Фазовые равновесия в системах сурьма-мышьяк и фосфор-мышьяк тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.01 ВАК РФ

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.

1.1. Система сурьма - мышьяк.9S'

1.1.1.Диаграмма состояния системы

Т. 1.2. Термодинамический анализ системыSb'As.

I.I.3. Физические свойства сплавов

1.2. Система фосфор - мышьяк.

1.2.1. Диаграмма состояния системы Р~А$.

1.2.2. Термодинамический анализ взаимодействия фосфора и мышьяка в паровой и конденсированных фазах.

ГЛАВА П. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.

2.1. Статический метод определения давления диссоциации с использованием нуль-манометра.

2.2. Определение состава пара методом "закалки равновесия".

2.3. Химический анализ образцов.

2.4. Рентгеноструктурный анализ.

2.5. Методика электрофизических измерений.

2.6. Методика получения исходных материалов.

ГЛАВА Ш. ФИШКО-ХИМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СИСТЕМЫSh'JS.

8.1. Состав насыщенного пара в системе Sh'As.

3.2. Термодинамический анализ системы

JSA-Ab.vi

3.2.1. Основные термодинамические соотношения.VI

3.2.2. Термодинамический анализ взаимодействия компонентов в системе сурьма - мышьяк.

3.3. Кристаллохимические особенности твердых растворов Sb.rhr вблизи температуры плавления. Ъ

ГЛАВА 1У. ФАЗОВЫЕ РАВНОВЕСИЯ В СИСТЕМЕ ФОСФОР - МЫШЬЯК.

4.1. Состав насыщенного пара в системе P~As

4.2. Термодинамический анализ системы Р-Ав . . 102 4.8. Получение кристаллов твердых растворов арсенид индия- фосфид индия.

4.3.1. р-Т-х диаграмма состояния системы J^i^S-JflP

4.3.2. СостаЕ пара в системе Ms-jkP.

4.3.3. Термодинамическое описание системы УпАЗ'УпР

4.3.4. Методика выращивания кристаллов твердых растворов с постоянным составом по длине слитка

ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ.

ВЫВОДЫ.

Актуальность» Современная неорганическая химия уделяет большое внимание изучению фазовых равновесий в бинарных и квазибинарных системах с летучими компонентами, в том числе в ©истшах на основе элементов У группы Периодической таблицы: фосфора, мышьяка, сурьмы. Такой интерес обусловлен требованием современной микроэлектроники, поскольку многие тройные и четверные системы на основе элементов У группы обладают ценными электрофизическими свойствами, выгодно отличающимися от свойств классических полупроводников - германия и кремния. Однако особенности технологических процессов получения этих перспективных материалов с участием твердых, жидких и газообразных продуктов становится понятными лишь при рассмотрении полных р-Т-х диаграмм состояния с учетом состава насыщенного пара, в которых равновесие типа конденсированная фаза - пар описываются вместе с процессами, протекающими между конденсированными фазами. Комплексные исследования, позволяющие установить конкретный вид зависимости, связывающей внешние параметры - давление и температуру - с составом сосуществующих фаз, по-прежнему остаются фундаментом при решении проблемы синтеза веществ с заранее заданными свойствами. В связи с этим становится очевидной необходимость изучения физико-химической природы взаимодействия компонентов в системах фосфор-мышьяк и сурьма-мышьяк, поскольку информация такого рода чрезвычайно важна для создания научно-обоснованной технологии выращивания tit у многокомпонентных твердых растворов на их основе типа А В и у ту у JY ¥

АШВ или АА В - Ах В . Результаты исследования двухфазных и трехфазных равновесий в системе фосфор - мышьяк уже сейчас используются для усовершенствования методик выращивания кристаллов SJIs^xPjq , в частности,твердых растворов » у которых возможность варьирования величины ширины запрещенной зоны сочетается с высокими значениями подвижности носителей, что объясняет целесообразность их применения в современной опто- и микроэлектронике.

Целью работы является определение характера фазовых равновесий в системах сурьма - мышьяк и фосфор - мышьяк на основании изучения процесса термической диссоциации, определения состава насыщенного пара и расчета ряда термодинамических параметров взаимодействия компонентов. Для этого решались следующие задачи:

- изучение температурно-концентрационной зависимости состава равновесной паровой фазы в системе сурьма - мышьяк;

- выяснение кристаллохвмической природы твердых растворовёЬ'Лв при температурах, близких к температурам солидуса;

- термодинамический анализ фазовых равновесий в системе сурьма-мышьяк с учетом сложного состава насыщенного пара;

- изучение температурно-концентрационной зависимости состава насыщенного пара в системе фосфор - мышьяк;

- термодинамическое описание взаимодействия компонентов в системе фосфор - мышьяк на основе данных о составе равновесной паровой фазы;

- разработка метода выращивания кристаллов твердых растворов арсенид индия - фосфид индия с постоянным составом по длине слитка, основанного на использовании сплавов системы фосфор - мышьяк в качестве источников летучих компонентов.

Научная новизна. Впервые изучен состав равновесной газовой фазы в системе сурьма - мышьяк, указывающий на значительное присутствие в насыщенном паре атомов сурьмы, несмотря на то, что ее летучесть чрезвычайно мала по сравнению с мышьяком. Проведен термодинамический анализ взаимодействия компонентов в системе сурьма - мышьяк с учетом состава равновесной паровой фазы. Результаты исследования температурно-концентрационной зависимости состава насыщенного пара в системе фосфор - мышьяк позволили впервые выполнить термодинамическое описание данной системы вдоль линий трехфазного равновесия. В процессе разработки методики выращивания совершенных кристаллов твердых растворов ЭяЛй^Рх впервые изучен состав насыщенного пара в системе арсенид индия -фосфид индия и проведен термодинамический анализ взаимодействия компонентов вдоль линии трехфазного равновесия.

Практическая ценность. Результаты комплексного исследования фазовых равновесий "конденсированная фаза - насыщенный пар" в системах фосфор - мышьяк и арсенид индия - фосфид индия позволили усовершенствовать методику выращивания кристаллов твердых растворов Cltlis^y.Jjf. . разработанная методика, основанная на использовании сплавов в качестве источников летучих компонентов при синтезе твердых растворов, отличается хорошей воспроизводимостью результатов, дает возможность получать кристаллы М^Л с постоянным составом по всей длине слитка и стабильными электрофизическими параметрами. Данная методика может быть рекомендована к применению на предприятиях электронной промышленности.

Положения, выносимые на защиту:

1. Результаты изучения температурно-концентрационной зависимости состава насыщенного пара в системе сурьма - мышьяк.

2. Данные термодинамического описания взаимодействия компонентов вдоль линии трехфазного равновесия системы сурьма - мышьяк с учетом сложного состава насыщенного пара.

3. Аномальное поведение параметров кристаллической решетки и электрофизических характеристик сплавов ^Ь^-х ^х ' лежащих слева и справа от точки минимума на диаграмме состояния, при температурах, близким к температурам солидуса, вызванное инконгруэн-тным характером термической диссоциации.

Результаты изучения температурно-концентрационной зависимости состава насыщенного пара в системе фосфор - мышьяк.

5. Данные термодинамического анализа взаимодействия компонентов вдоль линии трехфазного равновесия системы фосфор - мышьяк с учетом сложного состава насыщенного пара.

6. Р-Т-х диаграмма состояния с учетом состава насыщенного пара и термодинамический анализ фазовых равновесий в системе арсе-нид индия - фосфид индия.

7. Разработанная на основе комплексного изучения фазовых равновесий в системах фосфор - мышьяк и арсенид индия - фосфид индия методика выращивания кристаллов твердых растворов УпАй^Ру, с постоянным составом по всей длине слитка и стабильными электрофизическими параметрами.

Апробация работы. Материалы диссертационной работы доложены и обсузвдены на коллоквиуме кафедры неорганической химии Ленинградского государственного университета им.А.А.Жданова.

Публикации. По основным результатам проведенных исследований опубликовано 6 научных работ.

Структура работы. Диссертационная работа состоит из введения, главы обзора литературы, трех глав экспериментальной части, обсуждения результатов, основных выводов и приложения. В первой главе изложено современное положение результатов исследования фазовых равновесий в системах сурьма - мышьяк и фосфор - мышьяк. Во второй главе представлено описание экспериментальных методов, используемых в настоящей работе. В третьей главе приведены результаты комплексного изучения фазовых равновесий в системе сурьма

выводы

1. При изучении характера фазовых равновесий в системе сурьма - мышьяк установлено, что доля сурьмы в насыщенном паре вдоль линии трехфазного равновесия достаточно велика, и ее содержание растет с повышением температуры.

2. Термодинамический анализ системы SJb-h с учетом сложного состава насыщенного пара свидетельствует, что для всего концентрационного интервала взаимодействие компонентов характеризуется положительным отклонением от идеальности, степень которого уменьшается с ростом температуры. Высокие значения избыточных термодинамических функций смешения - энтальпии и энтропии, указывают на невозможность описания непрерывных растворов системы в рамках известных модельных представлений.

3. Обнаруженные деформационные явления в кристаллической решетке твердых растворов ^i-x^x темпеРатУРах» близких к температурам; плавления, следует связывать с инконгруэнтным характером термической диссоциации этих сплавов, приводящим к накоплению в исходном кристалле избыточной концентрации вакансий более летучего компонента.

4. Исследование гетерогенных равновесий в системе фосфор -мышьяк позволило в широком температурно-концентрационном интервале оценить состав равновесной паровой фазы, построить кривую насыщенного пара вдоль линии солидус. Установлено, что насыщенный пар в системе P-J0 обогащен фосфором по сравнению с составом равновесной конденсированной фазы, однако с ростом температуры в паровой фазе увеличивается содержание мышьяка.

5. Термодинамический анализ системы фосфор - мышьяк с учетом температурной зависимости состава насыщенного пара свидетельствует о положительном отклонении от идеальности вдоль линии трехфазного равновесия. Впервые выполненный расчет парциальных и интегральных термодинамических функций смешения указывает на невозможность описания гетерогенных равновесий в системеP'As с позиций модельных представлений.

6. Учитывая экспериментально подтвержденный факт постоянства значений общего давления диссоциации и состава насыщенного пара при фиксированной температуре, предложено использовать сплавы, принадлежащие каждой из гетерогенных областей системы фосфор -мышьяк, в качестве источников летучих компонентов при синтезе кристаллов тройных и четверных твердых растворов с двумя летучими компонентами. Указанная методика позволяет проводить одновременное насыщение расплава и фосфором, и мышьяком в условиях контролируемого взаимодействия их в паровой фазе.

7. На основании экспериментально построенной полной р-Т-х диаграммы состояния системы УпЬ-УпР с учетом состава насыщенного пара вдоль линии трехфазного равновесия посредством указанной методики были выращены кристаллы Б широком концентрационном интервале. Синтезированные кристаллы ^Л^В^Р^ отличались постоянством состава по всей длине слитка и стабильными электрофизическими параметрами.

1. Mansuri G-.A. The system Tin « Arsenic. J. Chem. Soc., 1923, v.12 p. 2П4-21В.

2. Shin C.A.4 Peretti E.A. Indium >-. Arsenic « Antimony Alloys. Transac. of the ASM, 1956, v.48, N. 2, p. 706-711.

3. Trebiatowski V., Bryjak E.Z. Rontgenanalize des Sistems Arsen «

4. Antimon. Z. Anorg. und Algem. Chem., 1938, v. 24, N. i8, s. 255 ~ 259.

5. Семенова Г.В. Физико-химическое исследование взаимодействия фосфора и сурьмы с мышьяком,- Дис. .канд.хим.наук,- Воронеж, 1979, 149 с.

6. Кажлаева Р.И., Шахтахтинский М.Г., Кулиев А.А. Исследование термодинамических свойств твердых растворов сурьма-мышьяк.Журн. физ.химии, 1970, т.44, № 12, с.3018-3022.

7. Кулиев А.А., Мамедов А.Н., Сулейманов Д.М. Термодинамическое исследование системы сурьма мышьяк. Докл. АН Аз.ССР, 1972,т.28, Ш 3, с.387-390.

8. Юм-Розери В. Введение в физическое металловедение. М.:Мир, 1965, 364 с.

9. Yee К.К., Jones W.E. Emission spectrum of the М'5Ь molecule. Chem. Commun., 1969, v. 11, N. 3, p. 752 759.

10. Kohl P.J., Prusaczyc I.E., Carlson K.D. New gaseous molecule of |he Pnictides. J. Amer. Chem. Soc., 1967, v. 89, N. 12, p.2467«2473.

11. Ohayma M. Semiconductor properties of Bb-h alloya. J. Phys. Soc. Japan, 1966, v. 23, N. 6, p. 1126 1131.

12. Абрикосов Н.Х.,Томтиев Д.С., Шахтахтинский М.Г., Кулиев A.M. Получение и исследование электрических свойств монокристаллов твердых растворов с большим содержанием мышьяка. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1966, т.2, ш I, с.6-11.

13. Абрикосов H.X., Шахтахтинский М.Г., Томтиев Д.С., Кулиев А.А. О характере изменения электрических свойств твердых растворов сурьма мышьяк. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1968,т.4, т 10, с.1640-1649.

14. The thermopower and thermomagnetic power in Arsenic « Antimony Alloys at low temperatures. Phys. Status Solidi, 1980, В 100, N. 2, p. 401 406.

15. Гончаров Е.Г., Семенова Г.В., Алейникова К.Б., Вавресюк И.В. Упорядочение твердых растворов в системе сурьма мышьяк. В кн.: Физико-химия полупроводникового материаловедения. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1979, с.67-73.

16. Угай Я.А., Гончаров Е.Г., Семенова Г.В. Упорядочение твердых растворов системы сурьма-мышьяк вблизи температуры плавления. Реф. докл. ХП Менделеевского Съезда по общей и прикл.химии.М.: Наука, 1981, с.ИЗ.

17. Klemm W., Falkowsci I.V. Z. Anorg. Chem. , 1948, Bd. 256, p. 343 •>• 346. Das System Phosphor Arsen.

18. Угай Я.А., Муравьева С.Н., Гончаров Е.Г. и др. Диаграмма состояния системы . Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1971, т.7, ffi II, с. 1927-1930.

19. Аносов Б.Я., Погодин С.А. Основные начала физико-химического анализа. M.-JI.: Химия, 1947, 546, с.

20. Угай Я.А., Гончаров Е.Г., Китина З.В. и др. Некоторые особенности взаимодействия конденсированных фаз фосфора и мышьяка. В кн.: Химия фосфидов с полупроводниковыми свойствами. Новосибирск, Изд-во Наука, 1970, с.51-53.

21. Угай Я.А., Семенова Г.В., Гончаров Е.Г.,Берендт 3. Исследование р-Т-х диаграммы состояния системы фосфор-мышьяк экстрапо-ляционным методом. Журн.неорг.химии, 1979, т.24, № 12, с.3344-3346.

22. Угай Я.А. Введение в химию полупроводников. 2-е изд.,пере-раб. и доп. М.: Высшая школа, 1975, 302 с.

23. Угай Я.А., Семенова Г.В., Гончаров Е.Г. Р-Т-х диаграмма состояния системы фосфор мышьяк. Журн.неорг.хрмии, 1981, т.26, ш 8, c.22I8-222I.

24. Угай Я.А. Общая химия. М.: Высшая школа, 1977, 408 с.

25. G-ingericke К.А., Corce D.L., Kordis J. Gaseous Phosphorus Compounds. X. Mass«»Spectrometric Determination of the Dissociation Energies of Arsenic and Bismuth. J. Phys. Chem., 1974, v. 78,1. N. 4, p. 603 » 606.

26. Герцберг Г. Спектры двухатомных молекул.М.: Химия,1949, 246 с.

27. Ozin G.A., Hight—temperature Gas—phase Laser Raman Spectroscopy;

28. Evidence for the Existense and Molecule Structure of the Interpnic— tides. J. Chem. Soc. , 1970, A., N. 12, p. 2307 « 2310.

29. Yee K.K., Jones W.E. The Emission Spectrum of the JsP Mole» cule. Chem. Commun. , 1969, v. 11, N. 2, p. 586 596.

30. Yee K.K., Jones W.E. The Emission Spectrum of the Interpnictides

31. Molecules. J. Molec. Spectroscop., 1970, v. 36, N. 1, p. 119 ~ 124.

32. Pandey A.M., Sharma D.K., Goel R.K. Vibrational Mean Amplitudes, of the Л 63 pyramidal Molecules. Spectroscop. bet., 1973, v. 6, N. 8, p. 449 « 455.

33. Гринберг Я.Х. Расчет сложных равновесий по результатам тен-зиметрических исследований. Докл.АН СССР, 1975, т.221, и I, C.II7-I2I.

34. Гринберг Я.Х., Лазарев В.Б., Эпштейн С.И. Исследование много-компоненвных равновесий методом измерения суммарного давления пара. Докл.АН СССР, 1975, т.221, Мб, с.1345-1352.

35. Зу. Гринберг Я.Х., Лазарев В.Б. Исследование многокомпонентных равновесий методом измерения суммарного давления пара. Журн.физ. химии, 1978, т.52, № 3, с.551-556.

36. Угай Я.А., Семенова Г.В., Берендт 3., Гончаров Е.Г. Расчет состава пара в системе, фосфор мышьяк.Журн.физ.химии,1979, т.53, № 4, с. I0I9-I02I.

37. Ярым-Агаев Н.Л.,Коган Е.А. Метод вычисления давления насыщенного пара по его составу для двухкомпонентной системы. Изв. ВУЗов, Химия и химическая технология, I960, т.а, ж 4, с.625-629.

38. Коган Е.А., Ярым-Агаев Н.Л., Майборода Н.Ф. Вычисление давления насыщенного пара в двойных системах с химическим взаимодействием компонентов в паре. Журн.физ.химии, 1963, т.37, № 7, с.1539-1544.

39. Ярым-Агаев Н.Л., Коган Е.А., Слепцова С.В. Вычисление состава насыщенного пара в бинарных системах. Журн.физ.химии,1966,т.40, № 9, с.2009-2014.

40. Зломанов В.П. Р-Т-х диаграммы двухкомпонентных систем. М.: Изд-во МГУ, 1980, 152 с.

41. Атанов А.Н., Аветисов Ю.Р. Установка для измерения давления пара. В кн.: Полупроводниковые материалы и их применение.Воронеж, Изд-во ВГУ, с.138-142.

42. Несмеянов А.Н. Давление пара химических элементов. М.:Химия, 196I, 248 с.

43. Новоселова А.В., Нашинкин А.С. давление пара летучих халько-генидов металлов. М.: Наука, 1978, с.

44. Валов Ю.А., Ушакова Т.Н. Термическая диссоциация %п2?ъ Журн.общей хшмии, 1У70, т.40, № 3, с.524-527.

45. Halanscz A., Punger Е. Adatok a foszfor, arsen, szilicum es germanium molibdennd alkotott heteropolisasainak tulajdonsagaihor es ana-litikal alkalmazasahor 1,2,3. Maguar Kemiai Folyoirat, 1970, v. 76, N. 10 11,. s. 494 - 503, 539 - 544.

46. Шарло Г. Методы аналитической химии./ Количественный анализ неорганических соединений. ч.2, М.:Химия, 1969, 1205 с.

47. Алимарин И.П., Дорохов Е.Н., Казанский л.П., Прохорова Г.Б. Электрохимические методы в аналитической химии гетерополисоединений. Журн.аналит.химии, 19в0, т.35, т 1и, с.2иии-2014.

48. Глотова Л.И. Спектрофотометрический анализ сплавов,содержащих кремний, германий, фосфор, мышьяк. В кн.:Полупроводниковые материалы и их применение. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1977, с.205-212.

49. Крешков А.П. Основы аналитической химии, т.З, М.: Химия, 1978,

50. Ward F.N., Lakin H.W. Determination of Sb «ions by Organic Complexes. Anal. Chem., 1955, v. 13, N. 1, p. 64- ~ 71.

51. Китайгородский А.И. Рентгеноструктурный анализ. M.: Наука, 1950, 678 с.

52. ASTM diffraction data card file. Ref. Swanson & Puyat. NBS Circu« lar 539, 1953, v. 2, p. 25.

53. Миркин JI.И. Рентгеноструктурный анализ./Справочное руководство. Получение и измерение рентгенограмм./ М.: Наука,1976,326 с.

54. Ормонт Б.Ф. Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников. М.: Высшая школа, 1973, 655 с.

55. Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электронографический анализ. М.: Металлургия, 1970, 368 с.

56. Данлэп У. Введение в физику полупроводников. М.: Энергия, 1959, 378 с.

57. Фистуль В.И. Введение в физику полупроводников. М.:Высшая школа, 1975, 296 с.

58. Киреев П.С. Физика полупроводников. М.: Высшая школа, 1969, 590 с.

59. Козлова О.Г. Рост и морфология кристаллов. М.:Изд-во МГУ, 1980, 357 с.

60. Богородский О.В., Нашельский А.Я., Островская В.3. Рентгенографическое исследование твердых растворов .Кристаллография, 196I, т.6, № I, с.119-121.

61. А.С. 129338 СССР. Способ получения полупроводниковых материалов, содержащих несколько летучих компонентов./ А.Я.Нашельский. -Опубл. в Б.И., 196I, ш 12, с.40-41.

62. Комлев Г.А., Ольшевский М.В., Смирнов В.М. Молекулярный состав насыщенного пара сурьмы. Изв.ВУЗов, Химия и хим.технология, 197I, т.14, с.636-670.

63. Илларионов В.В., Черепанова А.С. Давление насыщенных паров жидкой сурьмы и их ассоциативное состояние. Докл.АН СССР, I960, т.133, Ш 5, с.1086-1089.

64. Коган В.Б. Гетерогенные равновесия. Л.: Химия, 1968, 430 с.

65. Герасимов Я.И., Гейдерих В.А. Термодинамика растворов. М., Изд-во МГУ, 1980, 182 с.

66. Nagata Isamu, Ohta Tatsuhiko- Computation of Binary Vapour « Li« quid Equilibrium Data from Total Pressure Data. J. Chem. Eng. Ja« pan, 1972, v. 5, N. 3, p. 233 235.

67. Ярым-Агаев Н.Л., Калиниченко В.П. Метод расчета состава пара по изотерме зависимости давления насыщенного пара от состава раствора. В кн.: Математические методы химической термодинамики. Новосибирск, Наука, 1980, с.224-227.

68. Ван-дер-Ваальс И.Д., Констанм Ф. Курс термостатики./ Химические равновесия материальных систем. М.: Изд-во 0НТИ, 1936, ч.1, 452 с.

69. Сторонкин А.В. Термодинамика гетерогенных систем.Л.: Изд-во ЛГУ, ч.1,2. 1967, 448 с.

70. Карапетьянц М.Х. Химическая термодинамика. М.: Химия,1975, 584- с.

71. Вагнер К. Термодинамика сплавов. М.: Металлургиздат, 1957, 180 с.

72. Глазов В.М., Павлова Л.М. Химическая термодинамика и фазовые равновесия. /Двухкомпонентные металлические и полупроводниковыесистемы. M.: Металлургия, 1981, 336 с.

73. Свелин Р.А. Термодинамика твердого состояния. М.: Металлургия, 1968, 316 с.

74. Гончаров Е.Г. Физико-химические свойства твердых растворовс минимальной точкой на диаграмме состояния. В кн.: Физико-химия полупроводникового материаловедения. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1978, с.68-72.

75. Угай Я.А., Гончаров Е.Г., Самойлов A.M., Малкин Н.Р.Твердые растворы системы Sb-h вблизи сурьмы. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1984, т.20, № 8, с.1257-1259.

76. Ормонт Б.Ф. Эффект неоднократных скачков свойств на краях щг аграмш состояния полупроводниковых систем. Журн.физ.химии,1978, т.52, Ш 2, с.342-345.

77. Самойлов A.M., Вавресюк И.В. Особенности твердых растворов системы сурьма-висмут вблизи чистой сурьмы. В кн.:Кристаллохимия полупроводников и процессы на их поверхности. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1983, с.Ill-121.

78. Угай Я.А., Попов А.Е., Гончаров Е.Г. и др. Электрофизические свойства и область гомогенности арсенида германия. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1983, т.19, Ш 2, с.190-192.

79. Чеботин В.Н., Степанова Н.В., Лепинских В.М. Аналитический метод расчета коэффициентов самодиффузии в жидких металлах и сплавах по данным рентгеноструктурного анализа. Журн.физ.химии, 1977, т.51, №6, с.1474-1479.

80. Гончаров Е.Г., Самойлов A.M., Алейникова К.Б., Малкин Н.Р. Структурные особенности твердых растворов в системе сурьма-мышьяк. В кн.:Кристаллохимия полупроводников и процессы на их поверхности. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1983, с.80-84.

81. Угай Я.А., Самойлов A.M., Гончаров Е.Г. и др. Структура исвойства твердых растворов Sb'As вблизи температуры плавления. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1984, т.20, № 10, с.16II-1614.

82. Самойлов A.M., Косяков Р.А. Твердофазные превращения в системе сурьма-мышьяк. В кн.: Физико-химия гетерогенных систем. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1984, с.91-96.

83. Теория электропроводности металлических сплавов. Киев:Науко-ва думка, 1968, 144 с.

84. Крегер Ф. Химия несовершенных кристаллов. М.: Мир, 1969, 654 с.

85. Свойства неорганических соединений./ Справочник./Под общ. ред.Ефимова А.И. и др.- Л.: Химия, 1983, 392 с.

86. Пашинкин А.С., Спивак М.М., Малкова А.С. Применение диаграмм парциальных давлений в металлургии. М.: Металлургия, 1984, 160 с.

87. Ван Везер. Фосфор и его соединения. М.: Иностранная литература, 1962, 687 с.

88. Курс физической химии./ Под общ.ред.Герасимова Я.И.- т.1, М.: ГИХЛ, 1963, 624 с.

89. Краткий справочник физико-химических величин./ Под общ.ред. Мищенко К.П., Равделя А.А. изд.5-е, перераб. и доп.-Л.:Хи-мия, 1967, 182 с.

90. Марина Л.И., Нашельский А.Я., Колесник Л.И. Полупроводниковыетгт уфосфиды АШВ* и твердые растворы на их основе. М.: Металлургия: 1974, 232 с.

91. Угай Я.А., Гончаров Е.Г., Болховитина И.Б., Швырева Т.Н. Получение твердых растворов УпА^х^Х постоянного состава по длине слитка. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1965, т.1, № 7, с.1104-1108.

92. Гордеев И.В., Егоров Л.А., Шаханов П.В. Выращивание монокристаллов твердых растворов УяА&^х^Х из газовой фазы.Изв.АН

93. СССР, Неорганические материалы, 1966, т.2, ш 10, с.1872-1874.98• Ihompson A.G-., Rowe J.E., Rubinstein М. Preparation and;,Optical Properties of ^^.jJ^ Alloys. J. Appl. Phys., 1969, v. 40, N. 8, p. 3280 w 3288.

94. Егоров JI.А., Торбова О.Д. Кристаллизация твердых растворов УпМгР-г из газовой фазы.Изв.АН СССР, Неорганические матери2'JC Wалы, 1969, т.5, ш I, с. 173-175.•. Folberth O.G-. Mischkristallen bildung УлЬ-УпР Verbindungg en.

95. Z. Naturforsch., 1955, Bd. 10 a, s. 502 « 505. 101/ Koster W., Uirich W. Zur isomorfic der Verbindungg en des Types III V

96. А В . Z. Metallkunde, 1958, Bd. 49, s. 365 367.

97. Угай Я.А., Гончаров Е.Г.,Китина 3.B., Швырева Т.Н. О диаграмме состояния УпЬ-УпР. Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1968, Т.4, N° 3, с.348-35Г.

98. Боднарь И.В., Матяс Э.Е. Диаграмма состояния системы УиМ'УпР. Журн.неорг.химии,1977, т.22, № 3, с.796-799.

99. Thompson A.G,f , Wagqer J.W. Preparation and Properties of

100. Pjf. Alloys. J. Phys. Chem. Solids, J.971, v. 32, N. 7,p. 2612

101. Угай Я.А.,Битгоцкая Л.А., Гончаров Е.Г., Белоусова Г.П. Исследование р-Т-х диаграммы состояния систем Уп-AS'P иУлАй'Уиф Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1970, т.6, нг 6,с.Н?9-1181.

102. Семенова Г.В. Р-Т-х диаграмма состояния системы1. Jnfa-У/гР.

103. В кн.:Физико-химия полупроводникового материаловедения.Воронеж: Изд-во ВГУ, 19«1, с.73-78.

104. Зайдель А.Н. Ошибки измерения физических величин. Л.:Наука, 1974, 108 с.

105. Горюнова Н.А. Химия алмазоподобных полупроводников.Журн. Всесоюзного общества им.Д.И.Менделеева,I960,т.5,ле5,с.522-548.m у

106. ГС9.Хилсум Ч., Роуз-Иннес А. Полупроводники типа АШВ . М.'.Иностранная литература, 1963, 323 с.

107. НО. Вигдорович Е.Н., Шаповалова Т.П. Исследование фазовых равновесий в системе Мя-УпР .Изв.АН СССР, Неорганические материалы, 1978, т.14, к» 12, с.2160-2163.

108. Угай Я.А., Муравьева C.H., Гончаров Е.Г., Афиногенов Ю.П. Взаимодействие в системе В кн.:Полупроводниковые материалы и их применение. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1971, с.29-31.

109. Угай Я.А., Самойлов A.M., Семенова Г.В., Гончаров Е.Г. Термодинамический анализ фазовых равновесий в системе

110. Воронеж, 1984.- II е.- Рукопись представлена Воронежским госу#-том. Деп. в ОНИИТЭХИМ, г.Черкассы, 14 мая 1984 г. ,№> 458 ХП-Д-84. 115

111. Von Drowart J., G-oldfinger P. Etude thermodynamique des compo «■ ses lll'V et II'V/par spectrometrie de masse. J. de Chim. Phys., 1958, v. 55, N. 10, p. 721 ~ 732.

112. Марина Л.И., Нашельский А.Я. Термохимические константы полутгт упроводниковых соединений типа АШВ и приближенные методы их расчета. Успехи химии, 197I, т.II, № 7, с.1309-1332.

113. Уфимцев В.В., Крестовников А.Н., Костин Г.В и др. Об "инверсии состава" паровой фазы над полупроводниковыми соединениями АШВУ. Журн.физ.химии, 1970, т.44, ш 5, с.1360-1363.

114. Физико-химические свойства полупроводниковых веществ./Справочник./ Под общ.ред.Новоселовой А.В., Лазарева В.Б. и др. М.: Наука,1979, 337 с.

115. Коренчук Н.М., Бурдейный А.Н.,Бандура В.М. Расчет парамет1. Ш У 1 уров взаимодействия квазибинарных систем АШВ -АШВ . Журн.физ.химии, 1980, т.54, № 9, с.2263-2266.

116. Никитина Г.В., Романенко В.Н. Расчет фазовых диаграмм некоторых полупроводниковых систем.Изв.АН СССР, Металлургия и горное дело, 1964, № 6, с.156-160.

117. Foster L.M., Woods J.E. Thermodynamic Analysis of the IK- V Alloys Semiconductor Phase Diagram. J. Electrochem. Soc., 1971, v.118, N. 7, p. 1175 « 1183.

118. Stringgfellow G-. В., Calculation of Thernery Phase Diagrams of

119. У Systems. J. Phys. Chem. Solids, 1972, v. 33, N. 3, p. 665 «• 667.123* Stringgfellow G-.B. Calculation of Regular Solution Interaction Pa« rameters in Semiconductor Solid Solutions. J. Phys. Chem. Solids, 1973, v. 34, N. -10, p. 1749 «. 1756.

120. Antipas G, M. v Yep Т.О. Growth and Charactirization of Liquid*. Phase Epitaxial ^^ЧГ^ * J" ^P1* PhYs*> 1971, v. 42, N. 8,p. 3201 « 3204.

121. Ehrenreih H. Electron mobility of Indium Phosphides and1. MsP2'X

122. J. Phys. Chem. Solids, 1959, v. 12, N. 1, p. 101~104.

123. Weiss H. Uber die elektrichen Eigenschaften ven Mischkristallen der Form У/lASyP^y . Z. Naturforsch., 1956, Bd 11 a, N. 6, s. 430 ~ 434 .

124. Кекелидзе Н.П., Гогиашвили В.А., Мушкудиани О.Л.,Кекелид-зе Г.П. Подвижность электронов в твердых растворах УпА^-х^Х при комнатной температуре. Сообщ.АН ГССР, 1970, т.57, й 2, с.313-316,130< Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции. М.: Химия, 1978, 360 с.