Квантовохимическое исследование реакции окисления моносилана тема автореферата и диссертации по физике, 01.04.17 ВАК РФ

РГб О*

РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКОЙ КИНЕТИКИ И ГОРЕНИЯ

На правах рукописи

КАЧУРОВСКАЯ Неля Александровна

УДК 539.194+541.11.127

КВАНТОВОХИМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ РЕАКЦИИ ОКИСЛЕНИЯ МОНОСИЛАНА

01.04.17 - химическая физика, в том числе физика горения и взрыва

Автореферат Диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук

Новосибирск - 1994

Работа выполнена в Ордена Трудового Красного Знаме Институте катализа имени Г.К.Борескова Сибирского отделен Российской академии наук

Научный руководитель:

доктор химических наук,профессор

С.М.Репинский

Официальные оппоненты:

доктор химических наук, профессор

П.В.Счастнев

доктор физико-математических наук, профессор Г.В.Гадияк

Ведущая организация:

Институт структурной макрокинетики РАН

на заседании Специализированного совета К 002.20.01 в Институте химической кинетики и горения СО РАН по адресу: 630090, Новосибирск, 90, ул. Институтская, 3.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института химической кинетики и горения СО РАН

Защита состоится

1995 г. в

часов

Автореферат разослан

С£СС<- г.

Ученый секретарь специализированного Совета

д.х.н.

/

Грицан Н.П.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность исследования. С конца 1960-х годов в связи с развитием полупроводниковой техники выявилась необходимость в разработке способов нанесения на различные материалы тонких и прочных слоев веществ с хорошими диэлектрическими свойствами. Одним из таких способов является окисление моносилана кислородом, сопровождающееся в определенных условиях образованием пленок двуокиси кремния. Знание механизма данной реакции необходимо для понимания пути образования конечных продуктов, особенно Б^Од-

Для исследования детального механизма цепных реакций в настоящее время важно использование методов квантовой химии. К сожалению, квантово-химическая теория радикальных реакций развита в меньшей степени по сравнению с теорией гетеролитических реакций, в ходе которых обычно сохраняется замкнутая электронная оболочка реагирующей системы. Это об'ясняется значительным усложнением характера расчетов для систем с открытыми электронными оболочками, необходимостью учета электронной корреляции. Для радикальных реакций характерно сближение поверхностей потенциальной энергии различных электронных состояний, и вероятность изменения мультиплетности электронного состояния в ходе реакции высока. Результаты расчетов радикальных процессов существенно зависят от точности метода.

Высокая реакционная способность кремнийсодержащих соединений, затрудняет их получение и стабилизацию. В подобных случаях

квантово-химические исследования являются незаменимым

средством решения проблемы.

Целью работы. Анализ элементарных стадий окисления моносилана на основе квантово-химических расчетов и кинетических оценок для получения информации о процессе роста пленки диоксида кремния. Научная новизна. Данная работа представляет собой одно из первых исследований, в котором рост слоев диоксида кремния рассматривается в единстве с процессами, проходящими в газовой фазе.

Выполненное квантово-химическое исследование элементарных реакций процесса окисления силана позволило определить стадию разветвления цепи.

Проведено кинетическое и термодинамическое моделирование роста пленки и образования аморфного порошка, обосновано влияние добавок аммиака на эти два конкурирующих процесса. Научно-практическая ценность. Результаты выполненных

квантово-химических исследований и кинетических оценок дают новые знания, необходимые для понимания образования конечных продуктов. В данной работе предложен механизм роста пленки диоксида кремния, рассмотрено влияние разных факторов на этот процесс (добавок аммиака, изменения температуры, давления), что само по себе важно в технологии получения слоев БК^.

Определение стадии разветвления цепи в процессе окисления силана кислородом имеет самостоятельное значение в теории химического превращения, как представитель цепных реакций, протекающих с большой скоростью при температурах близких к комнатной и низких давлениях.

Апробация работы. Отдельные части работы докладывались на I

Всесоюзной конференции по процессам осаждения из газовой фазы (Черноголовка, 1988 г.), на VI Всесоюзном семинаре "Физическая химия поверхности монокристаллических полупроводников" (Новосибирск, 1989 г.), на XI Конференции по квантовой химии "Конференция по квантовой химии, строению и реакционной способности молекул" (Новороссийск, 1994 г.).

Публикации. По материалам диссертации опубликовано 4 печатные работы.

Об'ем и структура диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, основных результатов и выводов, библиографии. Работа изложена на 88 страницах, содержит13 рисунков, 8 таблиц. Списиок цитируемой литературы включает 97 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обосновывается актуальность темы и формулируются задачи исследования.

В первой главе проведен краткий обзор работ по исследованию процесса горения силана. Особое внимание уделяется цепным характеристикам реакции, стереохимии процесса и

экспериментальным данным по составу газовой фазы.

Что же достоверно известно об окислении моносилана кислородом? Реакция представляет собой разветвленно-цепной процесс с характерными для него явлениями. Кроме того известно, что в газовой фазе в сверхравновесных концентрациях обнаружены электронно-возбужденные радикалы ОН и молекулы БШ [1-2], а также атомы О и радикалы ОН [ 31 и Зд.Н3 [4] в основном состоянии. Этим исчерпываются наиболее достоверные данные о реакции горения

силана.

Во второй главе рассматривается перекисный радикал SiHgOg, возможность его образования в результате взаимодействия силильного радикала с молекулярным кислородом, структура радикала, электронное строение и стабильность.

Радикала SiHg взаимодействует с молекулярным кислородом

------ SiHg + 02 -»продукты (1)---------- -----

Механизм дальнейших превращений полностью определяется механизмом

элементарной реакции (1). Из кинетических измерений

(JI.H.Краснопёрое, С.А.Часовни к ов) [51 следует заключение, что

образующийся перекисный радикал не стабилизируется, а

изомеризуется или распадается на две частицы. Ответ на этот вопрос

можно найти, если знать величину энергетического эффекта данной

реакции. Так, оценки, проведенные Хартманом и др. [6] для реакции

(1), дают значение ДН=-72 ккал/моль, которое указывает на то, что

данный радикал должен стабилизироваться.

С целью исследования стабильности SiHg02 нами были выполены

неэмпирические расчеты силовых постоянных радикала. Результаты

расчета силовых постоянных показали, что данная структура

соответствует пологому минимуму на поверхности потенциальной

энергии, что говорит о структурной нежесткости, легкой

способности радикала SiH^Og изомеризоваться. Радикал имеет

2

симметрию Cs, электронное состояние А". Неспаренный электрон

находится на Р - орбитали терминального атома кислорода (рис.1). 2

Значение <S > в UHF расчете равно 0,7765.

z

О

(3)

О

(2)

н

Si

' к""" Н

н

о

Si

н

......н

н

Рис.1 С - структура радикалов SiHgOg и SiHgO.

Одной из особенностей электронной структуры радикала SiHgO,,, рассчитанной в хартри-фоковском приближении, является

существование не aufbau решений. Для систем с замкнутой оболочкой, выполнение aufbau principle для низшего полносимметричного ССП решения является необходимым условием, что отвечает заполнению уровней

е. < е , d V'

где е^ и энергии верхнего двукратно занятого и низшего

вакантного уровней. Однако для систем с открытыми оболочками этот вопрос, насколько известно автору, детально не исследовался.

Обычное (aufbau) решение для систем с одним неспаренным электроном отвечает заполнению одноэлектронных уровней

cd < cs < CV (2)

эргия■однокра

Обсуждаемые в работе "нe-aufbau" решения для__радикала__SiH302

получаются при неэмпирическом расчете и отвечают следующим заполнениям:

cs < cd < cv, (3)

cd < cv < cs. (4)

В работе осуществляется систематический поиск aufbau решений

путем перебора различных заполнений в начальном приближении. Для

исходной геометрии было найдено только одно такое решение ^А'

(электронная конфигурация ГзаКр = 13а' + За'', Готкр = а'), однако

оно не является низшим по энергии (см. табл. 1) и в результате

о

полной оптимизации геометрии переходит в А" решение (электронная конфигурация Гзакр = 13а' + За", Гот[ф = а").

Таким образом, показано, что решение с наименьшей энергией для этой структуры не удовлетворяет aufbau principle. По-видимому, это происходит потому что в системах с открытыми электронными оболочками одноэлектронные энергии е. не имеют физического смысла.

Ь

Таблица 1

Различные ССП решения (1*1^/3-210), полученные для радикала 31Н,0 ' при фиксированной исходной геометрии

Номер Электронная ^полн Электронное

ССП конфигурация, а. е. заполнение

решения Г /Г

г закр откр

1 14а' + 2а''/ а'' -437.34287 ур. (3)

2 12а' + 4а"/ а" -437.42001 ур. (4)

3 13а' + За"/ а' -437.66267 ур. (2)

4 12а' + 4а"/ а' -437.92046 ур. (3)

5 *) 13а' + За"/ а" -437.93118 ур. (3)

^ Такая электронная конфигурация соответствует также оптимальной геометрии радикала.

Существенный интерес представляет энергия образования БШ^О^' из ^Нд' и Од ^ ' Расчеты, выполненные на уровне

МР4/6-21С //6—2Ю , дают для реакции

31Н3 + 02 —» 31Н302

значение ДЕ= -36,6 ккал/моль. Это указывает на то, что дальнейшие превращения радикала Б^^Од будут протекать по разным маршрутам. Среди них будет и распад по доступным каналам, и изомеризация. В третьей главе проводится анализ возможных каналов диссоциации перекисного радикала и рассматривается изомеризация радикала Б1Н302 с последующим распадом. Данная глава посвящена поиску стадии разветвления в цепном процессе.

Хартманом и др. [6] на основе проведенных термодинамических оценок было высказано предположение, что разветвление в цепном процессе окисления силана осуществляется по элементарным стадиям:

(Б1Н302-)* -> Б1Н200 + Н (2)

*

Б^ОО -> (НБЮОН) (3)

*

(НБЮОН) -» Н0031 + Н, (4)

где 31Н200- цвиттер-ион, его энергия стабилизации по отношению к бирадикалу составляет 28 ккал/моль.

Для проверки данного предположения были выполнены расчеты с полной оптимизацией геометрии цвиттер-иона, бирадикала и циклической структуры состава 31Н202. Их геометрии представлены на рисунке 2. Как показали расчеты, самой стабильной является циклическая структура симметрии С2- Энергия ее стабилизации по отношению к бирадикалу составляет 63,0 ккал/моль, а энергия стабилизации бирадикала по отношению к цвиттер-иону составляет 33,1 ккал/моль. Отрыв атомарного водорода с образованием бирадикала 31Н202 или цвиттер-иона характеризуются большим эндотермическим эффектом. Если образуется циклическая структура, то процесс идет с поглощением 12 ккал/моль. Дальнейшая изомеризация с образованием перекисной структуры НБЮОН требует дополнительно 32,8 ккал/моль, последующий отрыв водорода в

соответствии с реакцией (4) также эндотермичен (67,3 ккал/моль).

* *

Результаты расчетов на уровне МР4/6-21С //6-216 элементарных стадий представлены в табл.2.

н н

н н

81—0—О

/+1.050 -0.590 -0 233

о—О

М9.4

О V 1.460

Н н

о—о

\ ✓

81-,.™ ч4' V

Н У

¿ШЮО=107.4

о-оч,„,

л

Н\.1 471

н

106.2 110.6

-0 032 -0413

о—О

. +0.70 >1

н н

¿Н8ЮО=б1.9

Рис. 2 Равновесные структуры в ангстремах и градусах и атомные заряды для структур 8Ш2Ог.

Таблица 2

Энергетический эффект некоторых элементарных стадий в процессе окисления силана (ккал/моль)

Реакция Етр4/6-2Ю*//6-210*

Б1Н3-+ 02 -> (81Н302')* -36.6

(31н3о2-)* -> Б1Н30- + 0: +45.5 (+58.0 110])

(51Н302-)* -> 31Н202 + н- +108.1

(31Н302-)* * <81Н302-> .0 хо -> Б1Н202(3А") + Н- +12.1 +75.1

Н^^ -» НБЮОН Ч0 НЗЮОН -> БХООН + Н" +32.8 +67.3

(Б1Н302')* —> нгэюон -6.0

(31Н302')* -> Н231(0Н)0' -82.4

Н231(0Н)0' -> БШОЮО + Н- +24.8

Н2Б1(0Н)0' -> Э1Н20 + 'ОН +72.0

Приведенные величины энергетических эффектов элементарных стадий процесса окисления силана говорят о том, что предположение о разветвлении путем отрыва атомарного водорода от перекисного радикала с последующей изомеризацией и отрывом второго атома водорода не подтверждается.

Другой канал распада радикала 81Н302, который мы анализировали, отрыв атомарного кислорода

(31Н302 )* (V) -> Э1Н30 (2А') + О (3Р) (5)

В результате оптимизации геометрии радикала БИ^О получена

структура симметрии Сз, при этом наблюдается эффект Яна-Теллера,

понижение симметрии с С^ до Сз за счет отклонения связи Б1-0 от

оси третьего порядка. Неспаренный электрон находится на

молекулярной орбитали симметрии А, основной вклад в которую вносит

Р - орбиталь атома кислорода (рис.1). Первое "вертикально"

о

возбужденное состояние А ( А") лежит на 1,7 ккал/моль выше. Хотя, реакция (5) запрещена по симметрии, благодаря свободному вращению 31Нд- группы (барьер вращения в Зл.Н302 радикале " 1,0 ккал/моль) происходит смешивание А' и А'' орбиталей, и запрет по симметрии

снимается. Энергия связи (0-0) в перекисном радикале, полученная * *

на уровне МР4/6-21в //6-21й расчетов, составляет 45,5 ккал/моль.

Таким образом, элементарная стадия с отрывом атомарного кислорода

*

не может являться основным каналом распада радикала (БШдО^) .

В третьей главе рассматриваются изомеры радикала 31Н302: Н^ЮОН и Н^КОЮО'. Были найдены энергетические эффекты изомеризации:

*

(31Н302') -> Н^ЮОН ДЕ= -6 ккал/моль (6)

*

(31Н302') -» Н^КОЮО' ДЕ= -82,4 ккал/моль (7)

Проведенные расчеты позволили показать, что основным превращением, которое претерпевает возбужденный радикал Зл.Н302', является изомеризация. Данное заключение согласуется с выводами экспериментальной работы [7].

В результате реакции ЗШ3' + 02 -» Н231(0Н)0' выделяется

энергия ~ 82,4-120 ккал/моль, достаточная для разрыва любой связи в данном радикале. Для такого "горячего" радикала могут

реализоваться разные каналы распада. Наиболее вероятным представляется следующий:

H2Si(0H)0' -> Н + H(0H)Si=0 (8)

H(0H)Si=0 -> Н20 + SiO

SiO + 02 -> Si02 + О:

в результате чего и обеспечивается разветвление в цепном процессе. Энергетический эффект реакции (8) составляет ДЕ= 24,8 ккал/моль. Высказанное предположение о каналах распада радикала H2Si(0H)0" согласуется с данными по ИК-спектроскопии. На Аг-матрицах при 17К для системы SiH4 + Од были сняты спектры HgSiO, SiO и H(0H)Si=0 (Withnall R., Andrews L.) [8-9].

В конце главы проводится сравнение с механизмом окисления метана. В работе дан ответ на вопрос: почему окисление метана протекает по механизму вырожденного разветвления, а силана - нет. Механизм окисления метана можно представить в виде схемы:

сн4 + о2-» сн3 + но2

СН3 + °2 —* СН3°2'

СНд02' + СН4 -> СНдООН + СНд

Дальше происходит накапливание неустойчивой перекиси и ее

разложение

СНдООН -> СНдО' + ОН

В случае окисления силана перекисный радикал SiHg02' частично сразу диссоциирует по доступным каналам, но главным образом изомеризуется, а затем распадается.

Энергии разрыва связей (0-Н) й (0-0) в перекисных кремний и углеродсодержащих соединениях близки и составляют 95,8 и 57,3 ккал/моль для SiHgOOH и 90,3 и 51,9 ккал/моль для СНдООН [10].

Энергии разрыва связей Si-H и С-Н в силане и метане также близки.

При взаимодействии силильного радикала с кислородом выделяется

~ 37 ккал/моль, для аналогичной реакции в случае метильного

радикала ~ 26 ккал/моль. По-видимому, эта энергия меньше энергии

активации изомеризации радикала CHgOg. Атом кремния больше атома

углерода, и поэтому переходное состояние О-О

^ ^ легче реализуется в случае кремния.

Si / !\ Н н н

Четвертая глава диссертации посвящена вопросам осаждения слоев диоксида кремния из газовой фазы. С помощью квантово-химических расчетов и кинетических оценок анализируется возможность роста пленки диоксида кремния за счет адсорбции промежуточных молекулярных соединений на подложке. Изучается влияние аммиака на два конкурирующих процесса: процесс роста пленки и полимеризацию.

Было высказано предположение, что и пленка, и аморфный диоксид кремния образуются из одного промежуточного продукта. Данное заключение основывалось на результатах работы (Васильева Л.Л., Ненашева Л.А., Дульцев Ф.Н.) [11] по низкотемпературному окислению моносилана кислородом в присутствии аммиака. Пиролиз гидрида кремния и химическое осаждение слоев поликристаллического кремния (в отсутствие окислителя) приводят к пленкам из кремния, которые не растут в условиях избытка окислителя. В случае окисления силана эффективность процесса выше, чем в случае дисилана, из чего можно предположить, что пленка диоксида кремния растет из частично окисленного гидрида кремния. Экспериментальные данные по ИК-спектроскопии предполагают силанон HgSiO и силаноно-вую кислоту H(OH)SiO. Эти соединения легко реагируют с водой с образованием силандиола HgSKOH^ и выделением энергии 72,6

ккал/моль, причем процесс идет практически безактивационно. В связи с этим мы предполагаем, что адсорбция силанона и силаноновой кислоты на поверхностных гидроксильных группах протекает аналогичным образом, за счет чего и растет пленка. В дальнейшем идет окисление Б1-Н- связей.

Нами проведены расчеты теплоты адсорбции силанона на поверхностных ОН-группах~~с помощью ~полуэмпирической программы АМРАС и получено значение -86 ккал/моль. Скорость адсорбции силанона оценивали по формуле

„ о-Р -Е/11Т

V 2я ш кТ 1(0) е

с допущениями, что энергия активации Е = О и £(в)~ вероятность столкновения молекул газа с достаточно активными центрами 1.

Переходный комплекс представляет собой четырехчленное кольцо и будет неподвижным. Коэффициент конденсации сг оценивали по формуле

2и ш И Ьг •

где Ь - функция распределения вращения и колебания, п - число

ё Ы

2 15

центров на 1см <* 10 . При комнатных температурах для небольших

молекул Ъ2/2п т кТ ^ 10 а Ь^ 104, тогда сг с* 10 а скорость

15 —1 —2 15

адсорбции Иа= 7х 10 с см , то есть 7х 10 частиц будет

о

адсорбироваться на 1см поверхности за 1 секунду в предположении,

что все радикалы 21Нд превращаются в силанон. Их концентрация

[81Н3)= 4х 1013 частиц/см3. Так как число активных центров 1015 на 2

1см , то у нас за 1с образуется 7 слоев 3102. Экспериментальная скорость роста пленки 10-100 А/мин (0,2-1,7 А/с), что на порядок меньше оцененной скорости. Таким образом было показано, что адсорбция силанона на поверхностных ОН-группах диоксида кремния

может обеспечить наблюдаемый рост пленки.

Для образования аморфного диоксида кремния есть два источника: полимеризация силанона и взаимодействие эфира и спирта. Takako Kudo, Shigeru Nagase [12] с помощью ab initio расчетов показали, что димеризация силанона

h2SiO + h2SiO -> (h2sio)2

проходит быстро. При переходе от двух мономеров к димеру энергия меняется монотонно, что говорит о безактивационном протекании процесса. В результате димеризации выделяется энергия 104,0 ккал/моль. Дальнейшее расширение кольца проходит быстро, без значительного барьера с большим экзотермическим эффектом. Полимеризация силанона представляется весьма вероятным процессом, хотя концентрации силанона, по-видимому, невелики и жесткое четырехцентровое переходное состояние ведет к маленькому предэкспоненциальному множителю (стерический фактор << 1). Тем не менее, если процесс полимеризации начался, то с некоторого критического размера зародыша, маленькая концентрация силанона не будет являться подавляющим фактором. Помимо циклической полимеризации силанона, возможна полимеризация с образованием линейных силоксановых цепей -(SiHgO)-. Предложенная схема согласуется с экспериментальными закономерностями: выпадение порошка наблюдается с повышением давления при прочих равных условиях. С ростом температуры скорость экзотермических процессов падает, из чего следует, что порошок будет выпадать при более высоких давлениях.

Среди исходных и конечных продуктов реакции, молекулы силана

и воды могут реагировать с силаноном:

SiH„0 + SiH. -> SiH.OSiH,

2 4 3 3

31Н20 + Н20 -> 31Н2(0Н)2

Взаимодействие спирта с эфиром представляется менее вероятным процессом, так как их концентрации меньше концентраций силанона.

В конце главы рассматривается влияние добавок аммиака на процесс роста пленки. Нами высказано предположение, что введение

аммиака препятствует процессу полимеризации силанона. Рассчитанная

* _ _

энергия образования силаноламина на уровне НР/6-21в по реакции

ЫН3 + Н2Э10 - Н231(0Н)ЫН2 составляет ДЕ— -66,4 ккал/моль. Было рассмотрено взаимодействие двух молекул силанона по схеме

к1 .

А + А - АА

к1

. ~к2 АА + М = АА + М

и показано, что димеризация силанона имеет порядок реакции промежуточный между вторым и третьим, а скорость образования полимера АА представляется в виде

к1[А]2[М] «1,-

к* + к [М]

Величина адсорбции от концентрации адсорбата зависит линейно. При маленьких концентрациях силанона, при низких давлениях буферного газа скорость полимеризации может быть на много меньше скорости адсорбции. Показано, что при введении добавок аммиака в смесь, процесс полимеризации будет подавляться за счет образования силаноламина, который на выходе из горячей зоны гидролизуется и образует аэросил. При значительных концентрациях аммиака рост

пленки также подавляется вследствие того, что большая часть силанона идет на образование силаноламина, а также из-за блокирования активных центров на растущей поверхности, что и наблюдаетЬя в эксперименте.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Проведено неэмпирическое квантовохимическое исследование электронной структуры и силовых постоянных для радикала БШдО^. Найдено, что минимуму на поверхности потенциальной энергии

2

отвечает структура симметрии Сз (терм А"). Рассчитанная энергия

3 _

образования радикала 31.Н302 из ^Нд' и 02 ( Е^) составляет ЛЕ=-36,6 ккал/моль.

На примере радикала 31Нд02 показана возможность существования не аи£Ьаи решения в качестве основного хартри-фоковского решения для оптимизированных структур.

2. Расчеты показали, что стадия отрыва атомарного кислорода от радикала 31Нд02 не может являться основным каналом реакции. Последовательный отрыв водородов не обеспечивает разветвление в цепном процессе из-за высоких эндотермических эффектов стадий.

3. Показано, что основным превращением, которое претерпевает возбужденный радикал 31Нд02', является изомеризация.

Энергетический эффект изомеризации *

(31Н302') -> Н^КОЮО" ДЕ=—82,4 ккал/моль.

Для такого "горячего" радикала могут реализоваться разные пути распада, из которых наиболее вероятный

Н^КОЮО' -> Н + Н(0Н)Э1=0

H(0H)Si=0 -> H20 + SiO

SiO + 0 -> SiO + 0:

Эти стадии возможно и обеспечивают разветвление в цепном процессе. 4. Предложен механизм роста пленки диоксида кремния и образования аморфного порошка из промежуточных молекулярных соединений: силанона (H2Si=0) и силаноновой кислоты H(0H)Si=0. Рассмотрено влияние добавок аммиака на эти два конкурирующих процесса. Показано, что аммиак препятствует полимеризации силанона за счет образования силаноламина.

Основное содержание диссертации изложено в работах:

1. Качуровская H.A., Щеголева J1.H. , Плахутин Б.Н. Структура и стабильность радикала SiHgO,,'. - Журнал структурной химии,

1994, т. 35, N 1, с. 25 - 30.

2. Kachurovskaya N.A. - Ab initio calculations of chain branching upon silane oxidation with oxygen.- React. Kinet. Catal. Lett.,

1995, v.54, N 1, p.

3. Качуровская H.A. Неэмпирическое исследование процесса.окисления силана. - Тезисы докл. "Конференции по квантовой химии, строению и реакционной способности молекул". - Новороссийск, 1994

4. Осмакова H.A., Репинский С.М., Карпушин A.A. - Препринт 32 "Молекулярные соединения в продуктах окисления силана кислородом". - Новосибирск, 1989.

Список цитируемой литературы

1. Azatyan V.V., Kalkanov V.A., Shavard A.A. React. Kinet. Catal. Lett., -1980, v.15, N 5, p.367-372.

2. Азатян B.B., Айвазян P.Г., Калканов В.А., Шавард А.А. Кинетика и катализ, 1985, т.26, N 5, с.1287-1291.

3. Kharutunyan S.A., Mkryan T.G., Sarkisyan E.N. Oxidation Communications, 1984, v.7, N 1/2, p.49-56.

4. Braun V.R., Krasnoperov L.N., Panfilov V.N. Oxidation Communications, 1984, v.6, N 1/4, p.259-271.

5. Часовников С.А., Красноперов JI.H. Хим. физика, 1987, т.6, N 7, с.956-959.

6. Hartman J.R., Famil-Ghiriha J., Ring M.H., O'Neal H.E. Combustion and flame, 1987, v.68, p.43-56.

7. Robert W. Quandt, John F. Hershberger Chem. Phys. Lett., 1993, v.206, p.355-360.

8. Withnall R., Andrews L. J. Phys. Chem., 1985, v.89, N 15, p.3261-3268.

9. Withnall R., Andrews L. J. Am. Chem. Soc., 1985, v.107, p.2567-2568.

10. Радциг В.А., Сенченя И.Н. Хим. физ., 1991, т.10, N 3, с.322-335.

11. Васильева Л.Л., Ненашева Л.А., Дульцев Ф.Н. Кинетика и катализ, 1989, т.30, вып.3, с.613-617.

12. Takako Kudo, Shigeru Nagase J. Am. Chem. Soc., 1985, v.107, p.2589-2595.

К U Uf 1? (Zi^-