determination of metal impurities in high purity volatile BUbstanaes by atomic emisolon method //XI Conference on Analytical Atomic Spectroscopy. USSR. Moscow. 1990 Abstracts. P. 232