Полимераналогичные превращения полистирола с целью получения резистов тема автореферата и диссертации по химии, 02.00.03 ВАК РФ

Р Г 5 ОД

- 5 ДЕК ;

ТОМСКИЙ ГШИТЕШЧВСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

На оравах рукописи

ВАСИЛЬЕВА ОЛЬГА ШШОШ

ШДИМЕРАНАЛОГИЧНЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЙ ПМИСТИРОЛА С 1ЩЫ) ПОЛУЧЕНИЯ РЕЗИСТОВ

02.00.03 ~ Органическая химия

02.00.06 - Химия высокомолекулярных соединений

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание учеиоа стенопа кандидата химических наук

Томск - 1994

Работа выполнена в Институте химии нефти СО РАН

Научные руководители:

Официальные оппоненты:

Ведущая организация:

доктор химических наук, профессор Е.Е.Сироткина

кандидат химических наук В.О.Райна

доктор химических наук, профессор В.Ы.Сутягин

кандидат химических наук а.А.Майер *

Томский государственный университет

Защита диссертации состоится " " декабря 1994 года в часов на заседании диссертационного, совета К U63.80.U7

по защите диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук но адресу: г.Томск, прЛенина, 43, ХТб, ТОГ.

С диссертацией можно ознакомиться в научно-технической Ои&шотеке политехнического университета.

Отзывы на автореферат ввсилг.ть по адресу: 634004, г.Томок, прЛенина, 30, каф. ОХ и ТОС, ученому оекретаро диссертационного совета К 063.80.07.

Автореферат разослан

• •¿¿•и

ноября 1994 г.

Ученый секретарь диссертационного

совета« кандидат химических наук С<л$гешс<? Т.И.Савченко

ОБЩАЯ ХАРАШМЗТЙКА. РАБОТЫ

Актуальность проблема. Реакции полимераналогичннх превращений многих полимеров, позволяют расширить возможности синтеза разнообразных высокомолекулярных соединений' и применений их в , различных областях для получения новых материалов и изделий са специфическими свойствами.

Одной из важных областей широкого применения функциональных полимеров является использование их при изготовлении электронных микросхем, т.е. использование в качестве ¿[ото-, электроно- и ре-нтгенорезистов. Миниатюризация электронных микросхем и переход современной электронной промышленности от фотолитографии в их производстве к электронной литографии, требует , получения .элект-роворезистов, обладающих высокой чувствительностью и разрешающей способностью. Используемые в настоящее время в качестве эдектро-норезистов производные полистирола, имеющие в своем составе хло-рметилыше группы или галоген, не в полной степени отвечают требованиям, предъявляемым резистам.

Улучшение характеристик таких полимеров требует введения в состав полистирола функциональных групп, чувствительных к действию быстрых электронов, рентгеновского излучения, а также групп, улучшающих адгезию с подлонжой. Причем, актуальным в последние года является проведение полимеранелогичных превращений с сохранением исходных молекулярно-массовых характеристик.

Цель работы заключалась в модп^якация полистирола с сохранением исходных молекулярно-массовых характеристик и получении 1 (функциональных полимеров,, пригодных для использования в качества высокочувствительных плазмосто^шн элоктронорезистов, отвечающих всем предъявляемым им требованиям.

Научная новизна. Впервые на примере галогешрозания полис. тирола показана возможность проведения реакции галогенирования полистирола с регулируемой степенью замещения, без изменения молекулярно-массовых характеристик исходного полистирола.

На примера реакции конденсации иодированного полистирола о непредельными соединениями впервые при проведении полимэрава-логичных превращений полистирола использованы приеш и мзтоды гомогенного катализа, а также показана возможность использовзш»я хорошо изученных реакцдй конденсации иодаренов с непр-едеп>ншж соединениями при проведении .полиизраналогичных превращении.

. Предложен способ для получения карбоксильных производных полистирола, включающий проведение рада полимераналогичных превращений полистирола и позволяющий поручать конечный продукт о заданной степенью замещения, без значительных .изменений молекуляр-но-массовых характеристик полистирола4

Практическая ценность, Разработанные методики могут быть использованы для модификации полистирола с сохранением исходных мо-лекулярно-массовых характеристик. Функциональные производные полистирола, полученные в результате выполнения работы с успехом могут быть использованы в качестве высокочувствительных ялазмос-тойккх электронорезистов.

Апробапая работа. Материалы диссертации доложены на 3-х Региональных конференциях в 1987 г. ( г.Томск), в 1991 г.( г. Томск) и в 1992 г. ( г.Томск).

Образцы электронорезистов поставлялись в ЩШТТ для проведения научно-исследовательских и .опытно-конструкторских работ по изготовлению промежуточных сотооригиыалов и GÉiiG.

Публикации. Основные материалы диссертационно'/ работы освещены в 3-х статьях, препринте и изложены в 5-ти докладах на научных конференциях.

Положения выносимые ра зашту.Реакшш галогеиировашш полистирола с регулируемой степенью замещения; каталитические реакда ковденсацни иодпроизводных полистирола е замещенными этиленаш и фенилацетиленомреакции окисления ацетиленовых производных пола-' стирола с целью получения карбоксильных производных полистирола.

Объем и структура работы. Диссертация состоит из введения, грех глав, выводов и списка использованной литературы из 105 наименований. Работа изложат на 133 страницах шшинописного текста а содержит 15 таблиц и 34 рисунка.

ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ РАБОШ >:

В первой главе ( литературный обзор ) освещены литературные данные по полимераналогичнцм превращениям полистирола.

Во второй главе представлены результаты исследования реакций галогенирования полистирола, взаимодействия иодпроизводных полистирола с монозвмещеиными этиленами и фенилацетиленом, окисления ацетиленовых производных полистирола, а такие результаты изучения литографических свойств Функциональных производных по-

листирола, полученных при проведении полимораззалогетных превращений.

I, Галоганироваюш полистирола

Введение иода и брома в ароматические кольца полистирола является типичным процессом электрофильвого галогешрсвания аро~ гатячзекшг соединений. Однако, не все методы, давдгз хоросго результаты при галогенировают кизкомолекудярных ароматически соодинапяЭ, могут быть юзнользовакы для галогенароззнзя васоко-далевулярных соединений. Это определяется особенностям прсвах»-ния реакций шшшеранааогичкнх превращений.

Исходя из имеющихся давних, для введения иода и бркя э отстав полистирола на»гя бая использован метод прямого Еодаровавзя в присутствии органического огаслятеля - ^шшюдоэотрзфгораяз-тата ( ФИШ ).

Реакция проходит при комнатной температуре за 0,5 - 3,0 час, Предполагается, что она протекает по класса*;--сто-гу хаханз-эму электро^нльпого замещения:

-— [б] * *

3

(-см.

ГО] + с%соох^

• сг, соси.

X

где X = &л.; У

Реакции проходят в шгких условиях с расчетной степеяьэ замещения. Для получения галогеаярованного полистирола раахзч-ного состава (Я = 0,1-1,0 ) необходимо вводить разлвчзсэ аплв-чеотво галогена, что достигалось регулированием сооткоеткзя компонентов : ФИТФА, галогена и полистирола. Реакций г:ро^ач~-г. путем добавления расчетного количества реагентов к рос.-з-:;:/ зо~ листирола в хлороформе.

Реакция описывается следующей схемой:

-¿i

- J-к. cf3 и>оц

(- <М(-CHt'^'h

KSe<¿ в 0,03 - 1,0: X = В-1 ; У

Результаты кодирования полистирола представлены в таблица I, результаты бронирования представлена в таблице 2.

Как ввдно из таблиц, во всех случаях с хорошим выходами была получены продукты, содержащие галоген в количестве бливкоа в раечетяоцу. Содараание иода составляет от 10,122 мае. до 52,73 % иао., содержанке брома составляет от 1,55 % trac, до 43,65 % мае., что соотьетстьуо? степени замечания от 3 до 100 % коль»

CspocEEQ полученных продуктов ксслодсвали изгодом ЙК-опе-кгросЕошш. Ира сраЕаашш Ю^епвкгров есходкого полазтироаа и продуктов галегенирозагЕЯ наблэдаеюя уменшааав нгаенсгавости полос поглоцзшш в облаем 700-760 си""* ( колебания С-Н - связи монозаивдазного бензольного кольца ) в появление новой подооы в области 820 см"1 ( колебания С-Н - связи в 1,4 эамощвнном кольце ). Это указнвае? ка то, что галогекированае проходит путем самещенвя ааклтатзльЕо игра- положения бензольного кольца полистирола. Соотиошэниэ нитенсивностей указанию: полос поглощения определяется степеЕъо замерзши полистирола.

На примере образцов бронированного полистирола о раалич-

а

а w

i.

3 в к

I»

го

Л

S

M

as

а>л 39

4

CD

e*

о

11 i

<s¡ а я и

С] О

a

s

ф â

я ф

Ö*

о <0 а,

о в)

¡gco

я я

a ч *

a л ff

g

о о -»

? э ь

3 и •

î4 и ц

- ж а

С-С0<О!1®С0>Ц)0С|1Л

ai д oí л л 31 ai m ¡л ¡л

Ol ч Ol

□ я ч ч ч Oi

а <f л о о in N «

ч ч) ч. л и m м Ч n t ^ Й

л 5 ю

СО Ф -

_ о аз о>

га я л q tu Ii

Н Ч1 О) Ч) U) H

HHWnt'l'í^ífiOiO

n tí 41 > « ^ э Ю Ю o

aiCTir-co<j>coo>c»coco

O o O Q 3 n Tjt Ür5 35 c-

ä

ттоошюа^юоо

ОООООМОООГО

о о л О В) э о о о о

LDOC-OMint>QOCl'yI M- Ч M ч ю

д")очион«ол

— ---■— р ц; - -

H M « я я N <» 11 « M Ш

Р1 П н

M

зоюаюоооао

m о г-ч

о см ю t> аэ сп о ч ч ч Ц)

я 1й oí й н о мэ « 5

HMHNPÎ1HOINN

aoopoaooisM

^ « N Я N Г! О О О <)

OOlOiOlfllONMflO ч ч ч

э

Д

I

а

I

s §

I

s

•л

ПЯ

ф

ю СО со о о о о Oí 00 а

я СП te СП <т> го> 1Л 0» а> 8 3 Ч M аэ Ф ÍO СП ч а> СП

ю !0 3 о s о ч a со Л to О 01 со ч in ю

со о •ч1 С" со со со я из <м с» ч -f 0Й ч

о £> 00 Oí ю ч g s S g ф СО ю ч ч « CV

СО •=1« ч a « ч СО s -о ч о СО N

StNaJiOujc-p-f-aOíDcoCM

Зэоооэосаооюо

ччаоачэоооза

8 8 ч о

о о а о а

В<5 ю <л .. . р о 5 о э о

оаоаоооооооо

аоюп

- у 3 8

Ot>**4C3tO!tt<niOCO<MtO »»•» »««••t.»»

oí со о in м £> сч со см ч lírtrtíONoiHH

о

s

I

s

о

am о о о

оооооооооаоо о « аз «M te а ^ оо <м <о со m

« N М О) О Ю Я H О О

Ч Ч M M

сососоаосососоаэсоаосооо

а.овйоовювипв

M

- ч -

ной степенью замещения построен график ( рис.1 ) зависимости соотношения интенсивностей полос поглощения монозомещеняого кольца и дизамещеиного /1= ^агс/^ОО от степвни замещения. Полученная зависимость интенсивности полос поглощения в ИК-спектрах продуктов бромирования полистирола от степени их замещения дает хорошее совпадение с результатами элементного анализа я может быть использована для расчета степени замещения- по ИК-спектраи без проведения элементного анализа.

Рис. I. Граф« зависимости содержания брома от относительной антекаиваости полос поглощения

2. Введение втоленовнх групп в состав полистирола Наличие атомов иода в составе ароматических колрц полис

рош позволяет проводить дальнейшую модификации полистирола путем замени иода на различные функциональные группы« прямое введение которых в состав полистирола затруднено. Причем, получать продукты с заданной степень» замещения, соответствующей степени замещения в исходном иодированном полистироле. Наш предпринята попытка использования в качестве таких реакций высокосалек-тивных каталитических реакций, ранее не используемых в химии высокомолекулярных соединений.

Для замещения атома вода в иодированном полистироле на этиленовые группы использовали реакцию окислительного арилиро-вания олефивов, предложенную Хеком для низкомолекулярных иод-аренов.

Механизм реакции отражается следующей схемой:

ЛХ * /У" —---

Л у НОС.* н-А»^ -[ н-&<,?/и]

Для проведения реакции конденсации иодированного полистирола с замещенными эталонами в качестве катализатора использован ацетат палладия, основания - в-трибутяламин, растворителя -диметилформамцд. Из замещенных эталонов были выбраны различные по реакционной способности соединения: акриловая кислот^ стирол, Н -винил-гг-пирролвдон.

Реакция протекает по схеме:

6

!*• оС/

ЯМ<?А

'(-<мл-сн-)(-снл

- {

где I -- -СООН \UHg~ \ сил. ■

■ N I

При разработке методики взаимодействия иодированного полистирола различной степени замещения с замвщешщщ отвлекши, найдены оптимальные условия проведения реакций: температура 70°С, время 1&-24 час., количество катализатора 1%.

Проведение реакции ковденсации иодированного полистирола о акриловой кислотой в найденных условиях позволяет получать продукты с достаточно хорошими выходами ( 72-93% ) и степенью превращения по иоду от 68 до 97?. Уменьшение продолжительности реакции и количества катализатора приводят к значительному снижению степени превращения.

При проведении указанной реакшш иодированного поластирюла со стиролом в тех ке условиях, что и с акриловой кислотой,наблюдается уменьшение степени превращения до 62-71%. Увеличение продолжительности реакции не приводит к возрастанию степени превращения.

Как и следовало ожидать, использование /V -винил-2-пирроля-дона в указанной реакции способствует получению продуктов с еще меньшей степенью превращения до 362.

Полученные выходы и степени превращения продуктов хороао согласуются с данными по реакциям индивидуальных иодаренов. Так, использование акриловой кислоты, стирола, //-винил-й-пирролидока в реакциях с бром-, иодаренаш приводит к получению продуктов о 38, 75 и 55% соответственно. При замене арилгадотыдон ка полимерные объекты степени превращения составляют 81-1,7, . 36463», при этом продолжительность проведения реакции уь-з-аадваегоц

Лп, ну

с 2 до 24 час. .

Строение полученных продуктов исследовали методом ИК-епе-ктроскопии.

3. Введение ацетиленовых групп в состав полистирола

Замещение атомов иода в иодированном полистироле на ацетиленовые группы, по аналогия с иодаренама, может быть достигнуто о помощью реакции с ацетиленовыми соединениями, также ранее не используемой в химии высокомолекулярных соединений..^ Здесь могут быть использованы два варианта проведения такого вамещения.

В первом варианте такой реакции, иодкды конденсируются с ацетиленвдами меди. С учетом механизма реакции, изученного для низкомолекулярных соединений, схему конденсации иодированного полистирола с фенилацетиленидом меди можно представить в следующем виде:

г, ' V (~СМ1~СК'\,(-СЦл-СН')Л + ЛИ. tu.es С --

Р. ф-

-- С-СН1- С' СНд-Ш- )А .

с

■ и! с

й

Использование гетерогенных реакций при проведении полимер-аналогичных превращений не приведи« к положительному результату. Полученная максимальная степень превращения составила 56,5%.

Во втором варианте, для заттшя. иода, в иодлрованвоы полистироле ва ацетиленовые группы принята во внимание реакция ацетиленовой конденсации тергшзальша ацетиленов о арядиодвдаш в присутствии основания в катализатора - кошшексних соединений

-вСл СиУ

палладия.

Использование в данного типа реакциях гомогенного катализатора, позволяло надеяться на успешное проведение реакции с использованием вцсокоыолокулярного субстрата. Реакция протекает по схеме:

(-смх- (- СМх- СЯ-)..

+" Л- п.

нс г с.

Н-

где 0,1-0,9

При разработке методики взаимодействия иодированного полистирола различное степени замещения о фэннладеткяеном найдены оптимальные условия проведения реакции: ксшатная тенгаратура, время 14-20 чао., катализатор - бжо(тра^яялфоофин)гстшдядийдп-хлорид иь.

При проведении реакций в найденных условиях во всех случаях реакции протекают с выходами до 9755 и степенью превращения до 93%. Содержание оотаточного кода при этом составило 3-6£(. Повышение температуры реакции до 70% приводит к резкому уменьшению степени превращения продуктов, что связано о возрастанием скорости протекания побочной реашдав - полшеэрнзащи феналацетв-лена под действием палладиевого вокяяакса при повывэнжи твигера-туры реакцш.

Строения полученных дродуетов исследовали ветодон ШЕ-спев-

троскопии.

Дня полученных производных полистирола методом Г ИХ. было изучено далекулярно-ыассовое распределение ( рис.2 ).

Рис, 2. Кривые ММР: 1 - полистирола; 2 - иодированного полистирола =0,9; 3 - ацетиленового производного полистирола Х=0,6

_Видно, что проведение реакции иодирования полистирола сопровождается незначительный уменьшением Ш образцов, и значений полидисперсвости. Реакции ацетиленовой конденсации сопровождаются протеканием побочных шкромолекулярных реакцйй сшвка, что, по-видимому связано с реакцией окислительного сочетания иодированного полистирола, хорошо известное для индивидуальных кадарв-нов. Однако, протекайте таких реакций не столь существенно, в связи с чем молекулярно-масссвые характеристики и степень полидисперсности образцов полистирола после осуществления последовательных реакций ( иодирование и ацетиленовая конденсация) изменяются незначительно.

4. Окисление ацетиленовых производных полистирола

Наличие в составе полистирола ацетиленовых групп» чрезвычайно реакционноепосойных, позволяло провести дальнейшее их превращение. Наибольшее внимание привлекли реакции окисления. Из известного круга окислителей было выбрано два. Это окисление ФИТФА, для получения дикетонов и окисление пврманганатом калия, для введения карбоксильных групп в состав полистирола.

Реакции окисления с использованием в качестве окислителя ФИШ известны для обычных индивидуальных тола нов. Использование реакций для полимерных субстратов не описано. Реакции окисления ацетиленовых производных полистирола по аналогии с окислением таланов можно представить в рамках электрофильной атаки тройной связи ФИКА:

С- екг

ерк 'МФЛ

f-UÍ'CK-),

K¿0

- CfjCOOH

С-ОСОСГь

II *

ОЧЩСОО

X

(QJ

C-Oic

я ♦

с-рацеоо

C-OtjL-Ut-)«. ~ ф

C-D н-с-цущсю

HlD

c=0

I

H-C-OCOCf, й

(- СМ^ — СН~ ) «,

Ф

(- смк- СМ'

Ф

С"0

Н-С.-ОК-

с~о

V

Первоначально образующаяся виишшодониевая ооль I подвергается гидролизу следами воды, присутствующей в растворителе, с образованней иодониевой соли 1],- изомеривугщейся в соль Ш. иоследняя, учитывая нестабильность алифатических иодониевых солей, подвергается самопроизвольному разложении до трифаорацетата 17 с последующим превращением в оксикетон 7, окисление которого дав* конечный оО-дикеюн У1.

Изложенный вше механизм трепет применения в качестве растворителя таких соединений, которые хорошо растворяли бы продукты ацетиленовой конденсации и бшщ по отношению к ним инертны* Этим требованиям отвечает хлороформ. Реакцию проводили в соответ-■ ствии'о имеющимися в литературе рекомендациями, но с некоторыми изменениями в связи с особенностями полимеров.

Контроль за ходом реакции окисления проводили методом ИК-опектроокошш. Анализ Щ-свектров показал, что окисление ацетиленовых производных полистирола ФИ1ФА прекращается на стадии Ш, дальнейшее превращение продукта - стадии 1У-У1, идет очень медленно. Подтверждением этого служи® таыш изменение растворимости продукта при протекании реашда. Од ей ко, на проведение реакции очень длительное время, ни повышение температуры не приводи* к увеличению скорости и образованию растворимого продукта 71. Это отличает окисление ацетиленовой группы, находящейся 9 полимере, от окисления аналогичных групп в ицкдвидуальеых, низ-домадекуляриых соединениях.

Использование перманганата кадия в качестве окислителя для окисления ацетиленовых производных полистирола обусловлено тем, что может позволить получать с хорошим выходом карбоксильные производные полистирола, содержащие карбоксильные группы в составе ■ фенильннх заместителей.

При разработке реакции окисления ацетиленовых производных полистирола одной из основных задач является подбор растворителя. Растворитель должен быть устойчив к действии окислителя в условиях реакции и хорошо растворять полимер. Круг используемых здесь растворителей ограничен особенно вторым условием, т.е. ацетиленовые производные полистирола растворяются в ограниченном круге растворителей. Нами для проведения реакции выбрана растворители трех различных классов, отвечающих указанным требованиям а различающихся по свойствам - бензол, ыетилэтйлкетон ( ШК ), бутилаце-тат ( БА ).

Схему реакции окисления можно представить в следующем виде:

(-Мл'&к-У^.снх- сн-Ъ

Ь]

■Я лги /СМцОу

псе.

- кге ;

С-скл-м-),.^ (- ш^-Ы-)

Р)

4 ¿К ю

КРИ

Наилучше результаты получены при проведения реакции о использованием а качестве растворителя БА. При атоа во всех случа-

ях с достаточно высокими выходами получены продукты реакции, со-Аврттв карбоксильные группы.

Наличие карбоксильных групп в составе ароматических заместителей полистирола подтверждается данными ИК-ссектроскопии. В ПК-спектрах всех продуктов окисления появляется интенсивная полоса поглощения в области 1700 си"1 (>С=0 ). Интенсивность указанной полосы определяется степень» завещания полистирола и увеличивается с ее возрастанием. Таксе появляется полоса поглощения в области 3600 сы"1 ( -ОН ).

Для полученных образцов карбоксилсодержащего полистирола методом ГШ было изучено молекулярно-массовое распределение

Рас. 3. Кривые кШР: 1-ацетал9кового производного полистирола. Я =0,6; 2-карбсксЕлсодераащаго производного полистирола К,¿0,6 (окисление в БЛ)

У продуктов окисления сыецвнке шксквуш кривой в сторону меньших Ш свидетельствует о. незначительной дзструкадш иакромола-кул. Проведение ряда еошшзраналогичных превращений от волиэта-рсла до карбоксилсодеркащего полистирола привода! к некоторым Егианошгшы молекулярнэ-массовых характеристик на кавдой стадии превращений. Различная направленность таких изкэнэшй 1ШР ври-ьс&и? в конечной счете к значительной их конденсации. И к. вое-

ладней стадия полимэраналогичных превращений полистирола получены образцы с молекулярно-массовыьш характеристиками склизкими для соответствующих исходному полистиролу.

При исследовании литографических свойств образны показали высокую чувствительность ( 3-10 мкКд/ см2 ), разрешающую способность на уровне 0.5 - О,В мкм и хорошую стойкость в хлореодержа-щей плазме.

В третьей удаве предложены методики прлучения фуякциональ-ных производных полистирола, содержащих в своем составе галогены, ненасыщенные группы и карбоксильные группы, йышан.

1. Предложен удобный, ранее не используемый в химии высокомолекулярных соединений, способ введения функциональных групп в состав полистирола, путем проведения рада последовательных полимеранелогичных превращений: галогекирование - конденсация с непредельными соединениями - окисление

2. На примере галогекировакия полистирола разработан способ, позволяющий получать продукты реакции с заданной степенью замещения от 3 до Ш0/£ моль, проходящий с высокой региоселективностью о образованием пара- замещенных продуктов и, в отличие от известных ранее методов, протекающий без заметных побочных ткромолекуляр-ных реакций

3. Впервые для полнкеранелогичных превращений полистирола использованы приемы и методы гомогенного катализа в присутствия соединений палладия. На полимерных субстратах проведены реакции, конденсации иодированного полистирола с ыонозамещенншн эгнлшпкз и феналацетиленом. Исследование закономерностей протекания реакций позволило получить препаративный метод, позволяйся получать продукты с заданной степенью замещения а выходами 93-95$

4. Исследованы реакция окисления ацетиленовых производных полистирола. ФИК А и порианганатом кагал. Метод позволяет получать кар-боксилсодержащае производные полистирола с карбоксильной группой непосредственно связанной о ароматическим кольцом, со степенью превращения близкой к расчетной

5. Исследование продуктов методом ГПХ показало, что последовательное проведение указанных реакций позволяет сохранять молекуля-рно-массовыз характеристики в соответствии о требованиями, предъявляешь для кзтеряалов, испольвуащх в электронной литогра^яз .

6. .Литографические исследования продуктов реакций показали, что

- '¿a -

бромировашшй полистирол, карбоксилировашшй полистирол и продукты конденсации иодированного полистирола с акриловой кислотой могут быть использованы в качестве алектронорезисгов ори производстве микросхем

Основное содержание диссертации излокено в следующих работах:

X. Васильева 0.1., Райда B.C.,.Мер P.A., Ситников A.C. Введение ненасыщенных групп в состав полистирола.// Материалы Региональной научно-технической конференции по химии и химической технологии: Тез .докл.- Томск, 1987,- С. 19..

2. Райда B.C., Шоина Н.Д., Степаяец M.Ü., Денгсшш В .В., Васильева О.Л. Разработка метода смешанного галогенаровашш полистирола.// Материалы Региональной научно-технической конференции по химии и химической технологии: Тез .докл.- Токск, £98'/. С. 20.

3. Воина.Н.Д., Райда И.О. , Васильева О.Д., Ситников A.C. Прямое галогееированив шшгаксифввнлеков в присутствии фешишадозоацета-та.// Материалы Региональной научно-технической конференции по хкмиа и химической технологии: Тез.докл.- Томск, 1987. С.IS.

4. Шиш Н.Д., Райда B.C., Васильева О.Л., Девискин В.В., Стела-цац M.Q., Ситников A.C. Особенности прямого, иодирования полистирола в присутствии феншшодозогрифгорацетата.// Высокомолекулярна соединения - I9S9.- TU)3J^6.- С.I204-I2Ü7.

5. Васильева О.Л., Денискин В.В., Райда B.C., Сироткина Е.Е. До-лимераналогичнце превращения полистирола: Препринт X 20, СО АН СССР- Томск, 1991.- 45 с.

6. Васильева ОД., Райда B.C., Сироткина £.Е. Полимераналогичныз превращения полистирола.// Материалы 5 отраслевого совещания "Проблемы и перспективы развития ПО ТйХК": Тез.докл.- Томск, 1S9IС.162. ' - .

7. Васильева О.Л., Райда B.C., Сироткина Е.К. Окисление производных полистирола о ненасыщенными группами.// Материалы 6 отраслевого совещания "Проблемы и зерсввктиви развития ПО ТНХК": Тез. докл.- Томск, 1992.- С.24.

8. Васильева О.Л., Райда B.C., Сироткина K.ti. Введение нанасщцен-|щх групп в состав полистирола,// Высокомолекулярные соединения -1992.- TU) 34, * 5,- С.137-141.

9. Васильева Q.Ü., Райда B.C., Сироткина Е.Е. Введение ацетвленовы вых групц в состав полистирола.// Высокомоло1гу.гярны9 соединения -1992.- ТС Б) 33, & В.- С.19-22. }hu-