Физико-химические аспекты очистки мышьяка в элементарной форме тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.04 ВАК РФ

Гасанов, Ахмедали Амирали оглы АВТОР
кандидата химических наук УЧЕНАЯ СТЕПЕНЬ
Москва МЕСТО ЗАЩИТЫ
1994 ГОД ЗАЩИТЫ
   
02.00.04 КОД ВАК РФ
Автореферат по химии на тему «Физико-химические аспекты очистки мышьяка в элементарной форме»
 
Автореферат диссертации на тему "Физико-химические аспекты очистки мышьяка в элементарной форме"

российская академия наук

общей и неорганическ

ИМЕНИ Н.С.КУРНАКОВА

Р Г 5 ОД

ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ И НЕОРГАНИЧЕСКОМ Ш'Л

На правах рукописи.

Гасанов Ахмедали Амирали огли

Физико-химические аспекты очистки мышьяка в элементарной форме

(02.00.04 - физическая химия)

АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук

Москва 1994

Работа выполнена в Государственном научно-исследовательском и проектном инсл!туте редкометаллической промышленности

"Гиредмет"

Научный руководитель: доктор технических наук

профессор Нисельсон Л.А.

Официальные оппоненты:

доктор технических наук профессор Федоров В.А. доктор химических наук профессор Пашинкин A.C.

Ведущая организация: Институт химии высокочистых

веществ РАН, г.Н.Новгород.

Защита диссертация состоится п 8 п Т994 г.

в /о 'часов на заседании специализированного Совета по защите кандидатских диссертаций К 002.37.02 в Инстиуте общей и неорганической химии им Н.С.Курнакова по адресу: 117907, ГСП-1, г.Москва В-71, Ленинский пр., 31.

С диссертацией можно ознакомиться в ОХН БЕН РАН

Автореферат разослан " н^^Ф-с^/рЦ.—■ 1994 г.

Ученый секретарь специализированного Совета, кандидат химических наук Куков Э.Г.

Общая характеристика работы

Актуальность телы.

Высокочистый мышьяк является одним из важнейших элементов современной микро и оптоэлектроники. Наиболее перспективным направлением в получении высокочистого мышьяка является его очистка в элементарной форме. Примеси халькогенов являются одними

ТТТ V

из наиболее вредных для полупроводниковых материалов А В . Поэтому изучение взаимодействия их с мышьяком, а также их поведение в процессах очистки мышьяка представляют большой интерес. С другой стороны, халькогениды мышьяка и материалы на их основе находят широкое применение в оптоэлектронике. Высокая фотоэлектрическая чувствительность и низкая электропроводность пленок халькогенидов мышьяка привели к их широкому применению в ИК-оптике, фотоэлектрической записи информации и пр. Наилучшим способом получения пленок заданной толщины и состава является напыление из газовой фазы. Поэтому особый интерес представляет изучение процесса испарения смесей мышьяк - селен, мышьяк-теллур, а также иследование равновесия жидкость-пар в этих системах. Подобные сведения в литературе практически отсутствуют. Исследование систем мышьяк-халькогены представляет интерес по двум основным причинам: из данных компонентов синтезируют мышь-як-халькогенидные стекла и, кроме того, примеси халькогенов являются одними из наиболее вредных для арсенида галлия.

Целъ работы.

Изучение давления насыщенного пара над жидким и кристаллическим мышьяком в широком температурном интервале.

Исследование диаграмм состояния жидкость-пар в. системе Аз - Бе, кристалл-жидкость и жидкость-пар в системе Аз - Те, включая определение межфазовых коэффициентов распределения примесей селена и теллура в мышьяке.

Изучение влияния кислорода на взаимодействие элементарного мышьяка с кварцевым стеклом. Научная новизна результатов исследований.

Измерено давление насыщенного пара над жидким и кристаллическим мышьяком. Данные измерения выполнены в более широком температурном интервале, чем это известно в литературе. Построены диаграммы состояния жидкость-пар в системе мышьяк-селен и кристалл-жидкость-пар в системе мышьяк-теллур. Определены коэффициенты распределения примесей селена и теллура в мышьяке при равновесиях кристалл-жидкость и жидкость-пар. Данные сведения получены впервые.

Установлено, что "бескислородный" мышьяк практически не взаимодействует с кварцевым стеклом вплоть до 1100°С, а также, что степень разрушения кварцевого стекла линейно зависит от концентрации кислорода в мышьяке. Практическая ценность.

Экспериментально определенные значения коэффициентов распределения примесей селена и теллура в мышьяке были использованы при разработке технологии получения особочистого мышьяка.

Сведения о диаграммах состояния мышьяк - селен и мышьяк -теллур практически важны для оптимизации процессов получения материалов А111!}71.

Данные по давлению насыщенного пара над жидким и кристаллическим мышьяком, а также результаты исследований по взаимодействию мышьяка с кварцевым стеклом необходимы для создания и совершенствования аппаратуры для процессов получения высокочистого мышьяка, а также синтеза мышьяксодержащих соединений. На защиту быкосзтся:

1 .Результаты исследования равновесия жидкость-пар в системе мышьяк - селен и кристалл-жидкость и жидкость-пар в системе мышьяк - теллур.

, 2.Результаты определения коэффициентов распределения примесей селена и теллура в мышьяке при равновесиях кристалл-жидкость и жидкость-пар.

■ 3.Результаты измерения давления насыщенного пара над жидким и кристаллическим мышьяком.

4.Результаты исследования взаимодействия мышьяка с кварцевым стеклом при высоких температурах.

Апробация уабот.

Результаты исследований докладывались на: -1V Всесоюзной конференции по массовой кристаллизации и кристаллизационным методам разделения смесей (Иваново 1990); -Всесоюзной конференции по методам получения особо чистого мышьяка и его соединений с применением в народном хозяйстве (Кутаиси 1990).

-Сессии Совета по химии высокочистых веществ (Харьков,1991).

Публикации.

По теме диссертации опубликовано б статей и 2 тезисов докладов.

Структура и объел работы.

Диссертация изложена на 120 страницах машинописного текста,

состоит из введения, шесть глав и выводов. Содержит 28 рисунка и 14 таблиц. Список литературы включает 122 наименований. Содержание работы.

Во введении обоснована актуальность теш, обьекты исследования научная новизна работы.

Глава 1 .Критический анализ состояния вопроса.

Включает критический анализ состояния вопроса и обзор литературы по очистке мышьяка. Требования к чистоте мышьяка зависят от его применения и для разных случаев могут значительно различаться. Так, в полуизолирующем нелегированном арсениде галлия особо жесткие требования предъявляются к содержанию 2п, элементов IV группы, С. Особенно эта касается серы. Она сопутствует мышьяку генетически, начиная от руды и, являясь мелким донором, резко ухудшает электрофизические параметры СаАз. В то же время, требования к содержанию А1, Сг, не столь критичны. С другой стороны в мышьяке, использующемся для получения оптических материалов на основе Аз25е3, примеси элементов VI группы не являются вредными.

В производстве полупроводниковых приборов на основе арсени-да галлия успешно развивается направление, основанное на молвку-лярно-лучевой эпитаксии. Для этой цели предпочтителен монолитный (плавленный мышьяк), который занимает меньший обьем и гораздо в меньшей степени, подвержен окислению и вторичным загрязнениям, чем сублимационный мышьяк. Поэтому наиболее перспективным методом получения высокочистого мышьяка является кристаллизация из расплава в элементарной форма. Данный метод, помимо своей высокой эффективности, позволяет получать мышьяк в виде крупнокристаллических слитков.

В литературном обзоре отмечается, что какие-либо количест-

венные экспериментальные данные по коэффициентам распределения в литературе отсутствуют. Поскольку примеси элементов VI группы периодической системы являются наиболее вредными для полупроводниковых соединений А113^, то важно знать их поведение при очистке мышьяка кристаллизационными и дистилляционными методами. Литературные сведения по межфазовым равновесиям в системах Аз - Бе и Аэ - Те крайне скудны: исследованы лишь диаграммы плавкости в эти системах (к тому же, эти данные противоречивы).

В связи с этим, задачей настоящей работы явилось исследо-»' вание равновесий кристалл-жидкость и жидкость-пар в системах Аэ - Бе и Аэ - Те, включая определения соответствующих межфазовых коэффициентов распределения в "углу" мышьяка. Кроме того, были поставлены смежные задачи ( практически важные для технологических разработок): измерение давления насыщенного пара чистого мышьяка как над кристаллической, так и над жидкой фазами, а также взаимодействие мышьяка с кварцевым стеклом.

Глава 2.Описание использованных методик и аппаратуры.

Описан метод измерения давления насыщенного пара чистого мышьяка и его смесей с селеном и теллуром. Применен статический метод с использованием мембранного нуль-маномзтра. Компенсирующее давление измеряли образцовый манометром. Точность измерения давления пара составляла ±0.01 атм для интервала давлений 0-1 атм и ±0.1 атм для давлений выше 1 атм. Поскольку рабочее давление было существенно выше атмосферного, нуль-манометр был помещен в специальную камеру.

Для определения коэффициента разделения при равновесии кристалл - жидкость использована направленная кристаллизация по Бриджмену. Для коэффициента разделения жидкость-пар использовано равновесная перегогонка по Релею.

Проводили термический анализ в системе мышьяк - теллур. Были использованы хромель-алюмелевые термопары, градуированные по реперным веществам. Температуру измеряли Pt-Pt/Rh термопарой с точностью +1°С. Измерения проводили как в режиме нагревания так и в режиме охлаждения. О достижении равновесия судили по неизменяемости значения давления пара от времени, а также по сходимости значений давления пара при определенной температуре, измеренных при нагревании и охлаждении и по сходимости результатов параллельных опытов. В качестве эталона сравнения была использована окись алюминия.

Глава 3. Давление насыщенного пара над жидким и кристаллическим мъшл&ком.

Важнейшей харектеристикой для разработки оборудования процессов очистки мышьяка является давление его насыщенного пара, величина которого в тройной точке намного превышает атмосфер-. ное, и является одной из самых высоких из всех известных веществ.

Наш измерена температурная зависимость давления насыщенного пара мышьяка как над кисталлической, так и над жидкой фазами в интервале температур от 600 до 1135°С. Измерения проводились статическим методом с помощью кварцевого мембранного нуль-манометра, помещенного в камеру высокого давления. В опытах использовался мышьяк высокой чистоты 7N, полученный нами, так называемый "Super Ars". При загрузке нуль-манометра особое внимание обращалось на удаление примеси кислорода, поскольку присутствие последнего повышает наблюдаемую величину давления пара по сравнению с истинной, а также может приводить к разрушению кварцевой мембраны- из-за взаимодействия Аа203 с кварцевым стеклом. Точность измерения давления насыщение го пара мышьяка

составляла 0,1 атм.Измерения выполнялись как в процессе повышения температуры, так и при понижении. Полученные экспериментальные данные показаны на рис.1. Зависимость давления пара над жидкой фазой в координатах 1£Р-1/Т носит ярко выраженный криволинейный характер. Повидимому, эта зависимость характеризуется наибольшей степенью кривизны из всех простых веществ. В интервале температур 739-П35°С она аппроксимируется уравнением классического термодинамического вида:

1£Р(мм.рт.СТ. )=192,50 - 19^-40- + 8,59-10~3Т - 58,951£Г.

Т

С остаточной дисперсий = 7,8-Ю-3.

Установлено, что для мышьяка характерна большая склонность к переохлаждению. Особенно это заметно на образцах высокой чистоты. При медленном режиме охлаждения в отдельных опытах переохлаждение достигало 739°С, т.е. на 78° (1) ниже его точки плавления. Для жидкого мышьяка характерен низкий темп возрастания давления насыщеннего пара с повышением температуры.

Давление насыщенного пара над кристаллическим мышьяком вы-' ражается уравнением:

7587+127

1§Р(мм.рт.ст.) = 11,45+0,13 - -и-

Из точки пересечения линий, описывающих "жидкую" и "твердую" ветви зависимости давления пара, сделана оценка параметров тройной точки мышьяка: 1; =817°с, Ртр = 41,1 атм. Прямые измерения температуры тройной точки методом термографии дали практически совпадающие результаты.

Путем экстраполяции температурной зависимости давления пара на значение критической температуры сделана оценка критического давления мышьяка (давления пара в критической точке), которое оказалось равным 107 атм.

Кз основании экспериментальных данных по давлению пара

Рис.1. Температурная зависимость давления насыщенного I мышьяка: над жидкойП), кристаллической (2) фазами. Пункт показана метастабильная область, соответствующая переохлажу ной жидкости

оценены значения энтальпий испарения, сублимации и шювл мышьяка:

Н = 84918 - 106.52Т + 3,4894-10"2 Т2 (кал/моль) п

Н = -50198 + 106.52Т - 3,4894-10 Т2 (кал/моль) пл

Н л = 34720+580 (кал/моль)

-ю-

Теплота плавления мшьяка измерена также путем термографии. Получено ЛНПЛ = 6,50+0,10 ккал/моль. Глава 4. Система мшьяк-теллур.

Методом термографии изучена диаграмма плавкости системы мышьяк-теллур. Установлено, что в данной системе ' образуется соединение Аз2Те3, которое в свое очередь образует с индивидуальными компонентами As и Те диаграммы эвтектического типа. Методом направленной кристаллизации определено значение равно-

\

весного коэффициента распределения теллура в мышьяке, равное 0,22. Опираясь на полученное значение К, а также на известное из литературы значение К примеси мышьяка в теллуре определен ход линии солидуса в углах диаграмммы (рис.2).

Изучены температурные зависимости давления насыщенных паров смесей As-Te. На основе этих данных построены линии жидкости для изобар 1; 5 и 30 атм.(рис.3). Вид полученных зависимостей свидетельствует о том, что в системе образуется отрицательный азеотроп, причем концентрационная координата азеотропной точки смещается в сторону мышьяка с повышением давления.

Методом равновесной перегонки определен коэффициент разделения примеси теллура в мышьяке:

а = Ст_/Сттвт> = 40,5 жид пар '

Опираясь на полученные данные по линии жидкости были рассчитаны коэффициенты активности компонентов в жидких смесях по методу Ван-Лаара, а также по методу Дюгема-Маргулеса (табл.1). Глава 5.Система мышьяк-селен

Изучены температурные зависимости давления насыщенных паров смесей мышьяк - селен. Давление насыщенных паров изучено в интервале температур от 480 до 1100°С. Для каждого состава фиксировались значения давления и температуры (15-20 точек).

ат % As

Рис.2. Диаграмма плавкости системы Te-As

Измерения проводили как при повышении температуры, так и при понижении. Результаты экспериментов обрабатывались методом в меньших квадратов для получения аппроксимированной линии в 1 1/Т координатах.На основе полученных данных впервые пострс линии жидкости для изобар 1; 5 и 30 атм.(рис.4). Установле что в системе Аз - Бе образуется отрицательный азеотроп, пр!

t;c

2000

Рис.3. Диаграмма состояния в системе Te-As. Изобары равновесия жидкость-пар: линии жидкости, соответствующие давлениям I; 5; 30 атм. Тонкими линиями показаны результаты термографических определений ликвидуса и эвтектической горизонтали

смещается определен

А

i \

i i

I i i

.jo'

/

Л

'Р \

J^DmuM

концентрация азеотропной точки с повышением давления в сторону мышьяка. Методом равновесной перегонки коэффициент разделения примеси селена в мышьяке:

Таблица Л.

Сравнение расчетных и экспериментальных величин а (7) в углах системы As-Te.

Основа Примесь Исходная концентрация примеси, мас.% аэксп <\д в системе Те-Аз в соответствующей подсистеме Те(Аз)-азеотроп Расчет по Ван-Лаару Расчет то Дюгему-Маргулесу

7' а експ 1 а | 7 1 | а | 7 |

Те (1атм) As 0,16-0,22 0,01-0,6 36,5 [1] 22,3 12] 0,014 1,29 3,8-10~4 6,3-10"4 35 |4,0-10~4 I | 56 12,5-10"4 I |

As (бЗатм) Те 0,20 40,5 62,5 53,3 1,54 22 | 0,35 I I

Кроме того, методом направленной кристаллизации определено значение равновесного коэффициента распределения примеси селена в мышьяке, равное 0,049.

Опираясь на полученные данные по линии жидкости были рассчитаны коэффициенты активности компонентов в жидких смесях методом Ван-Лаара и Дюгема-Маргулеса (табл.2). 4 Глава 6.Взаимодействие мшъяка с кварцевым стеклом.

Изучено взаимодействие мышьяка, содержащего примесь его оксида (Аз203), с кварцевым стеклом. Исследования проводились»-при температурах от 600 до 1000°С, содержании Аз203 в мышьяке от 0 до 5 мас.% и различном времени контакта. Установлено, что "бескислородный" мышьяк практически не взаимодействует с кварцевым стеклом вплоть до 1000° С. Разрушение КЕарца происходит в присутствии окиси мышьяка. На рис.5 показана зависимость скорости разрушения кварцевого стекла ( №,мг/см-час) от содержания в мышьяке Аз203 (а,мас.%) при фиксированных значениях остальных параметров: время контакта 20 час,температура 900°С. Практически линейная зависимость И от а в широкой области концентраций Аз203 также указывает на то, что оксид мышьяка является основным компонентом, вызывающим разрушение кварцевого стекла. В интервале концентраций Аз203 от 0,08 до 4,5 мае.% эта зависимость выражается уравнением:

№ = 0,039 + 0,103 а , мг/(см2ч) В свою очередь.зависимость скорости разрушения от температуры носит экспоненциальный характер и удовлетворительно аппроксимируется уравнением:

= 2,566 - 433,8/Т , МГ/(СМ2Ч) где Т-абсолютная температура в интервале от 873 до 1273 К. Уравнение получено для времени контакта 20 ч и содержания Аз203

Рис. 4. Равновесие жидкость-пар в системе Бе-Аз. Изобары ли (цифрами указано давление) жидкости при давлениях I; 5 и 30 £

-0,23 мае.Ж. Экстраполяцией этого уравнения можно установи' что ниже 550°С взаимодействия паров Азг03 с кварцевым стек, практически не происходит - № <0,002 мт/(см2ч). Своеобразный вид имеет зависимость скорости разрушения кварцевого стекла от времени контакта. Из рис.6 видно, что к] вая этой зависимости имеет ярко выраженный максимум с кру возрастанием скорости в начальный период. Для 900°С и исход

Таблица 2.

Сравнение расчетных и экспериментальных величин а (7) в углах системы Аз-Бе.

Основа Примесь Исходная концентрация примеси, мас.% аэксп. «ЙД в системе Бе-Аз в соответствующей подсистеме Бе(Аз)-Аз2Бе3 ^реал Расчет по Ван-Лаару Расчет по Дюгему-Маргулесу

1 V 7 7

Бе (1атм) Аз 0,01-0,3 66 [3] 0,054 7,86 8.8И0-4 1,42-10"5 5,69•10-4

Аз (бЗатм) Бе 0,20 НО 4,5 24,5 0,041 1,45-10-2 -

\А/} иг/си2-час

[ /

:/

О —-—-—■—'—'—--- ' '___-_'

О 2 { а, шс.%

Рис.5. Зависимость скорости разрушения кварцевого стекла (у/) от содержания Аз203 в мышьяке (а). Время опыта 20ч; температура 900°С

концентрации Аз203 в мышьяке, равной 0,23 мас.%, максимум при ходится на 18 ч контакта и составляет 0,07мг/(см2ч).

Был выполнен химический и рентгенофазовый анализ продуктов взаимодействия Ав203 с кварцевым стеклом. Из полученных результатов можно предполагать что, "продуктом взаимодействия" является индивидуальное химическое соединение типа дальтонидов. Таким образом, можно заключить, что присутствие даже незначи-

V/, мс/см 'час

О

} час

О 20 .40 й 8)

Рис.6. Зависимость скорости разрушения кварцевого стекла (и) от продолжительности опыта, концентрация Аз203 0,23 мас.%; температура 900°С

тельного количества окисы мышьяка затрудняет кристаллизационную очистку мышьяка от примеси кремния, которая является одной из наиболее вредных для арсенида галлия. Заключение*

Данные наших физико-химических исследований были использованы при разработке технологии и аппаратуры для получения мышьяка высокой чистоты. Особенностью этой технологии является то,

что очистка мышьяка в основном осуществляется в элементарной форме.

Кристаллизационная очистка мышьяка была реализована в варианте направленной кристаллизации. Процессу направленной кристаллизации предшествовала операция отгонки от летучих примесей, в том числе окиси мышьяка.

Для осуществления процесса кристаллизационной очистки мышьяка, который характеризуется высоким значением давления при температуре плавления, была сконструирована и изготовлена специальная установка, позволяющая получать слитки диаметром 25-30 мм массой до 800 г. Кроме этого была сконструирована промышленная установка, в которой можно получать слитки мышьяка диаметром до 70-75 мм массой до 8-10 кг.

Наши исследования показали, что кварцевое стекло устойчиво к воздействию мыльяка, если он не содержит примеси Аз203. Поэтому кварц был использован для изготовления ампул-контейнеров. Механическая прочность кварцевых трубок двойного переплава малого диаметра (до 15 мм) позволила получать слитки в установке без противодавления, что существенно упростило последнюю и снизило энергозатраты.

Чистота мышьяка, получаемого по кристаллизационной технологии (названного нами "Super Ars"), превосходит чистоту продуктов всех отечественных и большинства известных нам зарубежных марок. Еще одним преимуществом описанной технологии очистки является также то, что мышьяк получается в виде моно или -крупнокристаллических слитков. Такой материал обладает высокой устойчивостью к воздействию внешней среды, в частности, скорость его окисления на несколько порядков ниже по сравнению с обычными формами мышьяка - сублимационными друзами, а также

повышенной безопасностью (в смысле токсичности) в хранении и работе с ним. Мышьяк в такой фэрме особенно удобен для применения его в качестве источника в молекулярко-лучевой эпитаксии (МЛЭ). Использование мышьяка "Super Ars" в процессе МЛЭ по результатом испытаний в ряде организаций, в частности, в ИРЭ РАН (г.Москва), НИИМЗ (г.Зеленоград), ИФП РАН (г.Новосибирск), ИАП РАН (г.Санкт-Петербург) дают высокие электрофизические параметры полупроводниковых гетероструктур, стабильность результатов и практически 100%-ный выход годной продукции.

Настоящая технология обладает и рядом других достоинств: отсутствие "мокрых" переделов, безреагентность, высокоя экологическая чистота, т.е. практическое отсутствие жидких отходов и газовых выделений.

Выводи

1 .Исследовано давление насыщенного пара над кристаллическим и жидким мышьяком в широком температурном интервале. Рассчитаны тепло-термодинамические данные мышьяка. Рассчитаны значения давления насыщенного пара в тройной и критической точках мышьяка.

2.Изучены температурные зависимости давления насыщенного пара смесей мышьяк - теллур. Выполнено исследование диаграммы плавкости в этой же системе. На основе полученных данных построены диаграммы состояния кристалл-жидкость-пар в системе мышьяк-теллур в широком диапазоне температур и давлений.

3.Исследовано равновесие жидкость-пар в системе мышьяк -селен. Построены Р-Т (Р-х) проекции диаграммы состояния.

4.Изучено поведение примесей селена и теллура при кристаллизационной и дистилляционной очистке мышьяка. Определены равновесные коэффициенты распределения указанных примесей при со-

ответствующих равновесиях.

5. На основе полученных экспериментальных данных по линии жидкости и азеотропной точке парожидкостного равновесия в системах As - Те и As - Se выполнены расчеты коэффициентов активности компонентов в жидких смесях.

G.Изучено взаимодействие мышьяка, содержащего примесь его оксида (As203 ), с кварцевым стеклом. Установлено, что "бескислородный" мышьяк практически не взаимодействует с кварцевым стеклом вплоть до 1000°С. Показано, что разрушение кварцевого стекла в широком диапазоне содержания As203 линейно зависит от его концентрации в мышьяке. Сделаны предположения о природе продуктов взаимодействия Аз203 с кварцевым стеклом.

Список цитируемой литературы.

1. Устюгов Г.П., Вигдорович E.H., Безобразов Е.Г. Фазовое равновесие жидкость-пар в бинарных системах теллур-примесь. -Изв.АН СССР, Неорган, мат-лы, 1969, Т.5, XZ, С.363-364.

2. Нисельсон Л.А., Ярошевский А.F., Кочуров А.З. Коэффициент разделения при кристаллизации и дистилляции кадмия, цинка, рту-та и теллура. -Металлические монокристаллы. М.:Наука, 1990, С.60-67.

3. Устюгов Г.П., Ванюков A.B., Герасимов А.Д. и др. Исследование равновесия жидкость-пар в системах селен-примесь. -Электронная техника, 1967, серия 14, вып.Л 8, C.III-II5.

Материалы диссертации опубликованы в следующих работах:

1. Нисельсон Л.А., Гасанов A.A., Ярошевский А.Г. Равновесия кристалл-жидкость и жидкость-пар в системах мышьяк-примесь. 2. Межфазовые коэффициенты распределения примесей селена и

теллура. -Высокочистые вещества, 1990, Ji 2, С.68-71. 2. Нисельсон Л.А., Ярошевский А.Г., Кочуров А.З., Гасанов A.A.

Коэффициенты распределения при кристаллизационной очистке мышьяка. -В сб. 1V Всесоюзной конференции по массовой кристаллизации и кристаллизационным методом разделения смесей. Тез.докл., Иваново, 1990, с.165.

3. Нисельсон Л.А., Гасанов A.A., Ярошевский А.Г. Давление насыщенного пара над жидким и кристаллическим мышьяком. -Докл. Акад. Наук СССР, 1990, Т.314, X 5, СИ 166-1168.

4. Нисельсон Л.А., Ярошевский А.Г., Кочуров А.З., Гасанов A.A. Высокочистый мышьяк. Получение, свойства, оценка чистоты. -Труды конференции по современным методикам получения особо чистого мышьяка и его соединений. -Тез.докл., Тбилиси-Кутаиси, 1990, с.64.

5. Нисельсон Л.А., Гасанов A.A., Ярошевский А.Г. Равновесия кристалл-расплав и расплав-пар в системе мышьяк-теллур. -Высокочистые вещества, 1991, №6, С.97-104.

6. Нисельсон Л.А., Гасанов A.A. Влияние кислорода на взаимодействие элементарного мышьяка с кварцевым стеклом при высоких температурах. -Высокочистые вещества, 1992, а 1, С.86-92.

7. Нисельсон Л.А., Гасанов A.A., Ярошевский А.Г. Равновесия жидкость-пар в системе мышьяк-селен. -Высокочистые вещества, 1993, Ы, С.56-61.

8. Нисельсон Л.А. .Ярошевский А.Г. .Гасанов A.A. .Третьякова К.В. Глубокая очистка мышьяка. -Высокочистые вешества, 1993, М,

С.62-74.